DE102023127121A1 - Behälter für eine nicht-rechteckige Maske - Google Patents

Behälter für eine nicht-rechteckige Maske Download PDF

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Chia-Ho CHUANG
Hsin-Min Hsueh
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Abstract

Die Erfindung offenbart einen Behälter für eine nicht-rechteckige Maske, der zur Aufnahme einer elliptischen Maske geeignet ist und eine Abdeckung und eine Basis umfasst, die so ausgebildet sind, dass sie einen elliptischen Raum definieren, wenn sie miteinander in Eingriff stehen. Die Abdeckung und die Basis haben Maskenhalterungen bzw. Maskenlager, die so ausgebildet sind, dass sie die elliptische Maske sicher halten.

Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • GEBIET DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Offenbarung bezieht sich auf Maskenbehälter und insbesondere auf einen Behälter zur Aufnahme einer nicht-rechteckigen Maske.
  • BESCHREIBUNG DES STANDES DER TECHNIK
  • Herkömmliche Masken für EUV-Prozesse haben immer eine quadratische oder rechteckige Form. Im Gegensatz zu viereckigen Masken sind elliptische (und kreisförmige) Masken in Bezug auf ihre Körper, Beschichtungen und Pellikel jedoch einfach herzustellen und somit förderlich für die Verbesserung der Präzision und Produktionsausbeute der Masken. Daher könnten elliptische (und kreisförmige) Masken in Zukunft eine gute Option sein. Herkömmliche EUV-Maskenhüllen sind für viereckige Masken ausgelegt und dienen zur Aufnahme von viereckigen Masken anstelle von elliptischen Masken.
  • Daher ist es zwingend erforderlich, einen Behälter für die Aufnahme einer elliptischen Maske bereitzustellen.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Die Offenbarung stellt einen Behälter für eine nicht-rechteckige Maske bereit, der zur Aufnahme einer elliptischen Maske geeignet ist. Der Behälter für eine nicht-rechteckige Maske umfasst eine Abdeckung und eine Basis. Die Abdeckung umfasst eine Innenfläche und eine Kammerwand, die sich von der Innenfläche nach unten erstreckt. Die Innenfläche und die Kammerwand begrenzen einen elliptischen Raum. Die Abdeckung umfasst ferner eine Vielzahl von Maskenhalterungen, die sich teilweise in die Kammerwand und den elliptischen Raum erstrecken, um an einem Rand der elliptischen Maske anzuliegen. Die Basis ist mit der Abdeckung verbunden, um einen elliptischen Aufnahmeraum zur Aufnahme der elliptischen Maske zu definieren, und weist eine Vielzahl von Maskenlagern zum Lagern eines Bodens der elliptischen Maske auf.
  • In einer speziellen Ausführungsform hat die Basis eine Ringnut, und die Maskenlager überspannen jeweils die Ringnut.
  • In einer speziellen Ausführungsform teilt die Ringnut die Basis in einen Innenbereich und einen Außenbereich, wobei der Innenbereich ein elliptischer Bereich ist.
  • In einer speziellen Ausführungsform haben die Maskenlager jeweils einen Lagerblock zum Stützen des Bodens der elliptischen Maske und eine Randbegrenzung zum Zurückhalten der elliptischen Maske, wobei sich der Lagerblock im Innenbereich der Basis und die Randbegrenzung im Außenbereich der Basis befindet.
  • In einer speziellen Ausführungsform haben die Maskenhalter der Abdeckung jeweils eine Symmetrieachse, die auf einen Mittelpunkt des elliptischen Raums der Abdeckung zeigen, und die Maskenlager der Basis haben jeweils eine Symmetrieachse, die auf einen Mittelpunkt des Innenbereichs der Basis zeigen.
  • Die Offenbarung stellt ferner einen Behälter für eine nicht-rechteckige Maske bereit, der zur Aufnahme einer elliptischen Maske geeignet ist. Der Behälter für eine nicht-rechteckige Maske umfasst eine Basis und eine Abdeckung. Die Basis hat eine lasttragende Oberfläche und eine Vielzahl von Maskenlagern, die am Umfang der lasttragenden Oberfläche angeordnet und dazu geeignet sind, die elliptische Maske zu tragen. Die Abdeckung ist mit der Basis verbunden, um einen elliptischen Aufnahmeraum zur Aufnahme der elliptischen Maske zu definieren. Die Abdeckung umfasst eine Vielzahl von Maskenhaltern zum Zurückhalten der elliptischen Maske. Der elliptische Aufnahmeraum wird durch eine Vielzahl von gekrümmten Kanten einer Innenfläche der Basis und eine Vielzahl von gekrümmten Kanten einer Innenfläche der Abdeckung definiert.
  • In einer speziellen Ausführungsform hat die lasttragende Oberfläche eine Vielzahl von ersten gekrümmten Kanten, und die Maskenlager sind jeweils zwischen benachbarten der Vielzahl von ersten gekrümmten Kanten angeordnet.
  • In einer speziellen Ausführungsform weist eine untere Fläche der Abdeckung eine Vielzahl von zweiten gekrümmten Kanten auf, und die Maskenhalter sind jeweils zwischen benachbarten der Vielzahl von zweiten gekrümmten Kanten angeordnet.
  • In einer speziellen Ausführungsform hat die Innenfläche der Abdeckung eine Stufenstruktur, die aus einer Kammerwand und einer Innenfläche der Abdeckung gebildet wird, und die Stufenstruktur umfasst die Vielzahl der zweiten gekrümmten Kanten.
  • In einer speziellen Ausführungsform hat die Basis eine Ringnut, die sich entlang des Umfangs der lasttragenden Fläche erstreckt, und die Maskenlager der Basis überspannen jeweils die Ringnut. Die Stufenstruktur und die Ringnut sind konzentrisch.
  • Die Offenbarung stellt ferner eine Masken-Aufbewahrungsbox bereit, die ein Gehäuse und eine Tür umfasst. Das Gehäuse und die Tür bilden einen Stauraum zur Aufbewahrung des Behälters.
  • Die vorgenannten Aspekte und andere Aspekte der Offenbarung werden durch nicht einschränkende, spezielle Ausführungsformen veranschaulicht, die in den beigefügten Zeichnungen dargestellt, im Folgenden beschrieben und dadurch deutlicher gemacht werden.
  • KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Die Offenbarung wird durch Zeichnungen veranschaulicht, die durch nicht einschränkende, nicht erschöpfende Ausführungsbeispiele illustriert und im Folgenden beschrieben werden. Die Zeichnungen sind nicht maßstabsgetreu, sondern dienen dazu, die strukturellen Merkmale und Prinzipien der Offenbarung zu offenbaren.
    • 1 ist eine Explosionsdarstellung eines Behälters für eine nicht-rechteckige Maske und eine Außenhülle gemäß der Offenbarung.
    • 1A ist eine weitere Explosionsdarstellung des Behälters für eine nicht-rechteckige Maske gemäß der Offenbarung.
    • 2 ist eine perspektivische Ansicht einer Abdeckung des Behälters für eine nicht-rechteckige Maske gemäß der Offenbarung.
    • 3 ist eine Ansicht von unten auf die Abdeckung des Behälters für eine nicht-rechteckige Maske gemäß der Offenbarung.
    • 4 ist eine vergrößerte Teilansicht, die eine Innenfläche der Abdeckung zeigt.
    • 5 ist eine perspektivische Ansicht einer Halterung der Abdeckung des Behälters für eine nicht-rechteckige Maske gemäß der Offenbarung.
    • 6 ist eine Draufsicht auf die Basis des Behälters für eine nicht-rechteckige Maske gemäß der Offenbarung.
    • 7 ist eine perspektivische Ansicht eines Maskenlagers der Basis des Behälters für eine nicht-rechteckige Maske gemäß der Offenbarung.
    • 8Aist eine vergrößerte Teilquerschnittsansicht der Basis, die eine Maske zeigt, die auf der Basis liegt und von der Maskenhalterung getragen wird.
    • 8B ist eine vergrößerte Teilquerschnittsansicht der Abdeckung und der Basis, die zeigt, dass die Maske durch die Maskenhalterung und die Maskenlager auf dem Behälter gehalten wird.
    • 9A bis 9C sind schematische Ansichten der Anordnung des Maskenhalters oder des Maskenlagers in verschiedenen Ausführungsformen der Offenbarung.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Die Offenbarung wird durch begleitende Zeichnungen dargestellt, durch spezielle Ausführungsformen illustriert und im Folgenden beschrieben. Der in der Offenbarung beanspruchte Gegenstand kann jedoch auf verschiedene Weise implementiert werden; daher ist der Gegenstand, der in den Anwendungsbereich der Offenbarung fällt oder von dieser beansprucht wird, nicht auf spezielle Ausführungsformen der Offenbarung beschränkt. Die speziellen Ausführungsformen der Offenbarung dienen lediglich der Veranschaulichung. Ebenso zielt die Offenbarung darauf ab, den Anwendungsbereich des Gegenstandes, der in den Anwendungsbereich der Offenbarung fällt oder von ihr beansprucht wird, angemessen breit zu definieren. Darüber hinaus kann der in der Offenbarung beanspruchte Gegenstand beispielsweise durch ein Verfahren, eine Vorrichtung oder ein System implementiert werden.
  • Der hier verwendete Ausdruck „eine Ausführungsform“ bezieht sich nicht unbedingt auf dieselbe spezielle Ausführungsform. Ebenso beziehen sich die hier verwendeten Ausdrücke „eine andere Ausführungsform“, „einige Ausführungsformen“ und „andere Ausführungsformen“ nicht notwendigerweise auf unterschiedliche spezielle Ausführungsformen. Daher fällt der beanspruchte Gegenstand beispielsweise ganz oder teilweise in den Anwendungsbereich einer Kombination von beispielhaften, speziellen Ausführungsformen. Der hier verwendete Ausdruck „innere Oberfläche“ bezieht sich auf die innere Oberfläche des Behälters; so sind beispielsweise die innere Oberfläche der Abdeckung und die innere Oberfläche der Basis die verdeckten Teile der Abdeckung und der Basis, die miteinander verbunden sind.
  • 1 ist eine Explosionsdarstellung eines Behälters (10) für eine nicht-rechteckige Maske und eine Außenhülle (20) gemäß der Offenbarung. 1A ist eine weitere Explosionsdarstellung des Behälters (10) für eine nicht-rechteckige Maske gemäß der Offenbarung, die die Innenfläche des Behälters (10) für eine nicht-rechteckige Maske zeigt. Der Behälter (10) für eine nicht-rechteckige Maske umfasst eine Abdeckung (11) und eine Basis (12), die zusammen einen Aufnahmeraum zur Aufnahme einer nicht-rechteckigen Maske oder einer elliptischen Maske (R) definieren. Die Außenhülle (20) umfasst ein Gehäuse (21) und eine Tür (22), die zusammen einen Aufnahmeraum für den Behälter (10) für eine nicht-rechteckige Maske bilden.
  • Die nicht-rechteckige Form ist eine elliptische Form mit einer langen und einer kurzen Achse. Wenn die lange Achse und die kurze Achse gleich sind, ist die elliptische Form ein Kreis. Die nicht-rechteckige Form ist ein Polygon mit einer geraden oder ungeraden Anzahl von Seiten, z. B. Sechseck, Achteck und Neuneck. Alternativ kann die nicht-rechteckige Form auch durch eine Vielzahl von Krümmungen begrenzt sein.
  • Gemäß der Offenbarung kann der Behälter (10) für eine nicht-rechteckige Maske in jeder anderen Form ausgeführt werden. Zum Beispiel ist ein Paar von nach außen vorstehenden Flügelabschnitten an den Kanten der Abdeckung (11) angeordnet, und eine Gasfilterkomponente ist an der Oberseite der Abdeckung (11) angeordnet. Nach dem Zusammenfügen erreichen die Abdeckung (11) und die Basis (12) einen bestimmten Grad an effektiver Luftundurchlässigkeit mit einem herkömmlichen, bekannten Luftundurchlässigkeitsmittel, um das Eindringen von Verunreinigungen in den Aufnahmeraum über eine Kontaktschnittstelle zwischen der Abdeckung (11) und der Basis (12) zu verhindern.
  • Die Außenhülle (20) ist konventionell und bekannt, z.B. mit einem Paar von Flügeln, die nach außen ragen und das Gehäuse (21) flankieren, einem nach unten drückenden Mechanismus, der geeignet ist, an die Abdeckung (11) anzuschlagen und diese zu befestigen, und der an der Innenfläche des Gehäuses (21) angeordnet ist, einem an der Tür (22) angeordneten betätigbaren Verriegelungsmechanismus, der zum Koppeln der Tür (22) und das Gehäuse (21) ausgebildet ist, und einem Gasventil, das an der Tür (22) angebracht und geeignet ist, eine Gaszufuhr oder eine Gasabgabe durchzuführen, um die Umgebung und den Druck des Aufnahmeraums zu steuern. Nach dem Zusammenbau erreichen das Gehäuse (21) und die Tür (22) einen bestimmten Grad an effektiver Luftundurchlässigkeit mit einem herkömmlichen, bekannten Luftundurchlässigkeitsmittel, um die Reinheit des Aufnahmeraums zu erhalten.
  • 2 ist eine perspektivische Ansicht der Abdeckung (11). 3 ist eine Ansicht von unten auf die Abdeckung (11). 4 ist eine vergrößerte Teilansicht, die eine Innenfläche der Abdeckung zeigt. Die Abdeckung (11) hat eine Außenfläche (110), die im Wesentlichen eine glatte Oberfläche ist. Die Außenfläche (110) der Abdeckung (11) ist von der Innenfläche der Abdeckung (11) abgewandt, liegt aber der Innenfläche der Basis (12) gegenüber. Die Abdeckung (11) hat eine Kammerwand (111), die sich von der Außenfläche (110) nach unten erstreckt. Die Kammerwand (111) definiert die umgebenden Seitenwände der Abdeckung (11) und hat eine untere Fläche (112), die mit der Basis (12) in Kontakt kommen kann. Die vertikale Dicke der Kammerwand (111) ist größer als die Dicke der anderen Teile (d.h. der Innenfläche) der Abdeckung (11), wodurch eine Stufenstruktur entsteht. Die Stufenstruktur definiert einen Raum, insbesondere einen elliptischen Raum (113). Der elliptische Raum hat eine kurze Achse oder einen Durchmesser, der größer ist als die lange Achse einer elliptischen Maske bzw. der Durchmesser einer kreisförmigen Maske.
  • Eine Vielzahl von Maskenhaltern (114) ist zwischen der Kammerwand (111) und dem elliptischen Raum (113) angeordnet. Ein Teil jeder der Maskenhalterungen (114) erstreckt sich in den elliptischen Raum (113). Mehrere Erweiterungsräume (115) sind um den elliptischen Raum (113) herum angeordnet und erstrecken sich in Richtung der Kammerwand (111), um die Maskenhalter (114) aufzunehmen. Darüber hinaus ist eine Vielzahl von gekrümmten Kanten (116) jeweils gemeinsam durch einen entsprechenden der Erweiterungsräume (115) und die Innenfläche der Kammerwand (111) definiert. Die Maskenhalter (114) sind jeweils zwischen zwei benachbarten der mehreren gekrümmten Kanten (116) angeordnet. Ein Teil jeder der Maskenhalterungen (114) liegt aus dem elliptischen Raum (113) frei, um an den Kanten der Maske anzuliegen und diese zu befestigen, wie in 3 gezeigt.
  • 5 ist eine perspektivische Ansicht einer der Maskenhalterungen (114). Wie in der Abbildung gezeigt, umfasst der Maskenhalter (114) einen Befestigungsabschnitt (31) und einen elastischen Schenkel (32). Die Maskenhalterung (114) ist durch den Befestigungsabschnitt (31) an der Innenfläche der Abdeckung (11) befestigt. Der Befestigungsabschnitt (31) ist in Form eines herkömmlichen, bekannten Befestigungsmittels, wie z. B. einer Schraube oder eines Schnellverschlusses, ausgeführt, um sicherzustellen, dass der Maskenhalter (114) fest an seinem Platz befestigt werden kann. Der elastische Schenkel (32) erstreckt sich seitlich vom Befestigungsabschnitt (31) und hat einen ausgehöhlten Abschnitt (33) und einen Anschlagabschnitt (34). Der ausgehöhlte Abschnitt (33) ermöglicht es dem elastischen Schenkel (32), die Bestandteile der Basis (12) zu umgehen. Der Anschlagabschnitt (34) ist am freien Ende des elastischen Schenkels (32) angeordnet, um an der oberen Fläche der Maske anzuliegen, wie in 8B gezeigt. Der elastische Schenkel (32) umfasst ferner einen sich schräg erstreckenden Abschnitt (35) mit einer Führungsfläche zum Festhalten, Anlegen und Befestigen der oberen Kanten der Maske.
  • Wenn der Maskenhalter (114) an seiner Position montiert ist, ist der Befestigungsabschnitt (31) im Wesentlichen am freien Ende des Erweiterungsraums (115) positioniert und von der Kammerwand (111) umgeben, während der elastische Schenkel (32) teilweise aus dem elliptischen Raum (113) herausragt. Bezugnehmend auf 4 und 8B ist ein Pufferraum (117) auf der Innenfläche der Abdeckung (11) ausgebildet und in der Nähe des elastischen Schenkels (32) und des Anschlagteils (34) angeordnet, um eine strukturelle Beeinträchtigung auszuschließen, die andernfalls durch eine Verformung der Innenfläche der Abdeckung (11) und des elastischen Schenkels (32) unter einer aufgebrachten Kraft entstehen würde.
  • 6 ist eine Draufsicht auf die Basis (12). Wie in der Abbildung gezeigt, hat die Basis (12) eine lasttragende Oberfläche (121), die der Abdeckung (11) zugewandt ist. Die Basis (12) ist durch eine Nut (122) oder eine Stufenstruktur in einen Innenbereich und einen Außenbereich (123) unterteilt. Der Innenbereich deckt sich mit der lasttragenden Fläche (121). Der Außenbereich (123) umgibt die lasttragende Fläche (121) und steht größtenteils in Kontakt mit der Basis (112) der Abdeckung (11). Die lasttragende Fläche (121) und die obere Fläche des Außenbereichs (123) sind im Wesentlichen flach mit einem Unterschied in ihrer vertikalen Höhe; insbesondere ist die lasttragende Fläche (121) höher als die obere Fläche des Außenbereichs (123). Eine kurze Achse oder ein Durchmesser der lasttragenden Fläche (121) mit elliptischer oder kreisförmiger Form ist etwas kleiner als eine kurze Achse oder ein Durchmesser der elliptischen Maske.
  • Eine Vielzahl von Maskenlagern (124) ist zwischen der lasttragenden Oberfläche (121) und dem Außenbereich (123) angeordnet. Bezugnehmend auf 8A sind mehrere Ausnehmungen (120) zwischen der lasttragenden Oberfläche (121) und dem Außenbereich (123) angeordnet und zur Aufnahme der Maskenlager (124) geeignet. Bei der Nut (122) handelt es sich im Wesentlichen um eine Ringnut, die die lasttragende Fläche (121) umgibt. Die Positionen der Maskenlager (124) liegen auf dem ringförmigen Verlauf der Nut (122), d.h. die Maskenlager (124) überspannen jeweils die Nut (122) zwischen der lasttragenden Fläche (121) und dem Außenbereich (123). Die lasttragende Oberfläche (121) hat eine Vielzahl von gekrümmten Kanten (125), und die Maskenlager (124) sind jeweils zwischen benachbarten der Vielzahl von gekrümmten Kanten (125) angeordnet. Ein Teil jedes der Maskenlager (124) ist in der Nähe der lasttragenden Oberfläche (121) angeordnet, und der andere Teil des Maskenlagers (124) ist in der Nähe des Außenbereichs (123) angeordnet.
  • 7 ist eine perspektivische Ansicht eines der Maskenlager (124). Das Maskenlager (124) besteht aus einer Platte (61), einem Lagerblock (62) und einer Randbegrenzung (63). Die Platte (61) hat eine geeignete Dicke und Form, um in eine entsprechende Aussparung (120) der Basis (12) eingepasst zu werden. Der Lagerblock (62) und die Randbegrenzung (63) erstrecken sich von der Platte (61) aus nach oben und haben unterschiedliche Höhen. Der Lagerblock (62) befindet sich in der Nähe der lasttragenden Fläche (121). An der Oberseite des Lagerblocks (62) befindet sich eine Erhöhung (621), die etwas höher als die lasttragende Fläche (121) ist. Die Randbegrenzung (63) ist in der Nähe des Außenbereichs (123) positioniert und kann verhindern, dass sich die elliptische Maske (R) in den Außenbereich (123) verschiebt, wie in 8A gezeigt. An der Oberseite der Randbegrenzung (63) ist eine konische Struktur definiert, um zu verhindern, dass die Ecken der Maske unter einer einwirkenden Kraft vibrieren, sich vom Lagerblock (62) lösen und auf die Innenfläche der Abdeckung (11) auftreffen.
  • Bezugnehmend auf 3 und 6 hat jeder der Maskenhalter (114) und der Maskenlager (124) eine symmetrische Struktur und somit eine Symmetrieachse (118, 126). Eine Symmetrieachse (118) des Maskenhalters (114) hängt von der Symmetrie des Befestigungsabschnitts (31) und des federnden Schenkels (32) ab. Eine Symmetrieachse (126) des Maskenlagers (124) hängt von der Symmetrie des Lagerblocks (62) und der Randbegrenzung (63) ab. In dieser Ausführungsform zeigen die Symmetrieachse (118) des Maskenlagers (114) und die Symmetrieachse (126) des Maskenlagers (124) auf einen Mittelpunkt des elliptischen Raums (113) der Abdeckung (11) bzw. auf einen Mittelpunkt der lasttragenden Fläche (121) der Basis (12). Der Mittelpunkt ist als Schnittpunkt der langen Achse und der kurzen Achse der elliptischen Form oder als Mittelpunkt der kreisförmigen Form definiert.
  • 8A ist eine vergrößerte Teil-Querschnittsansicht der Basis (12), die eine elliptische Maske (R) zeigt, die auf der Basis (12) liegt und von dem Lagerblock (62) getragen wird. 8B ist eine vergrößerte Teilquerschnittsansicht der Abdeckung (11) und der Basis (12), die zeigt, dass die elliptische Maske (R) durch den Maskenhalter (114) und die Maskenstütze (124) auf dem Behälter gehalten wird.
  • Wenn die elliptische Maske (R) auf der Basis (12) ruht, wird der Boden der elliptischen Maske (R) von dem Lagerblock (62) gestützt, so dass ein winziger Spalt zwischen dem Boden der elliptischen Maske (R) und der lasttragenden Oberfläche (121) gebildet wird. Die Randbegrenzung (63) hält die Ränder der elliptischen Maske (R) fest und verhindert, dass sich die Ränder der elliptischen Maske (R) in den Außenbereich (123) verschieben. Bezugnehmend auf 3 und 6 entsprechen die Maskenhalterungen (114) der Abdeckung (11) in ihrer Position den Maskenlagern (124) der Basis (12), so dass sich die Maskenhalterungen (114) im Wesentlichen über den Maskenlagern (124) befinden, wenn die Abdeckung (11) und die Basis (12) miteinander verbunden sind. Bezugnehmend auf 5 kann die Oberseite der Randbegrenzung (63) des Maskenlagers (124) in den ausgehöhlten Teil (33) des elastischen Schenkels (32) des Maskenhalters (114) eindringen, um eine strukturelle Störung zwischen dem Maskenhalter (114) und dem Maskenlager (124) auszuschließen und die Raumnutzung zu optimieren. In einer anderen Ausführungsform weist der elastische Schenkel (32) keinen ausgehöhlten Abschnitt (33) auf, aber der elastische Schenkel (32) ist so gestaltet, dass eine strukturelle Beeinträchtigung durch die Kantenhalterung (63) ausgeschlossen ist.
  • Bezugnehmend auf 8B liegt der Anschlagteil (34) an der oberen Fläche der elliptischen Maske (R) an, und die Führungsfläche des sich schräg erstreckenden Teils (35) liegt an den oberen Kanten der elliptischen Maske (R) an, um die vertikale und seitliche Verschiebung der elliptischen Maske (R) zu begrenzen. Der Pufferraum (117), der, wie bereits erwähnt, auf der Innenfläche der Abdeckung (11) ausgebildet ist, ist ein flacher Graben, der sich von der Innenfläche der Abdeckung (11) nach innen erstreckt und eine ausreichende Verformung der Maskenhalterung (114) ermöglicht. Ein winziger Unterschied in den Abmessungen zwischen den elliptischen Masken (R) wirkt sich auf das Ausmaß der Verformung des elastischen Schenkels (32) jedes Maskenhalters (114) aus. Der Pufferraum (117) bietet die Toleranz für die Verschiebung des anstoßenden Teils (34) bei der Verformung der Maskenhalterung (114), um Kollisionen des anstoßenden Teils (34) und der Abdeckung (11) und die daraus resultierende Erzeugung von Partikelverunreinigungen zu verhindern.
  • 9A bis 9C zeigen schematisch verschiedene Ausführungsformen der Anordnung der Maskenhalterungen (114) oder Maskenlager (124). Gemäß der Offenbarung haben sowohl die Innenfläche der Abdeckung (11) als auch die Innenfläche der Basis (12) gekrümmte Kanten. Wie bereits erwähnt, weist die Innenfläche der Kammerwand (111) der Abdeckung (11) eine Vielzahl von gekrümmten Kanten (116) auf, und eine Vielzahl von gekrümmten Kanten (125) sind an einem Umfang der lasttragenden Fläche (121) der Basis (12) definiert. Die Ausführungsvarianten zeigen mehrere Kombinationen der gekrümmten Kanten (116, 125), der Maskenhalterungen (114) und der Maskenlager (124).
  • In 9A ist schematisch dargestellt, wie sich die Positionen (81) von vier Maskenhaltern oder Maskenlagern zu vier gekrümmten Kanten (82) verhalten. Wie in der Abbildung dargestellt, liegt jede der Positionen (81) zwischen zwei benachbarten gekrümmten Kanten (82), während die vier gekrümmten Kanten (82) die Abdeckung oder die Basis in einen Innenbereich mit kreisförmiger Form und einen Außenbereich unterteilen.
  • In 9B ist schematisch dargestellt, wie die Positionen (81) von drei Maskenhaltern oder Maskenlagern mit drei gekrümmten Kanten (82) zusammenhängen. Wie in der Abbildung dargestellt, liegt jede der Positionen (81) zwischen zwei benachbarten gekrümmten Kanten (82), während die drei gekrümmten Kanten (82) die Abdeckung oder die Basis in einen Innenbereich mit kreisförmiger Form und einen Außenbereich unterteilen.
  • In 9C ist schematisch dargestellt, wie sich die Positionen (81) von vier Maskenhaltern oder Maskenlagern zu vier gebogenen Kanten (82) verhalten. Wie in der Abbildung dargestellt, liegt jede der Positionen (81) zwischen zwei benachbarten gekrümmten Kanten (82), während die vier gekrümmten Kanten (82) die Abdeckung oder die Basis in einen Innenbereich mit elliptischer Form und einen Außenbereich unterteilen.
  • Die Unterschiede zwischen 9A und 9C werden im Folgenden beschrieben. Die gekrümmten Kanten (82) in 9A sind Teil der Kanten einer Kreisform, und die gekrümmten Kanten (82) in 9C sind Teil der Kanten einer Ellipsenform. Wie in 9A dargestellt, entsprechen die Positionen (81) den vier Ecken der Basis (12) oder der Abdeckung (11). Wie in 9C gezeigt, entsprechen die Positionen (81) der langen und kurzen Achse einer Ellipsenform. Wie in den 9A bis 9C dargestellt, weisen alle Symmetrieachsen der Maskenhalter oder Maskenlager an den Positionen (81) auf ein Zentrum (C) der lasttragenden Oberfläche oder des elliptischen Aufnahmeraums.
  • Daher hat gemäß der Offenbarung die Innenfläche der Abdeckung (11) gekrümmte Kanten (116), während die Innenfläche der Basis (12) gekrümmte Kanten (125) hat, wodurch die Innenfläche der Abdeckung (11) den elliptischen Raum definieren kann. Wenn die Abdeckung (11) und die Basis (12) miteinander verbunden sind, definieren die gekrümmten Ränder (116) der Innenfläche der Abdeckung (11) und die gekrümmten Ränder (125) der Innenfläche der Basis (12) einen Aufnahmeraum in elliptischer Form oder einer beliebigen Form zur Aufnahme einer nicht-rechteckigen Maske.
  • Obwohl die Offenbarung oben durch spezielle Ausführungsformen offenbart wird, sind die speziellen Ausführungsformen nicht einschränkend für die Offenbarung. Verschiedene Änderungen, die von Fachleuten an den speziellen Ausführungsformen vorgenommen werden, ohne vom Geist der Offenbarung und dem Umfang der Ansprüche der Offenbarung abzuweichen, müssen als in den Umfang der Ansprüche der Offenbarung fallend betrachtet werden. Dementsprechend sollten der Geist und der tatsächliche Umfang der Ansprüche der Offenbarung durch die beigefügten Ansprüche definiert werden.

Claims (15)

  1. Behälter für eine nicht-rechteckige Maske, der zur Aufnahme einer elliptischen Maske geeignet ist, umfassend: eine Abdeckung, bestehend aus: einer inneren Oberfläche und einer Kammerwand, die sich von der inneren Oberfläche nach unten erstreckt, wobei die innere Oberfläche und die Kammerwand einen elliptischen Raum definieren, und einer Vielzahl von Maskenhalterungen, die sich teilweise in den elliptischen Raum erstrecken, um an einem Rand der elliptischen Maske anzuliegen; und eine Basis, die mit der Abdeckung gekoppelt ist, um einen elliptischen Aufnahmeraum zur Aufnahme der elliptischen Maske zu definieren, wobei die Basis eine Vielzahl von Maskenlager zum Stützen eines Bodens der elliptischen Maske aufweist.
  2. Behälter nach Anspruch 1, wobei die Basis eine Ringnut aufweist und die Vielzahl der Maskenlager die Ringnut überspannen.
  3. Behälter nach Anspruch 2, wobei die Ringnut die Basis in einen Innenbereich und einen Außenbereich unterteilt und der Innenbereich ein elliptischer Bereich ist.
  4. Behälter nach Anspruch 3, wobei jeder der Vielzahl von Maskenlagern einen Lagerblock zum Stützen eines Bodens der elliptischen Maske und eine Randbegrenzung zum Zurückhalten der elliptischen Maske aufweist, wobei sich der Lagerblock im Innenbereich der Basis und die Randbegrenzung im Außenbereich der Basis befindet.
  5. Behälter nach Anspruch 4, bei dem jedes der Vielzahl von Maskenlagern der Abdeckung eine Symmetrieachse hat, die auf einen Mittelpunkt des elliptischen Raums der Abdeckung zeigt, und jede der Vielzahl von Maskenlagern der Basis eine Symmetrieachse hat, die auf einen Mittelpunkt des Innenbereichs der Basis zeigt.
  6. Eine Masken-Aufbewahrungsbox, bestehend aus: einem Gehäuse und einer Tür, die zusammen einen Stauraum zur Aufbewahrung des Behälters nach Anspruch 1 bilden.
  7. Behälter für eine nicht-rechteckige Maske, der zur Aufnahme einer elliptischen Maske geeignet ist, umfassend: eine Basis mit: einer lasttragende Oberfläche und einer Vielzahl von Maskenlagern, die am Umfang der lasttragenden Oberfläche angeordnet und zum Tragen der elliptischen Maske geeignet sind; und eine Abdeckung, die mit der Basis verbunden ist, um einen elliptischen Aufnahmeraum zur Aufnahme der elliptischen Maske zu definieren, wobei die Abdeckung eine Vielzahl von Maskenhaltern zum Zurückhalten der elliptischen Maske umfasst, wobei der elliptische Aufnahmeraum durch eine Vielzahl von gekrümmten Kanten einer inneren Oberfläche der Basis und eine Vielzahl von gekrümmten Kanten einer inneren Oberfläche der Abdeckung definiert ist.
  8. Behälter nach Anspruch 7, wobei die lasttragende Oberfläche eine Vielzahl von ersten gekrümmten Kanten aufweist und jede der Vielzahl von Maskenlagern zwischen benachbarten der Vielzahl von ersten gekrümmten Kanten angeordnet ist.
  9. Behälter nach Anspruch 7, wobei eine untere Oberfläche der Abdeckung eine Vielzahl von zweiten gekrümmten Kanten aufweist und jeder der Vielzahl von Maskenhaltern zwischen benachbarten der Vielzahl von zweiten gekrümmten Kanten angeordnet ist.
  10. Behälter nach Anspruch 9, wobei die Innenfläche der Abdeckung eine Stufenstruktur aufweist, die aus einer Kammerwand und einer Innenfläche der Abdeckung gebildet ist, und die Stufenstruktur die Vielzahl von zweiten gekrümmten Kanten aufweist.
  11. Behälter nach Anspruch 10, wobei der Boden eine Ringnut aufweist, die sich entlang des Umfangs der lasttragenden Oberfläche erstreckt, und die Maskenlager des Bodens jeweils die Ringnut überspannen, wobei die Stufenstruktur der Abdeckung und die Ringnut des Bodens konzentrisch sind.
  12. Behälter nach Anspruch 7, bei dem sowohl die Maskenhalter als auch die Maskenlager Symmetrieachsen haben und die Symmetrieachsen der Maskenlager und der Maskenhalter jeweils auf einen Mittelpunkt der Abdeckung bzw. einen Mittelpunkt der lasttragenden Fläche zeigen.
  13. Behälter nach Anspruch 12, wobei jeder der Vielzahl von Maskenhaltern einen Befestigungsabschnitt und einen federnden Schenkel aufweist, die zusammen die Symmetrieachse der Maskenhalter definieren.
  14. Behälter nach Anspruch 12, wobei die Maskenlager jeweils einen Lagerblock und eine Randbegrenzung aufweisen, die zusammen die Symmetrieachse der Maskenlager definieren.
  15. Eine Masken-Aufbewahrungsbox, bestehend aus: einem Gehäuse und einer Tür, die zusammen einen Stauraum zur Aufbewahrung des Behälters nach Anspruch 7 bilden.
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