DE102020208862A1 - Formwerkzeug zum verkapseln eines pin-fin-artigen leistungsmoduls und verfahren zum herstellen eines leistungsmoduls - Google Patents
Formwerkzeug zum verkapseln eines pin-fin-artigen leistungsmoduls und verfahren zum herstellen eines leistungsmoduls Download PDFInfo
- Publication number
- DE102020208862A1 DE102020208862A1 DE102020208862.4A DE102020208862A DE102020208862A1 DE 102020208862 A1 DE102020208862 A1 DE 102020208862A1 DE 102020208862 A DE102020208862 A DE 102020208862A DE 102020208862 A1 DE102020208862 A1 DE 102020208862A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- mold
- power module
- pin
- dbc
- ims
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 8
- 238000000465 moulding Methods 0.000 title abstract 2
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 title description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims abstract description 20
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims abstract description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 16
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 14
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 14
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims description 18
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims description 18
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 15
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 claims 1
- 238000001721 transfer moulding Methods 0.000 abstract description 7
- 230000001012 protector Effects 0.000 description 6
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 3
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/14—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles
- B29C45/14065—Positioning or centering articles in the mould
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the groups H01L21/18 - H01L21/326 or H10D48/04 - H10D48/07 e.g. sealing of a cap to a base of a container
- H01L21/56—Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings
- H01L21/565—Moulds
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/0001—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor characterised by the choice of material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/14—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles
- B29C45/14639—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles for obtaining an insulating effect, e.g. for electrical components
- B29C45/14655—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles for obtaining an insulating effect, e.g. for electrical components connected to or mounted on a carrier, e.g. lead frame
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/17—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C45/1701—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations using a particular environment during moulding, e.g. moisture-free or dust-free
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the groups H01L21/18 - H01L21/326 or H10D48/04 - H10D48/07 e.g. sealing of a cap to a base of a container
- H01L21/56—Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings
- H01L21/561—Batch processing
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of semiconductor or other solid state devices
- H01L25/50—Multistep manufacturing processes of assemblies consisting of devices, the devices being individual devices of subclass H10D or integrated devices of class H10
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/14—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles
- B29C45/14065—Positioning or centering articles in the mould
- B29C2045/14139—Positioning or centering articles in the mould positioning inserts having a part extending into a positioning cavity outside the mould cavity
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/14—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles
- B29C2045/14852—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles incorporating articles with a data carrier, e.g. chips
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/17—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C2045/1784—Component parts, details or accessories not otherwise provided for; Auxiliary operations not otherwise provided for
- B29C2045/1785—Movement of a part, e.g. opening or closing movement of the mould, generating fluid pressure in a built-in fluid pressure generator
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C2791/00—Shaping characteristics in general
- B29C2791/004—Shaping under special conditions
- B29C2791/006—Using vacuum
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29K—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES B29B, B29C OR B29D, RELATING TO MOULDING MATERIALS OR TO MATERIALS FOR MOULDS, REINFORCEMENTS, FILLERS OR PREFORMED PARTS, e.g. INSERTS
- B29K2063/00—Use of EP, i.e. epoxy resins or derivatives thereof, as moulding material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29L—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASS B29C, RELATING TO PARTICULAR ARTICLES
- B29L2031/00—Other particular articles
- B29L2031/34—Electrical apparatus, e.g. sparking plugs or parts thereof
- B29L2031/3481—Housings or casings incorporating or embedding electric or electronic elements
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
Es wird ein Formwerkzeug zum Verkapseln eines Pin-Fin-artigen Leistungsmoduls mit Harz offenbart, wobei das Leistungsmodul ein DBC bzw. IMS, Leistungschips und mehrere Anschlüsse, die auf einer ersten Oberfläche des DBC bzw. IMS vorgesehen sind, und eine auf einer zweiten Oberfläche des DBC bzw. IMS vorgesehene Pin-Fin-Struktur umfasst, wobei das Formwerkzeug ferner Folgendes umfasst: eine Kavität zur Aufnahme des Leistungsmoduls, mehrere jeweils den Anschlüssen entsprechende Anschlussschutzelemente, die jeweils zum Aufnehmen zumindest eines Teils eines Anschlusses vorgesehen sind, ein am unteren Teil des Formwerkzeugs oder an der Seitenwand des Formwerkzeugs vorgesehenes Einspritzloch, wobei die erste Oberfläche dem unteren Teil des Formwerkzeugs zugewandt ist und sich das Einspritzloch unterhalb der ersten Oberfläche befindet, wenn das Leistungsmodul in der Kavität platziert ist. Während eines Spritzpressverfahrens werden die Anschlüsse und Rippen gut vor Harz geschützt. Die vorliegende Erfindung offenbart auch ein Verfahren zum Herstellen eines Leistungsmoduls.
Description
- TECHNISCHES GEBIET
- Die Erfindung betrifft ein Formwerkzeug zum Verkapseln eines Pin-Fin-artigen Leistungsmoduls und ein Verfahren zum Herstellen des Pin-Fin-artigen Leistungsmoduls.
- HINTERGRUND DER ERFINDUNG
- Unter Bezugnahme auf
1 wird ein herkömmliches Leistungsmodul vor der Kapselung offenbart. Auf der vorderen Oberfläche eines DBC (Direct Bonded Copper) bzw. IMS (Insulated Metal Substrate) 1 sind Leistungschips 2, wie z. B. IGBTs oder SiC-Bauelemente, sowie Anschlüsse 31, 32, wie z. B. ein AC-Verbinder und ein DC-Verbinder eines Wechselrichters, vorgesehen. Ein Metallblock 4 zur Wärmedissipation ist mit der hinteren Oberfläche des DBC bzw. IMS 1 gekoppelt. Üblicherweise wird Gel oder Harz zum Verkapseln der Leistungschips 2, der Anschlüsse 31, 32 und der vorderen Oberfläche des DBC bzw. IMS verwendet. Wird Epoxidharz verwendet, so lässt sich das Leistungsmodul durch ein Spritzpressverfahren verkapseln. Unter Bezugnahme auf2 ist ein Formunterteil 51 mit einem Einspritzloch 511 versehen und das Formunterteil 51 und das Formoberteil 52 definieren eine Kavität 50 zur Aufnahme der Struktur gemäß Darstellung in1 . Das Epoxidharz wird über das Einspritzloch 511 nach oben eingespritzt und die Kavität 50 wird unter einem spezifischen Druck mit Epoxidharz gefüllt. Der Metallblock 4 kann für eine gute Unterstützung während des Spritzpressverfahrens sorgen. Nach Entfernen des Formunterteils und des Formoberteils ist ein gekapseltes Leistungsmodul mit dem Epoxidharz 6 gebildet, wie in3 gezeigt ist. Jedoch sind außer den Leistungschips 2 auch die Anschlüsse 31, 32 vollständig durch das Epoxidharz 6 verkapselt. Es ist ein zusätzliches Bohrverfahren notwendig, da die Anschlüsse zur elektrischen Verbindung freiliegen müssen. - Zudem wird zur Verbesserung der Wärmedissipationsfähigkeit eine Pin-Fin-Struktur anstelle des Metallblocks verwendet. Gemäß der Darstellung in
4 ist die Pin-Fin-Struktur mit der hinteren Oberfläche des DBC bzw. IMS 1 gekoppelt und umfasst eine Metallplatte 41 und mehrere Rippen 42 an der Metallplatte 41. Während des schnellen Schaltens des Leistungschips erzeugte Wärme kann über die Rippen 42 schnell dissipiert werden. Gemäß der Darstellung in5 und6 wird der Freiraum zwischen zwei benachbarten Rippen, wenn das Leistungsmodul mit Pin-Fin-Struktur in der durch das Formunterteil 51 und das Formoberteil 52 gebildeten Kavität 50 platziert ist, ebenfalls mit Epoxidharz gefüllt, was inakzeptabel ist. - KURZDARSTELLUNG
- Um ein Verkapseln der Rippen und der Anschlüsse durch das Harz zu vermeiden, stellt die vorliegende Erfindung ein Formwerkzeug zum Verkapseln eines Pin-Fin-artigen Leistungsmoduls mit Harz bereit. Das Leistungsmodul umfasst ein DBC bzw. IMS, Leistungschips und mehrere Anschlüsse, die auf einer ersten Oberfläche des DBC bzw. IMS vorgesehen sind, und eine auf einer der ersten Oberfläche entgegengesetzten zweiten Oberfläche des DBC bzw. IMS vorgesehene Pin-Fin-Struktur. Das Formwerkzeug umfasst ferner eine Kavität zur Aufnahme des Leistungsmoduls, mehrere jeweils den Anschlüssen entsprechende Anschlussschutzelemente, die jeweils zum Aufnehmen zumindest eines Teils eines Anschlusses vorgesehen sind, ein am unteren Teil des Formwerkzeugs oder an der Seitenwand des Formwerkzeugs vorgesehenes Einspritzloch, wobei die erste Oberfläche der Innenfläche des unteren Teils des Formwerkzeugs zugewandt ist und sich das Einspritzloch unterhalb der ersten Oberfläche befindet, wenn das Leistungsmodul in der Kavität platziert ist.
- Bei einer bevorzugten Ausführungsform handelt es sich bei dem Anschlussschutzelement um eine an der Innenfläche des unteren Teils des Formwerkzeugs vorgesehene Aussparung.
- Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform umschließt die Aussparung zumindest einen Teil des entsprechenden Anschlusses. Beispielsweise umschließt die Aussparung den oberen Teil des entsprechenden Anschlusses.
- Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform ist die Tiefe der Aussparung geringer als die Höhe des entsprechenden Anschlusses. Somit ist der nicht durch die Aussparung aufgenommene Abschnitt jedes Anschlusses während des Spritzpressverfahrens in das Harz eingetaucht, und nach Aushärten des Harzes ist der nicht durch die Aussparung aufgenommene Abschnitt jedes Anschlusses verkapselt. Unterdessen ragt der durch die Aussparung aufgenommene Abschnitt jedes Anschlusses aus dem gehärteten Harz heraus, weshalb kein zusätzliches Bohrverfahren zum Bilden der elektrischen Verbindung nötig ist.
- Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform ist die Innenwand der Aussparung elastisch. Vorzugsweise ist die Innenwand der Aussparung durch eine elastische Schicht, wie z. B. eine Gummischicht, bedeckt.
- Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform umfasst die Pin-Fin-Struktur eine mit dem DBC bzw. IMS gekoppelte Metallplatte und auf der Metallplatte vorgesehene Rippen, wobei die Metallplatte eine mit den Rippen versehene mittlere Region und eine Randregion ohne Rippen umfasst, wobei sich die Randregion um die mittlere Region herum befindet. Wird das Harz nach oben eingespritzt, so könnte die Randregion verhindern, dass die Rippen während des Spritzpressverfahrens durch das Harz betroffen werden.
- Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform ist ein Stufenabschnitt an der Innenfläche des unteren Teils des Formwerkzeugs zum Stützen der Peripherie der ersten Oberfläche vorgesehen.
- Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform ist das Formwerkzeug aus einem Formoberteil und einem Formunterteil zusammengesetzt, die Kavität ist durch die Innenwand des Formoberteils und die Innenwand des Formunterteils gebildet, die Anschlussschutzelemente und das Einspritzloch sind an dem Formunterteil vorgesehen.
- Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung wird außerdem ein Verfahren zum Herstellen des Pin-Fin-artigen Leistungsmoduls offenbart. Das Verfahren zum Herstellen eines Leistungsmoduls durch Verwenden des obengenannten Formwerkzeugs, wobei das Verfahren Folgendes umfasst: Platzieren des Leistungsmoduls in dem Formunterteil, wobei zumindest ein Teil jedes Anschlusses durch das entsprechende Anschlussschutzelement aufgenommen wird, Zusammensetzen des Formoberteils und des Formunterteils, Einspritzen von Epoxidharz über das Einspritzloch, sodass die erste Oberfläche mit Epoxidharz verkapselt wird, Entfernen des Formoberteils und des Formunterteils.
- Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform wird die Kavität vor dem Einspritzen des Epoxidharzes evakuiert.
- Weitere Aspekte und Vorteile der Ausführungsformen ergeben sich aus der folgenden ausführlichen Beschreibung im Zusammenhang mit den begleitenden Zeichnungen, die die Prinzipien der beschriebenen Ausführungsformen beispielhaft veranschaulichen.
- Figurenliste
- Die beschriebenen Ausführungsformen und deren Vorteile werden unter Bezugnahme auf die folgende Beschreibung im Zusammenhang mit den begleitenden Zeichnungen am besten verständlich. Diese Zeichnungen beschränken auf keinerlei Weise etwaige Änderungen an Form und Detail, die durch Fachleute an den beschriebenen Ausführungsformen vorgenommen werden können, ohne vom Wesen und Schutzumfang der beschriebenen Ausführungsformen abzuweichen.
-
1 veranschaulicht eine Querschnittsansicht eines herkömmlichen Leistungsmoduls vor der Kapselung. -
2 veranschaulicht eine Querschnittsansicht eines herkömmlichen Formwerkzeugs zum Verkapseln des Leistungsmoduls gemäß Darstellung in1 . -
3 veranschaulicht eine Querschnittsansicht eines harzverkapselten Leistungsmoduls nach Entfernung des Formwerkzeugs gemäß dem Stand der Technik. -
4 veranschaulicht eine Querschnittsansicht eines Leistungsmodul mit Pin-Fin-Struktur vor der Kapselung. -
5 veranschaulicht eine Querschnittsansicht des Leistungsmoduls gemäß Darstellung in4 , das gemäß dem Stand der Technik in dem Formwerkzeug platziert ist. -
6 veranschaulicht eine Querschnittsansicht eines harzverkapselten Leistungsmoduls mit Pin-Fin-Struktur nach Entfernung des Formwerkzeugs gemäß dem Stand der Technik. -
7 veranschaulicht eine Querschnittsansicht eines Formwerkzeugs zum Verkapseln des Leistungsmoduls mit Pin-Fin-Struktur gemäß einer Ausführungsform der Erfindung. -
8 veranschaulicht eine Querschnittsansicht eines Leistungsmoduls mit Pin-Fin-Struktur, das in dem Formwerkzeug von7 platziert ist. -
9 veranschaulicht eine Querschnittsansicht des verkapselten Leistungsmoduls von8 , wobei das Formwerkzeug entfernt ist. -
10 veranschaulicht eine Querschnittsansicht eines Formunterteils zum Verkapseln eines Leistungsmoduls mit Pin-Fin-Struktur gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung. -
11 veranschaulicht eine Querschnittsansicht eines Leistungsmoduls mit Pin-Fin-Struktur, das in dem Formunterteil von10 platziert ist. -
12 veranschaulicht eine Perspektivansicht eines Formunterteils gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung. - AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGSFORMEN
- Unter Bezugnahme auf die Zeichnungen werden nun Ausführungsformen der Erfindung ausführlich beschrieben. Ein Formwerkzeug zum Verkapseln eines Pin-Fin-artigen Leistungsmoduls mit Harz und ein Verfahren zum Herstellen des Pin-Fin-artigen Leistungsmoduls werden unter Bezugnahme auf
4 ,7 bis9 beschrieben. Gemäß Darstellung in4 umfasst das Leistungsmodul ein DBC bzw. IMS 1, Leistungschips 2, mehrere Anschlüsse 31, 32, die auf einer ersten Oberfläche des DBC bzw. IMS 1 vorgesehen sind, und eine auf einer der ersten Oberfläche entgegengesetzten zweiten Oberfläche des DBC bzw. IMS 1 vorgesehene Pin-Fin-Struktur. Die Leistungschips, wie z. B. SiC-Bauelemente, und die Anschlüsse, wie z. B. AC-Verbinder und DC-Verbinder, sind auf dem DBC bzw. IMS verschweißt. Die Pin-Fin-Struktur umfasst eine mit dem DBC bzw. IMS 1 gekoppelte Metallplatte 41 und auf der Metallplatte 41 vorgesehene Rippen 42. Die Metallplatte 41 ist durch einen Wärmeleitklebstoff mit dem DBC bzw. IMS gekoppelt, sodass die während des Schaltens der Leistungschips erzeugte Wärme zu den Rippen 42, die in ein Kühlmittel eingetaucht sind, übertragen wird. - Unter Bezugnahme auf
7 und8 umfasst das Formwerkzeug ein Formunterteil 501 und ein Formoberteil 502. Eine Kavität 500 zur Aufnahme des Leistungsmoduls gemäß Darstellung in4 wird durch das Formunterteil 501 und das Formoberteil 502 gebildet. Auf der Innenfläche des unteren Teils des Formunterteils 501 sind mehrere Anschlussschutzelemente 5011, 5012 vorgesehen, die jeweils den Anschlüssen 31, 32 entsprechen und jeweils zum Aufnehmen zumindest eines Teils eines Anschlusses vorgesehen sind. Die Tiefe der Aussparung ist geringer als die Höhe des entsprechenden Anschlusses. Bei jedem Anschlussschutzelement handelt es sich um eine Aussparung mit einer elastischen Schicht. Somit wird, wenn das Leistungsmodul mit nach oben gerichteten Rippen 42 und nach unten gerichteten Anschlüssen in der Kavität 500 platziert wird, jeder Anschluss gut geschützt, da ein Teil jedes Anschlusses, beispielsweise der obere Teil jedes Anschlusses, durch die elastische Schicht jeder Aussparung umschlossen wird. - Das Formunterteil 501 umfasst ferner ein am unteren Teil des Formwerkzeugs vorgesehenes Einspritzloch 5013, wobei die erste Oberfläche des DBC bzw. IMS dem unteren Teil des Formwerkzeugs zugewandt ist und sich das Einspritzloch unterhalb der ersten Oberfläche befindet, wenn das Leistungsmodul in der Kavität platziert ist. Das Epoxidharz wird über das Einspritzloch 5013 in die Kavität 500 eingespritzt.
- Im Unterschied zu einem herkömmlichen Formwerkzeug mit ebenem unteren Teil wird das Leistungsmodul umgedreht mit gut geschützten Anschlüssen platziert. Nicht durch die Anschlussschutzelemente aufgenommene Abschnitte der Anschlüsse werden dem über das Einspritzloch 5013 eingespritzten Epoxidharz ausgesetzt.
- Die vorliegende Erfindung stellt ferner ein Verfahren zum Herstellen eines Leistungsmoduls unter Verwendung des obengenannten Formwerkzeugs bereit, das Folgendes umfasst: Platzieren des Leistungsmoduls in dem Formunterteil, wo der obere Teil jedes Anschlusses durch das entsprechende Anschlussschutzelement aufgenommen wird; Zusammensetzen des Formoberteils und des Formunterteils zum Bilden der Kavität 500; und Einspritzen von Epoxidharz nach oben über das Einspritzloch 5013, wobei Leistungschips und freiliegende Anschlüsse mit Fließen des Epoxidharzes in dem Epoxidharz eingetaucht werden. Nach Verfestigung des Epoxidharzes wird das Formwerkzeug entfernt und ein verkapseltes Leistungsmodul gemäß Darstellung in
9 ist fertiggestellt. Dank des Schutzes der Anschlussschutzelemente sind die oberen Teile 311, 321 jedes Anschlusses 31, 32 nicht durch das Epoxidharz verkapselt und liegen somit frei, was hinsichtlich elektrischer Verbindung wünschenswert ist, und es ist verglichen mit dem Spritzpressverfahren unter Verwendung eines herkömmlichen Formwerkzeugs kein zusätzliches Bohrverfahren notwendig. - Unter nun erfolgender Bezugnahme auf
10 und11 wird eine weitere bevorzugte Ausführungsform offenbart. Eine Metallplatte umfasst eine mit Rippen versehene mittlere Region und eine Randregion 401 ohne Rippen um die mittlere Region herum. Wird Harz nach oben eingespritzt, so könnte die Randregion verhindern, dass die Rippen während eines Spritzpressverfahrens durch das Harz betroffen werden. - Bei dieser Ausführungsform ist ein Stufenabschnitt 7 an der Innenfläche des unteren Teils eines Formunterteils 501 zum Stützen der Peripherie der ersten Oberfläche vorgesehen und ein Einspritzloch ist an der Seitenwand des Formunterteils vorgesehen. Gemäß Darstellung in
11 verhindert der Stufenabschnitt 7, dass das Epoxidharz die Seitenwand der Metallplatte und die Rippen 42 betrifft. - Unter nun erfolgender Bezugnahme auf
12 wird ein Formunterteil 501 gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung veranschaulicht. Diese Ausführungsform ist der in10 und11 gezeigten Ausführungsform ähnlich, ein Stufenabschnitt 7 ist an der Innenfläche des unteren Teils eines Formunterteils 501 zum Stützen der Peripherie der ersten Oberfläche vorgesehen. Mehrere Anschlussschutzelemente 5011, 5012 mit inneren Gummielementen sind am Boden des Formunterteils vorgesehen und ein Einspritzloch 5013 ist an der Seitenwand des Formunterteils vorgesehen. Die höchste Position des Einspritzlochs ist unterhalb der ersten Oberfläche, wenn das Leistungsmodul in der Kavität platziert ist. - Eine Reihe alternativer Strukturelemente und Verarbeitungsschritte wurde für die bevorzugte Ausführungsform vorgeschlagen. Somit ist, obgleich die Erfindung mit Bezugnahme auf spezifische Ausführungsformen beschrieben wurde, die Beschreibung für die Erfindung veranschaulichend und nicht als die Erfindung beschränkend aufzufassen. Fachleuten können verschiedene Modifikationen und Anwendungen in den Sinn kommen, ohne vom wahren Wesen und Schutzumfang der Erfindung gemäß der Definition durch die angehängten Ansprüche abzuweichen.
Claims (10)
- Formwerkzeug zum Verkapseln eines Pin-Fin-artigen Leistungsmoduls mit Harz, wobei das Leistungsmodul ein DBC bzw. IMS, Leistungschips, mehrere Anschlüsse, die auf einer ersten Oberfläche des DBC bzw. IMS vorgesehen sind, und eine auf einer der ersten Oberfläche entgegengesetzten zweiten Oberfläche des DBC bzw. IMS vorgesehene Pin-Fin-Struktur umfasst, wobei das Formwerkzeug ferner Folgendes umfasst: eine Kavität zur Aufnahme des Leistungsmoduls, mehrere jeweils den Anschlüssen entsprechende Anschlussschutzelemente, die jeweils zum Aufnehmen zumindest eines Teils eines Anschlusses vorgesehen sind, ein am unteren Teil des Formwerkzeugs oder an der Seitenwand des Formwerkzeugs vorgesehenes Einspritzloch, wobei die erste Oberfläche der Innenfläche des unteren Teils des Formwerkzeugs zugewandt ist und sich das Einspritzloch unterhalb der ersten Oberfläche befindet, wenn das Leistungsmodul in der Kavität platziert ist.
- Formwerkzeug nach
Anspruch 1 , wobei es sich bei dem Anschlussschutzelement um eine an der Innenfläche des unteren Teils des Formwerkzeugs vorgesehene Aussparung handelt. - Formwerkzeug nach
Anspruch 2 , wobei die Aussparung zumindest einen Teil des entsprechenden Anschlusses umschließt. - Formwerkzeug nach
Anspruch 2 , wobei die Tiefe der Aussparung geringer als die Höhe des entsprechenden Anschlusses ist. - Formwerkzeug nach
Anspruch 2 , wobei eine Innenwand der Aussparung aus elastischem Material besteht. - Formwerkzeug nach einem der
Ansprüche 1 bis5 , wobei die Pin-Fin-Struktur eine mit dem DBC bzw. IMS gekoppelte Metallplatte einschließlich einer mit den Rippen versehenen mittleren Region und einer Randregion ohne Rippen um die mittlere Region herum umfasst. - Formwerkzeug nach einem der
Ansprüche 1 bis5 , wobei ein Stufenabschnitt an der Innenfläche des unteren Teils des Formwerkzeugs zum Stützen der Peripherie der ersten Oberfläche vorgesehen ist. - Formwerkzeug nach einem der
Ansprüche 1 bis5 , wobei das Formwerkzeug aus einem Formoberteil und einem Formunterteil zusammengesetzt ist, die Kavität durch eine Innenwand des Formoberteils und eine Innenwand des Formunterteils gebildet ist, die Anschlussschutzelemente und das Einspritzloch an dem Formunterteil vorgesehen sind. - Verfahren zum Herstellen eines Leistungsmoduls unter Verwendung des Formwerkzeugs nach
Anspruch 8 , wobei das Verfahren Folgendes umfasst: Platzieren des Leistungsmoduls in dem Formunterteil, wobei zumindest ein Teil jedes Anschlusses durch das entsprechende Anschlussschutzelement aufgenommen wird, Zusammensetzen des Formoberteils und des Formunterteils, Einspritzen von Epoxidharz über das Einspritzloch, sodass die erste Oberfläche mit Epoxidharz verkapselt wird, Entfernen des Formoberteils und des Formunterteils. - Verfahren nach
Anspruch 9 , wobei die Kavität vor dem Einspritzen des Epoxidharzes evakuiert wird.
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102020208862.4A DE102020208862A1 (de) | 2020-07-15 | 2020-07-15 | Formwerkzeug zum verkapseln eines pin-fin-artigen leistungsmoduls und verfahren zum herstellen eines leistungsmoduls |
JP2021084827A JP2022019556A (ja) | 2020-07-15 | 2021-05-19 | ピンフィン型パワーモジュールを封止する型、およびパワーモジュールを製造する方法 |
CN202121591193.4U CN215911397U (zh) | 2020-07-15 | 2021-07-13 | 包封针翅型功率模块的模具 |
CN202110789168.5A CN113948402A (zh) | 2020-07-15 | 2021-07-13 | 包封针翅型功率模块的模具以及制造功率模块的方法 |
US17/375,525 US11673302B2 (en) | 2020-07-15 | 2021-07-14 | Mold for encapsulating a Pin-Fin type power module and method for manufacturing a power module |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102020208862.4A DE102020208862A1 (de) | 2020-07-15 | 2020-07-15 | Formwerkzeug zum verkapseln eines pin-fin-artigen leistungsmoduls und verfahren zum herstellen eines leistungsmoduls |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102020208862A1 true DE102020208862A1 (de) | 2022-01-20 |
Family
ID=79021173
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102020208862.4A Pending DE102020208862A1 (de) | 2020-07-15 | 2020-07-15 | Formwerkzeug zum verkapseln eines pin-fin-artigen leistungsmoduls und verfahren zum herstellen eines leistungsmoduls |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11673302B2 (de) |
JP (1) | JP2022019556A (de) |
CN (2) | CN215911397U (de) |
DE (1) | DE102020208862A1 (de) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115894047B (zh) * | 2022-12-28 | 2024-03-22 | 福建华清电子材料科技有限公司 | 一种Mos封装用管壳的制备方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3675321D1 (de) * | 1985-08-16 | 1990-12-06 | Dai Ichi Seiko Co Ltd | Halbleiteranordnung mit packung vom steckerstifttyp. |
US4890152A (en) * | 1986-02-14 | 1989-12-26 | Matsushita Electric Works, Ltd. | Plastic molded chip carrier package and method of fabricating the same |
US5144412A (en) * | 1987-02-19 | 1992-09-01 | Olin Corporation | Process for manufacturing plastic pin grid arrays and the product produced thereby |
US5289039A (en) * | 1988-02-05 | 1994-02-22 | Citizen Watch Co., Ltd. | Resin encapsulated semiconductor device |
JP3423766B2 (ja) * | 1994-03-11 | 2003-07-07 | Towa株式会社 | 電子部品の樹脂封止成形方法及び金型装置 |
US5609889A (en) * | 1995-05-26 | 1997-03-11 | Hestia Technologies, Inc. | Apparatus for encapsulating electronic packages |
JP4555436B2 (ja) * | 2000-06-29 | 2010-09-29 | 富士通株式会社 | 薄膜樹脂基板への樹脂モールド方法及び高周波モジュール |
US7144538B2 (en) * | 2003-06-26 | 2006-12-05 | Semiconductor Components Industries, Llc | Method for making a direct chip attach device and structure |
JP4797077B2 (ja) * | 2009-02-18 | 2011-10-19 | 株式会社日立製作所 | 半導体パワーモジュール、電力変換装置、および、半導体パワーモジュールの製造方法 |
DE102018201263B3 (de) * | 2018-01-29 | 2019-05-16 | Zf Friedrichshafen Ag | Ein verfahren und eine vorrichtung zum herstellen eines pin-fin-leistungsmoduls |
DE102018211718A1 (de) * | 2018-07-13 | 2020-01-16 | Zf Friedrichshafen Ag | Unterform, Oberform, Formsystem und Verfahren zum Herstellen eines Leistungsmoduls in Pin-Fin-Ausführung |
-
2020
- 2020-07-15 DE DE102020208862.4A patent/DE102020208862A1/de active Pending
-
2021
- 2021-05-19 JP JP2021084827A patent/JP2022019556A/ja active Pending
- 2021-07-13 CN CN202121591193.4U patent/CN215911397U/zh active Active
- 2021-07-13 CN CN202110789168.5A patent/CN113948402A/zh active Pending
- 2021-07-14 US US17/375,525 patent/US11673302B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN215911397U (zh) | 2022-02-25 |
US11673302B2 (en) | 2023-06-13 |
US20220016814A1 (en) | 2022-01-20 |
CN113948402A (zh) | 2022-01-18 |
JP2022019556A (ja) | 2022-01-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE102005050330B4 (de) | Leistungshalbleitervorrichtung und Herstellungsverfahren dafür | |
DE102019103993B4 (de) | Package mit Dummy-Dies zum reduzieren von Wölbungen im Package und Herstellungsverfahren dafür | |
DE102008058835B4 (de) | Elektronikbauelement, Verfahren zur Herstellung und Halbleiterbaustein | |
DE102008054306B4 (de) | Herstellungsverfahren für harzabgedichtete Halbleitervorrichtung | |
EP0817261B1 (de) | Verfahren zur Herstellung einer Plastikpackung für eine elektronische Anordnung mit vollständig isolierter Wärmesenke | |
US5334872A (en) | Encapsulated semiconductor device having a hanging heat spreading plate electrically insulated from the die pad | |
DE102009061178B3 (de) | Leistungshalbleitervorrichtung | |
DE19708002A1 (de) | Halbleiterbauelement und Anschlußrahmen dafür | |
DE102015116152B4 (de) | Elektronische Vorrichtung mit Kapselungsstruktur mit verbesserter elektrischer Zugänglichkeit und Verfahren zum Herstellen der elektronischen Vorrichtung | |
DE112014006653B4 (de) | Verfahren zum Herstellen einer Halbleiteranordnung | |
DE102006047989A1 (de) | Halbleitervorrichtung | |
US5384286A (en) | Process for encapsulating a semiconductor chip, leadframe and heatsink | |
DE112013007426B4 (de) | Halbleitervorrichtung und Herstellungsverfahren dafür | |
DE102015101561A1 (de) | Halbleiterpaket und verfahren zur herstellung eines halbleiterpakets | |
DE3852124T2 (de) | Verfahren zum Herstellen einer Halbleiteranordnung vom harzumhüllten Typ. | |
DE102020208862A1 (de) | Formwerkzeug zum verkapseln eines pin-fin-artigen leistungsmoduls und verfahren zum herstellen eines leistungsmoduls | |
US3729573A (en) | Plastic encapsulation of semiconductor devices | |
DE102019002210A1 (de) | Halbleiterleistungsmodul zu m schutz vor einem kurzschlussereignis | |
DE102018201263B3 (de) | Ein verfahren und eine vorrichtung zum herstellen eines pin-fin-leistungsmoduls | |
DE102018214904B4 (de) | Halbleitervorrichtung und Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung | |
DE112020006455T5 (de) | Halbleitervorrichtung und Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung | |
DE102018201262B4 (de) | Ein Verfahren zum Herstellen eines Pin-Fin-Leistungsmoduls | |
DE2550562A1 (de) | Anordnung aus metallischer platte und halbleiter und verfahren zur herstellung derselben | |
DE102015118631A1 (de) | Leiterrahmenstreifen mit Formmassekanälen | |
DE69828163T2 (de) | Gerät zum formen von kunststoffverpackungen |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R012 | Request for examination validly filed |