DE102016212381A1

DE102016212381A1 - Isolierende Sammelschiene und Herstellungsverfahren

Info

Publication number: DE102016212381A1
Application number: DE102016212381.5A
Authority: DE
Inventors: Yuji HAYASE; Katsumi Taniguchi
Original assignee: Fuji Electric Co Ltd
Current assignee: Fuji Electric Co Ltd
Priority date: 2015-07-14
Filing date: 2016-07-07
Publication date: 2017-01-19
Also published as: CN106684068B; CN106684068A; US10109973B2; JP2017022309A; JP6634722B2; US20170018884A1

Abstract

Um eine isolierende Sammelschiene auszubilden, die sowohl eine niedrige Induktivität als auch eine hohe Stehspannung aufweist, wird eine isolierende Sammelschiene bereitgestellt, die mit einem Modul verbunden ist, auf dem ein Halbleiterchip montiert ist, umfassend eine Vielzahl von Schaltungsleitern; eine Vielzahl von Anschlussklemmen, die jeweils die Schaltungsleiter mit dem Modul elektrisch verbinden; und einen isolierenden Teil aus Harz, der zwischen jedem der Schaltungsleiter und mindestens einem Teil einer Region um jede Anschlussklemme herum einstückig gebildet ist und zwischen den Schaltungshalbleitern keine Lücken aufweist.

Description

HINTERGRUND
TECHNISCHES GEBIET
Die vorliegende Erfindung betrifft eine isolierende Sammelschiene und ein Herstellungsverfahren.
VERWANDTE TECHNIK
Es ist eine herkömmliche Sammelschiene bekannt, die elektrisch mit einer Halbleitereinheit verbunden ist, die eine Leistungshalbleitervorrichtung oder dergleichen aufnimmt, wie beispielsweise in der Patentschrift 1 gezeigt.

Patentschrift 1: japanische Patent-Auslegeschrift Nr. 2010-129867

Eine Sammelschiene weist bevorzugt eine hohe Stehspannung auf.
KURZDARSTELLUNG
Gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine isolierende Sammelschiene bereitgestellt, die mit einem Modul verbunden ist, auf dem ein Halbleiterchip montiert ist, wobei die isolierende Sammelschiene eine Vielzahl von Schaltungsleitern; eine Vielzahl von Anschlussklemmen, welche die Schaltungsleiter jeweils elektrisch mit dem Modul verbinden; und/oder einen isolierenden Teil aus Harz, der zwischen jedem der Schaltungsleiter und mindestens einem Teil einer Region um jede Anschlussklemme herum einstückig gebildet ist und zwischen den Schaltungshalbleitern keine Lücken aufweist, umfasst. Bevorzugt weist der Teil aus Harz einen unebenen Teil auf, der eine Kriechstrecke zwischen zweien der Anschlussklemmen erweitert. Bevorzugt wird der unebene Teil zwischen zweien der Anschlussklemmen bereitgestellt, die mit verschiedenen Schaltungsleitern der Vielzahl von Schaltungsleitern verbunden sind. Bevorzugt umfasst der Teil aus Harz keinen unebenen Teil zwischen mindestens zweien der Anschlussklemmen. Bevorzugt ist mindestens einer der Schaltungsleiter mit einem Material abgedeckt, das eine höhere Haftfähigkeit als Nickel mit Bezug auf den Teil aus Harz aufweist. Bevorzugt wird der Teil aus Harz aus einem katalytisch aushärtenden Harz gebildet; oder der Teil aus Harz wird bevorzugt aus einem Polyolefin-Harz oder einem Maleimid-Harz gebildet. Bevorzugt umfasst jede Anschlussklemme ein Einsetzloch, durch das eine entsprechende Klemme eingesetzt wird, und einen elastischen Teil, der die entsprechende Klemme in das Einsetzloch drückt.
Gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zum Herstellen einer isolierenden Sammelschiene bereitgestellt, welches das Anordnen einer Vielzahl von Schaltungsleitern und einer Vielzahl von Anschlussklemmen in vorbestimmten Positionen in einer Spritzgießform für Harz; und/oder das Bilden eines Teils aus Harz, der keine Lücken um die Vielzahl von Schaltungsleitern und die Vielzahl von Anschlussklemmen herum aufweist, durch Einspritzen eines isolierenden Harzes in die Spritzgießform für Harz in einem Zustand, in dem der absolute Druck im Innern der Spritzgießform für Harz reduziert wurde, um kleiner oder gleich 80 kPa zu sein, umfasst. Bevorzugt umfasst das Bilden des Teils aus Harz das Einspritzen des Harzes mit einer Viskosität, die kleiner oder gleich 10 Pa·s ist. Bevorzugt umfasst das Bilden des Teils aus Harz das Verwenden eines Schlauchs, um das Harz in die Spritzgießform für Harz aus einem Harzbehälter anzusaugen, der unterhalb der Spritzgießform für Harz bereitgestellt wird. Bevorzugt umfasst die Spritzgießform für Harz Positionsfeststellvorsprünge, welche die Anschlussklemmen durch Eingreifen in die Anschlussklemmen positionieren. Bevorzugt umfasst das Bilden des Teils aus Harz das einstückige Bilden mit dem Teil aus Harz von unebenen Teilen, die eine Kriechstrecke zwischen den Anschlussklemmen erweitern.
Die obige Beschreibung von Aspekten beschreibt nicht unbedingt alle notwendigen Merkmale der Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung. Die vorliegende Erfindung kann auch eine Teilkombination der zuvor beschriebenen Merkmale sein.
KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
Es zeigen:
1 eine perspektivische Ansicht einer beispielhaften isolierenden Sammelschiene 100 gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
2 eine schematische Querschnittsansicht einer beispielhaften isolierenden Sammelschiene 100 und eines Moduls 200.
3 eine beispielhafte Anordnung der Anschlussklemmen 20, der abdeckenden Abschnitte 32 und der unebenen Teile 34.
4 eine Querschnittsansicht einer beispielhaften Anschlussklemme 20.
5 eine Querschnittsansicht einer anderen beispielhaften isolierenden Sammelschiene 100.
6 eine Querschnittsansicht einer beispielhaften Spritzgießform für Harz 300 zum Herstellen der isolierenden Sammelschiene 100.
7 eine perspektivische Ansicht eines beispielhaften Formunterteils der Spritzgießform für Harz 300.
8 einen beispielhaften Schritt des Einspritzens des Gießharzes in die Spritzgießform für Harz 300.
BESCHREIBUNG BEISPIELHAFTER AUSFÜHRUNGSFORMEN
Nachstehend werden einige Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung beschrieben. Die Ausführungsformen beschränken die Erfindung gemäß den Ansprüchen nicht, und alle Kombinationen der in den Ausführungsformen beschriebenen Merkmale sind nicht unbedingt wesentlich für die Mittel, die durch die Aspekte der Erfindung bereitgestellt werden.
1 ist eine perspektivische Ansicht einer beispielhaften isolierenden Sammelschiene 100 gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die isolierende Sammelschiene 100 ist mit einem ein Modul, auf dem ein Halbleiterchip, wie etwa ein Leistungshalbleiter, montiert ist, elektrisch verbunden.
Die isolierende Sammelschiene 100 umfasst einen oder mehrere Hauptschaltungsleiter 10, einen oder mehrere Hilfsschaltungsleiter 12, eine Vielzahl von Anschlussklemmen 20 und einen Teil aus Harz 30. Der Hauptschaltungsleiter 10 ist aus einem Metallmaterial, wie etwa Kupfer (sauerstofffreies Kupfer C1020 als spezifisches Beispiel), Aluminium oder einer aluminiumhaltigen Legierung, gebildet. Der Hauptschaltungsleiter 10 kann plattenförmig sein. Ein gebogener Teil, ein Öffnungsteil, ein vorstehender Teil oder dergleichen können in dem Hauptschaltungsleiter 10 gebildet sein, und ein Leiterbild ist ebenfalls in dem Hauptschaltungsleiter 10 gebildet. Der Hauptschaltungsleiter 10 kann einen starken Strom durchlassen, der durch den Halbleiterchip, wie etwa den Leistungshalbleiter, fließt.
Der Hilfsschaltungsleiter 12 kann ebenso wie der Hauptschaltungsleiter 10 plattenförmig sein und ein vorgegebenes Bild aufweisen. Die Querschnittsfläche des Hilfsschaltungsleiters 12 kann kleiner als die Querschnittsfläche des Hauptschaltungsleiters 10 sein. Der Hilfsschaltungsleiter 12 kann einen schwächeren Strom durchlassen als der Hauptschaltungsleiter 10. Der Hilfsschaltungsleiter 12 überträgt beispielsweise ein Steuersignal von einem Halbleitertransistor.
Der Hilfsschaltungsleiter 12 ist aus dem gleichen Metallmaterial gebildet wie beispielsweise der Hauptschaltungsleiter 10. Daher können die linearen Ausdehnungskoeffizienten des Hauptschaltungsleiters 10 und des Hilfsschaltungsleiters 12 abgeglichen werden. Die Differenz zwischen den linearen Ausdehnungskoeffizienten des Hauptschaltungsleiters 10, des Hilfsschaltungsleiter 12, der Anschlussklemmen 20 und des Teils aus Harz 30 ist bevorzugt nicht größer als 10%. Somit kann, selbst wenn beispielsweise ein Wärmezyklustest ausgeführt wird, eine Verformung der isolierenden Sammelschiene 100 verhindert werden.
Jede Anschlussklemme 20 ist an einem entsprechenden Hauptschaltungsleiter 10 oder Hilfsschaltungsleiter 12 gesichert. Jede Anschlussklemme 20 kann mechanisch an dem entsprechenden Hauptschaltungsleiter 10 oder Hilfsschaltungsleiter 12 gesichert sein oder kann daran unter Verwendung eines Bindematerials, wie etwa Lötmetall, gesichert sein. Jede Anschlussklemme 20 weist an einem Ende derselben eine Schraubenstruktur auf und kann in einem Schraubenloch des entsprechenden Hauptschaltungsleiters 10 oder Hilfsschaltungsleiters 12 gesichert sein. Jede Anschlussklemme 20 verbindet den entsprechenden Hauptschaltungsleiter 10 oder Hilfsschaltungsleiter 12 elektrisch mit dem Modul, auf dem der Halbleiterchip, wie etwa der Leistungshalbleiter, montiert ist.
Der Teil aus Harz 30 ist zwischen den Schaltungsleitern jedes von einer Vielzahl der Hauptschaltungsleiter 10 und einer Vielzahl der Hilfsschaltungsleiter 12 gebildet und isoliert diese Schaltungsleiter voneinander. Der Teil aus Harz 30 ist bei diesem Beispiel nicht nur zwischen den Schaltungsleitern gebildet, sondern wickelt sich auch um jeden Schaltungsleiter. Ein Erstreckungsteil jedes Schaltungsleiters, der sich von einem Teil eines Endes des Schaltungsleiters aus erstreckend gebildet ist, ist von dem Teil aus Harz 30 freigelegt. Mit diesen Erstreckungsteilen ist es möglich jeden Schaltungsleiter nach außen elektrisch anzuschließen. Der Teil aus Harz 30 deckt bevorzugt alle Teile jedes Schaltungsleiters außer dem Erstreckungsteil ab.
Das Teil aus Harz 30 deckt mindestens einen Teil der Peripherie jeder Anschlussklemme 20 ab. Der Teil aus Harz 30 deckt mindestens die Region in der Nähe des Teils jeder Anschlussklemme 20, die mit einem Schaltungsleiter verbunden ist, ab. Ein Teil jeder Anschlussklemme 20 steht von dem Teil aus Harz 30 vor und deckt die Hauptschaltungsleiter 10 und die Hilfsschaltungsleiter 12 ab. Es sei jedoch zu beachten, dass der Teil aus Harz 30 dieses Beispiels abdeckende Abschnitte 32 aufweist, welche die Seitenwände der vorstehenden Teile der Anschlussklemmen 20 abdecken. Der Teil des Teils aus Harz 30, der die Peripherie der Hauptschaltungsleiter 10 und der Hilfsschaltungsleiter 12 abdeckt, und der Teil des Teils aus Harz 30, der die Peripherie der Anschlussklemmen 20 abdeckt, sind einstückig gebildet.
Mindestens der Teil des Teils aus Harz 30 zwischen den Schaltungsleitern ist lückenlos gebildet. Der Teil aus Harz 30 weist keinen leeren Raum auf, der in einer Region, die zwischen zwei Schaltungsleitern eingeschoben ist, absichtlich gebildet wird, und auch keinen leeren Raum, der sich in einer Region, die zwischen zwei Schaltungsleitern eingeschoben ist, unabsichtlich bildet. Leerer Raum, der sich unabsichtlich bildet, bezieht sich beispielsweise auf Luftblasen, die im Harz zu sehen sind. Zum Beispiel ist es bei der Verwendung von Harz mit geringer Viskosität möglich, den Teil aus Harz 30 ohne leeren Raum, wie etwa Luftblasen, zu bilden.
Die isolierende Sammelschiene 100 umfasst ferner eine Wandstruktur 14, die bereitgestellt wird, um die Anschlussklemmen 20 zu umgeben. Die Wandstruktur 14 kann mit dem Teil aus Harz 30 einstückig gebildet sein oder kann von dem Teil aus Harz 30 getrennt gebildet sein. Die Wandstruktur 14 ist gebildet, um in der gleichen Richtung wie die Anschlussklemmen 20 von der Oberfläche des Teils aus Harz 30, von der die Anschlussklemmen 20 vorstehen, vorzustehen. Die Höhe der Wandstruktur 14 kann die gleiche sein wie die Höhe der Anschlussklemmen 20.
Die isolierende Sammelschiene 100 kann eine Vielzahl der Wandstrukturen 14 umfassen. Jede Wandstruktur 14 umgibt eine oder mehrere der Anschlussklemmen 20. Ein anderes Modul kann mit jeder Gruppe von Anschlussklemmen 20, die von einer Wandstruktur 14 umgeben sind, verbunden sein.
Die isolierende Sammelschiene 100 dieses Beispiels weist das isolierende Harz auf, das zwischen den Schaltungsleitern lückenlos gebildet ist und/oder die Schaltungsleiter und die Anschlussklemmen 20 mit einstückig gebildetem Harz abdichtet, und kann dadurch die Isolierung der Sammelschiene steigern. Ferner sind die Enden der Schaltungsleiter, bei denen es sich nicht um die Erstreckungsteile handelt, nicht freigelegt, und daher ist es möglich, eine Entladung zwischen den Enden der Schaltungsleiter zu verhindern. Entsprechend kann eine Entladung zwischen den Schaltungsleitern verhindert werden, selbst wenn sich der Abstand zwischen den Schaltungsleitern reduziert. Da der Abstand zwischen den Schaltungsleitern reduziert werden kann, ist es möglich, die Induktivität zwischen den Schaltungsleitern zu reduzieren. Entsprechend kann die isolierende Sammelschiene 100 sowohl eine hohe Stehspannung als auch eine niedrige Induktivität umsetzen.
2 ist eine schematische Querschnittsansicht einer beispielhaften isolierenden Sammelschiene 100 und eines Moduls 200. Die Struktur der in 2 gezeigten isolierenden Sammelschiene 100, wie etwa die Anordnung der Anschlussklemmen 20, entspricht nicht unbedingt der Struktur der in 1 gezeigten isolierenden Sammelschiene 100. In 2 sind die Wandstrukturen 14 und die Hilfsschaltungsleiter 12 der isolierenden Sammelschiene 100 ausgelassen. Das Modul 200 weist einen Halbleiterchip 226 auf, wie etwa einen Leistungshalbleiter, der darauf montiert ist, und die isolierende Sammelschiene 100 ist mit dem Halbleiterchip 226 elektrisch verbunden.
Das Modul 200 umfasst eine Basis 210, ein Basissubstrat 224, einen Verbindungsteil 222, eine Wandstruktur 212, einen Teil aus Harz 230, ein Leiterbild 232 und eine Vielzahl von Anschlussklemmen 228. Das Basissubstrat 224 weist den Halbleiterchip 226 auf, der darauf montiert ist. Der Verbindungsteil 222 verbindet das Basissubstrat 224 mit der Basis 210 des Moduls 200. Ferner kann der Verbindungsteil 222 als Wärmeabgabeabschnitt dienen, der die Wärme des Basissubstrats 224 in die Basis 210 entweichen lässt.
Die Wandstruktur 212 umgibt das Basissubstrat 224, den Verbindungsteil 222, den Teil aus Harz 230, das Leiterbild 232 und die Anschlussklemmen 228 auf der Vorderfläche der Basis 210. Das Leiterbild 232 ist mit dem Halbleiterchip 226 über dem Basissubstrat 224 elektrisch verbunden.
Jede Anschlussklemme 228 ist mit dem Halbleiterchip 226 beispielsweise über ein Beschaltungsmuster auf dem Basissubstrat 224 oder das Leiterbild 232 elektrisch verbunden. Die Enden der Anschlussklemmen 228 sind mit den Anschlussklemmen 20 der isolierenden Sammelschiene 100 verbunden. Die Anschlussklemmen 228 dieses Beispiels werden durch Einsetzlöcher eingesetzt, die in den Anschlussklemmen 20 bereitgestellt werden.
Der Teil aus Harz 230 dichtet das Basissubstrat 224, den Verbindungsteil 222, das Leiterbild 232 und einen Teil der Anschlussklemmen 228 ab. Die Enden der Anschlussklemmen 228 stehen von dem Teil aus Harz 230 vor.
Jede Anschlussklemme 20 der isolierenden Sammelschiene 100 kommt mit einer Anschlussklemme 228 des Moduls 200 in Eingriff. Die Anschlussklemmen 20 dieses Beispiels weisen Einsetzlöcher auf, durch welche die Anschlussklemmen 228 des Moduls 200 eingesetzt werden.
Jede Anschlussklemme 20 ist an einem entsprechenden Hauptschaltungsleiter 10 gesichert. In 2 sind vier Anschlussklemmen 20 an vier Hauptschaltungsleitern 10-1 bis 10-4 gesichert. Jeder Hauptschaltungsleiter 10 ist in einer anderen Schicht oder in einer anderen Region in der gleichen Schicht gebildet. Der Teil aus Harz 30 ist zwischen jedem Hauptschaltungsleiter 10 gebildet.
Die Beabstandung zwischen zwei Hauptschaltungsleitern 10, die in verschiedenen Schichten gebildet sind, kann kleiner oder gleich 3 mm sein. Somit ist es möglich, die Induktivität zwischen den Hauptschaltungsleitern 10 zu verringern. Es sei auch zu beachten, dass die Beabstandung zwischen zwei Hauptschaltungsleitern 10 bevorzugt größer oder gleich 2 mm ist. Somit ist es möglich die Stehspannung zwischen den Hauptschaltungsleitern 10 sicherzustellen. Die Beabstandung zwischen zwei Hauptschaltungsleitern 10 ist jedoch nicht auf den zuvor beschriebenen Bereich eingeschränkt. Die Beabstandung zwischen den Hauptschaltungsleitern 10 kann je nach Bedarf gemäß den Kennzeichen eingestellt werden, die für die isolierende Sammelschiene 100 gewünscht sind.
Der Teil aus Harz 30 dieses Beispiels umfasst die unebenen Teile 34. Jeder unebene Teil 34 wird zwischen zwei Anschlussklemmen 20 bereitgestellt und erweitert die Kriechstrecke d zwischen den beiden Anschlussklemmen 20. Die unebenen Teile 34 können in der gleichen Richtung wie die Anschlussklemmen 20 von der Oberfläche des Teils aus Harz 30 vorstehen, von dem die Anschlussklemmen 20 vorstehen. Durch das Bereitstellen der unebenen Teile 34 ist es möglich, die Kriechstrecke d zwischen den Anschlussklemmen 20 zu erweitern, damit sie größer als der Spielraum zwischen den Anschlussklemmen 20 ist, und daher ist es möglich, die Stehspannung zwischen den Anschlussklemmen 20 zu verbessern. Ferner sind die unebenen Teile 34 mit dem Teil aus Harz 30 einstückig gebildet. Somit kann die Festigkeit mit Bezug auf einen Entladungsdurchschlag im Vergleich zu einem Fall, bei dem die unebenen Teile 34 an dem Teil aus Harz 30 durch Kleben oder dergleichen angefügt sind, verbessert werden.
Die Länge, mit der jeder unebene Teil 34 von der Vorderfläche des Teils aus Harz 30 vorsteht, kann größer sein als die Breite eines unebenen Teils 34 in einer Richtung parallel zur Oberfläche des Teils aus Harz 30. Ferner kann die vorstehende Länge jedes unebenen Teils 34 ungefähr gleich der Breite jedes unebenen Teils 34 sein. Diese Breite kann sich auf die Mindestlänge eines unebenen Teils 34 in einer Ebene parallel zur Vorderfläche des Teils aus Harz 30 beziehen. Die vorstehende Länge jedes unebenen Teils 34 kann mindestens zweimal oder mindestens dreimal die Breite des unebenen Teils 34 sein. Die vorstehende Länge jedes unebenen Teils 34 kann größer oder gleich der Hälfte der Länge sein, mit der die Anschlussklemme 20 von der Vorderfläche des Teils aus Harz 30 vorsteht. Die vorstehende Länge jedes unebenen Teils 34 kann die gleiche sein wie die vorstehende Länge einer Anschlussklemme 20. Die vorstehende Länge jedes unebenen Teils 34 kann kleiner sein als die vorstehende Länge einer Anschlussklemme 20.
Der Teil aus Harz 230 des Moduls 200 kann ebenso wie der Teil aus Harz 30 unebene Teile umfassen. Somit ist es möglich, die Kriechstrecke D zwischen den Anschlussklemmen 228 des Moduls 200 zu erweitern und die Stehspannung zu verbessern. Die unebenen Teile 34 des Teils aus Harz 30 können in Positionen bereitgestellt werden, die sich nicht gegenüber den unebenen Teilen des Teils aus Harz 230 befinden, wenn sie sich in einem Zustand befinden, in dem die isolierende Sammelschiene 100 mit dem Modul 200 verbunden ist. Somit ist es möglich, genug Platz für das Vorstehen der unebenen Teile 34 sicherzustellen.
Der Abstand zwischen einer Anschlussklemme 20 und einem unebenen Teil 34 bei diesem Beispiel ist kleiner als der Abstand zwischen einem unebenen Teil und einer Anschlussklemme 228 in dem Modul 200. Die unebenen Teile 34 können neben den Anschlussklemmen 20 angeordnet sein. Der Abstand zwischen einem unebenen Teil 34 und einem abdeckenden Abschnitt 32 kann kleiner oder gleich 1/4 des Spielraums zwischen zwei Anschlussklemmen 20 sein.
Mindestens einer der Schaltungsleiter kann mit einem Material abgedeckt sein, dessen Haftfähigkeit mit dem Teil aus Harz 30 größer als die von Nickel ist. Beispielsweise sind die Hauptschaltungsleiter 10 mit aufgerauter Vernickelung abgedeckt. Auf diese Art und Weise kann verhindert werden, dass sich die Hauptschaltungsleiter 10 von dem Teil aus Harz 30 lösen.
Der Teil aus Harz 30 ist bevorzugt aus einem Harz mit einer Glasübergangstemperatur Tg gebildet, die größer oder gleich 250°C ist, und mit einer Viskosität μ bei der Bearbeitung, die kleiner oder gleich 50 Pa·s ist. Somit ist es möglich, den Teil aus Harz 30 mit ausreichender Haltbarkeit herzustellen, damit er auf hohen Temperaturen verwendet werden kann, ohne dass Luftblasen oder dergleichen eingebracht würden. Das Harz des Teils aus Harz 30 weist weiter bevorzugt eine Viskosität μ bei der Bearbeitung auf, die kleiner oder gleich 10 Pa·s ist. Der Teil aus Harz 30 kann aus einem katalytisch aushärtenden Harz gebildet sein. Der Teil aus Harz 30 kann aus einem Polyolefin-Harz oder einem Maleimid-Harz gebildet sein. Der Teil aus Harz 30 kann aus P-TCP (Poly-Trizyklopentadien) gebildet sein.
3 zeigt eine beispielhafte Anordnung der Anschlussklemmen 20, der abdeckenden Abschnitte 32 und der unebenen Teile 34. 3 zeigt eine untere Oberfläche der isolierenden Sammelschiene 100, von der Seite des Moduls 200 aus gesehen. Ein abdeckender Abschnitt 32 kann gemeinsam für eine Vielzahl von Anschlussklemmen 20 bereitgestellt werden. Bei diesem Beispiel decken ein abdeckender Abschnitt 32-1 und ein abdeckender Abschnitt 32-2 jeweils die Seitenwände von zwei Anschlussklemmen 20 ab.
Die Anschlussklemmen 20 umfassen Hochspannungs-Anschlussklemmen 20, an die eine Hochspannung angelegt wird, und Niederspannungs-Anschlussklemmen 20, an die eine Niederspannung angelegt wird. Zwei oder mehrere Hochspannungs-Anschlussklemmen 20, die nebeneinander liegen, können von einem gemeinsamen abdeckenden Abschnitt 32 abgedeckt sein, und zwei oder mehrere Niederspannungs-Anschlussklemmen 20, die nebeneinander liegen, können von einem gemeinsamen abdeckenden Abschnitt 32 abgedeckt sein. Ferner können zwei oder mehrere Anschlussklemmen 20, die mit dem gleichen Hauptschaltungsleiter 10 verbunden sind, von einem gemeinsamen abdeckenden Abschnitt 32 abgedeckt sein.
Jeder unebene Teil 34 wird zwischen zwei Anschlussklemmen 20 bereitgestellt. Ein unebener Teil 34 kann zwischen einer Niederspannungs-Anschlussklemme 20 und einer Hochspannungs-Anschlussklemme 20 bereitgestellt werden. Ein unebener Teil 34 kann zwischen zwei Anschlussklemmen 20 bereitgestellt werden, die mit verschiedenen Hauptschaltungsleitern 10 verbunden sind. Ein unebener Teil 34 muss nicht zwischen mindestens einem Satz von zwei Anschlussklemmen 20 bereitgestellt werden.
Beispielsweise muss ein unebener Teil 34 nicht zwischen zwei Hochspannungs-Anschlussklemmen 20 bereitgestellt werden. Zwei Hochspannungs-Anschlussklemmen 20 können von einem gemeinsamen abdeckenden Abschnitt 32 abgedeckt sein oder können unabhängig von jeweiligen abdeckenden Abschnitten 32 abgedeckt sein.
Eine Vielzahl von unebenen Teilen 34 kann zwischen zwei Anschlussklemmen 20 gebildet sein. Beispielsweise können zwei unebene Teile 34, die parallel zueinander sind, zwischen der Anschlussklemme 20, die von dem abdeckenden Abschnitt 32-1 abgedeckt ist, und der Anschlussklemme 20, die von dem abdeckendem Abschnitt 32-2 abgedeckt ist, gebildet sein. Die Anzahl von unebenen Teilen 34, die bereitgestellt werden, kann gemäß dem Abstand zwischen zwei Anschlussklemmen 20 bestimmt werden.
Falls es beispielsweise einen großen Abstand zwischen zwei Anschlussklemmen 20 gibt, kann eine größere Anzahl von unebenen Teilen 34 bereitgestellt werden. Auf diese Art und Weise können möglichst viele unebene Teile 34 gemäß dem verfügbaren Platz angeordnet werden. Falls es ferner einen kleinen Abstand zwischen zwei Anschlussklemmen 20 gibt, kann eine größere Anzahl von unebenen Teilen 34 bereitgestellt werden. Wenn auf diese Art und Weise der Abstand zwischen zwei Anschlussklemmen 20 kleiner ist, kann der Ausdehnungsgrad der Kriechstrecke vergrößert werden, und der kurze Abstand kann durch die Anzahl von unebenen Teilen 34 ausgeglichen werden.
Die Höhe jedes unebenen Teils 34 kann gleich oder unterschiedlich sein. Die Breite jedes unebenen Teils 34 kann gleich oder unterschiedlich sein. Die Länge jedes unebenen Teils 34 kann unterschiedlich sein. Zwei unebene Teile 34, die zwischen zwei verschiedenen Sätzen von Anschlussklemmen 20 bereitgestellt werden, können miteinander verbunden sein. Jeder unebene Teil 34 kann von einer unteren Oberfläche aus gesehen eine Region mit einer geraden Form und eine Region mit einer gebogenen Form aufweisen. Die unebenen Teile 34 können gebildet sein, um die Anschlussklemmen 20 oder die abdeckenden Abschnitte 32 zu umgeben.
Mindestens ein unebener Teil 34 kann sich von einer Wandstruktur 14 aus erstreckend gebildet sein. Mindestens ein abdeckender Abschnitt 32 kann sich von einer Wandstruktur 14 aus erstreckend gebildet sein. Somit kann die mechanische Festigkeit des unebenen Teils 34 und des abdeckenden Abschnitts 32 verbessert werden.
4 ist eine Querschnittsansicht einer beispielhaften Anschlussklemme 20. Die Anschlussklemme 20 umfasst einen Basisteil 22, einen Verbindungsteil 24 und einen elastischen Teil 28. Der Basisteil 22, der Verbindungsteil 24 und der elastische Teil 28 können jeweils aus einem leitfähigen Material gebildet sein oder können mit einem leitfähigen Material abgedeckt sein.
Der Basisteil 22 weist die Form eines Stabs auf, wie etwa einer zylindrischen oder vieleckigen Stange, und ein Ende davon ist an einem Hauptschaltungsleiter 10 oder Hilfsschaltungsleiter 12 gesichert. Das andere Ende des Basisteils 22 ist mit dem Verbindungsteil 24 versehen. Der Verbindungsteil 24 weist eine zylindrische Form auf, wie etwa die eines runden oder vieleckigen Zylinders. Das Ende des Verbindungsteils 24, das gegenüber dem Basisteil 22 liegt, ist mit einem Einsetzloch 26 versehen.
Das Einsetzloch 26 weist eine Anschlussklemme 228 des Moduls 200 auf, die durch dieses hindurch eingesetzt wird. Der elastische Teil 28, der auf die Klemme drückt, die in das Einsetzloch 26 eingesetzt wird und bei diesem Beispiel eine Anschlussklemme 228 ist, wird im Innern des Einsetzlochs 26 bereitgestellt. Dadurch dass der elastische Teil 28 bei vielen Anschlussklemmen 20 enthalten ist, können die isolierende Sammelschiene 100 und das Modul 200 aneinander gesichert werden. Jede Anschlussklemme 20 kann ein Gewicht von ungefähr 10 N aushalten. Jeder elastische Teil 28 kann mit einem Verbindungsteil 24 einstückig gebildet sein oder kann als separates Bauteil gebildet sein. Falls ein elastischer Teil 28 als separates Bauteil von einem Verbindungsteil 24 gebildet ist, wird der elastische Teil 28 an dem Verbindungsteil 24 gesichert, indem er beispielsweise im Innern des Einsetzlochs 26 eingebettet wird.
Mit dieser Struktur ist es nicht notwendig, die isolierende Sammelschiene 100 mit Durchgangslöchern zum Sichern des Moduls 200 mit Schraubeingriff zu versehen. Ferner ist es möglich, den Schritt des Schraubeingriffs während der Montage zu unterlassen.
5 ist eine Querschnittsansicht einer anderen beispielhaften isolierenden Sammelschiene 100. Bei der isolierenden Sammelschiene 100, die in 1 bis 4 beschrieben wird, sind die Erstreckungsteile der Hauptschaltungsleiter 10 auf der Seite der seitlichen Oberfläche der isolierenden Sammelschiene 100 freigelegt, doch bei der isolierenden Sammelschiene 100 dieses Beispiels sind die Enden 11 der Erstreckungsteile der Hauptschaltungsleiter 10 auf der Seite der Vorderflächen der isolierenden Sammelschiene 100 angeordnet. Die übrige Struktur der isolierenden Sammelschiene 100, die nicht die Erstreckungsteile betrifft, ist die gleiche wie die der in 1 bis 4 beschriebenen isolierenden Sammelschiene 100. Die Vorderfläche der isolierenden Sammelschiene 100 bezieht sich auf die Oberfläche, die sich gegenüber der Rückfläche der isolierenden Sammelschiene 100 befindet, von der aus die Anschlussklemmen 20 vorstehen. Ferner bezieht sich die seitliche Oberfläche der isolierenden Sammelschiene 100 auf die Oberfläche zwischen der Vorderfläche und der Rückfläche der isolierenden Sammelschiene 100. Mit dieser Konfiguration kann die Größe der isolierenden Sammelschiene 100 in der waagerechten Richtung reduziert werden.
Bei jeder in 1 bis 5 beschriebenen isolierenden Sammelschiene 100 können elektronische Bauteile, wie etwa elektrische Schaltungen oder Sensoren, innerhalb des Teils aus Harz 30 bereitgestellt werden. Die elektrischen Bauteile können über die Hilfsschaltungsleiter 12 nach außen elektrisch verbunden sein.
6 ist eine Querschnittsansicht einer beispielhaften Spritzgießform für Harz 300 zum Herstellen der isolierenden Sammelschiene 100. Zunächst werden die Anschlussklemmen 20 mit den Hauptschaltungsleitern 10 und den Hilfsschaltungsleitern 12 verbunden, die gemäß der vorgeschriebenen Form gefertigt wurden.
Es wird eine Spritzgießform für Harz 300 vorbereitet. Die Spritzgießform für Harz 300 kann in einen Formunterteil, in den die Hauptschaltungsleiter 10 und dergleichen gelegt werden, und einen Formoberteil, der als Deckel für den Formunterteil dient, unterteilt werden. 6 zeigt den Formoberteil und den Formunterteil in einem kombinierten Zustand. Es werden Positionsfeststellnuten 308 in den Seitenwänden des Formunterteils der Spritzgießform für Harz 300 in Positionen bereitgestellt, die den Formen der Erstreckungsteile der Hauptschaltungsleiter 10 und dergleichen entsprechen. Ferner werden Positionsfeststellvorsprünge 304 auf der Basis des Formunterteils der Spritzgießform für Harz 300 zum Positionieren der Hauptschaltungsleiter 10, der Hilfsschaltungsleiter 12 und der Anschlussklemmen 20 bereitgestellt, indem sie mit den Anschlussklemmen 20 in Eingriff gebracht werden. Mit dieser Konfiguration können die Hauptschaltungsleiter 10 und dergleichen positioniert werden, und es ist möglich, eine Fehlausrichtung und Verformung der Hauptschaltungsleiter 10 zu verhindern, wenn das Harz eingespritzt wird.
Der Formoberteil wird als Deckel aufgesetzt, nachdem die Hauptschaltungsleiter 10 und dergleichen in den vorbestimmten Positionen in dem Formunterteil der Spritzgießform für Harz 300 angeordnet wurden. Somit werden Hohlräume 306 im Innern der Spritzgießform für Harz 300 gebildet, die der Form des zu bildenden Teils aus Harz 30 entsprechen. Die Hohlräume 306 weisen Nuten 312 und 310 auf, die jeweils den abdeckenden Abschnitten 32 und den unebenen Teilen 34 entsprechen. Es werden Löcher 302 in der Spritzgießform für Harz 300 gebildet. Das Harz wird durch die Löcher 302 hindurch eingespritzt. Die Löcher 302 können in dem Formoberteil oder dem Formunterteil der Spritzgießform für Harz 300 bereitgestellt werden.
Dann werden die Spritzgießform für Harz 300 und die Hauptschaltungsleiter 10 und dergleichen im Innern der Spritzgießform für Harz 300 auf eine vorgeschriebene Temperatur erhitzt. Der Schritt des Erhitzens kann entfallen. Während des Schritts des Erhitzens werden die Oxidation der Hauptschaltungsleiter 10 und dergleichen unter Verwendung eines Reduzierofens bevorzugt entfernt.
Dann wird das Gießharz vorgewärmt, und die Katalysatorlösung oder das Härtungsmittel wird unter Rühren untergemischt. Dann wird der Teil aus Harz 30 durch Einspritzen des Gießharzes durch die Löcher 302 der Spritzgießform für Harz 300 gebildet. Die abdeckenden Abschnitte 32 und die unebenen Teile 34 des Teils aus Harz 30 werden in diesem Schritt ebenfalls einstückig gebildet. Zu diesem Zeitpunkt wird das Gießharz langsam genug eingespritzt, damit sich keine Luftblasen in dem Gießharz bilden. Ferner weist das Gießharz, das eingespritzt wird, bevorzugt eine Viskosität auf, die kleiner oder gleich 10 Pa·s ist.
In dem Schritt des Einspritzens des Gießharzes wird der absolute Druck im Innern der Spritzgießform für Harz 300 reduziert, um kleiner oder gleich 80 kPa zu sein, um das Gießharz anzusaugen. Durch diesen Schritt wird der Teil aus Harz 30 derart gebildet, dass es keine Lücken um die Hauptschaltungsleiter 10, die Hilfsschaltungsleiter 12 und die Anschlussklemmen 20 herum gibt.
Die Spritzgießform für Harz 300, in die das Harz eingespritzt wurde, wird unter Verwendung einer thermostatischen Kammer oder eines Ofens eine vorgeschriebene Zeit lang auf einer Aushärtungstemperatur erster Ordnung für das Gießharz gehalten. Nachdem die vorgeschriebene Zeit verstrichen ist, wird die isolierende Sammelschiene 100 aus der Spritzgießform für Harz 300 entnommen. Die isolierende Sammelschiene 100 wird dann unter Verwendung einer thermostatischen Kammer oder eines Ofens eine vorgeschriebene Zeit lang auf einer Aushärtungstemperatur zweiter Ordnung für das Gießharz gehalten.
Nachdem die vorgeschriebene Zeit verstrichen ist, wird die isolierende Sammelschiene 100 auf Raumtemperatur abgekühlt. Zu diesem Zeitpunkt kann die Abkühlgeschwindigkeit derart geregelt werden, dass das Abkühlen nicht plötzlich ist. Nach dem Abkühlen werden eine externe visuelle Untersuchung, ein elektrischer Test und dergleichen ausgeführt.
7 ist eine perspektivische Ansicht eines beispielhaften Formunterteils der Spritzgießform für Harz 300. Wie zuvor beschrieben, ist eine Vielzahl von Positionsfeststellnuten 308 an den Seitenwänden des Formunterteils der Spritzgießform für Harz 300 gebildet. Die Positionsfeststellnut 308 kann die entsprechenden Schaltungsleiter auf einer vorgeschriebenen Höhe halten. Ferner kann jeder Hauptschaltungsleiter 10 mit Öffnungen versehen sein, durch welche die Anschlussklemmen 20, die mit anderen Hauptschaltungsleitern 10 verbunden sind, gehen. Es können auch Öffnungen in den Hauptschaltungsleitern 10 gebildet sein, die in der höchsten Region angeordnet sind. Somit kann das Harz effizient zwischen den geschichteten Hauptschaltungsleitern 10 fließen.
8 zeigt einen beispielhaften Schritt des Einspritzens des Gießharzes in die Spritzgießform für Harz 300. Bei diesem Beispiel wird ein Schlauch 360 verwendet, um das Harz 352 in die Spritzgießform für Harz 300 aus einem Harzbehälter 350, der unterhalb der Spritzgießform für Harz 300 bereitgestellt wird, anzusaugen. Dabei bezieht sich der Begriff „unterhalb” auf etwas, das in Schwerkraftrichtung tiefer liegt.
Bevor das Harz wie zuvor beschrieben eingespritzt wird, wird der absolute Druck im Innern der Spritzgießform für Harz 300 reduziert, um kleiner oder gleich 80 kPa zu sein. Somit kann das Harz unter Verwendung des Schlauchs 360 in die Spritzgießform für Harz 300 eingespritzt werden. Wie bei diesem Beispiel gezeigt, sind die Luftblasen einfach aus dem Harz zu entfernen, indem das Harz von unterhalb der Spritzgießform für Harz 300 unter Verwendung des Schlauchs 360 angesaugt wird.
Die in 1 bis 8 beschriebenen isolierenden Sammelschienen 100 können vorteilhaft für Halbleitervorrichtungen verwendet werden, die mit Hochspannung funktionieren. Beispielsweise können die isolierenden Sammelschienen 100 für Halbleitervorrichtungen verwendet werden, die auf Hochspannungen funktionieren, die größer oder gleich 3,3 kV, größer oder gleich 7 kV oder größer oder gleich 10 kV sind.
Halbleitervorrichtungen aus Siliziumcarbid, die in den letzten Jahren entwickelt wurden, funktionieren auf Hochspannungen, doch Sammelschienen mit hohen Stehspannungen, die für Halbleitervorrichtungen aus Siliziumcarbid verwendet werden können, müssen noch entwickelt werden. Die isolierende Sammelschiene 100 kann beispielsweise für derartige Halbleitervorrichtungen aus Siliziumcarbid verwendet werden.
Die ganze isolierende Sammelschiene 100, mit Ausnahme der Erstreckungsteile der Hauptschaltungsleiter 10, ist mit dem Teil aus Harz 30 abgedeckt. Daher sind die Endflächen der Hauptschaltungsleiter 10 nicht von dem Teil aus Harz 30 freigelegt. Entsprechend kann, selbst wenn eine Vielzahl der Hauptschaltungsleiter 10 geschichtet wird, eine Entladung an den Endflächenteilen der Hauptschaltungsleiter 10 verhindert werden. Mit anderen Worten kann, selbst wenn der Abstand zwischen den Hauptschaltungsleitern 10 gering ist, eine Entladung zwischen den Hauptschaltungsleitern 10 verhindert werden. Entsprechend kann die isolierende Sammelschiene 100 sowohl eine niedrige Induktivität als auch eine hohe Stehspannung umsetzen.
Andererseits weist eine allgemeine laminierte Sammelschiene plattenförmige Leiter, isolierende Folien und Abstandshalter auf, die abwechselnd geschichtet sind. Eine derartige Sammelschiene setzt eine niedrige Induktivität um, indem sie einen geringen Abstand zwischen den Leitern aufweist. Da jedoch die beiden Endflächen jedes Leiters freigelegt sind, ist es leicht möglich, dass eine Entladung an den Endflächen vorkommt. Entsprechend ist es, wenn sie auf eine Art und Weise verwendet wird, die eine hohe Stehspannung erfordert, notwendig, den Abstand zwischen den Leitern zu erhöhen, und dadurch wird die Induktivität erhöht. Mit anderen Worten kann eine derartige Sammelschiene nicht sowohl eine hohe Stehspannung als auch eine geringe Induktivität umsetzen.
Falls zum Beispiel angenommen wird, dass die Nennspannung verdoppelt werden soll, ist es bei einer laminierten Sammelschiene notwendig, den Abstand zwischen den Leitern zu verdoppeln, um eine Teilentladung an den Enden zu verhindern. Wenn ferner eine laminierte Sammelschiene mit Durchgangslöchern versehen ist, um in ein Modul eingeschraubt zu werden, ist es notwendig, eine Kriechstrecke an den beiden laminierten Oberflächen sicherzustellen, und dadurch vergrößert sich die Sammelschienenstruktur. Da die isolierenden Folien und dergleichen, die in der laminierten Sammelschiene verwendet werden, zudem Kennzeichen aufweisen, die sich mit der Temperatur ändern, ist es schwierig, eine laminierte Sammelschiene in Umgebungen mit hohen Temperaturen zu verwenden.
Obwohl die Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung beschrieben wurden, ist der technische Umfang der Erfindung nicht auf die zuvor beschriebenen Ausführungsformen eingeschränkt. Es ist für den Fachmann ersichtlich, dass diverse Änderungen und Verbesserungen zu den zuvor beschriebenen Ausführungsformen hinzugefügt werden können. Es geht ebenfalls aus dem Umfang der Ansprüche hervor, dass die Ausführungsformen, zu denen diese Änderungen oder Verbesserungen hinzugefügt wurden, in dem technischen Umfang der Erfindung enthalten sein können. Obwohl zuvor mehrere Ausführungsformen beschrieben wurden, können spezifisch weitere Ausführungsformen der Erfindung durch Kombinationen von einigen, mehreren oder allen Merkmalen der obigen Ausführungsformen ausgebildet werden, und derartige Ausführungsformen sind als in dem vorliegenden Umfang der Offenbarung enthalten anzusehen.
Die Arbeitsgänge, Vorgehensweisen, Schritte und Phasen jedes Prozesses, der von einem Gerät, einem System einem Programm und einem Verfahren, die in den Ansprüchen, Ausführungsformen oder Diagrammen gezeigt werden, ausgeführt wird, können in einer beliebigen Reihenfolge ausgeführt werden, solange die Reihenfolge nicht durch „vor”, „bevor” oder dergleichen angegeben wird, und solange die Ausgabe eines vorhergehenden Prozesses nicht in einem späteren Prozess verwendet wird. Selbst wenn der Prozessablauf unter Verwendung von Redewendungen wie etwa „erste” oder „nächste” in die Ansprüchen, Ausführungsformen oder Diagrammen beschrieben wird, bedeutet dies nicht unbedingt, dass der Prozess in dieser Reihenfolge ausgeführt werden muss.
BEZUGSZEICHENLISTE

10: Hauptschaltungsleiter, 11: Ende, 12: Hilfsschaltungsleiter, 14: Wandstruktur, 20: Anschlussklemme, 22: Basisteil, 24: Verbindungsteil, 26: Einsetzloch, 28: elastischer Teil, 30: Teil aus Harz, 32: abdeckender Abschnitt, 34: unebener Teil, 100: isolierende Sammelschiene, 200: Modul, 210: Basis, 212: Wandstruktur, 222: Verbindungsteil, 224: Basissubstrat, 226: Halbleiterchip, 228: Anschlussklemme, 230: Teil aus Harz, 232: Leiterbild, 300: Spritzgießform für Harz, 302: Loch, 304: Positionsfeststellvorsprung, 306: Hohlraum, 308: Positionsfeststellnut, 310, 312: Nut, 350: Harzbehälter, 352: Harz, 360: Schlauch

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

JP 2010-129867 [0002]

Claims

Isolierende Sammelschiene, die mit einem Modul, auf dem ein Halbleiterchip montiert ist, verbunden ist, wobei die isolierende Sammelschiene Folgendes umfasst: eine Vielzahl von Schaltungsleitern; eine Vielzahl von Anschlussklemmen, die jeweils die Schaltungsleiter mit dem Modul elektrisch verbinden; und einen isolierenden Teil aus Harz, der zwischen jedem der Schaltungsleiter und mindestens einem Teil einer Region um jede Anschlussklemme herum einstückig gebildet ist und zwischen den Schaltungshalbleitern keine Lücken aufweist.
Isolierende Sammelschiene nach Anspruch 1, wobei der Teil aus Harz einen unebenen Teil aufweist, der eine Kriechstrecke zwischen zweien der Anschlussklemmen erweitert.
Isolierende Sammelschiene nach Anspruch 2, wobei der unebene Teil zwischen zweien der Anschlussklemmen bereitgestellt wird, die mit verschiedenen Schaltungsleitern der Vielzahl von Schaltungsleitern verbunden sind.
Isolierende Sammelschiene nach Anspruch 3, wobei der Teil aus Harz den unebenen Teil nicht zwischen mindestens zweien der Anschlussklemmen umfasst.
Isolierende Sammelschiene nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei mindestens einer der Schaltungsleiter mit einem Material abgedeckt ist, das eine höhere Haftfähigkeit als Nickel mit Bezug auf den Teil aus Harz aufweist.
Isolierende Sammelschiene nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei der Teil aus Harz durch ein katalytisch aushärtendes Harz gebildet wird.
Isolierende Sammelschiene nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei der Teil aus Harz durch ein Polyolefin-Harz oder ein Maleimid-Harz gebildet wird.
Isolierende Sammelschiene nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei jede Anschlussklemme ein Einsetzloch, durch das eine entsprechende Klemme eingesetzt wird, und einen elastischen Teil, der die entsprechende Klemme in das Einsetzloch drückt, umfasst.
Verfahren zum Herstellen einer isolierenden Sammelschiene, umfassend folgende Schritte: Anordnen einer Vielzahl von Schaltungsleitern und einer Vielzahl von Anschlussklemmen in vorbestimmten Positionen in einer Spritzgießform für Harz; und Bilden eines Teils aus Harz, der um die Vielzahl von Schaltungsleitern und die Vielzahl von Anschlussklemmen herum keine Lücken aufweist, durch Einspritzen eines isolierenden Harzes in die Spritzgießform für Harz in einem Zustand, in dem der absolute Druck im Innern der Spritzgießform für Harz reduziert wurde, um kleiner oder gleich 80 kPa zu sein.
Verfahren nach Anspruch 9, wobei das Bilden des Teils aus Harz das Einspritzen des Harzes mit einer Viskosität umfasst, die kleiner oder gleich 10 Pa·s ist.
Verfahren nach Anspruch 9 oder 10, wobei das Bilden des Teils aus Harz das Verwenden eines Schlauchs umfasst, um das Harz in die Spritzgießform für Harz aus einem Harzbehälter unterhalb der Spritzgießform für Harz anzusaugen.
Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 11, wobei die Spritzgießform für Harz Positionsfeststellvorsprünge umfasst, welche die Anschlussklemmen durch Eingreifen in die Anschlussklemmen positionieren.
Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 12, wobei das Bilden des Teils aus Harz das mit dem Teil aus Harz einstückige Bilden von unebenen Teilen, die eine Kriechstrecke zwischen den Anschlussklemmen erweitern, umfasst.