DE102015109984A1 - Scannerkopf mit integriertem Strahllagesensor sowie Justageanordnung zur Offline-Justage - Google Patents
Scannerkopf mit integriertem Strahllagesensor sowie Justageanordnung zur Offline-Justage Download PDFInfo
- Publication number
- DE102015109984A1 DE102015109984A1 DE102015109984.5A DE102015109984A DE102015109984A1 DE 102015109984 A1 DE102015109984 A1 DE 102015109984A1 DE 102015109984 A DE102015109984 A DE 102015109984A DE 102015109984 A1 DE102015109984 A1 DE 102015109984A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- scanner head
- laser beam
- beam position
- adjustment
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 42
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 34
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 26
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 11
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 32
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 17
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 11
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 9
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 8
- 230000001953 sensory effect Effects 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- BUHVIAUBTBOHAG-FOYDDCNASA-N (2r,3r,4s,5r)-2-[6-[[2-(3,5-dimethoxyphenyl)-2-(2-methylphenyl)ethyl]amino]purin-9-yl]-5-(hydroxymethyl)oxolane-3,4-diol Chemical compound COC1=CC(OC)=CC(C(CNC=2C=3N=CN(C=3N=CN=2)[C@H]2[C@@H]([C@H](O)[C@@H](CO)O2)O)C=2C(=CC=CC=2)C)=C1 BUHVIAUBTBOHAG-FOYDDCNASA-N 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000002372 labelling Methods 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000000844 transformation Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
- B23K26/082—Scanning systems, i.e. devices involving movement of the laser beam relative to the laser head
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/03—Observing, e.g. monitoring, the workpiece
- B23K26/032—Observing, e.g. monitoring, the workpiece using optical means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/04—Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
- B23K26/042—Automatically aligning the laser beam
- B23K26/043—Automatically aligning the laser beam along the beam path, i.e. alignment of laser beam axis relative to laser beam apparatus
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
- B23K26/0643—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms comprising mirrors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
- B23K26/0648—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms comprising lenses
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/0665—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by beam condensation on the workpiece, e.g. for focusing
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102015109984.5A DE102015109984A1 (de) | 2015-06-22 | 2015-06-22 | Scannerkopf mit integriertem Strahllagesensor sowie Justageanordnung zur Offline-Justage |
| CN201680036408.1A CN107771112B (zh) | 2015-06-22 | 2016-06-03 | 具有集成的光束位置传感器的扫描头以及用于离线校准的校准装置 |
| US15/736,905 US10773339B2 (en) | 2015-06-22 | 2016-06-03 | Scanning head with integrated beam position sensor and adjustment arrangement for an off-line adjustment |
| KR1020187000548A KR20180020207A (ko) | 2015-06-22 | 2016-06-03 | 빔 포지션 센서가 통합된 스캐너 헤드 및 오프라인 조정용 조정 장치 |
| PCT/EP2016/062577 WO2016206943A1 (de) | 2015-06-22 | 2016-06-03 | Scannerkopf mit integriertem strahllagesensor sowie justageanordnung zur offline-justage |
| JP2017566141A JP6821606B2 (ja) | 2015-06-22 | 2016-06-03 | ビーム位置センサを有する走査ヘッドおよび調整装置 |
| EP16726594.1A EP3310519B1 (de) | 2015-06-22 | 2016-06-03 | Justageanordnung zur offline-justage mit einem scannerkopf mit integriertem strahllagesensor sowie entsprechendes justageverfahren unterverwendung einer solchen justageanordnung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102015109984.5A DE102015109984A1 (de) | 2015-06-22 | 2015-06-22 | Scannerkopf mit integriertem Strahllagesensor sowie Justageanordnung zur Offline-Justage |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE102015109984A1 true DE102015109984A1 (de) | 2016-12-22 |
Family
ID=56097133
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE102015109984.5A Ceased DE102015109984A1 (de) | 2015-06-22 | 2015-06-22 | Scannerkopf mit integriertem Strahllagesensor sowie Justageanordnung zur Offline-Justage |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10773339B2 (enExample) |
| EP (1) | EP3310519B1 (enExample) |
| JP (1) | JP6821606B2 (enExample) |
| KR (1) | KR20180020207A (enExample) |
| CN (1) | CN107771112B (enExample) |
| DE (1) | DE102015109984A1 (enExample) |
| WO (1) | WO2016206943A1 (enExample) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102017125120A1 (de) * | 2017-10-26 | 2019-05-02 | Scanlab Gmbh | Steuerungsverfahren zur Bewegungsführung eines Laserstrahls mit Interpolation der Fokuslage und/oder Strahlrichtung |
| WO2020020931A1 (fr) * | 2018-07-24 | 2020-01-30 | Laser Engineering Applications | Méthode et dispositif optique pour fournir deux faisceaux laser décalés |
| EP3689526A1 (en) * | 2019-01-31 | 2020-08-05 | General Electric Company | System and method for automated laser ablation |
| WO2023072362A1 (de) | 2021-10-25 | 2023-05-04 | Trumpf Lasersystems For Semiconductor Manufacturing Gmbh | Euv-lichtquelle mit einer strahllagestelleinrichtung |
Families Citing this family (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6487413B2 (ja) * | 2016-12-22 | 2019-03-20 | ファナック株式会社 | レーザ加工用ヘッドおよびそれを備えたレーザ加工システム |
| US10705327B2 (en) | 2018-01-02 | 2020-07-07 | Industrial Technology Research Institute | Light emitting method and light emitting device |
| DE102018105877B3 (de) * | 2018-03-14 | 2019-02-28 | Precitec Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung für die Bestimmung einer Ausrichtung einer optischen Vorrichtung eines Kohärenztomographen, Kohärenztomograph und Laserbearbeitungssystem |
| KR102106068B1 (ko) * | 2018-05-09 | 2020-05-04 | (주)엔피에스 | 레이저 장치 |
| DE112019004004T5 (de) * | 2018-08-09 | 2021-05-20 | Corning Incorporated | Systeme, verfahren und geräte zum maschinengebundenen profilieren eines laserstrahls |
| DE102018219129B3 (de) * | 2018-11-09 | 2019-11-07 | Trumpf Laser Gmbh | Verfahren und Computerprogrammprodukt zur OCT-Messstrahljustierung |
| CN109483047B (zh) * | 2018-11-15 | 2019-12-31 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种激光光束终端指向检测与校正方法及激光加工装置 |
| DE102019115554A1 (de) * | 2019-06-07 | 2020-12-10 | Bystronic Laser Ag | Bearbeitungsvorrichtung zur Laserbearbeitung eines Werkstücks und Verfahren zur Laserbearbeitung eines Werkstücks |
| US11305377B2 (en) * | 2019-12-23 | 2022-04-19 | Precitec Gmbh & Co. Kg | Add-on module for interposing between a control device and a laser machining head of a laser machining system |
| US20230166359A1 (en) | 2020-04-30 | 2023-06-01 | Nikon Corporation | Processing system |
| PT3907317T (pt) * | 2020-05-08 | 2022-05-06 | Jeanologia Sl | Dispositivo e processo para o tratamento a laser de calças que compreende dois manequins |
| US20230341679A1 (en) | 2020-08-18 | 2023-10-26 | Nikon Corporation | Optical apparatus and processing apparatus |
| DE102020122319B4 (de) * | 2020-08-26 | 2023-12-14 | Jenoptik Optical Systems Gmbh | Verfahren und Steuergerät zur Kalibrierung einer Laser-Scanner-Vorrichtung zur Materialbearbeitung sowie Computerprogramm und maschinenlesbares Speichermedium |
| JP7240774B2 (ja) * | 2020-10-16 | 2023-03-16 | 国立大学法人信州大学 | 光学ユニット及びレーザー加工装置 |
| JP2022065693A (ja) * | 2020-10-16 | 2022-04-28 | 国立大学法人信州大学 | 光学ユニット、並びにレーザー加工装置、レーザー加工方法、及び三次元加工装置 |
| DE102020214566B4 (de) | 2020-11-19 | 2023-08-03 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Bestimmungsvorrichtung zur Bestimmung der Lage und Richtung eines Laserstrahls und System und Verfahren zum Einstellen der Lage und Richtung eines Laserstrahls |
| CN112846485B (zh) * | 2020-12-31 | 2022-11-04 | 武汉华工激光工程有限责任公司 | 激光加工的监测方法、装置及激光加工设备 |
| JP2023067484A (ja) * | 2021-11-01 | 2023-05-16 | キヤノン株式会社 | 光軸検出装置、光軸補正装置、加工装置、および、物品の製造方法 |
| DE102021130944A1 (de) | 2021-11-25 | 2023-05-25 | Jenoptik Optical Systems Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum Bestimmen eines Strahlverlaufs eines Strahls und Laseranlage |
| KR102728044B1 (ko) * | 2022-07-18 | 2024-11-08 | (주)알엔알랩 | 기판 처리 장치 및 방법 |
| CN119115265B (zh) * | 2024-11-14 | 2025-01-24 | 西南交通大学 | 一种激光切割材料板的方法 |
| CN119566543A (zh) * | 2024-12-20 | 2025-03-07 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种用于复杂结构的激光三维体制造装置及方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE29612073U1 (de) * | 1996-07-11 | 1997-11-06 | Sator, Alexander Paul, 20249 Hamburg | Vorrichtung zur Überprüfung von Werkstückflächen, die mit Hilfe eines Laserstrahls markiert und/oder bearbeitet werden |
| DE102004053298A1 (de) | 2004-08-26 | 2006-03-30 | ARGES Gesellschaft für Industrieplanung und Lasertechnik m.b.H. | Scankopf als Teil einer Laser Bohr- und Schneideinrichtung |
| DE102006047277A1 (de) * | 2006-10-04 | 2008-04-10 | Lt Ultra-Precision-Technology Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Laserstrahlbearbeiten |
| DE102012111090A1 (de) * | 2012-11-19 | 2014-03-20 | Scanlab Ag | Vorrichtung zur Änderung der Länge eines Strahlenganges |
| DE102013222834A1 (de) | 2013-11-11 | 2015-05-13 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Führung eines Laserstrahls |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10137962A (ja) | 1996-11-07 | 1998-05-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ光学系 |
| US6548796B1 (en) * | 1999-06-23 | 2003-04-15 | Regents Of The University Of Minnesota | Confocal macroscope |
| US7358157B2 (en) * | 2002-03-27 | 2008-04-15 | Gsi Group Corporation | Method and system for high-speed precise laser trimming, scan lens system for use therein and electrical device produced thereby |
| US20030222143A1 (en) * | 2002-06-04 | 2003-12-04 | Mitchell Phillip V. | Precision laser scan head |
| DE10335501B4 (de) | 2002-07-31 | 2005-01-27 | Kuka Schweissanlagen Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Schweißen oder Schneiden mit Laserstrahl |
| JP2005118815A (ja) | 2003-10-16 | 2005-05-12 | Hitachi Via Mechanics Ltd | レーザ加工方法およびレーザ加工装置 |
| WO2008118365A1 (en) * | 2007-03-22 | 2008-10-02 | General Lasertronics Corporation | Methods for stripping and modifying surfaces with laser-induced ablation |
| US9511448B2 (en) * | 2009-12-30 | 2016-12-06 | Resonetics, LLC | Laser machining system and method for machining three-dimensional objects from a plurality of directions |
| DE102010005896A1 (de) * | 2010-01-27 | 2010-10-14 | Daimler Ag | Laserschweißroboter und -verfahren sowie damit hergestelltes Bauteil |
-
2015
- 2015-06-22 DE DE102015109984.5A patent/DE102015109984A1/de not_active Ceased
-
2016
- 2016-06-03 WO PCT/EP2016/062577 patent/WO2016206943A1/de not_active Ceased
- 2016-06-03 EP EP16726594.1A patent/EP3310519B1/de active Active
- 2016-06-03 JP JP2017566141A patent/JP6821606B2/ja active Active
- 2016-06-03 US US15/736,905 patent/US10773339B2/en active Active
- 2016-06-03 CN CN201680036408.1A patent/CN107771112B/zh active Active
- 2016-06-03 KR KR1020187000548A patent/KR20180020207A/ko not_active Withdrawn
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE29612073U1 (de) * | 1996-07-11 | 1997-11-06 | Sator, Alexander Paul, 20249 Hamburg | Vorrichtung zur Überprüfung von Werkstückflächen, die mit Hilfe eines Laserstrahls markiert und/oder bearbeitet werden |
| DE102004053298A1 (de) | 2004-08-26 | 2006-03-30 | ARGES Gesellschaft für Industrieplanung und Lasertechnik m.b.H. | Scankopf als Teil einer Laser Bohr- und Schneideinrichtung |
| DE102006047277A1 (de) * | 2006-10-04 | 2008-04-10 | Lt Ultra-Precision-Technology Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Laserstrahlbearbeiten |
| DE102012111090A1 (de) * | 2012-11-19 | 2014-03-20 | Scanlab Ag | Vorrichtung zur Änderung der Länge eines Strahlenganges |
| DE102013222834A1 (de) | 2013-11-11 | 2015-05-13 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Führung eines Laserstrahls |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102017125120A1 (de) * | 2017-10-26 | 2019-05-02 | Scanlab Gmbh | Steuerungsverfahren zur Bewegungsführung eines Laserstrahls mit Interpolation der Fokuslage und/oder Strahlrichtung |
| WO2019081452A1 (de) * | 2017-10-26 | 2019-05-02 | Scanlab Gmbh | Steuerungsverfahren zur bewegungsführung eines laserstrahls mit interpolation der fokuslage und/oder strahlrichtung |
| WO2020020931A1 (fr) * | 2018-07-24 | 2020-01-30 | Laser Engineering Applications | Méthode et dispositif optique pour fournir deux faisceaux laser décalés |
| US12005519B2 (en) | 2018-07-24 | 2024-06-11 | Laser Engineering Applications | Optical device and method for providing two offset laser beams |
| EP3689526A1 (en) * | 2019-01-31 | 2020-08-05 | General Electric Company | System and method for automated laser ablation |
| US11724335B2 (en) | 2019-01-31 | 2023-08-15 | General Electric Company | System and method for automated laser ablation |
| WO2023072362A1 (de) | 2021-10-25 | 2023-05-04 | Trumpf Lasersystems For Semiconductor Manufacturing Gmbh | Euv-lichtquelle mit einer strahllagestelleinrichtung |
| TWI818774B (zh) * | 2021-10-25 | 2023-10-11 | 德商創浦半導體製造雷射系統公司 | 具有光束定位裝置的euv光源 |
| US12171054B2 (en) | 2021-10-25 | 2024-12-17 | TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing SE | EUV light source with a beam positioning device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2018525227A (ja) | 2018-09-06 |
| US20180169788A1 (en) | 2018-06-21 |
| CN107771112A (zh) | 2018-03-06 |
| JP6821606B2 (ja) | 2021-01-27 |
| KR20180020207A (ko) | 2018-02-27 |
| CN107771112B (zh) | 2020-06-05 |
| EP3310519B1 (de) | 2019-11-13 |
| WO2016206943A1 (de) | 2016-12-29 |
| US10773339B2 (en) | 2020-09-15 |
| EP3310519A1 (de) | 2018-04-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP3310519B1 (de) | Justageanordnung zur offline-justage mit einem scannerkopf mit integriertem strahllagesensor sowie entsprechendes justageverfahren unterverwendung einer solchen justageanordnung | |
| DE102018105877B3 (de) | Vorrichtung für die Bestimmung einer Ausrichtung einer optischen Vorrichtung eines Kohärenztomographen, Kohärenztomograph und Laserbearbeitungssystem | |
| DE102015012565B3 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Erhöhung der Genauigkeit eines OCT-Messsystems für die Lasermaterialbearbeitung | |
| DE102014113283B4 (de) | Vorrichtung zur Remote-Laserbearbeitung mit Sensor-Scannereinrichtung | |
| DE102016106648B4 (de) | Kalibrierverfahren für ein Sensor-Ablenksystem einer Laserbearbeitungsvorrichtung sowie Kalibriersystem zur Durchführung eines derartigen Kalibrierverfahrens | |
| DE19963010B4 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Laserbearbeitung von Werkstücken | |
| WO2017153408A1 (de) | Achsenkalibrieren einer strahlbearbeitungsmaschine | |
| EP2621662B1 (de) | Vorrichtung und verfahren für die bearbeitung von material mit fokussierter elektromagnetischer strahlung | |
| DE102015102111A1 (de) | Mehrkopf-Laseranlage mit Sensoreinheit | |
| DE102017215973A1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Strahllage eines Laserstrahls | |
| EP3313607B1 (de) | Laserbearbeitungskopf und laserbearbeitungsmaschine damit | |
| EP2933600A1 (de) | Verfahren und messsystem zum ermitteln der ausrichtung einer ersten riemenscheibe eines riemenantriebs in bezug auf eine zweite riemenscheibe des riemenantriebs | |
| EP3146293B1 (de) | Vorrichtung und verfahren zur geometrischen vermessung eines objekts | |
| WO2014056476A1 (de) | Laserstrahlrichtsystem und verfahren zur ausrichtung von optikkomponenten des laserstrahlrichtsystems | |
| DE112004002986B4 (de) | Prüfanlage zur zerstörungsfreien Materialprüfung | |
| DE102017210166A1 (de) | System und Verfahren zur Positionierungsmessung | |
| EP4506096A2 (de) | Verfahren zum kalibrieren eines laserbearbeitungssystems sowie laserbearbeitungssystem zur durchführung des verfahrens | |
| DE102011101509C5 (de) | Verfahren zur optischen Vermessung einer Welle | |
| DE102017201794B4 (de) | Prüfvorrichtung als Bestandteil eines Reflektometers zur Bestimmung einer Strahllage eines Lichtstrahls | |
| EP3833930B1 (de) | Vorrichtung und verfahren zur geometrischen vermessung eines objekts | |
| DE102017210098B4 (de) | Scanvorrichtung mit einer Scankopfvorrichtung zum Reflektieren oder Transmittieren von Strahlen für einen Scanner sowie Verfahren zum Reflektieren oder Transmittieren von Strahlen für einen Scanner | |
| DE102015117276B4 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Vermessen eines Messobjekts mit verbesserter Messgenauigkeit | |
| DE102022113157B3 (de) | Verfahren zur Bestimmung eines korrigierten Höhensignals aus Messdaten, die mittels optischer Kohärenztomographie gewonnen wurden, und zugehörige Messvorrichtung | |
| DE102023116430A1 (de) | Optische Kohärenztomografie-Vorrichtung für ein Laserbearbeitungssystem sowie Laserbearbeitungssystem mit derselben | |
| WO2025180978A1 (de) | Verfahren zur korrektur der bildfeldebene einer scanneroptik eines lasersystems |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R163 | Identified publications notified | ||
| R012 | Request for examination validly filed | ||
| R081 | Change of applicant/patentee |
Owner name: SCANLAB GMBH, DE Free format text: FORMER OWNER: SCANLAB AG, 82178 PUCHHEIM, DE |
|
| R082 | Change of representative |
Representative=s name: PATENTANWAELTE CANZLER & BERGMEIER PARTNERSCHA, DE |
|
| R016 | Response to examination communication | ||
| R002 | Refusal decision in examination/registration proceedings | ||
| R003 | Refusal decision now final |