DE102014115280A1

DE102014115280A1 - Magnetronanordnung

Info

Publication number: DE102014115280A1
Application number: DE102014115280.8A
Authority: DE
Inventors: Sebastian Siegert; Gerit STUDE; Gerd Arnold; Florian Wiegand
Original assignee: Von Ardenne GmbH
Current assignee: Von Ardenne Asset GmbH and Co KG
Priority date: 2014-10-20
Filing date: 2014-10-20
Publication date: 2016-04-21
Anticipated expiration: 2034-10-21
Also published as: WO2016062698A1; DE102014115280B4

Abstract

Eine Magnetronanordnung (100, 200, 250, 300, 400, 700) kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen Folgendes aufweisen: eine Prozesskammerwand (102); eine erste Endblock-Anordnung (104) und eine zweite Endblock-Anordnung (106), welche ein Endblockpaar zum drehbaren Lagern und Versorgen einer Rohrkathode (108) bilden; eine Sockelanordnung (114, 154, 314, 414, 514, 714) an welcher die erste Endblock-Anordnung (104) befestigt ist; wobei die Prozesskammerwand (102) eine erste Befestigungsanordnung (124) zum Befestigen der Sockelanordnung (114, 154, 314, 414, 514, 714) an der Prozesskammerwand (102) aufweisen kann und eine zweite Befestigungsanordnung (126) zum Befestigen der zweiten Endblock-Anordnung (106) an der Prozesskammerwand (102) aufweisen kann; wobei mittels der ersten Befestigungsanordnung (124) und der zweiten Befestigungsanordnung (126) eine relative Lage der ersten Endblock-Anordnung (104) zu der zweiten Endblock-Anordnung (106) definiert sein kann; und wobei die Sockelanordnung (114, 154, 314, 414, 514, 714) zum Auslenken der ersten Endblock-Anordnung entlang zumindest zweier Freiheitsgrade relativ zu der Prozesskammerwand (102) ausgebildet sein kann.

Description

Die Erfindung betrifft eine Magnetronanordnung.
Im Allgemeinen können Werkstücke oder Substrate prozessiert oder behandelt, z.B. bearbeitet, beschichtet, erwärmt, geätzt und/oder strukturell verändert werden. Ein Verfahren zum Beschichten eines Substrats ist die Kathodenzerstäubung, das so genannte Sputtern oder die Sputterdeposition. Zum Sputtern kann mittels einer Kathode ein plasmabildendes Gas (das sogenannte Arbeitsgas) ionisiert werden und mit dem dabei gebildeten Plasma ein abzuscheidendes Material, das so genannte Targetmaterial, zerstäubt werden. Das zerstäubte Targetmaterial kann anschließend zu einem Substrat gebracht werden, an dem es sich anlagern und eine Schicht bilden kann.
Eine Modifikation der Kathodenzerstäubung ist beispielsweise das Sputtern mittels eines Magnetrons, das so genannte Magnetronsputtern. Zum Magnetronsputtern kann das Bilden des Plasmas mittels eines Magnetfeldes unterstützt werden, welches die Ionisationsrate des plasmabildenden Gases beeinflussen kann. Dabei kann ein intensives Plasma in Form eines Plasmakanals gebildet werden, welcher dem Verlauf des Magnetfeldes folgt. Ein gleichmäßiges Abtragen von Targetmaterial kann es erfordern, dieses relativ zu dem Plasmakanal und damit zu dem Magnetfeld zu bewegen. Dazu kann die Kathode rohrförmig eingerichtet sein, als so genannte Rohrkathode, welche ein Targetgrundrohr (auch Trägerrohr genannt) aufweisen kann, dessen äußere Mantelfläche zumindest teilweise von Targetmaterial bedeckt ist. Im Inneren des Targetgrundrohrs kann ein Magnetsystem zum Erzeugen des Magnetfeldes angeordnet sein, so dass beim Drehen des Targetgrundrohrs um das Magnetsystem das auf dem Targetgrundrohr angeordnete Targetmaterial unter dem Plasmakanal hindurch bewegt und dabei schichtweise abgetragen und zerstäubt werden kann.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können zum drehbaren Lagern und Versorgen einer Rohrkathode verwendete Komponenten (z.B. Drehdurchführung, Wälzlager, mechanischer Antrieb, elektrische Zuführung und/oder Dichtung) als ein so genannter Endblock bereitgestellt sein oder werden. Zwei solcher Endblöcke können ein Endblockpaar bilden zum Halten einer Rohrkathode an ihren einander gegenüberliegenden Endabschnitten und können zum Prozessieren eines Substrats in einer dazu geeigneten Prozessierkammer montiert sein oder werden.
Zum drehbaren Lagern einer Rohrkathode werden die Endblöcke des Endblockpaars derart montiert, dass deren Wälzlager (bzw. die Drehachse der Wälzlager) möglichst fluchtend aufeinander ausgerichtet sind. Selbst ein geringer Achsversatz und/oder Winkelversatz (welche sich überlagern können) der Wälzlager (bzw. deren Drehachsen) zueinander, kann die Montage der Rohrkathode erschweren und/oder die Wälzlager zusätzlich mechanisch belasten aufgrund des damit verbundenen Kippmoments auf die Wälzlager. Diese mechanische Beanspruchung kann die Lebensdauer der Wälzlager erheblich verkürzen und daher zusätzliche Wartungskosten verursachen.
Zum Ausrichten der Endblöcke des Endblockpaars wird deren Befestigung an der Prozessierkammer herkömmlicherweise gelockert und/oder diese lediglich locker befestigt, so dass die Endblöcke relativ zueinander bewegbar sind. Anschließend wird die an den Endblöcken befestigte Rohrkathode in eine Drehbewegung versetzt, so dass sich die Endblöcke an der Drehbewegung der Rohrkathode ausrichten. Alternativ erfolgt das Ausrichten der Endblöcke des Endblockpaars herkömmlicherweise mittels eines Laserpointers. Die Befestigung der so ausgerichteten Endblöcke wird nach dem Ausrichten wieder angezogen, so dass die Endblöcke in dieser Lage fixiert sind. Allerdings können selbst bei sorgfältigem Ausrichten der Endblöcke zueinander sowohl ein Achsversatz als auch ein Winkelversatz verbleiben.
Zusätzlich kann die Rohrkathode herkömmlicherweise an einem ihrer Endabschnitte mittels eines Auflagers gelagert sein zum Ausgleichen eines Winkelversatzes. Der damit erreichte Ausgleich ist allerdings begrenzt und kann in bestimmten Anwendungsfällen unzureichend sein, wie beispielsweise der in geringem Maße ermöglichte Ausgleich eines Achsversatzes mittels eines Auflagers. Ein Auflager kann reibungsbehaftet und dadurch sehr träge sein. Kleine Stöße können daher keine oder geringe Verschiebung im Auflager bewirken, und die Last vorwiegend in andere Komponenten übertragen (z.B. Wälzlager) werden.
Zusätzlich oder alternativ werden die Endblöcke des Endblockpaars herkömmlicherweise fest mit der Rohrkathode verbunden, so dass sich die Rohrkathode der eingestellten Flucht der Endblöcke fügt, wodurch allerdings eine mechanisch überbestimmte Verbindung mit der Rohrkathode entstehen kann, welche zu zusätzlichen mechanischen Belastungen der Wälzlager führen kann, da diese alle auftretenden Kräfte aufnehmen.
Ferner unterliegt die Fertigung einer Rohrkathode (z.B. des Trägerrohrs) gewissen Fertigungstoleranzen, welche dazu beitragen, dass die Rohrkathode von einer idealen, z.B. rotationssymmetrischen, Form abweicht. Zusätzlich können äußere Einwirkungen auf die Rohrkathode während ihrer Lagerung, Fertigung und Verwendung, Transport, z.B. Stöße gegen die Rohrkathode und/oder thermische Belastungen, zu einer Verformung aus einer idealen Form der Rohrkathode beitragen. Anschaulich kann eine zu montierende Rohrkathode beispielsweise leicht gekrümmt sein. Daher kann die Rohrkathode selbst in sorgfältig zueinander fluchtend ausgerichteten Endblöcken aus der Drehachse der Wälzlager ausgelenkt sein, wodurch ein Kippmoment auf die Wälzlager des Endblocks übertragen werden kann.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine Magnetronanordnung zum Sputtern bereitgestellt, welche das Lagern und Montieren einer Rohrkathode vereinfacht. Dazu kann die Magnetronanordnung eine Sockelanordnung aufweisen, welche zwischen einem Endblock des Endblockpaars und der Prozessierkammer montiert sein oder werden kann und ein Auslenken des daran befestigten Endblocks ermöglicht. Mit anderen Worten kann die Sockelanordnung z.B. ein Verschieben ein Kippen, ein Schwenken und/oder ein Verdrehen des Endblocks ermöglichen, so dass sich dieser an der Rohrkathode ausrichten kann und das Kippmoment in dem Endblock reduziert wird. Dadurch kann eine kraft- und momentenreduzierte Lagerung einer Rohrkathode (Targetlagerung) in den Endblöcken des Endblockpaars erreicht werden. Beispielsweise können die an den Wälzlagern und den Dichtungen auftretenden mechanischen Belastungen mittels der Sockelanordnung erheblich reduziert werden. Mit anderen Worten können die auftretenden Momente und/oder Kräfte auf die Wälzlager des Endblockpaars mittels der Sockelanordnung ausgeglichen und/oder aufgenommen werden. Dies kann die Lebensdauer eines Endblocks des Endblockpaars vergrößern und damit verbundene Wartungskosten sowie Anschaffungskosten reduzieren. Die Prozesssicherheit kann damit erhöht werden.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann z.B. der auslenkbar gelagerte Endblock einen Achsversatz und/oder Winkelversatz der Endblöcke des Endblockpaars zueinander, welcher beim Montieren der Endblöcke ohne zusätzliches Ausrichten dieser verbleiben kann, ausgleichen. Dies ermöglicht es auf das zusätzliche Ausrichten (z.B. nach dem Montieren) der Endblöcke des Endblockpaars zu verzichten und somit Montagezeit und Aufwand einzusparen.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird z.B. ein Anpassen der Lage der Endblöcke zueinander während des Betriebs der Magnetronanordnung (mit anderen Worten während die Rohrkathode gedreht wird) ermöglicht, z.B. ein wechselseitiges Auslenken einer gekrümmten Kathode aus deren Rotationsachse während deren Drehung. Mit anderen Worten können der Achsversatz und/oder der Winkelversatz zeitabhängig an eine Lage der Rohrkathode anpassbar sein.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird z.B. ermöglicht Rohrkathoden mit größeren Fertigungstoleranzen zu verwenden. Beispielsweise können die Fertigungstoleranzen einer verwendeten Rohrkathode die Lebensdauer der Endblöcke in einer Magnetronanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen nur noch unerheblich beeinträchtigen. Eine solche Magnetronanordnung kann beispielsweise für Anwendungsfälle eingesetzt werden, in denen die Fertigungstoleranzen der verwendeten Rohrkathode nicht oder nur geringfügig beeinflussbar sind. Ferner können Rohrkathoden mit größeren Fertigungstoleranzen kostensparender hergestellt werden und somit die Wirtschaftlichkeit der Magnetronanordnung (z.B. deren Anschaffung) steigern.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Sockelanordnung mit einer bestehenden Magnetronanordnung und/oder bestehenden Endblockpaaren kombiniert werden. Die Sockelanordnung kann dazu derart eingerichtet sein, dass diese zu den bestehenden Befestigungsanordnungen der Prozessierkammer und Endblöcken der Magnetronanordnung passt. Dies ermöglicht es, eine bestehende Prozessieranordnung kostengünstig umzurüsten.
Eine Magnetronanordnung kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen Folgendes aufweisen: eine Prozesskammerwand (welche beispielsweise Teil einer Prozessierkammer sein kann); eine erste Endblock-Anordnung und eine zweite Endblock-Anordnung, welche ein Endblockpaar zum drehbaren Lagern und Versorgen einer Rohrkathode bilden können; und eine Sockelanordnung an welcher die erste Endblock-Anordnung befestigt sein kann; wobei die Prozesskammerwand eine erste Befestigungsanordnung zum Befestigen der Sockelanordnung an der Prozesskammerwand und eine zweite Befestigungsanordnung zum Befestigen der zweiten Endblock-Anordnung an der Prozesskammerwand aufweisen kann; wobei mittels der ersten Befestigungsanordnung und der zweiten Befestigungsanordnung eine relative Lage der ersten Endblock-Anordnung zu der zweiten Endblock-Anordnung definiert sein kann; und wobei die Sockelanordnung zum Auslenken der ersten Endblock-Anordnung entlang zumindest zweier Freiheitsgrade relativ zu der Prozesskammerwand ausgebildet sein kann. Beispielsweise kann die Sockelanordnung zum Auslenken der ersten Endblock-Anordnung aus der relativen Lage ausgebildet sein.
Die relative Lage der ersten Endblock-Anordnung zu der zweiten Endblock-Anordnung kann beispielsweise den benötigten Abstand der ersten Endblock-Anordnung zu der zweiten Endblock-Anordnung und/oder eine Ausrichtung der ersten Endblock-Anordnung zu der zweiten Endblock-Anordnung beschreiben, welche benötigt werden zum Montieren einer Rohrkathode zwischen den zwei Endblock-Anordnungen. Eine Rohrkathode kann beispielsweise eine Länge in einem Bereich von ungefähr 1 m bis ungefähr 6 m aufweisen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 2 m bis ungefähr 5 m, z.B. in einem Bereich von ungefähr 3 m bis ungefähr 4 m.
Eine Befestigungsanordnung kann ein Verbindungselement aufweisen, z.B. einen Bolzen, einen Gewindestift, eine Niete, eine Klammer, eine Gewindemutter oder eine Schraube. Ferner kann eine Befestigungsanordnung eine passende Öffnung (oder auch eine Vertiefung) zum Aufnehmen eines Verbindungselements aufweisen, z.B. eine Durchgangsöffnung, ein Sackloch oder eine Gewindebohrung, z.B. Durchgangsöffnungen in der Prozesskammerwand in welche Schrauben eingesteckt sein oder werden können. Beispielsweise kann eine Befestigungsanordnung das Befestigen der Sockelanordnung und/oder einer Endblock-Anordnung mittels einer Schraubverbindung oder Nietverbindung ermöglichen.
Die erste Befestigungsanordnung kann der Sockelanordnung eine Lage (z.B. eine räumliche Position und/oder eine räumliche Ausrichtung) vorgeben in welcher die Sockelanordnung an der Prozesskammerwand montiert sein oder werden kann. Analog kann die zweite Befestigungsanordnung der zweiten Endblock-Anordnung eine Lage vorgeben in welcher die zweite Endblock-Anordnung an der Prozesskammerwand montiert sein oder werden kann. Die Sockelanordnung kann einen Auslenkbereich, z.B. einen räumlichen Bereich und/oder einen Winkelbereich, vorgeben, in welchem die erste Endblock-Anordnung auslenkbar, z.B. um eine Achse herum drehbar/schwenkbar (rotatorischer Freiheitsgrad) und/oder entlang einer Richtung bewegbar (translatorischer Freiheitsgrad), ist. Dieser von der Sockelanordnung vorgegebene Auslenkbereich kann eine relative Lage der ersten Endblock-Anordnung zu der zweiten Endblock-Anordnung definieren. Die relative Lage kann z.B. den Auslenkbereich umfassen, in welchem die erste Endblock-Anordnung auslenkbar ist. Beispielsweise kann der Auslenkbereich einen maximalen Winkelversatz und/oder einen maximalen Achsversatz zwischen den Endblock-Anordnungen definieren, welchen die Sockelanordnung ermöglicht.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Sockelanordnung eine Drehbewegung der ersten Endblock-Anordnung um einen Winkel (mit anderen Worten eine Winkelauslenkung) in einem Bereich von ungefähr –1° bis ungefähr +1° ermöglichen, z.B. in einem Bereich von ungefähr –0,5° bis ungefähr +0,5°, z.B. in einem Bereich von ungefähr –0,25° bis ungefähr +0,25°, z.B. in einem Bereich von ungefähr –0,1° bis ungefähr +0,1°. Die Winkelauslenkung, um welche die erste Endblock-Anordnung schwenkbar ist, kann einen Winkelversatz der Endblöcke des Endblockpaars zueinander um die Winkelauslenkung ermöglichen. Der Winkelversatz kann als Winkel zwischen den Drehachsen der Endblöcke des Endblockpaars verstanden werden. Die Drehachse eines Endblocks kann von einem Lager des Endblocks, z.B. einem Wälzlager des Endblocks, (mit anderen Worten von der Rotationslagerung des Endblocks) definiert sein.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Sockelanordnung eine Bewegung (mit anderen Worten eine lineare Auslenkung) des ersten Endblocks entlang einer Richtung in einem Bereich von ungefähr –1 mm bis ungefähr +1 mm ermöglichen, z.B. in einem Bereich von ungefähr –0,5 mm bis ungefähr +0,5 mm, z.B. in einem Bereich von ungefähr –0,3 mm bis ungefähr +0,3 mm, z.B. in einem Bereich von ungefähr –0,2 mm bis ungefähr +0,2 mm, z.B. in einem Bereich von ungefähr –0,1 mm bis ungefähr +0,1 mm. Die lineare Auslenkung, entlang welcher die erste Endblock-Anordnung bewegbar ist, kann einen Achsversatz der Endblöcke des Endblockpaars zueinander um die lineare Auslenkung ermöglichen. Der Achsversatz kann als geringster Abstand der Drehachsen der Endblöcke zueinander verstanden werden, welche die Drehachsen entlang einer Richtung quer zu jeder der zwei Drehachsen (entlang der so genannten Minimaltransversalen) aufweisen. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Sockelanordnung zum Überlagern der Winkelauslenkung der ersten Endblock-Anordnung und der lineare Auslenkung der ersten Endblock-Anordnung ausgebildet sein.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Endblock-Anordnung einen Endblock zum Versorgen der Rohrkathode mit einem Medium (z.B. mit einem Kühlmittel) und/oder mit elektrischer Energie, einen so genannten Medienendblock, aufweisen, wobei die andere Endblock-Anordnung einen Endblock zum Versorgen der Rohrkathode mit mechanischer Energie, einen so genannten Antriebsendblock, aufweisen kann. Das Medium und/oder die mechanische Energie können dem Endblock von außerhalb der Prozessierkammer durch eine Kammerwand der Prozessierkammer hindurch mittels einer Versorgungsanordnung der Endblock-Anordnung zugeführt werden. Mit anderen Worten können die antreibenden Komponenten der Versorgungsanordnung (z.B. Welle, Getriebe und/oder Riemen) Teil der Endblock-Anordnung mit dem Antriebsendblock und die versorgenden Komponenten der Versorgungsanordnung (z.B. die elektrischen Zuführung und/oder die Kühlmittelzuführung) Teil der Endblock-Anordnung mit dem Medienendblock sein.
Eine Endblock-Anordnung des Endblockpaars kann ferner derart eingerichtet sein, dass die Rohrkathode ausgewechselt werden kann, nachdem beispielsweise das Targetmaterial verbraucht ist. Mit anderen Worten kann die Rohrkathode abnehmbar an der Endblock-Anordnung befestigt sein oder werden. Dazu kann die Rohrkathode an einem Endabschnitt oder an beiden (axialen) Endabschnitten mittels jeweils einer Endblock-Anordnung, welche zusammen ein Endblockpaar bilden, gelagert sein. Beispielsweise kann eine Endblock-Anordnung (z.B. mit dem Antriebsendblock) eine Hohlwelle aufweisen, in welche ein Endabschnitt der Rohrkathode eingesteckt sein oder werden kann. Alternativ kann eine Endblock-Anordnung (z.B. mit dem Medienendblock) eine Kupplung aufweisen, an welche die Rohrkathode angeschlossen werden kann, so dass die Rohrkathode mit einer Rohrleitung im Inneren der Endblock-Anordnung vakuumdicht verbunden sein kann zum Leiten von Kühlmittel durch die Rohrkathode hindurch. Jede Endblock-Anordnung des Endblockpaars kann ein Teil einer Magnetronanordnung sein, wie hierin beschrieben ist.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Endblock-Anordnung einen Endblock mit einem Basisgehäuse aufweisen, wobei die Komponenten zum drehbaren Lagern der Rohrkathode, z.B. ein Wälzlager, eine Dichtung und/oder eine Welle, von dem Basisgehäuse abgestützt sein können. Das Basisgehäuse kann z.B. vakuumdicht und druckstabil eingerichtet sein, so dass im Inneren des Endblocks ein Druck größer als in der Prozessierkammer erzeugt werden kann. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Endblock-Anordnung ein Abdeckgehäuse zum Schützen des Endblocks vor beeinträchtigenden Einflüssen des Sputterns, z.B. vor zerstäubten Material, vor dem zerstäubenden Einfluss von Plasma oder Erwärmung, aufweisen. Das Abdeckgehäuse kann das Basisgehäuse beispielsweise umgeben und von dem Basisgehäuse des Endblocks gestützt werden, z.B. thermisch und/oder elektrisch von dem Basisgehäuse isoliert.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Sockelanordnung von einer Durchgangsöffnung (einer so genannten Versorgungsöffnung) zum Aufnehmen einer Versorgungsanordnung durchdrungen sein. Die Sockelanordnung kann beispielsweise derart eingerichtet sein (z.B. entsprechende Dichtungen aufweisen), dass das Innere der Durchgangsöffnung abdichtbar, z.B. gegenüber einem Äußeren der Sockelanordnung, ist. Die Sockelanordnung kann beispielsweise derart eingerichtet sein, dass die Versorgungsanordnung mit einer Durchgangsöffnung in der Prozesskammerwand und/oder mit einem Inneren eines Endblocks verbunden sein oder werden kann, z.B. vakuumdicht.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die erste Befestigungsanordnung einen ersten Einsteckabschnitt zum Einstecken der Sockelanordnung aufweisen und/oder die zweite Befestigungsanordnung kann einen zweiten Einsteckabschnitt zum Einstecken der zweiten Endblock-Anordnung aufweisen. Eine Befestigungsanordnung kann beispielsweise einen Einsteckabschnitt in Form einer Aussparung, z.B. einer Öffnung oder einer Vertiefung in der Prozesskammerwand oder in Form eines von der Prozesskammerwand vorstehenden Vorsprungs, z.B. in Form eines Bunds (z.B. eines Ringbunds), aufweisen, in welche die Sockelanordnung und/oder eine Endblock-Anordnung eingesteckt werden kann.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können der erste Einsteckabschnitt und der zweite Einsteckabschnitt zum Zentrieren der ersten Endblock-Anordnung und der Sockelanordnung in der relativen Lage zueinander ausgebildet sein. Beispielsweise kann ein Einsteckabschnitt zum Zentrieren in Form einer so genannten Zentrieraussparung ausgebildet sein. Beispielsweise kann eine Endblock-Anordnung derart eingerichtet sein, dass ein Abschnitt des Basisgehäuses (z.B. ein so genannter Zentrierbund) der Endblock-Anordnung in einen Einsteckabschnitt einsteckbar ist. Eine Zentrieraussparung in der Prozesskammerwand kann zu einem Zentrierbund eines daran zu befestigenden Bauteils, z.B. einer Sockelanordnung oder eines Endblocks, passend eingerichtet sein zum Zentrieren des Bauteils in der Zentrieraussparung.
Analog kann die Sockelanordnung einen Einsteckabschnitt (auch als dritter Einsteckabschnitt bezeichnet) aufweisen, in welchen die erste Endblock-Anordnung eingesteckt werden kann. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der dritte Einsteckabschnitt zum Zentrieren der ersten Endblock-Anordnung in der relativen Lage zu der zweiten Endblock-Anordnung ausgebildet sein.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der erste Einsteckabschnitt Teil einer die Prozesskammerwand durchdringenden ersten Durchgangsöffnung sein, in welche die Sockelanordnung einsteckbar sein kann, und der zweite Einsteckabschnitt kann Teil einer die Prozesskammerwand durchdringenden zweiten Durchgangsöffnung sein, in welche die zweite Endblock-Anordnung einsteckbar sein kann. Die erste Durchgangsöffnung und die zweite Durchgangsöffnung können zum Aufnehmen einer Versorgungsstruktur ausgebildet sein.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Sockelanordnung ein federelastisches Element aufweisen, welches eine Ruhelage der ersten Endblock-Anordnung relativ zu der zweiten Endblock-Anordnung definiert, aus welcher die erste Endblock-Anordnung auslenkbar ist, z.B. um die lineare Auslenkung und/oder die Winkelauslenkung. Das federelastische Element kann zum Erzeugen einer Rückstellkraft in Richtung der Ruhelage ausgebildet sein, wobei die Rückstellkraft erzeugt werden kann, wenn die erste Endblock-Anordnung aus der Ruhelage ausgelenkt ist.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Sockelanordnung zum Auslenken der ersten Endblock-Anordnung relativ zu einer Drehachse einer mittels des Endblockpaars drehbar gelagerten Rohrkathode ausgebildet sein. Mit anderen Worten kann die Sockelanordnung zum Auslenken der ersten Endblock-Anordnung im Betrieb (d.h. während des Sputterns und Drehens) der Rohrkathode ausgebildet sein. Anschaulich kann die Drehachse, um welche eine Rohrkathode gedreht wird, als zeitlich und räumlich konstant betrachtet werden. Ist die Rohrkathode z.B. gekrümmt, ist diese asymmetrisch aus der Drehachse ausgelenkt. Ist beispielsweise ein Endabschnitt der Rohrkathode asymmetrisch aus der Drehachse ausgelenkt, mit anderen Worten zu der Drehachse versetzt, kann dessen Versatz um die Drehachse rotieren, wenn die Rohrkathode gedreht wird. Von der Sockelanordnung kann dieser Versatz aufgenommen werden.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann jede Endblock-Anordnung des Endblockpaars eine Versorgungsanordnung zum Versorgen einer Rohrkathode mit einem oder mehreren Medien (z.B. Kühlmittel, z.B. Pneumatik, z.B Schmiermittel) und/oder mit mechanischer Energie aufweisen.
Eine Magnetronanordnung kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen Folgendes aufweisen: eine Prozesskammerwand; eine Endblock-Anordnung und einen Lagerbock, welche zusammen zum drehbaren Lagern und Versorgen einer Rohrkathode eingerichtet sind; eine Sockelanordnung an welcher die Endblock-Anordnung befestigt ist; wobei die Prozesskammerwand eine erste Befestigungsanordnung zum Befestigen der Sockelanordnung an der Prozesskammerwand aufweist und eine zweite Befestigungsanordnung zum Befestigen des Lagerbocks an der Prozesskammerwand aufweist; wobei mittels der ersten Befestigungsanordnung und der zweiten Befestigungsanordnung eine relative Lage der Endblock-Anordnung zu dem Lagerbock definiert ist; und wobei die Sockelanordnung zum Auslenken der Endblock-Anordnung entlang zumindest zweier Freiheitsgrade relativ zu der Prozesskammerwand ausgebildet ist.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Endblock-Anordnung zum Antreiben und Versorgen der Rohrkathode eingerichtet sein, wobei der Lagerbock lediglich zum drehbaren Lagern der Rohrkathode eingerichtet sein kann. Der Lagerbock kann mit anderen Worten ein Gegenlager zu der Endblock-Anordnung bilden, an welchem ein Endabschnitt der Rohrkathode gestützt sein kann.
Die Kammerwand kann Teil eines Kammergehäuses oder eines Kammerdeckels der Prozessierkammer sein. Anschaulich kann sich die dem Endblockpaar (im montierten Zustand) zugewandte Seite der Kammerwand (auch prozessseitig oder vakuumseitig genannt) während eines Sputterprozesses im Inneren der Prozessierkammer befinden und die dem Endblockpaar abgewandte Seite (auch atmosphärenseitig genannt) der Kammerwand kann sich während eines Sputterprozesses außerhalb der Prozessierkammer befinden.
Ist die Kammerwand Teil eines Kammerdeckels, kann die Prozessierkammer ein Kammergehäuse mit einer Kammeröffnung zum Aufnehmen des Kammerdeckels aufweisen. Der Kammerdeckel kann die Kammeröffnung vakuumdicht verschließen, wenn der Kammerdeckel in der Kammeröffnung aufgenommen ist, so dass die Prozessierkammer abgepumpt werden kann zum Bilden eines Vakuums und/oder einer Prozessatmosphäre innerhalb der Prozessierkammer. Zum Öffnen des Kammergehäuses kann der Kammerdeckel von dem Kammergehäuse abnehmbar eingerichtet sein und/oder an dem Kammergehäuse schwenkbar befestigt sein.
Eine Magnetronanordnung kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen Folgendes aufweisen: einen Prozesskammerdeckel (Kammerdeckel) zum Abdecken einer Prozesskammeröffnung (Kammeröffnung) in einer Prozesskammer (auch als Prozessierkammer bezeichnet), wobei der Prozesskammerdeckel einen Einsteckabschnitt, z.B. in Form einer Vertiefung und/oder einer Öffnung, aufweisen kann; eine erste Endblock-Anordnung und eine zweite Endblock-Anordnung, welche ein Endblockpaar zum drehbaren Lagern einer Rohrkathode bilden; wobei die zweite Endblock-Anordnung in den Einsteckabschnitt zumindest teilweise eingesteckt sein kann, z.B. derart, dass diese starr mit dem Prozesskammerdeckel verbunden sein kann (mit anderen Worten kann der Einsteckabschnitt zum starren Verbinden der zweite Endblock-Anordnung mit dem Prozesskammerdeckel ausgebildet sein); und wobei die erste Endblock-Anordnung entlang zumindest zweier Freiheitsgrade auslenkbar gegenüber der zweiten Endblock-Anordnung an dem Prozesskammerdeckel gelagert sein kann.
Eine Magnetronanordnung kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen Folgendes aufweisen: einen Kammerdeckel zum Abdecken einer Kammeröffnung; eine erste Endblock-Anordnung und eine zweite Endblock-Anordnung, welche ein Endblockpaar zum drehbaren Lagern und Versorgen einer Rohrkathode bilden; eine Sockelanordnung zum Kuppeln der ersten Endblock-Anordnung mit dem Prozesskammer-Deckel; wobei der Kammerdeckel einen ersten Einsteckabschnitt, z.B. in Form einer Vertiefung, aufweisen kann, in welchen die Sockelanordnung zumindest teilweise eingesteckt sein kann, und wobei der Kammerdeckel einen zweiten Einsteckabschnitt, z.B. in Form einer Vertiefung, aufweisen kann, in welchen die zweite Endblock-Anordnung zumindest teilweise eingesteckt sein kann, so dass eine relative Lage der zweiten Endblock-Anordnung zu der Sockelanordnung mittels der Einsteckabschnitte definiert sein kann; und wobei die Sockelanordnung derart eingerichtet sein kann, dass die erste Endblock-Anordnung entlang zumindest zweier Freiheitsgrade auslenkbar mit dem Prozesskammer-Deckel gekuppelt sein kann.
Die Sockelanordnung kann derart eingerichtet sein, dass die erste Endblock-Anordnung entlang mehrerer Freiheitsgrade auslenkbar sein kann, z.B. entlang zweier oder dreier translatorischer Freiheitsgrade, entlang zweier oder dreier rotatorischer Freiheitsgrade, entlang eines, zweier oder dreier translatorischer Freiheitsgrade und eines rotatorischen Freiheitsgrads, entlang eines, zweier oder dreier translatorischer Freiheitsgrade und zweier rotatorischer Freiheitsgrade oder entlang eines, zweier oder dreier translatorischer Freiheitsgrade und dreier rotatorischer Freiheitsgrade.
Ein rotatorischer Freiheitsgrad (auch Rotationsfreiheitsgrad genannt) kann als Drehung um eine Achse verstanden werden. Ein translatorischer Freiheitsgrad (auch Translationsfreiheitsgrad genannt) kann als Bewegung (z.B. Verschiebung) entlang einer Richtung verstanden werden. Die Anzahl der Freiheitsgrade kann als Zahl der voneinander unabhängigen Bewegungsmöglichkeiten, z.B. als Zahl zueinander quer verlaufender Richtungen/Achsen, verstanden werden, entlang/um welcher/welche ein System bewegt werden kann, bzw. entlang/um welcher/welche die erste Endblock-Anordnung ausgelenkt werden kann.
Die Magnetronanordnung kann ferner eine Rohrkathode zum Sputtern aufweisen (d.h. ein so genanntes Rohrmagnetron bilden). Zum Sputtern kann die Magnetronanordnung innerhalb einer Prozessierkammer angeordnet und an einer Kammerwand der Prozessierkammer befestigt sein oder werden. Die Magnetronanordnung und die Prozessierkammer können Teil einer Prozessieranordnung sein. Die Prozessieranordnung kann ferner ein Transportsystem zum Transportieren eines zu beschichtenden Substrats in der Prozessierkammer aufweisen.
Ferner sollte das Sputtern in einem Vakuum erfolgen. Dazu kann die Prozessierkammer als Vakuumkammer eingerichtet und mit einem Pumpensystem gekoppelt sein, so dass innerhalb der Prozessierkammer ein Vakuum und/oder ein Unterdruck bereitgestellt sein oder werden kann. Ferner kann die Prozessierkammer derart eingerichtet sein, dass die Umgebungsbedingungen (die Prozessbedingungen) innerhalb der Prozessierkammer (z.B. Druck, Temperatur, Gaszusammensetzung, usw.) während des Sputterns eingestellt oder geregelt werden können. Die Prozessierkammer kann dazu beispielsweise luftdicht, staubdicht und/oder vakuumdicht eingerichtet sein oder werden. Beispielsweise kann der Prozessierkammer ein ionenbildendes Gas (Prozessgas) oder ein Gasgemisch (z.B. aus einem Prozessgas und einem Reaktivgas) mittels einer Gaszuführung zugeführt werden zum Bilden einer Prozessatmosphäre in der Prozessierkammer. Bei einem reaktiven Magnetronsputtern kann das zerstäubte Targetmaterial mit dem Reaktivgas reagiert und das Reaktionsprodukt abgeschieden werden. Eine Magnetronanordnung, wie hierin beschrieben ist, kann beispielsweise für eine Prozessieranordnung (z.B. eine Vakuumbeschichtungsanlage) mit einem Rohrmagnetron eingesetzt werden.
Die Prozessierkammer kann derart ausgebildet und betrieben sein oder werden, dass innerhalb der Prozessierkammer ein Vakuum, bzw. eine Prozessatmosphäre, mit einem Druck von weniger als 1 mbar erzeugt werden, z.B. von weniger als 10^–2 mbar, z.B. von weniger als 10^–4 mbar, z.B. von weniger als 10^–6 mbar.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Figuren dargestellt und werden im Folgenden näher erläutert.
Es zeigen
1A und 1B jeweils eine Magnetronanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht;
2A und 2B jeweils eine Magnetronanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Draufsicht;
3A und 3B jeweils eine Magnetronanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht;
4 eine Magnetronanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht; und
5 eine Sockelanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht.
6 ein Abdeckgehäuse gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht.
7 eine Magnetronanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht
In der folgenden ausführlichen Beschreibung wird auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, die Teil dieser sind und in denen zur Veranschaulichung spezifische Ausführungsformen gezeigt werden, in denen die Erfindung ausgeübt werden kann. In dieser Hinsicht wird Richtungsterminologie wie etwa „oben“, „unten“, „vorne“, „hinten“, „vorderes“, „hinteres“, usw. mit Bezug auf die Orientierung der beschriebenen Figur(en) verwendet. Da Komponenten von Ausführungsformen in einer Anzahl verschiedener Orientierungen positioniert werden können, dient die Richtungsterminologie zur Veranschaulichung und ist auf keinerlei Weise einschränkend. Es versteht sich, dass andere Ausführungsformen benutzt und strukturelle oder logische Änderungen vorgenommen werden können, ohne von dem Schutzumfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Es versteht sich, dass die Merkmale der hierin beschriebenen verschiedenen beispielhaften Ausführungsformen miteinander kombiniert werden können, sofern nicht spezifisch anders angegeben. Die folgende ausführliche Beschreibung ist deshalb nicht in einschränkendem Sinne aufzufassen, und der Schutzumfang der vorliegenden Erfindung wird durch die angefügten Ansprüche definiert.
Im Rahmen dieser Beschreibung werden die Begriffe "verbunden", "angeschlossen" sowie "gekoppelt" verwendet zum Beschreiben sowohl einer direkten als auch einer indirekten Verbindung, eines direkten oder indirekten Anschlusses sowie einer direkten oder indirekten Kopplung. In den Figuren werden identische oder ähnliche Elemente mit identischen Bezugszeichen versehen, soweit dies zweckmäßig ist.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine mechanische Befestigungsmethode für einen Medienendblock und/oder einen Antriebsendblock bereitgestellt, welche die auftretenden Freiheitsgrade des Systems (z.B. drei Translationsfreiheitsgrade und drei Rotationsfreiheitsgrade) zumindest teilweise, z.B. bis zu einer spezifischen Grenze (der maximalen Winkelauslenkung und/oder maximalen linearen Auslenkung) frei hält. Dadurch kann eine kraft- und momentenreduzierte Lagerung (bezogen auf die Toleranzen der Rohrkathode) der Rohrkathode (auch als Targetrohr bezeichnet) erreicht werden. Ein solches statisch vollständig bestimmtes System kann die Lebensdauer der Rotationslagerung (z.B. der Wälzlager) und der Dichtungen in den Endblöcken positiv beeinflussen.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die technologischen Parameter (z.B. Target-Substrat-Abstand) einer bestehenden Prozessieranordnung beibehalten werden, wenn diese mit einer Sockelanordnung, wie hierin beschrieben ist, umgerüstet wird.
1A veranschaulicht eine Magnetronanordnung 100 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht (z.B. quer zu einer Drehachse der Endblock-Anordnungen);
Die Magnetronanordnung 100 kann eine Prozesskammerwand 102 zum Halten von Endblock-Anordnung(en) aufweisen. Ferner kann die Magnetronanordnung 100 eine erste Endblock-Anordnung 104 und eine zweite Endblock-Anordnung 106 aufweisen. Ferner kann die Magnetronanordnung 100 eine Sockelanordnung 114 aufweisen, an welcher die erste Endblock-Anordnung 104 befestigt sein oder werden kann. Jede der Endblock-Anordnungen 104, 106 kann zumindest einen Endblock aufweisen. Beispielsweise kann die erste Endblock-Anordnung 104 einen Medienendblock und die zweite Endblock-Anordnung 106 einen Antriebsendblock aufweisen.
Die Prozesskammerwand 102 kann eine erste Befestigungsanordnung 124 aufweisen, mittels welcher die Sockelanordnung 114 an der Prozesskammerwand 102 befestigt sein oder werden kann. Ferner kann die Prozesskammerwand 102 eine zweite Befestigungsanordnung 126 aufweisen, mittels welcher die zweite Endblock-Anordnung 106 an der Prozesskammerwand 102 befestigt sein oder werden kann. Die Befestigungsanordnungen 124, 126 können beispielsweise eine oder mehrere Durchgangsöffnungen in der Prozesskammerwand 102 aufweisen, durch welche hindurch Schrauben in die Sockelanordnung 114 und/oder die zweite Endblock-Anordnung 106 geschraubt sein oder werden können, z.B. in ein Basisgehäuse der zweiten Endblock-Anordnung 106.
Mittels der ersten Befestigungsanordnung 124 und mittels der zweiten Befestigungsanordnung 126 kann eine relative Lage der ersten Endblock-Anordnung 104 zu der zweiten Endblock-Anordnung 106 definiert (z.B. vorgegeben) sein, z.B. ein Abstand (in Richtung 101) und/oder eine Ausrichtung (z.B. eine Winkellage) zueinander. Beispielsweise können die erste Endblock-Anordnung 104 und die zweite Endblock-Anordnung 106 in einem Abstand zueinander und mit ihren Drehachsen fluchtend zueinander ausgerichtet sein.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Sockelanordnung 114 derart eingerichtet sein, dass die erste Endblock-Anordnung 104 entlang zumindest zweier Freiheitsgrade, z.B. entlang zweier oder dreier translatorischer Freiheitsgrade oder einer anderen Kombination von Freiheitsgraden, wie hierin beschrieben ist, relativ zu der Prozesskammerwand 102 auslenkbar ist. Beispielsweise kann die erste Endblock-Anordnung 104 zumindest entlang der Hochachse (entlang Richtung 105) und/oder in einer Ebene quer zur Hochachse, z.B. quer zur Prozesskammerwand 102 (z.B. entlang Richtung 101) auslenkbar sein.
1B veranschaulicht eine Magnetronanordnung 150 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht (analog zu 1A).
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Magnetronanordnung 150 eine Rohrkathode 108 oder ein Trägerrohr einer Rohrkathode 108 aufweisen. Die Rohrkathode 108 kann zum Sputtern mittels der ersten Endblock-Anordnung 104 und der zweiten Endblock-Anordnung 106 um eine Drehachse (z.B. entlang Richtung 101) der Rohrkathode 108 drehbar gelagert sein oder werden.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Sockelanordnung 154 ein federelastisches Element 114f (hier vereinfacht als Feder dargestellt) aufweisen. Das federelastische Element 114f kann als ein Bauelement verstanden werden, welches unter Belastung nachgeben (z.B. sich dehnen oder stauchen) und nach Entlastung in die ursprüngliche Gestalt zurückkehren kann, d.h. sich elastisch rückstellend verhält (mit anderen Worten reversibel Verformen kann). Mit anderen Worten kann das federelastische Element 114f bis zu einer Elastizitätsgrenze gedehnt/gestaucht werden ohne sich dabei plastisch zu verformen oder nur geringfügig plastisch zu verformen (z.B. mit weniger als 0,2% bleibender Verformung) oder ohne zu brechen. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann sich das federelastische Element 114f bis zu einer Verformung von mehr als ungefähr 1%, z.B. von mehr als ungefähr 10%, z.B. von mehr als ungefähr 50%, z.B. von mehr als ungefähr 100%, elastisch rückstellend verhalten. Ein federelastisches Element 114f aus einem Elastomer gebildet, kann sich z.B. auch zu mehr als 100% verformen lassen, z.B. zu mehr als 150%. Die Verformung kann als Verhältnis der Längenänderung (oder Breitenänderung) zur ursprünglichen Länge (oder Breite) eines gedehnten oder gestauchten federelastischen Elements 114f verstanden werden. Wird das federelastische Element 114f gedehnt/gestaucht kann dieses eine Rückstellkraft erzeugen, welche entgegen des Dehnens/Stauchens gerichtet ist. Die Rückstellkraft (gemessen bei konstanter Dehnung/Stauchung) kann umso größer sein, desto härter das federelastische Element 114f ist, d.h. desto größer dessen Federkonstante ist.
Die Elastizitätsgrenze und/oder die Federkonstante des federelastischen Elements 114f können von dem Material und/oder einer Form des federelastischen Elements 114f beeinflusst sein oder werden. Die Federkonstante des federelastischen Elements 114f kann umso größer sein, desto größer ein Elastizitätsmodul des elastischen Materials ist oder desto größer eine Materialstärke des elastischen Materials ist (d.h. desto massiver das federelastische Element 114f ausgebildet ist). Die Federkonstante des federelastischen Elements 114f kann beispielsweise umso größer sein, desto größer die Härte, z.B. die Shorehärte, des elastischen Materials ist. Für eine vorgegebene Federkonstante kann das federelastische Element 114f umso massiver (z.B. im Form einer Platte oder eines Zylinders, z.B. als Elastomerfeder) ausgebildet sein, desto kleiner das Elastizitätsmodul des elastischen Materials ist.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das federelastische Element 114f ein elastisches Material mit einem kleinen Elastizitätsmodul (z.B. kleiner als 10 kN/mm², z.B. kleiner als 1 kN/mm², z.B. kleiner als 0,1 kN/mm², z.B. kleiner als 0,05 kN/mm² (z.B. bei Kautschuk)) aufweisen, beispielsweise einen Kunststoff, wie ein Elastomer ein Polymer oder ein Co-Polymer, einen Gummi, Silikon, Silikonkautschuk, fluorierter Silikonkautschuk, Naturkautschuk oder einen anderen geeigneten (z.B. weichen und/oder vakuumtauglichen) Kunststoff. Beispielsweise kann das Polymer oder das Co-Polymer Silizium aufweisen.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das federelastische Element 114f ein elastisches Material mit einem großen Elastizitätsmodul (z.B. größer als 10 kN/mm²) aufweisen, z.B. ein Metall, wie z.B. Stahl (z.B. Federstahl) oder eine Metalllegierung oder eine intermetallische Verbindung. Beispielsweise kann das federelastische Element 114f eine Metallfeder (z.B. in Form einer Tellerfeder, Schenkelfeder, Torsionsfeder, Blattfeder, oder einer anderen Federform) aufweisen.
Das federelastische Element 114f kann eine Ruhelage (z.B. eine räumliche Position oder räumliche Ausrichtung) der ersten Endblock-Anordnung 104 relativ zu der zweiten Endblock-Anordnung 106 definieren. Ist die erste Endblock-Anordnung 104 z.B. aus der Ruhelage ausgelenkt, kann mittels des federelastischen Elements 114f eine Rückstellkraft erzeugt werden, welche in Richtung der Ruhelage gerichtet ist. Mit anderen Worten kann die Ruhelage der ersten Endblock-Anordnung 104 die relative Lage der ersten Endblock-Anordnung 104 zu der zweiten Endblock-Anordnung 106 definieren.
2A veranschaulicht eine Magnetronanordnung 200 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Draufsicht, z.B. quer zur Drehachse der Rohrkathode 108, z.B. mit einer Blickrichtung entlang der Kammerwand oder einer Blickrichtung quer zur Kammerwand, z.B. quer zur Richtung 101.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Magnetronanordnung 200 eine erste Endblock-Anordnung 104 (vergleiche 1A) mit einem ersten Endblock 204 und eine zweite Endblock-Anordnung 106 (vergleiche 1A) mit einem zweiten Endblock 206 aufweisen.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Sockelanordnung (in 2A nicht dargestellt, vergleiche z.B. 1A oder 1B) eine Drehbewegung des ersten Endblocks 204 um einen Winkel 201w ermöglichen, z.B. entlang einer Richtung 201, wobei die Richtung 201 in einer Ebene liegen kann, welche z.B. entlang der Drehachse der Rohrkathode 108, z.B. entlang Richtung 101, verlaufen kann.
Die Drehbewegung kann einen Winkelversatz der Drehachsen der zwei Endblöcke 204, 206 zueinander ermöglichen, z.B. einen Winkelversatz in der Größe des Winkels 201w.
2B veranschaulicht eine Magnetronanordnung 250 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Draufsicht, analog zu 2B.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Sockelanordnung (in 2B nicht dargestellt, vergleiche z.B. 1A oder 1B) eine Bewegung des ersten Endblocks 204 um eine Strecke 203t ermöglichen, z.B. entlang einer Richtung 203, z.B. quer zur Drehachse der Rohrkathode 108, z.B. quer zur Richtung 101.
Die Bewegung kann einen Achsversatz der Drehachsen der zwei Endblock-Anordnungen 104, 106 ermöglichen, z.B. einen Achsversatz in der Größe der Strecke 203t.
Analog kann die Sockelanordnung eine Bewegung des ersten Endblocks 204 um die Strecke 203t ermöglichen, z.B. quer zur Richtung 203, z.B. entlang der Drehachse der Rohrkathode 108, z.B. entlang zur Richtung 101. Dies kann es ermöglichen, mittels der Sockelanordnung eine thermische Ausdehnung der Rohrkathode zu auszugleichen.
3A und 3B veranschaulichen jeweils eine Magnetronanordnung 300 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammerwand 102 in Form eines Kammerdeckels 302 ausgebildet sein. Der Kammerdeckel 302 kann ein Deckelgehäuse 102g aufweisen, welches zum Aufnehmen von Komponenten zum Versorgen der Rohrkathode 108 ausgebildet ist. Beispielsweise können in dem Deckelgehäuse 102g ein Antrieb zu Drehen der Rohrkathode 108, eine Pumpe zum Fördern von Kühlmittel, z.B. Kühlwasser, eine Rohrleitung zum Zuführen des geforderten Kühlmittels, ein Ausgleichsbehälter zum Vorhalten von Kühlmittel, elektrische Versorgungsleitungen und elektrische Anschlüsse zum Versorgen der Rohrkathode 108 mit elektrischer Energie oder ähnliche Komponenten angeordnet sein.
Wie in 3A dargestellt ist, kann jede Endblock-Anordnung 104, 106 der Magnetronanordnung 300 mittels einer Sockelanordnung 314, wie hierin beschrieben ist, befestigt sein oder werden und entlang dreier translatorische Freiheitsgrade, z.B. entlang Achse X, entlang Achse Y und entlang Achse Z, auslenkbar sein. Zusätzlich kann jede Endblock-Anordnung 104, 106 der Magnetronanordnung 300 entlang dreier rotatorischer Freiheitsgrade, z.B. um Achse X, um Achse Y und um Achse Z, auslenkbar sein.
Mittels der Magnetronanordnung 300 wird somit eine elastische Aufhängung einer Endblock-Anordnung 104, 106 (z.B. mit einem Medienendblock) am Kammerdeckel 302 (auch als Prozessdeckel oder Magnetrondeckel bezeichnet) ermöglicht, welche mehrere Freiheitsgrade, z.B. insgesamt sechs Freiheitsgrade pro Endblock-Anordnung 104, 106, in den Grenzen der maximalen Winkelauslenkung und/oder maximalen linearen Auslenkung offen lässt, so dass alle Auswirkungen der Fertigungstoleranzen einer Rohrkathode 108 (auch als Targettoleranzen bezeichnet) mittels der elastischen Aufhängung (an der Befestigungsstelle) ausgeglichen werden können.
Wird die erste Endblock-Anordnung 104 des Endblockpaars, z.B. die Endblock-Anordnung mit dem Medienendblock, mittels einer Sockelanordnung, wie hierin beschrieben ist, auslenkbar gelagert, kann es ausreichen, die zweite Endblock-Anordnung 106 des Endblockpaars, z.B. die Endblock-Anordnung mit dem Antriebsendblock, fest (z.B. starr) an dem Kammerdeckel 302 zu befestigen, z.B. mit dem Kammerdeckel 302 zu verschrauben. Die fest an dem Kammerdeckel 302 befestigte Endblock-Anordnung 106 kann eine reduzierte Anzahl an Freiheitsgraden aufweisen, beispielsweise können Rotationsfreiheitsgrade um diejenigen Achsen (z.B. Achse X und Achse Y) entfallen, welche quer zu einer Fläche liegen, z.B. einer planen Auflagefläche an einem Flansch oder einer Oberfläche 102o des Kammerdeckels 302, an welcher die Endblock-Anordnung 106, bzw. der Endblock der Endblock-Anordnung 106, an dem Kammerdeckel 302 befestigt ist oder werden kann.
Weist die zweite Befestigungsanordnung 126 (vergleiche 1A) des Kammerdeckels 302, an welcher die zweite Endblock-Anordnung 106 fest befestigt ist, einen Einsteckabschnitt (in 3B nicht gezeigt, vergleiche z.B. 4) auf, z.B. eine so genannte Zentrieraussparung, entfallen drei Translationsfreiheitsgrade. Übrig bleibt in diesem Fall z.B. die Rotation um die Hochachse (Achse Z), wobei die Hochachse senkrecht zu der Fläche 102o verlaufen kann. Die Rotation um die Hochachse kann eingeschränkt sein oder werden, z.B. aufgrund eines Durchmessers der Durchgangsöffnungen (z.B. Durchgangsbohrungen) der zweiten Befestigungsanordnung 126 des Kammerdeckels 302, an welcher die zweite Endblock-Anordnung 106 fest befestigt ist, d.h. der Verschraubung der zweiten Endblock-Anordnung 106 mit dem Kammerdeckel 302 (z.B. einem Deckelblech). Analog kann auch die erste Endblock-Anordnung 104 an dem Kammerdeckel 302 befestigt sein oder werden und die zweite Endblock-Anordnung mittels einer Sockelanordnung 314, wie hierin beschrieben ist, befestigt werden.
4 veranschaulicht eine Magnetronanordnung 400 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht (analog zu 1A) mit einer Sockelanordnung 414.
Die Sockelanordnung 414 kann ein erstes Sockelelement 114a aufweisen, welches mittels der ersten Befestigungsanordnung 124 an der Prozesskammerwand 102 (Kammerwand) befestigt sein oder werden kann. Ferner kann die Sockelanordnung 414 ein zweites Sockelelement 114b aufweisen, welches eine Befestigungsanordnung 424, z.B. mehrere Schrauben oder Gewindestäbe zum Befestigen einer Endblock-Anordnung, z.B. der ersten Endblock-Anordnung 104, wie in 4 dargestellt ist, an dem zweiten Sockelelement 114b aufweisen kann. Das erste Sockelelement 114a und das zweite Sockelelement 114b können für ein Ineinandergreifen mit Spiel ausgebildet sein, so dass das zweite Sockelelement 114a relativ zu dem ersten Sockelelement 114b auslenkbar ist. Wie in 4 dargestellt ist, kann das erste Sockelelement 114a eine Nut 114n und das zweite Sockelelement 114b einen Vorsprung 114v aufweisen, welcher in die Nut 114n eingesteckt sein oder werden kann. Die Nut 114n und der Vorsprung 114v können derart ausgebildet sein, dass zwischen den zwei Sockelelementen 114a, 114b ein Spalt verbleiben kann, wenn diese ineinander gesteckt sind, welcher das Auslenken der zwei Sockelelemente 114a, 114b relativ zueinander ermöglicht.
Die Sockelelemente 114a, 114b der Sockelanordnung können z.B. aus einem Metall gefertigt sein oder werden, z.B. aus Stahl oder Aluminium.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammerwand 102 einen ersten Einsteckabschnitt als Teil einer Durchgangsöffnung 402o aufweisen, in welche ein Einsteckabschnitt der Sockelanordnung 414 in Form eines Zentrierbunds 114r eingesteckt sein kann. Analog dazu kann die Prozesskammerwand 102 einen zweiten Einsteckabschnitt in Form einer Durchgangsöffnung (nicht dargestellt) aufweisen, in welchen die zweite Endblock-Anordnung 106, z.B. ein Einsteckabschnitt des Endblocks 206 der zweiten Endblock-Anordnung 106, eingesteckt sein oder werden kann.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der erste Einsteckabschnitt zum Zentrieren der Sockelanordnung 414 in einer vorgegebenen Lage relativ zu der Prozesskammerwand 102 ausgebildet sein. Beispielsweise kann der Zentrierbund 114r der Sockelanordnung 414 formschlüssig in die Durchgangsöffnung 402o der Prozesskammerwand 102 greifen. Analog dazu kann der zweite Einsteckabschnitt zum Zentrieren der zweiten Endblock-Anordnung 106 in einer vorgegebenen Lage relativ zu der Prozesskammerwand 102 ausgebildet sein.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Endblock-Anordnung, z.B. die erste Endblock-Anordnung 104, wie in 4 dargestellt, weitere Sockelelemente 404d aufweisen, z.B. in Form eines Distanzelements zum Einstellen eines Abstands zwischen deren Endblock und der Prozesskammerwand 102, oder in Form eines Isolierelements zum thermischen und/oder elektrischen Isolieren des Endblocks von der Prozesskammerwand 102. Analog dazu kann die zweite Endblock-Anordnung 106 weitere Sockelelemente 404d aufweisen. Anschaulich kann ein Distanzelement beispielsweise zum Bilden eines Isolierelements aus einem thermisch und/oder elektrisch isolierenden Material, z.B. einer Keramik oder einem Kunststoff, gebildet sein. Das weitere Sockelelement 404d kann anschaulich zwischen dem entsprechenden Endblock und der Sockelanordnung 414 und/oder der Prozesskammerwand 102 angeordnet sein.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Sockelanordnung 414 einen dritten Einsteckabschnitt in Form einer Vertiefung 114e in dem zweiten Sockelelement 114b aufweisen, in welche die erste Endblock-Anordnung 104, z.B. deren Endblock oder das weitere Sockelelement 404d, wie in 4 dargestellt ist, zumindest teilweise, eingesteckt sein oder werden kann. Anschaulich kann die Vertiefung 114e passend zu einem vorstehenden Abschnitt der ersten Endblock-Anordnung 104, z.B. eines Basisgehäuses oder des weiteren Sockelelements 404d, eingerichtet sein. Der dritte Einsteckabschnitt kann eine Lage vorgeben, in welcher die erste Endblock-Anordnung 104 relativ zu dem zweiten Sockelelement 114b befestigt sein oder werden kann. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der dritte Einsteckabschnitt sowohl zum Einstecken des weiteren Sockelelements 404d wie auch zum Einstecken des Endblocks (z.B. wenn kein weiteres Sockelelement 404d verwendet wird) ausgebildet sein.
5 veranschaulicht eine Sockelanordnung 514 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Sockelanordnung 514 ein federelastisches Element 114f in Form einer Platte 514p aus Kunststoff, z.B. aus einem Elastomer, z.B. eine Gummiplatte oder Silikonplatte, aufweisen. Die Platte 514p kann einen Spalt zwischen dem ersten Sockelelement 114a und dem zweiten Sockelelement 114b zumindest teilweise ausfüllen. Werden die zwei Sockelelemente 114a, 114b relativ zueinander ausgelenkt, kann die Platte 514p verformt werden und dabei eine Rückstellkraft erzeugen.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Sockelanordnung 514 von einer Durchgangsöffnung 514d zum Aufnehmen einer Versorgungsanordnung durchdrungen sein. Die Durchgangsöffnung 514d kann beispielsweise derart eingerichtet sein, dass eine Versorgungsanordnung in Form einer Rohrleitung und/oder eines Zugmittels in die Sockelanordnung 514 hinein gebracht werden kann. Die Versorgungsanordnung kann beispielsweise an dem Endblock 204 der ersten Endblock-Anordnung 104 befestigt sein und zum Montieren der ersten Endblock-Anordnung 104 in die Durchgangsöffnung 514d der Sockelanordnung 514 eingebracht werden, z.B. hineingesteckt werden.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Sockelanordnung 514 eine Dichtstruktur 524d mit einer Dichtung, z.B. einer Vakuumdichtung, z.B. einer Gummidichtung, aufweisen. Beispielsweise kann die Dichtstruktur 524d eine Aussparung in der Sockelanordnung 514 aufweisen in welcher die Dichtung befestigt sein oder werden kann. Analog kann die Sockelanordnung 514 auf einer der Dichtstruktur 524d abgewandten Seite eine weitere Dichtstruktur aufweisen. Analog kann eine der hierin beschriebenen Endblock-Anordnungen 104, 106 eine Dichtstruktur zum Abdichten gegen die Prozesskammerwand 102 oder die Sockelanordnung 514 aufweisen, z.B. eine an einem Endblock 204, 206, dessen Basisgehäuse oder dem weiteren Sockelelement 404d angebrachte Dichtstruktur.
Ein Basisgehäuse und/oder ein Abdeckgehäuse einer Endblock-Anordnung 104, 106 können z.B. aus einem Metall gefertigt sein oder werden, z.B. aus Stahl oder Aluminium.
6 veranschaulicht ein Abdeckgehäuse 600 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht.
Ein Abdeckgehäuse 600 kann mindestens zwei Abdeckelemente 602, 604 aufweisen, z.B. ein erstes Abdeckelement 602 in Form einer Abdeckhaube und ein zweites Abdeckelement 604 in Form eines Deckels. Das erste Abdeckelement 602 und das zweite Abdeckelement 604 können zum Ineinanderstecken ausgebildet sein, z.B. derart, dass diese ineinandergesteckt formschlüssig miteinander verbunden sind. Dazu können die zwei Abdeckelemente 602, 604 entsprechende Einsteckabschnitte in Form von Nuten oder Vorsprüngen aufweisen, welche in einem ineinandergesteckten Zustand der zwei Abdeckelemente 602, 604 ineinandergreifen. Ferner können die zwei Abdeckelemente 602, 604 zum Bilden einer gemeinsamen Durchgangsöffnung 600o ausgebildet sein. Die Durchgangsöffnung 600o kann eine Welle oder eine Kupplung zum Anschließen oder Befestigen der Rohrkathode freilegen.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Durchgangsöffnung 600o mittels eines dritten Abdeckelements 606 in Form eines Rohransatzes oder eines Tubus umgeben sein, welches ermöglicht, einen Teil der Welle oder der Kupplung abzudecken, an welcher eine Rohrkathode befestigt sein oder werden kann. Das dritte Abdeckelement 606 kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen in das erste Abdeckelement 602 und/oder in das zweite Abdeckelement 604 integriert sein.
Ferner kann ein Abdeckgehäuse 600 ein Verriegelungselement 600v aufweisen, welches zum Verriegeln der zwei Abdeckelemente 602, 604 miteinander ausgebildet sein kann. Beispielsweise kann das Verriegelungselement 600v verstellbar abgestützt sein, wobei beim Verstellen des Verriegelungselements 600v ein Abschnitt des Verriegelungselements 600v gegen eines der Abdeckelemente 602, 604 pressbar und/oder in eines der Abdeckelemente 602, 604, z.B. in eine passende Aussparung oder Öffnung, hinein bewegbar sein kann.
Mittels des Abdeckgehäuses 600 kann ein Endblock (z.B. dessen Drehdurchführung) während des Sputterns vor vagabundierendem Plasma geschützt werden, welches ansonsten zerstäubend auf den Endblock einwirken kann. Ferner kann während des Sputterns Wärme entstehen, welche im Vakuum mittels Strahlung auf angrenzende Bauteile in der Umgebung des Plasmas einwirken kann und diese erwärmen kann. Zum Schützen vor diesen Einflüssen kann der Endblock zumindest teilweise mittels des Abdeckgehäuses 600 abgedeckt sein oder werden.
7 veranschaulicht eine Magnetronanordnung 700 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht, wobei ein Teil der Magnetronanordnung 700 (begrenzt von Umrandung 701) in einem Querschnitt durch einen Einsteckabschnitt 702 hindurch dargestellt ist.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann sich in die gemeinsame Durchgangsöffnung eine Welle 702 zum Lagern einer Rohrkathode hinein und/oder hindurch erstrecken. Die Welle kann Teil eines Endblocks sein, welcher mittels des Abdeckgehäuses 600 abgedeckt ist, wobei die Welle 702 in dem Basisgehäuse des Endblocks drehbar gelagert abgestützt sein. Die Welle 702 kann zum Anbringen einer Rohrkathode an die Welle 700 ausgebildet sein, wie vorangehend beschrieben ist.
Der Endblock kann mittels eines Sockelelements 714, wie hierin beschrieben ist, an einer Kammerwand 102 befestigt sein. Dabei kann das Abdeckgehäuse 600 derart eingerichtet sein, dass dieses zumindest einen Teil des Sockelelements 714 abdeckt zum Schützen des Sockelelements 714. Mit anderen Worten kann das Sockelelement 714 derart eingerichtet sein, dass dieses unter ein Abdeckgehäuse 600 passt.
Das erste Abdeckelement 602 kann einen Einsteckabschnitt 702 in Form eines Vorsprungs aufweisen, wobei das zweite Abdeckelement 604 einen Einsteckabschnitt 704 in Form eines Bolzens (z.B. eines Führungsstiftes) aufweisen kann. Der Bolzen kann zum Einstecken unter den Vorsprung ausgebildet sein. Analog kann das erste Abdeckelement 602 einen Einsteckabschnitt in Form einer Nut oder eine Rille aufweisen (nicht dargestellt) in welche der Bolzen eingesteckt sein oder werden kann. Dadurch kann ermöglicht werden, dass die zwei Abdeckelemente 602, 604 in einem ineinandergesteckten Zustand formschlüssig miteinander verbunden sind.
Mittels des Führungsstifts und dessen Führung in dem ersten Abdeckelement 602 kann ein Aufklappen des Abdeckgehäuses 600 verhindert werden, z.B. wenn die zwei Abdeckelemente 602, 604 miteinander verriegelt sind, wobei der Führungsstift fest mit dem ersten Abdeckelement 602 verbunden sein kann. Ein solches Abdeckgehäuse 600 ermöglicht eine Reduzierung der Teilezahl aufgrund der Integration von Tubus und/oder der Einsteckabschnitte 702, 704 in die Abdeckelemente 602, 604 des Abdeckgehäuses 600, was Kosten zur Lagerhaltung und Bereitstellung der Teilezahl reduzieren kann. Dadurch können ferner verlierbare Kleinteile vermieden werden.
Das Verriegelungselement 600v des Abdeckgehäuses 600 kann in Form eines gegen Verdrehung gesicherten Verschlussbolzens mit einseitigem Innengewinde und darin befindlicher Schraube ausgebildet sein. Zum Verstellen des Verriegelungselements 600v kann die Schraube in dem Verschlussbolzen gedreht werden. Beispielsweise kann das Verriegelungselement 600v derart eingerichtet sein, dass die Schraube von genau einer oder beiden Seiten her gedreht werden dann, so dass ein Montieren des Abdeckgehäuses 600 ermöglicht ist, wenn die Schraube beim Montieren des Abdeckgehäuses 600 z.B. nur von einer Seite erreichbar ist. Das Verriegeln des Abdeckgehäuses 600 kann mittels eines Formschlusses beim Herausdrehen der Schraube erfolgen, wobei beim Herausdrehen der Schraube ein Verschieben des Verschlussbolzens erfolgen kann, welches mittels eines entsprechenden Anschlags begrenzt sein oder werden kann. Dadurch kann eine schnelle und einfache De-/Montage mittels des Verriegelungselements 600v ermöglicht werden.
Ferner kann das Fixieren des Abdeckgehäuses 600 mittels formschlüssigen Umgreifens der Abdeckelemente 602, 604 an entsprechenden Isolatoren ermöglicht werden, Endblock die Isolatoren fest mit dem Basisgehäuse des Endblocks verbunden sein können. Die Isolatoren können z.B. in Form von (z.B. thermisch und/oder elektrisch isolierenden) Abstandshaltern ausgebildet sein. Mittels der Isolatoren kann das Abdeckgehäuse 600 thermisch und/oder elektrisch isoliert gegenüber dem Endblock befestigt sein. Dazu kann beispielsweise ein (z.B. von den Abstandshaltern) vorgegebener Abstand zwischen dem Endblock und dem Abdeckgehäuse 600 möglichst gering und gleichmäßig sein. Anschaulich können die Isolatoren zwischen dem Endblock und dem Abdeckgehäuse 600 angeordnet sein.
Ein solches Abdeckgehäuse 600 kann sowohl zum Abdecken eines einzelnen Endblocks, als auch zum Abdecken zweier nebeneinander angeordneter Endblöcke unterschiedlicher Endblockpaare ausgebildet sein. Die zwei nebeneinander angeordneten Endblöcke unterschiedlicher Endblockpaare können Teil eines so genannten Doppelmagnetrons zum drehbaren Lagern zweier nebeneinander erstreckter Rohrkathoden sein. Beispielsweise ist es möglich die Breite des Abdeckgehäuses 600 so weit zu reduzieren, dass zwei Abdeckgehäuse nebeneinander auf die zwei Endblöcke unterschiedlicher Endblockpaare mit einem Abstand der Rohrkathoden (Targetabstand) zueinander von weniger als 200 mm passen.
Zwischen den zwei Abdeckgehäusen kann dabei ein Spalt verbleiben, welcher ausreichend groß ist, dass sich die mittels der Sockelanordnung 714 gelagerten zwei Endblock-Anordnungen relativ zueinander bewegen können. Zum Vermeiden beeinträchtigender Spannungsüberschläge, z.B. wenn sich die zwei Abdeckgehäuse berühren, können sich die zwei Endblock-Anordnungen auf gleichem elektrischem Potential befinden.
Werden die Abdeckelemente 602, 604 aus Aluminimum gefertigt, kann deren Oberfläche aufgeraut sein oder werden zum Verbessern der Haftung von angelagertem Material, so dass eine Wartungsintervall zum Reinigen der Abdeckelemente 602, 604 von dem angelagerten Material vergrößert sein kann. Ferner ermöglicht ein Metall, wie Aluminium oder eine Aluminiumlegierung, die Abdeckelemente 602, 604 kostengünstig herzustellen und kostengünstig zu bearbeiten und kann z.B. gegenüber Stahl eine größere Wärmeleitung aufweisen. Dadurch kann sich ein gutes thermisches Verhalten der Abdeckelemente 602, 604 ergeben, da das Metall die mittels Strahlung aufgenommene Wärme sehr gut an die kühlere (nicht bestrahlte) Rückwand der Abdeckelemente 602, 604 leiten kann und dort mittels Strahlung wieder abgeben kann.

Claims

Magnetronanordnung (100, 200, 250, 300, 400, 700) aufweisend, • eine Prozesskammerwand (102); • eine erste Endblock-Anordnung (104) und eine zweite Endblock-Anordnung (106), welche ein Endblockpaar zum drehbaren Lagern und Versorgen einer Rohrkathode (108) bilden; • eine Sockelanordnung (114, 154, 314, 414, 514, 714) an welcher die erste Endblock-Anordnung (104) befestigt ist; • wobei die Prozesskammerwand (102) eine erste Befestigungsanordnung (124) zum Befestigen der Sockelanordnung (114, 154, 314, 414, 514, 714) an der Prozesskammerwand (102) aufweist und eine zweite Befestigungsanordnung (126) zum Befestigen der zweiten Endblock-Anordnung (106) an der Prozesskammerwand (102) aufweist; • wobei mittels der ersten Befestigungsanordnung (124) und der zweiten Befestigungsanordnung (126) eine relative Lage der ersten Endblock-Anordnung (104) zu der zweiten Endblock-Anordnung (106) definiert ist; und • wobei die Sockelanordnung (114, 154, 314, 414, 514, 714) zum Auslenken der ersten Endblock-Anordnung entlang zumindest zweier Freiheitsgrade relativ zu der Prozesskammerwand (102) ausgebildet ist.
Magnetronanordnung (100, 200, 250, 300, 400, 700) gemäß Anspruch 1, wobei die eine Endblock-Anordnung des Endblockpaars zum Versorgen mit einem Medium ausgebildet ist und die andere Endblock-Anordnung des Endblockpaars zum Versorgen mit mechanischer Energie ausgebildet ist.
Magnetronanordnung (100, 200, 250, 300, 400, 700) gemäß Anspruch 1 oder 2, wobei die Sockelanordnung (114, 154, 314, 414, 514, 714) von einer Durchgangsöffnung (514d) zum Aufnehmen einer Versorgungsanordnung durchdrungen ist.
Magnetronanordnung (100, 200, 250, 300, 400, 700) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die erste Befestigungsanordnung (124) einen ersten Einsteckabschnitt zum Einstecken der Sockelanordnung (114, 154, 314, 414, 514, 714) aufweist und wobei die zweite Befestigungsanordnung (126) einen zweiten Einsteckabschnitt zum Einstecken der zweiten Endblock-Anordnung (106) aufweist.
Magnetronanordnung (100, 200, 250, 300, 400, 700) gemäß einem der Ansprüche 4, wobei der erste Einsteckabschnitt und der zweite Einsteckabschnitt zum Zentrieren der zweiten Endblock-Anordnung (106) und der Sockelanordnung (114, 154, 314, 414, 514, 714) einer vordefinierten relativen Lage zueinander ausgebildet sind.
Magnetronanordnung (100, 200, 250, 300, 400, 700) gemäß Anspruch 4 oder 5, wobei der erste Einsteckabschnitt Teil einer die Prozesskammerwand (102) durchdringenden ersten Durchgangsöffnung ist, in welche die Sockelanordnung (114, 154, 314, 414, 514, 714) einsteckbar ist, und wobei der zweite Einsteckabschnitt Teil einer die Prozesskammerwand (102) durchdringenden zweiten Durchgangsöffnung ist, in welche die zweite Endblock-Anordnung (106) einsteckbar ist.
Magnetronanordnung (100, 200, 250, 300, 400, 700) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei die Sockelanordnung (114, 154, 314, 414, 514, 714) ein federelastisches Element (114f) aufweist, welches eine Ruhelage der ersten Endblock-Anordnung (104) relativ zu der zweiten Endblock-Anordnung (106) definiert, wobei das federelastische Element (114f) zum Erzeugen einer Rückstellkraft in Richtung der Ruhelage, wenn die erste Endblock-Anordnung (104) aus der Ruhelage ausgelenkt ist, ausgebildet ist.
Magnetronanordnung (100, 200, 250, 300, 400, 700) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei die Sockelanordnung (114, 154, 314, 414, 514, 714) zum Auslenken der ersten Endblock-Anordnung (104) relativ zu einer Drehachse einer mittels des Endblockpaars drehbar gelagerten Rohrkathode (108) ausgebildet ist.
Magnetronanordnung (100, 200, 250, 300, 400, 700) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei jede Endblock-Anordnung des Endblockpaars eine Versorgungsanordnung zum Versorgen einer Rohrkathode (108) mit einem/oder mehreren Medien und/oder mit mechanischer Energie aufweist.
Magnetronanordnung (100, 200, 250, 300, 400, 700) aufweisend, • eine Prozesskammerwand (102); • eine Endblock-Anordnung (104) und einen Lagerbock, welche zusammen zum drehbaren Lagern und Versorgen einer Rohrkathode (108) eingerichtet sind; • eine Sockelanordnung (114, 154, 314, 414, 514, 714) an welcher die Endblock-Anordnung (104) befestigt ist; • wobei die Prozesskammerwand (102) eine erste Befestigungsanordnung (124) zum Befestigen der Sockelanordnung (114, 154, 314, 414, 514, 714) an der Prozesskammerwand (102) aufweist und eine zweite Befestigungsanordnung (126) zum Befestigen des Lagerbocks an der Prozesskammerwand (102) aufweist; • wobei mittels der ersten Befestigungsanordnung (124) und der zweiten Befestigungsanordnung (126) eine relative Lage der Endblock-Anordnung (104) zu dem Lagerbock definiert ist; und • wobei die Sockelanordnung (114, 154, 314, 414, 514, 714) zum Auslenken der Endblock-Anordnung entlang zumindest zweier Freiheitsgrade relativ zu der Prozesskammerwand (102) ausgebildet ist.