DE102019124484A1

DE102019124484A1 - Ventilanordnung, Vakuumanordnung und Verfahren

Info

Publication number: DE102019124484A1
Application number: DE102019124484.6A
Authority: DE
Inventors: Torsten Dsaak; Michael Hofmann; Thomas Meyer
Original assignee: Von Ardenne Asset GmbH and Co KG
Current assignee: Von Ardenne Asset GmbH and Co KG
Priority date: 2019-09-12
Filing date: 2019-09-12
Publication date: 2021-03-18
Also published as: US20210080028A1

Abstract

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Ventilanordnung (100, 500, 600) für ein Vakuumkammergehäuse (802) aufweisen: ein Ventilgehäuse (202), welches einen Substrattransferspalt (202s) aufweist; eine Ventilklappe(204), welche drehbar um eine Drehachse (204d) herum gelagert ist, so dass diese in eine erste Position und in eine zweite Position gedreht werden kann, wobei die Drehachse (204d) in dem Substrattransferspalt (202s) angeordnet ist und wobei der Substrattransferspalt (202s) entlang der Drehachse (204d) längserstreckt ist; wobei die Ventilklappe (204) in der ersten Position den Substrattransferspalt (202s) verschließt und in der zweiten Position neben dem Substrattransferspalt (202s) angeordnet ist.

Description

Verschiedene Ausführungsbeispiele betreffen eine Ventilanordnung, eine Vakuumanordnung und ein Verfahren.
Im Allgemeinen kann eine Prozessieranlage genutzt werden, um ein Substrat zu prozessieren, z.B. zu bearbeiten, zu beschichten, zu erwärmen, zu ätzen und/oder strukturell zu verändern. Das Prozessieren eines Substrats kann beispielsweise in einer Kammer einer Prozessieranlage erfolgen, wobei die Kammer derart eingerichtet sein kann, dass innerhalb der Kammer die zum Prozessieren notwendigen Bedingungen (Prozessbedingungen) bereitgestellt werden können. Dazu kann es notwendig oder hilfreich sein, die Kammer und/oder weitere Kammern der Prozessieranlage gegeneinander oder gegen die Umgebung der Prozessieranlage abzudichten.
Verschiedene Kammern einer Prozessieranlage können mittels so genannter Kammerwände oder Schottwände voneinander getrennt sein, beispielsweise bei horizontalen Durchlauf-Beschichtungsanlagen (In-Line-Anlagen) mittels vertikaler Kammerwände bzw. vertikaler Schottwände. Dabei kann jede Kammerwand eine Substrattransferöffnung derart aufweisen, dass ein Substrat durch die Kammerwand hindurch transportiert werden kann, z.B. von einer ersten Kammer einer Prozessieranlage in eine zweite Kammer einer Prozessieranlage. Ferner kann die Prozessieranlage eine Substrattransferöffnung an einem Eingangsbereich und/oder Ausgangsbereich derart aufweisen, dass ein Substrat in die Prozessieranlage hinein und/oder aus der Prozessieranlage heraus gebracht werden kann.
Zum Abdichten verschiedener Kammern der Prozessieranlage voneinander oder zum Abdichten einer Kammer der Prozessieranlage von der Umgebung kann eine Substrattransferöffnung der jeweiligen Kammer mittels eines Ventils verschlossen und/oder abgedichtet werden.
Ein herkömmliches Ventil kann beispielsweise als Klappenventil eingerichtet sein, wobei eine Ventilklappe eines Klappenventils beweglich oder um eine Schwenkachse schwenkbar eingerichtet ist zum Abdichten der Substrattransferöffnung einer Kammer. Eine solche Ventilklappe liegt außen an der Kammerwand an und deckt die Substrattransferöffnung ab. Zum Freigeben der Substrattransferöffnung muss die Ventilklappe von der Kammerwand weg geschwenkt werden. Als Lager kommen dabei Scharniergelenke, Schwenkarme und dergleichen zum Einsatz. Der Schwenkbereich der Ventilklappe muss dabei frei gehalten werden von Kammereinbauten, was den Platzbedarf erhöht und die Konstruktion erschwert. Soll eine Vakuumanlage mit einem solchen Klappenventil nachgerüstet werden, ist es daher häufig nötig, das Klappenventil und deren Mechanik in einer separaten Kammer anzuordnen, was ebenso den Platzbedarf erhöht. Beispielsweise kann es erforderlich sein, zusätzliche Transportrollen unter dem Schwenkbereich anzuordnen, um zu verhindern, dass ein zu großer Abstand zwischen den Transportrollen entsteht, der das Risiko für einen Substratbruch vergrößern würde.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wurde erkannt, dass sich der Platzbedarf für ein Ventil verringern lässt, indem sich von der herkömmlichen Konfiguration, gemäß welcher die Ventilklappe außen an der Kammerwand anliegt, gelöst wird. Demgegenüber wird gemäß verschiedenen Ausführungsformen eine Konfiguration bereitgestellt, gemäß welcher die Ventilklappe innerhalb der Substrattransferöffnung angeordnet ist und um eine Drehachse innerhalb der Substrattransferöffnung herum gedreht wird.
Dies ermöglicht es, das Klappenventil samt Mechanik derart kompakt zu gestalten, dass dieses selbst in einer vorhandenen Vakuumanlage einfach nachgerüstet werden kann, ohne diese stark verändern zu müssen. Beispielsweise wird der Abstand der der Substrattransferöffnung unmittelbar benachbarten Transportrollen voneinander nur unwesentlich vergrößert.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Ventilanordnung für ein Vakuumkammergehäuse aufweisen: ein Ventilgehäuse, welches einen Substrattransferspalt aufweist; eine Ventilklappe, welche drehbar um eine Drehachse herum gelagert ist, so dass diese in eine erste Position und in eine zweite Position gedreht werden kann, wobei die Drehachse in dem Substrattransferspalt angeordnet ist und wobei der Substrattransferspalt entlang der Drehachse längserstreckt ist; wobei die Ventilklappe in der ersten Position den Substrattransferspalt verschließt und in der zweiten Position neben dem Substrattransferspalt angeordnet ist.
Es zeigen

1A bis 3B jeweils eine Ventilanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in verschiedenen schematischen Seitenansichten oder Querschnittsansichten;
4A, 4B und 4C jeweils eine Vakuumanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in verschiedenen Konfigurationen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht;
5 und 6 eine Ventilanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer verschiedenen schematischen geschnittenen Perspektivansichten;
7 eine Ventilanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht;
8A, 8B und 8C jeweils die Ventilanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen geschnittenen Perspektivansicht;
9A und 9B jeweils eine Ventilanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht;
10 und 11 jeweils eine Ventilanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in verschiedenen schematischen Ansichten;
12 bis 14 jeweils eine Vakuumanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in verschiedenen schematischen Ansichten; und
15A und 15B jeweils eine Vakuumanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem Verfahren.

In der folgenden ausführlichen Beschreibung wird auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, die Teil dieser bilden und in denen zur Veranschaulichung spezifische Ausführungsformen gezeigt sind, in denen die Erfindung ausgeübt werden kann. In dieser Hinsicht wird Richtungsterminologie wie etwa „oben“, „unten“, „vorne“, „hinten“, „vorderes“, „hinteres“, usw. mit Bezug auf die Orientierung der beschriebenen Figur(en) verwendet. Da Komponenten von Ausführungsformen in einer Anzahl verschiedener Orientierungen positioniert werden können, dient die Richtungsterminologie zur Veranschaulichung und ist auf keinerlei Weise einschränkend. Es versteht sich, dass andere Ausführungsformen benutzt und strukturelle oder logische Änderungen vorgenommen werden können, ohne von dem Schutzumfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Es versteht sich, dass die Merkmale der hierin beschriebenen verschiedenen beispielhaften Ausführungsformen miteinander kombiniert werden können, sofern nicht spezifisch anders angegeben. Die folgende ausführliche Beschreibung ist deshalb nicht in einschränkendem Sinne aufzufassen, und der Schutzumfang der vorliegenden Erfindung wird durch die angefügten Ansprüche definiert.
Im Rahmen dieser Beschreibung werden die Begriffe „verbunden“, „angeschlossen“ sowie „gekoppelt“ verwendet zum Beschreiben sowohl einer direkten als auch einer indirekten Verbindung (z.B. ohmsch und/oder elektrisch leitfähig, z.B. einer elektrisch leitfähigen Verbindung), eines direkten oder indirekten Anschlusses sowie einer direkten oder indirekten Kopplung. In den Figuren werden identische oder ähnliche Elemente mit identischen Bezugszeichen versehen, soweit dies zweckmäßig ist.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Begriff „gekoppelt“ oder „Kopplung“ im Sinne einer (z.B. mechanischen, fluidleitenden, hydrostatischen, thermischen und/oder elektrischen), z.B. direkten oder indirekten, Verbindung und/oder Wechselwirkung verstanden werden. Mehrere Elemente können beispielsweise entlang einer Wechselwirkungskette miteinander gekoppelt sein, entlang welcher die Wechselwirkung (z.B. ein Fluid) übertragen werden kann. Beispielsweise können zwei miteinander gekoppelte Elemente eine Wechselwirkung miteinander austauschen, z.B. eine mechanische, hydrostatische, thermische und/oder elektrische Wechselwirkung. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann „gekuppelt“ im Sinne einer mechanischen (z.B. körperlichen bzw. physikalischen) Kopplung verstanden werden, z.B. mittels eines direkten körperlichen Kontakts. Eine Kupplung kann eingerichtet sein, eine mechanische Wechselwirkung (z.B. Kraft, Drehmoment, etc.) zu übertragen. Mehrere mehreren Vakuumkammern können mittels sogenannter Substrattransferöffnungen miteinander verbunden sein, so dass diese z.B. ein gemeinsames Vakuumsystem bilden. Das Vakuumsystem kann nach außen im Wesentlichen luftdicht verschlossen sein, z.B. mittels Ventilen, Kammerdeckeln, Dichtungen und dergleichen. Das Vakuumsystem kann mehrere Vakuumpumpen aufweisen, welche den Vakuumkammern Gas entziehen können, so dass in diesen ein Vakuum gebildet werden kann. Verschiedene Bereiche eines Vakuumsystems können gegeneinander und/oder das Innere der Vakuumkammern kann gegenüber der Atmosphäre abgedichtet sein. In verschiedenen Konfigurationen wird die Substrattransferöffnung auf einen Substrattransferspalt verengt, z.B. um eine Gasseparation bereitzustellen. Dies kann beispielsweise mittels eines Rahmens (z.B. ein Blech) erfolgen, der den Substrattransferspalt aufweist, oder mittels einer hierin beschriebenen Ventilanordnung.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Abdichten aufweisen, einen Stoffaustausch (z.B. Gasaustausch) durch die abgedichtete Stelle hindurch zu hemmen. Beispielsweise kann mittels des Abdichtens eine fluidleitende Verbindung (z.B. ein Spalt) unterbrochen werden, so dass zwei Bereiche der unterbrochenen Verbindung voneinander gassepariert sind, z.B. mittels einer zwischen diesen angeordneten Dichtung. Die zwei Bereiche können sich in ihrem Druck voneinander unterscheiden, d.h. diese können einen Druckunterschied aufweisen. Die fluidleitende Verbindung kann beispielsweise Teil des Vakuumsystems sein, so dass zwei Vakuumsystem-Bereiche gebildet werden, in denen jeweils ein Vakuum gebildet werden kann.
Im Allgemeinen kann ein Vakuumkammergehäuse eine oder mehr als eine Vakuumkammer aufweisen. Die Vakuumkammern aneinandergrenzender Vakuumkammergehäuse können mittels so genannter Gehäusewände und aneinandergrenzende Vakuumkammern innerhalb Vakuumkammergehäuses mittels sogenannter Schottwände voneinander getrennt sein (allgemeiner auch als Kammerwände bezeichnet). Dabei kann jede Kammerwand (Gehäusewand oder Schottwand) eine Substrattransferöffnung derart aufweisen, dass ein Substrat durch die Kammerwand hindurch transportiert werden kann, z.B. von einer ersten Vakuumkammer in eine zweite Vakuumkammer. Ferner kann die Vakuumanlage eine Substrattransferöffnung an einem Eingangsbereich und/oder Ausgangsbereich derart aufweisen, dass ein Substrat in die Vakuumanlage hinein und/oder aus der Vakuumanlage herausgebracht werden kann. Verschiedene Substrattransferöffnungen können mittels sogenannter Ventilklappen abgedichtet werden, z.B. wenn ein getakteter Substrattransport erfolgen soll.
In einer Vakuumanlage können Spalte verschiedener Größen abgedichtet werden. Zwischen zwei aneinandergrenzenden Vakuumbestandteilen kann ein Spalt auf mikroskopischer Ebene verbleiben, der mittels einer Dichtung abgedichtet werden kann. Zwischen zwei gegeneinander beweglich eingerichteten Vakuumbestandteilen kann einen Spalt im Millimeterbereich (z.B. eine sogenannte Spielpassung bereitstellend, engl. „Clearance“) angeordnet sein, der mittels einer Dichtung abgedichtet ist. Zwei Vakuumkammern können mittels eines Substrattransferspalts miteinander verbunden sein, d.h. eines Spalts im Zentimeterbereich, so dass ein Substrat (z.B. eine Platte) durch diesen hindurch passt.
Eine Dichtung kann hierin eine Vakuumdichtung sein. Die Dichtung kann ein Elastomer aufweisen oder daraus gebildet sein. Das Elastomer kann ein Polymer aufweisen, z.B. ein Polymer oder Co-Polymer gebildet aus Vinyliden-(di)-fluorid (VDF) (auch bezeichnet als Viton). Die Dichtung kann eine Lippendichtung, eine Ringdichtung oder Ähnliches sein. Bei beweglichen Bauteilen, kann die Dichtung an einem Bauteil befestigt sein (z.B. in einer Nut formschlüssig aufgenommen sein) und gegen eine glatte Oberfläche (auch als Dichtfläche bezeichnet) des anderen Bauteil pressen, an der diese bei der Bewegung abgleitet.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Ventilklappe (auch als Klappe bezeichnet) in Abhängigkeit der Druckseparationsrichtung in eine geschlossene Position (z.B. Lage und/oder Ausrichtung) gefahren werden. Beide Absperrrichtungen können somit gemeinsam mittels eines Ventils bereitgestellt sein oder werden.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann beim Abdichten die Ventilklappe im oberen Teil (auch als Oberteil bezeichnet) verkeilt und im unteren Teil (auch als Unterteil bezeichnet) mit dem entstehenden Druckunterschied angedrückt werden.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können als Dichtung ein O-Ring mit/oder ohne Schmierstoffvorrat verwendet werden. Dies erleichtert die Montage und vergünstigt die Herstellung und/oder Wartung.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Ventilklappe, das Ventilgehäuse sowie eine optionale Flanschplatte mittels Tieflochbohrungen gekühlt werden. Die Tieflochbohrungen können anschaulich eine Fluidleitung bereitstellen. Dies ermöglicht den Einsatz einer höheren Substrattemperatur, z.B. bis zu 400°C.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann zur Vermeidung einer zu starken Abkühlung des Substrats ein oder mehr als ein Strahlungsblech zwischen den aktiv gekühlten Bauteilen der Ventilanordnung und dem Substrat eingesetzt werden. Dies ermöglicht ferner, eine beliebige Transportgeschwindigkeit zu verwenden, ohne eine zu starke Abkühlung des Substrats zu riskieren.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Ventilanordnung eine sehr geringe Erhöhung der Rollenabstände ermöglichen (z.B. 25 mm). Dies ermöglicht es weiterhin, geheizte dünne Substarte sicher und zulässig transportieren zu können.
Die komplette Baugruppe der Ventilanordnung kann beispielsweise zur einfachen Wartung/Reparatur als Ganzes montiert oder demontiert werden. Somit können Dichtungswechsel und Einstellarbeiten der Ventilklappe außerhalb der Vakuumanlage durchgeführt werden. Das Dichtungssystem kann derart konzipiert sein, dass Leckagen zulässig sind, solange die Pumpkapazität größer der zulässigen Leckrate ist.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Ventilanordnung zwischen zwei Vakuumkammern (auch nachträglich) installiert werden.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Ventilanordnung einen oder mehr als einen Sensor aufweisen. Mittels eines Sensors (z.B. eines Glassensors) kann ein Erfassen eines Substrats erfolgen und darauf basierend die Ventilklappe gedreht werden. Alternativ oder zusätzlich kann ein Sensor zum Erfassen einer Temperatur des Substrats eingerichtet sein (z.B. ein Bolometer).
Optional kann ein Sensor zum Erfassen der Position der Ventilklappe eingerichtet sein und darauf basierend die Ventilklappe gedreht werden. Alternativ oder zusätzlich kann die Drehbewegung der Ventilklappe mittels eines Schrittmotors angetrieben werden.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Vakuumanordnung eine Gaszuführung aufweisen, mittels welcher optional ein Spülgas (z.B. Argon) oder ein Prozessgas in den Substrattransferspalt eingebracht werden kann (anschaulich zur Gastrennung bzw. Bilden eines Gasschleiers).
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Anlagenbetrieb auch mit ausgebauter Ventilklappe fortgeführt werden, indem eine Flanschwand (z.B. eine Flanschplatte) ohne Ventilklappe hinein gesetzt wird (anschaulich als Platzhalter). Optional kann die Flanschwand Messtechnik (z.B. ein Bolometer zur Temperaturmessung) aufweisen.
1A und 1B veranschaulichen jeweils eine Ventilanordnung 100 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht in verschieden Zuständen 100a, 100b mit Blickrichtung entlang der Drehachse 204d. Das Ventilgehäuse 202 kann eine erste Seite 202o (anschaulich auch als Oberseite bezeichnet) und eine zweite Seite 202u (anschaulich auch als Unterseite bezeichnet) aufweisen, zwischen denen der Substrattransferspalt 202s und ein Aufnahmeraum 204s angeordnet sind. Der Aufnahmeraum 204s kann beispielsweise zwischen dem Substrattransferspalt 202s und der Unterseite 202u (oder alternativ auch der Oberseite 202o) angeordnet sein. Im Allgemeinen kann die Ventilanordnung 100 auch mit der Unterseite 202u nach oben eingebaut sein oder werden.
In einem ersten Zustand 100a (auch als Geschlossen-Zustand 100a bezeichnet) kann die Ventilklappe 204 den Substrattransferspalt 202s abdichten. In einem zweiten Zustand 100b (auch als Offen-Zustand 100b bezeichnet) kann die Ventilklappe 204 in dem Aufnahmeraum 204s angeordnet sein, so dass der Substrattransferspalt 202s freigeben ist (z.B. nicht von der Ventilklappe 204 blockiert wird). Optional kann in dem Geschlossen-Zustand 100a auch der Aufnahmeraum 204s abgedichtet sein. Das Wechseln zwischen den Zuständen 100a, 100b kann aufweisen, die Ventilklappe 204 um eine Drehachse 204d zu drehen 301, d.h. deren Position zu verändern.
Das Abdichten kann vakuumdicht erfolgen. Beispielsweise kann im Geschlossen-Zustand 100a ein Druckverhältnis von mehr als ungefähr 10, 10², 10³, 10⁴ oder mehr mittels der Ventilklappe 204 abgedichtet werden, z.B. über Stunden hinweg ohne Gas zuzuführen oder zu entziehen. Beispielsweise kann der abgedichtete (mittels der Dichtstruktur separierte) Druckunterschied, zwischen dem ein Stoffübergang verringert oder verhindert wird, einen Wert in einem Bereich von wenigen Millibar (mbar) bis ungefähr einem Bar (bar) aufweisen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 1 mbar bis ungefähr 1 bar, z.B. in einem Bereich von 1 mbar (im Falle von Atmosphäre zu Vakuum) oder weniger (im Falle von Vakuum zu Vakuum).
Der Substrattransferspalt 202s kann das Ventilgehäuse 202 entlang einer Richtung 101 (auch als Transportrichtung 101 bezeichnet) durchdringen. Die Drehachse kann quer zu der Transportrichtung 101 sein.
2A und 2B veranschaulichen jeweils die Ventilanordnung 100 in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht 200a, 200b mit Blickrichtung quer zu der Drehachse 204d, wobei 2A den Geschlossen-Zustand 100a und 2B den Offen-Zustand 100b zeigt. Die Ventilklappe 204 und der Substrattransferspalt 202s können entlang der Drehachse 204d längserstreckt sein. Beispielsweise kann die Längserstreckung 2021 des Substrattransferspalts 202s mehr als ungefähr 1 m (Meter), 2 m, 3 m oder als ungefähr 4 m sein. Die Ausdehnung (auch als Höhe bezeichnet) des Substrattransferspalts 202s quer zu der Drehachse 204d kann kleiner sein als 0,5 m, 0,25 m, oder 0,1 m. Je kleiner die Höhe ist, desto stärker kann eine Gasseparation sein. Die Höhe kann quer zu der Transportrichtung 101 sein. Das Aspektverhältnis (Verhältnis zwischen größter Ausdehnung und kleinster Ausdehnung) kann dann beispielsweise größer als ungefähr 10 oder als ungefähr 100 sein. Die Ventilklappe 204 kann ähnliche Maße aufweisen.
Die Längserstreckung der Ventilklappe 204 kann beispielsweise größer sein als die Längserstreckung 2021 des Substrattransferspalts 202s.
3A und 3B veranschaulichen jeweils die Ventilanordnung 100 in einer Ansicht 300a, 300b analog zu 1A und 1B. Die Ventilklappe 204 kann in 300a in einer ersten Position (anschaulich geschlossen) und in 300b in einer zweiten Position (anschaulich offen) sein. Im Betrieb kann ein Umschalten von dem Geschlossen-Zustand 100a in den Offen-Zustand 100b erfolgen, so dass die Ventilklappe zwischen der ersten Position und der zweiten Position um die Drehachse 204d gedreht (siehe Bewegung 301 in 1B) wird. In dem Offen-Zustand 100b kann ein Substrat 102 durch den Substrattransferspalt 202s hindurch transportiert 102t werden, z.B. entlang einer Transportrichtung 101. Alternativ oder zusätzlich kann in dem Offen-Zustand 100b mehr (z.B. ein größerer Normvolumenstrom) Gas durch den Substrattransferspalt 202s hindurch gelangen als in dem Geschlossen-Zustand 100a.
Das Substrat 102 kann optional beim Transport durch den Substrattransferspalt 202s hindurch eine Temperatur von mehr als ungefähr 100°C aufweisen, z.B. mehr als ungefähr 200°C, z.B. mehr als ungefähr 300°C. Dazu kann das Substrat beim Transport in den Substrattransferspalt 202s hinein und/oder aus diesem heraus bestrahlt werden, z.B. mit Wärmestrahlung. Die Wärmestrahlung kann beispielsweise von einer Heizvorrichtung 1202 (vgl. 12) emittiert werden.
Das Substrat 102 kann mittels Transportrollen (z.B. Glas aufweisen oder daraus gebildet, z.B. Quarzglas) transportiert werden.
In dem Offen-Zustand 100b kann in dem Substrattransferspalt 202s ein Vakuum (d.h. ein Druck kleiner als 0,3 bar) und/oder ein Druck in einem Bereich von ungefähr 1 mbar bis ungefähr 10^-3 mbar (mit anderen Worten Feinvakuum) und/oder ein Druck in einem Bereich von ungefähr 10^-3 mbar bis ungefähr 10^-7 mbar (mit anderen Worten Hochvakuum) oder ein Druck von kleiner als Hochvakuum, z.B. kleiner als ungefähr 10^-7 mbar (mit anderen Worten Ultrahochvakuum) bereitgestellt sein oder werden. Beispielsweise kann das Substrat 102 durch das Vakuum hindurch transportiert werden. In dem Geschlossen-Zustand 100a kann die Ventilklappe 204 beispielsweise auf zumindest einer (d.h. einer oder mehr als einer) Seite dem Vakuum ausgesetzt sein und/oder einem Druckunterschied (z.B. von mehr als ungefähr 10 mbar, z.B. als ungefähr 100 mbar, z.B. als ungefähr 1000 mbar) ausgesetzt sein. In dem Offen-Zustand 100a kann der Druckunterschied kleiner (z.B. im Wesentlichen null) sein.
4A, 4B und 4C veranschaulichen jeweils eine Vakuumanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in verschieden Konfigurationen 400a, 400b, 400c in einer Ansicht analog zu 1A. Die Vakuumanordnung kann die die Ventilanordnung 100 aufweisen.
Das Ventilgehäuse 202 kann eine umlaufende Kupplungsstruktur 452 aufweisen, an welche ein oder mehr als ein Vakuumkammergehäuse 802 angekuppelt ist. Die Kupplungsstruktur 452 kann beispielsweise eine oder mehr als eine Nut, eine oder mehr als eine Schraube 416, Durchgangsöffnungen oder Gewindebohrungen, Ösen, Dichtungen oder dergleichen aufweisen.
Das Oberteil 202o und das Unterteil 202u des Ventilgehäuses 202 (jeweils auf dessen Oberseite 202o bzw. Unterseite 202u) können beispielsweise jeweils eine Nut aufweisen, in welcher eine Kammerwand 802a, 802b, 802i aufgenommen ist. Alternativ oder zusätzlich kann die Kupplungsstruktur 452 eingerichtet sein, das Gewicht der Ventilanordnung tragen zu können. Dies ermöglicht es, die Ventilanordnung als zusammenhängende Baugruppe zu transportieren und/oder zu montieren. Beispielsweise kann ein Kran in zwei Ösen der Kupplungsstruktur 452 eingehangen werden.
Jede Kammerwand (Gehäusewand 802a, 802b oder Schottwand 802i) kann von einer Durchgangsöffnung 802o (auch als Substrattransferöffnung 802o bezeichnet) durchdrungen sein (z.B. in Richtung 101), in welcher die Drehachse 204d und/oder die Ventilklappe 204 angeordnet sind.
In Konfiguration 400a können beispielsweise zwei Vakuumkammergehäuse 802 aneinandergrenzen mit ihren Gehäusewänden 802a, 802b, wobei die aneinandergrenzenden Gehäusewände 802a, 802b mit der Kupplungsstruktur 452 gekuppelt (beispielsweise in der Nut aufgenommen) sind.
In Konfiguration 400b kann ein Vakuumkammergehäuse 802 eine Schottwand 802i aufweisen, welche zwei aneinandergrenze Vakuumkammern voneinander separiert, wobei die Schottwand 802i mit der Kupplungsstruktur gekuppelt (beispielsweise in der Nut aufgenommen) ist.
In Konfiguration 400c (auch als Adapterkonfiguration bezeichnet) kann die Kupplungsstruktur 452 eine Flanschwand 802t aufweisen, welche an die zwei Vakuumkammergehäuse 802 angrenzt (an deren Gehäusewände 802a, 802b) und mit diesen gekuppelt ist, wobei die Flanschwand 802t beispielsweise in der Nut aufgenommen ist.
Eine gemäß der Adapterkonfiguration 400c eingerichtete Ventilanordnung kann es erleichtern, die Ventilanordnung in einer bestehenden Vakuumanlage einzusetzen. Eine bestehende Vakuumanlage weist häufig nicht die erforderlichen Voraussetzungen auf, um diese umzurüsten. Mittels der Flanschwand 802t können diese Voraussetzungen geschaffen werden, ohne große Veränderungen an der bestehenden Anlage machen zu müssen.
Die Flanschwand 802t kann beispielsweise sehr dünn ausgebildet werden, so dass der Abstand der daran angrenzenden zwei Kammergehäuse 802 (entspricht der Dicke der Flanschwand 802t) weniger als ungefähr 10 cm (Zentimeter) sein kann, z.B. als ungefähr 8 cm (oder 5 cm), z.B. als ungefähr 4 cm (oder 3 cm).
Alternativ oder zusätzlich kann der Abstand der zwei Kammergehäuse 802 bzw. die Dicke der Flanschwand 802t weniger sein als der Abstand einander unmittelbar benachbarter Transportrollen einer Transportvorrichtung der Vakuumanordnung.
Die Flanschwand 802t kann dann beispielsweise eine Versorgungsstruktur aufweisen. Die Versorgungsstruktur kann einen oder mehr als einen Fluidanschluss, eine oder mehr als eine Fluidleitung, eine Lageranordnung und/oder eine Haltestruktur für einen Antrieb aufweisen. Dies erreicht den Effekt, dass die Ventilanordnung in der Adapterkonfiguration 400c als zusammenhängende und betriebsfähige Baugruppe vorgefertigt werden kann und als Ganzes zwischen zwei Kammergehäuse 802 eingebracht werden kann.
Die Ventilanordnung 100 gemäß Konfiguration 400a kann beispielsweise verwendet werden, wenn die Vakuumanordnung neu entworfen wird. Dann kann die Versorgungsstruktur für die Ventilanordnung 100 beispielsweise ein einer der Kammerwände 802a, 802b eingebaut sein.
Die Ventilanordnung 100 gemäß Konfiguration 400b kann beispielsweise verwendet werden, wenn die Vakuumanordnung neu entworfen wird oder auch zum Nachrüsten einer bestehenden Vakuumanordnung. Dann kann die Versorgungsstruktur für die Ventilanordnung 100 beispielsweise ein der Schottwand 802i eingebaut sein oder werden.
5 veranschaulicht eine Ventilanordnung 500 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht in dem Offen-Zustand, z.B. die Ventilanordnung 100, und einer schematischen Detailansicht 500a. Die Kupplungsstruktur 452 kann optional eine oder mehr als eine Dichtung 414c aufweisen, welche an einem Wandelement 812 (z.B. einer Flanschwand 802t, einer Schottwand 802i oder eine Gehäusewand 802a, 802b) und dem Ventilgehäuse 202 anliegt. Optional kann das Ventilgehäuse 202 mehrteilig eingerichtet sein, dessen Teile an entsprechenden Dichtungen 414a, 414b anliegen.
Der Aufnahmeraum 204s kann mittels einer Aussparung 408 in der Unterseite 202u bereitgestellt sein. Die Aussparung 408 kann optional eine konkav gekrümmte Oberfläche aufweisen, an welcher eine Dichtung 414d der Ventilklappe 204 anliegt. Die Ventilklappe kann eine dazu passende konvexe Oberfläche aufweisen, an welcher die Dichtung 414d befestigt ist. Die Dichtung kann beispielsweise den Substrattransferspalt 202s umlaufen, wenn die Ventilklappe 204 in der Geschlossen-Stellung ist.
Die Dichtung kann alternativ oder zusätzlich auch an dem Ventilgehäuse 202 (z.B. der Unterseite 202u bzw. Oberseite 202o) befestigt sein und dann in der Geschlossen-Stellung an der Ventilklappe 204 anliegen und/oder in der Offen-Stellung einen Abstand von der Ventilklappe 204 aufweisen. In dem Fall kann die Dichtung allerdings mehr der Wärmestrahlung ausgesetzt sein. Die Dichtung kann beispielsweise den Substrattransferspalt 202s umlaufen, wenn diese an dem Ventilgehäuse 202 befestigt ist.
Der Spalt 402s zwischen der Ventilklappe 204 und der Unterseite 202u kann eine Schmiermittelkammer 412 aufweisen. Die Schmiermittelkammer 412 kann beispielsweise mit einem Schmiermittelkanal verbunden sein, der durch das Ventilgehäuse 202 hindurch erstreckt ist. In der Schmiermittelkammer 412 kann ein Schmiermittel angeordnet sein, z.B. ein Fett oder eine Paste. Dies verbessert die Abdichtung.
Die Ventilanordnung 500 kann eine Strahlungsabschirmung 406 aufweisen, welche dem Substrattransferspalt 202s zugewandt ist. Die Strahlungsabschirmung 406 verringert den Wärmeverlust des erwärmten Substrats. Die Strahlungsabschirmung 406 verringert optional die thermische Belastung der Ventilanordnung 500, wenn das Substrat 102 auf eine hohe Temperatur gebracht (d.h. erwärmt) ist. Die Strahlungsabschirmung 406 kann einen oder mehr als einen Strahlungsschild (z.B. eine Platte aufweisend) aufweisen. Jeder Strahlungsschild kann ein oder mehr als ein Paar von Lagen (z.B. einen Stapel Paare) aufweisen. Eine erste Lage (auch als Isolierlage bezeichnet) des Paars kann thermisch isolierend eingerichtet sein. Eine zweite Lage des Paars (auch als Rückstrahlungslage bezeichnet) kann zwischen der Isolierlage und dem Substrattransferspalt 202s angeordnet sein (diese beispielsweise räumlich voneinander separierend). Die Strahlungslage kann beispielsweise ein Metall aufweisen oder daraus gebildet sein und/oder poliert sein. Die Isolierlage kann beispielsweise ein Dielektrikum oder einen Hohlraum aufweisen oder daraus gebildet sein.
Alternativ oder zusätzlich zu der Strahlungsabschirmung 406 kann die Ventilanordnung 500 eine Fluidkühlung aufweisen. Dies verringert die thermische Belastung der Ventilanordnung 500 wenn das Substrat 102 auf eine hohe Temperatur gebracht ist. Die Fluidkühlung kann eine oder mehr als eine Fluidleitung 502 aufweisen, welche eingerichtet ist, ein Kühlfluid (z.B. eine Flüssigkeit und/oder eine Gas aufweisend) in thermischen Kontakt mit der Ventilklappe 204 und/oder dem Ventilgehäuse 202 zu bringen. Dies ermöglicht es, der Ventilklappe 204 und/oder dem Ventilgehäuse 202 mittels des Kühlfluids thermische Energie zu entziehen. Beispielsweise kann die Ventilklappe 204 und/oder das Ventilgehäuse 202 von einer oder mehr als einer Fluidleitung durchdrungen sein. Die Fluidkühlung kann ferner zwei Fluidanschlüsse aufweisen, welche mittels der oder jeder Fluidleitung miteinander gekoppelt sind. Das Kühlfluid kann beispielsweise Wasser aufweisen oder daraus gebildet sein.
Optional kann eine Gaszuführung vorgesehen sein, die eine oder mehr als eine Gasauslassdüse 562 aufweist. Ferner kann die Gaszuführung eine Fluidleitung aufweisen, welche mehrere Gasauslassdüsen 562 miteinander oder mit einem Gasanschluss koppelt. Die oder jede Gasauslassdüse kann beispielsweise eine Bohrung links und/oder rechts der Ventilklappe 204 aufweisen.
6 veranschaulicht eine Ventilanordnung 600 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht in dem Offen-Zustand, z.B. die Ventilanordnung 100 oder 500. Die Ventilanordnung 600 kann für eine Montage in Konfiguration 400c eingerichtet sein.
Beispielsweise kann die Flanschwand 802t von mehreren Durchgangsöffnungen durchdrungen sein, durch welche hindurch Schrauben 416 die zwei Kammergehäuse 802 miteinander verbinden.
7 veranschaulicht eine Ventilanordnung 700 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht (entlang der Drehachse 204d geschnitten), z.B. die Ventilanordnung 100, 500 oder 600. Die Drehachse 204d kann mittels einer Lageranordnung 702 der Ventilanordnung 700 bereitgestellt sein oder werden. Die Lageranordnung 702 kann die Ventilklappe 204 drehbar lagern. Die Lageranordnung 702 kann beispielsweise ein oder mehr als ein Drehlager (z.B. jeweils auf einander gegenüberliegenden Seiten) aufweisen.
Ferner kann die Ventilanordnung 700 eine Welle 704 und einen Antrieb 706 aufweisen. Die Welle 704 kann beispielsweise mittels der Lageranordnung 702 gelagert sein und/oder durch das Wandelement 802 hindurch erstreckt sein (z.B. entlang der Drehachse 204d). Die Welle 704 kann den Antrieb 706 mit der Ventilklappe 204 kuppeln.
8A, 8B und 8C veranschaulichen jeweils die Ventilanordnung 600 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer geschnittenen Perspektivansicht 800a, 800b, 800c (quer zur Drehachse 204d geschnitten), wobei 8A den Offen-Zustand 100b und 8B, 8C zwei Geschlossen-Zustände 100b zeigen. Mit anderen Worten kann die Ventilklappe 204 auch in zwei verschiedene Positionen gedreht werden, in denen der Substrattransferspalt 202s geschlossen ist. Das Wechseln 801 zwischen den zwei Geschlossen-Zuständen 100b kann aufweisen, die Ventilklappe zu öffnen (siehe 800a) und wieder zu schließen (siehe 800b und 800c). Mit anderen Worten kann das Wechseln 801 zwischen den zwei Geschlossen-Zuständen 100b aufweisen, die Ventilklappe 204 durch den Aufnahmeraum 204s hindurch zu drehen.
Die zwei Geschlossen-Zustände 100b ermöglichen es, die Dichtungswirkung der Ventilklappe an die Richtung des Druckunterschiedes anzupassen. Anschaulich kann der Druckunterschied eine Kraft auf die Ventilklappe 204 übertragen. Ist die Ventilklappe 204 entsprechend der Kraft ausgerichtet, kann die Kraft die Ventilklappe 204 gegen das Ventilgehäuse 202 (z.B. die Oberseite 202o und/oder Unterseite 202u) pressen, was die Dichtungswirkung verbessert. Um diesen Effekt weiter zu verbessern, kann die Oberseite 202o eine oder mehr als eine Aussparung (anschaulich zusätzlichen Aufnahmeraum) aufweisen, in welche die Ventilklappe 204 formschlüssig hineingreifen kann, wie nachfolgend genauer beschrieben wird.
9A und 9B veranschaulichen jeweils eine Ventilanordnung 900 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer Ansicht analog zu 1A in den zwei verschieden Geschlossen-Zuständen 900a, 900b.
Die Unterseite 202u kann eine erste Aussparung aufweisen, welche beispielsweise einen ersten Aufnahmeraum 204s bereitstellt. Die Oberseite 202o kann eine oder mehr als eine zweite Aussparung aufweisen, von denen jede Aussparung beispielsweise einen zweiten Aufnahmeraum 214s bereitstellt. In jedem der Geschlossen-Zustände 900a, 900b kann die Ventilklappe in jeden der zwei Aufnahmeräume 204s, 214s hineingreifen. Dann kann die Ventilklappe 204 durch den Substrattransferspalt 202s hindurch erstreckt sein. Jeder der Aufnahmeräume 204s, 214s kann mittels einer zu der Ventilklappe 204 passenden Aussparung 408, 418 in dem Ventilgehäuse 202 bereitgestellt sein.
Ist die Dichtung 414d an der Ventilklappe 204 befestigt, kann diese somit mitgedreht werden. Dann kann die Dichtung 414d in jedem der Geschlossen-Zustände 900a, 900b an dem Oberteil 202o anliegen.
Es kann alternativ oder zusätzlich auch eine entsprechende Dichtung an dem Ventilgehäuse 202 (z.B. dem Oberteil 202o und/oder Unterteil 202u) befestigt sein. Die Dichtung 414d kann dann beispielsweise den Substrattransferspalt 202s umlaufen.
10 veranschaulicht eine Ventilanordnung 1000 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem ersten Geschlossen-Zustand ähnlich zu der Ventilanordnung 600, wobei die Ventilanordnung 1000 ferner eine Strahlungsabschirmung 406 aufweist, welche den Substrattransferspalt 202s begrenzt.
11 veranschaulicht eine Ventilanordnung 1100 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem zweiten Geschlossen-Zustand ähnlich zu der Ventilanordnung 600, wobei die Ventilanordnung 1100 ferner eine Strahlungsabschirmung 406 aufweist, welche den Substrattransferspalt 202s begrenzt.
12 veranschaulicht eine Vakuumanordnung 1200 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer Adapterkonfiguration ähnlich zu der Adapterkonfiguration 400c in einer geschnittenen Perspektivansicht (quer zur Drehachse 204d geschnitten).
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Vakuumanordnung 1200 eine oder mehr als eine Heizvorrichtung 1202 an der Ventilanordnung 600 aufweisen, z.B. eine erste Heizvorrichtung 1202 in einem ersten Kammergehäuse 802 und/oder einer zweite Heizvorrichtung 1202 in einem zweiten Kammergehäuse 802. Dies ermöglicht es, einer Abkühlung des Substrats entgegenzuwirken.
13 veranschaulicht die Vakuumanordnung 1200 in einer perspektivischen Seitenansicht 1300. An der Flanschwand 802t kann der Antrieb 706 befestigt sein. Ferner können die Fluidanschlüsse 1302 auch an dem einem oder mehr als einem Vakuumkammergehäuse 802 befestigt sein. Dies erleichtert die Montage/Demontage.
14 veranschaulicht die Vakuumanordnung 1200 in einer schematischen Querschnittsansicht 1400. Die Vakuumanordnung 1200 kann mehrere Vakuumkammern 802k aufweisen, z.B. mittels eines oder mehr als eines Kammergehäuses bereitgestellt. Ferner kann die Vakuumanordnung 1200 eine Transportvorrichtung 112 aufweisen, welche zum Transportieren eines Substrats durch die mehreren Vakuumkammern 802k hindurch entlang eines Transportpfads 101t, 101k eingerichtet ist. Die Transportvorrichtung kann mehrere (z.B. mehr als 10, 50 oder 100) drehbar gelagerte Transportrollen 112 aufweisen, welche den Transportpfad 101t, 101k definieren.
Der Transportpfad 101t, 101k kann zwei Abschnitte aufweisen, wobei entlang eines ersten Abschnitts 101t ein getakteter Transport und entlang eines zweiten Abschnitts 101t ein kontinuierlicher Transport erfolgen kann. Dazu kann die Transportvorrichtung 112 eingerichtet sein den getakteten Transport 101t in den kontinuierlichen Transport 101k zu überführen. Der Takt des getakteten Transports kann sich aus dem einem sich wiederholenden Zyklus ergeben, gemäß dem das Einschleusen der Substrate erfolgt. Der Zyklus kann aufweisen: Einbringen eines Substrats in eine Vakuumkammer 802k hinein durch einen ersten Substrattransferspalt 202s hindurch, Verschließen des ersten Substrattransferspalts 202s mittels Drehens einer ersten Ventilklappe 204, Abpumpen der Vakuumkammer 802k auf ein Vakuum, wobei das Substrat während des Abpumpens in der Vakuumkammer 802k angeordnet ist, Öffnen eines zweiten Substrattransferspalts 202s mittels Drehens einer zweiten Ventilklappe 204; und Herausbringen 101k des Substrats aus der Vakuumkammer 802k heraus durch den zweiten Substrattransferspalt 202s hindurch; Verschließen des zweiten Substrattransferspalts 202s mittels Drehens der zweiten Ventilklappe 204; und Belüften der Vakuumkammer 802k. Das kontinuierliche Transportieren kann aufweisen, das Substrat durch mehrere Vakuumkammern 802k hindurch zu transportieren, die während des Transports bei einem Vakuum (z.B. Feinvakuum oder Hochvakuum) gehalten werden. Das Belüften und/oder Abpumpen kann aufweisen, einen Druck in der Vakuumkammer 802k um mindestens eine Größenordnung zu verändern.
Der kontinuierliche Transport kann beispielsweise durch eine Vakuumkammer 802k hindurch erfolgen, die als Prozessierkammer eingerichtet ist, so dass ein Prozessieren des Substrats erfolgen kann. Das Prozessieren kann mittels einer Prozessiervorrichtung der Prozessierkammer erfolgen, z.B. einer Beschichtungsvorrichtung.
Das oder jedes Kammergehäuse kann beispielsweise zum Bereitstellen eines Unterdrucks oder eines Vakuums (Vakuumkammergehäuse) mit einer Pumpenanordnung 804, z.B. einer Vakuumpumpenanordnung, (z.B. gasleitend) gekoppelt sein und derart stabil eingerichtet sein, dass diese dem Einwirken des Luftdrucks im abgepumpten Zustand standhält. Die Pumpenanordnung 804 (aufweisend zumindest eine Vakuumpumpe, z.B. eine Hochvakuumpumpe, z.B. eine Turbomolekularpumpe) kann es ermöglichen, einen Teil des Gases aus dem Inneren der Prozessierkammer, z.B. aus dem Prozessierraum, abzupumpen.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Kammergehäuse, z.B. eine darin bereitgestellte Vakuumkammer, derart eingerichtet sein, dass darin ein Druck in einem Bereich von ungefähr 10 mbar bis ungefähr 1 mbar (mit anderen Worten Grobvakuum) bereitgestellt werden kann, und/oder ein Druck in einem Bereich von ungefähr 1 mbar bis ungefähr 10^-3 mbar (mit anderen Worten Feinvakuum), und/oder ein Druck in einem Bereich von ungefähr 10^-3 mbar bis ungefähr .10^-7 mbar (mit anderen Worten Hochvakuum) und/oder ein Druck von kleiner als Hochvakuum, z.B. kleiner als ungefähr 10^-7 mbar.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Substrat zumindest eines von Folgendem aufweisen oder daraus gebildet sein: eine Keramik, ein Glas, ein Halbleiter (z.B. amorphes, polykristalliner oder einkristalliner Halbleiter, wie Silizium), ein Metall, und/oder ein Polymer (z.B. Kunststoff). Beispielsweise kann das Substrat ein Wafer (ein Halbleitersubstrat), ein Metallblech oder eine Glasplatte sein, und optional beschichtet sein oder werden.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Prozessieren des Substrats mindestens eines von Folgendem aufweisen: Reinigen des Substrats, Beschichten des Substrats, Bestrahlen (z.B. mittels Licht, UV-Licht, Teilchen, Elektronen, Ionen, usw.) des Substrats, Modifizieren der Oberfläche des Substrats, Erwärmen des Substrats, Ätzen des Substrats und Glimmen des Substrats.
Vorstehend wurde der Betrieb der Ventilklappe 204 zum Einschleusen des Substrates beschrieben.
Alternativ oder zusätzlich kann die Ventilklappe 204 die Funktion einer Wartungsklappe bereitstellen. Beispielsweise wird der Vakuumbereich 1412 zwischen den Ventilklappen 204 (wenn diese in der Geschlossen-Position sind) belüftet, während die Vakuumbereiche 1414 außerhalb der Ventilklappen 204 unter Vakuum stehen. Damit kann das Kammergehäuse geöffnet werden, so dass der Vakuumbereich 1412 freiliegt, und es können Wartungsarbeiten im belüfteten Vakuumbereich 1412 zwischen den Ventilklappen 204 vorgenommen werden. Die Funktion als Wartungsklappe ist beidseitig wirksam, und kann beispielsweise jeweils in eine Richtung mit Differenzdruck beaufschlagt werden. So kann der Anlagenabschnitt links der Ventilklappe belüftet werden, indem die Ventilklappe 204 nach rechts gedreht wird und analog kann der Anlagenabschnitt rechts der Ventilklappe belüftet werden, indem die Ventilklappe nach links gedreht wird. So können beliebig viele Anlagenabschnitte und in beliebiger Kombination durch die Ventilanordnung 204 voneinander getrennt werden.
15A und 15B veranschaulichen die Vakuumanordnung (z.B. die Vakuumanordnung 1200) aus 4C in einem Verfahren 1500. Die die jede der zwei Kammerwände 802a, 802b kann entlang der Transportrichtung 101 von der Substrattransferöffnung durchdrungen sein.
Das Verfahren kann aufweisen, die Ventilanordnung 100 gegen eine Flanschplatte ohne Ventilklappe zu tauschen. In 1500a kann das Herausbringen einer Ventilanordnung aus einem Spalt 852s zwischen zwei Vakuumkammern 802k erfolgen. In 1500n kann das Hineinbringen einer Flanschplatte in den Spalt 852s erfolgen. Die Flanschplatte kann ein Platzhalter sein, der beispielsweise keine Ventilklappe, keine Welle und/oder keine Lageranordnung aufweist. Der Spalt 852s kann eine Ausdehnung 852d (ist gleich dem Abstand 852d der zwei Vakuumkammern 802k voneinander) aufweisen von weniger als ungefähr 10 cm (Zentimeter) sein kann, z.B. als ungefähr 8 cm (oder 5 cm), z.B. als ungefähr 4 cm (oder 3 cm). Alternativ oder zusätzlich kann der Spalt 852s eine Ausdehnung 852d (auch als Spaltausdehnung 852d bezeichnet) aufweisen, die kleiner ist als die Höhe 802d der Substrattransferöffnung der ersten und/oder zweiten Kammerwand 802a, 802b. Die Höhe 802d kann quer zu der Richtung der Spaltausdehnung 852d und/oder quer zu der Transportrichtung 101 sein. In Analoger Weise kann die Spaltausdehnung 852d kleiner sein als eine Höhe der Substrattransferöffnung 202s.
Im Folgenden werden verschiedene Beispiele beschrieben, die sich auf vorangehend Beschriebene und in den Figuren Dargestellte beziehen.
Beispiel 1 ist eine Ventilanordnung für ein Vakuumkammergehäuse (auch als Vakuum-Ventilanordnung bezeichnet), die Ventilanordnung aufweisend:

ein Ventilgehäuse, welches einen Substrattransferspalt aufweist; eine Ventilklappe, welche drehbar um eine Drehachse herum gelagert ist, so dass diese in eine erste Position und in eine zweite Position gedreht werden kann, wobei die Drehachse in dem Substrattransferspalt angeordnet ist und wobei der Substrattransferspalt entlang der Drehachse längserstreckt ist;
wobei die Ventilklappe in der ersten Position den Substrattransferspalt verschließt (z.B. zumindest teilweise in dem Substrattransferspalt angeordnet ist) und in der zweiten Position nicht verschließt (z.B. neben (z.B. unter oder über) dem Substrattransferspalt angeordnet ist).

Beispiel 2 ist die Ventilanordnung gemäß Beispiel 1, wobei das Ventilgehäuse eine Kupplungsstruktur aufweist, die zumindest auf einander gegenüberliegenden Seiten des Ventilgehäuses (z.B. umlaufend), zwischen denen der Substrattransferspalt angeordnet ist, erstreckt ist.
Beispiel 3 ist die Ventilanordnung gemäß Beispiel 2, wobei die Kupplungsstruktur auf den einander gegenüberliegenden Seiten, zwischen denen der Substrattransferspalt angeordnet ist, eine längserstreckte Nut aufweist zum Aufnehmen eines Wandelements (z.B. einer Kammerwand oder einer Flanschwand der Kupplungsstruktur).
Beispiel 4 ist die Ventilanordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 3, wobei die Ventilklappe in der ersten Position durch den Substrattransferspalt hindurch erstreckt ist.
Beispiel 5 ist die Ventilanordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 4, wobei das Ventilgehäuse eine erste Aussparung aufweist, an welche der Substrattransferspalt angrenzt, wobei die Ventilklappe in der ersten Position in die erste Aussparung hineingreift und in der zweiten Position einen Abstand von der ersten Aussparung aufweist.
Beispiel 6 ist die Ventilanordnung gemäß Beispiel 5, wobei das Ventilgehäuse innerhalb der Aussparung eine erste Dichtstruktur auf einer der Drehachse zugewandten Seite aufweist, wobei beispielsweise die erste Dichtstruktur eine Nut zum Aufnehmen einer Dichtung oder eine konkav gekrümmte Dichtfläche aufweist.
Beispiel 7 ist die Ventilanordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 6, wobei die Ventilklappe eine oder mehr als eine zweite Dichtstruktur auf einer der Drehachse abgewandten Seite aufweist, wobei beispielsweise die zweite Dichtstruktur eine Nut zum Aufnehmen einer Dichtung oder eine konvex gekrümmte Dichtfläche aufweist.
Beispiel 8 ist die Ventilanordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 7, wobei das Ventilgehäuse eine zweite Aussparung aufweist, an welche der Substrattransferspalt angrenzt, wobei die Ventilklappe in der zweiten Position in der zweiten Aussparung angeordnet ist und in der ersten Position aus der zweiten Aussparung heraus in den Substrattransferspalt hinein ragt.
Beispiel 9 ist die Ventilanordnung gemäß Beispiel 8, wobei das Ventilgehäuse eine Schmiermittelkammer aufweist, welche an die zweite Aussparung angrenzt, wobei die Ventilklappe in der ersten Position die Schmiermittelkammer abdeckt und in der zweiten Position die Schmiermittelkammer freilegt, wobei in der Schmiermittelkammer beispielsweise ein Schmiermittel angeordnet ist.
Beispiel 10 ist die Ventilanordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 9, wobei die Ventilklappe in eine dritte Position gedreht werden kann, in welcher diese den Substrattransferspalt verschließt, wobei die Ventilklappe in der zweiten Position beispielsweise zwischen der ersten Position und der dritten Position angeordnet ist, wobei beispielsweise die dritte Position im Bezug auf die Drehachse zur ersten Position gespiegelt ist.
Beispiel 11 ist die Ventilanordnung gemäß Beispiel 10, wobei die dritte Position und die erste Position einen Abstand voneinander aufweisen und/oder auf einander gegenüberliegenden Seiten der Drehachse angeordnet sind.
Beispiel 12 ist die Ventilanordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 11, ferner aufweisend: eine Sensoranordnung, die einen oder mehr als einen der folgenden Sensoren aufweist: einen Substratsensor (z.B. Bewegungssensor und/oder Glassensor) zum Erfassen eines Substrats in dem Substrattransferspalt, einen Positionssensor zum Erfassen einer Position der Ventilklappe; einen Temperatursensor zum Erfassen einer Temperatur des Substrats.
Beispiel 13 ist die Ventilanordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 12, wobei die Ventilklappe eine erste Strahlungsabschirmung aufweist, welche der Drehachse zugewandt ist.
Beispiel 14 ist die Ventilanordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 13, wobei das Ventilgehäuse eine zweite Strahlungsabschirmung aufweist, welche den Substrattransferspalt begrenzt.
Beispiel 15 ist die Ventilanordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 14, ferner aufweisend: eine Elastomerdichtung, welche die Ventilklappe und das Ventilgehäuse (z.B. dessen Oberseite) körperlich kontaktiert, wenn die Ventilklappe in der ersten Position und/oder dritten Position ist.
Beispiel 16 ist die Ventilanordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 15, wobei das Ventilgehäuse zwei erste Fluidanschlüsse (z.B. Wasseranschlüsse) aufweist und von einer ersten Fluidleitung (z.B. Wasserleitung) durchdrungen ist, welche die zwei ersten Fluidanschlüsse miteinander fluidleitend verbindet.
Beispiel 17 ist die Ventilanordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 16, wobei die Ventilklappe zwei zweite Fluidanschlüsse (z.B. Wasseranschlüsse) aufweist und von einer zweiten Fluidleitung (z.B. Wasserleitung) durchdrungen ist, welche die zwei zweiten Fluidanschlüsse miteinander fluidleitend verbindet.
Beispiel 18 ist die Ventilanordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 17, ferner aufweisend: ein Gaszuführung, welche einen oder mehr als einen Gasauslass aufweist, der in den Substrattransferspalt hinein gerichtet ist.
Beispiel 19 ist die Ventilanordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 18, wobei das Ventilgehäuse zumindest einen dritten Fluidanschluss (z.B. Gasanschluss) und eine Fluidaustrittsöffnung (z.B. den Gasauslass) aufweist und von einer dritten Fluidleitung (z.B. Gasleitung) durchdrungen ist, welche den Fluidanschluss mit der Fluidaustrittsöffnung fluidleitend verbindet, wobei die Fluidaustrittsöffnung auf den Substrattransferspalt gerichtet ist.
Beispiel 20 ist die Ventilanordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 19, wobei beispielsweise der Substrattransferspalt das Ventilgehäuse entlang einer Richtung (auch als Transportrichtung bezeichnet) durchdringt, wobei beispielsweise der Substrattransferspalt eine erste Ausdehnung von mehr als 5 cm aufweist, wobei die erste Ausdehnung quer zu der Drehachse und quer zu der Transportrichtung ist; wobei beispielsweise der Substrattransferspalt eine zweite Ausdehnung von mehr als 1 m aufweist, wobei die zweite Ausdehnung entlang der Drehachse ist.
Beispiel 21 ist die Ventilanordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 20, wobei der Substrattransferspalt ein Aspektverhältnis von mehr als 10 aufweist.
Beispiel 22 ist die Ventilanordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 21, wobei die Ventilklappe eine flache Seite aufweist, welche (beispielsweise in der ersten Position und/oder der zweiten Position) der Drehachse zugewandt ist; und/oder wobei die Ventilklappe eine gekrümmte Seite aufweist, welche (beispielsweise in der ersten Position und/oder der zweiten Position) der Drehachse abgewandt ist; wobei beispielsweise die Ventilklappe auf der gekrümmten Seite eine Begrenzungsfläche aufweist, welche bezüglich der Drehachse einen Teil einer Rotationsfläche bildet.
Beispiel 23 ist eine Vakuumanordnung, aufweisend: eine Kammerwand, welche eine Durchgangsöffnung aufweist (z.B. von der Durchgangsöffnung durchdrungen ist, z.B. in Richtung der Transportrichtung), eine Ventilanordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 22, welche in der Durchgangsöffnung angeordnet oder zumindest in diese hinein erstreckt ist und mit der Kammerwand verbunden (z.B. gekuppelt) ist; eine optionale Transportvorrichtung zum Transportieren eines Substrat durch den Substrattransferspalt hindurch.
Beispiel 24 ist eine Vakuumanordnung gemäß Beispiel 23, ferner aufweisend: eine erstes Vakuumkammergehäuse, welches die Kammerwand aufweist, wobei die Ventilanordnung und/oder die Transportvorrichtung beispielsweise in dem Vakuumkammergehäuse angeordnet sind; die Vakuumanordnung optional ferner aufweisend: ein zweites Vakuumkammergehäuse, welches eine zusätzliche Kammerwand aufweist, wobei die Ventilanordnung beispielsweise eine Flanschwand aufweist, welche zwischen der Kammerwand und der zusätzlichen Kammerwand angeordnet ist (und beispielsweise mit beiden gekuppelt ist und/oder sich über den beiden Vakuumkammergehäusen hervorsteht), wobei die Flanschwand beispielsweise eine Versorgungsstruktur aufweist zum Versorgen der Ventilanordnung, wobei beispielsweise ein Abstand zwischen dem ersten Vakuumkammergehäuse und dem zweiten Vakuumkammergehäuse kleiner ist als 10 cm und/oder kleiner ist als eine Ausdehnung der Durchgangsöffnung, wobei die Ausdehnung der Durchgangsöffnung quer zu der Drehachse ist und quer zu einer Richtung (auch als Transportrichtung bezeichnet) ist, entlang der die Kammerwand von der Durchgangsöffnung durchdrungen wird.
Beispiel 25 ist ein Verfahren (z.B. zum Betreiben der Ventilanordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 22), aufweisend: Verlagern einer Ventilklappe zwischen einer ersten Position und einer zweiten Position, wobei das Verlagern aufweist, die Ventilklappe um eine Drehachse herum zu drehen, welche innerhalb eines Substrattransferspalts angeordnet ist, wobei die Ventilklappe in der ersten Position den Substrattransferspalt verschließt (z.B. zumindest teilweise in dem Substrattransferspalt angeordnet ist) und in der zweiten Position den Substrattransferspalt nicht verschließt (z.B. neben dem Substrattransferspalt angeordnet ist); und Transportieren eines Substrats durch den Substrattransferspalt hindurch, wenn die Ventilklappe in der zweiten Position ist; wobei beispielsweise ein Vakuum in dem Substrattransferspalt gebildet ist.
Beispiel 26 ist ein Verfahren, für eine Vakuumanordnung, welche zwei Vakuumkammern aufweist, das Verfahren aufweisend: Herausbringen einer Ventilanordnung (die z.B. eine Ventilklappe aufweist, z.B. die Ventilanordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 22) aus einem Spalt zwischen den zwei Vakuumkammern heraus; Hineinbringen einer Flanschplatte in den Spalt hinein, wobei die Flanschplatte den Spalt vakuumdicht abdichtet; Transportieren eines Substrats zwischen den zwei Vakuumkammern durch eine Substrattransferöffnung der Flanschplatte hindurch, wobei die Vakuumanordnung in einem ersten Zustand (der Vakuumanordnung), in welchem die Flanschplatte in dem Spalt angeordnet ist, weniger Ventilklappen aufweist, als in einem zweiten Zustand (der Vakuumanordnung), in welchem die Ventilanordnung in dem Spalt angeordnet ist; wobei beispielsweise ferner ein Bilden eines Vakuums in den zwei Vakuumkammern erfolgen kann (z.B. in dem ersten Zustand und/oder dem zweiten Zustand).
Beispiel 27 ist ein Verfahren, für eine Vakuumanordnung, welche zwei oder mehr Vakuumkammern aufweist, das Verfahren aufweisend: Überführen der Vakuumanordnung zwischen einem ersten Zustand der Vakuumanordnung und einem zweiten Zustand der Vakuumanordnung; wobei in dem ersten Zustand eine Ventilanordnung (die z.B. eine Ventilklappe aufweist, z.B. die Ventilanordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 22) in einem Spalt zwischen den zwei Vakuumkammern angeordnet ist, wobei in dem zweiten Zustand eine Flanschplatte in dem Spalt angeordnet ist, wobei die Vakuumanordnung in dem ersten Zustand (der Vakuumanordnung) weniger Ventilklappen aufweist als in dem zweiten Zustand (der Vakuumanordnung), Transportieren eines Substrats zwischen den zwei Vakuumkammern durch eine Substrattransferöffnung der Flanschplatte und/oder der Vakuumanordnung hindurch, wobei beispielsweise ferner ein Bilden eines Vakuums in den zwei Vakuumkammern erfolgen kann (z.B. in dem ersten Zustand und/oder dem zweiten Zustand).
Beispiel 28 ist ein Verfahren, für eine Vakuumanordnung, welche zwei oder mehr Vakuumkammern aufweist (von denen jede Vakuumkammer beispielsweise eine Durchgangsöffnung aufweist, die beispielsweise miteinander fluchten), das Verfahren aufweisend: Bilden eines Spalts zwischen den zwei Vakuumkammern, indem diese relativ zueinander voneinander weg bewegt (z.B. voneinander entfernt) werden (d.h. es kann nur eine der Vakuumkammern oder es können beide Vakuumkammern bewegt werden); Hineinbringen einer Ventilanordnung (die z.B. eine Ventilklappe aufweist, z.B. die Ventilanordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 22) in den Spalt zwischen den zwei Vakuumkammern, wobei die Ventilanordnung den Spalt vakuumdicht abdichtet; wobei beispielsweise die Vakuumanordnung vor dem Bilden des Spalts weniger Ventilklappen aufweist, als in einem Zustand, in welchem die Ventilanordnung in dem Spalt angeordnet ist, wobei beispielsweise die zwei Vakuumkammern vor dem Bilden des Spalts körperlich miteinander in Kontakt sind, ein gemeinsames Vakuumsystem bilden, und/oder gegeneinander abgedichtet sind; wobei beispielsweise ein Abstand der zwei Vakuumkammern voneinander (wenn der Spalt gebildet ist) kleiner ist als 10 cm, als eine Ausdehnung der Durchgangsöffnung und/oder als das Doppelte der Ausdehnung des Substrattransferspalts, wobei beispielsweise die Ausdehnung (des Substrattransferspalts und/oder der Durchgangsöffnung) quer zu einer Drehachse der Ventilanordnung ist und ferner quer zu einer Richtung, entlang welcher die Ventilanordnung von dem Substrattransferspalt durchdrungen wird, wobei beispielsweise die Ventilanordnung eine Flanschwand aufweist, welche zwischen den zwei Vakuumkammern angeordnet wird; wobei beispielsweise die Ventilanordnung in der Durchgangsöffnung angeordnet wird und/oder zumindest teilweise durch diese hindurch in eine oder beide der zwei Vakuumkammern hinein erstreckt ist; das Verfahren kann optional ferner aufweisen: Belüften der zwei Vakuumkammern vor dem Bilden des Spalts; das Verfahren kann optional ferner aufweisen: Transportieren eines Substrats zwischen den zwei Vakuumkammern durch einen Substrattransferspalt der Ventilanordnung hindurch.

Claims

Ventilanordnung (100, 500, 600) für ein Vakuumkammergehäuse (802), die Ventilanordnung aufweisend: • ein Ventilgehäuse (202), welches einen Substrattransferspalt (202s) aufweist; • eine Ventilklappe (204), welche drehbar um eine Drehachse (204d) herum gelagert ist, so dass diese in eine erste Position und in eine zweite Position gedreht werden kann, wobei die Drehachse (204d) in dem Substrattransferspalt (202s) angeordnet ist und wobei der Substrattransferspalt (202s) entlang der Drehachse (204d) längserstreckt ist; • wobei die Ventilklappe (204) in der ersten Position den Substrattransferspalt (202s) verschließt und in der zweiten Position den Substrattransferspalt (202s) nicht verschließt.
Ventilanordnung (100, 500, 600) gemäß Anspruch 1, wobei das Ventilgehäuse (202) eine Kupplungsstruktur (452) aufweist, die zumindest auf einander gegenüberliegenden Seiten des Ventilgehäuses (202), zwischen denen der Substrattransferspalt (202s) angeordnet ist, erstreckt ist.
Ventilanordnung (100, 500, 600) gemäß Anspruch 1 oder 2, wobei die Ventilklappe (204) in der ersten Position durch den Substrattransferspalt (202s) hindurch erstreckt ist.
Ventilanordnung (100, 500, 600) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei das Ventilgehäuse (202) eine erste Aussparung (418) aufweist, an welche der Substrattransferspalt (202s) angrenzt, wobei die Ventilklappe (204) in der ersten Position in die erste Aussparung (418) hineingreift und in der zweiten Position einen Abstand von der ersten Aussparung (418) aufweist.
Ventilanordnung (100, 500, 600) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei das Ventilgehäuse (202) eine zweite Aussparung (408) aufweist, an welche der Substrattransferspalt (202s) angrenzt, wobei die Ventilklappe (204) in der zweiten Position in der zweiten Aussparung (408) angeordnet ist und in der ersten Position aus der zweiten Aussparung heraus in den Substrattransferspalt (202s) hinein ragt.
Ventilanordnung (100, 500, 600) gemäß Anspruch 5, wobei das Ventilgehäuse (202) eine Schmiermittelkammer (412) aufweist, welche an die zweite Aussparung (408) angrenzt, wobei die Ventilklappe (204) in der ersten Position die Schmiermittelkammer (412) abdeckt und in der zweiten Position die Schmiermittelkammer (412) freilegt.
Ventilanordnung (100, 500, 600) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei die Ventilklappe (204) in eine dritte Position gedreht werden kann, in welcher diese den Substrattransferspalt (202s) verschließt, wobei die Ventilklappe in der zweiten Position zwischen der ersten Position und der dritten Position angeordnet ist.
Ventilanordnung (100, 500, 600) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei die Ventilklappe (204) eine erste Strahlungsabschirmung (406) aufweist, welche der Drehachse (204d) zugewandt ist; und/oder wobei das Ventilgehäuse (202) eine zweite Strahlungsabschirmung (406) aufweist, welche den Substrattransferspalt (202s) begrenzt.
Ventilanordnung (100, 500, 600) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei das Ventilgehäuse (202) zwei Fluidanschlüsse (1302) aufweist und von einer Fluidleitung (502) durchdrungen ist, welche die zwei Fluidanschlüsse (1302) miteinander fluidleitend verbindet.
Ventilanordnung (100, 500, 600) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 9, wobei das Ventilgehäuse (202) zumindest einen zusätzlichen Fluidanschluss und eine Fluidaustrittsöffnung (562) aufweist und von einer zusätzlichen Fluidleitung durchdrungen ist, welche den zusätzlichen Fluidanschluss mit der zusätzlichen Fluidaustrittsöffnung (562) fluidleitend verbindet, wobei die Fluidaustrittsöffnung auf den Substrattransferspalt (202s) gerichtet ist.
Vakuumanordnung (1200), aufweisend: • eine Kammerwand (802a, 802b), welche von einer Durchgangsöffnung (802o) durchdrungen ist; • eine Ventilanordnung (100, 500, 600) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 10, welche in die Durchgangsöffnung (802o) hinein erstreckt ist und mit der Kammerwand (802a, 802b) verbunden ist.
Vakuumanordnung (1200) gemäß Anspruch 11, ferner aufweisend: • eine erstes Vakuumkammergehäuse (802), welches die Kammerwand (802a, 802b) aufweist; • ein zweites Vakuumkammergehäuse (802), welches eine zusätzliche Kammerwand (802a, 802b) aufweist, • wobei ein Abstand (852) zwischen der Kammerwand (802a, 802b) und der zusätzlichen Kammerwand (802a, 802b) kleiner ist als 10 cm und/oder als eine Ausdehnung (802d) der Durchgangsöffnung (802o); • wobei die Ventilanordnung (100, 500, 600) eine Flanschwand (802t) aufweist, welche zwischen der Kammerwand (802a, 802b) und der zusätzlichen Kammerwand (802a, 802b) angeordnet ist; • wobei die Ausdehnung (802d) der Durchgangsöffnung (802o) quer zu der Drehachse (204d) ist und ferner quer zu einer Richtung (101), entlang welcher die Kammerwand (802o) von der Durchgangsöffnung (802o) durchdrungen wird, ist.
Verfahren, aufweisend: • Verlagern (301) einer Ventilklappe (204) zwischen einer ersten Position und einer zweiten Position, wobei das Verlagern aufweist, die Ventilklappe (204) um eine Drehachse (204d) herum zu drehen, welche innerhalb eines Substrattransferspalts (202s) angeordnet ist, wobei die Ventilklappe (204) in der ersten Position den Substrattransferspalt (202s) verschließt und in der zweiten Position den Substrattransferspalt (202s) nicht verschließt; und • Transportieren (102t) eines Substrats (102) durch den Substrattransferspalt (202s) hindurch, wenn die Ventilklappe (204) in der zweiten Position ist.
Verfahren (1500) für eine Vakuumanordnung (1200), welche zwei Vakuumkammern (802k) aufweist, das Verfahren (1500) aufweisend: • Herausbringen (1501) einer Ventilanordnung (100, 500, 600) aus einem Spalt (852) zwischen den zwei Vakuumkammern; • Einbringen (1502) einer Flanschplatte (802t) in den Spalt (852) hinein, wobei die Flanschplatte den Spalt vakuumdicht abdichtet; • Transportieren (102t) eines Substrats (102) zwischen den zwei Vakuumkammern (802k) durch eine Substrattransferöffnung (802o) der Flanschplatte (802t) hindurch; • wobei die Vakuumanordnung (1500) in einem ersten Zustand, in welchem die Flanschplatte (802t) in dem Spalt (852s) angeordnet ist, weniger Ventilklappen (204) aufweist, als in einem zweiten Zustand, in welchem die Ventilanordnung (100, 500, 600) in dem Spalt (852s) angeordnet ist.
Verfahren (1500) für eine Vakuumanordnung (1200), welche zwei Vakuumkammern (802k) aufweist, das Verfahren (1500) aufweisend: • Bilden eines Spalts (852) zwischen den zwei Vakuumkammern, indem diese relativ zueinander voneinander weg bewegt werden; • Hineinbringen (1501) einer Ventilanordnung (100, 500, 600) in den Spalt (852) zwischen den zwei Vakuumkammern, wobei die Ventilanordnung (100, 500, 600) den Spalt vakuumdicht abdichtet.