DE102012201975B4 - Elektronische Vorrichtung - Google Patents
Elektronische Vorrichtung Download PDFInfo
- Publication number
- DE102012201975B4 DE102012201975B4 DE102012201975.8A DE102012201975A DE102012201975B4 DE 102012201975 B4 DE102012201975 B4 DE 102012201975B4 DE 102012201975 A DE102012201975 A DE 102012201975A DE 102012201975 B4 DE102012201975 B4 DE 102012201975B4
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- group
- poly
- substituted
- semiconductor layer
- styrene
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 73
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 56
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims abstract description 24
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims abstract description 23
- 125000001072 heteroaryl group Chemical group 0.000 claims abstract description 22
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims abstract description 19
- 125000002534 ethynyl group Chemical group [H]C#C* 0.000 claims abstract description 17
- 229920005596 polymer binder Polymers 0.000 claims abstract description 14
- 239000002491 polymer binding agent Substances 0.000 claims abstract description 14
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 claims abstract description 13
- 125000003342 alkenyl group Chemical group 0.000 claims abstract description 10
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 claims abstract description 10
- 125000004414 alkyl thio group Chemical group 0.000 claims abstract description 8
- NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N fluoromethane Chemical group FC NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
- 125000005017 substituted alkenyl group Chemical group 0.000 claims abstract description 8
- 125000000547 substituted alkyl group Chemical group 0.000 claims abstract description 8
- 125000003107 substituted aryl group Chemical group 0.000 claims abstract description 8
- 125000004665 trialkylsilyl group Chemical group 0.000 claims abstract description 8
- 125000004093 cyano group Chemical group *C#N 0.000 claims abstract description 7
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 7
- -1 poly(a-methylstyrene) Polymers 0.000 claims description 79
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 21
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 claims description 6
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 claims description 5
- UJOBWOGCFQCDNV-UHFFFAOYSA-N Carbazole Natural products C1=CC=C2C3=CC=CC=C3NC2=C1 UJOBWOGCFQCDNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229920001596 poly (chlorostyrenes) Polymers 0.000 claims description 4
- 229920000314 poly p-methyl styrene Polymers 0.000 claims description 4
- 229920003227 poly(N-vinyl carbazole) Polymers 0.000 claims description 4
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 claims description 4
- 229920001088 polycarbazole Polymers 0.000 claims description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 4
- 150000003505 terpenes Chemical class 0.000 claims description 4
- 235000007586 terpenes Nutrition 0.000 claims description 4
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 claims description 3
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 claims description 3
- 229920003048 styrene butadiene rubber Polymers 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 79
- 238000000034 method Methods 0.000 description 35
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 21
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 18
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 11
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 11
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 230000008569 process Effects 0.000 description 10
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 9
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 6
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 description 6
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 6
- PQTIXYILPGIIHM-UHFFFAOYSA-N 1-(2-sulfanylnaphthalen-1-yl)naphthalene-2-thiol Chemical compound C1=CC=C2C(C3=C4C=CC=CC4=CC=C3S)=C(S)C=CC2=C1 PQTIXYILPGIIHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 5
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 5
- 238000005160 1H NMR spectroscopy Methods 0.000 description 4
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical group [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920006125 amorphous polymer Polymers 0.000 description 4
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 4
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 4
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 4
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- JCZJMIFPVGKYAP-UHFFFAOYSA-N 2-methylsulfinyl-1-(2-methylsulfinylnaphthalen-1-yl)naphthalene Chemical compound C1=CC=C2C(C3=C4C=CC=CC4=CC=C3S(=O)C)=C(S(C)=O)C=CC2=C1 JCZJMIFPVGKYAP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PQJUJGAVDBINPI-UHFFFAOYSA-N 9H-thioxanthene Chemical compound C1=CC=C2CC3=CC=CC=C3SC2=C1 PQJUJGAVDBINPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 3
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 125000005842 heteroatom Chemical group 0.000 description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 3
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229920003251 poly(α-methylstyrene) Polymers 0.000 description 3
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 description 3
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- 150000003384 small molecules Chemical class 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 3
- GARUZCDJBYVOES-UHFFFAOYSA-N 2-methylsulfanyl-1-(2-methylsulfanylnaphthalen-1-yl)naphthalene Chemical compound C1=CC=C2C(C3=C4C=CC=CC4=CC=C3SC)=C(SC)C=CC2=C1 GARUZCDJBYVOES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YNQLUTRBYVCPMQ-UHFFFAOYSA-N Ethylbenzene Chemical compound CCC1=CC=CC=C1 YNQLUTRBYVCPMQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 2
- RRHGJUQNOFWUDK-UHFFFAOYSA-N Isoprene Chemical compound CC(=C)C=C RRHGJUQNOFWUDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CSNNHWWHGAXBCP-UHFFFAOYSA-L Magnesium sulfate Chemical compound [Mg+2].[O-][S+2]([O-])([O-])[O-] CSNNHWWHGAXBCP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N N-Heptane Chemical compound CCCCCCC IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical compound C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N Thiophene Chemical compound C=1C=CSC=1 YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229960000583 acetic acid Drugs 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000012267 brine Substances 0.000 description 2
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 2
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 2
- MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N chlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=CC=C1 MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 229940126214 compound 3 Drugs 0.000 description 2
- 229940125898 compound 5 Drugs 0.000 description 2
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 2
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 239000012362 glacial acetic acid Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 2
- ZSIAUFGUXNUGDI-UHFFFAOYSA-N hexan-1-ol Chemical compound CCCCCCO ZSIAUFGUXNUGDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 2
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 2
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- 239000003607 modifier Substances 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 2
- 239000005054 phenyltrichlorosilane Substances 0.000 description 2
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 2
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 2
- HPALAKNZSZLMCH-UHFFFAOYSA-M sodium;chloride;hydrate Chemical compound O.[Na+].[Cl-] HPALAKNZSZLMCH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 2
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000003944 tolyl group Chemical group 0.000 description 2
- PYJJCSYBSYXGQQ-UHFFFAOYSA-N trichloro(octadecyl)silane Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC[Si](Cl)(Cl)Cl PYJJCSYBSYXGQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RCHUVCPBWWSUMC-UHFFFAOYSA-N trichloro(octyl)silane Chemical compound CCCCCCCC[Si](Cl)(Cl)Cl RCHUVCPBWWSUMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ORVMIVQULIKXCP-UHFFFAOYSA-N trichloro(phenyl)silane Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)C1=CC=CC=C1 ORVMIVQULIKXCP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ITMCEJHCFYSIIV-UHFFFAOYSA-N triflic acid Chemical compound OS(=O)(=O)C(F)(F)F ITMCEJHCFYSIIV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 2
- PPTXVXKCQZKFBN-UHFFFAOYSA-N (S)-(-)-1,1'-Bi-2-naphthol Chemical compound C1=CC=C2C(C3=C4C=CC=CC4=CC=C3O)=C(O)C=CC2=C1 PPTXVXKCQZKFBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SCYULBFZEHDVBN-UHFFFAOYSA-N 1,1-Dichloroethane Chemical compound CC(Cl)Cl SCYULBFZEHDVBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OCJBOOLMMGQPQU-UHFFFAOYSA-N 1,4-dichlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=C(Cl)C=C1 OCJBOOLMMGQPQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OEVVKKAVYQFQNV-UHFFFAOYSA-N 1-ethenyl-2,4-dimethylbenzene Chemical compound CC1=CC=C(C=C)C(C)=C1 OEVVKKAVYQFQNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZDZHCHYQNPQSGG-UHFFFAOYSA-N 1-naphthalen-1-ylnaphthalene Chemical compound C1=CC=C2C(C=3C4=CC=CC=C4C=CC=3)=CC=CC2=C1 ZDZHCHYQNPQSGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GVLZQVREHWQBJN-UHFFFAOYSA-N 3,5-dimethyl-7-oxabicyclo[2.2.1]hepta-1,3,5-triene Chemical compound CC1=C(O2)C(C)=CC2=C1 GVLZQVREHWQBJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 7553-56-2 Chemical group [I] ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical group [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- JPVYNHNXODAKFH-UHFFFAOYSA-N Cu2+ Chemical compound [Cu+2] JPVYNHNXODAKFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 238000005863 Friedel-Crafts acylation reaction Methods 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001609 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 229920002367 Polyisobutene Polymers 0.000 description 1
- 229920000265 Polyparaphenylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical group [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006161 Suzuki-Miyaura coupling reaction Methods 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKJPEAGHQZHRQV-UHFFFAOYSA-N Triiodomethane Natural products IC(I)I OKJPEAGHQZHRQV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- RCAQADNJXBGEKC-UHFFFAOYSA-N [O].[In].[Sb] Chemical compound [O].[In].[Sb] RCAQADNJXBGEKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001242 acetic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 239000012300 argon atmosphere Substances 0.000 description 1
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- YIMPFANPVKETMG-UHFFFAOYSA-N barium zirconium Chemical compound [Zr].[Ba] YIMPFANPVKETMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KCXMKQUNVWSEMD-UHFFFAOYSA-N benzyl chloride Chemical compound ClCC1=CC=CC=C1 KCXMKQUNVWSEMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 1
- 239000011203 carbon fibre reinforced carbon Substances 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 239000002800 charge carrier Substances 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 125000001309 chloro group Chemical group Cl* 0.000 description 1
- UUAGAQFQZIEFAH-UHFFFAOYSA-N chlorotrifluoroethylene Chemical group FC(F)=C(F)Cl UUAGAQFQZIEFAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004440 column chromatography Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 238000006880 cross-coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 239000012043 crude product Substances 0.000 description 1
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 1
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000017858 demethylation Effects 0.000 description 1
- 238000010520 demethylation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- 229940117389 dichlorobenzene Drugs 0.000 description 1
- 238000000113 differential scanning calorimetry Methods 0.000 description 1
- AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N digallium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Ga+3].[Ga+3] AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZXSBDSGRQIWJPM-UHFFFAOYSA-N dimethylcarbamothioic s-acid Chemical compound CN(C)C(S)=O ZXSBDSGRQIWJPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002009 diols Chemical class 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 239000003480 eluent Substances 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N ether Substances CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OJAGAAVUZKMVGX-UHFFFAOYSA-N ethyl acetate;pyridine Chemical compound CCOC(C)=O.C1=CC=NC=C1 OJAGAAVUZKMVGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002457 flexible plastic Polymers 0.000 description 1
- 229920002313 fluoropolymer Polymers 0.000 description 1
- 229910001195 gallium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 125000001188 haloalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisilazane Chemical compound C[Si](C)(C)N[Si](C)(C)C FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ACCCMOQWYVYDOT-UHFFFAOYSA-N hexane-1,1-diol Chemical compound CCCCCC(O)O ACCCMOQWYVYDOT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004051 hexyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 description 1
- INQOMBQAUSQDDS-UHFFFAOYSA-N iodomethane Chemical compound IC INQOMBQAUSQDDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000013847 iso-butane Nutrition 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 229910052943 magnesium sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000019341 magnesium sulphate Nutrition 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- AUHZEENZYGFFBQ-UHFFFAOYSA-N mesitylene Substances CC1=CC(C)=CC(C)=C1 AUHZEENZYGFFBQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001827 mesitylenyl group Chemical group [H]C1=C(C(*)=C(C([H])=C1C([H])([H])[H])C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000011987 methylation Effects 0.000 description 1
- 238000007069 methylation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000813 microcontact printing Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 125000001624 naphthyl group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- FDLOYPFCRZKQAT-UHFFFAOYSA-N o-[1-[2-(dimethylcarbamothioyloxy)naphthalen-1-yl]naphthalen-2-yl] n,n-dimethylcarbamothioate Chemical compound C1=CC=C2C(C3=C4C=CC=CC4=CC=C3OC(=S)N(C)C)=C(OC(=S)N(C)C)C=CC2=C1 FDLOYPFCRZKQAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007645 offset printing Methods 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- SLIUAWYAILUBJU-UHFFFAOYSA-N pentacene Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC4=CC5=CC=CC=C5C=C4C=C3C=C21 SLIUAWYAILUBJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002085 persistent effect Effects 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002493 poly(chlorotrifluoroethylene) Polymers 0.000 description 1
- 229920001467 poly(styrenesulfonates) Polymers 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920006289 polycarbonate film Polymers 0.000 description 1
- 229920002776 polycyclohexyl methacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001195 polyisoprene Polymers 0.000 description 1
- 229920000193 polymethacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 239000011970 polystyrene sulfonate Substances 0.000 description 1
- 229960002796 polystyrene sulfonate Drugs 0.000 description 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N pyridine Natural products COC1=CC=CN=C1 UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004076 pyridyl group Chemical group 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000006798 ring closing metathesis reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007363 ring formation reaction Methods 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 229910002027 silica gel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000741 silica gel Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 125000004434 sulfur atom Chemical group 0.000 description 1
- BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N tetrafluoroethene Chemical group FC(F)=C(F)F BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001544 thienyl group Chemical group 0.000 description 1
- 229930192474 thiophene Natural products 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- NNPPMTNAJDCUHE-UHFFFAOYSA-N trimethylmethane Natural products CC(C)C NNPPMTNAJDCUHE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
- H10K85/60—Organic compounds having low molecular weight
- H10K85/649—Aromatic compounds comprising a hetero atom
- H10K85/657—Polycyclic condensed heteroaromatic hydrocarbons
- H10K85/6576—Polycyclic condensed heteroaromatic hydrocarbons comprising only sulfur in the heteroaromatic polycondensed ring system, e.g. benzothiophene
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07D—HETEROCYCLIC COMPOUNDS
- C07D495/00—Heterocyclic compounds containing in the condensed system at least one hetero ring having sulfur atoms as the only ring hetero atoms
- C07D495/22—Heterocyclic compounds containing in the condensed system at least one hetero ring having sulfur atoms as the only ring hetero atoms in which the condensed system contains four or more hetero rings
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07D—HETEROCYCLIC COMPOUNDS
- C07D495/00—Heterocyclic compounds containing in the condensed system at least one hetero ring having sulfur atoms as the only ring hetero atoms
- C07D495/02—Heterocyclic compounds containing in the condensed system at least one hetero ring having sulfur atoms as the only ring hetero atoms in which the condensed system contains two hetero rings
- C07D495/06—Peri-condensed systems
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K10/00—Organic devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching; Organic capacitors or resistors having potential barriers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K10/00—Organic devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching; Organic capacitors or resistors having potential barriers
- H10K10/40—Organic transistors
- H10K10/46—Field-effect transistors, e.g. organic thin-film transistors [OTFT]
- H10K10/462—Insulated gate field-effect transistors [IGFETs]
- H10K10/464—Lateral top-gate IGFETs comprising only a single gate
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K10/00—Organic devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching; Organic capacitors or resistors having potential barriers
- H10K10/40—Organic transistors
- H10K10/46—Field-effect transistors, e.g. organic thin-film transistors [OTFT]
- H10K10/462—Insulated gate field-effect transistors [IGFETs]
- H10K10/466—Lateral bottom-gate IGFETs comprising only a single gate
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
- H10K85/731—Liquid crystalline materials
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
- Heterocyclic Carbon Compounds Containing A Hetero Ring Having Oxygen Or Sulfur (AREA)
Abstract
worin R1 bis R10 jeweils unabhängig voneinander ausgewählt sind aus der Gruppe, bestehend aus einem Wasserstoffatom, einer Alkylgruppe, einer substituierten Alkylgruppe, einer Alkoxygruppe, einer Alkylthiogruppe, einer Alkenylgruppe, einer substituierten Alkenylgruppe, einer Ethinylgruppe, einer substituierten Ethinylgruppe, einer Arylgruppe, einer substituierten Arylgruppe, einer Heteroarylgruppe, einer substituier-ten Heteroarylgruppe, einer Trialkylsilylgruppe, einer Fluorkohlenwasserstoffgruppe, einer Cyanogruppe und einem Halogenatom; wobei der Halbleiter der Formel (I) zu mehr als 50% kristallin oder flüssigkristallin ist,
und wobei die Halbleiterschicht weiterhin ein Polymerbindemittel umfasst,
und wobei die elektronische Vorrichtung weiterhin eine dielektrische Schicht mit einer modifizierten Oberfläche umfasst, wobei die Halbleiterschicht in direktem Kontakt mit der modifizierten Oberfläche ist.
Description
- Die vorliegende Erfindung betrifft Dünnschichttransistoren (TFTs) und/oder andere elektronische Vorrichtungen, die eine Halbleiterschicht umfassen. Die Halbleiterschicht wird aus einer Halbleiterzusammensetzung hergestellt, die im Folgenden beschrieben wird. Wenn die Zusammensetzung in der Halbleiterschicht einer Vorrichtung verwendet wird, können eine hohe Beweglichkeit und eine hervorragende Haltbarkeit erzielt werden.
- TFTs umfassen gewöhnlich ein Substrat, auf dem eine elektrisch leitfähige Gateelektrode, Source- und Drainelektroden, eine elektrisch isolierende Gatedielektrikumsschicht, welche die Gateelektrode von den Source- und Drainelektroden trennt, und eine Halbleiterschicht, welche sich in Kontakt mit der Gatedielektrikumsschicht befindet und die Source- und Drainelektroden überbrückt, aufgebracht sind. Die Leistungsfähigkeit von TFTs kann durch die Feldeffektbeweglichkeit und das On/Off-Stromverhältnis des ganzen Transistors bestimmt werden. Eine hohe Beweglichkeit und ein hohes On/Off-Stromverhältnis sind erwünscht.
- Organische Dünnschichttransistoren (OTFTs) können in Anwendungen eingesetzt werden, wie beispielsweise Radio Frequency Identification (RFID) Tags und Backplaneschaltkreisen für Displays, wie zum Beispiel Beschilderungs-, Lese- und Flüssigkristalldisplays, bei denen hohe Schaltgeschwindigkeiten und/oder hohe Dichten nicht notwendig sind. Sie haben auch vorteilhafte mechanische Eigenschaften; sie sind zum Beispiel physikalisch kompakt, leicht und flexibel.
-
US 2009/0289248 A1 beschreibt Dioxoanthanthreneverbindungen, die in Halbleitervorrichtungen verwendet werden. Dabei wird mindestens eines der Wasserstoffatome in den Positionen 3 und 9 der Verbindung 6,12-Dioxaanthanthren durch einen anderen Substituenten ersetzt.US 2010/0013381 A1 beschreibt organische Halbleiter und deren Verwendung in organischen Elektrolumineszenzvorrichtungen, insbesondere in blau emittierenden Vorrichtungen. Die darin offenbarten Verbindungen werden als Hostmaterial oder Dotierstoff in der emittierenden Schicht oder auch in einer Loch- oder Elektronentransportschicht verwendet.US 5,281,498 A offenbart ein elektrolumineszierendes Element, umfassend eine Anode, eine Kathode und, dazwischen angeordnet, eine organische lumineszierende Schicht. In dem Element haben die Komponenten der Lumineszenzschicht spezifische Oxidationspotential- und Reduktionspotentialbeziehungen. Das Element emittiert Licht in Reaktion auf elektrische Signale. - Organische Dünnschichttransistoren können kostengünstig unter Anwendung von Mustererzeugungs- und Abscheidungsprozessen, bei denen Lösungen verwendet werden, hergestellt werden, und Beispiele für solche Verfahren umfassen ein Schleuderbeschichtungsverfahren; ein Lösungsgießverfahren; ein Eintauchbeschichtungsverfahren; ein Druckverfahren, bei dem eine Schablone beziehungsweise ein Sieb verwendet wird; ein Flexodruckverfahren; ein Tiefdruckverfahren; ein Offsetdruckverfahren; ein Tintenstrahldruckverfahren, ein Mikrokontaktdruckverfahren und dergleichen. Damit diese Prozesse, bei denen Lösungen verwendet werden, zur Herstellung von Dünnschichttransistorschaltkreisen verwendet werden können, müssen in Lösung verarbeitbare Materialien verwendet werden. Organische oder polymere Halbleiter, die unter Verwendung von Lösungen hergestellt wurden, haben jedoch eine begrenzte Löslichkeit, sind an Luft nicht beständig und haben insbesondere eine unzureichende Feldeffektbeweglichkeit. Diese Nachteile sind teilweise auf die schlechten Schichtbildungseigenschaften kleiner Moleküle zurückzuführen.
- Es besteht deshalb ein Bedarf an Halbleiterverbindungen, welche die Herstellung einer Halbleiterschicht mit einer hohen Feldeffektbeweglichkeit ermöglichen, die an Luft beständig sind und die gut löslich sind.
- Die vorliegende Erfindung stellt bereit:
- (1) Eine elektronische Vorrichtung mit einer Halbleiterschicht, wobei die Halbleiterschicht eine Thiaxanthenothiaxanthenverbindung der Formel (I) enthält:
- (2) Eine elektronische Vorrichtung gemäß Punkt (1), wobei das Polymerbindemittel ausgewählt ist aus der Gruppe, bestehend aus Polymethylmethacrylat, Polystyrol, Poly(α-methylstyrol), Poly(4-methylstyrol), Poly(α-methylstyrol-co-vinyltoluol), Poly(styrolblock-butadien-block-styrol), Poly(styrol-block-isopren-block-styrol), Poly(vinyltoluol), Poly(vinylnaphthalin), Poly(vinylpyridin), Terpenharzen, Poly(styrol-co-2,4-dimethylstyrol), Poly(chlorstyrol), Poly(styrol-co-α-methylstyrol), Poly(styrol-co-butadien), Polycarbazol, Polytriarylaminen, Poly(N-vinylcarbazol), Polythiophenen und Gemischen davon.
- Die Erfindung betrifft eine elektronische Vorrichtung mit einer Halbleiterschicht, die eine Thiaxanthenothiaxanthenverbindung der Formel (I) enthält:
- Entsprechend einer Ausführungsform der Erfindung ist mindestens einer der Reste R1 bis R10 kein Wasserstoffatom. Mindestens einer der Reste R1 bis R10 kann ein Halogenatom sein.
- Die Halbleiterschicht umfasst weiterhin ein Polymerbindemittel. Das Polymerbinde-mittel kann ausgewählt sein aus der Gruppe, bestehend aus Polymethylmethacrylat, Polystyrol, Poly(α-methylstyrol), Poly(4-methylstyrol), Poly(a-methylstyrol-co-vinyltoluol), Poly(styrolblock-butadien-block-styrol), Poly(styrol-block-isopren-block-styrol), Poly(vinyl-toluol), Poly(vinylnaphthalin), Poly(vinylpyridin), Terpenharzen, Poly(styrol-co-2,4-dimethyl-styrol), Poly(chlorstyrol), Poly(styrol-co-α-methylstyrol), Poly(styrol-co-butadien), Poly-carbazol, Polytriarylaminen, Poly(N-vinylcarbazol), Polythiophenen und Gemischen davon.
- Das Gewichtsverhältnis von Thiaxanthenothiaxanthenverbindung zu Polymerbindemittel kann im Bereich von 5:1 bis 2:3 liegen.
- Die elektronische Vorrichtung kann ein Feldeffekttransistor sein.
- Die elektronische Vorrichtung umfasst weiterhin eine dielektrische Schicht. Die dielektrische Schicht hat eine modifizierte Oberfläche. Die Halbleiterschicht ist in direktem Kontakt mit der modifizierten Oberfläche angeordnet. Es ist bevorzugt, dass die modifizierte Oberfläche mit einer Organosilanverbindung modifiziert wurde.
- Die
1 zeigt eine schematische Ansicht eines Dünnschichttransistors entsprechend einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. - Die
2 zeigt eine schematische Ansicht eines Dünnschichttransistors entsprechend einer zweiten Ausführungsform der Erfindung. - Die
3 zeigt eine schematische Ansicht eines Dünnschichttransistors entsprechend einer dritten Ausführungsform der Erfindung. - Die
4 zeigt eine schematische Ansicht eines Dünnschichttransistors entsprechend einer vierten Ausführungsform der Erfindung. - Die
5 ist ein farbiges Molekülmodell, das die Gleichgewichtsgeometrie und die Kristallstruktur von 2,8-Dihexylthiaxanthenothiaxanthen zeigt. - Die vorliegende Erfindung betrifft eine elektronische Vorrichtung mit einer Halbleiterschicht, wobei die Halbleiterschicht eine Thiaxanthenothiaxanthenverbindung, die hier beschrieben wird, enthält. Die Verbindung hat eine gute Löslichkeit. Eine Zusammensetzung, welche ein Polymerbindemittel und die Thiaxanthenothiaxanthenverbindung enthält, wird hier ebenfalls beschrieben. Eine Halbleiterschicht, die unter Verwendung der Zusammensetzung hergestellt wurde, ist an Luft sehr beständig und hat eine hohe Beweglichkeit. Die Halbleiterzusammensetzung kann zur Herstellung von Schichten in elektronischen Vorrichtungen, wie beispielsweise Dünnschichttransistoren (TFTs), verwendet werden.
- Die
1 zeigt einen TFT (bottom-gate bottom-contact Konfiguration) entsprechend einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Der TFT 10 umfasst das Substrat 20, welches in Kontakt mit der Gateelektrode 30 und der Gatedielektrikumsschicht 40 angeordnet ist. Die Gateelektrode 30 ist in dieser Ausführungsform in einer Vertiefung des Substrats 20 angeordnet, aber die Gateelektrode kann auch auf dem Substrat angeordnet werden. Es ist notwendig, dass die Gatedielektrikumsschicht 40 die Gateelektrode 30 von der Sourceelektrode 50, der Drainelektrode 60 und der Halbleiterschicht 70 trennt. Die Halbleiterschicht 70 erstreckt sich über und zwischen den Source- und Drainelektroden 50 und 60. Der Halbleiter hat eine Kanallänge 80 zwischen den Source- und Drainelektroden 50 und 60. - Die
2 zeigt einen TFT (bottom-gate top-contact Konfiguration) entsprechend einer anderen Ausführungsform der Erfindung. Der TFT 10 umfasst das Substrat 20, welches in Kontakt mit der Gateelektrode 30 und der Gatedielektrikumsschicht 40 angeordnet ist. Die Halbleiterschicht 70 ist auf der Gatedielektrikumsschicht 40 angeordnet und trenn diese von den Source- und Drainelektroden 50 und 60. - Die
3 zeigt einen TFT (bottom-gate bottom-contact Konfiguration) entsprechend einer weiteren Ausführungsform der Erfindung. Der TFT 10 umfasst das Substrat 20, das auch als Gateelektrode dient und das in Kontakt mit der Gatedielektrikumsschicht 40 angeordnet ist. Die Sourceelektrode 50, die Drainelektrode 60 und die Halbleiterschicht 70 sind auf der Gatedielektrikumsschicht 40 angeordnet. - Die
4 zeigt einen TFT (top-gate top-contact Konfiguration) entsprechend einer weiteren Ausführungsform der Erfindung. Der TFT 10 umfasst das Substrat 20, das in Kontakt mit der Sourceelektrode 50, der Drainelektrode 60 und der Halbleiterschicht 70 angeordnet ist. Die Halbleiterschicht 70 erstreckt sich über und zwischen den Source- und Drainelektroden 50 und 60. Die Gatedielektrikumsschicht 40 ist auf der Halbleiterschicht 70 angeordnet Die Gateelektrode 30 ist auf der Gatedielektrikumsschicht 40 angeordnet und wird durch diese von der Halbleiterschicht 70 getrennt. - Die erfindungsgemäß in der Halbleiterschicht enthaltene Thiaxanthenothiaxanthenverbindung wird durch die Formel (I) dargestellt:
- Im Folgenden wird eine Thiaxanthenothiaxanthenverbindung, in der R1 bis R10 Wasserstoffatome sind (das heißt die Thiaxanthenothiaxanthenverbindung hat keine Substituenten), auch mit „TXTX“ abgekürzt. Entsprechend einer Ausführungsform der Erfindung ist mindestens einer der Reste R1 bis R10 kein Wasserstoffatom. Die Verbindung der Formel (I) kann auch als „2,8-disubstituiertes Thiaxanthenothiaxanthen“ bezeichnet werden, wenn weder R2 noch R7 ein Wasserstoffatom ist. Der Halbleiter der Formel (I) könnte in diesem Fall auch als „2,8-disubstituiertes TXTX“ bezeichnet werden.
- Der Ausdruck „Alkylgruppe“, der hier verwendet wird, bedeutet eine Gruppe, die nur aus Kohlenstoffatomen und Wasserstoffatomen besteht und die gesättigt ist. Die Alkylgruppe kann eine geradkettige, verzweigte oder cyclische Gruppe sein.
- Der Ausdruck „Alkenylgruppe“, der hier verwendet wird, bedeutet eine Gruppe, die nur aus Kohlenstoffatomen und Wasserstoffatomen besteht und die mindestens eine Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindung enthält, die nicht Teil einer Aryl- oder Heteroarylstruktur ist. Die Alkenylgruppe kann eine geradkettige, verzweigte oder cyclische Gruppe sein.
- Der Ausdruck „Arylgruppe“, der hier verwendet wird, bedeutet eine aromatische Gruppe, die nur aus Kohlenstoffatomen und Wasserstoffatomen besteht. Wenn eine bestimmte Anzahl an Kohlenstoffatomen für eine Arylgruppe angegeben ist, umfasst diese Anzahl nicht die Anzahl an Kohlenstoffatomen in den Substituenten der Arylgruppe. Der Ausdruck „Arylgruppe mit 6 bis 10 Kohlenstoffatomen“ bezieht sich folglich auf die Anzahl an Kohlenstoffatomen im aromatischen System; dieser Ausdruck umfasst zum Beispiel eine Phenylgruppe (6 Kohlenstoffatome) oder eine Naphthylgruppe (10 Kohlenstoffatome), und eine Methylphenylgruppe, die insgesamt 7 Kohlenstoffatome enthält, ist definitionsgemäß eine Arylgruppe mit 6 Kohlenstoffatomen.
- Der Ausdruck „Heteroarylgruppe“, der hier verwendet wird, bedeutet eine aromatische Gruppe, die Kohlenstoffatome, Wasserstoffatome und mindestens ein Heteroatom enthält. Die Kohlenstoffatome und die Heteroatome sind Bestandteile eines Rings der Gruppe. Das mindestens eine Heteroatom kann O, S oder N sein. Beispiele für die Heteroarylgruppen umfassen eine Thienylgruppe (eine aromatische Gruppe der Formel -C4H3S, die durch Entfernen eines Wasserstoffatoms aus Thiophen gebildet wurde) und eine Pyridinylgruppe. Wenn eine bestimmte Anzahl an Kohlenstoffatomen für eine Heteroarylgruppe angegeben ist, umfasst diese Anzahl nicht die Anzahl an Kohlenstoffatomen in den Substituenten der Heteroarylgruppe.
- Der Ausdruck „Ethinyigruppe“, der hier verwendet wird, bezeichnet eine Gruppe der Formel -C≡C-H.
- Der Ausdruck „Alkoxygruppe“, der hier verwendet wird, bedeutet eine Gruppe, die eine Alkylgruppe umfasst, die an ein Sauerstoffatom gebunden ist; die Alkoxygruppe wird durch die Formel -O-CnH2n+1 dargestellt.
- Der Ausdruck „Alkylthiogruppe“, der hier verwendet wird, bedeutet eine Gruppe, die eine Alkylgruppe umfasst, die an ein Schwefelatom gebunden ist; die Alkylthiogruppe wird durch die Formel -S-CnH2n+1 dargestellt.
- Der Ausdruck „Trialkylsilylgruppe‟, der hier verwendet wird, bedeutet eine Gruppe mit einem vierwertigen Siliciumatom, an das drei Alkylgruppen gebunden sind; die Trialkylsilylgruppe wird durch die Formel -Si(R)3 dargestellt. Die drei Alkylgruppen können gleich oder verschieden sein. Die drei Alkylgruppen können substituiert sein.
- Der Ausdruck „Fluorkohlenwasserstoffgruppe“, der hier verwendet wird, bedeutet eine Gruppe, die nur Fluoratome, Wasserstoffatome und Kohlenstoffatome enthält. Die Gruppe enthält mindestens ein Fluoratom. Die Fluorkohlenwasserstoffgruppe kann eine geradkettige oder verzweigte Gruppe sein und ist gewöhnlich gesättigt.
- Der Ausdruck „substituiert“, der hier verwendet wird, bedeutet, dass mindestens ein Wasserstoffatom der genannten Gruppe durch ein anderes Atom oder eine Gruppe ersetzt ist, und Beispiele für die Substituenten umfassen ein Halogenatom sowie die Gruppen -CN, -NO2, -COOH und -SO3H, Ein Beispiel für eine substituierte Alkylgruppe ist eine Halogenalkylgruppe, in der mindestens ein Wasserstoffatom der Alkylgruppe durch ein Halogenatom, wie zum Beispiel ein Fluoratom, ein Chloratom, ein lodatom oder ein Bromatom, ersetzt ist. Eine Perhalogenalkylgruppe ist eine Alkylgruppe, in der alle Wasserstoffatome durch Halogenatome ersetzt sind. Eine Alkylgruppe, eine Alkenylgruppe oder eine Ethinylgruppe kann mit den zuvor genannten Substituenten substituiert sein, oder mit einer Arylgruppe oder einer Heteroarylgruppe. Beispiele für substituierte Alkenylgruppen umfassen eine Phenylethenylgruppe (-CH=CH-C6H5). Beispiele für eine substituiert Ethinylgruppe umfassen eine Phenylethinylgruppe (-CH=CH-C6H5). Eine Arylgruppe oder eine Heteroarylgruppe kann auch mit einer Alkylgruppe oder einer Alkoxygruppe substituiert sein. Beispiele für substituierte Arylgruppen umfassen eine Methylphenylgruppe und eine Methoxyphenylgruppe. Beispiele für substituierte Heteroarylgruppen umfassen eine 3-Hexylthiophen-2,5-diylgruppe.
- Die Alkyl- und Alkoxygruppen enthalten jeweils unabhängig voneinander bevorzugt 1 bis 30 Kohlenstoffatome. Die Arylgruppe enthält bevorzugt 6 bis 30 Kohlenstoffatome.
- Die Reste R1 bis R10 können, wie zuvor beschrieben wurde, gleich oder verschieden sein. Es ist bevorzugt, dass mindestens einer der Reste R1 bis R10 kein Wasserstoffatom ist. Der mindestens eine Rest, der kein Wasserstoffatom ist, ist bevorzugt ausgewählt aus der Gruppe, bestehend aus einer Alkylgruppe, einer substituierten Alkylgruppe, einer Alkenylgruppe, einer substituierten Alkenylgruppe, einer Ethinylgruppe, einer substituierten Ethinylgruppe, einer Arylgruppe, einer substituierten Arylgruppe, einer Heteroarylgruppe, einer substituierten Heteroarylgruppe und einem Halogenatom. Es ist bevorzugt, dass der mindestens eine Rest, der kein Wasserstoffatom ist, ein Halogenatom ist. Es ist besonders bevorzugt, dass zwei der Reste R1 bis R10 keine Wasserstoffatome sind.
- Entsprechend einer Ausführungsform der Erfindung sind R1, R3 bis R6 und R8 bis R10 Wasserstoffatome. Die Thiaxanthenothiaxanthenverbindung wird in diesem Fall durch die folgende Formel (II) dargestellt:
- Wenn weder R2 noch R7 Wasserstoffatome sind, kann die Verbindung der Formel (II) auch als 2,8-disubstituiertes Thiaxanthenothiaxanthen bezeichnet werden. Die Halbleiterverbindung der Formel (II) kann auch als 2,8-disubstituiertes TXTX bezeichnet werden.
- Die Verbindung der Formel (I) ist im Wesentlichen kristallin oder flüssigkristallin. Es ist bevorzugt, dass die Verbindung oder die Halbleiterschicht, die unter Verwendung der Verbindung hergestellt wurde, eine Kristallinität von mehr als etwa 50% hat. Es ist besonders bevorzugt, dass die Verbindung oder die Halbleiterschicht eine Kristallinität von mehr als etwa 80% oder von mehr als etwa 90% hat. Die Kristallinität der Halbleiterschicht kann unter Anwendung bekannter Verfahren, wie beispielsweise mittels Röntgenbeugungsanalyse, bestimmt werden.
- Der Ausdruck „flüssigkristallin“, der hier verwendet wird, bezieht sich auf Verbindungen, die mindestens zwei Schmelzpunkte haben. Die Phasenübergangstemperaturen können unter Anwendung bekannter Verfahren bestimmt werden, wie beispielsweise mittels Differenzkalorimetrie (DSC). Im Gegensatz dazu haben kristalline Verbindungen nur einen Schmelzpunkt.
- Die erfindungsgemäße Thiaxanthenothiaxanthenverbindung hat bevorzugt einen Bandabstand von etwa 1,8 bis etwa 3,2 eV. Dieser Bandabstand bedeutet, dass die Thiaxanthenothiaxanthenverbindung eine verbesserte Beständigkeit an Luft hat, verglichen mit der eines Halbleiters auf der Basis von Pentacen. Die Thiaxanthenothiaxanthenverbindung ist kristallin oder flüssigkristallin.
- Ein Verfahren zum Herstellen der Thiaxanthenothiaxanthenverbindung der Formel (II) beginnt gewöhnlich mit der Herstellung der TXTX-Verbindung. Danach können die Wasserstoffatome in den 2- und/oder 8-Positionen der TXTX-Verbindung substituiert werden, um 2-monosubstituierte TXTX-Verbindungen, 8-monosubstituierte TXTX-Verbindungen und/oder 2,8-disubstituierte TXTX-Verbindungen herzustellen.
- Eine Verbindung mit einem TXTX-Kern kann unter Anwendung von mindestens zwei Verfahren hergestellt werden. Bei einem ersten Verfahren wird 1,1'-Binaphthalin-2,2'-dithiol 1 in Gegenwart von Cu(lI) einer doppelten Ringschlussreaktion unterworfen, um die Verbindung mit einem TXTX-Kern herzustellen. Diese Reaktion ist im Folgenden angegeben:
-
-
- Die TXTX-Verbindung kann danach in den Positionen 2 und/oder 8 unter Anwendung bekannter Verfahren substituiert werden. Im Folgenden werden zwei Substitutionsverfahren beschrieben.
- Bei einem ersten Verfahren wird ein zweistufiges Verfahren angewandt, um eine 2,8-Dialkyl-substituierte TXTX-Verbindung aus der entsprechenden TXTX-Verbindung herzustellen. In einem ersten Schritt wird die TXTX-Verbindung einer Friedel-Crafts-Acylierung unterworfen, wobei die 2,8-Diacyl-substituierte TXTX-Verbindung 3 erhalten wird. Diese Reaktion ist im Folgenden angegeben:
-
-
-
- Die
5 zeigt ein farbiges Molekülmodell von 2,8-Dihexyl-TXTX, das heißt einer Verbindung der Formel (I), in der R1 und R2 Hexylgruppen sind. Das Modell zeigt die Gleichgewichtsgeometrie und die Kristallstruktur der Verbindung. Das Modell wurde in Materials Studio 5.0 unter Verwendung von DMol3 Package und der Kristallstrukturvorhersage erhalten, wobei das Polymorph-Modul verwendet wurde. Es wird davon ausgegangen, dass die Schwefelheteroatome die Beständigkeit beziehungsweise Haltbarkeit der Verbindung verbessern, dass der ausgedehnte Heteroacenkern die Orbitalüberlappung verbessert und dass die Substitution in den 2- und 8-Positionen zu einer verbesserten Löslichkeit und zu einer erhöhten Festkörper-Packung führt. Solche Verbindungen sind an Luft beständig, zeichnen sich durch eine gute Löslichkeit aus und ermöglichen eine hohe Feldeffektbeweglichkeit. Elektronische Vorrichtungen mit einer Halbleiterschicht, welche diese Verbindungen enthält, können kostengünstig unter Umgebungsbedingungen hergestellt werden. - Der Halbleiter mit kleiner Molekülgröße kann als solcher unzureichende Schichtbildungseigenschaften haben, was auf die kristallinen oder flüssigkristallinen Eigenschaften der Verbindung zurückgeführt werden kann. Die Halbleiterzu-sammensetzung umfasst ebenfalls ein Polymerbindemittel. wodurch die Herstellung einer gleichförmigen Schicht ermöglicht wird, was zu einer deutlichen Verbesserung der Leistungsfähigkeit der Vorrichtung führt. Das Polymerbindemittel bildet eine Matrix, in der die Thiaxanthenothiaxanthenverbindung dispergiert ist.
- Das Polymerbindemittel für die Halbleiterzusammensetzung kann jedes geeignete Polymer sein. Das Polymer kann ein amorphes Polymer sein. Entsprechend einer Ausführungsform der Erfindung hat das amorphe Polymer eine Glasübergangstemperatur, die niedriger als die Schmelztemperatur des Halbleiters mit kleiner Molekülgröße der Formel (I) ist. Entsprechend einer anderen Ausführungsform der Erfindung hat das amorphe Polymer eine Glasübergangstemperatur, die höher als die Schmelztemperatur des Halbleiters mit kleiner Molekülgröße ist. Entsprechend einer Ausführungsform der Erfindung hat das Polymer eine Dielektrizitätskonstante von weniger als 4,5, bevorzugt von weniger als 3,5 und besonders bevorzugt von weniger als 3,0, gemessen bei 60 Hz und bei Raumtemperatur. Das Polymer kann eine Verbindung sein, die nur Atome enthält, ausgewählt aus C, H, F, Cl und N. Es ist bevorzugt, dass das Polymer ein Polymer mit einer geringen Polarität ist, wie zum Beispiel ein Kohlenwasserstoffpolymer oder ein Fluorkohlenstoffpolymer ohne polare Gruppen. Polystyrol ist ein Beispiel für ein amorphes Polymer und hat eine Dielektrizitätskonstante von etwa 2,6. Beispiele für andere Polymere mit einer geringen Polarität umfassen Fluorpolyarylether, Polyparylen, Poly(vinyltoluol), Poly(α-methylstyrol), Poly(α-vinylnaphthalin), Polyethylen, Polypropylen, Polyisopren, Poly(tetrafluorethylen), Poly(chlortrifluorethylen), Poly(2-methyl-1,3-butadien), Poly(cyclohexylmethacrylat), Poly(chlorstyrol), Poly(4-methylstyrol), Poly(vinylcyclohexan), Polyphenylen, Poly-p-phenylvinylidene, Poly(arylenether), Polyisobutylen, Poly(2,6-dimethyl-1,4-phenylenether), Poly[1,1-(2-methylpropan)bis(4-phenyl)carbonat], Poly(α,α,α',α'-tetrafluor-p-xylylen), fluorierte Polyimide, Poly(ethylen/tetrafluorethylen), Poly(ethylen/chlortrifluorethylen), fluorierte Ethylen/Propylen-Copolymere, Poly(styrol-co-α-methylstyrol), Poly(styrol/butadien), Poly(styrol/2,4-dimethylstyrol), CYTOP, Poly(propylen-co-1-buten), Poly(styrol-co-vinyltoluol), Poly(styrol-block-butadien-blockstyrol), Poly(styrol-block-isopren-block-styrol), Terpenharze, Poly(N-vinylcarbazol), Polycarbazol, Polytriarylamin und dergleichen.
- Das Gewichtsverhältnis von Thiaxanthenothiaxanthenverbindung zu Polymerbindemittel kann im Bereich von 5:1 bis 2:3 liegen.
- Die Halbleiterzusammensetzung kann weiterhin ein Lösungsmittel enthalten, in dem die Thiaxanthenothiaxanthenverbindung und das Polymerbindemittel löslich sind. Beispiele für geeignete Lösungsmittel, die erfindungsgemäß verwendet werden können, umfassen chlorierte Lösungsmittel, wie beispielsweise Chlorbenzol, Chlortoluol, Dichlorbenzol, Dichlorethan und dergleichen; Alkohole und Diole, wie beispielsweise Propanol, Butanol, Hexanol, Hexandiol und dergleichen; Kohlenwasserstoffe oder aromatische Kohlenwasserstoffe, wie beispielsweise Hexan, Heptan, Toluol, Xylol, Mesitylen, Ethylbenzol und dergleichen; Ketone, wie beispielsweise Aceton, Methylethylketon und dergleichen; Acetate, wie beispielsweise Ethylacetat; Pyridin; Tetrahydrofuran; Dioxan; und dergleichen.
- Die Halbleiterzusammensetzung, welche die Thiaxanthenothiaxanthenverbindung und das Polymerbindemittel enthält, kann eine Viskosität im Bereich von etwa 1,5 Zentipoise (cps) bis etwa 100 cps oder im Bereich von etwa 2 cps bis etwa 20 cps haben.
- Die Halbleiterschicht der elektronischen Vorrichtung kann unter Anwendung bekannter Verfahren hergestellt werden. Entsprechend einer Ausführungsform der Erfindung wird die Halbleiterschicht unter Anwendung eines Verfahrens hergestellt, bei dem eine Lösung der Bestandteile aufgebracht wird. Beispiele für solche Verfahren umfassen ein Schleuderbeschichtungsverfahren; ein Verfahren, bei dem eine Klinge zum Beschichten verwendet wird; ein Verfahren, bei dem ein Stab zum Beschichten verwendet wird; ein Eintauchbeschichtungsverfahren; ein Druckverfahren, bei dem eine Schablone beziehungsweise ein Sieb verwendet wird; ein Tintenstrahldruckverfahren; ein Verfahren, bei dem ein Stempel verwendet wird; ein Tiefdruckverfahren; ein Flexodruckverfahren; und dergleichen.
- Die Halbleiterschicht, die unter Verwendung der Halbleiterzusammensetzung hergestellt wurde, kann eine Tiefe von etwa 5 nm bis etwa 1000 nm, wie zum Beispiel etwa 20 nm bis etwa 100 nm, haben. Die Halbleiterschicht kann die Source- und Drainelektroden vollständig überdecken; diese Ausführungsform der Erfindung ist in den
1 und4 gezeigt. - Die Leistungsfähigkeit eines TFT kann durch die Beweglichkeit bestimmt werden. Die Beweglichkeit wird in der Einheit cm2/V·s gemessen; eine hohe Beweglichkeit ist erwünscht. Ein TFT, der unter Verwendung der erfindungsgemäßen Halbleiterzusammensetzung hergestellt wurde, hat gewöhnlich eine Feldeffektbeweglichkeit von mindestens etwa 0,01 cm2/V·s. Der erfindungsgemäße TFT hat gewöhnlich ein On/Off-Stromverhältnis von mindestens etwa 103.
- Ein Dünnschichttransistor umfasst gewöhnlich ein Substrat, eine optionale Gateelektrode, Sourceelektrode, Drainelektrode und eine dielektrische Schicht, sowie eine Halbleiterschicht.
- Beispiele für die Substratmaterialien umfassen Silicium, Glasplatten und Kunststofffilme oder -folien. Für flexible Vorrichtungen können Kunststoffsubstrate, wie zum Beispiel Polyester-, Polycarbonat- oder Polyimidfolien und dergleichen, verwendet werden. Die Dicke des Substrats liegt bevorzugt im Beriech von etwa 10 µm bis mehr als 10 mm und besonders bevorzugt im Bereich von etwa 50 µm bis etwa 100 µm, insbesondere bei flexiblen Kunststoffsubstraten, und besonders bevorzugt im Bereich von etwa 0,5 bis etwa 10 mm bei starren Substraten, wie beispielsweise Glas oder Silicium.
- Die dielektrische Schicht ist gewöhnlich eine Schicht aus einem anorganischen Material, eine organische Polymerschicht oder eine Schicht, die sowohl organische als auch anorganische Materialien enthält. Beispiele für geeignete anorganische Materialien für die dielektrische Schicht umfassen Siliciumoxid, Siliciumnitrid, Aluminiumoxid, Bariumtitanat, Bariumzirkoniumtitanat und dergleichen. Beispiele für geeignete organische Polymere umfassen Polyester, Polycarbonate, Poly(vinylphenol), Polyimide, Polystyrol, Polymethacrylate, Polyacrylate, Epoxyharze und dergleichen. Die Dicke der dielektrischen Schicht hängt von der Dielektrizitätskonstante des verwendeten Materials ab und kann zum Beispiel im Bereich von etwa 10 nm bis etwa 500 nm liegen. Die dielektrische Schicht kann eine Leitfähigkeit von weniger als etwa 10-12 Siemens pro Zentimeter (S/cm) haben. Die dielektrische Schicht kann unter Anwendung bekannter Verfahren hergestellt werden, wie zum Beispiel unter Anwendung der Verfahren, die für die Herstellung der Gateelektrode beschrieben wurden.
- Die Oberfläche der dielektrischen Schicht wird mit einem Modifizierungsmittel modifiziert. Beispiele für geeignete Modifizierungsmittel umfassen Organosilanverbindungen, wie beispielsweise Hexamethyldisilazan (HMDS), Octyltrichlorsilan (OTS-8), Octadecyltrichlorsilan (ODTS-18) und Phenyltrichlorsilan (PTS). Die Halbleiterschicht wird in direktem Kontakt mit dieser modifizierten Oberfläche der dielektrischen Schicht angeordnet. Der Kontakt kann vollständig oder partiell sein. Diese oberflächliche Modifikation führt zu einer Grenzschicht zwischen der dielektrischen Schicht und der Halbleiterschicht.
- Die Gateelektrode besteht aus einem elektrisch leitfähigen Material. Diese Elektrode kann eine dünne Metallschicht, eine leitfähige Polymerschicht, eine Schicht aus einer leitfähigen Tinte oder Paste, oder das Substrat selbst, wie beispielsweise hochdotiertes Silicium, sein. Beispiele für die Materialien, die für die Herstellung der Gateelektrode verwendet werden können, umfassen Aluminium, Gold, Silber, Chrom, Indiumzinnoxid, leitfähige Polymere, wie beispielsweise mit Polystyrolsulfonat dotiertes Poly(3,4-ethylendioxythiophen) (PSS-PEDOT), und leitfähige Tinten/Pasten, die Ruß/Graphit umfassen. Die Gateelektrode kann durch Vakuumaufdampfen, durch Sputtern von Metallen oder leitfähigen Metalloxiden, durch einen gewöhnlichen Lithografieprozess und Ätzen, mit einem CVD-Verfahren, durch Schleuderbeschichten, durch Gießen oder Aufdrucken, oder unter Anwendung eines anderen Abscheidungsverfahrens hergestellt werden. Die Dicke der Gateelektrode liegt bei Metallschichten zum Beispiel im Bereich von etwa 10 bis etwa 200 nm und bei leitfähigen Polymeren zum Beispiel im Bereich von etwa 1 bis etwa 10 µm. Beispiele für die Materialien, die für die Herstellung der Source- und Drainelektroden verwendet werden können, umfassen die Materialien, die für die Herstellung der Gateelektrode verwendet werden können, wie zum Beispiel Aluminium, Gold, Silber, Chrom, Zink, Indium, leitfähige Metalloxide, wie beispielsweise Zinkgalliumoxid, Indiumzinnoxid oder Indiumantimonoxid, leitfähige Polymere und leitfähige Tinten. Die Dicke der Source- und Drainelektroden liegt gewöhnlich im Bereich von etwa 40 nm bis etwa 1 µm und bevorzugt im Bereich von etwa 100 bis etwa 400 nm.
- Typische Materialien, die für die Herstellung der Source- und Drainelektroden verwendet werden können, umfassen die Materialien, die für die Herstellung der Gateelektrode verwendet werden können, wie zum Beispiel Gold, Silber, Nickel, Aluminium, Platin, leitfähige Polymere und leitfähige Tinten. Bevorzugte Elektrodenmaterialien umfassen solche, die einen geringen Kontaktwiderstand zum Halbleiter haben. Die Dicke der Elektroden liegt gewöhnlich im Bereich von etwa 40 nm bis etwa 1 µm und bevorzugt im Bereich von etwa 100 bis etwa 400 nm. Die erfindungsgemäßen OTFT-Vorrichtungen enthalten einen Halbleiterkanal. Die Halbleiterkanalbreite liegt gewöhnlich im Bereich von etwa 5 µm bis etwa 5 mm und bevorzugt im Bereich von etwa 100 µm bis etwa 1 mm. Die Halbleiterkanallänge liegt gewöhnlich im Bereich von etwa 1 µm bis etwa 1 mm und bevorzugt im Bereich von etwa 5 µm bis etwa 100 µm.
- Die Sourceelektrode wird geerdet und eine Vorspannung von zum Beispiel etwa 0 V bis etwa 80 V wird an die Drainelektrode angelegt, um die Ladungsträger zu sammeln, die durch den Halbleiterkanal transportiert wurden, wenn beispielsweise eine Spannung von etwa +10 V bis etwa -80 V an die Gateelektrode angelegt wurde. Die Elektroden können unter Anwendung bekannter Verfahren aufgebracht oder abgeschieden werden.
- Auf dem TFT kann gegebenenfalls eine Schutzschicht aufgebracht werden, um die Vorrichtung vor Umwelteinflüssen, wie beispielsweise Licht, Sauerstoff oder Feuchtigkeit und dergleichen, welche die elektrischen Eigenschaften beeinträchtigen können, zu schützen. Solche Schutzschichten sind bekannt und können einfache Polymerschichten sein.
- Die verschiedenen Bestandteile des organischen Dünnschichttransistors können in einer beliebigen geeigneten Anordnung auf dem Substrat aufgebracht werden. Die Gateelektrode und die Halbleiterschicht sollten jedoch beide in Kontakt mit der Gatedielektrikumsschicht angeordnet werden, und die Source- und Drainelektroden sollten beide in Kontakt mit der Halbleiterschicht angeordnet werden. Der Ausdruck „in einer beliebigen geeigneten Anordnung“ bedeutet, dass die Bestandteile nacheinander oder gleichzeitig aufgebracht werden können. Die Sourceelektrode und die Drainelektrode können zum Beispiel gleichzeitig oder nacheinander aufgebracht werden. Der Ausdruck „auf dem Substrat“ bezieht sich auch auf die verschiedenen Schichten und Bestandteile, die bereits auf dem Substrat aufgebracht wurden und die eine Grundlage oder ein Träger für weitere Schichten und Bestandteile sein können. Mit anderen Worten, alle Bestandteile sind auf dem Substrat angeordnet, obwohl nicht alle Bestandteile in direktem Kontakt mit dem Substrat angeordnet sein müssen. Beispielsweise sind sowohl die dielektrische Schicht als auch die Halbleiterschicht auf dem Substrat angeordnet, obwohl sich eine Schicht näher am Substrat befindet als die andere. Der erhaltene TFT zeichnet sich durch eine gute Beweglichkeit und durch ein gutes On/Off-Stromverhältnis aus.
- Die Erfindung wird im Folgenden anhand von Beispielen genauer beschrieben.
- Beispiele
- Thioxantheno[2,1,9,8-klmna]thioxanthen wurde über folgende chemische Reaktionen hergestellt.
- Zuerst wurde [1,1'-Binaphthalin]-2,2'-dithiol auf die folgende Weise hergestellt:
- Dann wurde eine Lösung von [1,1'-Binaphthalin]-2,2'-diyl-bis(dimethylcarbamothioat) (2,00 g; 4,3 mMol) in einem 1:1-Gemisch von THF (20 ml) und MeOH (20 ml) mit einer Lösung von KOH (2,42 g; 43 mMol) in entionisiertem Wasser (20 ml) behandelt Die Umsetzung wurde bei 60 °C unter einer Argon-Inertgasatmosphäre durchgeführt. Nach 24 Stunden wurde die Heizquelle entfernt und das Reaktionsgemisch wurde auf Raumtemperatur abgekühlt. Das Gemisch wurde tropfenweise mit Eisessig (3,0 ml) versetzt. Das rohe Reaktionsgemisch wurde dann mit CH2Cl2 (3x75 ml) extrahiert. Die CH2Cl2-Schichten wurden vereint, mit Kochsalzlösung (50 ml) gewaschen, getrocknet (MgSO4), filtriert und unter Verwendung eines Rotationsverdampfers zur Trockene aufkonzentriert. Das erhaltene Produkt war ein schaumartiger Feststoff und wurde ohne eine weitere Reinigung verwendet. Die Struktur wurde mittels 1H NMR-Spektroskopie bestätigt.
-
- Eine Lösung von rohem [1,1'-Binaphthalin]-2,2'-dithiol (1,4 g; 4,3 mMol) in einem 1:1-Gemisch von CH2Cl2 (20 ml) und Et3N (20 ml) wurde unter einer Argon-Inertgasatmosphäre auf 0 °C abgekühlt. Das Gemisch wurde tropfenweise mit lodmethan (1,4 ml; 22 mMol) behandelt. Nach 5 Minuten wurde das Kühlbad entfernt und das Reaktionsgemisch wurde bei Raumtemperatur gerührt. Nach 18 Stunden wurde das rohe Reaktionsgemisch filtriert, um das bei der Umsetzung gebildete Salz zu entfernen, und dann unter Verwendung eines Rotationsverdampfers aufkonzentriert. Das Rohprodukt wurde mittels Säulenchromatographie auf Kieselgel (Eluent: ein 9:1-Gemisch von Ethylacetat und Hexan) gereinigt. Das Produkt wurde als weißlicher Feststoff isoliert und die Struktur wurde mittels 1H NMR-Spektroskopie bestätigt.
-
- Eine Lösung von 2,2'-Bis(methylthio)-1,1'-binaphthalin (0,59 g: 1,7 mMol) in Eisessig (20 ml) wurde mit einer 35%igen Wasserstoffperoxidlösung (0,41 g; 4,3 mMol) behandelt und bei Raumtemperatur gerührt. Nach 5 Stunden wurde das Reaktionsgemisch mit Wasser (25 ml) gekühlt. Das rohe Reaktionsgemisch wurde mit Ethylacetat (3x50 ml) extrahiert. Die Ethylacetatschichten wurden vereint, mit Kochsalzlösung (50 ml) gewaschen, getrocknet (MgSO4), filtriert und unter Verwendung eines Rotationsverdampfers zur Trockene aufkonzentriert. Das erhaltene Produkt war ein schaumartiger Feststoff und wurde ohne eine weitere Reinigung verwendet. Die Struktur wurde mittels 1H NMR-Spektroskopie bestätigt.
- Zuletzt wurde Thioxantheno[2,1.9,8-klmna]thioxanthen hergestellt, wie Im Folgenden angegeben:
Claims (2)
- Elektronische Vorrichtung mit einer Halbleiterschicht, wobei die Halbleiterschicht eine Thiaxanthenothiaxanthenverbindung der Formel (I) enthält:
- Elektronische Vorrichtung nach
Anspruch 1 , wobei das Polymerbindemittel ausgewählt ist aus der Gruppe, bestehend aus Polymethylmethacrylat, Polystyrol, Poly(a-methylstyrol), Poly(4-methylstyrol), Poly(a-methylstyrol-co-vinyltoluol), Poly(styrol-block-butadien-block-styrol), Poly(styrol-block-isopren-block-styrol), Poly(vinyltoluol), Poly(vinylnaphthalin), Poly(vinylpyridin), Terpenharzen, Poly(styrol-co-2,4-dimethylstyrol), Poly(chlorstyrol), Poly(styrol-co-α-methylstyrol), Poly(styrol-co-butadien), Polycarbazol, Polytriarylaminen, Poly(N-vinylcarbazol), Polythiophenen und Gemischen davon.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US13/024,446 US9123902B2 (en) | 2011-02-10 | 2011-02-10 | Semiconductor compound |
US13/024,446 | 2011-02-10 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102012201975A1 DE102012201975A1 (de) | 2012-08-16 |
DE102012201975B4 true DE102012201975B4 (de) | 2022-12-08 |
Family
ID=46579824
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102012201975.8A Active DE102012201975B4 (de) | 2011-02-10 | 2012-02-10 | Elektronische Vorrichtung |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9123902B2 (de) |
JP (1) | JP2012169616A (de) |
KR (1) | KR101934455B1 (de) |
DE (1) | DE102012201975B4 (de) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20130049075A (ko) * | 2011-11-03 | 2013-05-13 | 삼성디스플레이 주식회사 | 신규한 헤테로고리 화합물 및 이를 포함한 유기발광 소자 |
US9752040B2 (en) * | 2015-01-12 | 2017-09-05 | Xerox Corporation | Nanosilver ink compositions comprising polystyrene additives |
KR200483403Y1 (ko) | 2017-01-09 | 2017-05-11 | 전영민 | 다용도 책상 가림판 겸용 매트 |
CN111004253B (zh) * | 2019-11-28 | 2021-06-29 | 北京燕化集联光电技术有限公司 | 一种oled材料及其应用 |
CN111087407A (zh) * | 2019-11-28 | 2020-05-01 | 北京燕化集联光电技术有限公司 | 一种oled材料及其应用 |
KR102175927B1 (ko) | 2020-07-24 | 2020-11-06 | 주식회사 동해 | 식탁용 가림막 장치 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5281489A (en) | 1990-03-16 | 1994-01-25 | Asashi Kasei Kogyo Kabushiki Kaisha | Electroluminescent element |
US5281498A (en) | 1991-05-23 | 1994-01-25 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Sheet-like separator and valve regulated lead acid battery |
US20090289248A1 (en) | 2008-05-26 | 2009-11-26 | Sony Corporation | Dioxaanthanthrene compound and semiconductor device |
US20100013381A1 (en) | 2006-07-28 | 2010-01-21 | Merck Patent Gmbh | Novel materials for organic electroluminescent devices |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0787419B1 (de) * | 1995-08-21 | 2001-05-30 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Elektrolumineszente vorrichtung |
EP1083613A3 (de) * | 1999-09-09 | 2006-04-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Leitende organische Verbindung mit einer pi-Elektronen-Resonanzstruktur |
JP2002043056A (ja) * | 2000-07-19 | 2002-02-08 | Canon Inc | 発光素子 |
JP2002343572A (ja) * | 2001-03-14 | 2002-11-29 | Canon Inc | ポルフィリン誘導体化合物を用いた発光素子および表示装置 |
-
2011
- 2011-02-10 US US13/024,446 patent/US9123902B2/en active Active
-
2012
- 2012-02-01 JP JP2012020268A patent/JP2012169616A/ja active Pending
- 2012-02-08 KR KR1020120012996A patent/KR101934455B1/ko active IP Right Grant
- 2012-02-10 DE DE102012201975.8A patent/DE102012201975B4/de active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5281489A (en) | 1990-03-16 | 1994-01-25 | Asashi Kasei Kogyo Kabushiki Kaisha | Electroluminescent element |
US5281498A (en) | 1991-05-23 | 1994-01-25 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Sheet-like separator and valve regulated lead acid battery |
US20100013381A1 (en) | 2006-07-28 | 2010-01-21 | Merck Patent Gmbh | Novel materials for organic electroluminescent devices |
US20090289248A1 (en) | 2008-05-26 | 2009-11-26 | Sony Corporation | Dioxaanthanthrene compound and semiconductor device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101934455B1 (ko) | 2019-01-02 |
JP2012169616A (ja) | 2012-09-06 |
DE102012201975A1 (de) | 2012-08-16 |
US20120205630A1 (en) | 2012-08-16 |
KR20120092052A (ko) | 2012-08-20 |
US9123902B2 (en) | 2015-09-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4581062B2 (ja) | 電界効果トランジスタ、半導体デバイス作製用インク、電界効果トランジスタの製造方法、および有機複素環化合物 | |
DE102012201975B4 (de) | Elektronische Vorrichtung | |
DE602005000959T2 (de) | Verfahren zur Herstellung oligomerer Thiophenverbindungen | |
JP5851964B2 (ja) | 非対称ジベンゾジチエノチオフェン化合物 | |
DE102011089572B4 (de) | Halbleiterzusammensetzung und deren Verwendung | |
US8742403B2 (en) | Xanthene based semiconductor compositions | |
DE102011089351B4 (de) | Halbleiterzusammensetzung | |
DE102012206387B4 (de) | Halbleiterzusammensetzung | |
DE102012208544B4 (de) | Elektronische Vorrichtungen und Verfahren zu deren Herstellung | |
JP2008147256A (ja) | 電界効果トランジスタ | |
JP2015199716A (ja) | 多環縮環化合物、有機半導体材料、有機半導体デバイス及び有機トランジスタ | |
DE102012201973B4 (de) | Halbleiterzusammensetzung | |
DE102012201840B4 (de) | Halbleiterzusammensetzung | |
JP2018052926A (ja) | 縮合多環芳香族化合物及びその用途 | |
JP6526585B2 (ja) | 縮合多環芳香族化合物及びその用途 | |
JP2019052111A (ja) | ヘテロアセン誘導体、有機半導体層、及び有機薄膜トランジスタ | |
DE102011089350A1 (de) | Tetrahydrotetraacene in Dünnschichttransistoren |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R081 | Change of applicant/patentee |
Owner name: SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD., KR Free format text: FORMER OWNER: XEROX CORP., NORWALK, US Effective date: 20130704 Owner name: SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD., SUWON-SI, KR Free format text: FORMER OWNER: XEROX CORP., NORWALK, CONN., US Effective date: 20130704 |
|
R082 | Change of representative |
Representative=s name: GRUENECKER, KINKELDEY, STOCKMAIR & SCHWANHAEUS, DE Effective date: 20130704 Representative=s name: GRUENECKER PATENT- UND RECHTSANWAELTE PARTG MB, DE Effective date: 20130704 |
|
R012 | Request for examination validly filed | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R018 | Grant decision by examination section/examining division | ||
R079 | Amendment of ipc main class |
Free format text: PREVIOUS MAIN CLASS: C07D0495040000 Ipc: H01L0051000000 |
|
R079 | Amendment of ipc main class |
Free format text: PREVIOUS MAIN CLASS: H01L0051000000 Ipc: H10K0099000000 |
|
R020 | Patent grant now final |