DE102011055542B4

DE102011055542B4 - Verfahren zum Herstellen eines strukturierten Verzögerers

Info

Publication number: DE102011055542B4
Application number: DE102011055542.0A
Authority: DE
Inventors: Hyunjong Noh; Jinho Kim; Youngnam Lim; Kyeoungjin Kim
Original assignee: LG Display Co Ltd
Current assignee: LG Display Co Ltd
Priority date: 2010-11-24
Filing date: 2011-11-21
Publication date: 2019-06-19
Anticipated expiration: 2031-11-22
Also published as: DE102011055542A1; KR101354296B1; KR20120055889A; CN102662247B; CN102662247A; US8455181B2; US20120129107A1

Abstract

Verfahren zum Herstellen eines strukturierten Verzögerers (PR), aufweisend:Bestimmen eines ersten Verzögerungsbereichs (PR1) und eines zweiten Verzögerungsbereichs (PR2) auf dem strukturierten Verzögerer (PR);Ausbilden einer ersten Polarisationsstruktur in dem ersten Verzögerungsbereich (PR1) durch einen Teilbelichtungsprozess mit einer ersten Belichtungsenergie; undAusbilden einer zweiten Polarisationsstruktur in dem zweiten Verzögerungsbereich (PR2) durch einen Gesamtbelichtungsprozess mit einer zweiten Belichtungsenergie,wobei die zweite Belichtungsenergie 60% oder weniger der ersten Belichtungsenergie ist.

Description

Diese Anmeldung beansprucht den Nutzen der koreanischen Patentanmeldung Nr. 10-2010-117330 (veröffentlicht als KR 10 2012 0 055 889 A ), eingereicht am 24. November 2010.
HINTERGRUND DER ERFINDUNG
Gebiet der Erfindung
Die vorliegende Offenbarung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines strukturierten Verzögerers (Verzögerungsvorrichtung, Retarder), der in einer 3D-Display-Vorrichtung verwendet wird. Insbesondere betrifft die vorliegende Offenbarung ein Verfahren zum Formen zweier Bereiche, die unterschiedliche Polarisationsrichtungen zueinander haben, auf dem strukturierten Verzögerer, der auf der Oberfläche einer Flachpanel-Display-Vorrichtung angeordnet ist, welche 3D Bilder zeigt.
Verwandte Technik
Neuerlich werden Dank dem Fortschritt von unterschiedlichen Videoinhalten Display-Vorrichtungen aktiv entwickelt, die selektiv 2D Bilder und 3D Bilder wiedergeben können. Zum Wiedergeben der 3D Bilder verwendet das Display eine stereoskopische Technik oder eine autostereoskopische Technik.
Die stereoskopische Technik nutzt die binokulare Parallaxe, die auftritt, weil der Mensch zwei voneinander beabstandete Augen hat. Es gibt typischerweise zwei Typen, einen Brillentyp und einen Nicht-Brillentyp. Bei dem Brillentyp stellt die Display-Vorrichtung das Bild für das linke Auge und das Bild für das rechte Auge in unterschiedlichen Polarisationsrichtungen oder nach Art einer Zeitaufteilung (Shutterprinzip) dar. Der Beobachter kann sich an den 3D Bildem erfreuen unter Verwendung von Polarisationsbrillen bzw. von Flüssigkristall-Shutterbrillen. Bei dem Nicht-Brillentyp wird eine optische Platte, wie zum Beispiel eine Parallaxenbarriere, zum Separieren einer optischen Achse des parallelen Bildes zwischen dem linken Auge und dem rechten Auge vor oder hinter dem Displayschirm installiert.
Als ein Beispiel für den Brillentyp gibt es eine 3D Display-Vorrichtung, die einen strukturierten Verzögerer auf dem Displaypanel hat. Diese 3D Display-Vorrichtung stellt 3D Bilder dar unter Verwendung der Polarisationscharakteristiken des strukturierten Verzögerers und der Polarisationsbrillen. Deshalb gibt es kein Übersprechen-Problem zwischen dem Bild des linken Auges und dem Bild des rechten Auges und eine hellere Lumineszenz ist sichergestellt, sodass die Qualität des Bildes besser ist als bei einem anderen Typ von 3D Display-Vorrichtungen.
Die 3D Display-Vorrichtung ist die Vorrichtung zum selektiven Darstellen von 2D Bildern und 3D Bildern. Bei der 3D Display-Vorrichtung, die den strukturierten Verzögerer hat, gibt es den strukturierten Verzögerer auf der oberen Oberfläche des Displaypanels, das die 2D und 3D Bilder selektiv darstellt. Deshalb ist es beim Verbessern des Verfahrens zum Herstellen des strukturierten Verzögerers notwendig, das Verfahren zum Herstellen der 3D Display-Vorrichtung so zu entwickeln, dass es eine bessere Displayqualität bei geringeren Kosten hat.
US 2004/0263974 A1 beschreibt ein Polarisationsumwandlungssystem, das strukturiertes Halbwellenverzögerungsmaterial und einen Polarisationsstrahlteiler verwendet, wobei ein Strukturieren mittels Bestrahlen des Verzögerungsmaterials mit orientiertem Licht durchgeführt wird und unter Verwendung einer optischen Maske durchgeführt werden kann. Darin erzeugen ausgewählte Bereiche der strukturierten Verzögerungsschicht keine Netto-Drehung des Lichts von dem Polarisationsstrahlteiler, während andere Bereiche Licht um 90° drehen, wodurch eine Polarisationsumwandlung bereitgestellt wird.
WO 2005/012990 A1 beschreibt ein Verfahren zum Herstellen eines strukturierten optischen Verzögerers, das Bilden einer Ausrichtungsschicht auf einem Substrat, Oberflächenausrichtung einer gesamten Oberfläche der Ausrichtungsschicht in einem ersten Ausrichtungsschritt und Oberflächenausrichtung nur in einem Bereich, der nicht maskiert ist, zum Bilden einer vorher festgelegten Ausrichtungsstruktur der Ausrichtungsschicht in einem zweiten Ausrichtungsschritt aufweist. Darin ist ein Maskenprozess, der einen Fotomaskenprozess zum Bilden einer Struktur aufweist, um die Hälfte reduziert.
DARSTELLUNG DER ERFINDUNG
Um die vorstehend erwähnten Nachteile zu beseitigen, ist es der Zweck der vorliegenden Offenbarung, ein Verfahren zum Herstellen des strukturierten Verzögerers (Verzögerungsvorrichtung, Retarder) vorzuschlagen, bei dem die Belichtungsenergieeffizienz verbessert ist. Ein weiterer Zweck der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren zum Herstellen des strukturierten Verzögerers vorzuschlagen, bei dem die Herstellungszeit merklich reduziert ist.
Um die vorstehenden Zwecke zu erreichen, schlägt die vorliegende Offenbarung ein Verfahren zum Herstellen eines strukturierten Verzögerers gemäß dem Patentanspruch 1 vor.
Vorteilhafte Weiterbildungen des Verfahrens ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen.
Bei dem Verfahren zum Herstellen des strukturierten Verzögerers gemäß der vorliegenden Offenbarung wird zuerst eine Teilbelichtung durchgeführt und dann wird eine Gesamtbelichtung durchgeführt, wodurch es möglich ist, den strukturierten Verzögerer mit einer geringen Belichtungsenergie herzustellen. Zusätzlich ist es durch das Herstellen des strukturierten Verzögerers mit der geringen Belichtungsenergie möglich, die gesamte Herstellungstaktzeit zu verringern, sodass ein Produktionsziel verbessert werden kann und die Produktionskosten verringert werden können.
Figurenliste
Die beigefügten Zeichnungen, die eingeschlossen sind, um ein weiteres Verständnis der Erfindung bereitzustellen, und welche hierin aufgenommen sind und einen Teil dieser Beschreibung darstellen, zeigen Ausführungsformen der Erfindung und dienen zusammen mit der Beschreibung dazu, die Prinzipien der Erfindung zu erläutern.
In den Zeichnungen zeigen:

1 eine perspektivische Ansicht, die die Struktur einer Display-Vorrichtung zeigt, die einen strukturierten Verzögerer gemäß der vorliegenden Offenbarung hat;
2 eine Schnittansicht, die die Struktur eines strukturierten Verzögerers gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt;
die 3A bis 3C Schritte zum Herstellen eines strukturierten Verzögerers gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung;
die 4A bis 4C die Schritte zum Herstellen eines strukturierten Verzögerers gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER GEZEIGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
Nachfolgend werden mit Bezug zu den beigefügten Figuren bevorzugte Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung erläutert. Verschiedene Ausführungsformen stellen Ausführungsformen stereoskopischer Techniken bereit, beispielsweise von dem Brillentyp. 1 ist eine perspektivische Ansicht, die die Struktur einer Display-Vorrichtung zeigt, die einen strukturierten Verzögerer (Verzögerungsvorrichtung, Retarder) gemäß der vorliegenden Offenbarung hat. Bezug nehmend auf 1 weist die Display-Vorrichtung gemäß der vorliegenden Offenbarung ein Displaypanel DP auf, das 2D Bilder oder 3D Bilder zeigt, einen strukturierten Verzögerer PR, der auf einer Vorderseite des Displaypanels DP angeordnet ist, und eine Polarisationsbrille PG.
Das Displaypanel DP kann aufweisen eine Flüssigkristalldisplay-Vorrichtung (oder LCD), ein Feldemissionsdisplay (oder ED), ein Plasmadisplaypanel (oder PDP) oder eine elektrolumineszierende Vorrichtung (oder EL), die anorganische Licht emittierende Dioden oder organische Licht emittierende Dioden (oder OLEDs) aufweist. Bei alternativen Ausführungsformen kann jede andere Art von Display-Vorrichtung verwendet werden. Nachfolgend werden die Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung erläutert mit einem Fokus auf den Fall, bei dem das Displaypanel PD ein Flüssigkristalldisplaypanel ist. Der strukturierte Verzögerer PR und die Polarisationsbrille PG sind weitere Komponenten des 3D Displaysystems, das verwendet wird zum Darstellen der binokularen Parallaxe durch Separation des Bildes für das linke Auge und des Bildes für das rechte Auge.
Das Displaypanel DP weist zwei Glassubstrate und eine Flüssigkristallschicht LC auf, die dazwischen angeordnet ist. Das Displaypanel DP weist Flüssigkristallzellen auf, die in einer Matrixform angeordnet sind, die definiert ist durch eine Kreuzstruktur einer oder mehrerer Datenleitungen und einer oder mehrerer Gateleitungen. Ein unteres Glassubstrat SL des Displaypanels DP weist Pixelarrays auf, die die Datenleitungen, die Gateleitungen, Dünnfilmtransistoren, Pixelelektroden und Speicherkondensatoren aufweist. Das obere Glassubstrat SU des Displaypanels DP weist eine schwarze Matrix, einen Farbfilter und eine gemeinsame Elektrode auf. Jede Flüssigkristallzelle wird durch ein elektrisches Feld angesteuert, das zwischen der Pixelelektrode, die mit einem entsprechend zugeordneten Dünnfilmtransistor verbunden ist, und der gemeinsamen Elektrode ausgebildet ist. Die innere Oberfläche des oberen Glassubstrats SU und die innere Oberfläche des unteren Glassubstrats SL (in anderen Worten, die Oberflächen, die in Richtung hin zu der Flüssigkristallschicht LC gerichtet sind) haben je eine entsprechende Ausrichtungsschicht zum Einstellen des Vorneigungswinkels des Flüssigkristalls. Die äußere Oberfläche des oberen Glassubstrats SU und die äußere Oberfläche des unteren Glassubstrats SL (in anderen Worten die Oberflächen, die von der Flüssigkristallschicht LC weggerichtet sind) haben einen oberen Polarisationsfilm PU bzw. einen unteren Polarisationsfilm PL. Die gemeinsame Elektrode kann auf dem oberen Glassubstrat SU ausgebildet sein bei einem LCD vom vertikal elektrischen Feldtyp, wie der TN (Twisted Nematic) Mode und der VA (Vertical Alignment) Mode. Bei anderen Ausführungsformen kann die gemeinsame Elektrode auf dem unteren Glassubstrat SL ausgebildet sein mit der Pixelelektrode für einen LCD vom horizontal elektrischen Feldtyp, wie der IPS (In Plane Switching) Mode und der FFS (Fringe Field Switching) Mode. Zwischen dem oberen und dem unteren Glassubstrat kann ein Spaltenraum ausgebildet sein, um Zelllücken der Flüssigkristallzellen gleichmäßig auszusparen.
Das Displaypanel DP kann jede Art von LCD Panel sein, umfassend den TN Moden LCD, VA Moden LCD, IPS Moden LCD und FFS Moden LCD. Darüber hinaus kann gemäß dieser Offenbarung das Displaypanel DP jede Art von Display-Vorrichtung sein einschließlich einer transmittierenden Display-Vorrichtung, einer reflektierenden Display-Vorrichtung und einer transmittierend-reflektierenden Display-Vorrichtung. Für transmittierende und transmittierend-reflektierende Display-Vorrichtungen kann eine Hintergrundlichteinheit vorgesehen sein. Die Hintergrundlichteinheit kann von einem direkten Typ und von einem Kantentyp sein.
Der strukturierte Verzögerer ist an einer äußeren Oberfläche des oberen Polarisationsfilms PU des Displaypanels angeordnet. Der strukturierte Verzögerer PR hat korrespondierend zu jeder Zeile von Pixel, die in horizontaler Richtung des Displaypanels DP angeordnet sind, eine Verzögerereinheit. Beispielsweise kann eine Verzögerungseinheit korrespondierend zu einem Bereich von Pixeln definiert sein, die gemeinsam mit einer Gateleitung verbunden sind. Bei verschiedenen Ausführungsformen ist ein erster Verzögerer RT1 so ausgebildet, dass der erste Verzögerer RT1 zu den ungeradzahligen Leitungen des strukturierten Verzögerers PR korrespondiert, und ein zweiter Verzögerer RT2 ist so ausgebildet, dass der zweite Verzögerer RT2 zu den geradzahligen Leitungen des strukturierten Verzögerers PR korrespondiert. Die Licht absorbierende Achse des ersten Verzögerers RT1 und die Licht absorbierende Achse des zweiten Verzögerers RT2 stehen senkrecht aufeinander. Der erste Verzögerer RT1 kann ausgebildet sein, um erstes polarisiertes Licht (zirkular polarisiertes Licht oder linear polarisiertes Licht) durchzulassen, wobei das Licht von dem Pixelarray her einfällt. Der zweite Verzögerer RT2 kann ausgebildet sein, um zweites Polarisationslicht (zirkular polarisiertes Licht oder linear polarisiertes Licht) durchzulassen, wobei das Licht von dem Pixelarray her einfällt. Beispielsweise kann der erste strukturierte Verzögerer RT1 des strukturierten Verzögerers PR der Polarisationsfilter sein, der links-polarisiertes Licht durchlässt, und der zweite strukturierte Verzögerer RT2 des strukturierten Verzögerers PR kann der Polarisationsfilter sein, der rechtszirkularpolarisiertes Licht durchlässt.
Die Polarisationsbrille PG weist ein linkes Brillenglas LG, das einen ersten Polarisationsfilter P1 hat, und ein rechtes Brillenglas RG auf, das einen zweiten Polarisationsfilter P2 hat. Der erste Polarisationsfilter P1 hat die gleiche Licht transmittierende Achse wie der erste Verzögerer RT1 des strukturierten Verzögerers PR. Gleichzeitig hat der zweite Polarisationsfilter P2 die gleiche Licht transmittierende Achse wie der zweite Verzögerer RT2 des strukturierten Verzögerers PR. Beispielsweise kann der erste Polarisationsfilter P1 der Polarisationsbrille PG ein Linkszirkularpolarisationsfilter sein und der zweite Polarisationsfilter P2 der Polarisationsbrille PG kann ein Rechtszirkularpolarisationsfilter sein.
Mit dieser Struktur können durch Darstellen der linken Bilder auf den Pixeln, die zu dem ersten Verzögerer RT1 korrespondieren, und Darstellen der rechten Bilder auf den Pixeln, die zu dem zweiten Verzögerer RT2 korrespondieren, die 3D Bilder implementiert werden. Beispielsweise, wenn der erste Verzögerer RT1 die gleiche Polarisationsstruktur wie der Linkspolarisationsfilter hat, werden die Bilder für das linke Auge als links zirkular polarisiertes Licht ausgestrahlt, sodass die Bilder für das linke Auge nur von dem linken Auge des Betrachters durch den ersten Polarisationsfilter P1 der Polarisationsbrille PG erkannt werden können. Gleichzeitig werden, wenn der zweite Verzögerer RT2 die gleiche Polarisationsstruktur wie der Rechtszirkularpolarisationsfilter hat, die Bilder für das rechte Auge als rechts zirkular polarisiertes Licht ausgestrahlt, sodass die Bilder für das rechte Auge nur von dem rechten Auge des Betrachters durch den zweiten Polarisationsfilter P2 der Polarisationsbrille PG erkannt werden können.
Nachfolgend wird mit Bezug auf die 2 bis 4C das Verfahren zum Herstellen des strukturierten Verzögerers gemäß der vorliegenden Offenbarung im Detail erläutert. 2 ist eine Schnittansicht, die die Struktur des strukturierten Verzögerers gemäß der vorliegenden Offenbarung zeigt. Die 3A bis 3C zeigen Schritte zum Herstellen eines strukturierten Verzögerers gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung. Die 4A bis 4C zeigen Schritte zum Herstellen eines strukturierten Verzögerers gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung.
Zunächst Bezug nehmend auf 2 wird kurz die Struktur des strukturierten Verzögerers gemäß der vorliegenden Erfindung erläutert. Der strukturierte Verzögerer PR weist ein Basissubstrat SUB, wie PET oder Glas, und eine photosensitive Ausrichtungsschicht ALG auf, die auf dem Basissubstrat SUB ausgebildet ist. Die photosensitive Ausrichtungsschicht ALG hat die Ausprägungen, mit denen es mit ultraviolettem Licht gehärtet ist. Insbesondere kann die photosensitive Ausrichtungsschicht ALG eine Struktur haben, die eine Maske mit der Struktur hat, wenn sie mit UV-Licht unter der Maske bestrahlt wird. Beispielsweise wird, wenn die photosensitive Ausrichtungsschicht ALG, die auf dem strukturierten Verzögerer PR ausgebildet ist, strukturiert wird, um die links zirkular polarisierende Struktur zu haben, das Licht, das den strukturierten Verzögerer PR durchdringt, links zirkular polarisiert. Bei verschiedenen Ausführungsformen kann das Basissubstrat SUB ein beliebiges Material aufweisen, das als Film bereitgestellt wird. Bei verschiedenen Ausführungsformen kann das Basissubstrat SUB TAC und/oder Acryl aufweisen. Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die photosensitive Ausrichtungsschicht ALG so konfiguriert werden, dass sie mit Hilfe von UV-Licht gehärtet werden kann. Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die photosensitive Ausrichtungsschicht ALG Acrylatharze aufweisen. Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die photosensitive Ausrichtungsschicht ALG eine Schichtdicke haben, die im Bereich von ungefähr 0,1 bis ungefähr 0,2µm liegt.
Der strukturierte Verzögerer PR gemäß der vorliegenden Offenbarung hat den ersten Verzögerer RT1 und den zweiten Verzögerer RT2, die in horizontaler Richtung verlaufen. Bei alternativen Ausführungsformen können der erste Verzögerer RT1 und der zweite Verzögerer RT2 entlang der vertikalen Richtung verlaufen. Der erste Verzögerer RT1 hat die Linkszirkularpolarisationsstruktur und der zweite Verzögerer RT2 hat die Rechtszirkularpolarisationsstruktur. Der erste Verzögerer RT1 ist so positioniert oder angeordnet, dass er mit dem Pixelbereich ausgerichtet ist, der die Bilder für das linke Auge darstellt, und der zweite Verzögerer RT2 ist so positioniert oder angeordnet, dass er mit dem Pixelbereich ausgerichtet ist, der die Bilder für das rechte Auge darstellt. Dann werden die Bilder für das linke Auge als links zirkular polarisiertes Licht ausgestrahlt und die Bilder für das rechte Auge werden als rechts zirkular polarisiertes Licht ausgestrahlt.
Nachfolgend wird mit Bezug auf die 3A bis 3C das Verfahren zum Herstellen eines strukturierten Verzögerers gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung erläutert.
Eine Maske MA, die UV-Licht blockt, wird über dem Bereich angeordnet, in dem der erste Verzögerer RT1 in der photosensitiven Ausrichtungsschicht ALG des strukturierten Verzögerers definiert ist. Danach wird rechts zirkular polarisiertes UV-Licht über dem strukturierten Verzögerer PR ausgestrahlt, sodass rechts zirkular strukturiertes UV-Licht RUV bereitgestellt wird. In verschiedenen Ausführungsformen kann die Belichtungsenergie auf weniger als 50mJ/cm² gesetzt werden (beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 1mJ/cm² bis ungefähr 50mJ/cm²). Dann hat der zweite Verzögerer RT2 der photosensitiven Ausrichtungsschicht ALG, der nicht durch die Maske MA abgeblockt ist, eine entlang der Rechtszirkularpolarisationsstruktur ausgerichtete Struktur, wie in 3A gezeigt.
Wie in 3B gezeigt, wird die Maske MA entfernt und dann wird links zirkular polarisiertes UV-Licht LUV auf die gesamte Oberfläche des strukturierten Verzögerers PR gestrahlt. Dann hat der erste Verzögerer RT1 der photosensitiven Ausrichtungsschicht ALG eine entlang der Linkszirkularpolarisationsstruktur ausgerichtete Struktur. Gleichzeitig kann der zweite Verzögerer RT2 der photosensitiven Ausrichtungsschicht ALG, der die Rechtszirkularpolarisationsstruktur hat, nicht verändert werden oder er kann verändert werden, sodass er die Linkszirkularpolarisationsstruktur hat. Bei der vorliegenden Offenbarung sollte der zweite strukturierte Verzögerer RT2 der photosensitiven Ausrichtungsschicht ALG, der die Rechtszirkularpolarisationsstruktur hat, nicht verändert werden, damit die Rechtszirkularpolarisationsstruktur erhalten bleibt. Um dies zu erreichen, kann in verschiedenen Ausführungsformen vorgesehen sein, die Belichtungsenergie des links zirkular polarisierten UV-Lichts auf eine geringere Energie zu setzen, als die des rechts zirkular polarisierten UV-Lichts, das in dem vorangegangenen Prozess verwendet wird. Beispielsweise kann die Belichtungsenergie für das links zirkular polarisierte UV-Licht eine Energie von 60% oder weniger der Belichtungsenergie des rechts zirkular polarisierten UV-Lichts haben. Wenn die Belichtungsenergie für das links zirkular polarisierte UV-Licht auf 50mJ/cm² gesetzt wird, dann kann die Belichtungsenergie für das rechts zirkular polarisierte UV-Licht auf 30mJ/cm² oder weniger gesetzt werden (beispielsweise im Bereich von ungefähr 1 bis ungefähr 30mJ/cm²).
Als Ergebnis wird der strukturierte Verzögerer PR fertig gestellt, bei dem der erste Verzögerer RT1 die Linkszirkularpolarisationsstruktur hat und der zweite Verzögerer RT2 die Rechtszirkularpolarisationsstruktur hat, wie in 3C gezeigt.
Nachfolgend wird mit Bezug auf die 4A bis 4C das Verfahren zum Herstellen eines strukturierten Verzögerers gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung erläutert.
Eine schwarze Struktur BP, die das UV-Licht blockt, wird über dem ersten strukturierten Verzögerer RT1 der photosensitiven Ausrichtungsschicht ALG des strukturierten Verzögerers PR positioniert und eine Maske MA, die die Rechtszirkularpolarisationsstruktur RP hat, wird über dem zweiten Verzögerer RT2 positioniert. Anschließend wird das UV-Licht über dem strukturierten Verzögerer PR ausgestrahlt. Insbesondere kann die Belichtungsenergie auf 50mJ/cm² oder weniger gesetzt werden. Als Ergebnis wird der zweite Verzögerer RT2 der photosensitiven Ausrichtungsschicht ALG, der durch die Rechtszirkularpolarisationsstruktur RP bedeckt ist, ausgerichtet, um die Rechtszirkularpolarisationsstruktur zu haben, wie in 4A gezeigt.
Als nächstes wird, wie in 4B gezeigt, eine Maske MA, die die Linkszirkularpolarisationsstruktur LP hat, über allen Oberflächen der photosensitiven Ausrichtungsschicht ALG positioniert. Dann wird UV-Licht über der gesamten Oberfläche des strukturierten Verzögerers PR ausgestrahlt. Als Ergebnis wird der erste Verzögerer RT1 der photosensitiven Ausrichtungsschicht ALG so ausgerichtet, dass er die Linkszirkularpolarisationsstruktur hat. Gleichzeitig kann die Belichtungsenergie des UV-Lichts auf 60% oder weniger der Belichtungsenergie des UV-Lichts, das gemäß 4A verwendet wird, gesetzt werden, um den zweiten Verzögerer RT2 der photosensitiven Ausrichtungsschicht ALG nicht zu verändern. Wenn die Belichtungsenergie des UV-Lichts, das verwendet wird zum Ausbilden der Rechtszirkularpolarisationsstruktur, auf 50mJ/cm² gesetzt wird, dann kann die Belichtungsenergie des UV-Lichts, das verwendet wird zum Ausbilden der Linkszirkularpolarisationsstruktur, auf 30mJ/cm² gesetzt werden.
Im Ergebnis wird der strukturierte Verzögerer PR fertig gestellt, bei dem der erste Verzögerer RT1 die Linkszirkularpolarisationsstruktur hat und der zweite Verzögerer RT2 die Rechtszirkularpolarisationsstruktur hat, wie in 4C gezeigt.
Wie zu der ersten und zweiten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung erläutert, wird zuerst ein Teil- (oder lokaler) UV-Belichtungsprozess durchgeführt und dann wird ein Gesamt-UV-Belichtungsprozess durchgeführt, sodass es möglich ist, niedrigere Belichtungsenergien in dem späteren Belichtungsprozess als in dem früheren Belichtungsprozess zu verwenden. Im Vergleich mit einem Verfahren, bei dem bei dem späteren Belichtungsprozess höhere Belichtungsenergien benötigt werden als bei dem früheren Belichtungsprozess, ergibt dies eine höhere Effizienz für die Belichtungsenergie. Darüber hinaus ist es möglich, den strukturierten Verzögerer mit geringer Belichtungsenergie fertig zu stellen. Deshalb wird die Herstellungsverfahrenszeit reduziert und Kosten können gespart werden.

Claims

Verfahren zum Herstellen eines strukturierten Verzögerers (PR), aufweisend: Bestimmen eines ersten Verzögerungsbereichs (PR1) und eines zweiten Verzögerungsbereichs (PR2) auf dem strukturierten Verzögerer (PR); Ausbilden einer ersten Polarisationsstruktur in dem ersten Verzögerungsbereich (PR1) durch einen Teilbelichtungsprozess mit einer ersten Belichtungsenergie; und Ausbilden einer zweiten Polarisationsstruktur in dem zweiten Verzögerungsbereich (PR2) durch einen Gesamtbelichtungsprozess mit einer zweiten Belichtungsenergie, wobei die zweite Belichtungsenergie 60% oder weniger der ersten Belichtungsenergie ist.
Verfahren gemäß Anspruch 1, wobei der Teilbelichtungsprozess durchgeführt wird durch Belichten des ersten Verzögerungsbereichs (PR1) mit erstem Polarisationslicht, das die erste Belichtungsenergie hat, unter Verwendung einer Maske, die den ersten Verzögerungsbereich (PR1) exponiert und den zweiten Verzögerungsbereich (PR2) abschattet; und wobei der Gesamtbelichtungsprozess durchgeführt wird durch Belichten des ersten und des zweiten Verzögerungsbereichs (PR1, PR2) mit zweitem polarisierten Licht, das die zweite Belichtungsenergie hat.
Verfahren gemäß Anspruch 1, wobei der Teilbelichtungsprozess durchgeführt wird durch Belichten mit ultraviolettem Licht, das die erste Belichtungsenergie hat, unter Verwendung einer ersten Maske (MA), die in dem ersten Verzögerungsbereich (PR1) eine erste Polarisationsstruktur und in dem zweiten Verzögerungsbereich (PR2) eine schwarze Struktur (BP) hat; und wobei der Gesamtbelichtungsprozess durchgeführt wird durch Belichten mit ultraviolettem Licht, das eine zweite Belichtungsenergie hat, unter Verwendung einer zweiten Maske, die eine zweite Polarisationsstruktur in dem ersten und dem zweiten Verzögerungsbereich (PR1, PR2) hat.
Verfahren gemäß Anspruch 1, wobei die erste Belichtungsenergie im Bereich zwischen 1 und 50mJ/cm² liegt, und wobei die zweite Belichtungsenergie in dem Bereich zwischen 1 und 30mJ/cm² liegt und geringer als die erste Belichtungsenergie ist.