DE102011012387A1

DE102011012387A1 - Gaslaseroszillator mit einer Funktion zum Bestimmen der Auflösung der Entladung

Info

Publication number: DE102011012387A1
Application number: DE102011012387A
Authority: DE
Inventors: Hajime Ikemoto; Masahiro Honda
Original assignee: Fanuc Corp
Current assignee: Fanuc Corp
Priority date: 2010-04-05
Filing date: 2011-02-25
Publication date: 2011-10-06
Anticipated expiration: 2031-02-26
Also published as: DE102011012387A8; CN102214893A; JP2011222586A; JP4809486B2; US8238396B2; CN102214893B; DE102011012387B4; US20110243168A1

Abstract

Gaslaser-Oszillator, der eine Entladung auslösen kann, ohne eine übermäßig hohe Spannung an eine Entladungsröhre zu legen, und der die Auslösung der Entladung korrekt und rasch bestimmen kann. Der Oszillator hat einen Laserleistungsbefehlsteil, der dazu eingerichtet ist, einen Laserleistungsbefehl zu erzeugen, der einen Puls enthält, der an einer Anstiegsflanke jedes Schrittes überlagert ist, einen Spannungsanlegeteil, der dazu eingerichtet ist, eine Spannung auf Basis des Laserleistungsbefehls an eine Entladungsröhre anzulegen, einen Entladungsröhren-Spannungsdetektionsteil, der dazu eingerichtet ist, die Spannung der Entladungsröhre zu erkennen, einen Spannungsüberwachungsteil für die Entladungsröhre, der dazu eingerichtet ist, die Spannung der Entladungsröhre zu überwachen, und einen Bestimmungsteil für die Entladungsauslösung, der dazu eingerichtet ist, die Auslösung der Entladung in der zu bestimmen, wenn die Differenz zwischen einer Änderungsrate der überwachten Spannung und einer Änderungsrate der Spannung der Entladungsröhre, die auf Basis von Daten einer normalen Entladung in der Entladungsröhre kleiner ist als ein vorgegebener Schwellenwert.

Description

VERWANDTE ANMELDUNGEN
Die vorliegende Anmeldung beansprucht die Priorität der japanischen Patentanmeldung Nr. 2010-87107 , eingereicht am 5. April 2010, die hiermit vollständig einbezogen wird.
HINTERGRUND DER ERFINDUNG
1. Gebiet der Erfindung
Die vorlegende Erfindung betrifft einen Gaslaser-Oszillator mit einer Funktion zum Bestimmen der Auslösung einer Entladung in einer Entladungsröhre des Oszillators.
2. Beschreibung der verwandten Technik
Um bei einer Gaslasereinheit im Stand der Technik eine Entladung zum Zeitpunkt der Inbetriebnahme der Gaslasereinheit auszulösen, wird der Gasdruck in einer Entladungsröhre deutlich gesenkt. Bei einem Start mit einem derart niedrigen Gasdruck dauert es jedoch lang, bis der Gasdruck so weit erhöht worden ist, dass eine gewünschte Laserleistung erhalten wird. Die japanische Offenlegungsschrift (Kokai) Nr. 2-126690 offenbart z. B. eine Steuereinheit für einen Gaslaser, die einen Trigger-Lichtbogen in einer Entladungsröhre erzeugen soll, wobei ein Zündpuls erzeugt wird, um in vorgegebenen Intervallen eine hochfrequente Spannung an eine Entladungsröhre zu legen, um eine Spannung zu erhalten, die gleich oder höher ist als die zum Zeitpunkt der Entladungsauslösung.
Andererseits offenbart die japanische Offenlegungsschrift (Kokai) Nr. 7-221378 eine Technik zum Erkennen der Auslösung einer Entladung auf Basis des Übergangs von Kennwerten eines Ausgangsstroms und der Erkennung von abnormalem Lasergas.
Wenn bei der Erfindung der japanischen Offenlegungsschrift (Kokai) No. 2-126690 ein Puls mit einem unnötig hohen Spitzenwert oder einer unnötig großen Breite in konstanten Intervallen überlagert wird, wenn die Auslösung der Entladung schwierig ist, kann ein Schalt-Halbleiter einer Laser-Spannungsversorgung überlastet und die Laser-Spannungsversorgung beschädigt werden. Die japanische Offenlegungsschrift (Kokai) Nr. 2-126690 offenbart außerdem keine spezielle Technik zum Bestimmen der Auslösung einer Entladung. Wenn eine Mehrzahl Pulse überlagert wird, wird deshalb ein überwachter Wert (oder ein erfasster Wert) der Entladungsspannung durch die überlagerten Pulse beeinflusst und die Auslösung der Entladung kann nicht korrekt bestimmt werden.
Da es normalerweise schwierig ist, die Entladung bei einem hohen Gasdruck auszulösen, kann bei der Erfindung der japanischen Offenlegungsschrift (Kokai) Nr. 7-221378 eine übermäßig hohe Spannung an die Entladungsröhre gelegt werden und ein übermäßig hoher Strom in der Laser-Spannungsversorgung fließen, bevor der Übergang der Kennwerte des Ausgangsstroms in Abhängigkeit von einer Zustandsänderung (z. B. Druck, Durchsatz und Zusammensetzung) des Lasergases erfolgt. Als Ergebnis kann die Entladungsröhre und/oder die Laserspannungsversorgung beschädigt werden. Ferner variiert die Kennlinie des Ausgangsstroms, der von einem Gleichspannungsteil der Spannungsversorgung in der Laserspannungsversorgung gemessen wird, in Abhängigkeit von einer Mehrzahl Bauelemente, d. h. eines Hochfrequenz-Spannungsversorgungsteils, einer Anpassungseinheit und einer Entladungsröhre. Es ist deshalb schwierig, nur die Auslösung der Entladung korrekt zu bestimmen.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Gaslaser-Oszillator bereitzustellen, der eine Entladung auslösen kann, ohne eine übermäßige Spannung an eine Entladungsröhre zu legen, und die Auslösung der Entladung korrekt und rasch zu bestimmen.
Die Erfindung stellt demzufolge einen Gaslaser-Oszillator bereit, mit: einem Laserleistungs-Befehlsteil, der dazu eingerichtet ist, einen Laserleistungsbefehl zu erzeugen, der einen ersten Laserleistungsbefehl enthält, der in ersten Zeitintervallen schrittweise zunimmt, und einen zweiten Laserleistungsbefehl, der an einer Anstiegsflanke jedes Schrittes des ersten Laserleistungsbefehls ein zweites Zeitintervall lang überlagert ist, das kürzer ist als das erste Zeitintervall, wobei die Größe des zweiten Laserleistungsbefehls größer ist als die des ersten Laserleistungsbefehls; einem Spannungsanlegeteil, der dazu eingerichtet ist, eine Spannung auf Basis des vom Laserleistungs-Befehlsteil erzeugten Laserleistungsbefehls an eine Entladungsröhre zu legen; einem Entladungsröhren-Spannungsdetektionsteil, der dazu eingerichtet ist, eine Spannung der Entladungsröhre zu erkennen, während der Spannungsanlegeteil die Spannung an die Entladungsröhre legt; einem Spannungsüberwachungsteil für die Entladungsröhre, der dazu eingerichtet ist, die vom Entladungsröhren-Spannungsdetektionsteil erkannte Spannung der Entladungsröhre zu überwachen; und einem Bestimmungsteil für die Entladungsauslösung, der dazu eingerichtet ist, die Auslösung der Entladung in der Entladungsröhre zu bestimmen, wenn eine Differenz zwischen einer Änderungsrate der Spannung der Entladungsröhre relativ zum Laserleistungsbefehl, die vom Spannungsüberwachungsteil für die Entladungsröhre überwacht wird, und einer Änderungsrate der Spannung der Entladungsröhre relativ zum Laserleistungsbefehl, die auf Basis von Daten einer normalen Entladung in der Entladungsröhre vorgegeben wird, kleiner ist als ein vorgegebener Schwellenwert.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform liegt das erste Zeitintervall im Bereich von 0,1 bis 1 Sekunde und das zweite Zeitintervall ist gleich oder kürzer als 100 Mikrosekunden.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform ist ein maximaler Laserleistungsbefehl, der in jedem Schritt nach dem zweiten Laserleistungsbefehl jeden Schritt überlagert, gleich oder größer als ein Laserleistungsbefehl entsprechend der halben Laser-Nennleistung oder einer maximalen Laserleistung, und gleich oder kleiner als ein Laserleistungsbefehl entsprechend der Nennleistung oder der maximalen Laserleistung.
KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
Die obige und andere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung erschließen sich aus der folgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsformen davon unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen; es zeigen:
1 eine schematische Konfiguration eines Gaslaser-Oszillators gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
2 einen Graphen eines Beispiels eines Laserleistungsbefehls; und
3 einen Graphen eines Beispiels für eine Änderung der überwachten Spannung einer Entladungsröhre ab dem Ende der Entladung im Gaslaser-Oszillator bis zu dem Zeitpunkt, in dem der Laserstrahl gemäß dem Laserleistungsbefehl von 2 ausgegeben werden kann.
DETAILLIERTE BESCHREIBUNGEN
1 zeigt eine schematische Konfiguration eines Gaslaser-Oszillators 10 gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung. Der Gaslaser-Oszillator 10 enthält eine numerische Steuerung (CNC) 12, die zum Steuern des allgemeinen Betriebs des Oszillators 10 eingerichtet ist, eine Kommunikations-IC (integrierte Schaltung) 14, die zur Kommunikation mit der CNC 12 eingerichtet ist, einen Laserleistungsbefehlsteil 16, der zum Erzeugen eines Laserleistungsbefehls auf Basis eines Signals oder Befehls eingerichtet ist, der von der CNC 12 an die Kommunikations-IC 14 gesendet wird, und eine Laserspannungsversorgung 18, die dazu eingerichtet ist, eine Laserleistung auf Basis des Laserleistungsbefehl auszugeben. Die Laserspannungsversorgung 18 hat eine Gleichspannungseinheit 20 und eine Hochfrequenzspannungseinheit 22. Ein Ausgang der Gleichspannungseinheit 20, der vom Spannungsversorgungsbefehl vom Laserleistungsbefehlsteil 16 gesteuert wird, wird mittels der Hochfrequenzspannungseinheit 22 in eine Hochfrequenzspannung gewandelt. Die Hochfrequenzspannung wird an eine Anpassungseinheit 24 geliefert, und dann legt die Anpassungseinheit 24 eine Spannung entsprechend dem Laserleistungsbefehl an eine Entladungsröhre 26. Bei dieser Ausführungsform bilden die Laserspannungsversorgung 18 und die Anpassungseinheit 24 in Zusammenwirkung einen Spannungsanlegeteil 29.
Die Anpassungseinheit 24 hat einen Spannungs-/Stromdetektionsteil 28 für die Entladungsröhre, der dazu eingerichtet ist, eine(n) an die Entladungsröhre 26 gelieferte(n) Spannung und einen Strom zu erfassen und Daten der Spannung und des Stroms der vom erfassten Spannungs-/Stromdetektionsteil 28 für die Entladungsröhre 26 werden an einen Spannungs-/Stromüberwachungsteil 30 der Entladungsröhre gesendet und von diesem überwacht. Die Überwachungsdaten werden über die Kommunikations-IC 14 an die CNC 12 übertragen und es wird ein Prozess zum Bestimmen der Entladungsauslösung ausgeführt, der nachstehend beschrieben wird. Mit anderen Worten fungiert die CNC 12 bei dieser Ausführungsform als Bestimmungsteil für die Entladungsauslösung. Außerdem kann der Spannungs-/Stromdetektionsteil 28 für die Entladungsröhre durch einen solchen ersetzt werden, der nur die Spannung der Entladungsröhre 26 erkennt, und der Spannungs-/Stromüberwachungsteil 30 der Entladungsröhre kann durch einen solchen ersetzt werden, der nur die Spannung der Entladungsröhre 26 überwacht.
Die Laserspannungsversorgung 18 kann einen Spannungs-/Stromdetektionsteil 32 für die Spannungsversorgung haben, der dazu eingerichtet ist, die Spannung und den Strom zu erfassen, die von der Laserspannungsversorgung 18 ausgegeben werden, und die Daten der vom Spannungs-/Stromdetektionsteil 32 erfassten Spannung und des Stroms der Laserspannungsversorgung 18 werden an einen Spannungs-/Stromüberwachungsteil 34 der Spannungsversorgung übertragen und von diesem überwacht. Die Überwachungsdaten werden über die Kommunikations-IC 14 an die CNC 12 übertragen, und wenn die Daten einen Fehler oder eine Abweichung angeben, kann ein Not-Aus der Laser-Oszillation erfolgen.
Die Entladungsröhre 26 kommuniziert fluidisch mit einem Gasströmungskanal 36, der mit einem Lasergas oder Lasermedium gefüllt ist, und somit ist die Entladungsröhre 26 ebenfalls mit dem Lasergas gefüllt. Das Lasergas zirkuliert in der mit einem Pfeil angedeuteten Richtung mittels einer Luftzufuhreinheit 38 wie ein Turbogebläse innerhalb des Laser-Oszillators, während es von Wärmetauschern 40 gekühlt wird, die zu beiden Seiten des Turbogebläses 38 angeordnet sind. Die Bezugszeichen 42 und 44 kennzeichnen einen Gesamtreflexionsspiegel, der an einem Ende der Entladungsröhre 26 und einen semitransparenten Spiegel, der am anderen Ende der Entladungsröhre 26 positioniert ist. Die Entladungsröhre 26 und die Spiegel 42, 44 bilden zusammenwirkend einen Laserresonator. Ein schematisch dargestelltes Kühlwasser-Zirkulationssystem 46 liefert Kühlwasser zum Kühlen der Wärmetauscher 40 und des Gasströmungskanals 36. Ein schematisch dargestelltes Lasergas-Steuersystem 48 regelt den Gasdruck im Gasströmungskanal 36 und in der Entladungsröhre 26 auf einen geeigneten Wert ein.
Wenn eine hochfrequente Spannung an die Entladungsröhre 26 gelegt wird, wird das Lasergas in der Entladungsröhre durch Entladung angeregt und Licht am Resonator erzeugt. Das erzeugte Licht wird wiederholt zwischen den Spiegeln 42 und 44 reflektiert und durch induzierte Emission verstärkt. Ein Teil des verstärkten Lichtes wird vom semitransparenten Spiegel 44 als ein Laserstrahl 50 ausgegeben und zum Laserschneiden oder dgl. verwendet.
Nunmehr wird der vom Laserleistungsbefehlsteil ausgegebene Laserleistungsbefehl im Einzelnen beschrieben. Wie in 2 dargestellt wird als vorläufiger Schritt für den Übergang zur Betriebsbedingung des Oszillators aus dem Zustand, in dem der Laserleistungs-(Spannungs-)-Befehlswert an die Laserspannungsversorgung 18 gleich null ist, ein erster Laserleistungsbefehl 52 ausgegeben, der sich schrittweise in vorgegebenen ersten Zeitintervallen t₁ (z. B. 0,1 bis 1 Sekunde) betragsmäßig erhöht, wobei jeder Schritt des ersten Laserleistungsbefehls 52 eine vorgegebene Größe oder Breite w₁ hat. Gemäß der Erfindung überlagert ein zweiter Laserleistungsbefehl 54 die Anstiegsflanke jedes Schrittes des ersten Laserleistungsbefehls 52 ein vorgegebenes zweites Zeitintervall t₂ lang (z. B. gleich oder kleiner als 100 Mikrosekunden), das kürzer ist als das erste Zeitintervall t₁, wobei jeder Schritt des zweiten Laserleistungsbefehls 54 eine vorgegebene Größe oder Breite w₂ hat, die größer ist als die Breite w₁, so dass die Laserspannung hinreichend höher wird als eine zum Auslösen der Entladung erforderliche Versorgungsspannung. Aufgrund dessen kann selbst bei einem relativ zur Betriebsbedingung des Lasers hohen Gasdruck die Entladung stabil ausgelöst werden.
In 2 überlagert in jedem Schritt ein Puls 54 nur den Anstiegsflankenabschnitt des Schrittes und der maximale Laserleistungsbefehl jedes Schrittes wird nach dem Überlagern auf einen Wert eingestellt, der gleich oder größer ist einem Laserleistungsbefehl entsprechend 1/3, 1/2 oder 2/3 der Laser-Nennleistung oder einer maximalen Laserleistung (d. h. der Wert ist größer als ein Laserleistungsbefehl, bei dem die Entladung ausgelöst werden kann). Wenn z. B. nach dem überlagern des ersten Schrittes der Laserleistungsbefehl (oder ein Spitzenwert) gleich einem Wert ist, der der Hälfte (1/2) einer Laser-Nennleistung entspricht, steigt der Laserleistungsbefehl nach dem ersten Schritt allmählich an und die Überlagerung wird beendet, wenn bestimmt wird, dass die Entladung ausgelöst worden ist. Da der Laserleistungsbefehl in jedem Schritt bis zum Auslösen der Entladung allmählich ansteigt, wird diesbezüglich bevorzugt, dass der Spitzenwert in jedem Schritt so gesteuert wird, dass er einen Wert, der der Laser-Nennleistung oder der maximalen Laserleistung entspricht, nicht überschreitet. In dem Fall, in dem der Spitzenwert z. B. einen Wert entsprechend der Laser-Nennleistung überschreitet, wenn ein Puls mit der Breite w₂, die gleich ist der Breite im unmittelbar vorherigen Schritt, in einem bestimmten Schritt überlagert wird, wird ein Puls mit einer kleineren Breite als w₂ in dem bestimmten Schritt überlagert, so dass der Spitzenwert nicht den Wert entsprechend der Laser-Nennleistung überschreitet. Aufgrund dessen kann eine Beschädigung der Entladungsröhre und/oder der Laserspannungsversorgung verhindert werden, indem vermieden wird, dass eine übermäßige Spannung an die Entladungsröhre gelegt wird und/oder dass ein übermäßiger Strom in der Laserspannungsversorgung fließt.
Der Graph von 3 zeigt die Änderung der überwachten Spannung der Entladungsröhre, wenn der Ausgang der Laserspannungsversorgung auf Basis des in 2 dargestellten Laserleistungsbefehls gesteuert wird. Wie oben beschrieben ist eine zeitliche Periode (zweites Zeitintervall t₂), während der der Puls mit der zweiten Breite w₂ in jedem Schritt überlagert wird, erheblich kürzer (z. B. zwischen 10 und 100 Mikrosekunden) als das erste Zeitintervall t₁ (in der Größenordnung von einigen hundert Millisekunden). Deshalb ist wie in 3 dargestellt die überwachte (oder erfasste) Spannung der Entladungsröhre äquivalent der Spannung, wenn der Puls nicht überlagert wird (mit anderen Worten, der Einfluss des überlagerten Pulses relativ zur überwachten Spannung der Entladungsröhre kann vernachlässigt werden). Deshalb kann die Spannung der Entladungsröhre präzise gemessen werden.
Wenn der Befehl schrittweise erhöht wird, wobei jeder Schritt eine vorgegebene Laserleistungsbefehlsbreite hat, wie in 2 dargestellt ist, ist die Änderungsrate der Entladungsröhrenspannung entsprechend dem Laserleistungsbefehl vor dem Auslösen der Entladung größer als die Änderungsrate der Entladungsröhrenspannung nach dem Auslösen der Entladung. Ferner wird keine der Änderungsraten in Abhängigkeit vom Zustand des Lasergases geändert. Demzufolge wird erfindungsgemäß die Änderungsrate der Spannung der Entladungsröhre relativ zum Laserleistungsbefehl nach dem Auslösen der Entladung in der normalen Zeit (wobei die Entladung normalerweise z. B. zum Zeitpunkt der Auslieferung ab Werk oder im zeitlich gesicherten Normalbetrieb erfolgt) in einem Speichermittel wie einem Speicher gespeichert und die Spannung der Entladungsröhre wird in jedem Schritt gemessen. Die nach dem Auslösen der Entladung gespeicherte Änderungsrate wird mit einer Änderungsrate verglichen, die auf Basis einer Differenz zwischen den Spannungen der Entladungsröhre benachbarter Schritte in geeigneten Intervallen berechnet wird. Wenn die zu vergleichenden Änderungsraten im Wesentlichen gleich sind, d. h. die Differenz zwischen den verglichenen Änderungsraten ist gleich oder kleiner als ein vorgegebener Schwellenwert (konkret geht die überwachte Änderung der Spannung der Entladungsröhre von einem Zustand vor der Entladung (steiler Anstieg des Graphen) zu einem Zustand nach der Entladung über (mäßiger Anstieg des Graphen), kann bestimmt werden, dass die Entladung ausgelöst worden ist.
Beim herkömmlichen Inbetriebnahmeverfahren des Lasers, bei dem der Puls nicht an der Anstiegsflanke jedes Schrittes überlagert wird, wie mit der Strichlinie in 3 angedeutet ist, kann die Entladung selbst dann nicht ausgelöst werden, wenn die Entladungsröhrenspannung V₀ erreicht, bei der im Normalbetrieb die Entladung ausgelöst wird, was vom Zustand des Lasergas oder dgl. abhängt. In diesem Fall wird die Spannung der Entladungsröhre auf die Spannung V₁, die höher als V₀ ist, erhöht, bis die Entladung ausgelöst wird, was eine Störung oder die Beschädigung der Entladungsröhre und/oder der Laserspannungsversorgung verursachen kann. Jedoch bei der Erfindung wird die Entladung zuverlässig ausgelöst, indem ein Puls eines schrittweisen Laserleistungsbefehls bei oder nahe der Spannung V₀ überlagert wird. Ferner wird die Auslösung der Entladung zuverlässig bestimmt, indem die Spannung der Entladungsröhre überwacht wird. Außerdem wird die Auslösung der Entladung auf Basis der Änderungsrate der Spannung der Entladungsröhre und nicht auf Basis der Ausgabe der Laserspannungsversorgung zuverlässig bestimmt, wodurch eine genaue Bestimmung der Auslösung der Entladung ohne den Einfluss der HF-Spannungsversorgung und/oder der Anpassungseinheit möglich ist.
Gemäß der vorliegenden Erfindung kann die Auslösung der Entladung im Gaslaser-Oszillator rasch und korrekt bestimmt werden, wodurch Störungen oder Beschädigungen aller Bauteile des Oszillators aufgrund einer falschen Bestimmung der Auslösung der Entladung vermieden werden können.
Da das zweite Zeitintervall deutlich kürzer ist als das erste Zeitintervall, unterliegt die Spannung der Entladungsröhre nicht dem Einfluss des zweiten Laserleistungsbefehls, so dass die Spannung der Entladungsröhre korrekt gemessen wird.
Aufgrund des Merkmals, dass der maximale Laserleistungsbefehl in jedem Schritt gleich oder größer ist als ein Laserleistungsbefehl entsprechend der Hälfte der Laser-Nennleistung oder einer maximalen Laserleistung, befindet sich die Entladungsröhre in einem Zustand, in dem die Entladung stabil ausgelöst werden kann. Ferner können aufgrund des Merkmals, dass der maximale Laserleistungsbefehl in jedem Schritt gleich oder kleiner ist als ein Laserleistungsbefehl entsprechend der Laser-Nennleistung oder der maximalen Laserleistung, Störungen oder Beschädigungen aller Bauteile des Laser-Oszillators, die auf eine übermäßige Spannung oder einen übermäßigen Strom zurückzuführen sind, vermieden werden.
Obwohl die Erfindung anhand bestimmter Ausführungsformen zum Zweck der Verdeutlichung beschrieben worden ist, dürfte es für den Fachmann auf der Hand liegen, dass zahlreiche Modifikationen daran vorgenommen werden können, ohne vom Grundkonzept und Gültigkeitsbereich der Erfindung abzuweichen.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

JP 2010-87107 [0001]
JP 2-126690 [0003, 0005, 0005]
JP 7-221378 [0004, 0006]

Claims

Gaslaser-Oszillator, aufweisend: einen Laserleistungs-Befehlsteil (16), der dazu eingerichtet ist, einen Laserleistungsbefehl zu erzeugen, der einen ersten Laserleistungsbefehl enthält, der in ersten Zeitintervallen schrittweise zunimmt, und einen zweiten Laserleistungsbefehl, der an einer Anstiegsflanke jedes Schrittes des ersten Laserleistungsbefehls ein zweites Zeitintervall lang überlagert ist, das kürzer ist als das erste Zeitintervall, wobei die Größe des zweiten Laserleistungsbefehls größer ist als die des ersten Laserleistungsbefehls; einen Spannungsanlegeteil (29), der dazu eingerichtet ist, eine Spannung auf Basis des vom Laserleistungs-Befehlsteil (16) erzeugten Laserleistungsbefehls an eine Entladungsröhre (26) zu legen; einen Entladungsröhren-Spannungsdetektionsteil (28), der dazu eingerichtet ist, eine Spannung der Entladungsröhre (26) zu erkennen, während der Spannungsanlegeteil (29) die Spannung an die Entladungsröhre (26) legt; einen Spannungsüberwachungsteil (30) für die Entladungsröhre, der dazu eingerichtet ist, die Spannung der Entladungsröhre (26), die vom Entladungsröhren-Spannungsdetektionsteil (28) erkannt wird, zu überwachen; und einen Bestimmungsteil (12) für die Entladungsauslösung, der dazu eingerichtet ist, die Auslösung der Entladung in der Entladungsröhre (26) zu bestimmen, wenn eine Differenz zwischen einer Änderungsrate der Spannung der Entladungsröhre (26) relativ zum Laserleistungsbefehl, die vom Spannungsüberwachungsteil (30) für die Entladungsröhre überwacht wird, und einer Änderungsrate der Spannung der Entladungsröhre (26) relativ zum Laserleistungsbefehl, die auf Basis von Daten einer normalen Entladung in der Entladungsröhre (26) vorgegeben wird, kleiner ist als ein vorgegebener Schwellenwert.
Gaslaser-Oszillator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Zeitintervall im Bereich von 0,1 bis 1 Sekunde liegt und das zweite Zeitintervall gleich lang oder kürzer als 100 Mikrosekunden ist.
Gaslaser-Oszillator nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass ein maximaler Laserleistungsbefehl, der in jedem Schritt nach dem zweiten Laserleistungsbefehl jeden Schritt überlagert, gleich oder größer ist als ein Laserleistungsbefehl entsprechend der halben Laser-Nennleistung oder der maximalen Laserleistung, und gleich oder kleiner ist als ein Laserleistungsbefehl entsprechend der Laser-Nennleistung oder der maximalen Laserleistung.