JPH02126690A - Ｃｏ↓２ガスレーザ制御装置 - Google Patents
Ｃｏ↓２ガスレーザ制御装置Info
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- JPH02126690A JPH02126690A JP63280821A JP28082188A JPH02126690A JP H02126690 A JPH02126690 A JP H02126690A JP 63280821 A JP63280821 A JP 63280821A JP 28082188 A JP28082188 A JP 28082188A JP H02126690 A JPH02126690 A JP H02126690A
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- circuit
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- 230000000630 rising effect Effects 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 abstract 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はＣＯ２ガスレーザ制御装置（で関し、特Ｃで放
雷管の確実なガ弧を行う装置に関するものである。
雷管の確実なガ弧を行う装置に関するものである。
従来の技術
従来、ＤＣ励起あるいはＲＦ励起のＣＯ□ガスレーザ装
置において、放電開始電圧そのもののバラツキ、ガス流
広の変動、電源電圧の変動、放電管の汚れなどで放電管
が放電開始時あるいはレーザ出力をパワーコントロール
し、レーザ出力を絞った場合、点弧しない、あるいは失
弧する場合が発生し、板金加工などでの加工開始点の加
工不良などが発生していた。これらを解決するためにＤ
Ｃ励起のＣＯ２ガスレーザ装置では放電管が放電開始電
圧以上になるように火花発振方式などの高周波発生装置
の出力を放電管に、印加あるいは、放下しやすいように
放電管て別途ビン電［ｊなどを設けていた。またＲＦ励
起の００２ガスレーザ装置では予備電離をさせるＲＦ電
源を設けていた。
置において、放電開始電圧そのもののバラツキ、ガス流
広の変動、電源電圧の変動、放電管の汚れなどで放電管
が放電開始時あるいはレーザ出力をパワーコントロール
し、レーザ出力を絞った場合、点弧しない、あるいは失
弧する場合が発生し、板金加工などでの加工開始点の加
工不良などが発生していた。これらを解決するためにＤ
Ｃ励起のＣＯ２ガスレーザ装置では放電管が放電開始電
圧以上になるように火花発振方式などの高周波発生装置
の出力を放電管に、印加あるいは、放下しやすいように
放電管て別途ビン電［ｊなどを設けていた。またＲＦ励
起の００２ガスレーザ装置では予備電離をさせるＲＦ電
源を設けていた。
発明が解決しようとする課題
ＤＣ励起のＣＯ２ガスレーザ装置の火花発振力式あるい
はビン電蹟方式、ＲＦ励起の００２ガスレーザ装置の予
備電離方式などは経年変化などで確実に放電しない場合
があり、また点弧させる装置。
はビン電蹟方式、ＲＦ励起の００２ガスレーザ装置の予
備電離方式などは経年変化などで確実に放電しない場合
があり、また点弧させる装置。
放電管が高価になった。
本発明は従来の欠点を除去し、既存のレーザ出力の出力
設定回路に一部回路を追加するのみで放電管の点弧が確
実に得られるようにしたものである。
設定回路に一部回路を追加するのみで放電管の点弧が確
実に得られるようにしたものである。
課題を解決するための手段
上記の課題を解決するために本発明のＣＯ２ガスレーザ
制御装置は、ＣＯ２ガスレーザ出力の大きさを設定する
連続モードの連続出力設定回路と、パルスモードのパル
ス出力設定回路と、あらかじめ設定された周期で自記放
電管の放電開始電圧以上の電圧となるように放電管に高
周波電力あるいは、直流放電電流を供給する定常イグナ
イトパルス出力設定回路と、前記連続出力設定回路また
はパルス出力設定回路の出力と定常イグナイトパルス出
力設定回路の出力とを重畳させる重畳回路とを具備し、
前記連続出力設定回路の出力または前記パルス出力設定
回路の出力と、前記定常イグナイトパルス出力設定回路
の出力とを前記重畳回路に入力し、該重畳回路の出力を
レーザ出力の大きさを設定する指令信号とするようにし
てなるものである。
制御装置は、ＣＯ２ガスレーザ出力の大きさを設定する
連続モードの連続出力設定回路と、パルスモードのパル
ス出力設定回路と、あらかじめ設定された周期で自記放
電管の放電開始電圧以上の電圧となるように放電管に高
周波電力あるいは、直流放電電流を供給する定常イグナ
イトパルス出力設定回路と、前記連続出力設定回路また
はパルス出力設定回路の出力と定常イグナイトパルス出
力設定回路の出力とを重畳させる重畳回路とを具備し、
前記連続出力設定回路の出力または前記パルス出力設定
回路の出力と、前記定常イグナイトパルス出力設定回路
の出力とを前記重畳回路に入力し、該重畳回路の出力を
レーザ出力の大きさを設定する指令信号とするようにし
てなるものである。
作用
上記構成において、放電開始時あるいはレーザ出力を絞
った場合でも連続出力設定回路の出力または、パルス出
力設定回路の出力と、放電管の放電開始電圧以上の電圧
となるように高周波電力あるいは直流放電電流を供給す
る定常イグナイトパルス出力設定回路の出力とを重畳回
路に入力し、この重畳回路の出力をレーザ出力の大きさ
を設定する指令信号とすることにより、連続モードでも
パルスモードでも常にレーザ出力の大きさに影響を与え
ず、放電管の点弧放電のみに寄与する定常イグナイトパ
ルスが供給されるので放電管は確実に点弧する。
った場合でも連続出力設定回路の出力または、パルス出
力設定回路の出力と、放電管の放電開始電圧以上の電圧
となるように高周波電力あるいは直流放電電流を供給す
る定常イグナイトパルス出力設定回路の出力とを重畳回
路に入力し、この重畳回路の出力をレーザ出力の大きさ
を設定する指令信号とすることにより、連続モードでも
パルスモードでも常にレーザ出力の大きさに影響を与え
ず、放電管の点弧放電のみに寄与する定常イグナイトパ
ルスが供給されるので放電管は確実に点弧する。
実施例
第４図（イ）は一般的な高速軸流形ＲＦ励起発振器の構
成、（（ロ）は一般的な高速軸流形ＤＣ励起発撮器の構
成を示し、第４図の高周波出力発生制御装置７４のブロ
ック図を示したものが第５図である。
成、（（ロ）は一般的な高速軸流形ＤＣ励起発撮器の構
成を示し、第４図の高周波出力発生制御装置７４のブロ
ック図を示したものが第５図である。
第６図は従来のもので（イ）は連続出力設定回路の出力
指令信号、（０）はパルス出力設定回路の出力指令信号
を示したものである。それに対して第１図は本発明のも
ので、従来の指令信号に定常イグナイトパルス出力設定
回路の出力が重畳された重畳回路の出力指令信号を示し
たものであり、第１図（イ）、（ロ）は第６図の（イ）
、（ロ）に相当する。
指令信号、（０）はパルス出力設定回路の出力指令信号
を示したものである。それに対して第１図は本発明のも
ので、従来の指令信号に定常イグナイトパルス出力設定
回路の出力が重畳された重畳回路の出力指令信号を示し
たものであり、第１図（イ）、（ロ）は第６図の（イ）
、（ロ）に相当する。
第２図は定常イグナイトパルス出力設定回路の出力が重
畳された重畳回路の出力指令信号の説明図を示す。
畳された重畳回路の出力指令信号の説明図を示す。
第３図は本発明の定常イグナイトパルス出力設定回路を
示す。
示す。
次に第４図について説明する。
第４図（イ）は一般的な高速軸流形ＲＦ励起発振器の構
成を示し、ガラスなどの誘電体よりなる放電管７１の外
周上には金属製の平行平板電極７２゜７３が密着して設
けられている。平行平板電極７２゜７３には高周波出力
発生制御装置７４からの出力、例えば１３．６６ ＭＨ
ｚ 、 ２．５ ｋｗ 、 ２〜３ ｋｖ （７）出力
が供給されている。放電管７１内の放電空間には矢印で
示すような放電７５が行なわれる。放電管７１の両端に
固定配置されたりアミラー（全反射鏡）７６と出力ミラ
ー（部分反射鏡）７７とは光共振器を構成し、出力ミラ
ー７７よシレーザ出カフ８が取り出される。レーザガス
７９は送気管８０の中を循環しており、放電７５および
レーザガス７９を循環させるブロア（送風機）８１によ
り温度上昇したレーザガス７９は熱交換器８２により冷
却される。
成を示し、ガラスなどの誘電体よりなる放電管７１の外
周上には金属製の平行平板電極７２゜７３が密着して設
けられている。平行平板電極７２゜７３には高周波出力
発生制御装置７４からの出力、例えば１３．６６ ＭＨ
ｚ 、 ２．５ ｋｗ 、 ２〜３ ｋｖ （７）出力
が供給されている。放電管７１内の放電空間には矢印で
示すような放電７５が行なわれる。放電管７１の両端に
固定配置されたりアミラー（全反射鏡）７６と出力ミラ
ー（部分反射鏡）７７とは光共振器を構成し、出力ミラ
ー７７よシレーザ出カフ８が取り出される。レーザガス
７９は送気管８０の中を循環しており、放電７５および
レーザガス７９を循環させるブロア（送風機）８１によ
り温度上昇したレーザガス７９は熱交換器８２により冷
却される。
第４図（ロ）は−船釣な高速軸流形ＤＣ励起発振器の構
成を示し、ガラスなどの誘電体よりなる放電管９１の両
端部には電極９２が設けられている。
成を示し、ガラスなどの誘電体よりなる放電管９１の両
端部には電極９２が設けられている。
Ｔ極９２には直流高圧発生制御装置９３の出力、例えば
ＤＣ２ｓｋｖ 、１００ｍＡ程度の出力が供給される。
ＤＣ２ｓｋｖ 、１００ｍＡ程度の出力が供給される。
電極９２にはさ１れた放電管９１内の放電空間には矢印
で示す方向に放電９４が行なわれる。放電空間の両端に
固定配置されたりアミラー９６と出力ミラー９６とは光
共振器を形成し、レーザ出力９７は出力ミラー９６より
取り出される。レーザガス９８は送気管９９の中を循環
しており、放電９４およびレーザガス９８を循環させる
ブロア１００により温度上昇したレーザガス９８は熱交
換器１０１により冷却される。
で示す方向に放電９４が行なわれる。放電空間の両端に
固定配置されたりアミラー９６と出力ミラー９６とは光
共振器を形成し、レーザ出力９７は出力ミラー９６より
取り出される。レーザガス９８は送気管９９の中を循環
しており、放電９４およびレーザガス９８を循環させる
ブロア１００により温度上昇したレーザガス９８は熱交
換器１０１により冷却される。
第６図について説明すると、高周波出力を発生するＲＦ
ｉ源３の出力は同軸ケーブル４で負荷とのマツチングを
とるためのマソチングボノクヌ５に伝送される。マノチ
ングボノクヌ５の出力は並列負荷とのバランスをとるた
めに設けられたカップリングコンデンサ６〜８に供給さ
れ、カップリングコンデンサ６〜８には放電管９〜１１
が接続されている。
ｉ源３の出力は同軸ケーブル４で負荷とのマツチングを
とるためのマソチングボノクヌ５に伝送される。マノチ
ングボノクヌ５の出力は並列負荷とのバランスをとるた
めに設けられたカップリングコンデンサ６〜８に供給さ
れ、カップリングコンデンサ６〜８には放電管９〜１１
が接続されている。
第６図の従来のものについて説明するとレーザ出力の大
きさは（イ）の連続モードの場合はＰ ｍａｘ（２ｏｋ
ｗ）１２．ｐ、（１ｏｋｗ）−＋３．Ｐ２（ｅｓｋｗ）
１４のように指令信号の大きさに応じてパワーコントロ
ールされる。同様に（ロ）のパルスモードの場合は、Ｐ
ｍａｘ（２ｏｋｗ）１ｓ 、Ｐ、（１ｏｋｗ）１ｅ。
きさは（イ）の連続モードの場合はＰ ｍａｘ（２ｏｋ
ｗ）１２．ｐ、（１ｏｋｗ）−＋３．Ｐ２（ｅｓｋｗ）
１４のように指令信号の大きさに応じてパワーコントロ
ールされる。同様に（ロ）のパルスモードの場合は、Ｐ
ｍａｘ（２ｏｋｗ）１ｓ 、Ｐ、（１ｏｋｗ）１ｅ。
Ｐ、、（５ｋｗ）１７のようにパワーコントロールされ
る。
る。
第１図の本発明のものについて説明すると、（イ）の連
続モードの場合は、パワーコントロールされたＰ２（５
ｋＷ）１９に定常イグナイトパルスＰｍａＸ（２０ｋＷ
）１８が重畳されている。同様に（ロ）のパルスモード
の場合はパワーコントロールされたＰ２（５ｋＷ）２１
に定常イグナイトパフｕヌＰｍａｘ（２０ｋｗ）２０が
重畳されている。
続モードの場合は、パワーコントロールされたＰ２（５
ｋＷ）１９に定常イグナイトパルスＰｍａＸ（２０ｋＷ
）１８が重畳されている。同様に（ロ）のパルスモード
の場合はパワーコントロールされたＰ２（５ｋＷ）２１
に定常イグナイトパフｕヌＰｍａｘ（２０ｋｗ）２０が
重畳されている。
第２図に示すように定常イグナイトパルスはパルス幅Ｔ
ｗｉｐ ２３ 、パ／Ｌ／７．ピーク値ｐｉｐ ２２を
変エルコとができ、例えばＴｗｉｐ 、 ５ ／ｊＳ〜
１００ｆｉＳ。
ｗｉｐ ２３ 、パ／Ｌ／７．ピーク値ｐｉｐ ２２を
変エルコとができ、例えばＴｗｉｐ 、 ５ ／ｊＳ〜
１００ｆｉＳ。
Ｐｉｐ、１ｏｋｗ〜２２ ｋｗなどと変えることができ
る。Ｐ２Ｓ５はパワーコントロールされた従来のパルス
ピーク値である。
る。Ｐ２Ｓ５はパワーコントロールされた従来のパルス
ピーク値である。
なお、第１図、第２図、第６図の説明で縦軸は注入電力
で説明したが指令信号に置き換えてもよい。
で説明したが指令信号に置き換えてもよい。
第３図と第６図、第１図の関係を説明すると、第３図の
連続出力設定回路の出力はライン２３に出力される第６
園（イ）に該当する。パルス出力設定回路２４の出力は
、ライン２６に出力され第６図（ロ）に該当する。
連続出力設定回路の出力はライン２３に出力される第６
園（イ）に該当する。パルス出力設定回路２４の出力は
、ライン２６に出力され第６図（ロ）に該当する。
従来のものは切換スイッチ２６を経たものが指令信号と
なっていた。
なっていた。
第３図の定常イグナイトパルス出力設定回路２９には定
常イグナイトパルスの周期を決める信号として、パルス
出力設定回路の出力または周期設定回路２７の出力が切
換スイッチ２８を経て入力されており、いずれの周期で
も選択できる。
常イグナイトパルスの周期を決める信号として、パルス
出力設定回路の出力または周期設定回路２７の出力が切
換スイッチ２８を経て入力されており、いずれの周期で
も選択できる。
定常イグナイトパルス出力設定回路２９の出力はライン
３０に出力され、重畳回路３１に入力される。
３０に出力され、重畳回路３１に入力される。
重畳回路３１の出力は設定の指令信号３２となり、連続
モードの場合は第１図（イ）に、パルスモードの場合は
第１図ｃ口）に該当する。
モードの場合は第１図（イ）に、パルスモードの場合は
第１図ｃ口）に該当する。
第３図の重畳回路３１はダイオードＯＲなどで容易に実
現できる。
現できる。
このように本発明のものは第３図の周期設定回路２７．
切換スイッチ２８．定常イグナイトパルヌ出力設定回路
２９２重責回路３１を従来の回路に追加するだけでよい
。連続モードの場合の周期をパルス設定回路２４の信号
で行なえば、周期設定回路２７は削除できる。第１図は
その例である。
切換スイッチ２８．定常イグナイトパルヌ出力設定回路
２９２重責回路３１を従来の回路に追加するだけでよい
。連続モードの場合の周期をパルス設定回路２４の信号
で行なえば、周期設定回路２７は削除できる。第１図は
その例である。
また逆にパルスモードの場合の周期を周期設定回路２７
の出力で行なってもよい。
の出力で行なってもよい。
また同じく放電管の放電状態を検出する放電検出回路を
設け、放電開始時あるいは放電後の定常放電で放電管が
失弧した場合のみ定常イグナイトパルスを出力してもよ
い。
設け、放電開始時あるいは放電後の定常放電で放電管が
失弧した場合のみ定常イグナイトパルスを出力してもよ
い。
さらに放τＥ管の放７Ｆ状態を検出する放電検出回路を
設け、定常イグナイトパルスを立ち上げた後放宣検出回
路の出力で放電したことを確認して定常イグナイトパル
スを立ち下げてもよい。
設け、定常イグナイトパルスを立ち上げた後放宣検出回
路の出力で放電したことを確認して定常イグナイトパル
スを立ち下げてもよい。
発明の効果
ＬＶ上のように本発明においては放７Ｆ開始時あるいは
、レーザを絞った場合でも、連紗モード、パルスモード
いずれの場合でも、レーザ出力の大きさπ影響を与えな
い、放電管の点弧、放電のみに寄与する。定常イグナイ
トパルスが供給されるので、放電管は確実に点弧する。
、レーザを絞った場合でも、連紗モード、パルスモード
いずれの場合でも、レーザ出力の大きさπ影響を与えな
い、放電管の点弧、放電のみに寄与する。定常イグナイ
トパルスが供給されるので、放電管は確実に点弧する。
第１図は本発明の実施例における重畳回路の出力信号波
形図、第２図は同重畳回路の出力信号拡大波形図、第３
図は本発明の実施例を示すＣＯ２ガスレーザ制御装置の
回路図、第４図は一般的な高速軸流形ＲＦ励起発振器と
高速軸流形ＤＣ励起発振器の斜視図、第５図は高速軸流
形ＲＦ励起発振器における高周波出力発生制御装置のブ
ロック図、第６円は連続出力設定回路の出力指令信号波
形とパルス出力設定回路の出力指令信号波形を示す図で
ある。 ２４・・・・・パルス出力設定回路、２９・・・・定常
イグナイトパルス出力設定回路、３１・・・・・重畳回
路。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか１名実 第 リ ヨ−ＴＶ 第 図 Ｊり も）危刊・） ＷＵ 第 図 Ｃ（ｈ、串、鍛 第 図 第 図
形図、第２図は同重畳回路の出力信号拡大波形図、第３
図は本発明の実施例を示すＣＯ２ガスレーザ制御装置の
回路図、第４図は一般的な高速軸流形ＲＦ励起発振器と
高速軸流形ＤＣ励起発振器の斜視図、第５図は高速軸流
形ＲＦ励起発振器における高周波出力発生制御装置のブ
ロック図、第６円は連続出力設定回路の出力指令信号波
形とパルス出力設定回路の出力指令信号波形を示す図で
ある。 ２４・・・・・パルス出力設定回路、２９・・・・定常
イグナイトパルス出力設定回路、３１・・・・・重畳回
路。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか１名実 第 リ ヨ−ＴＶ 第 図 Ｊり も）危刊・） ＷＵ 第 図 Ｃ（ｈ、串、鍛 第 図 第 図
Claims (5)
- （１） 放電管から出力されるレーザ出力の大きさを設
定する連続モードの連続出力設定回路と、パルスモード
のパルス出力設定回路と、あらかじめ設定された周期で
前記放電管の放電開始電圧以上の電圧となるように放電
管に高周波電力あるいは直流放電電流を供給する定常イ
グナイトパルス出力設定回路と、前記連続出力設定回路
またはパルス出力設定回路の出力と前記定常イグナイト
パルス出力設定回路の出力とを重畳させる重畳回路とを
具備し、前記重畳回路の出力をレーザ出力の大きさを設
定する指令信号とすることを特徴とするＣＯ＿２ガスレ
ーザ制御装置。 - （２） 前記定常イグナイトパルス出力設定回路の出力
の周期を前記パルス出力設定回路の出力の立ち上り時、
あるいは立ち下り時、あるいは立ち上り時と立ち下り時
の両方共で設定するようにしたことを特徴とする請求項
１記載のＣＯ＿２ガスレーザ制御装置。 - （３） 前記定常イグナイトパルス出力設定回路の出力
のパルスピーク値、パルス幅を可変できるようにしたこ
とを特徴とする請求項１または２記載のＣＯ＿２ガスレ
ーザ制御装置。 - （４） 前記放電管の放電状態を検出する放電検出回路
を設け、放電開始時あるいは放電後の定常放電で放電管
が失弧した場合のみ前記定常イグナイトパルス出力設定
回路から出力するようにしたことを特徴とする請求項１
乃至３のいずれかに記載のＣＯ＿２ガスレーザ制御装置
。 - （５） 前記放電検出回路の出力で前記定常イグナイト
パルス出力設定回路の出力を立ち下げる、あるいは一定
時限後に立ち下げることを特徴とする請求項１乃至４の
いずれかに記載のＣＯ＿２ガスレーザ制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63280821A JPH02126690A (ja) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | Ｃｏ↓２ガスレーザ制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63280821A JPH02126690A (ja) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | Ｃｏ↓２ガスレーザ制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02126690A true JPH02126690A (ja) | 1990-05-15 |
Family
ID=17630451
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63280821A Pending JPH02126690A (ja) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | Ｃｏ↓２ガスレーザ制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02126690A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004158247A (ja) * | 2002-11-05 | 2004-06-03 | Sharp Corp | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
| DE102011012387A1 (de) | 2010-04-05 | 2011-10-06 | Fanuc Corporation | Gaslaseroszillator mit einer Funktion zum Bestimmen der Auflösung der Entladung |
-
1988
- 1988-11-07 JP JP63280821A patent/JPH02126690A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004158247A (ja) * | 2002-11-05 | 2004-06-03 | Sharp Corp | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
| DE102011012387A1 (de) | 2010-04-05 | 2011-10-06 | Fanuc Corporation | Gaslaseroszillator mit einer Funktion zum Bestimmen der Auflösung der Entladung |
| CN102214893A (zh) * | 2010-04-05 | 2011-10-12 | 发那科株式会社 | 具有判定放电开始的功能的气体激光振荡器 |
| US8238396B2 (en) | 2010-04-05 | 2012-08-07 | Fanuc Corporation | Gas laser oscillator having function for judging discharge initiation |
| DE102011012387B4 (de) * | 2010-04-05 | 2012-08-23 | Fanuc Corporation | Gaslaseroszillator mit einer Funktion zum Bestimmen der Auslösung der Entladung |
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