DE102010020264A1 - Luftmassenmesser - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung betrifft einen Luftmassenmesser mit einem Gehäuse aus Kunststoff, der elektrisch isolierend wirkt, wobei in dem Gehäuse ein Strömungskanal ausgebildet ist und mit einem Sensorelement, das in dem Gehäuse angeordnet ist und das die im Strömungskanal strömende Luftmasse erfasst und wobei in dem Gehäuse Leiterbahnen angeordnet sind, die das Sensorelement mit Anschlusspins verbinden. Um einen Luftmassenmesser anzugeben, der kostengünstig herstellbar ist und eine genaue Messung eines Luftmassenstromes ermöglicht, das besteht gesamte Gehäuse aus Kunststoff und zumindest ein Teil des Strömungskanals weist elektrostatisch dissipative Eigenschaften auf.
Description
- Die Erfindung betrifft einen Luftmassenmesser mit einem Gehäuse aus Kunststoff, der elektrisch isolierend wirkt, wobei in dem Gehäuse ein Strömungskanal ausgebildet ist und mit einem Sensorelement, das in dem Gehäuse angeordnet ist und das die im Strömungskanal strömende Luftmasse erfasst und wobei in dem Gehäuse Leiterbahnen angeordnet sind, die das Sensorelement mit Anschlusspins verbinden.
- Der Begriff Luft wird im Kontext dieser Anmeldung als Beispiel für ein Gas oder Gasgemisch, dessen Massenstrom bestimmt werden kann, genutzt. Grundsätzlich kann mit dem erfindungsgemäßen Luftmassenmesser der Massenstrom eines jeden Gases oder Gasgemisches bestimmt werden.
- Derartige Luftmassenmesser sind bekannt, und sie werden in großer Zahl zum Beispiel im Automobilbau eingesetzt, um die zu einer Brennkraftmaschine strömende Luftmasse zu erfassen. Abhängig von dem durch den Luftmassenmesser erfassten Luftmassenstrom können sowohl Diagnosen, beispielsweise des Betriebs der Brennkraftmaschine, durchgeführt werden, als auch eine Steuerung der Brennkraftmaschine erfolgen. Zu diesen Zwecken ist ein auch unter unterschiedlichen Betriebsbedingungen zuverlässiges und möglichst präzises Erfassen des tatsächlichen Luftmassenstroms wichtig.
- Aus der
EP 0 458 998 A1 ist ein Luftmassenmesser mit einem Gehäuse bekannt, in dem ein Strömungskanal ausgebildet ist und in dem ein Strömungsgleichrichter stromaufwärts eines Sensorelements eingebracht ist. Der Strömungsgleichrichter umfasst einen Wabenkörper und einen Ring, der in Strömungsrichtung über die Waben hinausragt und in dem ein Gitter beabstandet zu den Waben eingebettet ist, das Mikrowirbel erzeugt. - Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Luftmassenmesser anzugeben, der kostengünstig herstellbar ist und eine genaue Messung eines Luftmassenstromes ermöglicht.
- Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des unabhängigen Patenanspruches gelöst.
- Dadurch, dass das gesamte Gehäuse aus Kunststoff besteht und zumindest ein Teil des Strömungskanals elektrostatisch dissipative Eigenschaften aufweist, ist der Luftmassenmesser besonders kostengünstig, zum Beispiel im Spritzgussverfahren herstellbar. Weil zumindest ein Teil des Strömungskanals elektrostatisch dissipative Eigenschaften aufweist, werden elektrisch geladene Schmutzpartikel entladen, bevor sie das Sensorelement erreichen können. Eine Ansammlung elektrisch geladener Schmutzpartikel auf dem Sensorelement wird damit unterbunden. Da sich keine Schmutzpartikel auf dem Sensorelement ablagern, ist über gesamte Lebensdauer des Luftmassenmessers eine präzise und störungsfreie Messung der im Rohr strömenden Luftmasse möglich. Als elektrostatisch dissipativ werden im Kontext dieser Schrift Bereiche bezeichnet, deren Flächenwiderstand kleiner als 1012 Ohm ist. Damit ist der Flächenwiderstand klein genug, um elektrostatisch geladene Partikel in der Luftmasse zu entladen und das Sensorelement vor der Ablagerung dieser Partikel zu schützen.
- Bei einer Weiterbildung ist das Sensorelement in MEMS Bauweise gefertigt. Gerade für Luftmassenmesser mit Sensorelementen, die Mikrosystem(MEMS)-Technik gebaut sind, ist die Ableitung geladener Schmutzpartikel in einem Teil des Strömungskanals mit elektrostatisch dissipativen Eigenschaften besonders wichtig. Wenn in dem Luftstrom geladene Schmutzpartikel (zum Beispiel geladene Staubpartikel) vorhanden sind, werden diese von den geladenen Flächen des Sensorelementes angezogen und die geladenen Schmutzpartikel setzen sich auf diesen geladenen Flächen ab. Durch die hoch isolierende Passivierungsschicht auf dem geladenen Flächen des Sensorelementes wird jedoch eine Entladung der Schmutzpartikel verhindert. Um dies zu verhindern werden die geladenen Schmutzpartikel vor dem Erreichen des in Mikrosystem(MEMS)-Technik gebauten Sensorelementes im elektrostatisch dissipativen Teil des Strömungskanals entladen, wodurch sie sich nicht mehr auf der Oberfläche des Sensorelementes ablagern können.
- Bei einer nächsten Weiterbildung besteht der elektrisch dissipative Teil der Strömungskanals aus Kunststoff mit leitfähigen Polymeren und/oder aus Kunststoff mit leitfähigen Fasern und/oder aus Kunststoff mit Leitruß. Als leitfähige Fasern im Kunststoff eignen sich zum Beispiel Kohle- oder Metallpartikel. Kunststoff mit leitfähigen Bestandteilen (Polymeren, Fasern und/oder Leitruß) sind kostengünstig und leicht in den Strömungskanal integrierbar.
- Bei einer Ausgestaltung weist der elektrisch dissipative Teil der Strömungskanals eine elektrisch dissipative Beschichtung auf. Dies kann zum Beispiel eine galvanischen Metallbeschichtung sein Es ist auch denkbar die Beschichtung durch metallisches Sputtern, metallisches Bedampfen oder durch Beschichten mit einem leitfähigen Lack zu erzeugen.
- Wenn der elektrisch dissipative Teil der Strömungskanals mit einem festen Potential elektrisch verbunden ist, lassen sich die Ladungsträger von den Schmutzpartikeln leicht ableiten und damit erfolgt eine einfache Neutralisierung der Schmutzpartikel. Diese lagern sich damit nicht mehr auf dem Sensorelement ab.
- Bei einer bevorzugten Ausführungsform ist das feste Potential die Sensormasse. Die Sensormasse stellt für den Luftmassenmesser das neutrale Bezugspotential dar und sie ist in der Lage große Mengen an Ladungsträgern aufzunehmen ohne einer Potentialverschiebung zu unterliegen.
- Wenn das Gehäuse einen Gehäusekörper und einen Gehäusedeckel aufweist, ist die Herstellung des Luftmassenmessers besonders einfach. Dabei kann der elektrisch dissipative Teil der Strömungskanals im und/oder am Gehäusekörper ausgebildet sein und/oder im und/oder am Gehäusedeckel ausgebildet sein.
- Die Erfindung wird nachfolgend anhand der
1 bis6 näher erläutert. -
1 zeigt einen Luftmassenmesser in einem Rohr, -
2 zeigt eine perspektivische Ansicht des Luftmassenmessers, -
3 zeigt schematisch ein in MEMS Technologie gefertigtes Sensorelement, -
4 zeigt einen Luftmassenmesser mit einem Gehäuse, -
5 zeigt einen Gehäusedeckel, -
6 zeigt einen Gehäusekörper, -
7 zeigt noch einmal einen Gehäusedeckel. -
1 zeigt einen Luftmassenmesser1 . Der Luftmassenmesser1 ist in einem Rohr2 angeordnet. Der Luftmassenmesser1 weist ein Gehäuse17 mit einem Anfang5 und einem Ende6 im Bezug auf die Hauptströmungsrichtung4 der Luftmasse im Rohr2 auf. Um über alle Strömungsgeschwindigkeiten der Luftmasse im Rohr2 fehlerfrei messen zu können, ist vor dem Luftmassenmesser1 mit einem gewissen Abstand zu seinem Anfang5 ein Strömungsleitelement8 ausgebildet. Dieses Strömungsleitelement8 besteht hier aus einem Gitter11 . Sowohl das Rohr2 als auch das Gitter11 können Bereiche9 mit elektrisch dissipativen Eigenschaften aufweisen. -
2 zeigt eine perspektivische Ansicht des Luftmassenmessers1 in einem Rohr2 . Der Luftmassenmesser1 weist einen Strömungskanal7 auf, der einen Teil der im Rohr2 strömenden Luft aufnimmt und über ein Sensorelement3 leitet. Im Rohr2 des Luftmessenmessers1 sind ausgedehnte Strömungsleitelemente8 angeordnet, die parallel zur Hauptströmungsrichtung4 ausgerichtet sind. Auch diese Strömungsleitelemente8 können Bereiche9 elektrisch dissipativen Eigenschaften aufweisen. Darüber hinaus zeigt2 ein Anschlusselement16 in dem die Anschlusspins angeordnet sind, die das Sensorelement3 und seine nachfolgende elektronischen Schaltung10 zum Beispiel mit einem elektronischen Motorsteuergerät elektrisch verbinden. -
3 zeigt schematisch ein in MEMS Technologie gefertigtes Sensorelement3 im Luftstrom4 . Moderne in Mikrosystem(MEMS)-Technik gebaute Sensorelemente3 erfassen sehr schnell den Luftmassenstrom und messen nahezu jede Änderung in dem Luftmassenstrom4 mit hoher Präzision. Das Sensorelement3 und die elektronische Schaltung10 zur Verarbeitung der Signale von dem Sensorelement3 können in Mikrosystem-Technologie (MEMS) auf einem einzigen Halbleiterbauelement11 ausgebildet sein. Ein Nachteil der in Mikrosystem-Technik gefertigten Sensorelemente3 ist es, dass über den elektrisch leitenden und mit Ladungsträgern13 geladenen Flächen12 des Sensorelements3 in der Regel eine dünne aber hoch isolierende Passivierungsschicht14 , zum Beispiel aus Siliziumdioxyd, angeordnet ist. Wenn in dem Luftstrom4 geladene Schmutzpartikel15 (zum Beispiel geladene Staubpartikel) vorhanden sind, werden diese von den geladenen Flächen12 des Sensorelementes3 angezogen und die geladenen Schmutzpartikel15 setzen sich auf diesen geladenen Flächen12 ab. Durch die hoch isolierende Passivierungsschicht14 auf dem geladenen Flächen12 des Sensorelementes3 wird jedoch eine Entladung der Schmutzpartikel15 verhindert. Die geladenen Schmutzpartikel15 sind auf der elektrisch leitenden Fläche12 des Sensorelementes3 förmlich gefangen und diese Verschmutzung verfälschen die Messung der vorbeiströmenden Luftmasse4 . -
4 zeigt einen Luftmassenmesser1 mit einem Gehäuse17 . Das Gehäuse17 besteht aus einem Gehäusekörper18 und einem Gehäusedeckel19 . Am Gehäusekörper18 ist das Anschlusselement16 zu erkennen, in dem elektrisch leitende Pins untergebracht sind, die einen elektrischen Kontakt des Sensorelementes3 mit einer nachfolgenden Elektronik, z. B. einem Motorsteuergerät, herstellen. Weiterhin ist im Gehäusekörper18 der Strömungskanal7 zu erkennen. Hier ist der Strömungskanal7 Ω-förmig aufgebaut. Dies ist jedoch nur ein Beispiel für einen Strömungskanal. Es gibt vielfältige Ausgestaltungen für derartige Strömungskanäle in Luftmassenmessern1 . Der Gehäusedeckel19 kann mit dem Gehäusekörper18 verbunden werden. Dies kann z. B. durch Kleben oder Laserschweißen erfolgen. Im Gehäusedeckel19 ist ein Bereich9 mit elektrisch dissipativen Eigenschaften zu erkennen. Dieser Bereich9 mit elektrisch dissipativen Eigenschaften deckt weitgehend den Strömungskanal7 ab. Damit können im Luftstrom4 vorhandene Schmutzpartikel15 mit Ladungsträgern13 durch einen Kontakt mit dem Bereich9 mit elektrisch dissipativen Eigenschaften entladen werden. Dies stellt sicher, dass am Sensorelement3 nur elektrostatisch neutrale Schmutzpartikel15 mit der Luftmasse4 vorbeiströmen. Durch die Bereiche9 mit elektrostatisch dissipativen Eigenschaften wird mit hoher Effektivität verhindert, dass sich auf dem Sensorelement3 elektrisch geladene Schmutzpartikel15 absetzen. Mit dem Bezugszeichen20 ist der Masseanschluss bezeichnet, mit dem der Bereich9 mit elektrisch dissipativen Eigenschaften mit der Sensormasse21 oder einem anderen festen Potential verbunden wird. Die Verbindung zur Sensormasse21 ist in4 schematisch an den Bereich9 mit elektrisch dissipativen Eigenschaften angefügt. -
5 zeigt den Gehäusedeckel19 in einer detaillierteren Darstellung. Im Gehäusedeckel19 ist der Bereich9 mit elektrisch dissipativen Eigenschaften gut zu erkennen. Hier entspricht die Form des Bereiches9 mit elektrisch dissipativen Eigenschaften weitgehend der Form des Strömungskanals7 . Entlang des Bereiches9 mit elektrisch dissipativen Eigenschaften strömt die Luftmasse4 , wobei sich in ihr enthaltene Schmutzpartikel15 an dem Bereich mit9 mit elektrisch dissipativen Eigenschaften entladen können. Die Verbindung zur Sensormasse21 ist in den5 und6 schematisch an den Bereich9 mit elektrisch dissipativen Eigenschaften angefügt. -
6 zeigt den Gehäusekörper18 . Im Gehäusekörper18 ist der Strömungskanal7 zu erkennen, in diesem Ausführungsbeispiel ist auch der Strömungskanal7 mit einem Bereich9 mit elektrisch dissipativen Eigenschaften ausgestattet. -
7 zeigt noch einmal den Gehäusedeckel19 und den Bereich9 mit elektrisch dissipativen Eigenschaften. Zu erkennen ist der Gehäusedeckel19 , bevor der Bereich9 mit elektrisch dissipativen Eigenschaften in diesen integriert wird. Zur Integration des Bereiches9 mit elektrisch dissipativen Eigenschaften wird der Bereich9 mit elektrisch dissipativen Eigenschaften in den Gehäusedeckel19 eingepasst und zum Beispiel mit dem Gehäusedeckel verklebt oder durch Laserschweißen verbunden. - ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
- Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
- Zitierte Patentliteratur
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- EP 0458998 A1 [0004]
Claims (9)
- Luftmassenmesser (
1 ) mit einem Gehäuse (17 ) aus Kunststoff, der elektrisch isolierend wirkt, wobei in dem Gehäuse (17 ) ein Strömungskanal (7 ) ausgebildet ist und mit einem Sensorelement (3 ), das in dem Gehäuse (17 ) angeordnet ist und das die im Strömungskanal (7 ) strömende Luftmasse (4 ) erfasst und wobei in dem Gehäuse (17 ) Leiterbahnen angeordnet sind, die das Sensorelement (3 ) mit Anschlusspins verbinden, dadurch gekennzeichnet, dass das gesamte Gehäuse (17 ) aus Kunststoff besteht und zumindest ein Bereich (9 ) des Strömungskanals (7 ) elektrostatisch dissipative Eigenschaften aufweist. - Luftmassenmesser (
1 ) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Sensorelement (3 ) in MEMS Bauweise gefertigt ist. - Luftmassenmesser (
1 ) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der elektrisch dissipative Bereich (9 ) der Strömungskanals (7 ) aus Kunststoff mit leitfähigen Polymeren und/oder aus Kunststoff mit leitfähigen Fasern und/oder aus Kunststoff mit Leitruß besteht. - Luftmassenmesser (
1 ) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der elektrisch dissipative Bereich (9 ) der Strömungskanals (7 ) eine elektrisch dissipative Beschichtung aufweist. - Luftmassenmesser (
1 ) nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der elektrisch dissipative Bereich (9 ) der Strömungskanals (7 ) mit einem festen Potential elektrisch verbunden ist. - Luftmassenmesser (
1 ) nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das feste Potential die Sensormasse (21 ) ist. - Luftmassenmesser (
1 ) nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse (17 ) einen Gehäusekörper (18 ) und einen Gehäusedeckel (19 ) aufweist. - Luftmassenmesser (
1 ) nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der elektrisch dissipative Bereich (9 ) der Strömungskanals (7 ) im und/oder am Gehäusekörper (18 ) ausgebildet ist. - Luftmassenmesser (
1 ) nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass der elektrisch dissipative Bereich (9 ) der Strömungskanals (7 ) im und/oder am Gehäusedeckel (19 ) ausgebildet ist
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE102010020264A DE102010020264A1 (de) | 2010-05-28 | 2010-05-28 | Luftmassenmesser |
PCT/EP2011/057511 WO2011147681A1 (de) | 2010-05-28 | 2011-05-10 | Luftmassenmesser |
US13/700,638 US9658092B2 (en) | 2010-05-28 | 2011-05-10 | Air mass flow meter |
ES11719531.3T ES2641292T3 (es) | 2010-05-28 | 2011-05-10 | Debímetro para masa de aire |
EP11719531.3A EP2577237B1 (de) | 2010-05-28 | 2011-05-10 | Luftmassenmesser |
KR1020127034032A KR101775184B1 (ko) | 2010-05-28 | 2011-05-10 | 공기 질량 유량계 |
CN201180026335.5A CN102918366B (zh) | 2010-05-28 | 2011-05-10 | 空气质量流量计 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102010020264A DE102010020264A1 (de) | 2010-05-28 | 2010-05-28 | Luftmassenmesser |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102010020264A1 true DE102010020264A1 (de) | 2011-12-01 |
Family
ID=44626357
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102010020264A Withdrawn DE102010020264A1 (de) | 2010-05-28 | 2010-05-28 | Luftmassenmesser |
Country Status (7)
Country | Link |
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US (1) | US9658092B2 (de) |
EP (1) | EP2577237B1 (de) |
KR (1) | KR101775184B1 (de) |
CN (1) | CN102918366B (de) |
DE (1) | DE102010020264A1 (de) |
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CN102918366A (zh) | 2013-02-06 |
US9658092B2 (en) | 2017-05-23 |
US20130061684A1 (en) | 2013-03-14 |
WO2011147681A1 (de) | 2011-12-01 |
CN102918366B (zh) | 2016-05-25 |
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Legal Events
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