DE102009057203A1

DE102009057203A1 - Einrichtung zum Aussetzen eines Fotovoltaik-Dünnschichtmoduls mittels Licht

Info

Publication number: DE102009057203A1
Application number: DE200910057203
Authority: DE
Inventors: Hans-Ulrich Dipl.-Ing. Fritz; Andreas Haas; Matthias Etzkorn; Karl-Heinz Dipl.-Ing. Menauer
Original assignee: Aci-Ecotec & Co KG GmbH; ACI ECOTEC GmbH and Co KG
Current assignee: Aci Ecotec De GmbH
Priority date: 2009-11-26
Filing date: 2009-11-26
Publication date: 2011-06-01
Also published as: WO2011063890A2; WO2011063890A3

Abstract

Einrichtung (10), mittels der ein Fotovoltaik-Dünnschichtmodul (20) Licht, vorzugsweise simuliertem Sonnenlicht, ausgesetzt wird, ist mit einer Beleuchtungsvorrichtung (25), mit einer oberhalb und seitlich der Beleuchtungsvorrichtung (25) angeordneten Fördervorrichtung (22) für das Dünnschichtmodul (20), mit einem Luftverteilungssystem (40) zum Erreichen einer vorgegebenen Temperatur des Dünnschichtmoduls (20), und mit einem Gehäuse (11) und einem verschließbaren Gehäusedeckel (13) versehen. Um das Dünnschichtmodul auf Temperatur zu halten, ist vorgesehen, dass das Luftverteilungssystem (40) mit einer Kühlvorrichtung (35) in Wirkverbindung steht und zwei getrennte Luftströme (41, 42) aufweist, von denen der eine (42) in einem die Beleuchtungsvorrichtung (25) aufnehmenden ersten Gehäuseraum (46), der eintrittsseitig mit einem ersten Wärmetauscher (36) der Kühlvorrichtung (35) versehen ist, geführt ist und von dort in einen der Beleuchtungsvorrichtung (25) abgewandten, das Dünnschichtmodul (20) aufnehmenden und vom Gehäusedeckel (13) begrenzten zweiten Raum (44) geleitet ist, und der andere (41) längs einer oder beider Seiten des die Beleuchtungsvorrichtung (25) aufnehmenden ersten Gehäuseraumes (46) über einen zweiten und/oder dritten Wärmetauscher (37, 38) der Kühlvorrichtung (35) in einen dritten Raum (45) zwischen dem Dünnschichtmodul (20) und dem ersten Raum (46) geführt ist und von dort zum zweiten Raum (44) geleitet ist, und dass die im zweiten Raum (44) ...

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Einrichtung, mittels der ein Fotovoltaik-Dünnschichtmodul Licht, vorzugsweise simuliertem Sonnenlicht ausgesetzt wird, nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Derartige Einrichtungen sind am Ende einer Fertigungsanlage für Fotovoltaik-Dünnschichtmodule vorgesehen, um das Dünnschichtmodul vor seiner abschließenden Leistungsmessung mit Licht, vorzugsweise simuliertem Sonnenlicht zu beaufschlagen bzw. diesem auszusetzen, was als Light-Soaking bezeichnet wird, so dass das Dünnschichtmodul für die anschließende Leistungsmessung mittels Blitzlicht-Beaufschlagung (sog. Flashing) angeregt.
Da derartige Dünnschichtmodule vor ihrer Leistungsmessung auf eine bestimmte vorgegebene Temperatur gebracht werden müssen, ist es notwendig, die bekannte Einrichtung mit einem Kühlluftverteilungssystem auszustatten, mit dem in schneller und einfacher Weise die Dünnschichtmodule unabhängig von der Dauer und Intenstität ihrer Beleuchtung auf die vorgegebene Temperatur gebracht werden kann.
Zur Lösung dieser Aufgabe sind bei einer Einrichtung der genannten Art die im Anspruch 1 angegebenen Merkmale vorgesehen.
Durch die erfindungsgemäßen Maßnahmen ist erreicht, dass in schneller und zuverlässiger Weise durch Mischen von zwei unterschiedlich geführten und gekühlten Luftströmen im Bereich des beleuchteten Dünnschichtmoduls eine vorgegebene konstante Temperatur erreicht und aufrechterhalten wird.
Dabei ist es zweckmäßig, wenn die Merkmale nach Anspruch 2 vorgesehen sind, um den sich auf einer vorgegebenen Temperatur befindenden, rückgeführten vermischten Luftstrom vor seiner erneuten beabsichtigten Kühlungswirkung möglichst weit herunter zu kühlen.
Mit den Merkmalen nach Anspruch 3 ist nicht nur eine gleichmäßige Ausleuchtung des Dünnschichtmoduls mit Hilfe der Beleuchtungsvorrichtung, sondern auch eine räumlich Abgrenzung der beiden benachbarten Räume erreicht.
Eine einfache und konstante Luftstromführung in jedem einzelnen Raum ist durch die Merkmale nach Anspruch 4 gegeben. Eine vorteilhafte Steuerung des Luftstromes innerhalb der Beleuchtungsvorrichtung ergibt sich durch die Merkmale nach Anspruch 5.
Vorteilhafte Ausgestaltungen zur Einrichtung, Wartung und Anpassung der Beleuchtungsvorrichtung an unterschiedliche Dünnschichtmodule ergeben sich aus den Merkmalen eines oder mehrerer der Ansprüche 6 bis 9.
Die vorliegende Erfindung bezieht sich ferner auf ein Verfahren zum Kühlen einer derartigen Einrichtung nach den Merkmalen des Anspruchs 10. Dabei sind in vorteilhafter Weise die Merkmale nach Anspruch 11 vorgesehen.
Des weiteren bezieht sich die vorliegende Erfindung gemäß Anspruch 12 auf eine Anlage zum Fertigstellen von Fotovoltaik-Dünnschichtmodulen mit einer Einrichtung, mittels der ein derartiges Dünnschichtmodul Licht, vorzugsweise simuliertem Sonnenlicht ausgesetzt wird, der vorgenannten erfindungsgemäßen Art.
Bei einer solchen Anlage sind in vorteilhafter Weise die Merkmale nach Anspruch 13 vorgesehen, um so die Durchlaufkapazität pro Zeiteinheit unabhängig von der vorgegebenen Beleuchtungszeit zu erhöhen.
Weitere Einzelheiten der Erfindung sind der folgenden Beschreibung zu entnehmen, in der die Erfindung anhand des in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispieles näher beschrieben und erläutert ist. Es zeigen:
1 einen Querschnitt längs der Linie I-I der 2 durch eine Einrichtung, mittels der ein Fotovoltaik-Dünnschichtmodul Licht, vorzugsweise simuliertem Sonnenlicht ausgesetzt wird, jedoch in geschlossenem Betriebszustand und
2 die Einrichtung nach 1 in schematischer perspektivischer Darstellung in einem geöffneten Wartungszustand.
Die in der Zeichnung gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel vorliegender Erfindung dargestellte Einrichtung 10 dient zum sogenannten Light-Soaking von Fotovoltaik-Dünnschichtmodulen 20, das heißt das jeweilige Fotovoltaik-Dünnschichtmodul 20 wird für eine bestimmte Zeit Licht, vorzugsweise simuliertem Sonnenlicht ausgesetzt, um möglichst schnell danach die Leistung des Dünnschichtmoduls 20 mittels einer daran anschließenden Blitzlicht-Messeinrichtung zu messen. Als Fotovoltaik-Dünnschichtmodule 20 kommen beispielsweise sogenannte CIGS-Solarzellen in Betracht, die auf einem Träger aufgebracht sind, der beispielsweise Glas, ein transparenter dünner Kunststoff oder dergleichen sein kann. Das Fotovoltaik-Dünnschichtmodul 20 wird in Richtung senkrecht zur Zeichnungsebene der 1 bzw. in Richtung des Pfeiles E gemäß 2 in die Einrichtung 10 eingebracht bzw. eingefahren, eine gewisse Zeitdauer dem betreffenden Licht ausgesetzt und danach aus der Einrichtung 10 wieder ausgefahren. In bevorzugter Weise bleibt auch während des Ein- und Ausfahrens des Dünnschichtmoduls 20 in bzw. aus der Einrichtung 10 das Licht eingeschaltet.
Bei einer Anlage zum Bearbeiten und Fertigstellen derartiger Fotovoltaik-Dünnschichtmodule 20 sind in bevorzugter Weise mehrere Einrichtungen 10 in Durchlaufrichtung unmittelbar hintereinander angeordnet, wobei jedes Dünnschichtmodul 20 in jeder der Einrichtungen 10 ein- und ausfährt und für eine bestimmte Zeitdauer verharrt, so dass am Ende der mehreren Einrichtungen 10 jedes Dünnschichtmodul 20 vor Eintritt in das Leistungsmessgerät in ausreichender Weise mit vorzugsweise simuliertem Sonnenlicht beleuchtet bzw. diesem ausgesetzt worden ist.
Die Einrichtung 10 besitzt ein Gehäuse 11, das auf höhenverstellbaren Füßen 12 steht und an seiner den Füßen 12 abgewandten Oberseite mit einem Deckel 13 versehen ist, der gemäß Doppelpfeil A aus seiner in 1 dargestellten abgeklappten Betriebsstellung in eine gemäß 2 dargestellte Wartungsstellung hochklappbar und wieder abklappbar ist. Beide Stellungen werden von mindestens einer Gasdruckfeder 14 unterstützt. Der Deckel 13 ist um eine senkrecht zur Zeichnungsebene der 1 verlaufende und an einem gemäß 2 hinteren Ende des Gehäuses 11 angeordnete Schwenkachse auf- und abklappbar. Der Deckel 13 ist gemäß 1 in seiner Erstreckung von der Vorderseite 16 zur Rückseite 17 des Gehäuses 11 U-förmig ausgebildet, so dass in geschlossenem Zustand gemäß 1 ein Übergreifen des Gehäuses 11 erfolgt. In Richtung des Pfeiles E der 2 besitzt der Deckel 13 eine in dieser Figur nicht sichtbare Zuführausnehmung sowie eine hier sichtbare Auslaufausnehmung 18, die beide von bspw. einer elastischen bürstenartigen Leiste im Wesentlichen lichtundurchlässig in nicht dargestellter Weise abgedeckt sind.
Oberhalb der Oberseite des Gehäuses 11 sind an beiden Längsseiten Transportbänder 22 von einem Motor 23 angetrieben angeordnet, damit das Dünnschichtmodul 20 mit der aktiven Dünnschichtseite nach unten zeigend durchfahren bzw. verharren kann. Beim dargestellten Beispiel besitzt das Dünnschichtmodul 20 zwei Glasscheiben in Sandwichaufbau als Träger. Es kann in seiner Ausführung gerahmt oder ungerahmt sein.
Unterhalb der Transportbänder 22 befindet sich eine Beleuchtungsvorrichtung 25, die eine Beleuchtungseinheit 26 und zwischen diesen und den Transportbändern 22 eine Diffusorscheibe 27 zur gleichmäßigen flächigen Verteilung des Lichts auf dem Dünnschichtmodul 20 aufweist. Die Beleuchtungseinheit 26 besitzt im Querschnitt der 1 dreieckartig dachförmige, längs verlaufende Leisten 28, zwischen denen Sockel 29 von Leuchten 30 angeordnet sind, die beispielsweise beim Ausführungsbeispiel mit Natriumdampflampen 31 bestückt sind. Die Art der Lampen 31 ist abhängig von der Art des Dünnschichtmoduls. Die dachförmigen Leisten 28 sind mit Lüftungsschlitzen 32 versehen, deren Querschnitt in nicht im Einzelnen dargestellter Weise einstellbar ist.
Die Beleuchtungseinheit 26 ist gegenüber der fest angeordneten Diffusorscheibe 27 der Beleuchtungsvorrichtung 25 höhenverstellbar. Außerdem ist die Beleuchtungseinheit 26 gemäß 2 zu Wartungszwecken an Schienen 33 aus dem Gehäuse 11 aus- und in dieses einfahrbar gehalten sowie in nicht dargestellter Weise dann, wenn sie vollständig aus dem Gehäuse 11 in Richtung des Pfeiles B ausgefahren ist, in Richtung des Pfeiles C hochklappbar, um an an der Unterseite der Beleuchtungseinheit 26 vorgesehene elektrische Bauelemente, wie Starter/Vorschaltgeräte u. dgl., zu gelangen.
Die Einrichtung 10 besitzt ferner eine Wärmetauschervorrichtung 35 von der eine erste Wärmetauschereinheit 36 unterhalb der Beleuchtungseinheit 26 in einem Abstand angeordnet ist. Die erste Wärmetauschereinheit 36, die aus mehreren Wärmetauschern bestehenkann, erstreckt sich im Wesentlichen über die gesamte Querschnittsfläche der Beleuchtungseinheit 26.
Die Einrichtung 10 ist ferner mit einem Luftverteilungssystem 40 versehen, das dazu dient, die in der Einrichtung 10 dem vorzugsweise simulierten Sonnenlicht ausgesetzten Dünnschichtmodule 20 während der Beleuchtung auf eine bestimmte Temperatur zu bringen bzw. auf dieser zu halten und die Beleuchtungseinheit 26 zu kühlen. Beispielsweise ist bei einem bestimmten Typ von Dünnschichtmodul 20 eine Temperatur von +25°C für eine anschließende Leistungsmessung vorgeschrieben. Um dies zu erreichen, muss somit die von der Beleuchtungseinheit 26 herrührende Wärme abgeführt werden.
Das Luftverteilungssystem 40 ist in zwei über weite Bereiche getrennt geführte Hauptluftströme 41 und 42 aufgeteilt, die in einem Vorraum 50 unterhalb der Wärmetauschereinheit 36 getrennt werden und sich am Ende in einem zweiten Raum 44, der sich zwischen Deckel 13 und der Ebene der Transportbändern 22 befindet und in welchem das Dünnschichtmodul 20 zu liegen kommt, durch Zusammenführen vermischen. Gemäß 1 gelangen die beiden miteinander vermischten Luftströme 41 und 42 aus dem zweiten Raum 44 in einen abgeschlossenen hinteren Raum 49, der an der Rückseite 17 des Gehäuses 11 vorgesehen ist und über einen mittleren Bereich der Längserstreckung des Gehäuses 11 verläuft, und weiter durch eine vierte Vorkühlwärmetauschereinheit 39, der einer Lüfterbatterie 59 zugeordnet ist. Aus diesem hinteren Raum 49 führt der vorgekühlte Mischluftstrom 41, 42 den Vorraum 50 unterhalb der ersten Wärmetauschereinheit 36, in welchem der vorgekühlte Mischluftstrom in die beiden Hauptluftströme 41 und 42 aufgeteilt wird.
Ein Teilstrom 41/1 des einen Hauptluftstroms 41 führt durch eine zweite Wärmetauschereinheit 37 mittels einer Lüfterbatterie 57 in einen Frontraum 47, der dem hinteren Raum 49 abgewandt im Bereich der Vorderseite 16 des Gehäuses 11 angeordnet ist. Ein anderer Teilstrom 41/2 des ersten Hauptluftstroms 41 führt durch einen dritten Wärmetauscher 38 mittels einer Lüfterbatterie 58 in einen Rückraum 48, der zwischen dem hinteren Raum 49 und der Beleuchtungseinheit 26 angeordnet ist. Die beiden Teilströme 41/1 und 41/2 des ersten Hauptluftstroms 41 vereinigen sich in einem dritten Raum 45, der zwischen der Diffusorscheibe 27 und der Ebene der Transportbänder 22 angeordnet ist. Von dort aus führen die beiden Teilströme 41/1 und 41/2 des ersten Hauptluftstromes 41 durch Schlitze zwischen den Enden des aufliegenden Dünnschichtmoduls 20 und den Gehäuse- bzw. Deckelendwänden vorbei in den zweiten Raum 44 oberhalb des auf den Transportbändern 22 liegenden Dünnschichtmoduls 20. Die beiden im dritten Raum 45 zusammengeführten Teilluftströme 41/1 und 41/2 besitzen eine erheblich geringere Temperatur als das Modul 20 und kühlen dieses von unten bzw. von dessen aktiver Seite.
Aus dem Vorraum 50 wird der zweite Hauptluftstrom 42 anhand von Leitblechen 52 durch die Wärmetauschereinheit 36 zur Unterseite der Beleuchtungseinheit 26 geführt, so dass der zweite Luftstrom 42 die Beleuchtungseinheit 26 umspült und durch die Lüftungsschlitze 32 der dachförmigen Leisten 28 geführt und in den ersten Raum 46 zwischen der Oberseite der Beleuchtungseinheit 26 und der Diffusorscheibe 27 gelangt. Der zweite Hauptluftstrom 42 der der Kühlung der Beleuchtungseinheit 26 dient, gelangt dann längs der Unterseite der Diffusorscheibe 27 zu deren Enden, die mit den Gehäuseendwänden einen Durchtrittsschlitz bilden, derart, dass auch dieser zweite Hauptluftstrom 42 in den zweiten Raum 44 oberhalb der Transportbänder 22 des aufliegenden Dünnschichtmoduls 20 gelangt. Somit vermischen sich in diesem zweiten Raum 44 die beiden Hauptluftströme 41 und 42 miteinander und besitzen eine Temperatur, die der Modultemperatur entspricht.
Die erwähnten Räume 44 bis 50 sind bis auf die Verbindungen zum folgenden Raum (in Strömungsrichtung) jeweils im Wesentlichen in sich geschlossen. Es sei jedoch erwähnt, dass dann, wenn ein Modul 20 ganz oder teilweise ausgefahren ist, eine entsprechende direkte Verbindung zwischen den Räumen 45 und 44 ent- bzw. besteht.
Beim Ausführungsbeispiel besitzen die beiden zu einem einzigen Luftstrom vermischten Luftströme 41 und 42 im zweiten Raum 44 beispielsweise eine Temperatur von +25°C, die der betreffende Dünnschichtmodul 20 aufweisen soll. Im vierten Wärmetauscher 39 wird dieser Mischluftstrom auf beispielsweise 17°C abgekühlt, so dass die beiden sich dann trennenden Hauptluftströme 41 und 42 diese Temperatur aufweisen. Während der erste Hauptluftstrom 41 in den beiden Wärmetauschern 37 und 38 nochmals auf beispielsweise etwa 12°C abgekühlt wird, kann der zweite Hauptluftstrom 42 mit der beispielsweisen Temperatur von 17°C aufgrund der ersten Wärmetauschereinheit 36 nach nochmaliger Abkühlung auf 15°C in den Raum 46 der Beleuchtungseinheit 26 einströmen. Der sich hier auf eine relativ hohe Temperatur aufwärmende zweite Hauptluftstrom 42 wird danach mit dem kühleren ersten Hauptluftstrom 41 in dem genannten zweiten Raum 44 vermischt.
Die Wärmetauschervorrichtung 35 besitzt beispielsweise wassergekühlte Wärmetauscher, wie sie zuvor beschrieben sind. Die Wärmetauschereinheiten 36 bis 39, einzeln oder in Form von Batterien oder Gruppen, sind Teil eines einheitlichen Rohrleitungssystems, das von und zu einem Rückkühlaggregat führt und das insgesamt geregelt werden kann.
An der Vorderseite des Gehäuses 11 ist ferner eine Klappe 55 vorgesehen, die gemäß 2 Zugang zu den Lüftern bzw. Lüfterbatterien 57 bis 59 und Wärmetauschern bzw. Wärmetauscherbatterien 36 bis 39 ermöglicht.
Es versteht sich, dass die Auslegung der einzelnen Wärmetauschereinheiten und Lüfter so ausgeführt wird, dass sich durch die Aufteilung der Luftströme und die unterschiedliche Luftführung durch die Beleuchtungseinheit 26 und an dieser vorbei die vorgegebene Temperatur für das Dünnschichtmodul 20 ergibt.

Claims

Einrichtung (10), mittels der ein Fotovoltaik-Dünnschichtmodul (20) Licht, vorzugsweise simuliertem Sonnenlicht ausgesetzt wird, mit einer Beleuchtungsvorrichtung (25), mit einer oberhalb und seitlich der Beleuchtungsvorrichtung (25) angeordneten Fördervorrichtung (22) für das Dünnschichtmodul (20); mit einem Luftverteilungssystem (40) zum Erreichen einer vorgegebenen Temperatur des Dünnschichtmoduls (20), mit einem Gehäuse (11) und einem verschließbaren Gehäusedeckel (13), dadurch gekennzeichnet, dass das Luftverteilungssystem (40) mit einer Kühlvorrichtung (35) in Wirkverbindung steht und zwei getrennte Luftströme (41, 42) aufweist, von denen der eine (42) in einem die Beleuchtungsvorrichtung (25) aufnehmenden ersten Gehäuseraum (46), der eintrittsseitig mit einem ersten Wärmetauscher (36) der Kühlvorrichtung (35) versehen ist, geführt ist und von dort in einen der Beleuchtungsvorrichtung (25) abgewandten, den Dünnschichtmodul (20) aufnehmenden und vom Gehäusedeckel (13) begrenzten zweiten Raum (44) geleitet ist, und der andere (41) längs einer oder beider Seiten des die Beleuchtungsvorrichtung (25) aufnehmenden ersten Gehäuseraumes (46) über einen zweiten und/oder dritten Wärmetauscher (37, 38) der Kühlvorrichtung (35) in einen dritten Raum (45) zwischen dem Dünnschichtmodul (20) und dem ersten Raum (46) geführt ist und von dort zum zweiten Raum (44) geleitet ist, und dass die im zweiten Raum (44) zusammengeführten beiden Luftströme (41, 42), die in zusammengeführtem, vermischtem Zustand die für das Dünnschichtmodul (20) vorgegebene Kühllufttemperatur besitzen, zu ihrer erneuten Trennung vor dem Eintritt in den ersten Raum (46) zurückgeführt sind.
Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die im zweiten Raum (44) zusammengeführten beiden Luftströme (41', 42) über einen vierten Wärmetauscher (39) der Kühlvorrichtung (35) längs einer Gehäuseseite zurückgeführt sind.
Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem ersten Raum (46) und dem dritten Raum (45) eine Diffusorplatte (27) über der Ebene der Beleuchtungsvorrichtung (25) angeordnet ist.
Einrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Luftverteilungssystem (40) jedem Wärmetauscher (37–39) zugeordnet einen Lüfter oder eine Lüfterbatterie (57–59) besitzt.
Einrichtung nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Beleuchtungsvorrichtung (25) eine die Leuchteinheiten (26) aufnehmende Basis (28) aufweist, die mit im Querschnitt vorzugsweise verstellbaren Lüftungsschlitzen (32) versehen ist.
Einrichtung nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Beleuchtungsvorrichtung (25) gegenüber der Diffusorplatte (27) im Abstand verstellbar ist.
Einrichtung nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Beleuchtungsvorrichtung (25) als Einschub des Gehäuses (11) ausgebildet ist.
Einrichtung nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Wärmetauschereinheiten (36–39) der Kühlvorrichtung (35) über Temperatur- und Volumenstromregler von Wasser durchflossen sind, das einem Kühlaggregat zugeführt ist.
Einrichtung nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Gehäusedeckel (13) in Abhängigkeit vom Betrieb der Beleuchtungsvorrichtung (25) am Gehäuse (11) zwangsverriegelbar ist.
Verfahren zum Kühlen einer Einrichtung (10) mittels der ein Fotovoltaik-Dünnschichtmodul (20) Licht, vorzugsweise simuliertem Sonnenlicht ausgesetzt wird, nach Anspruch 1 und gegebenenfalls mindestens einem der folgenden Ansprüche, gekennzeichnet durch zwei getrennte Luftströme (41, 42), von denen der eine (42) in dem die Beleuchtungsvorrichtung (25) aufnehmenden ersten Raum (46) geführt und eintrittsseitig gekühlt wird und von dort in den zweiten Raum geleitet wird und der andere (41) längs einer oder beider Seiten eines die Beleuchtungsvorrichtung (25) aufnehmenden ersten Raumes (46) gekühlt und in einem dritten Raum (45) zwischen dem Dünnschichtmodul (20) und dem ersten Raum (46) geführt wird und von dort zu einem der Beleuchtungsvorrichtung (25) abgewandten, das Dünnschichtmodul aufnehmenden und vom Gehäusedeckel begrenzten zweiten Raum (44) geleitet wird und wonach die im zweiten Raum (44) zusammengeführten und gemischten beiden Luftströme (41, 42) die für das Dünnschichtmodul (20) vorgegebene Kühltemperatur besitzen und zu ihrer erneuten Trennung vor Eintritt in den ersten Raum (46) zurückgeführt werden.
Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die im zweiten Raum (44) zusammengeführten und gemischten beiden Luftströme (41, 42) beim Zurückführen gekühlt werden.
Anlage zum Fertigstellen von Fotovoltaik-Dünnschichtmodulen (20) mit einer Einrichtung (10), mittels der das Dünnschichtmodul (20) Licht, vorzugsweise simuliertem Sonnenlicht ausgesetzt wird, nach Anspruch 1 und gegebenenfalls mindestens einem der folgenden Ansprüche 2 bis 9.
Anlage nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass zwei oder mehr Einrichtungen (10) in Durchlaufrichtung der Fotovoltaik-Dünnschichtmodule (20) hintereinander angeordnet sind.