DE102009014649A1

DE102009014649A1 - Stromversorgungschaltung und Prüfvorrichtung

Info

Publication number: DE102009014649A1
Application number: DE102009014649A
Authority: DE
Inventors: Hisashi Saito
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2008-03-30
Filing date: 2009-03-26
Publication date: 2009-10-15
Also published as: US20090243563A1; JP4896173B2; JP2009245432A; US7847578B2

Abstract

Es ist eine Stromversorgungsvorrichtung (20) vorgesehen, die Leistung zu einer Last liefert, enthaltend eine Stromversorgungsschaltung (22), die einen Versorgungsstrom ausgibt, eine Treiberschaltung (40), die den Versorgungsstrom von der Stromversorgungsschaltung empfängt und einen Laststrom zu der Last liefert, der von der Last verbraucht wird, eine Kondensatorschaltung (110), die durch die Stromversorgungsschaltung geladen wird und die einen Hilfsstrom zu der Treiberschaltung liefert, wenn der Laststrom größer als der Versorgungsstrom ist, und einen Übertragungspfad (120), der den von der Stromversorgungsschaltung ausgegebenen Versorgungsstrom zu der Treiberschaltung überträgt, wobei die Kondensatorschaltung zwischen dem Übertragungspfad und einem Bezugspotential angeordnet ist. Auch ist eine Prüfvorrichtung enthaltend die Stromversorgungsvorrichtung vorgesehen.

Description

HINTERGRUND
1. TECHNISCHES GEBIET
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Stromversorgungsschaltung und eine Prüfvorrichtung. Insbesondere bezieht sich die vorliegende Erfindung auf eine Stromversorgungsschaltung, die Leistung zu einer Last wie einer Halbleiterschaltung liefert, und eine Prüfvorrichtung, die eine elektronische Vorrichtung wie eine Halbleiterschaltung prüft.
2. STAND DER TECHNIK
Herkömmlich ist eine Stromversorgungsschaltung auf einer Prüfvorrichtung, die eine elektronische Vorrichtung prüft, angeordnet, um Leistung zu der elektronischen Vorrichtung zu liefern. Die Stromversor gungsschaltung hat eine Treiberschaltung, die eine Lastspannung oder einen Laststrom erzeugt, die/der zu der elektronischen Vorrichtung geführt wird, und auch eine Stromversorgung zum Betreiben der Treiberschaltung, wie beispielsweise in der Japanischen Patentanmeldungsveröffentlichung Nr. 2006-155419 beschrieben ist.
Die Treiberschaltung verwendet die Leistung von der Stromversorgung, um den zu der elektronischen Vorrichtung gelieferten Laststrom zu erzeugen. Mit anderen Worten, die Prüfvorrichtung verwendet eine Stromversorgung, die den Versorgungsstrom gemäß einem zu der elektronischen Vorrichtung gelieferten maximalen Laststrom erzeugen kann.
Wenn die Stromversorgung einem zu der elektronischen Vorrichtung gelieferten, vorübergehend maximalen Strom entspricht, wird jedoch die Stromkapazität der Stromversorgung unerwünscht erhöht. Diese Erhöhung führt zu einer Ineffizienz, da die Stromkapazität der Stromversorgung unnötig hoch wird.
ZUSAMMENFASSUNG
Es ist daher eine Aufgabe eines Aspekts der vorliegenden Erfindung, eine Stromversorgungsschaltung und eine Prüfvorrichtung vorzusehen, die in der Lage sind, die vorgenannten, den Stand der Technik begleitenden Nachteile zu überwinden. Die vorstehende und andere Aufgaben können durch in den unabhängigen Ansprüchen beschriebene Kombinationen gelöst werden. Die abhängigen Ansprüche definieren weitere vorteilhafte und beispielhafte Kombinationen der vorliegenden Erfindung.
Gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung enthält eine beispielhafte Stromversorgungsvorrichtung, die Strom zu einer Last liefern kann, eine Stromversorgungsschaltung, die einen Versorgungsstrom ausgibt, eine Treiberschaltung, die den Versorgungsstrom von der Stromversorgungsschaltung empfängt und einen Laststrom zu der Last liefert, der von der Last verbraucht wird, und eine Kondensatorschaltung, die durch die Stromversorgungsschaltung geladen wird und die einen Hilfsstrom zu der Treiberschaltung liefert, wenn der Laststrom größer als der Versorgungsstrom ist.
Gemäß einem zweiten, auf die vorliegende Erfindung bezogenen Aspekt enthält eine beispielhafte Prüfvorrichtung, die eine geprüfte Vorrichtung prüft, eine Stromversorgungsvorrichtung, die Leistung zum Betreiben der geprüften Vorrichtung liefert, und eine Beurteilungsschaltung, die gut/schlecht der geprüften Vorrichtung beurteilt auf der Grundlage eines Zustands der geprüften Vorrichtung während des Betriebs. In der Prüfvorrichtung enthält die Stromversorgungsvorrichtung eine Stromversorgungsschaltung, die einen Versorgungsstrom ausgibt, eine Treiberschaltung, die den Versorgungsstrom von der Stromversorgungsschaltung erhält und einen Laststrom zu einer Last liefert, der von der Last verbraucht wird, und eine Kondensatorschaltung, die durch die Stromversorgungsschaltung geladen wird und die einen Hilfsstrom zu der Treiberschaltung liefert, wenn der Laststrom größer als der Versorgungsstrom ist.
Die Zusammenfassung beschreibt nicht notwendigerweise alle erforderlichen Merkmale der Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung. Die vorliegende Erfindung kann auch eine Unterkombination der vorbeschriebenen Merkmale sein. Die vorstehenden und andere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden augenscheinlich anhand der folgenden, in Verbindung mit den begleitenden Zeichnungen gegebenen Beschreibung der Ausführungsbeispiele.
KURZBESCHREIBUGN DER ZEICHNUNGEN
1 zeigt eine beispielhafte Konfiguration einer Prüfvorrichtung 100 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.
2 zeigt eine beispielhafte Konfiguration der Stromversorgungsvorrichtung 20.
3 ist ein Zeitdiagramm, das eine beispielhafte Operation der Stromversorgungsvorrichtung 20 zeigt.
4 zeigt eine andere beispielhafte Konfiguration der Stromversorgungsvorrichtung 20.
5 zeigt eine andere beispielhafte Konfiguration der Stromversorgungsvorrichtung 20.
6 zeigt ein Beispiel für eine Wellenform einer positiven Stromversorgungsspannung V_PPS, die die positive Spannungssteuerschaltung 24 an die versorgungsseitige Schaltung 42 anlegt.
7 zeigt eine andere beispielhafte Konfiguration der Stromversorgungsvorrichtung 20.
8 zeigt eine andere beispielhafte Konfiguration der Stromversorgungsvorrichtung 20.
9 zeigt eine andere beispielhafte Konfiguration der Stromversorgungsvorrichtung 20.
10 zeigt eine andere beispielhafte Konfiguration der Stromversorgungsvorrichtung 20.
BESCHREIBUNG VON AUSFÜHRUNGSBEISPIELEN
Nachfolgend werden einige Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung beschrieben. Die Ausführungsbeispiele beschränken die Erfindung gemäß den Ansprüchen nicht und alle Kombinationen der in den Ausführungsbeispielen beschriebenen Merkmale sind nicht notwendigerweise wesentlich für durch Aspekte der Erfindung vorgesehene Mittel.
1 zeigt eine beispielhafte Konfiguration einer Prüfvorrichtung 100 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Die Prüfvorrichtung 100 prüft eine elektronische Vorrichtung 200 wie eine Halbleiterschaltung und ist mit einer Mustererzeugungsschaltung 10, einer Wellenform-Formungsschaltung 12, einer Beurteilungsschaltung 14 und einer Stromversorgungsvorrichtung 20 versehen.
Die Mustererzeugungsschaltung 10 erzeugt ein Prüfmuster, das zu der elektronischen Vorrichtung 200 geliefert wird, auf der Grundlage eines von einem Benutzer oder dergleichen gelieferten Prüfprogramms. Beispielsweise erzeugt die Mustererzeugungsschaltung 10 ein Muster, das mit einer Anordnung von Datenwerten eins und null ein Signal anzeigt, das zu der elektronischen Vorrichtung 200 geliefert wird, sowie ein Muster, das einen Zeitpunkt anzeigt, zu welchem das Signal entsprechend diesen Datenwerten zu der elektronischen Vorrichtung 200 geliefert wird.
Die Wellenform-Formungsschaltung 12 erzeugt ein zu der elektronischen Vorrichtung 200 geliefertes Prüfsignal auf der Grundlage des von der Mustererzeugungsschaltung 10 erzeugten Prüfmusters. Die Stromversorgungsvorrichtung 20 liefert die Versorgungsleistung zum Betreiben der elektronischen Vorrichtung 200.
Die Beurteilungsschaltung 14 beurteilt gut/schlecht der elektronischen Vorrichtung 200 auf der Grundlage des Zustands der elektronischen Vorrichtung 200 während des Betriebs. Beispielsweise beurteilt die Beurteilungsschaltung 14 gut/schlecht der elektronischen Vorrichtung 200 durch Vergleichen des Ausgangssignals der elektronischen Vorrichtung 200 mit einem Signal für einen erwarteten Wert, das von der Mustererzeugungsschaltung 10 erzeugt wird. Die Prüfvorrichtung 100 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel beurteilt gut/schlecht auf der Grundlage des Ausgangssignals, aber andere beispielhafte Prüfvorrichtungen können den von der Stromversorgungsvorrichtung zu der elektronischen Vorrichtung 200 gelieferten Laststrom erfassen und gut/schlecht auf der Grundlage dieses Laststroms beurteilen.
2 zeigt eine beispielhafte Konfiguration der Stromversorgungsvorrichtung 20. Die Stromversorgungs vorrichtung 20 hat einen Digital/Analog-Wandler (nachfolgend als ”D/A 28” bezeichnet), der als eine Spannungseinstellschaltung arbeitet, eine Stromversorgungsschaltung 22, eine Kondensatorschaltung 110, einen Übertragungspfad 120, eine positive Spannungssteuerschaltung 24, eine negative Spannungssteuerschaltung 26, einen Differenzverstärker 30 und eine Treiberschaltung 40.
In der folgenden Beschreibung bezieht sich die Lastspannung auf die zu der elektronischen Vorrichtung 200 gelieferte Spannung und der Laststrom bezieht auf den zu der elektronischen Vorrichtung 200 gelieferten Strom. Weiterhin bezieht sich die Stromversorgungsspannung auf die von der Stromversorgungsschaltung 22 zu der Treiberschaltung 40 gelieferte Spannung, und der Versorgungsstrom bezieht sich auf den von der Stromversorgungsschaltung 22 zu der Treiberschaltung 40 gelieferten Strom.
Der D/A 28 erhält einen digitalen Wert, der den an die elektronische Vorrichtung 200 anzulegenden Spannungswert anzeigt. Der D/A 28 erzeugt eine Eingangsspannung auf der Grundlage dieses digitalen Werts und liefert die Eingangsspannung über den Differenzverstärker 30 zu der Treiberschaltung 40. Die Treiberschaltung 40 liefert die Lastleistung auf der Grundlage der Eingangsspannung zu der elektronischen Vorrichtung 200.
Der Differenzverstärker 30 steuert die zu der Treiberschaltung 40 gelieferte Spannung derart, dass die zu der elektronischen Vorrichtung 200 gelieferte Lastspannung V_out zurückgeführt wird, so dass diese Lastspannung im Wesentlichen gleich der von dem D/A 28 ausgegebenen Eingangsspannung wird. Mit einer der artigen Konfiguration kann die Stromversorgungsvorrichtung 20 eine genaue Lastspannung zu der elektronischen Vorrichtung 200 führen.
Die Stromversorgungsschaltung 22 gibt den zu der Treiberschaltung 40 gelieferten Versorgungsstrom aus. Der maximale Wert des Versorgungsstroms, der von der Stromversorgungsschaltung 22 ausgegeben werden kann, kann kleiner als der maximale Wert des Laststroms sein, der von der Stromversorgungsvorrichtung 20 zu der elektronischen Vorrichtung 200 geliefert werden kann.
Die positive Spannungssteuerschaltung 24 und die negative Spannungssteuerschaltung 26 sind über den Übertragungspfad 120 elektrisch mit der Stromversorgungsschaltung 22 verbunden. Die positive Spannungssteuerschaltung 24 und die negative Spannungssteuerschaltung 26 empfangen die positive Stromversorgungsspannung und die negative Stromversorgungsspannung von dem Übertragungspfad 120 und liefern diese Spannungen zu der Treiberschaltung 40. Beispielsweise können die positive Spannungssteuerschaltung 24 und die negative Spannungssteuerschaltung 26 die an die Treiberschaltung 40 angelegte Stromversorgungsspannung so steuern, dass sie einen voreingestellten Spannungswert hat. Die positive Spannungssteuerschaltung 24 und die negative Spannungssteuerschaltung 26 empfangen auch den zu der Treiberschaltung 40 zu liefernden Strom über den Übertragungspfad 120 und liefern den Strom zu der Treiberschaltung 40.
Die Treiberschaltung 40 empfängt den Versorgungsstrom von der Stromversorgungsschaltung 22 und liefert einen Laststrom zu der elektronischen Vorrichtung 200, der von der elektronischen Vorrichtung 200 verbraucht wird. Die Treiberschaltung 40 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel hat eine Verstärkerschaltung 46, eine versorgungsseitige Schaltung 42 und eine senkenseitige Schaltung 44. Die Verstärkerschaltung 46 erzeugt eine Lastspannung auf der Grundlage der zugeführten Eingangsspannung und legt die Lastspannung an die elektronische Vorrichtung 200 an. Die Verstärkerschaltung 46 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel erzeugt die Lastspannungsspitze, die im Wesentlichen gleich der zugeführten Eingangsspannung ist.
Die Versorgungsseitige Schaltung 42 arbeitet gemäß der auf der Grundlage der Eingangsspannung von der Verstärkerschaltung 46 ausgegebenen Spannung, um einen Versorgungsstrom zu der elektronischen Vorrichtung 200 zu liefern. Die positive Spannungssteuerschaltung 24 kann die Spannung entsprechend dem Versorgungsstrom über den Übertragungspfad 120 empfangen und diese Spannung zu der versorgungsseitigen Schaltung 42 liefern.
Die versorgungsseitige Schaltung 42 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel befindet sich zwischen der positiven Spannungssteuerschaltung 24 und der elektronischen Vorrichtung 200 und hat einen CMOS vom P-Typ. Zu dem Gateanschluss des CMOS vom P-Typ wird die von der Verstärkerschaltung 46 auf der Grundlage der Eingangsspannung ausgegebene Spannung zugeführt. Der CMOS wird eingeschaltet, wenn die Eingangsspannung größer als oder gleich einem vorgeschriebenen Wert ist. Wenn er eingeschaltet ist, liefert der CMOS die Lastspannung von der Spannungssteuerschaltung 24 zu der elektronischen Vorrichtung 200.
Die senkenseitige Schaltung 44 arbeitet gemäß der von der Verstärkerschaltung 46 auf der Grundlage der Ein gangsspannung ausgegebenen Spannung, um einen Senkenstrom von der elektronischen Vorrichtung 200 zu ziehen. Die senkenseitige Schaltung 44 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel befindet sich zwischen der negativen Spannungssteuerschaltung 26 und der elektronischen Vorrichtung 200 und hat einen CMOS vom N-Typ. Zu dem Gateanschluss des CMOS vom N-Typ wird die von der Verstärkerschaltung 46 auf der Grundlage der Eingangsspannung ausgegebene Spannung geführt. Der CMOS wird eingeschaltet, wenn die Eingangsspannung niedriger als oder gleich einem vorgeschriebenen Wert ist. Wenn er eingeschaltet ist, zieht der CMOS den Senkenstrom von der elektronischen Vorrichtung 200 zu der Spannungssteuerschaltung 26.
Wenn die Kondensatorschaltung 110 durch die Stromversorgungsschaltung 22 geladen ist und der Laststrom, der entweder der Versorgungsstrom oder der Senkenstrom sein kann, größer als der Versorgungsstrom ist, den die Stromversorgungsschaltung 22 liefern kann, liefert die Kondensatorschaltung 110 einen Hilfsstrom zu der Treiberschaltung 40. Die Kondensatorschaltung 110 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel enthält einen Kondensator 112, der sich zwischen dem Übertragungspfad 120 und einem Bezugspotential, z. B. Erdpotential, befindet. Der Kondensator 112 kann in dem Übertragungspfad 120 zwischen der Stromversorgungsschaltung 22 und einem Punkt angeordnet sein, an dem sich der Übertragungspfad 120 zu der positiven Spannungssteuerschaltung 24 und der negativen Spannungssteuerschaltung 26 verzweigt.
Durch Verwendung einer derartigen Konfiguration kann der Laststrom zu der elektronischen Vorrichtung 200 geliefert werden, selbst wenn der zu der elektronischen Vorrichtung 200 zu liefernde Laststrom momentan größer als der von der Stromversorgungsschaltung 22 ausgebbare Versorgungsstrom ist. Da die Stromversorgungsschaltung 22 nicht die Stromkapazität entsprechend dem Laststrom, der momentan von der elektronischen Vorrichtung 200 verbraucht wird, haben muss, kann eine Stromversorgungsschaltung 22 mit einer kleineren Stromkapazität verwendet werden.
3 ist ein Zeitdiagramm, das eine beispielhafte Operation der Stromversorgungsvorrichtung 20 zeigt. In 3 stellt V_DC die Spannung des Kondensators 112 dar, I_out stellt den Laststrom der elektronischen Vorrichtung 200 dar, V_max stellt die Ausgangsspannung der Stromversorgungsschaltung 22 dar, V_min stellt den Wert dar, der als die untere Grenze von V_DC gesetzt ist, I_max stellt den maximalen Wert des Laststroms dar.
Da der Kondensator 112 das Hilfssignal während einer Periode T0 nicht ausgibt, in der der Laststrom I_out kleiner als der von der Stromversorgungsschaltung 22 ausgebbare Versorgungsstrom ist, ist die Spannung V_DC des Kondensators 112 gleich der von der Stromversorgungsschaltung 22 geladenen Spannung V_max. Während einer Periode T1, in der der Laststrom I_out größer als der von der Stromversorgungsschaltung 22 ausgebbare Versorgungsstrom ist, wird der von dem Kondensator 112 ausgegebene Hilfsstrom dem Versorgungsstrom überlagert. Dadurch, dass die Stromversorgungsschaltung 22 verwendet wird, um auf diese Weise den Kondensator 112 vorher zu laden, kann ein momentan großer Strom, den die Stromversorgungsschaltung 22 nicht erzeugen kann, zu der Treiberschaltung 40 geliefert werden.
Wenn der Strom von dem Kondensator 112 zu der Treiberschaltung 40 geliefert wird, fällt die Spannung V_DC des Kondensators 112 ab, was auch zu einem Abfall der zu der Treiberschaltung 40 geführten Spannung führen kann. Wenn dieser Spannungsfall auftritt, kann es sein, dass die vorgeschriebene Spannung nicht an die elektronischen Vorrichtung 200 angelegt wird, was zu einer verringerten Prüfgenauigkeit führt. Um dieses Problem zu vermeiden, ist es wünschenswert, zu überwachen, ob die Spannung V_DC des Kondensators 112 unter den vorgeschriebenen unteren Grenzwert V_min fällt .
4 zeigt eine andere beispielhafte Konfiguration der Stromversorgungsvorrichtung 20. Die Stromversorgungsvorrichtung 20 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel enthält weiterhin eine Spannungserfassungsschaltung 130, eine Beurteilungsschaltung 132 und eine Benachrichtigungsschaltung 134 zusätzlich zu der mit Bezug auf 2 beschriebenen Konfiguration der Stromversorgungsvorrichtung 20.
Die Spannungserfassungsschaltung 130 erfasst eine Spannung an dem Verbindungspunkt zwischen der Kondensatorschaltung 110 und dem Übertragungspfad 120. Mit anderen Worten, die Spannungserfassungsschaltung 130 erfasst die Spannung V_DC des Kondensators 112.
Die Beurteilungsschaltung 132 gibt ein Fehlererfassungssignal aus, wenn die Spannungserfassungsschaltung 130 eine Spannung erfasst, die kleiner als die vorbestimmte untere Grenzspannung V_min ist. Die vorbestimmte unter e Grenzspannung V_min kann vorher in der Beurteilungsschaltung 132 gemäß den Spezifikationen der elektronischen Vorrichtung 200 gesetzt sein.
Die Benachrichtigungsschaltung 132 benachrichtigt einen Benutzer, wenn die Beurteilungsschaltung 132 ein Fehlererfassungssignal ausgibt. Wenn beispielsweise die Benachrichtigungsschaltung 134 das Fehlererfassungssignal während der Prüfung der elektronischen Vorrichtung 200 empfängt, kann die Benachrichtigungsschaltung 134 den Benutzer benachrichtigen, dass das Fehlererfassungssignal empfangen wurde, wenn die Prüfung der elektronischen Vorrichtung 200 beendet ist. Die Durchführung des vorbeschriebenen Prozesses führt zu zuverlässigeren Prüfergebnissen betreffend die elektronische Vorrichtung 200.
Wenn die Benachrichtigungsschaltung 134 das Fehlererfassungssignal während der Prüfung der elektronischen Vorrichtung 200 empfängt, kann die Benachrichtigungsschaltung 134 den Benutzer benachrichtigen und auch die Prüfung durch die Prüfvorrichtung 100 beenden. Als noch ein anderes Beispiel kann, wenn die Benachrichtigungsschaltung 134 das Fehlererfassungssignal empfängt, die Benachrichtigungsschaltung 134 den Benutzer benachrichtigen und die Prüfung durch die Prüfvorrichtung 100 fortsetzen.
Wie in 3 gezeigt ist, ist die maximale Zeitperiode tw_max, während der der maximale Wert des Laststroms I_max zugeführt werden kann, gleich der Zeitperiode, während der die Spannung des Kondensators 112 von dem maximalen Wert V_max auf den minimalen V_min abfällt. Die den Spannungsabfall des Kondensators 112 aufgrund der Entladung anzeigende Neigung wird anhand des Stromwerts I_max und des Kapazitätswerts des Kondensators 112 berechnet. Genauer gesagt, die Zeitperiode tw_max kann aus einer Differenz ΔV zwischen dem maximalen Wert V_max und dem minimalen Wert V_min des Kondensators 112, dem Stromwert I_max, dem Kapazitätswert C des Kondensators 112 und dergleichen berechnet werden.
Die in Bezug auf 1 beschriebene Mustererzeugungsschaltung 10 kann das Prüfmuster derart erzeugen, dass die Zeitperiode, während der der maximale Wert des Laststroms I_max zu der elektronischen Vorrichtung 200 fließt, kleiner als oder gleich der Zeitperiode tw_max ist. Die Zeitperiode tw_max kann in der Mustererzeugungsschaltung 10 durch den Benutzer oder dergleichen eingestellt werden, oder sie kann anhand der vorgenannten ΔV, des Stromwerts I_max und des Kapazitätswerts C berechnet werden. Die Prüfvorrichtung kann den Benutzer benachrichtigen, wenn ein Prüfmuster, das durch ein von dem Prüfer oder dergleichen geliefertes Prüfprogramm erzeugt ist, den maximalen Wert des Laststroms I_max zu der elektronischen Vorrichtung 200 während einer Zeitperiode, die länger als die Zeitperiode tw_max ist, liefert.
Wenn der Laststrom I_out kleiner als der von der Stromversorgungsschaltung 22 ausgegebene Versorgungsstrom ist, wird der Kondensator 112 geladen, um zu ermöglichen, dass der große Strom zu der Treiberschaltung 40 geliefert wird. Die Zeitperiode t1, die die Zeit ist, die die Spannung V_DC des Kondensators 112 benötigt, um von dem minimalen Wert V_min zu dem maximalen Wert V_max zurückzukehren, kann auch anhand des Kapazitätswerts des Kondensators 112 und dergleichen in derselben Weise wie die Zeitperiode tw_max berechnet werden.
Wenn die Impulsbreite des Laststroms I_out kleiner als tw_max ist, wie durch T4–T6 in 3 gezeigt ist, kann die Stromversorgungsvorrichtung 20 den Impulsstrom so erzeugen, dass er ein Intervall hat, das kürzer als die Zeitperiode t1 ist. Genauer gesagt, die Stromversorgungsvorrichtung 20 kann einen Impuls strom mit vorgeschriebenem Stromwert, Impulsbreite und Impulsintervall unter einer Bedingung haben, dass die Spannung V_DC des Kondensators 112 nicht unter den minimalen Wert V_min fällt. Die Mustererzeugungsschaltung 10 erzeugt wünschenswert ein Prüfmuster, das diese Bedingung erfüllt.
Die Prüfvorrichtung 100 kann beurteilen, ob das von der Mustererzeugungsschaltung 10 erzeugte Prüfmuster diese Bedingung erfüllt. Beispielsweise kann die Prüfvorrichtung 100 beurteilen, ob das Prüfmuster die Bedingung erfüllt, indem die Spannung V_DC des Kondensators 112 während der Durchführung des Prüfmusters gemessen wird, oder indem eine Simulation durchgeführt wird.
5 zeigt eine andere beispielhafte Konfiguration der Stromversorgungsvorrichtung 20. Die Stromversorgungsvorrichtung 20 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel enthält weiterhin eine Stromsteuerschaltung 32, eine Stromerfassungsschaltung 34 und einen Stromerfassungswiderstand 38 zusätzlich zu der Konfiguration von jeder der mit Bezug auf die 1 bis 4 beschriebenen Stromversorgungsvorrichtungen 20. Die positive Spannungssteuerschaltung 24 und die negative Spannungssteuerschaltung 26 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel steuern die positive Stromversorgungsspannung und die negative Stromversorgungsspannung, die an die Treiberschaltung 40 angelegt werden, auf der Grundlage der von der Treiberschaltung 40 ausgegebenen Lastspannung. 5 zeigt die Stromsteuerschaltung 32 und dergleichen, die zu der Konfiguration der in 2 gezeigten Stromversorgungsvorrichtung 20 hinzugefügt ist, aber als ein anderes Beispiel kann die Stromsteuerschaltung 32 und dergleichen zu der Konfiguration der in 4 ge zeigten Stromversorgungsvorrichtung 20 hinzugefügt sein.
Der Stromerfassungswiderstand 38 befindet sich zwischen dem Ausgangsanschluss der elektronischen Vorrichtung 200 und der Treiberschaltung 40. Die Stromerfassungsschaltung 34 erfasst die Potentialdifferenz zwischen den Enden des Stromerfassungswiderstands 38 und liefert den erfassten Wert zu der Stromsteuerschaltung 32. Die Stromsteuerschaltung 32 steuert die von dem Differenzverstärker 30 ausgegebene Spannung derart, dass die von der Stromerfassungsschaltung 34 erfasste Potentialdifferenz nicht größer als oder gleich einem vorbestimmten Wert wird. Durch Verwenden einer derartigen Konfiguration verhindert die Stromversorgungsvorrichtung 20, dass ein übermäßiger Strom zu der elektronischen Vorrichtung 200 fließt.
Die positive Spannungssteuerschaltung 24 und die negative Spannungssteuerschaltung 26 erfassen die von der Treiberschaltung 40 ausgegebene Spannung V_b. Die positive Spannungssteuerschaltung 24 und die negative Spannungssteuerschaltung 26 erhöhen die an die Treiberschaltung 40 angelegte Stromversorgungsspannung, wenn die von der Treiberschaltung 40 ausgegebene Spannung V_b zunimmt, und verringern die an die Treiberschaltung 40 angelegte Stromversorgungsspannung, wenn die Spannung V_b abnimmt.
Die positive Spannungssteuerschaltung 24 und die negative Spannungssteuerschaltung 26 steuern in wünschenswerter Weise die Stromversorgungsspannung derart, dass die Differenz zwischen der an die Treiberschaltung 40 angelegten Stromversorgungsspannung und der von der Treiberschaltung 40 ausgegebenen Spannung V_b im Wesentlichen konstant bleibt. Genauer gesagt, die positive Spannungssteuerschaltung 24 und die negative Spannungssteuerschaltung 26 ändern die an die Treiberschaltung 40 angelegte Stromversorgungsspannung gemäß der von der Treiberschaltung 40 ausgegebenen Spannung V_b. Indem die Stromversorgungsspannung auf diese Weise gesteuert wird, können die positive Spannungssteuerschaltung 24 und die negative Spannungssteuerschaltung 26 einen unnötigen Leistungsverbrauch durch die Treiberschaltung 40 reduzieren.
Die positive Spannungssteuerschaltung 24 befindet sich zwischen der Stromversorgungsschaltung 22 und der versorgungsseitigen Schaltung 42. Die positive Spannungssteuerschaltung 24 steuert die von der Stromversorgungsschaltung 22 an die versorgungsseitige Schaltung 42 angelegte positive Stromversorgungsspannung auf der Grundlage der von der Treiberschaltung 40 ausgegebenen Spannung. Beispielsweise kann die positive Spannungssteuerschaltung 24 die positive Stromversorgungsspannung derart steuert, dass die Differenz zwischen der positiven Stromversorgungsspannung und der Ausgangsspannung der Treiberschaltung 40 ein im Wesentlichen konstanter Wert ist, wie vorstehend beschrieben ist.
Die negative Spannungssteuerschaltung 26 befindet sich zwischen der Stromversorgungsschaltung 22 und der senkenseitigen Schaltung 44. Die negative Spannungssteuerschaltung 26 steuert die von der Stromversorgungsschaltung 22 an die senkenseitige Schaltung 44 angelegte negative Stromversorgungsspannung auf der Grundlage der von der Treiberschaltung 40 ausgegebenen Spannung. Beispielsweise kann die negative Spannungssteuerschaltung 26 die negative Stromversorgungsspannung derart steuern, dass die Differenz zwi schen der negativen Stromversorgungsspannung und der Ausgangsspannung der Treiberschaltung 40 ein im Wesentlichen konstanter Wert ist, wie vorstehend beschrieben ist.
6 zeigt ein Beispiel für eine Wellenform der positiven Stromversorgungsspannung V_PPS, die die positive Spannungssteuerschaltung 24 an die versorgungsseitige Schaltung 42 anlegt. Die positive Spannungssteuerschaltung 24 steuert die positive Stromversorgungsspannung V_PPS derart, dass die Differenz zwischen der positiven Stromversorgungsspannung V_PPS und der Ausgangsspannung V_b der Treiberschaltung 40 eine im Wesentlichen konstante Spannung V_OS ist, wie vorstehend beschrieben ist. Das vorliegende Ausführungsbeispiel beschreibt nur die positive Spannungssteuerschaltung 24, die die positive Stromversorgungsspannung V_PPS steuert, aber die Spannungssteuerschaltung 26 steuert die negative Stromversorgungsspannung V_MPS in derselben Weise. Beispielsweise kann die Spannungssteuerschaltung 26 die negative Stromversorgungsspannung V_MPS so steuern, dass sie eine Spannung gleich dem vorgeschriebenen Spannungswert V_OS subtrahier von der Ausgangsspannung V_b der Treiberschaltung 40 ist.
Durch Steuern der Spannung in dieser Weise können die positive Spannungssteuerschaltung 24 und die negative Spannungssteuerschaltung 26 verhindern, dass eine übermäßige Spannung an die versorgungsseitige Schaltung 42 und die senkenseitige Schaltung 44 angelegt wird. Daher kann ein unnötiger Leistungsverbrauch durch die versorgungsseitige Schaltung 42 und die senkenseitige Schaltung 44 verringert werden. Genauer gesagt, die positive Spannungssteuerschaltung 24 und die negative Spannungssteuerschaltung 26 können den von der Treiberschaltung 40 verbrauchen Strom verrin gern, indem die zu der Treiberschaltung 40 gelieferte Stromversorgungsspannung auf der Grundlage der Ausgangsspannung der Treiberschaltung 40 gesteuert wird.
Da die positive Spannungssteuerschaltung 24 und die negative Spannungssteuerschaltung 26 den unnötigen Leistungsverbrauch durch die versorgungsseitige Schaltung 42 und die senkenseitige Schaltung 44 reduzieren können, kann die Geschwindigkeit, mit der die Spannung des Kondensators 112 sinkt, wenn der Hilfsstrom von dem Kondensator 112 zu der Treiberschaltung 40 geliefert wird, auch herabgesetzt werden. Indem die Geschwindigkeit des Spannungsabfalls reduziert wird, kann die maximale Impulsbreite tw_max des Impulsstroms auf der Grundlage des Hilfsstroms vergrößert werden. Da die Treiberschaltung 40 nicht den übermäßigen Strom verbraucht, kann die Ladegeschwindigkeit des Kondensators 112 erhöht werden.
7 zeigt eine andere beispielhafte Konfiguration der Stromversorgungsvorrichtung 20. Die Stromversorgungsvorrichtung 20 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel unterscheidet sich von den in Bezug auf die 1 bis 6 beschriebenen Konfigurationen der Stromversorgungsvorrichtungen 20 hinsichtlich der Stromversorgungsschaltung 22, des Übertragungspfads 120 und der Kondensatorschaltung 110. Andere Teile der Konfiguration der Stromversorgungsvorrichtung 20 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel können mit denen von jeder der mit Bezug auf die 1 bis 6 beschriebenen Stromversorgungsvorrichtungen 20 identisch sein. 7 zeigt eine Konfiguration auf der Grundlage der in 5 gezeigten Stromversorgungsvorrichtung 20.
Die Stromversorgungsschaltung 22 nach dem vorliegen den Ausführungsbeispiel hat eine positive Stromversorgung 23 und eine negative Stromversorgung 25. Die positive Stromversorgung 23 liefert die positive Stromversorgungsspannung über einen positiven Übertragungspfad 122 zu der Treiberschaltung 40. Die negative Stromversorgung 25 liefert die negative Stromversorgungsspannung über einen negativen Übertragungspfad 124 zu der Treiberschaltung 40. Die positive Stromversorgung 23 kann eine Stromversorgungsspannung zu der Treiberschaltung 40 liefern, die höher als die Bezugsspannung ist. Die negative Stromversorgung 25 kann eine Stromversorgungsspannung zu der Treiberschaltung 40 liefern, die niedriger als die Bezugsspannung ist.
Die Kondensatorschaltung 110 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel hat einen positiven Kondensator 113 und einen negativen Kondensator 114. Der positive Kondensator 113 wird zwischen der positiven Stromversorgung 23 und einem positiven Stromversorgungsanschluss, z. B. einem Anschluss der versorgungsseitigen Schaltung 42, der Treiberschaltung 40 geladen und entladen. Genauer gesagt, der positive Kondensator 113 befindet sich zwischen dem positiven Übertragungspfad 122 und dem Bezugspotential.
Der negative Kondensator 114 wird zwischen der negativen Stromversorgung 25 und einem negativen Stromversorgungsanschluss, z. B. einem Anschluss der senkenseitigen Schaltung, der Treiberschaltung 40 geladen und entladen. Genauer gesagt, der negative Kondensator 114 befindet sich zwischen dem negativen Übertragungspfad 124 und dem Bezugspotential. Mit einer derartigen Konfiguration kann die Stromversorgungsvorrichtung 20 einen großen Strom von der elektronischen Vorrichtung 200 ziehen.
8 zeigt eine andere beispielhafte Konfiguration der Stromversorgungsvorrichtung 20. Die Stromversorgungsvorrichtung 20 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel enthält weiterhin eine Entladungsschaltung 116 zusätzlich zu der Konfiguration von jeder der mit Bezug auf die 1 bis 7 beschriebenen Stromversorgungsvorrichtungen 20. Andere Teile der Konfiguration der Stromversorgungsvorrichtung 20 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel können dieselben wie diejenigen von jeder der mit Bezug auf die 1 bis 7 beschriebenen Stromversorgungsvorrichtungen 20 sein. 8 zeigt eine Konfiguration auf der Grundlage der in 5 gezeigten Stromversorgungsvorrichtung 20.
Wenn die Stromversorgung durch die Stromversorgungsvorrichtung 20 abgeschaltet ist, entlädt die Entladeschaltung 116 den Kondensator 112 der Kondensatorschaltung 110. Die Entladeschaltung 116 kann einen Schalter haben, der den Kondensator 112 durch Verbinden beider Enden des Kondensators 112 mit dem Bezugspotential entlädt. Durch Verwenden einer derartigen Konfiguration kann der Stromfluss von dem Kondensator 112 gestoppt werden, wenn die Stromversorgungsvorrichtung 20 nicht arbeitet, wodurch die Stromversorgungsvorrichtung 20 geschützt wird.
9 zeigt eine andere beispielhafte Konfiguration der Stromversorgungsvorrichtung 20. Die Stromversorgungsvorrichtung 20 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel enthält weiterhin einen Isolator 150 zusätzlich zu der Konfiguration von jeder der mit Bezug auf die 1 bis 8 beschriebenen Stromversorgungsvorrichtungen 20. Andere Teile der Konfiguration der Stromversorgungsvorrichtung 20 nach dem vorlie genden Ausführungsbeispiel können dieselben wie diejenigen von jeder der mit Bezug auf die 1 bis 8 beschriebenen Stromversorgungsvorrichtungen 20 sein. 9 zeigt eine Konfiguration auf der Grundlage der in 5 gezeigten Stromversorgungsvorrichtung 20.
Der Isolator 150 hat eine Eingangsseite und eine Ausgangsseite, die elektrisch gegeneinander isoliert sind. Der Isolator 150 empfängt einen digitalen Wert an dem Eingangsende und liefert von dem Ausgangsende den digitalen Wert zu dem D/A 28. Der Isolator 150 kann ein Fotokoppler oder dergleichen sein. Die Stromversorgungsschaltung 22 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel kann eine isolierte Stromversorgung sein, in der die Eingangsseite und die Ausgangsseite durch einen Transformator oder dergleichen gegeneinander isoliert sind. Mit einer derartigen Konfiguration kann die Eingangsseite der Stromversorgungsvorrichtung 20 leicht von dem Schaltungsabschnitt isoliert werden.
10 zeigt eine andere beispielhafte Konfiguration der Stromversorgungsvorrichtung 20. Die Stromversorgungsvorrichtung 20 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel enthält weiterhin eine Spannungssteuerschaltung 27, eine Stromerfassungsschaltung 34 und einen Stromerfassungswiderstand 38 zusätzlich zu der Konfiguration von jeder der mit Bezug auf die 2 und 4 beschriebenen Stromversorgungsvorrichtungen 20. Die Konfiguration der Stromversorgungsvorrichtung 20 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel unterscheidet sich von der der mit Bezug auf die 5, 7, 8 und 9 beschriebenen Stromversorgungsvorrichtung 20 dadurch, dass die Stromversorgungsvorrichtung 20 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel die Spannungssteuerschaltung 27 anstelle der Stromsteuerschaltung 32 hat. 10 beschreibt eine Konfiguration auf der Grundlage der mit Bezug auf 5 beschriebenen Stromversorgungsvorrichtung 20.
Die Stromerfassungsschaltung 34 führt die Spannungsdifferenz zwischen den Enden des Stromerfassungswiderstands 38 zurück zu dem negativen Eingangsanschluss des Differenzverstärkers 30. Hierdurch kann die Stromversorgungsvorrichtung 20 den zu der elektronischen Vorrichtung 200 fließenden Strom so steuern, dass er ein im Wesentlichen konstanter Wert entsprechend dem Einstellwert des D/A 28 ist.
Die Spannungssteuerschaltung 27 erfasst die an die elektronische Vorrichtung 200 angelegte Lastspannung. Wenn die Lastspannung einen vorgeschriebenen oberen Grenzwert überschreitet, steuert die Spannungssteuerschaltung 27 die Lastspannung so, dass sie kleiner als oder gleich dem oberen Grenzwert ist, indem der Ausgangsstrom des Differenzverstärkers 30 verringert wird.
Durch Verwenden dieser Konfiguration kann die Stromversorgungsvorrichtung 20 den Ein-Widerstand und dergleichen der elektronischen Vorrichtung 200 messen. Beispielsweise kann die elektronische Vorrichtung 200 ein Schaltelement sein. Wenn das Schaltelement ausgeschaltet ist, fließt der Laststrom nicht zu der elektronischen Vorrichtung 200, so dass die Ausgangsspannung der Treiberschaltung 40 durch die Spannungssteuerschaltung 27 so eingestellt wird, dass sie der obere Grenzwert ist.
Als Nächstes wird das Schaltelement eingeschaltet, so dass der konstante Laststrom zu der elektronischen Vorrichtung 200 fließt. Zu dieser Zeit wird die von der Spannungssteuerschaltung 27 erfasste Lastspannung durch den Ein-Widerstandswert des Schaltelements und den konstanten Wert des Laststroms bestimmt. Da der Laststrom durch den Einstellwert des D/A 28 bestimmt wird, kann der Ein-Widerstandswert des Schaltelements anhand der von der Spannungssteuerschaltung 27 erfassten Lastspannung berechnet werden.
Während die Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung beschrieben wurden, ist der technische Bereich der Erfindung nicht auf die vorbeschriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt. Es ist für den Fachmann augenscheinlich, dass verschiedene Änderungen und Verbesserungen zu den vorbeschriebenen Ausführungsbeispielen hinzugefügt werden können. Es ist auch anhand des Bereichs der Ansprüche ersichtlich, dass die Ausführungsbeispiele, denen derartige Änderungen oder Verbesserungen hinzugefügt sind, in dem technischen Bereich der Erfindung enthalten sein können.
Durch Verwenden der vorbeschriebenen Stromversorgungsvorrichtung 20 kann die Stromversorgungsschaltung 22 mit einer relativ geringen Stromkapazität verwendet werden, um einen großen Strom zu der Last wie der elektronischen Vorrichtung 200 zu liefern. Indem die Stromversorgungsschaltung 22 mit einer relativ geringen Stromkapazität verwendet wird, können die Kosten für die Stromversorgungsvorrichtung 20 und die Prüfvorrichtung 100 herabgesetzt werden.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

- JP 2006-155419 [0002]

Claims

Stromversorgungsvorrichtung, die Leistung zu einer Last liefert, welche aufweist: eine Stromversorgungsschaltung, die einen Versorgungsstrom ausgibt; eine Treiberschaltung, die den Versorgungsstrom von der Stromversorgungsschaltung empfängt und einen Laststrom zu der Last liefert, der von der Last verbraucht wird; und eine Kondensatorschaltung, die durch die Stromversorgungsschaltung geladen wird und die einen Hilfsstrom zu der Treiberschaltung liefert, wenn der Laststrom größer als der Versorgungsstrom ist.
Stromversorgungsvorrichtung nach Anspruch 1, weiterhin aufweisend einen Übertragungspfad, der den von der Stromversorgungsschaltung ausgegebenen Versorgungsstrom zu der Treiberschaltung überträgt, wobei sich die Kondensatorschaltung zwischen dem Übertragungspfad und einem Bezugspotential befindet.
Stromversorgungsvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, weiterhin aufweisend eine Spannungssteuerschaltung, die eine zu der Treiberschaltung gelieferte Stromversorgungsspannung auf der Grundlage einer von der Treiberschaltung ausgegebenen Spannung steuert, um einen von der Treiberschaltung verbrauchten Strom zu verringern.
Stromversorgungsvorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Spannungssteuerschaltung den von der Treiberschaltung verbrauchten Strom verringert durch Ändern der zu der Treiberschaltung gelieferten Versorgungsspannung gemäß einer Änderung der von der Treiberschaltung ausgegebenen Spannung.
Stromversorgungsvorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Stromversorgungsschaltung enthält: eine positive Stromversorgung, die eine positive Stromversorgungsspannung zu der Treiberschaltung liefert; und eine negative Stromversorgung, die eine negative Stromversorgungsspannung zu der Treiberschaltung liefert, und die Kondensatorschaltung enthält: einen positiven Kondensator, der zwischen der positiven Stromversorgung und einem positiven Stromversorgungsanschluss der Treiberschaltung geladen und entladen wird; und einen negativen Kondensator, der zwischen der negativen Stromversorgung und einem negativen Stromversorgungsanschluss der Treiberschaltung geladen und entladen wird.
Stromversorgungsvorrichtung nach Anspruch 1, weiterhin aufweisend eine Entladungsschaltung, die die Kondensatorschaltung entlädt, wenn die Stromversorgung der Stromversorgungsvorrichtung abgeschaltet ist.
Stromversorgungsvorrichtung nach Anspruch 2, weiterhin aufweisend: eine Spannungserfassungsschaltung, die eine Spannung an einem Verbindungspunkt zwischen der Kondensatorschaltung und dem Übertragungspfad erfasst; und eine Beurteilungsschaltung, die eine Benachrichtigung ausgibt, dass die von der Spannungserfassungsschaltung erfasste Spannung kleiner als eine vorbestimmte untere Grenzspannung ist, wenn die von der Spannungserfassungsschaltung erfasste Spannung kleiner als die vorbestimmte untere Grenzspannung ist.
Stromversorgungsvorrichtung nach Anspruch 1, weiterhin aufweisend: eine Spannungseinstellschaltung, die eine Eingangsspannung auf der Grundlage eines zu dieser gelieferten digitalen Werts erzeugt und die Eingangsspannung zu der Treiberschaltung liefert; und einen Isolator, der eine Eingangsseite und eine Ausgangsseite hat, die gegeneinander isoliert sind, und der den zu der Eingangsseite gelieferten digitalen Wert von der Ausgangsseite zu der Spannungseinstellschaltung liefert, wobei die Stromversorgungsschaltung eine Eingangsseite und eine Ausgangsseite hat, die gegeneinander isoliert sind, und von der Ausgangsseite eine Spannung auf der Grundlage einer zu der Eingangsseite gelieferten Spannung ausgibt.
Prüfvorrichtung, die eine geprüfte Vorrichtung prüft, welche aufweist: eine Stromversorgungsvorrichtung, die Leistung zum Betreiben der geprüften Vorrichtung liefert; und eine Beurteilungsschaltung, die gut/schlecht der geprüften Vorrichtung auf der Grundlage eines Zustands der geprüften Vorrichtung während des Betreibens beurteilt, wobei die Stromversorgungsvorrichtung enthält: eine Stromversorgungsschaltung, die einen Stromversorgungsstrom ausgibt; eine Treiberschaltung, die den Stromversorgungsstrom von der Stromversorgungsschaltung empfängt und einen Laststrom zu einer Last liefert, der von der Last verbraucht wird; und eine Kondensatorschaltung, die von der Stromversorgungsschaltung geladen wird und die einen Hilfsstrom zu der Treiberschaltung liefert, wenn der Laststrom größer als der Versorgungsstrom ist.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 9, bei der die Stromversorgungsvorrichtung weiterhin einen Übertragungspfad aufweist, der dem von der Stromversorgungsschaltung ausgegebenen Versorgungsstrom zu der Treiberschaltung überträgt, wobei die Kondensatorschaltung zwischen dem Übertragungspfad und einem Bezugspotential angeordnet ist.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, bei der die Stromversorgungsvorrichtung weiterhin eine Spannungssteuerschaltung aufweist, die eine zu der Treiberschaltung gelieferte Stromversorgungsspannung auf der Grundlage einer von der Treiberschaltung ausgegebenen Spannung steuert, um einen von der Treiberschaltung verbrauchten Strom zu verringern.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 11, bei der die Spannungssteuerschaltung den von der Treiberschaltung verbrauchten Strom herabsetzt durch Ändern der zu der Treiberschaltung gelieferten Stromversorgungsspannung gemäß einer Änderung der von der Treiberschaltung ausgegebenen Spannung.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 9, bei der die Stromversorgungsschaltung enthält: eine positive Stromversorgung, die eine positive Stromversorgungsspannung zu der Treiberschaltung liefert; und eine negative Stromversorgung, die eine negative Stromversorgungsspannung zu der Treiberschaltung liefert, und die Kondensatorschaltung enthält: einen positiven Kondensator, der zwischen der positiven Stromversorgung und einem positiven Stromversorgungsanschluss der Treiberschaltung geladen und entladen wird; und einen negativen Kondensator, der zwischen der negativen Stromversorgung und einem negativen Stromversorgungsanschluss der Treiberschaltung geladen und entladen wird.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 9, bei der die Stromversorgungsvorrichtung eine Entladungsschaltung aufweist, die die Kondensatorschaltung entlädt, wenn die Stromversorgung der Stromversorgungsvorrichtung abgeschaltet ist.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 10, bei der die Stromversorgungsvorrichtung weiterhin aufweist: eine Spannungserfassungsschaltung, die eine Spannung an einem Verbindungspunkt zwischen der Kondensatorschaltung und dem Übertragungspfad erfasst; und eine Beurteilungsschaltung, die eine Benachrichtigung ausgibt, dass die von der Spannungserfassungsschaltung erfasste Spannung niedriger als eine vorbestimmte untere Grenzspannung ist, wenn die von der Spannungserfassungsschaltung erfasste Spannung niedriger als die vorbestimmte untere Grenzspannung ist.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 9, bei der die Stromversorgungsvorrichtung weiterhin aufweist: eine Spannungseinstellschaltung, die eine Eingangsspannung auf der Grundlage eines zu dieser gelieferten digitalen Werts erzeugt und die die Eingangsspannung zu der Treiberschaltung liefert; und einen Isolator, der eine Eingangsseite und eine Ausgangsseite hat, die gegeneinander isoliert sind, und der den zu der Eingangsseite gelieferten digitalen Wert von der Ausgangsseite zu der Spannungseinstellschaltung liefert, wobei die Stromversorgungsschaltung eine Eingangsseite und eine Ausgangsseite hat, die gegeneinander isoliert sind, und von der Ausgangsseite eine Spannung auf der Grundlage einer zu der Eingangsseite gelieferten Spannung ausgibt.