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Die
Erfindung betrifft einen elektrochemischen Sensor, insbesondere
für den
Nachweis und/oder die Quantifizierung chemischer Substanzen oder
Stoffe in geringsten Mengen oder Konzentrationen. Sie bezieht sich
weiterhin auf ein Verfahren zur Herstellung eines derartigen Sensors.
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Hoch
empfindliche Sensoren zum Nachweis auch kleinster Mengen oder Konzentrationen
ausgewählter
chemischer Substanzen können
in einer Vielzahl von Anwendungen zum Einsatz kommen. Derartige
Sensoren können
insbesondere bei der Messung geringster Mengen von chemischen und
biochemischen Substanzen, wie Gasen oder Biomolekülen, z.
B. in folgenden Gebieten vorteilhaft eingesetzt werden:
- • Umweltschutz,
bei der Messung der Luft- und Wasserqualität
- • Militär- und Heimatschutz,
beim Nachweis toxischer oder explosiver Substanzen
- • Chromatograpie
- • Einsatz
als „künstliche
Nasen” in
der Qualitätssicherung,
z. B. in der Lebensmittel-Getränke
oder Parfümindustrie
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Der
Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Sensor, insbesondere
einen elektrochemischen Sensor anzugeben, mit dem auf besonders
zuverlässige
Weise mit hoher Genauigkeit auch geringste Mengen oder Konzentrationen
einer chemischen Zielsubstanz nachweisbar oder quantifizierbar sind. Des
Weiteren soll ein besonders geeignetes Verfahren zur Herstellung
eines derartigen Sensors angegeben werden.
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Bezüglich des
Sensors wird diese Aufgabe erfindungsgemäß gelöst mit einer Detektorzone,
deren elektrische Leitfähigkeit
durch elektronische Tunnel-, Ionisations- oder Hoppingprozesse,
insbesondere zwischen lokalisierten Zuständen oder Nanopartikeln, und
deren elektrochemischer Wechselwirkung mit einer nachzuweisenden
Zielsubstanz bestimmt ist.
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Die
Erfindung geht dabei von der Überlegung aus,
dass der Sensor im Hinblick auf eine möglichst günstige Nutzbarkeit und Weiterverarbeitbarkeit
der gelieferten Messwerte oder Signale günstigerweise auf ein elektrisches
oder elektronisches Messprinzip ausgerichtet sein sollte. Um dabei
die gewünschte besonders
hohe Empfindlichkeit bzgl. der Anwesenheit von Partikeln der chemischen
Zielsubstanz bereitzustellen, sollte daher ein messtechnisch besonders
gut zugänglicher
Parameter des Sensors, also insbesondere dessen Leitfähigkeit
oder elektrischer Widerstand, derart vorgegeben werden, dass der Sensor
auch auf kleinste Änderungen
der Partikelzahl oder Konzentration der chemischen Zielsubstanz
in seiner Umgebung sehr empfindlich mit einer vergleichsweise stark
ausgeprägten Änderung
seiner elektrischen Leitfähigkeit
bzw. seines elektrischen Widerstands reagiert.
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Dies
ist erreichbar durch Bereitstellung eines Systems in einer Detektorzone,
bei dem durch elektrisch isolierte Nanopartikel, Dotierungen, Stör- oder Einfangstellen
oder durch strukturelle Unordnung lokalisierte Zustände oder
ein null-dimensionales Elektronengas oder auf andere Weise eingefangene
Energiezustände
für Ladungsträger gebildet
werden. Ein Ladungstransport kann dann nur thermisch aktiviert bei
Zuführung
einer unterstützenden äußeren elektrischen,
elektromagnetischen oder thermischen Aktivierungsenergie erfolgen.
Mögliche
Leitungsmechanismen sind: der so genannte Hüpfmechanismus (Hopping), Feldemissions-
bzw. -ionisationseffekt, Poole-Frenkel-Effekt oder ein anders gearteter
Tunneleffekt der Elektronen zwischen den lokalisierten Stellen oder
Stör- bzw.
Einfangstellen. Gerade bei derartigen Systemen, bei denen der Elektronentransport
im Wesentlichen auf Tunnel-, Ionisations- oder Hoppingeffekten beruht,
ist nämlich
die elektrische Leitfähigkeit
in extremem Maße
von der elektrischen Kopplung der einzelnen lokalisierten Zustände aneinander
abhängig.
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Diese
wiederum hängt
bei geeigneter Konfiguration der sonstigen Systemparameter wie beispielsweise
Materialwahl, Geometrieparameter, mittlerer Abstand der lokalisierten
Zustände
und dergleichen sehr empfindlich von der elektrochemischen Wechselwirkung
mit der Zielsubstanz ab, so dass bereits bei kleinsten Änderungen
der Konzentration oder Partikelmenge der Zielsubstanz in der Umgebung
der Detektorzone vergleichsweise große Auswirkungen auf die elektrische
Leitfähigkeit
erhältlich sind,
insbesondere da sich die elektrischen Größen wie Widerstand oder Leitfähigkeit
bei derartigen Systemen exponentiell mit der durch die genannte
Wechselwirkung beeinflussbaren Kopplungsstärke zwischen den Tunnelpartnern ändern.
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Die
elektrochemische Wechselwirkung der genannten Tunnel- oder Hoppingprozesse
mit der nachzuweisenden Zielsubstanz kann dabei direkt, insbesondere
durch Kontakt des mit der Zielsubstanz beladenen Trägermediums
mit der Detektorzone, oder indirekt, also über gewisse kurze Distanzen
hinweg, erfolgen. Insbesondere kann dabei durch Berührung oder
Wechselwirkung der in gasförmiger oder
flüssiger
Phase vorliegenden Zielsubstanz mit der Detektorzone des Sensors
ein Austausch von Elektronen oder Ionen oder auch eine elektrostatische
oder elektromagnetische Wechselwirkung zwischen dem Sensor und der
Zielsubstanz stattfinden, der/die die Elektronenkonzentration oder
die Elektronenbeweglichkeit im Material der Detektorzone und/oder
insbesondere die Kopplung zwischen den Nanopartikeln verändert. Damit
können
sogar an sich elektrisch neutrale Substanzen wie beispielsweise Wasser
nachweisbar sein, da auch Dipolmomente die lokale Elektronenkonzentration
in der Detektorzone stören
können.
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Im
Falle der Dominanz von Hoppingprozessen für die elektrische Leitfähigkeit σ(T) der Detektorzone,
die in allgemein ungeordneten, strukturlosen Systemen wie beispielsweise
amorphem Silizium auftritt, ist für diese die Temperaturabhängigkeit
ihrer elektrischen Leitfähigkeit
vorzugsweise annähernd durch
die Beziehung In σ ~
T–γ gegeben.
Vorteilhafterweise ist die Detektorzone dabei derart ausgestaltet,
dass der charakteristische Exponent γ dieser Beziehung einen Wert zwischen
0 und 1, vorzugsweise etwa den Wert 0,25, etwa den Wert 0,5 oder
etwa den Wert 1, aufweist.
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Vorteilhafterweise
ist die Detektorzone aus in eine Matrix eingebetteten, im Vergleich
zum Matrixmaterial eine höhere
elektrische Leitfähigkeit
aufweisenden Nanopartikeln gebildet.
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Zur
Sicherstellung der vorgesehenen Dominanz der elektronischen Tunnel-,
Ionisations- oder Hoppingprozesse für die elektrische Leitfähigkeit
der Detektorzone weist das diese bildende Material vorteilhafterweise
eine besonders geeignete Morphologie auf. Insbesondere ist die Morphologie
in der Detektorzone dabei vorzugsweise derart gewählt, dass eine
Vielzahl vergleichsweise gering ausgedehnter Zonen mit vergleichsweise
hoher elektrischer Leitfähigkeit
gebildet sind, die über
Zwischenzonen mit vergleichsweise niedriger elektrischer Leitfähigkeit miteinander
verbunden sind oder aneinander angrenzen. Dazu könnte das die Detektorzone bildende Material
beispielsweise amorphe, nano- oder polykristalline Struktur aufweisen.
Vorteilhafterweise ist die Detektorzone aber aus in eine Matrix
aus geeignet gewähltem,
insbesondere nicht leitendem, Material vergleichsweise geringer
elektrischer Leitfähigkeit
eingebetteten Nanopartikeln mit im Vergleich zum Matrixmaterial
höherer
elektrischer Leitfähigkeit gebildet.
Derartige lokal wechselnde Zonen mit niedriger und hoher Leitfähigkeit
werden somit beispielsweise durch Kompositsysteme aus in einer elektrisch isolierenden
Matrix (Basismedium) eingebetteten leitfähigen Nanokristalliten, Stör- oder
Einfangstellen oder Dotierungen gebildet. Derartige durch einen
nanokristallinen Aufbau charakterisierte Systeme werden auch als
Nanokomposite bezeichnet.
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Die
Nanopartikel können
dabei aus Material mit geeignet hoher elektrischer Leitfähigkeit,
beispielsweise aus halb- oder supraleitendem Material, gebildet
sein. Eine besonders bedarfsgerechte Einstellung gewünschter
Eigenschaften ist aber erreichbar, indem die Nanopartikel vorteilhafterweise
metallisch, insbesondere aus Gold (Au), Wolfram oder Platin (Pl),
gebildet sind.
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Vorzugsweise
ist zur Bildung der Matrix anorganisches, organisches oder dielektrisches
Material oder auch Polymermaterial vorgesehen.
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Vorteilhafterweise
ist das die Detektorzone bildende Material, das als sensorisch aktives
Material vorgesehen ist, hinsichtlich der Wahl seiner jeweiligen
Parameter in besonderem Maße
auf die gewünschte
starke Abhängigkeit
der elektrischen Leitfähigkeit
von der Wechselwirkung mit der Zielsubstanz ausgelegt. Um dies zu
gewährleisten,
sind insbesondere die Nanopartikel oder die die lokalisierten Zustände hervorrufenden
Störstellen
hinsichtlich ihrer Größe, Abstände, Beschaffenheit
und Partikelanzahldichte bei der Einbettung in die Matrix gezielt
und selektiv im Hinblick auf die mögliche Wechselwirkung mit der
Zielsubstanz ausgewählt.
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Zudem
sind die genannten Parameter vorteilhafterweise derart geeignet
gewählt,
dass die resultierende elektrische Leitfähigkeit im Wesentlichen durch
die genannten elektronischen Tunnel-, Ionisations- oder Hüpfprozesse
dominiert ist. Dabei weisen die Nanopartikel beispielsweise eine
mittlere Partikelgröße von bis
zu 10 nm, vorzugsweise von bis zu 1 nm, auf. Alternativ sind aber
auch Partikelgrößen von
bis zu 100 nm oder mehr denkbar, sofern diese elektrisch ausreichend
voneinander isoliert und ihre Abstände hinreichend klein sind,
so dass sich Tunneleffekte zwischen ihnen einstellen können. Bei
der Einstellung der Partikelgröße ist vorteilhafterweise berücksichtigt,
dass gerade bei der Verwendung der Nanokomposite die vergleichsweise
kleinen Partikel im Vergleich zu größeren Partikeln eine größere spezifische
(innere) Oberfläche,
also Oberfläche
im Verhältnis
zum Volumen, aufweisen, so dass sie eine besondere hohe energetische
Reaktionsfähigkeit
mit der Zielsubstanz besitzen. Ein Sensor mit rauer, nanokristalliner
Oberfläche
ist daher grundsätzlich empfindlicher
gegenüber
einer elektrochemischen Reaktion als ein Sensor mit glatter Oberfläche.
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In
einer vorteilhaften Weiterbildung ist die Detektorzone durch eine
auf einen Trägerkörper oder ein
Substrat aufgebrachte Beschichtung gebildet.
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Da
der Sensor in seiner Detektorzone auf der Grundlage von Nanokompositen
aufgebaut ist, kann er unter Rückgriff
auf besonders geeignete Herstellungs- oder Depositionsmethoden in
lateral sehr klein bemessenen Dimensionierungen ausgeführt sein. Dadurch
kann der Sensor und insbesondere dessen Detektorzone in der Art
eines Nanosensors punktgenau und bedarfsgerecht an einem vorgesehenen,
für den
Nachweis der jeweiligen Zielsubstanz beispielsweise besonders geeigneten
Ort auf einer größeren Struktur,
beispielsweise einem größeren Substrat, platziert
sein. Dies ermöglicht
insbesondere auch ein Substrat mit einem vergleichsweise komplexen
System mit verschiedenartigen Sensorfunktionalitäten auszustatten. So kann beispielsweise
auf einfache Weise ein Mikroarray oder -gitter von in Ausstattung, Größe und/oder
Auslegung für
die Wechselwirkung mit Zielsubstanzen unterschiedlichen Nanosensoren bereitgestellt
werden, wobei jeder Nanosensor vorteilhafterweise jeweils für den Nachweis
einer spezifischen chemischen Substanzart ausgelegt ist. Damit lassen
sich in der Art einer parallelen Erfassung oder Verarbeitung auch
Mischzustände
verschiedener Chemikalien oder Substanzen in einem einzigen, simultanen
Messschritt nachweisen, die ansonsten auf zeitaufwändige Weise
sequentiell analysiert werden müssten.
Zu den genannten Zwecken ist in besonders vorteilhafter Ausgestaltung
in besonders vorteilhafter Ausgestaltung auf einem gemeinsamen Trägerkörper eine
Mehrzahl von sich voneinander hinsichtlich der Materialwahl der
Matrix und/oder der Nanopartikel und/oder der Größe und/oder Dichte der Nanopartikel
unterscheidender Detektorzonen angeordnet.
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Zur
Herstellung des Sensors und insbesondere der Detektorzone sind grundsätzlich verschiedene
Technologien denkbar. Ein an die Auslegungsgrundsätze des
Sensors, insbesondere an die Bereitstellung der Detektorzone, besonders
gut anpassbares und damit für
die Herstellung besonders geeignetes Verfahren, mit dem die diesbezügliche Aufgabe erfindungsgemäß gelöst wird,
ist jedoch eine Deposition durch lokale Energieanregung, wie beispielsweise
eine ionenstrahlinduzierte, pyrolytisch induzierte oder photonenstrahlinduzierte
Deposition, besonders vorteilhaft die elektronenstrahlinduzierte
Deposition (EBID). Unter „lokale
Energieanregung” ist
hierbei insbesondere zu verstehen, dass die laterale Aus dehnung
der durch die Energieanregung entstehenden Depositionen deutlich
geringer, beispielsweise einige nm bis einige μm, ist als die Abmessungen des zur
Deposition verwendeten Substrats von beispielsweise einigen 100 μm oder einigen
mm. Die genannten Verfahren basieren auf den unter einem gerasterten
Teilchenstrahl, bestehend aus Elektronen, Ionen oder Photonen, oder
einem Strahl aus elektromagnetischen Wellen stattfindenden physikalischen
und chemischen Umbildungsprozessen eines am Strahlort vorhandenen
Präkursorgases.
Durch dieses Verfahren ist insbesondere im Sinne einer Deponatstrukturierung
in mikroskopischem Maßstab
eine gezielte Materialabscheidung von funktionalen Nanostrukturen
möglich,
wobei durch die Wahl geeigneter Depositionsparameter ein gezielter
räumlicher
Aufbau der gewünschten
Strukturen begrenzt auf die im Endprodukt gewünschte räumliche Zusammensetzung möglich ist.
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Damit
ist eine spätere
Nachbehandlung einmal deponierter Strukturen im Sinne herkömmlicher Methoden,
wie beispielsweise durch lithographisches Ätzen oder dergleichen, nicht
erforderlich, um beim miniaturisierten Endprodukt die gewünschte Raumform
zu erzeugen. Insbesondere spezielle Silizium- und Maskentechniken
oder halbleiterbasierte Trägerunterlagen
oder eine Reinraumumgebung werden nicht mehr benötigt. Der Deponat-Strukturierungsprozess
basiert dabei auf dem Prinzip, dass Moleküle einer Ausgangsbausubstanz
(Präkursor),
die sich in der Gasphase befinden und innerhalb einer Vakuumumgebung
auf einer Oberfläche
adsorbieren, mit einer lokal konzentrierten Energieeinstrahlung,
welche beispielsweise aus fokussierten Elektronen, Ionen oder Photonen
oder anderen energetisch gebündelten
Objekten bestehen kann, angeregt werden und durch einen Zersetzungs-
oder Umwandlungsprozess ihrer Bindungen als Sediment oder Deponat dauerhaft
auf einer Oberfläche
eines in der Nähe
befindlichen Substrats fixiert werden. Die anfängliche Materialablagerung
dient dabei zugleich als Keimstelle für neue Ablagerungen, welche
durch die lokale Position der Energieeinwirkung und deren Verweildauer
geführt
werden, so dass sich beliebige dreidimensionale Objekte auf der
Unterlage, in Abhängigkeit
der Fokussierbarkeit der Energiequelle mit bis zu Nanometerpräzisionsgenauigkeit
abscheiden lassen.
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Durch
die geeignete Wahl der Ausgangssubstanzen oder Präkursor-Materialien
sowie auch durch die geeignete Wahl der beim Depositionsprozess
verwendeten Parameter ist dabei in besonders flexibler und weit
reichender Weise eine Einflussnahme auf die mikroskopischen Eigenschaften
des Endprodukts möglich.
Insbesondere können
sowohl die Größe der Nanokristallite
als auch deren Abstände und
Ausgangsmaterialien während
des Herstellungsprozesses durch die Umgebungsparameter wie beispielsweise
Strahlbeschleunigungsspannung, Strahlstrom, Präkursormaterial etc., eingestellt
werden, so dass spezifische, gezielte auf die Wechselwirkung mit
einer vorgebbaren Zielsubstanz abgestimmte Sensormaterialien mit
hoher Selektivität
gegenüber
der jeweiligen Zielsubstanz hergestellt werden können.
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Um
in der Detektorzone die gewünschte
starke Abhängigkeit
der elektrischen Leitfähigkeit
von der genannten Wechselwirkung und die dafür vorgesehene gezielte und
vergleichsweise homogene Verteilung von Nanopartikeln in einer geeigneten
Matrix sicherzustellen, werden dabei als Präkursor-Materialien vorteilhafterweise
organische, anorganische, dielektrische oder metallorganische Komplexe,
Monomere, Oligomere, Polymere oder Gemische aus diesen Monomeren,
Oligomeren und Polymeren verwendet, die sich vorzugsweise in der
Gasphase befinden und einen für
die Deponierung besonders günstigen
Dampfdruck aufweisen. Vorteilhafterweise wird als Präkursor-Substanz,
insbesondere CH3, C5O2H7, C5O2F3H4,
C5O2F6H,
C5H5, Me2Au(acac) [Summenformel: (CH3)2AuC5O2H7], Me2Au(tfac) [Summenformel:
(CH3)2AuC5O2F3H4], Me2Au(hfac) [Summenformel:
(CH3)2AuC5O2F6H],
Cu(hfac)2 [Summenformel: Cu(C5O2F6H)2],
CpPtMe3 [Summenformel: C5H5Pt(CH3)3],
CpMePtMe3 [Summenformel: C5H4(CH3)Pt(CH3)3], Mo(CO)6, W(CO)6, WF6, [RhCl(PF3)2]2, Co2(Co)8, AuCl(PF3) und/oder
Ni(CO)4, verwendet.
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Das
genannte Depositionsverfahren ist insbesondere sowohl zur Herstellung
einer Oberflächenbeschichtung
zur Erzeugung der Detektorzone auf einem als Trägerkörper dienenden Substrat in
der Art einer nachträglichen
Veredelung des Trägerkörpers als
auch zur Herstellung eines Bulk-Körpers geeignet, bei dem der
Grund körper
des Sensors an sich bereits aus den in die Matrix eingebetteten
Nanopartikeln gebildet ist und somit seinerseits in seiner Gesamtheit
die Detektorzone bildet. Zur Herstellung derartiger Strukturen wird
vorteilhafterweise ein zur energetischen Anregung der Präkursor-Substanzen vorgesehener
energetischer Teilchenstrahl oder eine lokale pyrolytische Behandlung,
beispielsweise durch einen Laserstrahl, hinsichtlich des Substrats lateral
oder dreidimensional in Abhängigkeit
von einer vorgegebenen Sollgeometrie des Deponats geführt. Dabei
kann insbesondere auf einem gemeinsamen Substrat oder Trägerkörper eine
Mehrzahl jeweils zueinander unterschiedlicher Detektorzonen zur
Bildung eines komplexen Sensorsystems abgeschieden werden.
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Vorteilhafterweise
wird die Temperatur des Substrats während der Deposition geeignet
geregelt. Dadurch wird die Geschwindigkeit der Oberflächendiffusionsprozesse
auf dem Substrat beeinflusst, was zu einer regelbaren Nachlieferungsrate
von Präkursormaterial
und damit zu einer kontrollierten Wachstumsrate des Deponates führt. Alternativ
kann die Nachlieferungsrate auch dadurch geregelt werden, indem
die Temperatur der Präkursorquelle
entweder erhöht
oder vermindert wird, da dies direkten Einfluss auf den Dampfdruck
des Präkursors
nimmt.
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Alternativ
kann vorteilhafterweise auch die pyrolytische oder pyrolytisch induzierte
Deposition zum Einsatz kommen. Feste Deponate können dabei auf einem Substrat
auch abgeschieden werden, indem das Substrat nach einer ungerichteten
Adsorption von Präkursor-Molekülen erwärmt wird,
beispielsweise von unten über
einen Heizdraht oder von oben durch einen Laserstrahl. Die Energiezufuhr
bewirkt dann lokal die gewünschte
Umwandlung der Präkursor-Materialien.
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Durch
die Anwendung der genannten Deponatstrukturierung, insbesondere
durch die Herstellung der Detektorzone oder auch des gesamten Grundkörpers des
Sensors durch elektronenstrahleninduzierte Deposition oder auch
durch ionenstrahlinduzierte, pyrolytisch induzierte oder photonenstrahlinduzierte
Deposition, ist eine besonders hohe Flexibilität bei der Einstellung gewünschter
Eigenschaften des Endprodukts erreichbar. Insbesondere kann durch
die Wahl einer geeigneten Struktur für die Matrix nicht nur die
elektrische Leitfähigkeit
im Sinne der gewünschten
Empfindlichkeit bei einer Änderung der
Wechselwirkung mit der Umgebung geeignet eingestellt werden, sondern
vielmehr ermöglicht
eine gezielte Beeinflussung der Herstellungsparameter bei der Deponierung
der Strukturen auch eine gezielte Einflussnahme auf sonstige mikroskopische
Eigenschaften.
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Die
mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen insbesondere darin,
dass durch die Bereitstellung einer Detektorzone auf der Basis von
in eine Matrix eingebetteten Nanopartikeln eine besonders empfindliche
Abhängigkeit
der elektrischen Leitfähigkeit
der Detektorzone von Änderungen
der Umgebungsbedingungen des Sensors, insbesondere der Partikeldichte
der ausgewählten
Zielsubstanz, in kleinstem Maßstab
erreichbar ist. Damit sind besonders empfindliche Messungen durchführbar, die
mit geringsten Mengenänderungen
der Zielsubstanz einhergehen. Damit ist die lokale Konzentration
der Zielsubstanz besonders präzise
messbar, so dass hoch genaue Sensoren auf der Basis derartiger Messungen
bereitgestellt werden können.
Durch die Abhängigkeit
der elektrischen Leitfähigkeit
vornehmlich von der Kopplung der Nanopartikel untereinander ist
insbesondere auch gewährleistet,
dass die Wechselwirkung mit den im Umfeld befindlichen Partikeln
der Zielsubstanz, über
direkten Kontakt oder auch indirekt durch elektrische oder magnetische
Wechselwirkung, unmittelbar in einer besonders empfindlichen Abhängigkeit
der Leitfähigkeit
von der Partikelmenge oder -konzentration im Umfeld des Sensors
resultiert. Damit ist ein besonders empfindlicher Nachweis von Partikeln
der Zielsubstanz und auch deren quantitative Bestimmung möglich, wobei
sogar auch an sich elektrisch neutrale Substanzen wie beispielsweise Wasser
aufgrund ihres Dipolmoments nachweisbar sein können.
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Derartige
Sensoren können
beispielsweise bei der Messung geringster Mengen von chemischen und
biochemischen Substanzen, wie Gasen oder Biomolekülen, z.
B. in folgenden Gebieten vorteilhaft eingesetzt werden:
- • Umweltschutz,
bei der Messung der Luft- und Wasserqualität
- • Militär- und Heimatschutz,
beim Nachweis toxischer oder explosiver Substanzen
- • Chromatograpie
- • Einsatz
als „künstliche
Nasen” in
der Qualitätssicherung,
z. B. in der Lebensmittel- Getränke
oder Parfümindustrie
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Durch
die Herstellung der Detektorzone oder auch des gesamten Sensors
durch Deponatstrukturierungsverfahren wie insbesondere die elektronenstrahlinduzierte
Deposition ist zudem die gezielte Herstellung mikroskopischer Strukturen
mit einer hohen Bandbreite gewünschter
Eigenschaften möglich, wobei
insbesondere durch geeignete Material- und Parameterwahlen die elektrischen
Eigenschaften besonders günstig
und gezielt und selektiv auf die gewählte Zielsubstanz eingestellt
werden können.
Insbesondere sind durch die Verwendung der elektronenstrahlinduzierten
Deposition extrem miniaturisierte Sensoren oder Sensorelemente herstellbar,
wobei insbesondere die Detektionsgeometrie nahezu frei wählbar ist.
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Ein
Ausführungsbeispiel
der Erfindung wird anhand einer Zeichnung näher erläutert. Darin zeigen:
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1 einen
miniaturisierten elektrochemischen Sensor,
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2 ein
auf ein Substrat aufwachsendes Deponat,
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3 eine
Messanordnung mit einem Sensor nach 1,
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4 ein
Diagramm mit einer Anzahl von Energieniveaus, und
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5 den
Sensor nach 1 mit einer Mehrzahl von Detektorzonen.
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Gleiche
Teile sind in allen Figuren mit denselben Bezugszeichen versehen.
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Der
miniaturisierte Sensor 1 gemäß 1 ist insbesondere
zum Einsatz als elektrochemischer Sensor für den Nachweis und/oder die
Quantifizierung chemischer Stoffe oder Substanzen selbst in geringsten
Mengen oder Konzentrationen vorgesehen. Alternativ ist aber auch
eine Vielzahl weiterer Anwendungsmöglichkeiten in der Mikrosensorik
oder Biosensorik oder dergleichen denkbar. Der miniaturisierte Sensor 1 umfasst
ein Substrat oder einen Grundkörper 4,
der mit einer Detektorzone 10 versehen ist, die ihrerseits
von in einer Matrix 12 eingebetteten vorzugsweise metallischen
Nanopartikeln 14 gebildet ist. Die Matrix 12 ist
dabei im Ausführungsbeispiel
als Polymermatrix ausgestaltet, in die die metallischen Nanopartikel 14 eingebettet
sind. Die Nanopartikel 14 bilden dabei eingebettete lokalisierte Zustände für elektrische
Ladungen. Diese können
alternativ oder zusätzlich
auch gebildet sein durch Stör-
oder Einfangstellen oder durch strukturelle Unordnung, beispielsweise
in einem amorphen Medium.
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Für die Sensorwirkung
an sich sind die Nanokristalle jedoch nicht zwingend erforderlich.
Sie sind jedoch beim Betrieb des Sensors vorteilhaft, da sie die
Sensorwirkung zusätzlich
verstärkt.
Dies wird dadurch erreicht, dass die Kristallite mit Hilfe des vorgeschlagenen
Herstellungsverfahrens derart aufgebaut werden können, dass sie Durchmesser
in der Größenordnung
von 1 Nanometer oder darunter besitzen. Diese Partikel weisen ein
besonders vergrößertes Verhältnis von
Oberfläche
zu Volumen auf. Sie besitzen daher aufgrund ihrer mikroskopischen
Rauigkeit gegenüber
der nachzuweisenden Zielsubstanz eine höhere energetische Reaktionsfähigkeit
bzw. eine vergrößerte effektive
Sensoroberfläche
als homogene Volumenkörper
mit glatter Oberfläche. Äußere Einflüsse auf
die elektrischen Leitungsmechanismen, wie auf die Hopping- oder
Tunnelleitfähigkeit,
werden dadurch begünstigt
bzw. verstärkt,
die elektrochemische Sensorwirkung wird insgesamt ebenfalls verstärkt.
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Hinsichtlich
der Materialwahl von Matrix 12 und Nanopartikeln 14 sowie
hinsichtlich der durchschnittlichen Partikelgröße von im Ausführungsbeispiel
etwa 1 nm und der Dichte der Nanopartikel 14 sind die entsprechenden
Parameter derart gewählt, dass
der elektrische Transport zwischen den Nanopartikeln 14 innerhalb
der Matrix 12 durch Hüpfprozesse
charakterisiert ist und über
Tunnelprozesse geführt
wird. Der Leitungsmechanismus in der Detektorzone 10 erfolgt
daher durch den thermisch aktivierten Hüpfmechanismus (hopping, nearest
neighbour hopping, variable range hopping) zwischen lokalisierten
Stellen und entsteht durch einen quantenmechanischen Tunneleffekt.
Durch die Einhaltung dieser Randbedingung ist sichergestellt, dass
die elektrische Leitfähigkeit
der Detektorzone 10 sehr stark und empfindlich auch von
der Kopplung zwischen den Nanopartikeln 14 und damit vom
elektromagnetischen Umfeld des Sensors 1 abhängt, so
dass dieses mit hoher Empfindlichkeit und Auflösung nachweisbar ist.
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Der
Sensor 1 gemäß 1 ist
dabei unter Rückgriff
auf ein Substrat herkömmlicher
Bauart auf Siliziumbasis aufgebaut, das als Trägerkörper 16 dient und
zur Bildung der Detektorzone 10 mit einer oberflächlichen
Beschichtung versehen ist. Die Bauart des Sensors 1 nach 1 entspricht
somit einer Veredelung eines herkömmlichen Substrats, bei dem die
für die
erwünschte
hohe Messauflösung
vorgesehene Detektorzone 10 durch nachträgliche Beschichtung
aufgebracht ist.
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Da
die für
die Sensorherstellung vorgeschlagenen Depositionsverfahren, wie
die elektronenstrahlinduzierte Deposition, nicht zwingend auf Silizium
als Substratunterlage angewiesen sind, kann der Sensor, außer auf
Silizium, praktisch auch auf jeder anderen beliebigen festen Unterlage
abgeschieden werden. Somit eignet sich das vorgeschlagene Depositionsverfahren
auf besonders flexible Weise, unterschiedliche Materialien, Oberflächen oder
bereits vorgefertigte oder vorhandene Strukturen nachträglich mit
Sensorfunktionalität
auszustatten bzw. zu veredeln.
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Als
Beispiel sei eine „Lab-On-a-Chip”-Anwendung
genannt, die z. B. viele Strömungskanäle oder
Mess-Kammern für
Gase und Flüssigkeiten
besitzen kann. Derartige Lab-On a-Chips werden gewöhnlich mit
Silizium-Maskentechnik vorgefertigt. Das vorgeschlagene Verfahren
für die
Herstellung eines elektrochemischen Sensors würde es erlauben, einen solchen
Chip an jeder beliebigen Stelle nachträglich mit Sensorfunktionalität auszustatten.
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Die
Detektorzone 10 des Sensors 1 und möglicherweise
auch der gesamte Grundkörper 4 werden
durch so genannte Deponatstrukturierung hergestellt, wobei partikulares
Wachstum der jeweiligen Strukturen in denjenigen Raumbereichen erzeugt
und auch auf diese beschränkt
wird, in denen die Entstehung der gewünschten Strukturen vorgesehen
ist. Damit entfällt
das bei sonstigen miniaturisierten Gebilden erforderliche nachträgliche,
beispielsweise lithographische Ätzen.
Zur Herstellung der jeweiligen Strukturen ist im Ausführungsbeispiel das
Verfahren der so genannten elektronenstrahlinduzierten oder ionenstrahlinduzierten
Deposition vorgesehen. Eine Entstehungsphase der entsprechenden
Strukturen ist dabei in 2 dargestellt.
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Wie
der schematischen Darstellung in 2 entnehmbar
ist, werden in geeigneter Umgebung, insbesondere in einem Vakuum,
Präkursor-Substanzen,
wie sie in 2 anhand von Partikeln 50 dargestellt
sind, in gasförmiger
Form in die Nähe
eines Substrats 52 gebracht. Durch Adhäsionskräfte zwischen den Präkursormolekülen und
Substrat findet auf dem Substrat eine Adsorption von Präkursormaterial
statt.
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In
einer Depositionszone 54 in unmittelbarer Nähe des Substrats 52 werden
die Präkursor-Substanzen
energetisch zu einer Umwandlung angeregt, wobei sich die Umwandlungsprodukte
in fester und nicht flüchtiger
Form als Sediment oder Deponat 56 dauerhaft auf dem Substrat 52 niederschlagen.
Die anfängliche
Materialablagerung auf dem Substrat 52 dient dabei zugleich
als Keimstelle für
neue Ablagerungen, welche durch die lokale Position der Energieeinwirkung
und deren Verweildauer geführt
werden, so dass sich nahezu beliebige dreidimensionale Objekte auf
dem Substrat 52 erzeugen lassen. Die Anregung zur Umwandlung
und somit zur Deposition erfolgt dabei durch lokale Energieanregung
oder -applizierung, wobei zu diesem Zweck im Ausführungsbeispiel
ein Elektronenstrahl 58 vorgesehen ist. Dieser ist in seiner
seitlichen Ausdehnung wesentlich kleiner als die Oberfläche des
Substrats 52, so dass die Energieanregung tatsächlich nur
lokal und begrenzt auf einen vergleichsweise geringen Anteil der
Substratoberfläche
erfolgt.
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Eine
Messanordnung 60 mit dem Sensor 1 ist schematisch
in 3 gezeigt. Dabei ist die Detektorzone 10 des
Sensors 1 elektrisch an eine Stromquelle 62, die
insbesondere als Konstantstromquelle ausgebildet sein kann, angeschlossen. Über einen Spannungssensor 64 kann
die bei einem vorgegebenen Stromfluss über der Detektorzone 10 anliegende Spannung
V abgegriffen werden, so dass über
diese Anordnung der elektrische Widerstand bzw. die elektrische
Leitfähigkeit
der Detektorzone 10 gemessen werden kann. Diese ändert sich
aufgrund der spezifischen Ausgestaltung der Detektorzone 10 in
Folge ihrer elektrochemischen Wechselwirkung mit einer nachzuweisenden
Zielsubstanz in ihrer Umgebung, beispielsweise Wasser (H2O), Salzsäure (HCl) oder ähnlichem.
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Die
Art der Reaktion der Detektorzone 10 auf die Anwesenheit
der Zielsubstanz ist dabei im Energiediagramm gemäß 4 schematisch
dargestellt. In diesem Energiediagramm ist auf der x-Achse ein Ortskennwert
und auf der y-Achse ein Energiewert E abgetragen. In der Detektorzone 10 befinden
sich lokalisierte elektronische Zustände, die durch ihre entsprechenden
Energieniveaus 70, 72, 74, 76, 78,
wie in 4 eingetragen, charakterisiert sind. Im Beispiel nach 4 stellen
dabei die Energieniveaus 70, 72, 74 lokalisierte
Energiezustände
dar, zwischen denen ein Elektron durch einen thermisch aktivierten
Hüpf- oder
Hoppingmechanismus seine Plätze
tauscht. Im Beispiel nach 4 ist dabei
ein derartiger Hüpfprozess
zwischen den Energieniveaus 72 und 74, die beispielsweise
auch zwei benachbarten Nanokristalliten 14 zugeordnet sein
können,
beispielhaft dargestellt.
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Bei
der Anwesenheit einer nachzuweisenden Zielsubstanz, beispielsweise
der Chemikalie HCl, im Umfeld der Detektorzone 10 können zwei
benachbarte lokalisierte Energiezustände 76, 78 durch elektrische
oder elektrochemische Wechselwirkung mit der Zielsubstanz um den
Betrag ΔE
in ihrem energetischen Abstand zueinander vergrößert werden. Das Elektron e
müsste
hier nun gegenüber
den unveränderten
Energieniveaus (wie beispielsweise den Energieniveaus 72, 74)
einen größeren Energiebetrag überwinden,
um die den Energieniveaus 76, 78 zugeordneten
Plätze
zu tauschen. Damit wird die Elektronenbeweglichkeit durch Vergrößerung des energetischen
Abstandes zwischen diesen Energieniveaus vermindert bzw. der elektrische
Widerstand der Detektorzone 10 vergrößert. Durch die Materialwahl
in den Detektorzonen 10 sowie die Konzentration der lokalisierten
Energiezustände
kann eine individualisierte Anpassung der Detektorzone 10 an
eine vorgesehene Zielsubstanz und die Wechselwirkung mit dieser
vorgenommen werden. Damit ist eine individualisierte Ausrichtung
der Reaktion der Detektorzone 10 auf die Anwesenheit einer
gewünschten
Zielsubstanz im unmittelbaren Umfeld ermöglicht.
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Im
Ausführungsbeispiel
nach 5 ist ein Sensor 1' dargestellt, bei dem auf einem
gemeinsamen Trägerkörper 16 eine
Mehrzahl von Detektorzonen 10 angeordnet sind. Diese sind
jeweils unabhängig
voneinander an geeignete Stromquellen 62 und Spannungssensoren 64 angeschlossen,
so dass ihr jeweiliger elektrischer Widerstand bzw. ihre jeweilige elektrische
Leitfähigkeit
unabhängig
von den anderen messbar ist. Damit ist durch eine geeignete räumliche
Anordnung der Detektorzonen 10 relativ zueinander ein ortsaufgelöster Nachweis
der vorgesehenen Zielsubstanz möglich.
Zusätzlich
oder alternativ können
die Detektorzonen 10 sich voneinander hinsichtlich der
Materialwahl der Matrix und/oder der Nanopartikel oder ihrer sonstigen
mikroskopischen Eigenschaften unterscheiden und somit hinsichtlich
ihrer Wechselwirkung mit der Umgebung an unterschiedliche Zielsubstanzen
angepasst sein. Damit kann mit vergleichsweise einfachen Mitteln
ein vergleichsweise komplexes System mit verschiedenartigen Sensorfunktionalitäten in der
Art eines Mikroarrays oder -gitters bereitgestellt werden. Damit
lassen sich in der Art einer parallelen Erfassung oder Verarbeitung
auch Mischzustände
verschiedener Chemikalien oder dergleichen in einem einzigen, simultanen
Messschritt nachweisen.
-
- 1
- Sensor
- 4
- Grundkörper
- 10
- Detektorzone
- 12
- Matrix
- 14
- Nanopartikel
- 16
- Trägerkörper
- 50
- Partikel
- 52
- Substrat
- 54
- Depositionszone
- 56
- Deponat
- γ
- Exponent
- σ
- Leitfähigkeit