RU2011120331A - Электрохимический сенсор и способ его получения - Google Patents

Электрохимический сенсор и способ его получения Download PDF

Info

Publication number
RU2011120331A
RU2011120331A RU2011120331/28A RU2011120331A RU2011120331A RU 2011120331 A RU2011120331 A RU 2011120331A RU 2011120331/28 A RU2011120331/28 A RU 2011120331/28A RU 2011120331 A RU2011120331 A RU 2011120331A RU 2011120331 A RU2011120331 A RU 2011120331A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
electrochemical sensor
zone
substrate
precursor substances
deposition
Prior art date
Application number
RU2011120331/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2502992C2 (ru
Inventor
Александер КАЯ
Original Assignee
Наноскейл Системз, Наносс Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Наноскейл Системз, Наносс Гмбх filed Critical Наноскейл Системз, Наносс Гмбх
Publication of RU2011120331A publication Critical patent/RU2011120331A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2502992C2 publication Critical patent/RU2502992C2/ru

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/04Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
    • G01N27/12Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
    • G01N27/125Composition of the body, e.g. the composition of its sensitive layer
    • G01N27/127Composition of the body, e.g. the composition of its sensitive layer comprising nanoparticles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y15/00Nanotechnology for interacting, sensing or actuating, e.g. quantum dots as markers in protein assays or molecular motors
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)

Abstract

1. Способ получения электрохимического сенсора (1) с детекторной зоной (10), электрическая проводимость которой (σ) устанавливается посредством туннельных, ионизационных, или прыжковых процессов, и в которой устанавливается электрохимическое взаимодействие с определяемым заданным веществом; при котором детекторную зону (10) получают путем локального приложения энергии, предпочтительно путем индуцированного электронным лучом осаждения, при котором находящиеся в газообразной форме вещества-предшественники (50), присутствующие в зоне осаждения (54) в непосредственной близости к подложке (52) энергетически активируются для преобразования, причем продукты преобразования осаждают в твердой и не летучей форме на подложке (52).2. Способ по п.1, при котором в качестве веществ-предшественников (50) применяют органические, неорганические, диэлектрические или металлорганические мономеры, олигомеры и/или полимеры.3. Способ по п.1, при котором для энергетического активирования веществ-предшественников (50) предусмотренные ионный, фотонный или электронный лучи направляют относительно подложки (52) горизонтально или трехмерно в зависимости от заданной предполагаемой геометрии осажденного материала (56).4. Способ по п.1, при котором температуру подложки (52) и/или температуру источника веществ-предшественников регулируют во время осаждения в зависимости от конкретного давления пара веществ-предшественников (50) в зоне осаждения (54).5. Способ по п.1, при котором параметры, такие как вид, масса и/или состав веществ-предшественников (50), давление газа в зоне осаждения (54), интенсивность локального приложения энергии, продолжительность облуче�

Claims (16)

1. Способ получения электрохимического сенсора (1) с детекторной зоной (10), электрическая проводимость которой (σ) устанавливается посредством туннельных, ионизационных, или прыжковых процессов, и в которой устанавливается электрохимическое взаимодействие с определяемым заданным веществом; при котором детекторную зону (10) получают путем локального приложения энергии, предпочтительно путем индуцированного электронным лучом осаждения, при котором находящиеся в газообразной форме вещества-предшественники (50), присутствующие в зоне осаждения (54) в непосредственной близости к подложке (52) энергетически активируются для преобразования, причем продукты преобразования осаждают в твердой и не летучей форме на подложке (52).
2. Способ по п.1, при котором в качестве веществ-предшественников (50) применяют органические, неорганические, диэлектрические или металлорганические мономеры, олигомеры и/или полимеры.
3. Способ по п.1, при котором для энергетического активирования веществ-предшественников (50) предусмотренные ионный, фотонный или электронный лучи направляют относительно подложки (52) горизонтально или трехмерно в зависимости от заданной предполагаемой геометрии осажденного материала (56).
4. Способ по п.1, при котором температуру подложки (52) и/или температуру источника веществ-предшественников регулируют во время осаждения в зависимости от конкретного давления пара веществ-предшественников (50) в зоне осаждения (54).
5. Способ по п.1, при котором параметры, такие как вид, масса и/или состав веществ-предшественников (50), давление газа в зоне осаждения (54), интенсивность локального приложения энергии, продолжительность облучения, его фокусная величина, материал подложки и/или температура подложки устанавливают в зоне осаждения так, чтобы детекторная зона (10) имела заданную электрическую проводимость.
6. Электрохимический сенсор (1), который получен способом по любому из п.п.1-5.
7. Электрохимический сенсор (1) по п.6, в котором зависимость электрической проводимости (σ) детекторной зоны (10) от температуры (T) представлена способом аппроксимации в виде отношения ln σ ~ Тγ, причем характеристическая экспонента (γ) имеет значение от 0 до 1, предпочтительно значение близкое к 0,25, значение близкое к 0,5 или значение близкое к 1.
8. Электрохимический сенсор (1) по п.6 или 7, в котором детекторная зона (10) образована из встроенных в матрицу (12) наночастиц (14), которые имеют более высокую электрическую проводимость по сравнению с материалом матрицы.
9. Электрохимический сенсор (1) по п.8, в котором наночастицы (14) являются металлическими.
10. Электрохимический сенсор (1) по п.9, в котором металлические наночастицы (14) представляют собой наночастицы из химически стабильных материалов, предпочтительно из Au или Pt.
11. Электрохимический сенсор (1) по п.8, в котором матрица (12) образована из полимерного материала, преимущественно из органических или неорганических структурных элементов, на основе соединений углерода, соединений углерода и кислорода, соединений водорода, из соединений фтора и/или из металлосодержащих структурных элементов.
12. Электрохимический сенсор (1) по п.8, в котором матрица (12) образована из органических, неорганических или диэлектрических материалов.
13. Электрохимический сенсор (1) по п.8, в котором материал, образующий матрицу (12), и/или материал, образующий наночастицу (14) выбирают с учетом ожидаемого взаимодействия с предусмотренным заданным веществом.
14. Электрохимический сенсор (1) по п.8, в котором наночастицы (14) имеют средний размер частиц до 100 нм, предпочтительно до 10 нм, особенно предпочтительно до 1 нм.
15. Электрохимический сенсор (1) по п.6, в котором детекторная зона (10) представляет собой покрытие, нанесенное на несущее тело (16).
16. Электрохимический сенсор (1) по п.15, в котором на общем несущем теле (16) расположено большое количество детекторных зон (10), отличных друг от друга по материалу матрицы (12) и/или материалу наночастиц (14) и/или размеру и/или плотности наночастиц (14).
RU2011120331/28A 2008-10-22 2009-10-22 Электрохимический сенсор и способ его получения RU2502992C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200810052645 DE102008052645A1 (de) 2008-10-22 2008-10-22 Elektrochemischer Sensor und Verfahren zu dessen Herstellung
DE102008052645.2 2008-10-22
PCT/EP2009/007563 WO2010046105A2 (de) 2008-10-22 2009-10-22 Elektrochemischer sensor und verfahren zu dessen herstellung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2011120331A true RU2011120331A (ru) 2012-11-27
RU2502992C2 RU2502992C2 (ru) 2013-12-27

Family

ID=41718239

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2011120331/28A RU2502992C2 (ru) 2008-10-22 2009-10-22 Электрохимический сенсор и способ его получения

Country Status (8)

Country Link
US (1) US8907677B2 (ru)
EP (1) EP2344868A2 (ru)
JP (1) JP5369186B2 (ru)
CN (1) CN102257381A (ru)
CA (1) CA2777603A1 (ru)
DE (1) DE102008052645A1 (ru)
RU (1) RU2502992C2 (ru)
WO (1) WO2010046105A2 (ru)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB201207583D0 (en) * 2012-05-01 2012-06-13 Isis Innovation Electrochemical detection method and related aspects
US9857498B2 (en) * 2014-06-05 2018-01-02 Baker Hughes Incorporated Devices and methods for detecting chemicals
MD4495C1 (ru) * 2016-09-09 2018-01-31 Николай АБАБИЙ Сенсор этанола на основе оксида меди
US10145009B2 (en) 2017-01-26 2018-12-04 Asm Ip Holding B.V. Vapor deposition of thin films comprising gold
DE102018203842A1 (de) * 2018-03-14 2019-09-19 Robert Bosch Gmbh Sensortag zur Detektion von Feinstaubpartikeln und Staubmaske

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4674320A (en) 1985-09-30 1987-06-23 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Chemoresistive gas sensor
US4900405A (en) * 1987-07-15 1990-02-13 Sri International Surface type microelectronic gas and vapor sensor
US6344271B1 (en) * 1998-11-06 2002-02-05 Nanoenergy Corporation Materials and products using nanostructured non-stoichiometric substances
DE19713719C2 (de) * 1997-04-03 2002-11-14 Kuehn Hans R Sensor zur Messung physikalischer und / oder chemischer Größen und Verfahren zur Herstellung eines Sensors
DE69922776T2 (de) * 1999-01-21 2005-12-08 Sony International (Europe) Gmbh Nanoteilchenstruktur zur Anwendung in einer elektronischen Anordnung, insbesondere in einem chemischen Sensor
JP4137317B2 (ja) * 1999-10-07 2008-08-20 独立行政法人科学技術振興機構 微小立体構造物、その製造方法及びその製造装置
EP1278061B1 (en) * 2001-07-19 2011-02-09 Sony Deutschland GmbH Chemical sensors from nanoparticle/dendrimer composite materials
US6881582B2 (en) * 2001-11-08 2005-04-19 Council Of Scientific And Industrial Research Thin film ethanol sensor and a process for the preparation
JP2004244649A (ja) * 2003-02-10 2004-09-02 National Institute For Materials Science 2次元又は3次元ナノ構造物の作製方法
US20060003097A1 (en) 2003-08-06 2006-01-05 Andres Ronald P Fabrication of nanoparticle arrays
JP2006005110A (ja) * 2004-06-17 2006-01-05 National Institute For Materials Science 微細構造の作製方法及び作製装置
JP2006123150A (ja) * 2004-11-01 2006-05-18 National Institute For Materials Science 電子ビーム誘起蒸着法を用いたナノ構造作成制御方法
JP5205062B2 (ja) * 2005-02-10 2013-06-05 イエダ リサーチ アンド デベロップメント カンパニー リミテッド 酸化還元活性構造体およびそれを利用するデバイス
EP1790977A1 (en) 2005-11-23 2007-05-30 SONY DEUTSCHLAND GmbH Nanoparticle/nanofiber based chemical sensor, arrays of such sensors, uses and method of fabrication thereof, and method of detecting an analyte
DE102006004922B4 (de) 2006-02-01 2008-04-30 Nanoscale Systems Nanoss Gmbh Miniaturisiertes Federelement und Verfahren zu dessen Herstellung, Balkensonde, Rasterkraftmikroskop sowie Verfahren zu dessen Betrieb
EP1975605B1 (en) * 2007-03-30 2009-05-13 Sony Deutschland Gmbh A method of altering the sensitivity and/or selectivity of a chemiresistor sensor array
WO2009066293A1 (en) 2007-11-20 2009-05-28 Technion Research And Development Foundation Ltd. Chemical sensors based on cubic nanoparticles capped with an organic coating
EP2175265A1 (en) * 2008-10-08 2010-04-14 IEE International Electronics & Engineering S.A.R.L. Hydrogen sensor and production method thereof

Also Published As

Publication number Publication date
JP2012506543A (ja) 2012-03-15
WO2010046105A2 (de) 2010-04-29
CN102257381A (zh) 2011-11-23
WO2010046105A3 (de) 2010-06-24
JP5369186B2 (ja) 2013-12-18
EP2344868A2 (de) 2011-07-20
CA2777603A1 (en) 2010-04-29
DE102008052645A1 (de) 2010-05-06
US8907677B2 (en) 2014-12-09
US20120019258A1 (en) 2012-01-26
RU2502992C2 (ru) 2013-12-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Kecsenovity et al. Decoration of ultra-long carbon nanotubes with Cu 2 O nanocrystals: a hybrid platform for enhanced photoelectrochemical CO 2 reduction
Zhang et al. Microwave-assisted self-doping of TiO2 photonic crystals for efficient photoelectrochemical water splitting
RU2008135359A (ru) Миниатюризованный пружинный элемент и способ его изготовления
Yan et al. Plasma hydrogenated TiO2/nickel foam as an efficient bifunctional electrocatalyst for overall water splitting
Sun et al. Structure defects promoted exciton dissociation and carrier separation for enhancing photocatalytic hydrogen evolution
RU2011120331A (ru) Электрохимический сенсор и способ его получения
Capilli et al. Synthesis, characterization and photocatalytic performance of p-type carbon nitride
Wei et al. Enhanced photocatalytic activity of porous α-Fe2O3 films prepared by rapid thermal oxidation
Pawar et al. In situ reduction and exfoliation of gC 3 N 4 nanosheets with copious active sites via a thermal approach for effective water splitting
Choi et al. An in-situ spectroscopic study on the photochemical CO2 reduction on CsPbBr3 perovskite catalysts embedded in a porous copper scaffold
Oh et al. Structural insights into photocatalytic performance of carbon nitrides for degradation of organic pollutants
Datcu et al. One-step preparation of nitrogen doped titanium oxide/Au/reduced graphene oxide composite thin films for photocatalytic applications
Latthe et al. High energy electron beam irradiated TiO 2 photoanodes for improved water splitting
Semenistaya et al. Study of the properties of nanocomposite cobalt-containing IR-pyrolyzed polyacrylonitrile films
Jin et al. N, S-codoped carbon dots with red fluorescence and their cellular imaging
Brito et al. g-C3N4 and others: predicting new nanoporous carbon nitride planar structures with distinct electronic properties
Kadam et al. Improvement of ammonia sensing properties of poly (pyrrole)–poly (n-methylpyrrole) composite by ion irradiation
Hsieh et al. Microwave synthesis of boron-and nitrogen-codoped graphene quantum dots and their detection to pesticides and metal ions
Loka et al. Dewetted silver nanoparticle-dispersed WO3 heterojunction nanostructures on glass fibers for efficient visible-light-active photocatalysis by magnetron sputtering
Huang et al. Insight into the real efficacy of graphene for enhancing photocatalytic efficiency: a case study on CVD graphene-TiO2 composites
Jang et al. Polypyrrole film synthesis via solution plasma polymerization of liquid pyrrole
Kim et al. Fabrication of iridium oxide nanoparticles supported on activated carbon powder by flashlight irradiation for oxygen evolutions
Praus et al. Synthesis of vacant graphitic carbon nitride in argon atmosphere and its utilization for photocatalytic hydrogen generation
Bjelajac et al. Absorption boost of TiO2 nanotubes by doping with N and sensitization with CdS quantum dots
JP2012506543A5 (ru)