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Die
Erfindung betrifft eine Transporteinrichtung für langgestreckte
Substrate, die zum Transport der Substrate innerhalb einer Vakuumprozessanlage oder
durch eine Vakuumprozessanlage, insbesondere für Prozesse,
die unter hohen Temperaturen ablaufen, geeignet ist.
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Zum
Transport der Substrate innerhalb der Vakuumprozessanlage oder/und
durch die Vakuumprozessanlage hindurch sind Transporteinrichtungen bekannt,
die einen im wesentlichen rechteckigen Rahmen umfassen. Solche rahmenförmigen
Transporteinrichtungen, wie sie beispielsweise in der Patentanmeldung
DE 10 2007 052 524 beschrieben sind,
finden insbesondere für den Transport plattenförmiger
Substrate durch sogenannte Durchlauf-Vakuumprozessanlagen Verwendung.
Für langgestreckte Substrate ist eine rahmenförmige
Transporteinrichtung beispielsweise aus der Patentanmeldung
DE 10 2007 048 758 bekannt.
Bei sogenannten Batch-Vakuumprozessanlagen hingegen werden auch
Transporteinrichtungen verwendet, die einen im wesentlichen zylindrischen
Rahmen umfassen, an dem die Substrate befestigt werden können.
Diese oft auch als Drehkorb bezeichnete Transporteinrichtung wird
innerhalb der Vakuumprozessanlage drehbar gelagert, um alle Substrate
an der oder den Beschichtungsquellen vorbeizubewegen.
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Es
hat sich gezeigt, dass die bekannten Transporteinrichtun gen für
verschiedene Verwendungszecke nur eingeschränkt einsetzbar
sind. So sind die bekannten, üblicherweise aus starr miteinander
verbundenen Stahlstäben gefertigten Transporteinrichtungen
insbesondere bei Prozessen, die unter sehr hohen Temperaturen, beispielsweise
im Bereich von 400 bis 800°C stattfinden, nur sehr eingeschränkt
oder gar nicht verwendbar. Weiterhin wird eine Transporteinrichtung
benötigt, bei der die Substrate, beispielsweise Glasrohre,
drehbar gelagert werden können. Auch hier besteht für
bestimmte Prozesse die Anforderung, dass die Lagerung sehr hohen Temperaturen
standhalten muss, ohne Schmierung auskommt und bei sehr langer Lebensdauer
wartungsfrei ist.
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Daher
besteht eine Aufgabe der Erfindung darin, zur Lösung der
oben beschriebenen Probleme verbesserte Transporteinrichtungen vorzuschlagen. Diese
Aufgabe wird durch eine Transporteinrichtung mit den Merkmalen des
unabhängigen Anspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte
Ausgestaltungen und Weiterbildungen sind in den abhängigen
Ansprüchen beschrieben.
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Die
Rahmenstruktur weist zur Lagerung der Substrate üblicherweise
Halteelemente (beispielsweise sogenannte Inserts) auf. Die Halteelemente können
drehbar gelagert sein. Dadurch wird es möglich, die Substrate,
beispielsweise langgestreckte Substrate wie Glasrohre und dergleichen,
für eine gleichmäßige, allseitige Beschichtung
während des Vorbeitransports an einer Beschichtungsquelle
um die eigene Achse zu drehen. Die Halteelemente können
beispielsweise in zwei Gruppen an gegenüberliegenden Seiten
der Rahmenstruktur drehbar so gelagert sein, dass je zwei gegenüberliegend
angeordnete Halteelemente mit den beiden Enden eines Substrats verbindbar
sind. Die Substrate werden zwischen je zwei Halteelementen im Rahmen
angeordnet und sind durch die drehbare Lagerung der beiden Halteelemente
an gegenüberliegenden Seiten des Rahmens ebenfalls drehbar
gelagert. Auf diese Weise können beispielsweise rohrförmige
Substrate einfach und wartungsfrei in der Rahmenstruktur drehbar gelagert
werden.
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Es
kann weiter vorgesehen sein, dass die Halteelemente min destens einer
der beiden Gruppen zum Antrieb durch eine dafür vorgesehene
Antriebseinrichtung ausgebildet sind. Beispielsweise können die
nach außen weisenden Enden der Halteelemente als Reibräder,
Zahnräder usw. ausgeführt sein, die durch eine
zur Vakuumprozessanlage gehörige Antriebseinrichtung antreibbar
sind, um die Substrate in Rotation um die eigene Achse zu versetzen.
Zum Antrieb eines am äußeren Ende als Reibrad
ausgebildeten Halteelements kann die Antriebseinrichtung beispielsweise
einen Endlosförderer mit einem um mindestens zwei Umlenkrollen
geführten Zugmittels, beispielsweise eines Edelstahlseils,
umfassen, der im Betrieb der Anlage mit dem Ende der Halteelemente durch
Reibschluss in Wirkverbindung tritt. Insbesondere, aber nicht nur
bei in senkrechter Lage durch die Vakuumprozessanlage transportierten,
rechteckigen Rahmenstrukturen kann es ausreichend sein vorzusehen,
dass eine der beiden Gruppen von Halteelementen antreibbar ist.
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Die
Rahmenstruktur kann beispielsweise von miteinander verbundenen Längs-
und Querholmen gebildet sein, wobei sich die Angaben „längs" und „quer"
auf die Bewegungsrichtung der Substrate innerhalb der Vakuumprozessanlage
beziehen. Dementsprechend ist ein Längsholm ein Rahmenelement,
das parallel zur Transportrichtung ausgerichtet ist, während
ein Querholm senkrecht dazu angeordnet ist. Bei einer rechteckigen
Rahmenstruktur können demgemäß die Längs-
und Querholme beispielsweise im wesentlichen gerade Stäbe
sein. Die Formulierung „im wesentlichen gerade" ist dabei
so zu verstehen, dass die Längs- und Querholme dennoch konstruktionsbedingte
Ausbuchtungen oder andere Konturabweichungen aufweisen können.
Ist die Transporteinrichtung zur Aufnahme langgestreckter Substrate,
wie beispielsweise Glasrohre, ausgebildet, so sind diese vorteilhaft
parallel zu den Querholmen angeordnet, so dass die Substrate während
des Transports innerhalb der Vakuumprozessanlage oder durch die
Vakuumprozessanlage um ihre eigene Achse gedreht werden können,
wobei die Antriebseinrichtung für den Transport der Substrate
gleichzeitig für deren Rotation genutzt werden kann. Bei
einer zy lindrischen Transporteinrichtung können die Längsholme
im wesentlichen kreisförmig sein und die Querholme sich
zwischen diesen Längsholmen erstrecken. Die Formulierung „im
wesentlichen kreisförmig" ist dabei analog zu der obigen
Erläuterung zu verstehen. Langgestreckte Substrate können
an einem derartigen Drehkorb parallel zu den Querholmen fest oder
drehbar angebracht werden, d. h. die Bewegungsbahn der Substrate
entspricht der Form der Längsholme, wobei diese während
der Rotation des Drehkorbs zusätzlich in Rotation um ihre
eigene Achse versetzt werden können, wenn die Halteelemente
drehbar gelagert sind.
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Die
Halteelemente können beispielsweise als rotationssymmetrische
Bauteile ausgeführt sein, deren eines Ende konisch ausgeführt
ist, um in das Ende eines rohrförmigen Substrats eingreifen
zu können (sogenannte Inserts). Das Material für
die Inserts kann beispielsweise technische Keramik sein. Halteelemente
aus Keramik halten hohen Temperaturen stand und können
auf einfachste Weise in der Rahmenstruktur gelagert werden, benötigen
keine Schmierung und keine Wartung und zeichnen sich durch eine
lange Lebensdauer aus.
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Die
Halteelemente können beispielsweise in dafür vorgesehenen Öffnungen
oder Bohrungen von Längsholmen des Rahmens gelagert sein.
Bei einem rotationssymmetrischen Halteelement der oben beschriebenen
Art kann dieses in einem mittleren Bereich ohne weitere Lagereinrichtungen
in einem oder mehreren Längsholmen gelagert sein, das heißt
der mittlere Bereich des Halteelements und die Öffnung des
Längsholms oder der Längsholme bilden das Lager
des Halteelements im Rahmen. Falls beispielsweise an jeder Seite
des Rahmens zwei parallel angeordnete Längsholme vorgesehen
sind, die je eine Öffnung für jedes Halteelement
aufweisen, wird eine besonders stabile Lagerung des Halteelements
erzielt, da ein Kippen des Halteelements durch die gleichzeitige
Lagerung in zwei Längsholmen wirksam verhindert wird.
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Insbesondere
in dem Fall, dass die Substrate während des Beschichtungsvorgangs
um ihre eigene Achse gedreht werden sollen, ist es sinnvoll, die Transporteinrichtung
in der Vakuumprozessanlage so anzuordnen, dass die Längsholme
der Transporteinrichtung parallel zur Transportrichtung der Substrate
angeordnet sind.
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Es
hat sich gezeigt, dass bei Transporteinrichtungen der oben beschriebenen
Art Probleme dadurch entstehen können, dass bestimmte Beschichtungsprozesse
bei sehr hohen Temperaturen stattfinden. In diesem Fall können
die Längsträger das Rahmens unterschiedlichen
Wärmebelastungen ausgesetzt sein, wodurch sich die Längsträger
des Rahmens unterschiedlich stark ausdehnen. Die unterschiedliche
Längenänderung mehrerer Längsträger führt
jedoch dazu, dass der Rahmen verformt wird, sobald mehr als zwei
Längsträger vorhanden sind.
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Wenn
der Rahmen beispielsweise an jeder Seite zwei parallel angeordnete
Längsholme aufweist und die Transporteinrichtung innerhalb
der Vakuumprozessanlage so angeordnet ist, dass die Längsholme
parallel zur Transportrichtung der Substrate verlaufen, so befinden
sich die beiden äußersten Längsholme
näher an einer der in vielen Fällen gekühlten
Kammerwände der Vakuumprozessanlage als die beiden anderen
Längsholme. Jedenfalls sind die beiden inneren Längsholme
wesentlich dichter an den Wärmequellen des Beschichtungsprozesses – beispielsweise
Heizeinrichtungen, thermischen Verdampfern, Sputterquellen und so
weiter – angeordnet als die äußeren Längsholme
und werden dadurch auch stärker aufgeheizt als diese. In
einem exemplarischen Beschichtungsverfahren wurde beispielsweise
ermittelt, dass bei einer Prozesstemperatur von circa 600°C
die inneren Längsholme bis auf Temperaturen von circa 400°C,
die äußeren Längsholme hingegen nur auf
circa 100°C aufgeheizt wurden. Abhängig von den
konkreten Beschichtungsprozessen und der Ausgestaltung der Vakuumprozessanlage sind
sogar noch höhere Temperaturdifferenzen zwischen den inneren
und den äußeren Längsträgern möglich.
Es ist leicht einsehbar, dass derartig große Temperaturdifferenzen – im
vorliegenden Beispiel etwa 300 K – entsprechend große
Unterschiede in der Längendehnung der äußeren
und der inneren Längsträger hervorrufen, die jedoch
durch die an den Enden der Längsträger befestigten
Querträger behindert sind. Durch diese Dehnungsbehinderung
werden Verformungen des gesamten Rahmens hervorgerufen, die bis
zur völligen Unbrauchbarkeit des Rahmens führen
können.
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Es
wird eine Transporteinrichtung zum Transport langgestreckter Substrate
durch eine Vakuumprozessanlage vorgeschlagen, die einen im wesentlichen
rechteckigen Rahmen umfasst, der von miteinander verbundenen Quer-
und Längsholmen gebildet ist, wobei zwischen zwei Querholmen
mindestens drei Längsholme vorgesehen sind. Beispielsweise
können an mindestens einer Seite des Rahmens zwei Längsholme
vorgesehen sein, die weiter beispielhaft mit einem Abstand zueinander
parallel angeordnet sein können. In einer Ausgestaltung können
insgesamt vier Längsholme vorgesehen sein, die jeweils
paarweise mit je einem Ende beider Querholme verbunden sind.
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Um
unterschiedliche Längendehnungen zu ermöglichen,
ohne dass sich der Rahmen verformt, wird vorgeschlagen, dass mindestens
ein Längsholm aus einem Material gefertigt ist, dessen
Wärmeausdehnungskoeffizient sich vom Wärmeausdehnungskoeffizienten
des Materials der anderen Längsholme unterscheidet. Zweckmäßig
wird dabei das Material des mindestens einen Längsholms
so ausgewählt, dass sich bei unterschiedlicher Erwärmung
verschiedener Längsholme aufgrund der unterschiedlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten
der verwendeten Materialien eine möglichst gleichmäßige
Wärmedehnung aller Längsholme ergibt. Dieses Ziel
wird um so besser erreicht, je genauer die im Betrieb der Transporteinrichtung
in der Vakuumprozessanlage erreichten Temperaturen oder zumindest
der Temperaturdifferenzen zwischen den einzelnen Längsholme
abgeschätzt oder ermittelt werden können. Beispielsweise kann
für einen Längsholm, der einer relativ geringen Temperatur
ausgesetzt ist, ein Material gewählt werden, dessen Wärmeausdehnungskoeffizient
größer ist als der Wärmeausdehnungskoeffizient
eines anderen Längsholms, der einer relativ hohen Temperatur
ausgesetzt ist. Eine andere Herangehensweise besteht darin, für
einen Längsholm, der einer relativ hohen Temperatur ausgesetzt
ist, ein Material zu wählen, dessen Wärmeausdehnungskoeffizient
kleiner ist als der Wärmeausdehnungskoeffizient eines anderen
Längsholms, der einer relativ geringen Temperatur ausgesetzt
ist. In beiden Fällen ist die Differenz zwischen den durch
die unterschiedliche Erwärmung der Längsholme
verursachten Längenänderungen beider Längsholme
geringer als bei unterschiedlich stark erwärmten Längsholmen,
die aus demselben Material gefertigt sind.
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Als
alternativer Lösungsansatz oder zusätzliche Maßnahme
wird vorgeschlagen, dass mindestens ein Längsholm mit mindestens
einem Querholm kraftfrei verbunden ist. Unter einer kraftfreien
Verbindung in diesem Sinne soll eine Verbindung verstanden werden,
die die Lage des Längsholms entlang der Querachse des Querholms
festlegt, jedoch eine Längenänderung des Längsholms
ermöglicht, ohne dass auf den Querholm eine Längskraft
wirkt. Eine derartige kraftfreie Verbindung kann beispielsweise dadurch
erreicht werden, dass mindestens ein Ende eines Längsholms
in einer dafür vorgesehene Aussparung eines Querholms eingesetzt
ist. Eine andere Möglichkeit besteht darin, mindestens
ein Ende eines Längsholms durch eine Schraubverbindung
mit einem Querholm zu verbinden, wobei die Schraube an mindestens
einem der beiden Fügepartner in ein Langloch eingesetzt
ist, dessen Querachse in der Richtung der Wärmedehnung
orientiert ist. Zweckmäßig ist dabei die Schraube
so gefestigt, dass sie keine oder nur eine sehr geringe Klemmkraft
auf die beiden Fügepartner ausübt. Es versteht
sich, dass die Schraube mit gleichem Effekt durch andere Befestigungsmittel,
beispielsweise Niete ersetzt werden kann. In gleicher Weise werden
andere Verbindungsarten, die die Entstehung einer Längskraft
auf den Querholm aufgrund einer Längenänderung
eines Längsholms unterbinden, als von der offenbarten technischen
Lehre umfasst angesehen.
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Ein
weiterer alternativer oder zusätzlicher Lösungsansatz
wird darin gesehen, dass mindestens ein Längsholm aus einem
offenen Profil gebildet ist. Unter einem offenen Profil in diesem
Sinne soll ein Profil verstanden werden, das – anders als
beispielsweise ein Rohr oder ein Rechteckhohlprofil – keine geschlossene
Außenwand aufweist. Beispiele für offene Profile
sind U-Profile (auch als C-Profile bezeichnet) und Abwandlungen
derartiger Profile. Es hat sich gezeigt, dass aus offenen Profilen
gefertigte Längsholme eine besonders homogene Temperaturverteilung über
ihren Längsschnitt aufweisen, und zwar insbesondere dann,
wenn das Profil im Rahmen so angeordnet wird, dass die offene Seite
der stärksten Wärmequelle zugewandt ist. Dadurch
wird die Neigung eines Längsholms zu knicken verringert, dessen
Wärmedehnung behindert ist.
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Nachfolgend
wird eine beispielhafte Ausführungsform der beschriebenen
Transporteinrichtung anhand von Zeichnungen näher erläutert.
Dabei zeigen
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1 eine
Gesamtansicht der Transporteinrichtung,
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2 in
zwei Schnittdarstellungen eine kraftfreie Verbindung zwischen einem
Längsholm und einem Querholm,
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3 in
je zwei verschiedenen Ansichten die kraftfreie Verbindung aus 2 bei
unterschiedlichen Temperaturen,
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4 eine
beispielhafte Ausgestaltung eines äußeren Längsholms,
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5 eine
beispielhafte Ausgestaltung eines inneren Längsholms,
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1 zeigt
eine Gesamtansicht eines Ausführungsbeispiels der Transporteinrichtung,
die einen Rahmen umfasst, der aus zwei Querholmen 1 und vier
mit den Querholmen 1 verbundenen Längsholmen 5 gebildet
ist, wobei die äußeren Längsholme 5 mit
je einem Ende beider Querholme 1 verbunden sind und wobei
je ein innerer Längsholm 5 parallel und mit einem
Abstand zu dem jeweiligen äußeren Längsholm 5 angeordnet
ist. Jedes aus einem äußeren Längsholm 5 und
einem inneren Längsholm 5 gebildete Paar dient
gleichzeitig der Lagerung einer Gruppe von Halteelementen 2,
so dass zwei Gruppen von Halteelementen 2 einander gegenüberliegend
und jeweils individuell drehbar in dem Rahmen gelagert sind. Die
Halteelemente 2 erstrecken sich jeweils von dem äußeren
Längsholm 5 zum inneren Längsholm 5 und überragen
diesen. Die den inneren Längsholm 5 überragenden
Enden der Halteelemente 2 sind konisch ausgestaltet und
dienen der Aufnahme eines Endes eines rohrförmigen Substrats 4, so
dass sich die Substrate 4 parallel zu den Querholmen 1 in
dem von den Querholmen 1 und den inneren Längsholmen 5 umschlossenen
Bereich erstrecken.
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In 2 ist
ein Schnitt durch einen äußeren Längsholm 5 und
einen mit diesem Längsholm 5 kraftfrei verbundenen
Querholm 1 dargestellt. Der äußere Längsholm 5 umfasst
einen Lagerkamm 53 zur Lagerung der Halteelemente 2 sowie
eine Antriebsschiene 51, die der Bewegung der Transporteinrichtung
durch eine Vakuumprozessanlage dient. Die kraftfreie Verbindung
des äußeren Längsholms 5 mit
dem Querholm 1 ist durch eine Schraubverbindung realisiert.
Hierzu weist der Querholm 1 eine Öffnung 11 auf,
in die eine Schraube 13 eingesetzt ist. Am Boden der Öffnung 11 ist
ein Langloch 12 vorgesehen, dessen Querachse parallel zur
Querachse des äußeren Längsholms 5 verläuft
und durch die der Schaft der Schraube 13 hindurchragt,
so dass die Schraube 13 in eine dafür vorgesehene
Gewindebohrung 511 der Antriebsschiene 51 einschraubbar ist.
Der Schaft der Schraube 13 weist einen Absatz auf, der
die Einschraubtiefe der Schraube 13 in die Gewindebohrung 511 begrenzt
und dadurch verhindert, dass der äußere Längsholm 5 und
der Querholm 1 durch eine Klemmkraft aufeinander gepresst werden.
Um eine Relativverschiebung zwischen Querholm 1 und äußerem
Längsholm 5 in der durch das Langloch 12 vorgegebenen
Richtung zu erleichtern, sind unter dem Kopf der Schraube 13 eine
Unterlegscheibe 14 aus Molybdän und zwischen Querholm 1 und äußerem
Längsholm 5 eine Einlage 15 aus Molybdän
angeordnet, wodurch die Reibung zwischen den Fügepartnern
verringert wird. Die Halteelemente 2 weisen an ihren Enden
umlaufenden Nuten 21 auf, die mit einer Aufnahmeleiste 3 in
Wirkverbindung stehen, um die Halteelemente 2 zum Be- und
Entladen der Transporteinrichtung gleichzeitig in axialer Richtung
verschieben zu können.
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Die
Wirkungsweise der kraftfreien Verbindung zwischen Quer holm 1 und äußerem
Längsholm 5 ist in 3 dargestellt.
Die beiden oberen Zeichnungen zeigen in einer Ansicht der Transporteinrichtung
von der Aufnahmeleiste 3 her (linke Darstellung) und einer
Schnittdarstellung wie in 2 (rechte
Darstellung) den Zustand bei Normaltemperatur, das heißt
bei gleicher Länge aller zum Rahmen gehörigen
Längsholme 5. In gleicher Weise zeigen die beiden
unteren Zeichnungen den Zustand im Betrieb der Transporteinrichtung,
das heißt bei einer Temperaturdifferenz zwischen dem inneren
Längsholm 5 und dem äußeren
Längsholm 5 von circa 300 K. Wie aus dem Vergleich
der oberen Darstellungen mit den unteren Darstellungen ersichtlich
wird, schließt das Ende der Antriebsschiene 51 bei
Normaltemperatur mit der Außenseite des Querholms 1 bündig
ab und die Schraube 13 befindet sich bezogen auf das Langloch 12 in
einer äußeren Position. Demgegenüber
hat die größere Wärmedehnung des inneren
Längsholms 5 gegenüber dem äußeren
Längsholm 5 in den unteren Darstellungen dazu
geführt, dass der Querholm 1 auswärts
geschoben wurde, wodurch die Außenseite des Querholms 1 das
Ende der Antriebsschiene 51 um circa 3 mm überragt.
Jetzt befindet sich die Schraube 13 bezogen auf das Langloch 12 in
einer inneren Position.
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4 zeigt
in einer perspektivischen Ansicht die Gestaltung des äußeren
Längsholms 5 im Ausführungsbeispiel sowie
im Detaildarstellungen zwei verschiedene Kammelemente des Lagerkamms 53. Aus
der perspektivischen Darstellung wird ersichtlich, dass der äußere
Längsholm 5 neben der in dieser Darstellung nicht
sichtbaren Antriebsschiene 51 und dem bereits in der Beschreibung
zu 2 beschriebenen Lagerkamm 53 weiterhin
eine Trägerschiene 52 umfasst, die für
jedes Halteelement 2 eine Öffnung 521 aufweist.
Dabei korrespondieren die Öffnungen 521 der Trägerschiene 52 mit
den Einbuchtungen 532 des Lagerkamms 53. Im Ausführungsbeispiel
sind die Kammelemente 53 aus Keramik gefertigt und es gibt
zwei verschiedene Typen von Kammelementen 53, nämlich
ein Kammelement 53 für die Endbereiche des Längsholms 5 (untere
Darstellung) und ein Kammelement 53 für zwischen
den Endbe reichen liegende Bereiche des Längsholms 5 (obere Darstellung).
Wie aus den Detaildarstellungen ersichtlich ist, weisen die Kammelemente 53 Öffnungen 531 auf,
die dazu dienen, die Kammelemente 53 auf dafür
an der Trägerschiene 52 vorgesehene Stifte (in
der Darstellung verdeckt und daher nicht sichtbar) zu stecken, um
ihre Lage relativ zur Trägerschiene 52 zu festzulegen.
Die Fixierung der Kammelemente 53 erfolgt, wie aus der
perspektivischen Ansicht ersichtlich ist, durch eine davor angeordnete
Fixierschiene 54.
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In 5 ist
der Aufbau eines inneren Längsholms 5 in perspektivischer
Ansicht und einer Schnittdarstellung gezeigt. Der innere Längsholm 5 umfasst eine
Trägerschiene 52, die für jedes Halteelement 2 eine Öffnung 521 aufweist
und einen Lagerkamm 53 mit Einbuchtungen 532,
die mit den Öffnungen 521 der Trägerschiene 52 korrespondieren,
wobei der Lagerkamm 53 in analoger Weise wie beim äußeren Längsholm 5 auf
dafür an der Trägerschiene 52 vorgesehene
Stifte (in der Darstellung verdeckt und daher nicht sichtbar) gesteckt
und mit einer vor dem Lagerkamm 53 angeordneten Fixierschiene 54 fixiert ist.
Die Trägerschiene 52 des inneren Längsholms 5 ist
ein offenes Profil, das mit der offenen Seite zum inneren Bereich
des Rahmens weist, in dem die rohrförmigen Substrate angeordnet
werden. Aus dieser Richtung trifft die von den in der Vakuumprozessanlage
vorhandenen Wärmequellen ausgesendete Wärmeenergie
auf den inneren Längsholm 5. Im Ausführungsbeispiel
ist der offene Längsschnitt annähernd J-förmig,
das heißt er entspricht in etwa einem Rechteck, bei dem
eine Ecke und ein daran anschließender, relativ großer
Teil einer langen Seite entfernt wurde und die diagonal gegenüberliegende Ecke
abgerundet wurde.
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- 1
- Querholm
- 11
- Öffnung
- 12
- Langloch
- 13
- Schraube
- 14
- Unterlegscheibe
- 15
- Einlage
- 2
- Halteelement,
Insert
- 21
- Nut
- 3
- Aufnahmeleiste
- 4
- Substrat
- 5
- Längsholm
- 51
- Antriebsschiene
- 511
- Gewindebohrung
- 52
- Trägerschiene
- 521
- Öffnung
- 53
- Lagerkamm,
Kammelement
- 531
- Öffnung
- 532
- Einbuchtung
- 54
- Fixierschiene
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- - DE 102007052524 [0002]
- - DE 102007048758 [0002]