-
Die Erfindung betrifft eine Transporteinrichtung für langgestreckte Substrate, die zum Transport der Substrate innerhalb einer Vakuumprozessanlage oder durch eine Vakuumprozessanlage, insbesondere für Prozesse, die unter hohen Temperaturen ablaufen, geeignet ist.
-
Zum Transport der Substrate innerhalb der Vakuumprozessanlage oder/und durch die Vakuumprozessanlage hindurch sind Transporteinrichtungen bekannt, die einen im wesentlichen rechteckigen Rahmen umfassen. Solche rahmenförmigen Transporteinrichtungen, wie sie beispielsweise in der Patentanmeldung
DE 10 2007 052 524 A1 beschrieben sind, finden insbesondere für den Transport plattenförmiger Substrate durch sogenannte Durchlauf-Vakuumprozessanlagen Verwendung. Für langgestreckte Substrate ist eine rahmenförmige Transporteinrichtung beispielsweise aus der Patentanmeldung
DE 10 2007 048 758 A1 bekannt. Bei sogenannten Batch-Vakuumprozessanlagen hingegen werden auch Transporteinrichtungen verwendet, die einen im wesentlichen zylindrischen Rahmen umfassen, an dem die Substrate befestigt werden können. Diese oft auch als Drehkorb bezeichnete Transporteinrichtung wird innerhalb der Vakuumprozessanlage drehbar gelagert, um alle Substrate an der oder den Beschichtungsquellen vorbeizubewegen.
-
Es hat sich gezeigt, dass die bekannten Transporteinrichtungen für verschiedene Verwendungszwecke nur eingeschränkt einsetzbar sind. So sind die bekannten, üblicherweise aus starr miteinander verbundenen Stahlstäben gefertigten Transporteinrichtungen. insbesondere bei Prozessen, die unter sehr hohen Temperaturen, beispielsweise im Bereich von 400 bis 800°C stattfinden, nur sehr eingeschränkt oder gar nicht verwendbar. Weiterhin wird eine Transporteinrichtung benötigt, bei der die Substrate, beispielsweise Glasrohre, drehbar gelagert werden können. Auch hier besteht für bestimmte Prozesse die Anforderung, dass die Lagerung sehr hohen Temperaturen standhalten muss, ohne Schmierung auskommt und bei sehr langer Lebensdauer wartungsfrei ist.
-
Daher besteht eine Aufgabe der Erfindung darin, zur Lösung der oben beschriebenen Probleme verbesserte Transporteinrichtungen vorzuschlagen. Diese Aufgabe wird durch eine Transporteinrichtung mit den Merkmalen der unabhängigen Ansprüche 1–3 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen sind in den abhängigen Ansprüchen beschrieben.
-
Die Rahmenstruktur weist zur Lagerung der Substrate üblicherweise Halteelemente (beispielsweise sogenannte Inserts) auf. Die Halteelemente können drehbar gelagert sein. Dadurch wird es möglich, die Substrate, beispielsweise langgestreckte Substrate wie Glasrohre und dergleichen, für eine gleichmäßige, allseitige Beschichtung während des Vorbeitransports an einer Beschichtungsquelle um die eigene Achse zu drehen. Die Halteelemente können beispielsweise in zwei Gruppen an gegenüberliegenden Seiten der Rahmenstruktur drehbar so gelagert sein, dass je zwei gegenüberliegend angeordnete Halteelemente mit den beiden Enden eines Substrats verbindbar sind. Die Substrate werden zwischen je zwei Halteelementen im Rahmen angeordnet und sind durch die drehbare Lagerung der beiden Halteelemente an gegenüberliegenden Seiten des Rahmens ebenfalls drehbar gelagert. Auf diese Weise können beispielsweise rohrförmige Substrate einfach und wartungsfrei in der Rahmenstruktur drehbar gelagert werden.
-
Es kann weiter vorgesehen sein, dass die Halteelemente mindestens einer der beiden Gruppen zum Antrieb durch eine dafür vorgesehene Antriebseinrichtung ausgebildet sind. Beispielsweise können die nach außen weisenden Enden der Halteelemente als Reibräder, Zahnräder usw. ausgeführt sein, die durch eine zur Vakuumprozessanlage gehörige Antriebseinrichtung antreibbar sind, um die Substrate in Rotation um die eigene Achse zu versetzen. Zum Antrieb eines am äußeren Ende als Reibrad ausgebildeten Halteelements kann die Antriebseinrichtung beispielsweise einen Endlosförderer mit einem um mindestens zwei Umlenkrollen geführten Zugmittels, beispielsweise eines Edelstahlseils, umfassen, der im Betrieb der Anlage mit dem Ende der Halteelemente durch Reibschluss in Wirkverbindung tritt. Insbesondere, aber nicht nur bei in senkrechter Lage durch die Vakuumprozessanlage transportierten, rechteckigen Rahmenstrukturen kann es ausreichend sein vorzusehen, dass eine der beiden Gruppen von Halteelementen antreibbar ist.
-
Die Rahmenstruktur kann beispielsweise von miteinander verbundenen Längs- und Querholmen gebildet sein, wobei sich die Angaben „längs” und „quer” auf die Bewegungsrichtung der Substrate innerhalb der Vakuumprozessanlage beziehen. Dementsprechend ist ein Längsholm ein Rahmenelement, das parallel zur Transportrichtung ausgerichtet ist, während ein Querholm senkrecht dazu angeordnet ist. Bei einer rechteckigen Rahmenstruktur können demgemäß die Längs- und Querholme beispielsweise im wesentlichen gerade Stäbe sein. Die Formulierung „im wesentlichen gerade” ist dabei so zu verstehen, dass die Längs- und Querholme dennoch konstruktionsbedingte Ausbuchtungen oder andere Konturabweichungen aufweisen können. Ist die Transporteinrichtung zur Aufnahme langgestreckter Substrate, wie beispielsweise Glasrohre, ausgebildet, so sind diese vorteilhaft parallel zu den Querholmen angeordnet, so dass die Substrate während des Transports innerhalb der Vakuumprozessanlage oder durch die Vakuumprozessanlage um ihre eigene Achse gedreht werden können, wobei die Antriebseinrichtung für den Transport der Substrate gleichzeitig für deren Rotation genutzt werden kann. Bei einer zylindrischen Transporteinrichtung können die Längsholme im wesentlichen kreisförmig sein und die Querholme sich zwischen diesen Längsholmen erstrecken. Die Formulierung „im wesentlichen kreisförmig” ist dabei analog zu der obigen Erläuterung zu verstehen. Langgestreckte Substrate können an einem derartigen Drehkorb parallel zu den Querholmen fest oder drehbar angebracht werden, d. h. die Bewegungsbahn der Substrate entspricht der Form der Längsholme, wobei diese während der Rotation des Drehkorbs zusätzlich in Rotation um ihre eigene Achse versetzt werden können, wenn die Halteelemente drehbar gelagert sind.
-
Die Halteelemente können beispielsweise als rotationssymmetrische Bauteile ausgeführt sein, deren eines Ende konisch ausgeführt ist, um in das Ende eines rohrförmigen Substrats eingreifen zu können (sogenannte Inserts). Das Material für die Inserts kann beispielsweise technische Keramik sein. Halteelemente aus Keramik halten hohen Temperaturen stand und können auf einfachste Weise in der Rahmenstruktur gelagert werden, benötigen keine Schmierung und keine Wartung und zeichnen sich durch eine lange Lebensdauer aus.
-
Die Halteelemente können beispielsweise in dafür vorgesehenen Öffnungen oder Bohrungen von Längsholmen des Rahmens gelagert sein. Bei einem rotationssymmetrischen Halteelement der oben beschriebenen Art kann dieses in einem mittleren Bereich ohne weitere Lagereinrichtungen in einem oder mehreren Längsholmen gelagert sein, das heißt der mittlere Bereich des Halteelements und die Öffnung des Längsholms oder der Längsholme bilden das Lager des Halteelements im Rahmen. Falls beispielsweise an jeder Seite des Rahmens zwei parallel angeordnete Längsholme vorgesehen sind, die je eine Öffnung für jedes Halteelement aufweisen, wird eine besonders stabile Lagerung des Halteelements erzielt, da ein Kippen des Halteelements durch die gleichzeitige Lagerung in zwei Längsholmen wirksam verhindert wird.
-
Insbesondere in dem Fall, dass die Substrate während des Beschichtungsvorgangs um ihre eigene Achse gedreht werden sollen, ist es sinnvoll, die Transporteinrichtung in der Vakuumprozessanlage so anzuordnen, dass die Längsholme der Transporteinrichtung parallel zur Transportrichtung der Substrate angeordnet sind.
-
Es hat sich gezeigt, dass bei Transporteinrichtungen der oben beschriebenen Art Probleme dadurch entstehen können, dass bestimmte Beschichtungsprozesse bei sehr hohen Temperaturen stattfinden. In diesem Fall können die Längsträger das Rahmens unterschiedlichen Wärmebelastungen ausgesetzt sein, wodurch sich die Längsträger des Rahmens unterschiedlich stark ausdehnen. Die unterschiedliche Längenänderung mehrerer Längsträger führt jedoch dazu, dass der Rahmen verformt wird, sobald mehr als zwei Längsträger vorhanden sind.
-
Wenn der Rahmen beispielsweise an jeder Seite zwei parallel angeordnete Längsholme aufweist und die Transporteinrichtung innerhalb der Vakuumprozessanlage so angeordnet ist, dass die Längsholme parallel zur Transportrichtung der Substrate verlaufen, so befinden sich die beiden äußersten Längsholme näher an einer der in vielen Fällen gekühlten Kammerwände der Vakuumprozessanlage als die beiden anderen Längsholme. Jedenfalls sind die beiden inneren Längsholme wesentlich dichter an den Wärmequellen des Beschichtungsprozesses – beispielsweise Heizeinrichtungen, thermischen Verdampfern, Sputterquellen und so weiter – angeordnet als die äußeren Längsholme und werden dadurch auch stärker aufgeheizt als diese. In einem exemplarischen Beschichtungsverfahren wurde beispielsweise ermittelt, dass bei einer Prozesstemperatur von circa 600°C die inneren Längsholme bis auf Temperaturen von circa 400°C, die äußeren Längsholme hingegen nur auf circa 100°C aufgeheizt wurden. Abhängig von den konkreten Beschichtungsprozessen und der Ausgestaltung der Vakuumprozessanlage sind sogar noch höhere Temperaturdifferenzen zwischen den inneren und den äußeren Längsträgern möglich. Es ist leicht einsehbar, dass derartig große Temperaturdifferenzen – im vorliegenden Beispiel etwa 300 K – entsprechend große Unterschiede in der Längendehnung der äußeren und der inneren Längsträger hervorrufen, die jedoch durch die an den Enden der Längsträger befestigten Querträger behindert sind. Durch diese Dehnungsbehinderung werden Verformungen des gesamten Rahmens hervorgerufen, die bis zur völligen Unbrauchbarkeit des Rahmens führen können.
-
Es wird eine Transporteinrichtung zum Transport langgestreckter Substrate durch eine Vakuumprozessanlage vorgeschlagen, die einen im wesentlichen rechteckigen Rahmen umfasst, der von miteinander verbundenen Quer- und Längsholmen gebildet ist, wobei zwischen zwei Querholmen mindestens drei Längsholme vorgesehen sind. Beispielsweise können an mindestens einer Seite des Rahmens zwei Längsholme vorgesehen sein, die weiter beispielhaft mit einem Abstand zueinander parallel angeordnet sein können. In einer Ausgestaltung können insgesamt vier Längsholme vorgesehen sein, die jeweils paarweise mit je einem Ende beider Querholme verbunden sind.
-
Um unterschiedliche Längendehnungen zu ermöglichen, ohne dass sich der Rahmen verformt, wird vorgeschlagen, dass mindestens ein Längsholm aus einem Material gefertigt ist, dessen Wärmeausdehnungskoeffizient sich vom Wärmeausdehnungskoeffizienten des Materials der anderen Längsholme unterscheidet. Zweckmäßig wird dabei das Material des mindestens einen Längsholms so ausgewählt, dass sich bei unterschiedlicher Erwärmung verschiedener Längsholme aufgrund der unterschiedlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten der verwendeten Materialien eine möglichst gleichmäßige Wärmedehnung aller Längsholme ergibt. Dieses Ziel wird um so besser erreicht, je genauer die im Betrieb der Transporteinrichtung in der Vakuumprozessanlage erreichten Temperaturen oder zumindest der Temperaturdifferenzen zwischen den einzelnen Längsholme abgeschätzt oder ermittelt werden können. Beispielsweise kann für einen Längsholm, der einer relativ geringen Temperatur ausgesetzt ist, ein Material gewählt werden, dessen Wärmeausdehnungskoeffizient größer ist als der Wärmeausdehnungskoeffizient eines anderen Längsholms, der einer relativ hohen Temperatur ausgesetzt ist. Eine andere Herangehensweise besteht darin, für einen Längsholm, der einer relativ hohen Temperatur ausgesetzt ist, ein Material zu wählen, dessen Wärmeausdehnungskoeffizient kleiner ist als der Wärmeausdehnungskoeffizient eines anderen Längsholms, der einer relativ geringen Temperatur ausgesetzt ist. In beiden Fällen ist die Differenz zwischen den durch die unterschiedliche Erwärmung der Längsholme verursachten Längenänderungen beider Längsholme geringer als bei unterschiedlich stark erwärmten Längsholmen, die aus demselben Material gefertigt sind.
-
Als alternativer Lösungsansatz oder zusätzliche Maßnahme wird vorgeschlagen, dass mindestens ein Längsholm mit mindestens einem Querholm kraftfrei verbunden ist. Unter einer kraftfreien Verbindung in diesem Sinne soll eine Verbindung verstanden werden, die die Lage des Längsholms entlang der Querachse des Querholms festlegt, jedoch eine Längenänderung des Längsholms ermöglicht, ohne dass auf den Querholm eine Längskraft wirkt. Eine derartige kraftfreie Verbindung kann beispielsweise dadurch erreicht werden, dass mindestens ein Ende eines Längsholms in einer dafür vorgesehene Aussparung eines Querholms eingesetzt ist. Eine andere Möglichkeit besteht darin, mindestens ein Ende eines Längsholms durch eine Schraubverbindung mit einem Querholm zu verbinden, wobei die Schraube an mindestens einem der beiden Fügepartner in ein Langloch eingesetzt ist, dessen Querachse in der Richtung der Wärmedehnung orientiert ist. Zweckmäßig ist dabei die Schraube so gefestigt, dass sie keine oder nur eine sehr geringe Klemmkraft auf die beiden Fügepartner ausübt. Es versteht sich, dass die Schraube mit gleichem Effekt durch andere Befestigungsmittel, beispielsweise Niete ersetzt werden kann. In gleicher Weise werden andere Verbindungsarten, die die Entstehung einer Längskraft auf den Querholm aufgrund einer Längenänderung eines Längsholms unterbinden, als von der offenbarten technischen Lehre umfasst angesehen.
-
Ein weiterer alternativer oder zusätzlicher Lösungsansatz wird darin gesehen, dass mindestens ein Längsholm aus einem offenen Profil gebildet ist. Unter einem offenen Profil in diesem Sinne soll ein Profil verstanden werden, das – anders als beispielsweise ein Rohr oder ein Rechteckhohlprofil – keine geschlossene Außenwand aufweist. Beispiele für offene Profile sind U-Profile (auch als C-Profile bezeichnet) und Abwandlungen derartiger Profile. Es hat sich gezeigt, dass aus offenen Profilen gefertigte Längsholme eine besonders homogene Temperaturverteilung über ihren Längsschnitt aufweisen, und zwar insbesondere dann, wenn das Profil im Rahmen so angeordnet wird, dass die offene Seite der stärksten Wärmequelle zugewandt ist. Dadurch wird die Neigung eines Längsholms zu knicken verringert, dessen Wärmedehnung behindert ist.
-
Nachfolgend wird eine beispielhafte Ausführungsform der beschriebenen Transporteinrichtung anhand von Zeichnungen näher erläutert. Dabei zeigen
-
1 eine Gesamtansicht der Transporteinrichtung,
-
2 in zwei Schnittdarstellungen eine kraftfreie Verbindung zwischen einem Längsholm und einem Querholm,
-
3 in je zwei verschiedenen Ansichten die kraftfreie Verbindung aus 2 bei unterschiedlichen Temperaturen,
-
4 eine beispielhafte Ausgestaltung eines äußeren Längsholms,
-
5 eine beispielhafte Ausgestaltung eines inneren Längsholms,
-
1 zeigt eine Gesamtansicht eines Ausführungsbeispiels der Transporteinrichtung, die einen Rahmen umfasst, der aus zwei Querholmen 1 und vier mit den Querholmen 1 verbundenen Längsholmen 5 gebildet ist, wobei die äußeren Längsholme 5 mit je einem Ende beider Querholme 1 verbunden sind und wobei je ein innerer Längsholm 5 parallel und mit einem Abstand zu dem jeweiligen äußeren Längsholm 5 angeordnet ist. Jedes aus einem äußeren Längsholm 5 und einem inneren Längsholm 5 gebildete Paar dient gleichzeitig der Lagerung einer Gruppe von Halteelementen 2, so dass zwei Gruppen von Halteelementen 2 einander gegenüberliegend und jeweils individuell drehbar in dem Rahmen gelagert sind. Die Halteelemente 2 erstrecken sich jeweils von dem äußeren Längsholm 5 zum inneren Längsholm 5 und überragen diesen. Die den inneren Längsholm 5 überragenden Enden der Halteelemente 2 sind konisch ausgestaltet und dienen der Aufnahme eines Endes eines rohrförmigen Substrats 4, so dass sich die Substrate 4 parallel zu den Querholmen 1 in dem von den Querholmen 1 und den inneren Längsholmen 5 umschlossenen Bereich erstrecken.
-
In 2 ist ein Schnitt durch einen äußeren Längsholm 5 und einen mit diesem Längsholm 5 kraftfrei verbundenen Querholm 1 dargestellt. Der äußere Längsholm 5 umfasst einen Lagerkamm 53 zur Lagerung der Halteelemente 2 sowie eine Antriebsschiene 51, die der Bewegung der Transporteinrichtung durch eine Vakuumprozessanlage dient. Die kraftfreie Verbindung des äußeren Längsholms 5 mit dem Querholm 1 ist durch eine Schraubverbindung realisiert. Hierzu weist der Querholm 1 eine Öffnung 11 auf, in die eine Schraube 13 eingesetzt ist. Am Boden der Öffnung 11 ist ein Langloch 12 vorgesehen, dessen Querachse parallel zur Querachse des äußeren Längsholms 5 verläuft und durch die der Schaft der Schraube 13 hindurchragt, so dass die Schraube 13 in eine dafür vorgesehene Gewindebohrung 511 der Antriebsschiene 51 einschraubbar ist. Der Schaft der Schraube 13 weist einen Absatz auf, der die Einschraubtiefe der Schraube 13 in die Gewindebohrung 511 begrenzt und dadurch verhindert, dass der äußere Längsholm 5 und der Querholm 1 durch eine Klemmkraft aufeinander gepresst werden. Um eine Relativverschiebung zwischen Querholm 1 und äußerem Längsholm 5 in der durch das Langloch 12 vorgegebenen Richtung zu erleichtern, sind unter dem Kopf der Schraube 13 eine Unterlegscheibe 14 aus Molybdän und zwischen Querholm 1 und äußerem Längsholm 5 eine Einlage 15 aus Molybdän angeordnet, wodurch die Reibung zwischen den Fügepartnern verringert wird. Die Halteelemente 2 weisen an ihren Enden umlaufenden Nuten 21 auf, die mit einer Aufnahmeleiste 3 in Wirkverbindung stehen, um die Halteelemente 2 zum Be- und Entladen der Transporteinrichtung gleichzeitig in axialer Richtung verschieben zu können.
-
Die Wirkungsweise der kraftfreien Verbindung zwischen Querholm 1 und äußerem Längsholm 5 ist in 3 dargestellt. Die beiden oberen Zeichnungen zeigen in einer Ansicht der Transporteinrichtung von der Aufnahmeleiste 3 her (linke Darstellung) und einer Schnittdarstellung wie in 2 (rechte Darstellung) den Zustand bei Normaltemperatur, das heißt bei gleicher Länge aller zum Rahmen gehörigen Längsholme 5. In gleicher Weise zeigen die beiden unteren Zeichnungen den Zustand im Betrieb der Transporteinrichtung, das heißt bei einer Temperaturdifferenz zwischen dem inneren Längsholm 5 und dem äußeren Längsholm 5 von circa 300 K. Wie aus dem Vergleich der oberen Darstellungen mit den unteren Darstellungen ersichtlich wird, schließt. das Ende der Antriebsschiene 51 bei Normaltemperatur mit der Außenseite des Querholms 1 bündig ab und die Schraube 13 befindet sich bezogen auf das Langloch 12 in einer äußeren Position. Demgegenüber hat die größere Wärmedehnung des inneren Längsholms 5 gegenüber dem äußeren Längsholm 5 in den unteren Darstellungen dazu geführt, dass der Querholm 1 auswärts geschoben wurde, wodurch die Außenseite des Querholms 1 das Ende der Antriebsschiene 51 um circa 3 mm überragt. Jetzt befindet sich die Schraube 13 bezogen auf das Langloch 12 in einer inneren Position.
-
4 zeigt in einer perspektivischen Ansicht die Gestaltung des äußeren Längsholms 5 im Ausführungsbeispiel sowie im Detaildarstellungen zwei verschiedene Kammelemente des Lagerkamms 53. Aus der perspektivischen Darstellung wird ersichtlich, dass der äußere Längsholm 5 neben der in dieser Darstellung nicht sichtbaren Antriebsschiene 51 und dem bereits in der Beschreibung zu 2 beschriebenen Lagerkamm 53 weiterhin eine Trägerschiene 52 umfasst, die für jedes Halteelement 2 eine Öffnung 521 aufweist. Dabei korrespondieren die Öffnungen 521 der Trägerschiene 52 mit den Einbuchtungen 532 des Lagerkamms 53. Im Ausführungsbeispiel sind die Kammelemente 53 aus Keramik gefertigt und es gibt zwei verschiedene Typen von Kammelementen 53, nämlich ein Kammelement 53 für die Endbereiche des Längsholms 5 (untere Darstellung) und ein Kammelement 53 für zwischen den Endbereichen liegende Bereiche des Längsholms 5 (obere Darstellung). Wie aus den Detaildarstellungen ersichtlich ist, weisen die Kammelemente 53 Öffnungen 531 auf, die dazu dienen, die Kammelemente 53 auf dafür an der Trägerschiene 52 vorgesehene Stifte (in der Darstellung verdeckt und daher nicht sichtbar) zu stecken, um ihre Lage relativ zur Trägerschiene 52 zu festzulegen. Die Fixierung der Kammelemente 53 erfolgt, wie aus der perspektivischen Ansicht ersichtlich ist, durch eine davor angeordnete Fixierschiene 54.
-
In 5 ist der Aufbau eines inneren Längsholms 5 in perspektivischer Ansicht und einer Schnittdarstellung gezeigt. Der innere Längsholm 5 umfasst eine Trägerschiene 52, die für jedes Halteelement 2 eine Öffnung 521 aufweist und einen Lagerkamm 53 mit Einbuchtungen 532, die mit den Öffnungen 521 der Trägerschiene 52 korrespondieren, wobei der Lagerkamm 53 in analoger Weise wie beim äußeren Längsholm 5 auf dafür an der Trägerschiene 52 vorgesehene Stifte (in der Darstellung verdeckt und daher nicht sichtbar) gesteckt und mit einer vor dem Lagerkamm 53 angeordneten Fixierschiene 54 fixiert ist. Die Trägerschiene 52 des inneren Längsholms 5 ist ein offenes Profil, das mit der offenen Seite zum inneren Bereich des Rahmens weist, in dem die rohrförmigen Substrate angeordnet werden. Aus dieser Richtung trifft die von den in der Vakuumprozessanlage vorhandenen Wärmequellen ausgesendete Wärmeenergie auf den inneren Längsholm 5. Im Ausführungsbeispiel ist der offene Längsschnitt annähernd J-förmig, das heißt er entspricht in etwa einem Rechteck, bei dem eine Ecke und ein daran anschließender, relativ großer Teil einer langen Seite entfernt wurde und die diagonal gegenüberliegende Ecke abgerundet wurde.
-
Bezugszeichenliste
-
- 1
- Querholm
- 11
- Öffnung
- 12
- Langloch
- 13
- Schraube
- 14
- Unterlegscheibe
- 15
- Einlage
- 2
- Halteelement, Insert
- 21
- Nut
- 3
- Aufnahmeleiste
- 4
- Substrat
- 5
- Längsholm
- 51
- Antriebsschiene
- 511
- Gewindebohrung
- 52
- Trägerschiene
- 521
- Öffnung
- 53
- Lagerkamm, Kammelement
- 531
- Öffnung
- 532
- Einbuchtung
- 54
- Fixierschiene
