DE102008022744B4 - Schaltungsanordnung und System zum Einsatz in einem Kraftfahrzeug - Google Patents

Schaltungsanordnung und System zum Einsatz in einem Kraftfahrzeug Download PDF

Info

Publication number
DE102008022744B4
DE102008022744B4 DE102008022744A DE102008022744A DE102008022744B4 DE 102008022744 B4 DE102008022744 B4 DE 102008022744B4 DE 102008022744 A DE102008022744 A DE 102008022744A DE 102008022744 A DE102008022744 A DE 102008022744A DE 102008022744 B4 DE102008022744 B4 DE 102008022744B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
fuse
circuit arrangement
circuit
arrangement according
protected
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE102008022744A
Other languages
English (en)
Other versions
DE102008022744A1 (de
Inventor
Benjamin Finke
Herbert Gietler
Gerhard Zojer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Infineon Technologies AG
Original Assignee
Infineon Technologies AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Infineon Technologies AG filed Critical Infineon Technologies AG
Priority to DE102008022744A priority Critical patent/DE102008022744B4/de
Priority to US12/463,230 priority patent/US8026727B2/en
Publication of DE102008022744A1 publication Critical patent/DE102008022744A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE102008022744B4 publication Critical patent/DE102008022744B4/de
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • H01L22/30—Structural arrangements specially adapted for testing or measuring during manufacture or treatment, or specially adapted for reliability measurements
    • H01L22/34—Circuits for electrically characterising or monitoring manufacturing processes, e. g. whole test die, wafers filled with test structures, on-board-devices incorporated on each die, process control monitors or pad structures thereof, devices in scribe line
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • H01L22/20—Sequence of activities consisting of a plurality of measurements, corrections, marking or sorting steps
    • H01L22/22—Connection or disconnection of sub-entities or redundant parts of a device in response to a measurement
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11C—STATIC STORES
    • G11C17/00—Read-only memories programmable only once; Semi-permanent stores, e.g. manually-replaceable information cards
    • G11C17/14—Read-only memories programmable only once; Semi-permanent stores, e.g. manually-replaceable information cards in which contents are determined by selectively establishing, breaking or modifying connecting links by permanently altering the state of coupling elements, e.g. PROM
    • G11C17/18—Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
    • H01L23/522—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body
    • H01L23/525—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body with adaptable interconnections
    • H01L23/5252—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body with adaptable interconnections comprising anti-fuses, i.e. connections having their state changed from non-conductive to conductive
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
    • H01L23/522—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body
    • H01L23/525—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body with adaptable interconnections
    • H01L23/5252—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body with adaptable interconnections comprising anti-fuses, i.e. connections having their state changed from non-conductive to conductive
    • H01L23/5254—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body with adaptable interconnections comprising anti-fuses, i.e. connections having their state changed from non-conductive to conductive the change of state resulting from the use of an external beam, e.g. laser beam or ion beam
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
    • H01L23/522—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body
    • H01L23/525—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body with adaptable interconnections
    • H01L23/5256—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body with adaptable interconnections comprising fuses, i.e. connections having their state changed from conductive to non-conductive
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
    • H01L23/522—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body
    • H01L23/525—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body with adaptable interconnections
    • H01L23/5256—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body with adaptable interconnections comprising fuses, i.e. connections having their state changed from conductive to non-conductive
    • H01L23/5258—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body with adaptable interconnections comprising fuses, i.e. connections having their state changed from conductive to non-conductive the change of state resulting from the use of an external beam, e.g. laser beam or ion beam
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/30—Technical effects
    • H01L2924/301—Electrical effects
    • H01L2924/3011—Impedance

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Semiconductor Integrated Circuits (AREA)

Abstract

Schaltungsanordnung (100) mit
einem Fuseelement (102),
einem zu schützenden Schaltungsteil (104), und
einem Sensorelement (106) zum Erkennen eines Eindringens einer von dem Fuseelement (102) ausgehenden Degradation (108) in einen zwischen dem Fuseelement (102) und dem zu schützenden Schaltungsteil (104) liegenden Bereich (110).

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Schaltungsanordnung, die ein Fuseelement, einen zu schützenden Schaltungsteil und ein Sensorelement umfasst, sowie ein System zum Einsatz in einem Kraftfahrzeug.
  • Vor allem in integrierten Halbleiterschaltungen finden Sicherungen, sogenannte Fuses bzw. Anti-Fuses, eine Vielzahl von Anwendungsmöglichkeiten. Beispielsweise werden sie verwendet, um defekte Speicherzellen durch redundante Speicherzellen zu ersetzen oder um die integrierte Halbleiterschaltung mit einer eindeutigen Kennung zu versehen. Des Weiteren werden Fuses bzw. Anti-Fuses verwendet, um einen analogen Schaltungsteil, beispielsweise eine Bandgag-Schaltung, zu trimmen.
  • Eine Anti-Fuse kann programmiert werden, indem eine elektrisch leitfähige Verbindung in einem integrierten Halbleiterbaustein hergestellt wird. Eine Fuse kann programmiert werden, indem eine elektrisch leitfähige Verbindung in einem integrierten Halbleiterbaustein durchgetrennt wird. Beispielsweise wird bei der Programmierung einer Fuse eine Metallleitung durch die Energie eines Laserimpulses gezielt durchgetrennt. Dabei können Isolierschichten, die die Metallleitung umgeben, beschädigt werden. Nach dem Programmiervorgang besteht deshalb die Gefahr, dass Feuchtigkeit in den Halbleiterbaustein eindringt und die durchtrennte Metallleitung korrodiert. Die Korrosion kann sich auch auf umliegende Schaltungsteile fortsetzen. Dies stellt insbesondere beim Einsatz der Fuse in einer sicherheitskritischen Anwendung ein Problem dar.
  • Die US 6 091 273 A beschreibt eine integrierte Schaltung mit einer Fuse und einer Spannungsbegrenzungsschaltung, die mit den beiden Anschlüssen der Fuse gekoppelt ist. Durch die Spannungsbegrenzungsschaltung wird ein Zurückbilden der Fuse oder eine Korrosion selbiger vermieden.
  • Die DE 101 27 385 C2 beschreibt eine integrierte Schaltung mit aufschmelzbaren Sicherungen, die in einer Öffnung einer Isolationsschicht angeordnet sind und von einem Metallring umgeben sind. Außerhalb des Metallrings liegende Bestandteile der integrierten Schaltung sind durch den Metallring vor Feuchtigkeit und Kontaminationen geschützt. Darüber hinaus wird auch eine integrierte Schaltung mit einer Sicherung offenbart, bei der andere Strukturelemente der integrierten Schaltung durch eine in der integrierten Schaltung angeordnete Abschirmung vor elektromagnetischer Strahlung geschützt werden.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Schaltungsanordnung mit einem Fuseelement zur Verfügung zu stellen, die für einen Einsatz in einer sicherheitskritischen Anwendung geeignet ist.
  • Diese Aufgabe wird durch eine Schaltungsanordnung bzw. ein System mit den Merkmalen gemäß dem unabhängigen Patentanspruch 1 bzw. 17 gelöst.
  • Die Schaltungsanordnung weist ein Fuseelement, von dem eine Degradation ausgehen kann, ein Sensorelement und einen zu schützenden Schaltungsteil auf. Das Sensorelement kann ein Eindringen der Degradation in einen Bereich, der zwischen dem Fuseelement und dem zu schützenden Schaltungsteil liegt, erkennen.
  • Das System zum Einsatz in einem Kraftfahrzeug weist eine Steuereinheit auf, die eine Schaltungsanordnung umfasst. Die Schaltungsanordnung weist ein Fuseelement, von dem eine Degradation ausgehen kann, ein Sensorelement und einen zu schützenden Schaltungsteil auf. Das Sensorelement kann ein Eindringen der Degradation in einen Bereich, der zwischen dem Fuseelement und dem zu schützenden Schaltungsteil liegt, erkennen.
  • Um ein korrektes Verhalten des zu schützenden Schaltungsteils im Betrieb sicherzustellen, darf er nicht von einer Degradation beeinflusst werden, die von dem Fuseelement ausgeht. Das Sensorelement ist vorgesehen, um das Eindringen der Degradation in einen Bereich, der zwischen dem Fuseelement und dem zu schützenden Schaltungsteil liegt, zu erkennen. In der erfindungsgemäßen Anordnung ändert das Sensorelement aufgrund der Degradation seinen Zustand, bevor der zu schützende Schaltungsteil von der Degradation betroffen ist. Die Degradation, die von dem Fuseelement ausgeht, kann somit mittels des Sensorelements erkannt werden, bevor sie den zu schützenden Schaltungsteil erreicht.
  • Verschiedene Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung sind in den abhängigen Patentansprüchen angegeben.
  • In einer Weiterbildung der vorliegenden Erfindung umfasst die Schaltungsanordnung eine Auswerteschaltung, die mit dem Sensorelement koppelbar ist. Die Auswerteschaltung wertet einen Zustand des Sensorelements aus.
  • In einer Ausgestaltung ist die Auswerteschaltung mit dem zu schützenden Schaltungsteil koppelbar, um den zu schützenden Schaltungsteil abzuschalten. Der zu schützende Schaltungsteil wird abgeschaltet, wenn das Sensorelement seinen Zustand aufgrund der Degradation ändert.
  • In einer Weiterbildung ist ein Ausgang der Auswerteschaltung vorgesehen, um ein Signal bereitzustellen. Die Auswerteschaltung ist derart eingerichtet, dass sie das Signal in Abhängigkeit des Zustands des Sensorelements erzeugt. Mittels des Signals wird erkannt, wenn das Sensorelement seinen Zustand aufgrund der Degradation ändert.
  • In einer Ausgestaltung der Schaltungsanordnung umfasst das Fuseelement ein Leitungselement, das zum Programmieren des Fuseelements durchtrennbar ist. In der Halbleitertechnik wird ein solches Fuseelement als Fuse bezeichnet.
  • In einer Ausgestaltung der Schaltungsanordnung umfasst das Fuseelement zwei Leitungsteilelemente, die zueinander beabstandet angeordnet sind und die zum Programmieren des Fuseelements miteinander verbindbar sind. In der Halbleitertechnik wird ein solches Fuseelement als Anti-Fuse bezeichnet.
  • In einer Ausgestaltung der Schaltungsanordnung ist das Fuseelement eine mittels Laser programmierbare Fuse oder Anti-Fuse. In einer anderen Ausgestaltung ist das Fuseelement eine elektrisch programmierbare Fuse oder Anti-Fuse.
  • In einer Ausgestaltung der Schaltungsanordnung sind das Fuseelement, der zu schützende Schaltungsteil und das Sensorelement in einem integrierten Halbleiterbaustein ausgebildet.
  • In einer Ausgestaltung der Schaltungsanordnung umfasst das Sensorelement ein Leitungselement, das in einer gleichen Leiterbahnebene wie das Fuseelement angeordnet ist. Die Degradation wird erkannt, da das Leitungselement aufgrund der Degradation beschädigt bzw. durchgetrennt wird.
  • In einer Ausgestaltung der Schaltungsanordnung umfasst das Sensorelement ein Leitungselement, das in einer über dem Fuseelement liegenden Leiterbahnebene angeordnet ist. Damit wird eine Degradation, die sich von dem Fuseelement ausgehend kegelförmig über mehrere Leiterbahnebenen ausdehnt, frühzeitig erkannt.
  • In einer Ausgestaltung der Schaltungsanordnung ist das Leitungselement in einer Metallebene angeordnet.
  • In einer Ausgestaltung der Schaltungsanordnung umfasst das Sensorelement zwei Leitungsteilelemente, die in zwei Leiterbahnebenen angeordnet sind und die über eine Durchkontaktierung miteinander verbunden sind. Mittels des Sensorelements wird eine Degradation erkannt, die sich von dem Fuseelement aus in unterschiedliche Richtungen ausdehnt. In einer Ausgestaltung ist das Fuseelement vollständig von dem Sensorelement umgeben, und eine Degradation wird unabhängig von der Richtung, in die sie sich von dem Fuseelement aus ausdehnt, mittels des Sensorelements erkannt.
  • In einer Ausgestaltung der Schaltungsanordnung umfasst der zu schützende Schaltungsteil ein weiteres Fuseelement. Somit stellt der zu schützende Schaltungsteil ein Element dar, von dem eine Degradation ausgehen kann und das vor einer Degradation geschützt werden muss, die von einem benachbarten Fuseelement ausgeht.
  • In einer Ausgestaltung der Schaltungsanordnung umfasst der zu schützende Schaltungsteil eine Mehrzahl von Fuseelementen und eine Mehrzahl von Sensorelementen. Ein Sensorelement ist jeweils in einem Bereich zwischen zwei Fuseelementen angeordnet, und die Sensorelemente sind seriell miteinander verbunden. Jedes Fuseelement stellt ein Element dar, von dem eine Degradation ausgehen kann und das vor der Degradation geschützt werden muss, die vom jeweils benachbarten Fuseelement ausgehen kann. Durch die serielle Verbindung der Sensorelemente kann auf einfache Weise erkannt werden, wenn eines der Sensorelemente seinen Zustand aufgrund der Degradation ändert.
  • In einer Ausgestaltung der Schaltungsanordnung umfasst der zu schützende Schaltungsteil eine Mehrzahl von Fuseelementen, und das Sensorelement ist als Leitungselement ausgestaltet. Das Leitungselement ist mäanderförmig um die Fuseelemente angeordnet. Aufgrund der mäanderförmigen Ausgestaltung des Leitungselements wird erkannt, wenn sich eine Degradation von einem der Fuseelement in die Richtung eines benachbarten Fuseelements ausdehnt.
  • In einer Weiterbildung des Systems umfasst das erfindungsgemäße System eine Antriebsvorrichtung, die mit der Steuereinheit koppelbar ist.
  • In einer Ausgestaltung des Systems umfasst die Antriebsvorrichtung ein Rad.
  • In einer Ausgestaltung des Systems ist die Steuereinheit vorgesehen, um einen Bremsvorgang des Rades zu steuern.
  • In einer Ausgestaltung des Systems weist die Steuereinheit einen Sensor zum Erfassen einer Drehzahl des Rades auf und der Sensor umfasst die Schaltungsanordnung.
  • In einer Ausgestaltung des Systems umfasst die Antriebsvorrichtung ein Motor-System, und die Steuereinheit ist vorgesehen, um eine Unterspannung des Motor-Systems zu überwachen.
  • In einer Weiterbildung des Systems umfasst das erfindungsgemäße System ein Insassenschutzmittel, und die Steuereinheit ist vorgesehen, um das Insassenschutzmittel zu steuern.
  • In Ausgestaltungen des Systems umfasst das Insassenschutzmittel einen Airbag oder einen Gurtstraffer.
  • In einer Ausgestaltung des Systems weist die Steuereinheit einen Sensor zum Erfassen einer Beschleunigung des Kraftfahrzeugs auf und der Sensor umfasst die Schaltungsanordnung.
  • Ausführungsformen der Erfindung werden nachfolgend anhand der Zeichnungen näher erläutert. Dabei zeigen:
  • 1 eine schematische Darstellung einer Ausführungsform der erfindungsgemäßen Schaltungsanordnung;
  • 2 eine schematische Darstellung einer weiteren Ausführungsform der erfindungsgemäßen Schaltungsanordnung;
  • 3 eine schematische Darstellung einer weiteren Ausführungsform der erfindungsgemäßen Schaltungsanordnung;
  • 4 eine schematische Darstellung eines Querschnitts eines in 3 dargestellten Ausschnitts;
  • 5 eine schematische Darstellung einer weiteren Ausführungsform der erfindungsgemäßen Schaltungsanordnung;
  • 6 eine schematische Darstellung einer weiteren Ausführungsform der erfindungsgemäßen Schaltungsanordnung;
  • 7 eine schematische Darstellung einer weiteren Ausführungsform der erfindungsgemäßen Schaltungsanordnung;
  • 8 eine schematische Darstellung einer weiteren Ausführungsform der erfindungsgemäßen Schaltungsanordnung;
  • 9 eine schematische Darstellung einer weiteren Ausführungsform der erfindungsgemäßen Schaltungsanordnung;
  • 10 eine beispielhafte Ausführungsform einer in 2 und 3 dargestellten Auswerteschaltung;
  • 11 eine weitere beispielhafte Ausführungsform einer in
  • 2 und 3 dargestellten Auswerteschaltung; und
  • 12 eine schematische Darstellung eines Systems, das in einem Kraftfahrzeug eingesetzt wird.
  • 1 zeigt eine schematische Darstellung einer Ausführungsform der erfindungsgemäßen Schaltungsanordnung. Die Schaltungsanordnung 100 umfasst ein Fuseelement 102, von dem eine Degradation 108 ausgehen kann. Es ist weiterhin ein zu schützender Schaltungsteil 104 gezeigt, dessen Funktion durch die Degradation 108 nicht gestört werden darf. In einem Bereich 110, der zwischen dem Fuseelement 102 und dem zu schützenden Schaltungsteil 104 liegt, ist ein Sensorelement 106 angeordnet. Durch die erfindungsgemäße Anordnung wird erreicht, dass das Sensorelement 106 seinen Zustand aufgrund der Degradation 108 ändert, bevor der zu schützenden Schaltungsteil 104 von der Degradation 108 betroffen ist. Mittels des Sensorelements 106 wird ein Eindringen der von dem Fuseelement 102 ausgehenden Degradation 108 in den Bereich 110, der zwischen dem Fuseelement 102 und dem zu schützenden Schaltungsteil 104 liegt, erkannt.
  • 2 zeigt eine schematische Darstellung einer weiteren Ausführungsform der erfindungsgemäßen Schaltungsanordnung. In ihr ist zusätzlich zu der in 1 dargestellten Ausführungsform eine Auswerteschaltung 202 gezeigt, die mit dem Sensorelement 106 gekoppelt ist. Die Auswerteschaltung 202 wertet einen Zustand des Sensorelements 106 aus und stellt an einem Ausgang ein Signal 204 bereit. Mittels des Signals 204 kann erkennt werden, wenn das Sensorelement 106 seinen Zustand aufgrund der Degradation 108 ändert.
  • In einer Ausführungsform ist das Signal 204 mit dem zu schützenden Schaltungsteil 104 gekoppelt. Beispielsweise aktiviert die Auswerteschaltung 202 das Signal 204, wenn sie erkennt, dass die von dem Fuseelement 102 ausgehende Degradation 108 das Sensorelement 106 erreicht. Der zu schützende Schaltungsteil 104 kann so abgeschaltet werden, bevor er von der Degradation 108, die von dem Fuseelement 102 ausgeht, betroffen ist. Durch das Abschalten wird ein durch Degradation 108 verursachtes, fehlerhaftes Verhalten des zu schützenden Schaltungsteils 104 verhindert. Dies ist insbesondere bei sicherheitskritischen Anwendungen von Bedeutung, da bei solchen Anwendungen ein fehlerhaftes Verhalten einer Schaltung unbedingt zu verhindern ist.
  • In einer Ausführungsform dient das Signal 204 als Warnsignal, um vor einem fehlerhaften Verhalten des zu schützenden Schaltungsteils 104 zu warnen. Beispielsweise ist das Signal 204 mit einem Zähler gekoppelt und ein Ausgang des Zählers ist mit dem zu schützenden Schaltungsteil 104 gekoppelt. Der Zähler bewirkt eine zeitliche Verzögerung des Signals 204. Der zu schützende Schaltungsteil 104 kann so eine bestimmte Zeit nachdem die Auswerteschaltung 202 eine Zustandsänderung des Sensorelements 106 erkannt hat abgeschaltet werden.
  • Das Fuseelement 102, der zu schützende Schaltungsteil 104 und das Sensorelement 106 können in einem integrierten Halbleiterbaustein ausgebildet sein. Die Auswerteschaltung 202 kann in dem gleichen integrierten Halbleiterbaustein oder gesondert angeordnet sein.
  • Bei der von dem Fuseelement 102 ausgehenden Degradation 108 kann es sich um eine physikalische und/oder chemische Veränderung von Strukturen handeln. Beispielsweise kann es sich um eine Korrosion einer Metallleitung handeln, die durch eindringende Feuchtigkeit verursacht wird. Es kann sich auch um eine Rissbildung in einer Metallleitung handeln, die durch eine thermische Belastung, beispielsweise durch mehrfaches Aufheizen und Abkühlen des Halbleiterbausteins, verursacht wird.
  • Es gibt unterschiedliche Arten von Fuseelementen 102. In der Halbleitertechnik wird zwischen sogenannten Fuses und sogenannten Anti-Fuses unterschieden. Fuses und Anti-Fuses sind irreversibel programmierbare Speicherelemente.
  • Eine Anti-Fuse ist ein Fuseelement, das in einem unprogrammierten Zustand nichtleitend ist. Sie umfasst zwei Leitungsteilelemente, die zueinander beabstandet angeordnet sind. Die Anti-Fuse wird programmiert, indem eine Verbindung zwischen den zwei Leitungsteilelementen hergestellt wird. Zwischen den zwei Leitungsteilelementen kann eine dielektrische Schicht liegen, die im unprogrammierten Zustand hochohmig ist und an der bei einer Programmierung ein Durchbruch entsteht.
  • Eine Fuse ist ein Fuseelement, das in einem unprogrammierten Zustand leitend ist. Sie umfasst ein Leitungselement und sie wird programmiert, indem das Leitungselement durchgetrennt wird.
  • Die Programmierung von Fuses bzw. Anti-Fuses kann mittels eines Lasers erfolgen. Dabei wird durch die Energie eines gepulsten Lasers bei einer Anti-Fuse eine Verbindung zwischen den zwei Leitungsteilelementen hergestellt. Bei einer Fuse wird durch die Energie des gepulsten Lasers das Leitungselement durchgetrennt.
  • Bei einer anderen Art von Fuses bzw. Anti-Fuses erfolgt ihre Programmierung mittels eines Stromimpulses. Dabei wird eine Fuse bzw. Anti-Fuse mit einem ausreichend hohen Stromimpuls beaufschlagt, so dass bei einer Anti-Fuse eine Verbindung zwischen den zwei Leitungsteilelementen hergestellt wird und bei einer Fuse das Leitungselement durchgetrennt wird.
  • Fuses bzw. Anti-Fuses stellen irreversibel programmierbare Speicherelemente dar. Es besteht zwar die Gefahr, dass bei einer Fuse getrennte Verbindungen während des Betriebes zumindest teilweise wieder zusammenwachsen, hierbei handelt es sich jedoch um einen unerwünschten Effekt. Bei einer Anti-Fuse besteht die Gefahr, dass sich die beiden Leitungsteilelemente während des Betriebes zumindest teilweise wieder trennen. Auch hier handelt es sich um einen unerwünschten Effekt.
  • Die nachfolgend gezeigten und beschriebenen Ausführungsformen beziehen sich auf Laser-Fuses, die in einem Halbleiterbaustein ausgebildet sind, und erfolgen beispielhaft und stellvertretend für andere Arten von Fuseelementen, die in der erfindungsgemäßen Schaltungsanordnung zur Anwendung kommen können. Verbindungen der Laser-Fuse mit einer Ausleseschaltung, die zum Auslesen eines in der Laser-Fuse gespeicherten Wertes dient, sind aus Gründen der Übersichtlichkeit in den nachfolgenden gezeigten Ausführungsformen nicht dargestellt.
  • 3 zeigt eine schematische Darstellung einer weiteren Ausführungsform der erfindungsgemäßen Schaltungsanordnung. Dabei ist ein Ausschnitt 306 in einer Draufsicht dargestellt und 4 zeigt einen Querschnitt des Ausschnitts 306 entlang der Linie A-A'.
  • In 3 sind eine Fuse 302, eine Leiterbahn 304 und ein zu schützender Schaltungsteil 104 gezeigt, die alle in einem Halbleiterbaustein ausgebildet sind. Es ist ferner eine Auswerteschaltung 202 gezeigt, die mit der Leiterbahn 304, wie durch gestrichelte Linien angedeutet ist, gekoppelt ist. Die Fuse 302 ist in einem unprogrammierten Zustand dargestellt und ein erster Anschluss 308 der Fuse 302 ist mit einem zweiten Anschluss 310 der Fuse 302 über eine Verbindungsbrücke 312 verbunden. Die Fuse 302 ist an ihrem ersten Anschluss 308 und an ihrem zweiten Anschluss 310 mit einer Ausleseschaltung gekoppelt, auf deren Darstellung in 3 aus Gründen der Übersichtlichkeit verzichtet wurde.
  • Zum Programmieren der Fuse 302 wird ein gepulster Laser auf die Verbindungsbrücke 312 gerichtet und die Verbindungsbrücke 312 wird durchgetrennt. Infolge der Durchtrennung der Verbindungsbrücke 312 besteht die Gefahr einer von der Fuse 302 ausgehenden Degradation. Bei der Degradation kann es sich beispielsweise um eine Korrosion handeln, die durch eintretende Feuchtigkeit verursacht wird, und/oder es kann sich um eine Rissbildung handeln, die durch thermische Belastung verursacht wird.
  • Die Leiterbahn 304 ist vorgesehen, um zu verhindern, dass die Funktion des zu schützenden Schaltungsteils 104 im Betrieb von der Degradation beeinflusst wird. Die Leiterbahn 304 dient als Sensorelement und ist in einem Bereich zwischen der Fuse 302 und dem zu schützenden Schaltungsteil 104 angeordnet. Durch diese Anordnung wird bewirkt, dass die Leiterbahn 304 zeitlich vor dem zu schützenden Schaltungsteil 104 von einer Degradation, die von der Fuse 302 ausgeht, betroffen ist. Im Falle einer von der Fuse 302 ausgehenden Korrosion oder Rissbildung, die sich in Richtung des zu schützenden Schaltungsteils 104 erstreckt, wird die Leiterbahn 304 beschädigt bzw. durchgetrennt. Die Auswerteschaltung 202 wertet einen Zustand der Leiterbahn 304 aus und stellt an einem Ausgang ein Signal 204 bereit. Beispielsweise aktiviert die Auswerteschaltung 202 das Signal 204, wenn sie erkennt, dass die Leiterbahn 304 beschädigt bzw. durchgetrennt ist. Bei einer Ausführungsform ist das Signal 204 mit dem zu schützenden Schaltungsteil 104 gekoppelt, und der zu schützende Schaltungsteil 104 wird abgeschaltet, wenn das Signal 204 aktiv wird. Der zu schützende Schaltungsteil 104 wird deaktiviert noch bevor ihn die Degradation erreicht, die von der Fuse 302 ausgeht. Ein fehlerhaftes Verhalten des zu schützenden Schaltungsteils 104 wird verhindert.
  • Bei der in 3 dargestellten Draufsicht des Ausschnitts 306 sind die Leiterbahn 304 und die Fuse 302 in einer über einem Halbleitersubstrat ausgebildeten Leiterbahnebene angeordnet, und die Leiterbahn 304 ist u-förmig um die Fuse 302 angeordnet. Die Leiterbahn 304 ist benachbart zu den Seiten, die dem ersten Anschluss 308, dem zweiten Anschluss 310 und dem zu schützenden Schaltungsteil 104 zugewandt sind, angeordnet. Die dem ersten Anschluss 308 zugewandte Seite wird im Folgenden als Oberseite der Fuse 302 bezeichnet, und die dem zweiten Anschluss 310 zugewandte Seite wird im folgenden als Unterseite der Fuse 302 bezeichnet. Durch diese Anordnung wird erreicht, dass nicht nur eine Degradation erkannt wird, die sich von der Fuse 302 in Richtung des zu schützenden Schaltungsteils 104 ausbreitet. Es wird auch eine Degradation erkannt, die sich in Bereiche oberhalb des ersten Anschluss 308 oder unterhalb des zweiten Anschluss 310 erstreckt. Die u-förmige Leiterbahn 304 stellt eine beispielhafte Ausführungsform des in 1 und 2 gezeigten Sensorelements 106 dar. Das Sensorelement 106 kann auf verschiedene Arten ausgestaltet sein. Beispielsweise kann die Ausgestaltung des Sensorelements 106 an die Form und an die Position des zu schützenden Schaltungsteils 104 angepasst sein.
  • Bei der in 3 dargestellten Ausführungsform wird eine Degradation erkannt, die von der Laser-Fuse 302 in Richtung des zu schützenden Bereichs 104 ausgeht. Es wird außerdem erkannt, wenn der Laser bei der Programmierung der Laser-Fuse 302 ungenau justiert ist und die Leiterbahn 304 anstelle der Verbindungsbrücke 312 der Fuse 302 durchgetrennt wird.
  • 4 zeigt eine schematische Darstellung einer Ausführungsform eines Querschnitt des in 3 dargestellten Ausschnitts 306 entlang der Linie A-A'. Auf einem Halbleitersubstrat 402 ist eine erste Leiterbahnebene 404 gebildet, die ein elektrisch nicht-leitfähiges Material, beispielsweise Siliziumoxid, als Dielektrikum enthält. Die erste Leiterbahnebene 404 kann nicht dargestellte, elektrisch leitfähige Bereiche aus Polysilizium enthalten. Eine zweite Leiterbahnebene 406, die über der ersten Leiterbahnebene 404 gebildet ist, enthält ebenfalls ein elektrisch nicht-leitfähiges Material. Ferner sind in der zweiten Leiterbahnebene 406 die Fuse 302 und die Leiterbahn 304 ausgebildet. Die zweite Leiterbahnebene 406 ist beispielsweise eine Metallebene, wobei die Fuse 302 und die Leiterbahn 304 aus einem elektrisch leitenden Material, beispielsweise Aluminium oder Kupfer, gebildet sind. Eine dritte Leiterbahnebene 408 ist über der zweiten Leiterbahnebene 406 gebildet, und eine vierte Leiterbahnebene 410 ist über der dritten Leiterbahnebene 408 gebildet. Wie in der zweiten Leiterbahnebene 406, können auch in der dritten Leiterbahnebene 408 und in der vierten Leiterbahnebene 410 nicht dargestellte Leiterbahnen ausgebildet sein. Bereiche aus Polysilizium der ersten Leiterbahnebene 404 können mit Leiterbahnen der zweiten Leiterbahnebene 406 über Durchkontaktierungen verbunden sein. Ebenso können Leiterbahnen der zweiten Leiterbahnebene 406 mit Leiterbahnen der dritten Leiterbahnebene 408 und Leiterbahnen der dritten Leiterbahnebene 408 mit Leiterbahnen der vierten Leiterbahnebene 410 über Durchkontaktierungen verbunden sein.
  • In der dritten Leiterbahnebene 408 und in der vierten Leiterbahnebene 410 ist eine Öffnung 414 in einem Bereich ausgebildet, welcher der Lage der Fuse 302 entspricht. Durch die Öffnung 414 wird ein Durchbrennen der Verbindungsbrücke 312 der Fuse 302 mittels eines Laserstrahls ermöglicht. Auf der vierten Leiterbahnebene 410 und entlang der beiden Seitenwände 416, 418 der Öffnung 414 ist eine Passivierungsschicht 412 ausgebildet. Die Passivierungsschicht 412 ist beispielsweise aus Siliziumnitrid oder Siliziumoxid gebildet und dient unter anderem dazu, das Eindringen von Feuchtigkeit in den Halbleiterbaustein zu verhindern.
  • Insbesondere wenn sich die Fuse 302 in einem programmierten Zustand befindet, kann Feuchtigkeit in den Halbleiterbaustein eindringen, da im Bereich der Öffnung 414 die Passivierungsschicht fehlt. So kann eine von der Fuse 302 ausgehende Degradation entstehen. Eine von der Fuse 302 in Richtung der zu schützenden Schaltung 104 ausgehende Degradation wird mittels der Leiterbahn 304 erkannt. Die Leiterbahn 304 ist in einem Abstand A von der Fuse 302 angeordnet. Je näher die Leiterbahn 304 an der Fuse 302 angeordnet ist, desto frühzeitiger kann die Degradation mittels der Leiterbahn 304 erkannt werden. Bei einer beispielhaften Ausführungsform entspricht der Abstand A zwischen der Fuse 302 und der Leiterbahn 304 einem minimalen Abstand, der bei einer bestimmten Technologie zwischen zwei Strukturen, die sich in der gleichen Leiterbahnebene befinden, implementiert werden kann.
  • Bei der in 4 dargestellten Ausführungsform sind die Leiterbahn 304 und die Fuse 302 in der zweiten Leiterbahnebene 406 angeordnet. Bei einer weiteren Ausführungsform können die Leiterbahn 304 und die Fuse 302 in der ersten Leitbahnebene 404, in der dritten Leiterbahnebene 408 oder in der vierten Leiterbahnebene 410 angeordnet sein. Bei einer weiteren Ausführungsform befinden sich die Leiterbahn und die Fuse in unterschiedlichen Leiterbahnebenen. Beispielsweise ist bei einer in 5 dargestellten Ausführungsform eine Leiterbahn 502 in der dritten Leiterbahnebene 408 angeordnet, die sich direkt über der zweiten Leiterbahnebene 406 befindet, in der die Fuse 302 angeordnet ist. Eine durch Feuchtigkeit hervorgerufene Korrosion breitet sich von der Fuse 302 kegelförmig über mehrere Leiterbahnebenen aus, wie in 5 durch gestrichelte Linien angedeutet ist. Die in der dritten Leiterbahnebene 408 befindliche Leiterbahn 502 ist frühzeitiger von der Korrosion betroffen als eine Leiterbahn, die sich wie in 4 dargestellt, in der zweiten Leiterbahnebene 406 befindet. Eine von der Fuse 302 ausgehende Korrosion wird mit der in 5 dargestellten Ausführungsform frühzeitiger erkannt als mit der in 4 dargestellten Ausführungsform.
  • 6 zeigt eine schematische Darstellung einer weiteren Ausführungsform der erfindungsgemäßen Schaltungsanordnung in einer Draufsicht. Dabei ist eine Fuse 302 gezeigt und eine zu schützende Schaltung 104, die selbst eine Mehrzahl von Fuses 602, 604, 606 umfasst. Ein Leitungsteilelement 610, 612, 614 ist jeweils in einem Bereich zwischen zwei Fuses 302, 602, 604, 606 angeordnet. Weiterhin sind Leitungsteilelemente 608, 616 in Bereichen angeordnet, die sich seitlich neben den außen liegenden Fuses 302, 606 befinden. Die Leitungsteilelemente 608, 610, 612, 614, 616 sind über Verbindungsleitungen 618, 620, 622, 624 seriell miteinander verbunden. Die Verbindungsleitungen 618, 620, 622, 624 verlaufen abwechselnd an der Oberseite und an der Unterseite der Fuses 302, 602, 604, 606 und verbinden jeweils zwei Leitungsteilelemente 608, 610, 612, 614, 616 miteinander. Die Leitungsteilelemente 608, 610, 612, 614, 616 und die Verbindungsleitungen 618, 620, 622, 624 ergeben somit zusammen ein Leitungselement 630, das mäanderförmig um die Fuses 302, 602, 604, 606 angeordnet ist und als Sensorelement dient. Ein erster Anschluss 626 und ein zweiter Anschluss 628 des Leitungselements 630 können mit einer Auswerteschaltung 202, wie in 2 und 3 dargestellt, gekoppelt sein.
  • Die in 6 dargestellte Anordnung kann in einer sogenannten Fusebox eingesetzt werden. Bei einer Fusebox handelt es sich um eine Ansammlung von Fuses an einer bestimmten Stelle in einem Halbleiterbaustein. Bei der in 6 dargestellten Fusebox sind eine Mehrzahl von Fuses nebeneinander in einer Reihe angeordnet, wobei der Abstand zwischen zwei Fuses jeweils gleich ist. Wird eine Fusebox beispielsweise in einem analogen Schaltungsteil zum Speichern eines Trimmwerts eingesetzt, dann sind, abhängig vom Trimmwert, nicht alle Fuses der Fusebox programmiert. Um ein fehlerhaftes Verhalten des analogen Schaltungsteils im Betrieb zu verhindern, darf sich der in den Fuses programmierte Trimmwert nicht ändern. Es muss erkannt werden, wenn sich eine Degradation von einer programmierten Fuse in Richtung einer unprogrammierten Fuse ausbreitet. Durch die in 6 dargestellte, erfindungsgemäße Anordnung wird eine von einer Fuse in Richtung der benachbarten Fuse ausgehende Degradation erkannt. Eine Fuse stellt in dieser Anordnung gleichzeitig einen zu schützenden Bereich und ein Element, von dem eine Degradation ausgehen kann, dar.
  • Bei der in 6 dargestellten Anordnung wird nicht nur eine Degradation im Bereich zwischen zwei benachbarten Fuses erkannt, sondern es wird auch eine Degradation erkannt, die sich in Bereiche seitlich neben den außen liegenden Fuses 302, 606 erstreckt. Da die Verbindungsleitungen 618, 620, 622, 624 abwechselnd an der Oberseite und an der Unterseite der Fuses 302, 602, 604, 606 verlaufen, kann eine Degradation, die sich in eine Richtung oberhalb oder unterhalb der Fuses 302, 602, 604, 606 ausdehnt, nur teilweise erkannt werden.
  • 7 zeigt eine schematische Darstellung einer weiteren Ausführungsform der erfindungsgemäßen Schaltungsanordnung in einer Draufsicht. Zusätzlich zu der in 6 dargestellten Ausführungsform verläuft ein Leitungsteilelement 702 entlang der Oberseite der Fuses 302, 602, 604, 606 und parallel zu den Verbindungsleitungen 620, 624. Ein Anschluss des Leitungsteilelements 702 ist mit einem Anschluss des Leitungsteilelements 608 verbunden. Weiterhin verläuft ein Leitungsteilelement 704 entlang der Unterseite der Fuses 302, 602, 604, 606 und parallel zu den Verbindungsleitungen 618, 622. Ein Anschluss des Leitungsteilelements 704 ist mit einem Anschluss des Leitungsteilelements 616 verbunden. Die Leitungsteilelemente 608, 610, 612, 614, 616, 702, 704 und die Verbindungsleitungen 618, 620, 622, 624 ergeben zusammen ein Leitungselement 706, das als Sensorelement dient. Ein erster Anschluss 708 und ein zweiter Anschluss 710 des Leitungselements 706 können mit einer Auswerteschaltung 202, wie in 2 und 3 dargestellt, gekoppelt sein. Mittels des Leitungselements 706 kann sowohl eine Degradation erkannt werden, die sich in Bereiche seitlich neben den außen liegenden Fuses 302, 606 erstreckt, als auch eine Degradation erkannt werden, die sich in eine Richtung oberhalb oder unterhalb der Fuses 302, 602, 604, 606 ausdehnt.
  • 8 zeigt eine schematische Darstellung einer weiteren Ausführungsform der erfindungsgemäßen Schaltungsanordnung in einer perspektivischen Ansicht. Der Übersichtlichkeit wegen sind die Fuses 302, 602, 604, 606 in 8 vereinfacht als Striche dargestellt. Ein erstes Leitungsteilelement 802 ist auf der gleichen Leiterbahnebene wie die Fuses 302, 602, 604, 606 angeordnet und verläuft mäanderförmig durch die Fuses 302, 602, 604, 606 hindurch, ähnlich wie bei der in 6 dargestellten Ausführungsform. Ein zweites Leitungsteilelement 804 ist in einer Leiterbahnebene angeordnet, die oberhalb der Fuses 302, 602, 604, 606 und des ersten Leitungsteilelements 802 liegt. Das zweite Leitungsteilelement 804 verläuft ebenfalls mäanderförmig und ist versetzt zu dem ersten Leitungsteilelement 802 angeordnet. Der Versatz zwischen den beiden Leitungsteilelementen 802, 804 entspricht dem Abstand zwischen zwei benachbarten Fuses. Ein erster Anschluss 806 des ersten Leitungsteilelements 802 und ein erster Anschluss 808 des zweiten Leitungsteilelements 804 sind über eine Durchkontaktierung 810 miteinander verbunden. Ein zweiter Anschluss 812 des ersten Leitungsteilelements 802 und ein zweiter Anschluss 814 des zweiten Leitungsteilelements 804 können mit einer Auswerteschaltung 202, wie in 2 und 3 dargestellt, gekoppelt sein. Das erste Leitungsteilelement 802, das zweite Leitungsteilelement 804 und die Durchkontaktierung 810 bilden ein Sensorelement 816. Eine Degradation, die von einer Fuse ausgeht, breitet sich üblicherweise über mehrere Leiterbahnebenen aus. Da das Sensorelement 816 jede Fuse vollständig umgibt, kann eine Degradation unabhängig von der Richtung, in die sie sich ausdehnt, erkannt werden.
  • 9 zeigt eine schematische Darstellung einer weiteren Ausführungsform der erfindungsgemäßen Schaltungsanordnung. Ähnlich wie bei der in 6 dargestellten Ausführungsform ist ein Leitungselement 902 mäanderförmig um die Fuses 302, 602, 604, 606 angeordnet. Weiterhin ist eine Aktivierungsfuse 904 vorgesehen, die benachbart zu und in der gleichen Reihe wie die Fuses 302, 602, 604, 606 angeordnet ist. Die Fuses 302, 602, 604, 606 und die Aktivierungsfuse 904 können alle einer Fusebox angehören. Ein erster Anschluss 906 der Aktivierungsfuse 904 ist mit einem ersten Anschluss des Leitungselements 902 verbunden und ein zweiter Anschluss 908 der Aktivierungsfuse 904 ist mit einem zweiten Anschluss des Leitungselements 902 verbunden. Die beiden Anschlüsse 906, 908 der Aktivierungsfuse 904 können mit einer Auswerteschaltung 202, wie in 2 und 3 dargestellt, gekoppelt sein. Befindet sich die Aktivierungsfuse 904 in einem unprogrammierten Zustand, dann besteht stets eine Verbindung zwischen den Anschlüssen 906, 908 der Auswerteschaltung 202 aufgrund der Verbindung durch die Aktivierungsfuse 904. Eine von den Fuses 302, 602, 604, 606 ausgehende Degradation kann von der Auswerteschaltung 202 nicht erkannt werden. Nach einer Programmierung der Aktivierungsfuse 904 ist die Verbindung zwischen dem ersten Anschluss 906 und dem zweiten Anschluss 908 der Aktivierungsfuse 904 durchgetrennt. Die Anschlüsse 906, 908 der Auswerteschaltung 202 sind nicht mehr miteinander verbunden, wenn das Leitungselement 902 aufgrund von Degradation durchgetrennt ist. Eine von den Fuses 302, 602, 604, 606 ausgehende Degradation kann von der Auswerteschaltung 202 erkannt werden.
  • Bei der in 9 dargestellten Ausführungsform wird eine Vorrichtung zum Erkennung einer Degradation gezielt aktiviert. Die Aktivierung wird nach der eigentlichen Herstellung eines Halbleitbausteins vorgenommen, indem die Aktivierungsfuse 904 programmiert wird. Es ist somit möglich Halbleiterbausteine in einem einheitlichen Herstellungsprozess mit einem einheitlichen Maskensatz zu fertigen und nur bei einem Teil der Halbleiterbausteine die Vorrichtung zum Erkennung einer Degradation zu aktivieren.
  • 10 zeigt eine beispielhafte Ausführungsform einer Auswerteschaltung 1000, die für die in den 2 und 3 schematisch dargestellte Auswerteschaltung 202 eingesetzt werden kann. Die Auswerteschaltung 1000 stellt an ihrem Ausgang ein Signal 1002 bereit, das dem in den 2 und 3 dargestellten Signal 204 entspricht. Die Auswerteschaltung 1000 besitzt weiterhin zwei Eingänge 1004, 1006 die mit einem in den 1 bis 9 dargestellten Sensorelement verbunden sein können. In den 6 bis 9 sind beispielhafte Ausführungsformen eines Sensorelements mit jeweils zwei Anschlüssen gezeigt. Die in 6 dargestellten Anschlüsse 626, 628 des Sensorelements 630 können mit den beiden Eingängen 1004, 1006 der Auswerteschaltung 1000 gekoppelt sein. Entsprechend können die in 8 dargestellten Anschlüsse 812, 814 und die in 9 dargestellten Anschlüsse 906, 908 mit den Eingängen 1004, 1006 der Auswerteschaltung 1000 gekoppelt sein.
  • Die in 10 dargestellte Auswerteschaltung 1000 umfasst eine Stromquelle 1008 und einen Inverter 1010, wobei ein erster Anschluss der Stromquelle 1008 mit einem Eingang des Inverters 1010 und mit dem Eingang 1004 der Auswerteschaltung 1000 verbunden ist. Ein zweiter Anschluss der Stromquelle 1008 ist mit einem Versorgungsspannungspotential, das einer Betriebsspannung VDD entspricht, verbunden. Der Eingang 1006 der Auswerteschaltung 1000 ist mit einem Versorgungsspannungspotential, das einem Massepotential VSS entspricht, verbunden.
  • Ist ein Sensorelement, das mit den beiden Eingängen 1004, 1006 der Auswerteschaltung 1000 gekoppelt ist, nicht von einer Degradation betroffen, dann besteht eine elektrische Verbindung zwischen den beiden Eingängen 1004, 1006 der Auswerteschaltung 1000 und am Eingang des Inverters 1010 liegt das Massepotential VSS an. Der Inverter 1010 gibt an seinem Ausgang 1002 den Wert einer logischen '1' aus. Die Auswerteschaltung 1000 zeigt mit dem Wert einer logischen '1' an ihrem Ausgang 1002 an, dass keine Degradation vorliegt.
  • Ist das Sensorelement, das mit den beiden Eingängen 1004, 1006 der Auswerteschaltung 1000 gekoppelt ist, aufgrund einer Degradation durchtrennt, dann besteht keine elektrische Verbindung zwischen den beiden Eingängen 1004, 1006 der Auswerteschaltung 1000. Am Eingang des Inverters 1010 liegt die Betriebsspannung VDD an, und der Inverter 1010 gibt an seinem Ausgang 1002 den Wert einer logischen '0' aus. Die Auswerteschaltung 1000 zeigt mit dem Wert einer logischen '0' an ihrem Ausgang 1002 an, dass eine Degradation entstanden ist.
  • 11 zeigt eine weitere beispielhafte Ausführungsform einer Auswerteschaltung 1100, die für die in den 2 und 3 schematisch dargestellte Auswerteschaltung 202 eingesetzt werden kann. Analog zu der in 10 dargestellten Auswerteschaltung 1000 umfasst die Auswerteschaltung 1100 einen Ausgang mit einem Signal 1102, zwei Eingänge 1104, 1106, eine Stromquelle 1108 und einen Inverter 1110. Im Gegensatz zu der in 10 dargestellten Auswerteschaltung 1000 ist bei der Auswerteschaltung 1100 der Eingang 1106 mit einer Betriebsspannung VDD verbunden und der zweite Anschluss der Stromquelle 1108 ist mit einen Massepotential VSS verbunden. Der erste Anschluss der Stromquelle 1108 ist mit dem Eingang 1104 der Auswerteschaltung 1100 und einem Eingang des Inverters 1110 verbunden.
  • Ist ein Sensorelement, das mit den beiden Eingängen 1104, 1106 gekoppelt ist, nicht von einer Degradation betroffen, dann besteht eine elektrische Verbindung zwischen den beiden Eingängen 1104, 1106 der Auswerteschaltung 1100 und am Eingang des Inverters 1110 liegt das Betriebspotential VDD an. Der Inverter 1110 gibt an seinem Ausgang 1102 den Wert einer logischen '0' aus. Die Auswerteschaltung 1100 zeigt mit dem Wert einer logischen '0' an ihrem Ausgang 1102 an, dass keine Degradation vorliegt.
  • Ist das Sensorelement, das mit den beiden Eingängen 1104, 1106 der Auswerteschaltung 1100 gekoppelt ist, aufgrund einer Degradation durchtrennt, dann besteht keine elektrische Verbindung zwischen den beiden Eingängen 1104, 1106 der Auswerteschaltung 1100. Am Eingang des Inverters 1110 liegt das Massepotential VSS an, und der Inverter 1110 gibt an seinem Ausgang 1102 den Wert einer logischen '1' aus. Die Auswerteschaltung 1100 zeigt mit dem Wert einer logischen '1' an ihrem Ausgang 1102 an, dass eine Degradation entstanden ist.
  • Im Gegensatz zu der Auswerteschaltung 1000 gibt die Auswerteschaltung 1100 an ihrem Ausgang 1102 im Fehlerfall, d. h. im Falle einer Degradation, den Wert einer logischen '1' aus und im fehlerfreien Betrieb den Wert einer logischen '0' aus.
  • Die Auswerteschaltung 1000 eignet sich besonders für einen Einsatz in einem Halbleiterbaustein, dessen Halbleitsubstrat mit einem Betriebspotential VDD verbunden ist. In diesem Fall kann nicht nur erkannt werden, wenn das Sensorelement aufgrund von Degradation durchgetrennt ist, sondern es kann auch erkannt werden, wenn eine Verbindung zwischen dem Sensorelement und dem Substrat aufgrund von Degradation hergestellt wird. Eine Verbindung zwischen dem Sensorelement und dem Substrat bewirkt, dass der Eingang des Inverters 1010 mit dem Betriebpotential VDD verbunden ist und am Ausgang 1002 der Auswerteschaltung 1000 der Wert einer logisch '0' anliegt. Der Wert einer logisch '0' am Ausgang 1002 der Auswerteschaltung 1000 zeigt einen Fehlerfall an.
  • Analog dazu eignet sich die Auswerteschaltung 1100 besonders für einen Einsatz in einem Halbleiterbaustein, dessen Halbleitsubstrat mit einem Massepotential VSS verbunden ist. In diesem Fall kann nicht nur erkannt werden, wenn das Sensorelement aufgrund von Degradation durchgetrennt ist, sondern es kann auch erkannt werden, wenn eine Verbindung zwischen dem Sensorelement und dem Substrat aufgrund von Degradation hergestellt wird. Eine Verbindung zwischen dem Sensorelement und dem Substrat bewirkt, dass der Eingang des Inverters 1110 mit dem Massepotential VSS verbunden ist und am Ausgang 1102 der Auswerteschaltung 1100 der Wert einer logisch '1' anliegt. Der Wert einer logisch '1' am Ausgang 1102 der Auswerteschaltung 1100 zeigt einen Fehlerfall an.
  • 12 zeigt eine schematische Darstellung eines Systems 1200 mit einer Steuereinheit 1202, das in einem Kraftfahrzeug eingesetzt wird. Die Steuereinheit 1202 umfasst eine Schaltungsanordnung 100, wie sie beispielhaft im Zusammenhang mit den 1 bis 9 dargestellt und beschrieben ist.
  • In einer beispielhaften Ausführungsform des Systems 1200 ist die Steuereinheit mit einer Antriebsvorrichtung gekoppelt. Die Steuereinheit 1202 steuert einen Bremsvorgang eines Rades, das Teil der Antriebsvorrichtung ist. Die Steuereinheit 1202 regelt eine Bremsleistung des Kraftfahrzeugs, um einen möglichst kurzen Bremsweg zu erzielen. Beispielsweise ist die Steuereinheit 1202 Teil eines Antiblockiersystems und verhindert bei einem Bremsvorgang ein Blockieren des Rades. In einer Ausführungsform umfasst die Steuereinheit 1202 einen Sensor, der eine Drehzahl des Rades misst und der eine Schaltungsanordnung 100 umfasst. Mittels des Raddrehzahlsensors kann erkannt werden, wenn das Blockieren des Rades droht bzw. wenn das Rad blockiert.
  • In einer weiteren beispielhaften Ausführungsform des Systems 1200 steuert die Steuereinheit 1202 ein Insassenschutzmittel. Bei dem Insassenschutzmittel handelt es sich beispielsweise um einen Airbag oder um einen Gurtstraffer. Die Steuereinheit 1202 löst beispielsweise den Airbag aus, wenn das Kraftfahrzeug auf ein Hindernis prallt, um Fahrzeuginsassen vor Verletzungen zu schützen. In einer Ausführungsform umfasst die Steuereinheit 1202 einen Sensor, der die Beschleunigung des Kraftfahrzeugs erfasst und der eine Schaltungsanordnung 100 umfasst. Der Beschleunigungssensor erkennt eine negative Beschleunigung des Kraftfahrzeugs, die durch einen Aufprall verursacht wird, und die Steuereinheit 1202 löst daraufhin den Airbag aus.
  • In einer weiteren beispielhaften Ausführungsform des Systems 1200 umfasst die Antriebsvorrichtung ein Motor-System, und die Steuereinheit 1202 überwacht eine Unterspannung des Motor-Systems. Die Steuereinheit 1202 löst beispielsweise ein Rücksetzsignal aus, wenn eine Spannung des Motor-Systems einen bestimmten Wert unterschreitet.
  • Bei den mit Bezug auf 12 beschriebenen Ausführungsformen des Systems 1200 ist die Schaltungsanordnung 100 in einer sicherheitskritischen Anwendung, nämlich in einem Kraftfahrzeug, eingesetzt. Bei dem System 1200 ist ein Versagen, beispielsweise eines Airbags oder eines Antiblockiersystems, unbedingt zu verhindern und eine korrekte Funktionsweise der Schaltungsanordnung 100 muss gewährleistet sein. Die Schaltungsanordnung 100 eignet sich für einen Einsatz in einem derartigen sicherheitskritischen System, da eine Degradation einer Fuse der Schaltungsanordnung 100 erkannt wird noch bevor sich die Schaltungsanordnung 100 fehlerhaft verhält. Im Falle einer entstandenen Degradation besteht somit die Möglichkeit, die Schaltungsanordnung 100 außer Betrieb zu setzen noch bevor sie sich fehlerhaft verhält. Beispielsweise kann die Schaltungsanordnung 100 in einem Kraftfahrzeugsystem derart integriert sein, dass das Erkennen einer Degradation bewirkt, dass ein Neustart des Kraftfahrzeugs verhindert wird, da ein korrektes Verhalten eines Airbags, eines Antiblockiersystems oder einer Unterspannungsüberwachung eines Motor-Systems nicht mehr garantiert ist.
  • Neben einem Kraftfahrzeug gibt es weitere Systeme, in denen die Schaltungsanordnung 110 in einer sicherheitskritischen Anwendung eingesetzt werden kann. Beispielsweise kann die Schaltungsanordnung 100 in einem System der Medizintechnik, in einer Reaktorsteuerung oder in einem Verkehrsleitsystem, beispielsweise des Luftverkehrs oder des Bahnverkehrs, eingesetzt werden.
    • 100
    Schaltungsanordnung
    102
    Fuseelement
    104
    zu schützender Schaltungsteil
    106
    Sensorelement
    108
    Degradation
    110
    Bereich
    202
    Auswerteschaltung
    204
    Signal
    302
    Fuse
    304
    Leiterbahn
    306
    Ausschnitt
    308
    erster Anschluss der Fuse
    310
    zweiter Anschluss der Fuse
    312
    Verbindungsbrücke
    402
    Halbleitersubstrat
    404
    erste Leiterbahnebene
    406
    zweite Leiterbahnebene
    408
    dritte Leiterbahnebene
    410
    vierte Leiterbahnebene
    412
    Passivierungsschicht
    414
    Öffnung
    416, 418
    Seitenwand
    502
    Leiterbahn
    602, 604,
    606
    Fuse
    608, 610,
    612, 614,
    616
    Leitungsteilelement
    618, 620,
    622, 624
    Verbindungselement
    626
    erster Anschluss des Leitungselements
    628
    zweiter Anschluss des Leitungselements
    630
    Leitungselement
    702, 704
    Leitungsteilelement
    706
    Leitungselement
    708
    erster Anschluss des Leitungselements
    710
    zweiter Anschluss des Leitungselements
    802
    erstes Leitungsteilelement
    804
    zweites Leitungsteilelement
    806
    erster Anschluss des ersten Leitungsteilelements
    808
    erster Anschluss des zweiten Leitungsteilelements
    810
    Durchkontaktierung
    812
    zweiter Anschluss des ersten Leitungsteilelements
    814
    zweiter Anschluss des zweiten Leitungsteilelements
    816
    Sensorelement
    902
    Leitungselement
    904
    Aktivierungsfuse
    906
    erster Anschluss der Aktivierungsfuse
    908
    zweiter Anschluss der Aktivierungsfuse
    1000
    Auswerteschaltung
    1002
    Signal
    1004, 1006
    Eingang
    1008
    Stromquelle
    1010
    Inverter
    1100
    Auswerteschaltung
    1102
    Signal
    1104, 1106
    Eingang
    1108
    Stromquelle
    1110
    Inverter
    1200
    System
    1202
    Steuereinheit

Claims (25)

  1. Schaltungsanordnung (100) mit einem Fuseelement (102), einem zu schützenden Schaltungsteil (104), und einem Sensorelement (106) zum Erkennen eines Eindringens einer von dem Fuseelement (102) ausgehenden Degradation (108) in einen zwischen dem Fuseelement (102) und dem zu schützenden Schaltungsteil (104) liegenden Bereich (110).
  2. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1, mit einer Auswerteschaltung (202), die mit dem Sensorelement (104) koppelbar ist.
  3. Schaltungsanordnung nach Anspruch 2, wobei die Auswerteschaltung (202) mit dem zu schützenden Schaltungsteil (104) koppelbar ist, um den zu schützenden Schaltungsteil (104) abzuschalten.
  4. Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche 2 oder 3, wobei ein Ausgang der Auswerteschaltung (202) zum Bereitstellen eines Signals (204) vorgesehen ist, wobei die Auswerteschaltung (202) derart eingerichtet ist, dass sie das Signal (203) in Abhängigkeit eines Zustands des Sensorelements (104) erzeugt.
  5. Schaltungsanordnung nach einem der voranstehenden Ansprüche, wobei das Fuseelement (102) ein Leitungselement umfasst, das zum Programmieren des Fuseelements (102) durchtrennbar ist.
  6. Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei das Fuseelement (102) zwei Leitungsteilelemente umfasst, die zueinander beabstandet angeordnet sind und die zum Programmieren des Fuseelements (102) miteinander verbindbar sind.
  7. Schaltungsanordnung nach einem der voranstehenden Ansprüche, wobei das Fuseelement (102) eine mittels Laser programmierbare Fuse oder Anti-Fuse ist.
  8. Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei das Fuseelement (102) eine elektrisch programmierbare Fuse oder Anti-Fuse ist.
  9. Schaltungsanordnung nach einem der voranstehenden Ansprüche, wobei das Fuseelement (102), der zu schützende Schaltungsteil (104) und das Sensorelement (106) in einem integrierten Halbleiterbaustein ausgebildet sind.
  10. Schaltungsanordnung nach Anspruch 9, wobei das Sensorelement (104) ein Leitungselement (304) umfasst, das in einer gleichen Leiterbahnebene wie das Fuseelement (102) angeordnet ist.
  11. Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche 9 oder 10, wobei das Sensorelement (104) ein Leitungselement (502) umfasst, das in einer über dem Fuseelement (102) liegenden Leiterbahnebene angeordnet ist.
  12. Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche 10 oder 11, wobei das Leitungselement (304, 502) in einer Metallebene angeordnet ist.
  13. Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche 9 bis 12, wobei das Sensorelement (104) zwei Leitungsteilelemente (802, 804) umfasst, die in zwei Leiterbahnebenen angeordnet sind und die über eine Durchkontaktierung (810) miteinander verbunden sind.
  14. Schaltungsanordnung nach einem der voranstehenden Ansprüche, wobei der zu schützenden Schaltungsteil (102) ein weiteres Fuseelement (602, 604, 606) umfasst.
  15. Schaltungsanordnung nach einem der voranstehenden Ansprüche, wobei der zu schützenden Schaltungsteil (102) eine Mehrzahl von Fuseelementen (602, 604, 606) umfasst und mit einer Mehrzahl von Sensorelementen (610, 612, 614), wobei ein Sensorelement (610, 612, 614) jeweils in einem Bereich zwischen zwei Fuseelementen (602, 604, 606) angeordnet ist und wobei die Sensorelemente (610, 612, 614) seriell miteinander verbunden sind.
  16. Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche 14 oder 15, wobei der zu schützenden Schaltungsteil (102) eine Mehrzahl von Fuseelementen (602, 604, 606) umfasst und das Sensorelement (104) als Leitungselement (630) ausgestaltet ist, das mäanderförmig um die Fuseelemente (302, 602, 604, 606) angeordnet ist.
  17. System (1200) zum Einsatz in einem Kraftfahrzeug mit einer Steuereinheit (1202), die eine Schaltungsanordnung (100) nach einem der Ansprüche 1 bis 16 umfasst.
  18. System (1200) nach Anspruch 17, mit einer Antriebsvorrichtung, die mit der Steuereinheit (1202) koppelbar ist.
  19. System (1200) nach Anspruch 18, wobei die Antriebsvorrichtung ein Rad umfasst.
  20. System (1200) nach Anspruch 19, wobei die Steuereinheit (1202) zum Steuern eines Bremsvorgangs des Rades vorgesehen ist.
  21. System (1200) nach einem der Ansprüche 19 oder 20, wobei die Steuereinheit (1202) einen Sensor zum Erfassen einer Drehzahl des Rades aufweist, und der Sensor die Schaltungsanordnung (100) umfasst.
  22. System (1200) nach einem der Ansprüche 18 bis 21, wobei die Antriebsvorrichtung ein Motor-System umfasst und die Steuereinheit (1202) zum Überwachen einer Unterspannung des Motor-Systems vorgesehen ist.
  23. System (1200) nach einem der Ansprüche 17 bis 22, mit einem Insassenschutzmittel, wobei die Steuereinheit (1202) zum Steuern des Insassenschutzmittels vorgesehen ist.
  24. System (1200) nach Anspruch 23, wobei das Insassenschutzmittel einen Airbag und/oder einen Gurtstraffer umfasst.
  25. System (1200) nach einem der Ansprüche 17 bis 24, wobei die Steuereinheit (1202) einen Sensor zum Erfassen einer Beschleunigung des Kraftfahrzeuges aufweist, und der Sensor die Schaltungsanordnung (100) umfasst.
DE102008022744A 2008-05-08 2008-05-08 Schaltungsanordnung und System zum Einsatz in einem Kraftfahrzeug Expired - Fee Related DE102008022744B4 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102008022744A DE102008022744B4 (de) 2008-05-08 2008-05-08 Schaltungsanordnung und System zum Einsatz in einem Kraftfahrzeug
US12/463,230 US8026727B2 (en) 2008-05-08 2009-05-08 Circuit arrangement and system for use in a motor vehicle

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102008022744A DE102008022744B4 (de) 2008-05-08 2008-05-08 Schaltungsanordnung und System zum Einsatz in einem Kraftfahrzeug

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE102008022744A1 DE102008022744A1 (de) 2009-11-12
DE102008022744B4 true DE102008022744B4 (de) 2010-01-07

Family

ID=41152629

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102008022744A Expired - Fee Related DE102008022744B4 (de) 2008-05-08 2008-05-08 Schaltungsanordnung und System zum Einsatz in einem Kraftfahrzeug

Country Status (2)

Country Link
US (1) US8026727B2 (de)
DE (1) DE102008022744B4 (de)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011089462A1 (en) * 2010-01-21 2011-07-28 Freescale Semiconductor, Inc. Are Chip damage detection device for a semiconductor integrated circuit
US8587912B2 (en) * 2010-10-22 2013-11-19 General Electric Company Electric circuit protection system and method for protecting an electric circuit
CN112428877A (zh) * 2019-08-26 2021-03-02 上海西门子医疗器械有限公司 供电系统、电动客车及车载医疗影像设备

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6091273A (en) * 1997-08-19 2000-07-18 International Business Machines Corporation Voltage limiting circuit for fuse technology
DE10127385C2 (de) * 2001-06-06 2003-10-09 Infineon Technologies Ag Intergrierte Schaltung mit zumindest einer Sicherung sowie Verfahren zur Herstellung einer derart integrierten Schaltung

Family Cites Families (45)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3234651A (en) * 1963-09-24 1966-02-15 Russell C Rivers Bow sight
US3455027A (en) * 1967-08-30 1969-07-15 David J Perkins Archery bow sight
US3475820A (en) * 1967-09-27 1969-11-04 George L Kernan Bow sight
US3641675A (en) * 1969-07-14 1972-02-15 Buford H Funk Jr Optical alignment system
US3997975A (en) * 1969-12-23 1976-12-21 Lear Siegler, Inc. Calibration of a meridian seeking instrument
US3648376A (en) * 1970-01-13 1972-03-14 William J Millnamow Bow sight
US3945127A (en) * 1974-03-27 1976-03-23 Spencer Phillip G Sighting apparatus
US4115194A (en) * 1977-02-22 1978-09-19 The Babcock & Wilcox Company Reactor pressure vessel support
US4120096A (en) * 1977-06-13 1978-10-17 Keller Charles R Bow sight
US4162579A (en) * 1978-05-12 1979-07-31 Wakelf James Archery sight
US4159575A (en) * 1978-06-05 1979-07-03 Philip Kalmbach Sighting device for archery bows
US4177572A (en) * 1978-06-28 1979-12-11 Hindes Ted E Lighted sight pin for archery bows
US4291664A (en) * 1979-04-30 1981-09-29 Nishioka Jim Z Projectile shooting guide for bows
US5174269A (en) * 1990-07-30 1992-12-29 Toxonic, Inc. Archery bow sighting device
US5086567A (en) * 1991-04-02 1992-02-11 Tutsch Jerald H Archery bow sight reticle with multiple fixed aiming points
US5131153A (en) * 1991-09-04 1992-07-21 Seales Milford L Bow sight
US5231765A (en) * 1992-06-26 1993-08-03 Sherman James R Illuminated sight having a light collector serving a fiber optic
US5285767A (en) * 1992-09-11 1994-02-15 Robert Padilla Shock absorption in archery sights
US5367780A (en) * 1993-07-30 1994-11-29 Savage; Huey P. Archery bow torque sight
US5442861A (en) * 1993-12-23 1995-08-22 Lorocco; Paul M. Sight pin and holder for archery bow
US5560113A (en) * 1994-06-27 1996-10-01 New Archery Products Corp. Bowsight
US5579752A (en) * 1995-03-08 1996-12-03 Ebsa Corporation Adjustable bow sight
US5632091A (en) * 1995-05-30 1997-05-27 Brion; James Archery bow sight
US5619801A (en) * 1995-06-26 1997-04-15 Toxonics Manufacturing, Inc. Fiber optic pin sight for a bow
US5634278A (en) * 1995-09-20 1997-06-03 Tommy E. Hefner Bow sight
US6122833A (en) * 1996-12-26 2000-09-26 Tru-Glo, Inc. Day/night weapon sight
US5718215A (en) * 1997-01-03 1998-02-17 Ebsa Corporation Adjustable bow sight
US5836294A (en) * 1997-05-14 1998-11-17 James E. Merritt Bow sight
US5862603A (en) * 1997-07-11 1999-01-26 Ellig; Michael Sighting indicia
US5894672A (en) * 1997-08-14 1999-04-20 Trumark Manufacturing Company Enhanced sight marker apparatus
US6000141A (en) * 1997-12-19 1999-12-14 Scout Mountain Equipment, Inc. Archery bow sight
US6443142B1 (en) * 1998-01-08 2002-09-03 Detowis Ab Device for a sight
US6073352A (en) * 1998-03-19 2000-06-13 Laser Technology, Inc. Laser bow sight apparatus
US6061919A (en) * 1998-04-23 2000-05-16 Reichert; Gary R. Range finder archery sight
US6581317B1 (en) * 1999-06-10 2003-06-24 Toxonics Manufacturing, Inc. Gaseous illuminated fiber optic sight
US6382201B1 (en) * 1999-11-17 2002-05-07 Mathew A. McPherson Bow vibration damper
US6276068B1 (en) * 2000-01-26 2001-08-21 Douglas J. Sheliga Archery sight with zero pin spacing capability
US6508005B2 (en) * 2000-01-26 2003-01-21 Copper John Corporation Solo plane pin head bow sight
US6418633B1 (en) * 2000-06-30 2002-07-16 Trophy Ridge, Llc Vertical in-line bow sight
US6634111B2 (en) * 2000-10-13 2003-10-21 Tru-Glo, Inc. Multiple pin sight for an archery bow
AUPR496301A0 (en) * 2001-05-14 2001-06-07 Cuming, Kenneth James An improved soil moisture sensing device
US6938349B2 (en) * 2001-11-20 2005-09-06 Abbas Ben Afshari Bow sight with vertically aligned pins
US7086161B2 (en) * 2004-01-13 2006-08-08 Montana Black Gold Sight and sight pins for archery bow
US9125761B2 (en) * 2007-01-25 2015-09-08 Boston Scientific Scimed, Inc. Endoscope with preloaded or preloadable stent
US7696760B2 (en) * 2007-11-30 2010-04-13 Caterpillar Inc. High voltage harness testing system

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6091273A (en) * 1997-08-19 2000-07-18 International Business Machines Corporation Voltage limiting circuit for fuse technology
DE10127385C2 (de) * 2001-06-06 2003-10-09 Infineon Technologies Ag Intergrierte Schaltung mit zumindest einer Sicherung sowie Verfahren zur Herstellung einer derart integrierten Schaltung

Also Published As

Publication number Publication date
DE102008022744A1 (de) 2009-11-12
US8026727B2 (en) 2011-09-27
US20090278404A1 (en) 2009-11-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE60011190T2 (de) Gemischte Sicherungstechnologien
DE112011103278B4 (de) Elektronische Sicherung und programmierte elektronische Sicherung
DE102012201536B4 (de) Elektronische steuervorrichtung mit unterbrechungsleitungund steuersystem
DE102006039546B4 (de) Verfahren und Mess-Schaltung zum Bestimmen der Zuverlässigkeit eines integrierten Schaltkreises
DE69635018T2 (de) Schutz gegen elektrostatische entladung für ein makrozellenfeld
EP3608644B1 (de) Verfahren zum bestimmen eines vorzeichens eines laststroms in einer brückenschaltung mit mindestenes einer leistungshalbleiterschaltung
EP1811819B1 (de) Leiterplatte
DE102006057041A1 (de) Halbleitervorrichtungen mit Struktur zum Erfassen von elektrischem Strom
DE102008022744B4 (de) Schaltungsanordnung und System zum Einsatz in einem Kraftfahrzeug
EP3452336B1 (de) Mehrspannungs-steuervorrichtung für ein kraftfahrzeug, kraftfahrzeug und betriebsverfahren für die steuervorrichtung
DE102006057042B4 (de) Sicherheitsgerichtete Schaltungsanordnung zur Ansteuerung einer Last
DE10216015A1 (de) Überspannungsschutzschaltung
DE102005003245B4 (de) Ansteuerschaltung für ein Zündelement eines Insassenschutzsystems
DE19752014A1 (de) Integrierte Halbleiterschaltungsanordnung
EP1456881A2 (de) Verfahren zum bestimmen einer esd-/latch-up-festigkeit einer integrierten schaltung
DE112016005060B4 (de) Zündvorrichtung
DE102006026691B4 (de) ESD-Schutzschaltung und -verfahren
DE19638478A1 (de) Ansteuersystem für einen Elektromotor
DE10231206B4 (de) Halbleitervorrichtung
DE10216080B4 (de) Halbleiter-Bauelement mit Niederimpedanzbereich zum Verpolungsschutz
DE102008064428B4 (de) Chipaufbau und Verfahren zur Herstellung eines Chipaufbaus
EP2073262B1 (de) Halbleiterbauelement
DE202017006695U1 (de) Elektronische Leitungsschutzschaltung sowie Leitungsschutzsystem
DE102004028695B3 (de) Halbleiterbauelement mit einem Bruchsensor
DE102013004974A1 (de) Integrierte Schaltungsanordnung, Verfahren und System zum Einsatz in einer sicherheitskritischen Anwendung

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8364 No opposition during term of opposition
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee