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Die
folgende Erfindung betrifft eine Kontrollvorrichtung zum gemeinsamen Überwachen
bzw. Kontrollieren mehrerer Plasmaenergieversorgungseinrichtungen,
eines oder mehrerer elektrischer Verbraucher, ein Energieversorgungssystem,
ein Verfahren zum gemeinsamen Überwachen
bzw. Kontrollieren mehrerer Plasmaenergieversorgungseinrichtungen
und ein Computerprogrammprodukt.
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Herkömmlicherweise
wird eine Stromversorgungseinrichtung, wie beispielsweise ein Hochfrequenzgenerator
(nachfolgend als "HF-Generator" bezeichnet) für industrielle
Anwendungen, in einem dafür
bereitgestellten Schaltschrank untergebracht. Beispielsweise kann
ein HF-Generator zum Betreiben einer Plasmaanlage eingesetzt werden.
Um eine ausreichende und korrekte Energieversorgung einer Plasmakammer
sicherzustellen, ist es häufig
notwendig, dass zwischen dem verwendeten HF-Generator und der Plasmakammer
ein oder mehrere Impedanzanpassgeräte eingesetzt werden. Anhand
dieser Impedanzanpassgeräte
wird sichergestellt, dass das von dem HF-Generator übertragene
Signal, welches beispielsweise durch eine parasitäre Impedanz
einer Zuführleitung
geändert
werden kann, einem für
die Plasmaerzeugung notwendigen Signal entspricht. Das Ausgangssignal
des Impedanzanpassgeräts stellt
schließlich
das Eingangssignal der Plasmakammer dar.
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Falls
Wartungsarbeiten an der Plasmakammer durchzuführen sind, ist es notwendig,
sicherzustellen, dass der Plasmakammer kein Signal des HF-Generators
zugeführt
wird, d. h. keine HF-Spannung an einer Elektrode der Plasmakammer
anliegt. Gleiches gilt, falls Wartungsarbeiten an einem der Impedanzanpassgeräte durchgeführt werden
sollen bzw. eines der Impedanzanpassgeräte beispielsweise ausgewechselt
werden soll. Ebenso ist es notwendig, sicherzustellen, dass beispielsweise
beim Öffnen eines
Schaltschranks, in welchem der HF-Generator untergebracht ist, der
HF-Generator frei von Spannung ist.
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Herkömmlicherweise
kann eine Sicherheitsvorkehrung derart getroffen werden, indem ein
oder mehrere Kontakte an Türen,
Klappen oder ähnlichen Öffnungen
eines Gehäuses
der Plasmakammer, des HF-Generators, des Impedanzanpassgeräts und/oder
des Schaltschranks des HF-Generators angebracht werden. Wird ein
solcher Kontakt beispielsweise durch Öffnen einer Tür geöffnet, kann
die Stromzufuhr des HF-Generators unterbrochen werden. Somit wird
in einfacher Weise sichergestellt, dass keine Spannung in bzw. an
dem System vor- bzw. anliegt, falls beispielsweise Wartungsarbeiten oder ähnliches
durchgeführt
werden sollen.
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Eine
derartige Überwachung
der Spannungsversorgung bei einer Vielzahl von HF-Generatoren sicherzustellen,
insbesondere, falls Gruppen der HF-Generatoren verschiedene Aufgaben übernehmen,
ist herkömmlicherweise
nur anhand einer aufwendigen Verkabelung aller möglichen elektrischen Bauelemente,
insbesondere der Kontrollkontakte und der Vielzahl von HF-Generatoren
möglich. Herkömmlicherweise
müssen
die vorgenannten Geräte
und Kontakte aufwendig manuell verkabelt werden, um sicherzustellen,
dass keine ungewollte Versorgung der Plasmakammer mit Energie stattfindet.
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Es
ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, in einfacher
Weise eine Energieversorgung eines elektrischen Verbrauchers, wie
beispielsweise einer Plasmakammer zu überwachen bzw. zu kontrollieren.
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Diese
Aufgabe wird durch die Kontrollvorrichtung gemäß Anspruch 1, das Energieversorgungssystem
gemäß Anspruch
12, das Verfahren gemäß Anspruch
34 und das Computerprogrammprodukt gemäß Anspruch 35 gelöst. Bevorzugte
Ausführungsformen
bzw. Ausführungsvarianten
sind Gegenstand der abhängigen
Ansprüche.
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Kontrollvorrichtung gemäß einem
Aspekt der Erfindung
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Ein
Aspekt der vorliegenden Erfindung betrifft eine Kontrollvorrichtung
zum gemeinsamen Überwachen
bzw. Kontrollieren mehrerer Plasmaenergieversorgungseinrichtungen,
insbesondere zumindest zweier HF-Generatoren, eines oder mehrerer
elektrischer Verbraucher mit:
- – zumindest
einem Signaleingang, wobei der zumindest eine Signaleingang ausgelegt
ist, Meldesignale zumindest einer Meldeeinrichtung zu empfangen,
- – zumindest
einem Signalausgang, der mit zumindest einer ersten Logikschalteinrichtung
verbunden ist, welche ausgelegt ist, einen ersten Energieunterbrecher
zumindest einer der Plasmaenergieversorgungseinrichtungen zu öffnen und/oder zu
schließen
und mit
- – einer
gemeinsamen Logikeinrichtung, welche ausgelegt ist,
– einen
Zustand bzw. eine Zustandsänderung
zumindest einer der Meldeeinrichtungen zu detektieren und
– bei einer
Detektion eines vorgegebenen Zustands bzw. bei einer Detektion einer
Zustandsänderung
zumindest einer der Meldeeinrichtungen, anhand der ersten Logikschalteinrichtung
die Stromversorgung zumindest einer der Plasmaenergieversorgungseinrichtungen
zu unterbrechen.
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In
anderen Worten können
zwei oder mehrere Meldeeinrichtungen, wie z. B. herkömmliche
elektrische Kontakte, deren Zustand sich beim Öffnen einer Tür ändert bzw.
beim Öffnen
einer Klappe ändert, usw.,
anhand einer einzigen Kontrollvorrichtung überwacht werden. Eine Zustandsänderung
kann beispielsweise ein Öffnen
eines geschlossenen Kontakts bzw. ein Schließen eines geöffneten
Kontakts sein. Eine solche Zustandsänderung kann von der Kontrollvorrichtung
detektiert werden. Bei Feststellen einer Zustandsänderung,
wird auch der Zustand der Logikschalteinrichtung geändert. Beispielsweise kann
eine unbetriebene Logikschalteinrichtung aufgrund von Stromzufuhr
nunmehr betrieben werden. Alternativ kann auch die Stromzufuhr einer
sich im Betrieb befindenden Logikschalteinrichtung unterbrochen
werden. Die Logikschalteinrichtung ist derart ausgelegt, dass durch
die Zustandsänderung
eine Stromversorgung einer oder aller der Plasmaenergieversorgungseinrichtungen
unterbrochen wird. Beispielsweise kann eine oder können mehrere
der Plasmaenergieversorgungseinrichtungen, wie beispielsweise ein
oder mehrere HF-Generatoren, einen Schalter aufweisen, der auf eine
Veränderung
des Zustands der Logikschalteinrichtung reagiert, bzw. kann die
Logikschalteinrichtung entsprechend ausgelegt sein. Die Logikschalteinrichtung
kann hierbei eine elektromagnetische Relaiseinrichtung sein. Insbesondere
kann die Logikschalteinrichtung ein so genannter herkömmlicher "Hilfsschütz-Schalter" sein bzw. Bestandteil
eines solchen "Hilfsschütz-Schalters" sein. Der Signalausgang
kann mit genau einer ersten Logikschalteinrichtung verbunden sein.
Der Signalausgang kann auch mit zwei oder mehr ersten Logikschalteinrichtungen
verbunden sein. Der Signalausgang kann vorzugsweise als erster Signalausgang
bezeichnet werden.
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Vorteilhafterweise
ist es möglich
anhand einer einzigen Kontrollvorrichtung, insbesondere anhand einer
einzigen ersten Logikschalteinrichtung der Kontrollvorrichtung,
die Stromversorgung einer Vielzahl von Plasmaenergieversorgungseinrichtungen
zu unterbrechen. In anderen Worten können anhand eines einzigen
ersten Relais, beispielsweise eines so genannten "Hilfsschütz-Schalters", eine Vielzahl von
Plasmaenergieversorgungseinrichtungen, wie beispielsweise HF-Generatoren,
von ihrer Stromzufuhr getrennt werden.
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Meldeeinrichtungen
können
beispielsweise Türkontakte
eines oder mehrerer HF-Generatoren sein, Kontakte an Zugängen zu
einer Plasmakammer bzw. Kontakte an Öffnungsmöglichkeiten von Stromquellen,
wie Gleichstromquellen und/oder Wechselstromquellen. Eine Meldeeinrichtung
kann auch ein Kontakt in einem Schaltgehäuse der Plasmaenergieversorgungseinrichtungen
sein, etc. Vorteilhafterweise kann eine Vielzahl von Meldeeinrichtungen,
wie beispielsweise eine Vielzahl von Schaltkontakten, anhand einer
Einheit gemeinsam überwacht
werden.
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Die
Meldesignale der Meldeeinrichtungen können über einen oder mehrere Signaleingänge an die
Kontrollvorrichtung übergeben
werden. Beispielsweise kann eine Vielzahl von elektrischen Überwachungsschaltern,
wie vorangehend beschrieben, in Serie miteinander verbunden sein
und mit einem Signaleingang der Kontrollvorrichtung verbunden werden.
In anderen Worten werden die Meldekontakte bzw. deren Meldesignale
vorzugsweise an einem Signaleingang gesammelt.
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Vorteilhafterweise
erlaubt somit die bevorzugte Kontrollvorrichtung einen Bedienerschutz,
insbesondere bei Plasmaanlagen mit mehreren Einspeisegeräten, wie
beispielsweise ein oder mehreren HF-Generatoren, Gleichstromquellen,
Impedanzanpassgeräten,
usw.
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Bevorzugte Ausführungsformen
der Kontrollvorrichtung
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Vorzugsweise
weist die Kontrollvorrichtung einen weiteren Signalausgang auf,
der mit zumindest einer zweiten Logikschalteinrichtung verbunden
ist, welche ausgelegt ist, einen zweiten Energieunterbrecher zumindest
einer der Plasmaenergieversorgungseinrichtungen zu öffnen und/oder
zu schließen.
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Der
weitere Signalausgang kann mit genau einer zweiten Logikschalteinrichtung
verbunden sein. Der weitere Signalausgang, d. h. der zweite Signalausgang,
kann auch mit zwei oder mehreren zweiten Logikschalteinrichtungen
verbunden sein.
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Gemäß einer
weiteren bevorzugten Ausführungsform
weist die Kontrollvorrichtung zumindest eine Gruppe von Signalausgängen auf,
wobei
- – jeder
Signalausgang der Gruppe von Signalausgängen einen Signalunterbrecher
aufweist und
- – die
Signalunterbrecher der Gruppe von Signalausgängen zwangsgeführt miteinander
verbunden sind.
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Der
Begriff "zwangsgeführt" im Sinne der Erfindung
beinhaltet sinngemäß, dass
beispielsweise zwei oder mehrere elektrische Schalter derart mechanisch
und/oder elektrisch miteinander in Verbindung stehen, dass bei einer
Zustandsänderung
eines der Schalter ebenfalls eine Zustandsänderung der anderen, verbleibenden
Schalter herbeigeführt
wird. In anderen Worten kann ein erster Schalter geöffnet sein,
wobei auch der zweite, dritte, usw. Schalter ebenso geöffnet sein
kann. Wird der erste Schalter geschlossen, wird auch der zweite,
dritte, usw. Schalter geschlossen. Alternativ kann der erste Schalter geöffnet sein
und ein weiterer Schalter, nämlich
der mit dem ersten Schalter zwangsgeführt verbundene Schalter, kann
geschlossen sein. Wird der erste Schalter geöffnet, wird der weitere Schalter
folglich aufgrund der zwangsgeführten
Verbindung geschlossen. Dies kann sinngemäß für eine beliebige Anzahl Schalter
gelten. Beispielsweise können
drei, vier, fünf,
usw. Schalter zwangsgeführt
miteinander verbunden sein, wobei eine Teilmenge der Schalter einen
geöffneten
Zustand und eine Teilmenge der Schalter einen geschlossenen Zustand
aufweisen kann. Alternativ können
auch alle Schalter geöffnet oder
alle Schalter geschlossen sein.
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Befindet
sich beispielsweise in der Stromzufuhr eines ersten Geräts, beispielsweise
einer ersten Plasmaenergieversorgungseinrichtung, ein erster elektrischer
Schalter und in einer Stromzufuhr eines zweiten Gerätes, beispielsweise
einer zweiten Plasmaenergieversorgungseinrichtung, ein zweiter elektrischer
Schalter, können
die beiden Schalter zwangsgeführt
verbunden sein. Insbesondere kann dies derart erfolgen, dass der
erste Schalter geöffnet ist,
wenn auch der zweite Schalter geöffnet
ist. Wird der erste Schalter geschlossen, wird auch der zweite Schalter
geschlossen. Ebenso gilt, falls der zweite Schalter geschlossen
wird, dass auch der erste Schalter geschlossen wird. Die Verbindung
kann beispielsweise eine einfache, mechanische Verbindung sein.
Die beiden Schalter können
z. B. über
einen Steg, einen Bügel,
etc. verbunden sein. Die Verbindung kann auch eine elektrische,
insbesondere eine elektromagnetische Verbindung, beispielsweise
anhand eines Elektromagneten sein.
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Vorteilhafterweise
wird gemäß der vorgenannten
bevorzugten Ausführungsform
das Ausgangssignal anhand der zumindest zwei Signalausgänge vervielfältigt. Dies
wird vorzugsweise anhand der zwangsgeführten Signalunterbrecher erreicht. Die
Signalunterbrecher können
hierbei einfache elektrische Schalter bzw. Kontakte sein, die derart zwangsgeführt miteinander
verbunden sind, dass alle Schalter den gleichen Zustand aufweisen.
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In
anderen Worten wird die Information, dass sich beispielsweise ein
Zustand einer Meldeeinrichtung geändert hat auf eine Vielzahl
von Schalter übertragen
bzw. auf eine Vielzahl von Signalausgängen übertragen. Dies entspricht
einer Vervielfältigung der
Meldesignale bzw. des Zustands einer Meldeeinrichtung.
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Vorzugsweise
kann ein Signalausgang auch mehrere Signalunterbrecher aufweisen.
Beispielsweise kann der erste Signalausgang einen ersten Signalunterbrecher,
einen zweiten Signalunterbrecher, einen dritten Signalunterbrecher
etc. aufweisen. Der zweite Signalausgang kann ebenfalls einen ersten Signalunterbrecher,
einen zweiten Signalunterbrecher, einen dritten Signalunterbrecher,
etc. aufweisen. Die ersten Signalunterbrecher sind vorzugsweise
jeweils zwangsgeführt
miteinander verbunden. Ebenso sind die zweiten Signalunterbrecher
vorzugsweise jeweils zwangsgeführt
miteinander verbunden, sind die dritten Signalunterbrecher vorzugsweise
jeweils zwangsgeführt
miteinander verbunden, etc.
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Eine
Gruppe von Signalausgängen
kann beispielsweise eine Teilmenge der Gesamtmenge der Signalausgänge sein.
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Vorzugsweise
ist die Logikeinrichtung mit zumindest einer Logikkontakteinrichtung
verbunden, wobei
die zumindest eine Logikkontakteinrichtung
mit zumindest einem ersten Energieunterbrecher zumindest einer Plasmaenergieversorgungseinrichtung zwangsgeführt verbindbar
ist.
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Weiterhin
vorzugsweise ist die Logikeinrichtung mit zumindest einer zweiten
Logikkontakteinrichtung verbunden, wobei
die zweite Logikkontakteinrichtung
mit einem zweiten Energieunterbrecher der zumindest einen Plasmaenergieversorgungseinrichtung
zwangsgeführt
verbindbar ist.
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In
anderen Worten kann zwischen der ersten Logikkontakteinrichtung
und dem ersten Energieunterbrecher einer Plasmaenergieversorgungseinrichtung
vorzugsweise eine mechanische Verbindung herstellbar sein. Wird
der Zustand der ersten Logikkontakteinrichtung, beispielsweise eines
elektrischen Schalters, geändert,
wird auch der Zustand des ersten Energieunterbrechers der Plasmaenergieversorgungseinrichtung
geändert.
Insbesondere ist es möglich,
dass die erste Logikkontakteinrichtung geöffnet ist, wenn der erste Energieunterbrecher
geschlossen ist. Ist der erste Energieunterbrecher geöffnet, ist
zeitgleich die erste Logikkontakteinrichtung geschlossen. Bei einer
Fehlfunktion, insbesondere wenn der erste Energieunterbrecher der
Energieversorgung aufgrund eines Defekts geschlossen bleibt, d.
h. die Stromversorgung der Piasmaenergieversorgungseinrichtung aufgrund
des defekten Energieunterbrechers weiterhin geschlossen ist, bleibt
die erste Logikkontakteinrichtung geöffnet.
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Zusätzlich kann
vorzugsweise auch die zweite Logikkontakteinrichtung mit einem zweiten
Energieunterbrecher der Plasmaenergieversorgungseinrichtung mechanisch
und/oder elektrisch verbunden sein. Folglich geht eine Zustandsänderung
der zweiten Logikkontakteinrichtung simultan mit einer Zustandsänderung
des zweiten Energieunterbrechers einher. Zusätzlich können auch noch mehrere Logikkontakteinrichtungen,
insbesondere eine dritte, eine vierte, etc. Logikkontakteinrichtung
vorgesehen sein, welche mit der Logikeinrichtung elektrisch verbindbar sind.
Ebenso können
weitere Energieunterbrecher, beispielsweise ein dritter, ein vierter
etc. Energieunterbrecher der Energieversorgung vorgesehen sein. Insbesondere
sind die Logikkontakteinrichtungen in Serie geschaltet und mit einem
Eingang und einem Ausgang der Logikeinrichtung verbunden.
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Weiterhin
vorzugsweise ist die Logikeinrichtung ausgelegt, bei Inbetriebnahme
der Kontrollvorrichtung einen Zustand der zumindest einen Logikkontakteinrichtung
zu detektieren und
bei einer Detektion eines vorgegebenen Zustandes der
zumindest einen Logikkontakteinrichtung eine Zustandsänderung
der Logikschalteinrichtung zu verhindern.
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In
anderen Worten kann die Logikeinrichtung derart ausgelegt sein,
dass die Logikeinrichtung eine Signalausgabe an die ein oder mehrere
Logikschalteinrichtungen verhindert, sofern zumindest eine Logikkontakteinrichtung
nicht einen vordefinierten Zustand aufweist. In anderen Worten kann
beispielsweise die Logikschalteinrichtung nur dann aktiviert werden,
wenn alle Logikkontakteinrichtungen geschlossen sind. Da weiterhin
vorzugsweise die Logikkontakteinrichtungen mit entsprechenden Energieunterbrechern
der Energieversorgung zwangsgeführt
verbindbar sind, müssen
die zugeordneten Energieunterbrecher folglich geöffnet sein. Sollte aufgrund
eines Defekts beispielsweise einer der Energieunterbrecher geschlossen
bleiben, bleibt die damit verbindbare Logikkontakteinrichtung geöffnet. Die
Logikeinrichtung verhindert somit eine Aktivierung des einen oder
der mehreren Logikschalteinrichtungen. Somit werden die verbleibenden
Energieunterbrecher der Plasmaenergieversorgungseinrichtung nicht geschlossen.
Da ein Betrieb der Plasmaenergieversorgungseinrichtung vorzugsweise
nur möglich
ist, falls alle Energieunterbrecher geschlossen sind, ist die Plasmaenergieversorgungseinrichtung
vorteilhafterweise nicht betreibbar.
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Besonders
bevorzugt ist die Logikeinrichtung ausgelegt, bei einer Detektion
eines vorgegebenen Zustandes der zumindest einen Logikkontakteinrichtung,
eine Zustandsänderung
eines oder mehrerer Signalunterbrecher einer der Gruppen von Signalausgängen zu
verhindern.
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In
anderen Worten kann, wie oben ausgeführt, die Aktivierung bzw. das
Abschalten einer Logikschalteinrichtung aufgrund eines Zustands
einer oder mehrerer der Logikkontakteinrichtungen verhindert werden.
Dies kann beispielsweise dadurch geschehen, dass aufgrund der Logikeinrichtung
ein oder mehrere Signalunterbrecher geöffnet bleiben bzw. geschlossen
bleiben, wenn die Logikeinrichtung einen vorbestimmten Zustand einer
oder mehrerer der Logikkontakteinrichtungen detektiert. Gleiches gilt,
wenn die Logikeinrichtung ein vorbestimmtes Signal an der Verbindung
der Logikkontakteinrichtung(en) mit der Logikeinrichtung detektiert,
falls beispielsweise ein Prüfstrom
mit einer vorbestimmten Stromstärke
vorliegt oder nicht.
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Besonders
bevorzugt ist die Logikeinrichtung ausgelegt, bei einer Detektion
eines vorgegebenen Zustandes der zumindest einen Logikkontakteinrichtung,
selektiv eine Gruppe von Signalausgängen auszuwählen und eine Zustandsänderung
der Signalunterbrecher dieser Gruppen von Signalausgängen zu
verhindern.
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Beispielsweise
kann, neben den oben beschriebenen Logikkontakteinrichtungen, ein
zusätzliches
Paar von Logikkontakteinrichtungen anhand weiterer Eingänge bzw.
Verbindungsstellen mit der Logikeinrichtung verbunden sein. Ebenso
kann vorzugsweise die Kontrollvorrichtung weitere Signalausgänge aufweisen.
Die weiteren Signalausgänge
können
vorzugsweise getrennt von den vorangehend beschriebenen Signalausgängen von
der Logikeinrichtung angesteuert werden. Die weiteren Signalausgänge bzw.
die Gruppe von Signalausgängen
können
Signalunterbrecher aufweisen, welche getrennt von den oben genannten
Signalunterbrechern von der Logikeinrichtung angesteuert werden
können. Die
weiteren Signalunterbrecher können
insbesondere zwangsgeführt
sein. Weisen die weiteren Logikkontakteinrichtungen beispielsweise
nicht einen vorgegebenen Zustand auf, können beispielsweise die Signalunterbrecher
in einem geöffneten
Zustand bleiben. Weisen hingegen die weiteren Logikkontakteinrichtungen
einen vorgegebenen Zustand auf, werden die weiteren Signalunterbrecher
geschlossen und ein Signal wird an den entsprechenden, weiteren
Signalausgängen
bereitgestellt.
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An
diesen weiteren Signalausgängen
könnten
weitere Logikschalteinrichtungen angeschlossen sein. Diese weiteren
Logikschalteinrichtungen könnten
dazu dienen, weitere Plasmaenergieversorgungseinrichtungen an- bzw.
abzuschalten. Beispielsweise könnten
die oben genannten Plasmaenergieversorgungseinrichtungen HF-Generatoren sein.
Die weiteren Plasmaenergieversorgungseinrichtungen könnten Gleichstromquellen
sein. Die Energieunterbrecher der HF-Generatoren können mit den
vorgenannten Logikkontakteinrichtungen zwangsgeführt verbindbar sein. Die weiteren
Logikkontakteinrichtungen können
mit den Energieunterbrechern der Gleichstromquellen zwangsgeführt verbindbar
sein. Folglich können,
falls ein Defekt in einem oder mehreren der HF-Generatoren bzw.
in den entsprechenden Energieunterbrechern vorliegen sollte, diese
HF-Generatoren selektiv von einem weiteren Betrieb ausgeschlossen
sein. Die Gleichstromquellen hingegen, in welchen kein Defekt vorliegt, können weiter
betrieben werden.
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Entsprechend
können
vorzugsweise weitere Signaleingänge
vorgesehen sein, welche verschiedene Meldekontakte zusammenfassen.
Die Logikeinrichtung kann vorzugsweise ausgebildet sein, entsprechend
der eingegangenen Meldesignale, d. h. abhängig davon, an welchem Signaleingang
die Meldesignale eingehen, Ausgangssignale zu erzeugen und beispielsweise
selektiv Gruppen von Signalausgängen
zur Signalausgabe ansteuern. Vorzugsweise können daher, ebenfalls in Abhängigkeit
von den Meldesignalen, Gruppen von Plasmaenergieversorgungseinrichtungen
selektiv von einem Betrieb ausgeschlossen werden.
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Insbesondere
können
an einem ersten Signaleingang Meldesignale einer Gruppe identischer Geräte eingegeben
werden. Beispielsweise können an
einem ersten Signaleingang Meldesignale von Meldekontakten der Plasmakammer
eingegeben werden. An einem zweiten Signaleingang können Meldesignale
von Meldekontakten der HF-Generatoren eingehen, usw.
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Vorzugsweise
umfasst die Logikeinrichtung für
jede Gruppe von Signalausgängen
eine erste Logikkontakteinrichtung und eine zweite Logikkontakteinrichtung.
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In
anderen Worten wird für
jede Gruppe von Signalausgängen
ein Paar Logikkontakteinrichtungen bereitgestellt, welche eine erste
Logikkontakteinrichtung und eine zweite Logikkontakteinrichtung
umfasst. Sind beispielsweise zwei, drei, vier, usw. Gruppen von
Signalausgängen
vorhanden sind auch zwei, drei, vier usw. Paare von Logikkontakteinrichtungen
mit der Logikeinrichtung verbunden. Die Paare der Logikkontakteinrichtung
sind hierbei jeweils unabhängig
voneinander mit der Logikeinrichtung verbunden. Somit ist das erste
Paar Logikkontakteinrichtungen für
sich mit der Logikeinrichtung verbunden. Das zweite Paar Logikkontakteinrichtungen
ist getrennt von dem ersten Paar Logikkontakteinrichtungen mit der
Logikeinrichtung verbunden, usw. Die Gruppe von Signaleinrichtungen
kann auch drei, vier, fünf,
etc. Signalausgänge
umfassen. Entsprechend werden für
diese Gruppe drei, vier, fünf,
etc. Logikkontakteinrichtungen bereitgestellt.
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Besonders
bevorzugt umfasst die Kontrollvorrichtung einen Empfänger, welcher
ausgelegt ist, Signale der zumindest einen Meldeeinrichtung, insbesondere
digitale Funksignale zu empfangen.
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Der
Empfänger
kann insbesondere mit zumindest einem Signaleingang der Kontrollvorrichtung verbunden
sein. Der Empfänger
kann beispielsweise dazu ausgelegt sein, Funksignale, Infrarotsignale, Bluetooth-Signale,
LAN-Signale, W-Lan-Signale, etc. zu empfangen. Alternativ oder zusätzlich kann
der Signaleingang, d. h. insbesondere der Empfänger, ausgelegt sein, mittels
eines Kupferkabels "direkt" oder "digitalisiert" die Meldesignale
zu empfangen. Alternativ/zusätzlich
kann der Signaleingang, insbesondere der Empfänger ausgelegt sein, die Meldesignale
als Lichtsignale von einem Lichtwellenleiter zu empfangen.
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Weiterhin
vorzugsweise ist zumindest eine der Logikschalteinrichtungen eine
elektromagnetische Relaiseinrichtung.
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Energieversorgungssystem gemäß einem
Aspekt der Erfindung
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Ein
weiterer Aspekt der vorliegenden Erfindung betrifft ein Energieversorgungssystem mit
mehreren Plasmaenergieversorgungseinrichtungen, insbesondere zumindest
zwei HF-Generatoren, für
zumindest einen elektrischen Verbraucher und mit einer Kontrollvorrichtung
zum gemeinsamen Überwachen bzw.
Kontrollieren der zumindest zwei Plasmaenergieversorgungseinrichtungen,
wobei die Kontrollvorrichtung
- – zumindest
einen Signaleingang aufweist, wobei der zumindest eine Signaleingang
ausgelegt ist, Meldesignale zumindest einer Meldeeinrichtung zu
empfangen,
- – zumindest
einen Signalausgang aufweist, der mit zumindest einer ersten Logikschalteinrichtung verbunden
ist, welche ausgelegt ist, einen Energieunterbrecher zumindest einer
der Plasmaenergieversorgungseinrichtungen zu öffnen und/oder zu schließen
- – eine
gemeinsame Logikeinrichtung aufweist, welche ausgelegt ist,
– einen
Zustand bzw. eine Zustandsänderung
einer jeden Meldeeinrichtung zu detektieren und
– bei einer
Detektion eines vorgegebenen Zustandes bzw. bei einer Detektion
einer Zustandsänderung
einer der Meldeeinrichtungen anhand der ersten Logikschalteinrichtung
die Stromversorgung zumindest einer der Plasmaenergieversorgungseinrichtungen
zu unterbrechen.
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Die
Energieunterbrecher können
beispielsweise herkömmliche
Schalter bzw. Kontakte sein. Die Energieunterbrecher können auch
relaisgesteuerte Schalter sein.
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Bevorzugte Ausführungsformen
des Energieversorgungssystems
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Vorzugsweise
weist die Kontrollvorrichtung zumindest einen zweiten Signalausgang
auf, der mit zumindest einer zweiten Logikschalteinrichtung verbunden
ist,
wobei die zweite Logikschalteinrichtung ausgelegt ist,
einen zweiten Energieunterbrecher zumindest einer der Energieversorgungen
zu öffnen
und/oder zu schließen.
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Weiterhin
vorzugsweise weist die Kontrollvorrichtung zumindest eine Gruppe
von Signalausgängen
auf, wobei
- – jeder Signalausgang der Gruppe
von Signalausgängen
einen Signalunterbrecher aufweist und
- – die
Signalunterbrecher der Gruppe von Signalausgängen zwangsgeführt miteinander
verbunden sind.
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Besonders
bevorzugt weist die Plasmaenergieversorgungseinrichtung eine Gruppe
von Plasmaenergieversorgungseinrichtungen auf, wobei jede Plasmaenergieversorgungseinrichtung
zumindest einen ersten Energieunterbrecher aufweist und die ersten
Energieunterbrecher der Plasmaenergieversorgungseinrichtungen zwangsgeführt miteinander
verbunden sind.
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Gemäß einer
bevorzugten Ausführungsform weist
die Logikeinrichtung zumindest eine erste Logikkontakteinrichtung
auf und die zumindest eine erste Logikkontakteinrichtung ist mit
den ersten Energieunterbrechern der Gruppe von Plasmaenergieversorgungseinrichtungen
zwangsgeführt
verbunden.
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Gemäß einer
weiteren bevorzugten Ausführungsform
weist die Logikeinrichtung zumindest eine zweite Logikkontakteinrichtung
auf und die zumindest eine zweite Logikkontakteinrichtung ist mit
den zweiten Energieunterbrechern der Gruppe von Plasmaenergieversorgungseinrichtungen
zwangsgeführt
verbunden.
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Gemäß einer
besonders bevorzugten Ausführungsform
sind
- – die
erste Logikkontakteinrichtung der Logikeinrichtung und die ersten
Energieunterbrecher der Gruppe von Plasmaenergieversorgungseinrichtungen
derart zwangsgeführt
verbunden, dass bei geöffneter
erster Logikkontakteinrichtung der Logikeinrichtung die ersten Energieunterbrecher
der Gruppe von Plasmaenergieversorgungseinrichtungen geschlossen
sind und/oder
- – die
zweite Logikkontakteinrichtung der Logikeinrichtung und die zweiten
Energieunterbrecher der Gruppe von Plasmaenergieversorgungseinrichtungen
derart zwangsgeführt
verbunden, dass bei geöffneter
zweiter Logikkontakteinrichtung der Logikeinrichtung die zweiten
Energieunterbrecher der Gruppe von Plasmaenergieversorgungseinrichtungen
geschlossen sind.
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Vorzugsweise
ist die Logikeinrichtung ausgelegt, bei einer Detektion eines vorgegebenen
Zustandes der zumindest einen Logikkontakteinrichtung, eine Zustandsänderung
eines oder mehrerer Signalunterbrecher einer der Gruppen von Signalausgängen zu
verhindern.
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Weiterhin
vorzugsweise ist die Logikeinrichtung ausgelegt, bei einer Detektion
eines vorgegebenen Zustandes der zumindest einen Logikkontakteinrichtung,
selektiv eine Gruppe von Signalausgängen auszuwählen und eine Zustandsänderung
der Signalunterbrecher dieser Gruppen von Signalausgängen zu
verhindern.
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Bevorzugt
umfasst die Logikeinrichtung für jede
Gruppe von Signalausgängen
eine erste Logikkontakteinrichtung und eine zweite Logikkontakteinrichtung.
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Besonders
bevorzugt ist das Energieversorgungssystem mit einem Empfänger ausgebildet,
welcher ausgelegt ist, Signale der zumindest einen Meldeeinrichtung,
insbesondere digitale Funksignale zu empfangen.
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Besonders
bevorzugt umfasst das Energieversorgungssystem zumindest eine Sendeeinrichtung,
welche ausgelegt ist, Signale der zumindest einen Meldeeinrichtung,
insbesondere digitale Funksignale zu senden.
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Gemäß einer
bevorzugten Ausführungsform weisen
zumindest zwei der Plasmaenergieversorgungseinrichtungen getrennte
Potentiale auf.
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Gemäß einer
weiteren bevorzugten Ausführungsform
umfasst das Energieversorgungssystem zwei oder mehr Anpasseinrichtungen,
welche ausgelegt sind, eine Energieausgabe zumindest einer der Plasmaenergieversorgungseinrichtung
an den zumindest einen der elektrischen Verbraucher anzupassen,
wobei jede Anpasseinrichtung zumindest eine Meldeeinrichtung umfasst
und/oder
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Das
Energieversorgungssystem kann auch eine Anpasseinrichtung umfassen,
welche ausgelegt ist, eine Energieausgabe zumindest einer der Plasmaenergieversorgungseinrichtung
an den zumindest einen der elektrischen Verbraucher anzupassen,
wobei die Anpasseinrichtung zwei oder mehr Meldeeinrichtungen umfasst.
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Gemäß einer
besonders bevorzugten Ausführungsform
sind die ersten Energieunterbrecher der Gruppe von Plasmaenergieversorgungseinrichtungen
derart miteinander und mit der ersten Logikunterbrecheinrichtung
der Logikeinrichtung zwangsgeführt
verbunden, dass bei einem defekten ersten Energieunterbrecher die
erste Logikunterbrecheinrichtung der Logikeinrichtung geöffnet ist.
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Vorzugsweise
sind die Logikeinrichtung und die zumindest eine Meldeeinrichtung
derart miteinander verbunden, dass die Meldeeinrichtung die Zustandsinformation
digital, bevorzugt als digitales Funksignal an die Logikeinrichtung überträgt.
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Weiterhin
vorzugsweise ist die zumindest eine Meldeeinrichtung ausgelegt,
kontinuierlich ein Signal zu senden und die Logikeinrichtung ist
ausgelegt, eine Zustandsänderung
zu detektieren, wenn das Signal unterbrochen ist.
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Bevorzugt
weist das Energieversorgungssystem einen Energieverbraucher auf,
wobei der Energieverbraucher zumindest eine Elektrode einer Plasmakammer
umfasst.
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Besonders
bevorzugt umfasst der Energieverbraucher zwei oder mehr Elektroden
einer Plasmakammer.
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Vorzugsweise
umfasst das Energieversorgungssystem einen Energieverbraucher mit
einem Laser, insbesondere einem CO2 Laser.
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Weiterhin
vorzugsweise umfasst das Energieversorgungssystem zwei oder mehr
Impedanzanpasseinrichtungen, welche ausgelegt sind, Ausgangssignale
der zwei oder mehr HF-Generatoren derart anzupassen, dass sie als
Eingangssignale einer Plasmakammer mit einer oder mehr Elektroden zur
Plasmagenerierung angepasst sind.
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Bevorzugt
ist zumindest eine der Logikschalteinrichtungen eine elektromagnetische
Relaiseinrichtung.
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Verfahren gemäß einem
Aspekt der Erfindung
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Ein
weiterer Aspekt der vorliegenden Erfindung betrifft ein Verfahren
zum gemeinsamen Überwachen
bzw. Kontrollieren mehrerer Plasmaenergieversorgungseinrichtungen,
insbesondere zumindest zweier HF-Generatoren mit den Schritten:
- – Überwachen
eines Zustands zumindest einer Meldeeinrichtung,
- – Detektieren
eines vorbestimmten Zustandes und/oder einer Zustandsänderung
der zumindest einen Meldeeinrichtung anhand einer Logikeinrichtung,
- – Ändern des
Zustandes einer ersten Logikschalteinrichtung, anhand der Logikeinrichtung,
wenn ein vorbestimmter Zustand und/oder eine Zustandsänderung
der zumindest einen Meldeeinrichtung detektiert wurde,
- – Ändern eines
Zustands eines Energieunterbrechers zumindest einer der Plasmaenergieversorgungseinrichtungen,
insbesondere eines jeden HF-Generators, anhand der Zustandsänderung der
ersten Logikschalteinrichtung, so dass eine Stromversorgung zumindest
einer der Plasmaenergieversorgungseinrichtungen, insbesondere der
beiden HF-Generatoren, unterbrochen wird.
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Vorteilhafterweise
ist das Verfahren ausgelegt, die Stromzufuhr der zumindest zwei
Plasmaenergieversorgungseinrichtungen zu überwachen bzw. zu kontrollieren.
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Vorzugsweise
umfasst das Verfahren einen Schritt einer Detektion eines Zustandes
eines Logikstromkreises. Der Logikstromkreis umfasst insbesondere
zwei oder mehr Logikkontakteinrichtungen. Folglich kann vorzugsweise
festgestellt werden, ob zumindest eine Logikkontakteinrichtung geöffnet ist.
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Weiterhin
vorzugsweise umfasst das Verfahren einen Schritt eines Verhinderns
einer Signalausgabe, beispielsweise durch Unterbrechen der Signalausgabe,
an zumindest einem der Signalausgänge, wenn der Zustand zumindest
einer der Logikkontakteinrichtungen als geöffnet detektiert wurde. Dies kann
durch Unterbrechen eines Stromkreises erfolgen.
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Weiterhin
vorzugsweise wird der Schritt Detektion eines Zustandes eines Logikstromkreises wiederholt
durchgeführt,
insbesondere wenn der Betrieb der zumindest einen Plasmaenergieversorgungseinrichtung
aufgenommen wird. In anderen Worten wird die Detektion eines Zustandes
eines Logikstromkreises immer dann durchgeführt, wenn die Stromzufuhr zumindest
einer Plasmaenergieversorgungseinrichtung aktiviert wird bzw. aktiviert
werden soll.
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Computerprogrammprodukt gemäß einem
Aspekt der Erfindung
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Ein
weiterer Aspekt der vorliegenden Erfindung betrifft ein Computerprogrammprodukt,
insbesondere auf einem computerlesbaren Medium gespeichert oder
als Signal verwirklicht, welches, wenn geladen in und ausgeführt von
einem Computer, bewirkt, dass der Computer ein erfindungsgemäßes Verfahren
durchführt.
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Die
vorangehende Beschreibung der Aspekte der Erfindung ist nicht auf
die jeweiligen Aspekte beschränkt.
Vielmehr gelten die Ausführungen
zu den jeweiligen Aspekten sinngemäß für die weiteren Aspekte der
Erfindung. Insbesondere gelten die Ausführungsformen in Hinsicht auf
die Kontrollvorrichtung bzw. bevorzugte Ausführungsformen der Kontrollvorrichtung
sinngemäß für das Energieversorgungssystem,
das Verfahren und das Computerprogrammprodukt.
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Figurenbeschreibung
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Nachfolgend
werden bevorzugte Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung anhand begleitender Figuren beispielhaft
beschrieben. Einzelne Elemente der beschriebenen Ausführungsformen sind
nicht auf diese Ausführungsform
beschränkt. Vielmehr
können
Elemente der Ausführungsformen beliebig
miteinander kombiniert werden und neue Ausführungsformen dadurch erstellt
werden.
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Es zeigt
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1 eine
schematische Ansicht eines bevorzugten Energieversorgungssystems;
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2 eine
schematische Ansicht eines bevorzugten Energieversorgungssystems,
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3 eine
schematische Ansicht eines bevorzugten Energieversorgungssystems,
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4 einen
beispielhaften Schaltplan.
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1 zeigt
eine bevorzugte Ausführungsform
eines Vakuum Plasma Systems 10 als bevorzugtem Energieversorgungssystem,
mit einem ersten HF-Generator 12 und einem zweiten HF-Generator 14 als
bevorzugte Plasmaenergieversorgungseinrichtungen. Der erste HF-Generator 12 ist
beispielsweise mit einem Signalausgang von 13,56 MHz ausgebildet.
Der zweite HF-Generator 14 ist beispielsweise mit einem
Signalausgang von 3,39 MHz ausgebildet. Ferner umfasst der Vakuum
Plasma System 10 eine so genannte "Interlock-Verteilerbox" 16 als bevorzugte
Kontrollvorrichtung. Die Interlock-Verteilerbox 16 hat
Signaleingänge 18, 20 und
Signalausgänge 22, 24.
Die Signaleingänge 18, 20 sind
mit Meldekontakten bzw. -schaltern 26, 28 als
bevorzugte Meldeeinrichtungen verbunden. Die Begriffe "Schalter" und "Kontakt" werden im Sinne
dieser Erfindung synonym verwendet. Hierbei werden Kontakte bzw.
Schalter, die einen Stromkreis schließen als "Schließer" bezeichnet. Kontakte bzw. Schalter,
die einen Stromkreis öffnen
werden als "Öffner" bezeichnet.
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Der
Meldekontakt 26 kann beispielsweise mit einer Abdeckung
einer so genannten "Matchbox" als bevorzugter
Impedanzanpasseinrichtung verbunden sein. Die Matchbox ist beispielhaft
durch Schaltkreis 32 dargestellt. Wird beispielsweise die
Abdeckung 30 geöffnet,
wird auch der Meldekontakt 26 geöffnet, d. h. ein Stromfluss
durch den Meldekontakt 26 verhindert. Meldekontakt 26 ist
ein beispielhafter „Öffner". Ebenso ist ein
Stromfluss durch den Signaleingang 18 nicht mehr möglich, was
von der Interlock-Verteilerbox 16 detektiert werden kann.
Beispielsweise kann ein geringer Hilfsstrom durch den Meldekontakt
fließen
und der Hilfsstrom von der Interlock-Verteilerbox 16 überwacht
bzw. detektiert werden. Fließt
kein Hilfsstrom mehr, da der Meldekontakt 26 geöffnet ist,
kann dies anhand der Interlock-Verteilerbox 16 detektiert
werden.
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In
analoger Weise ist eine Abdeckung 34 einer zweiten "Matchbox" dargestellt. Die
zweite Matchbox ist beispielhaft anhand des Schaltkreises 36 dargestellt.
Ist die Abdeckung 34 geöffnet,
ist auch der Meldekontakt 28 geöffnet, wodurch ein Stromfluss
durch den Meldekontakt 28 nicht mehr möglich ist, was anhand der Interlock-Verteilerbox 16 detektierbar
ist. In diesem Fall ist, wie bei dem Signaleingang 18,
kein Stromfluss durch den Signaleingang 20 möglich, da
der Meldekontakt 28 geöffnet
ist. Dies kann von der Interlock-Verteilerbox 16 detektiert
werden.
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Sobald
die Interlock-Verteilerbox 16 detektiert, dass Meldekontakt 26 und/oder
Meldekontakt 28 geöffnet
sind, wird ein Signal durch den Signalausgang 22 und/oder
den Signalausgang 24 ausgegeben. Anhand des Signals wird
die Stromversorgung des HF-Generators 12 und/oder des HF-Generators 14 unterbrochen.
Es ist möglich,
dass die Signalausgänge 22, 24 als
ein einziger Signalausgang ausgebildet sind. Somit können beide
HF-Generatoren 12, 14 bei Detektion eines geöffneten Meldekontakts 26, 28 von
einer Stromzufuhr getrennt werden. Wird beispielsweise der HF-Generator 12 von
dem Stromnetz getrennt, kann über
Leitung 38 kein Signal mehr an eine Elektrode 40 der
Plasmakammer 42 übermittelt
werden bzw. wird keine Spannung mehr durch den HF-Generator 12 an
der Elektrode 40 angelegt. In anderen Worten wird, sobald
die Abdeckung 30 geöffnet
ist, verhindert, dass innerhalb der Plasmakammer 42, in
welcher die Matchbox 32 bzw. in dessen Nähe die Matchbox 32 angeordnet
ist, eine Spannung angelegt wird. Vorteilhafterweise ist daher beispielsweise
Wartungspersonal, welches die Kammer zur Wartung anhand der Abdeckung 30 öffnet, vor
Verletzungen bzw. Gefährdung
der Gesundheit durch Spannung-/Stromschläge geschützt. Gleiches gilt in analoger
Weise, falls die Abdeckung 34 geöffnet wird. In diesem Fall
wird die Stromversorgung des HF-Generators 14 unterbrochen
und es kann kein Strom durch Leitung 44 in die Elektrode 40 der Plasmakammer 42 fließen. In
anderen Worten wird ein Stromfluss in die Plasmakammer 42 verhindert. Der
vorgenannte Begriff "Signal" ist im Sinne dieser Anmeldung
gleichbedeutend mit dem Begriff "elektromagnetisches
Signal", insbesondere
mit (hoher) Spannung und/oder (hohem) Stromfluss.
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2 zeigt,
analog zu 1, einen Vakuum Plasma System 50 als
bevorzugtes Energieversorgungssystem. Der Vakuum Plasma System 50 umfasst
einen ersten HF-Generator 52, einen zweiten HF-Generator 54 und
einen dritten HF-Generator 56. Ferner umfasst der Vakuum
Plasma System 50 eine Interlock-Verteilerbox 58.
Die Interlock-Verteilerbox 58 weist Signaleingänge 60, 62, 64 und
Signalausgänge 66, 68, 70 auf.
Ferner sind in 2 Matchbox 72, Matchbox 74 und
Matchbox 76 dargestellt, wobei Matchbox 72 eine
Abdeckung 78 aufweist, Matchbox 74 eine Abdeckung 80 aufweist
und Matchbox 76 eine Abdeckung 82 aufweist. Weiterhin
ist in Matchbox 72 ein Meldekontakt 84 angeordnet,
in Matchbox 74 ein Meldekontakt 86 angeordnet
und in Matchbox 76 ein Meldekontakt 88 angeordnet.
Die Signaleingänge 60, 62, 64 können zu
einem Signaleingang zusammengefasst sein.
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Wird
die Abdeckung 78 der Matchbox 72 geöffnet, kann
die Interlock-Verteilerbox 58 dies detektieren. Insbesondere
ist kein Stromfluss durch den Signaleingang 60 möglich, was
ebenfalls anhand der Interlock-Verteilerbox 58 detektiert
werden kann.
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Entsprechend
kann die Interlock-Verteilerbox 58 an den Signalausgang 66 ein
Signal ausgeben, welches die Stromversorgung des HF-Generators 52 unterbricht.
Folglich wird von dem HF-Generator 52 auch keine HF-Spannung
anhand einer Leitung 90 durch die Matchbox 72 hindurch
an eine Elektrode 92 einer Plasmakammer 94 abgegeben bzw.
fließt
kein Strom durch die Leitung 90. Die HF-Generatoren 54, 56 können beispielsweise
unabhängig
davon weiter betrieben werden.
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Wird
die Abdeckung 80 der Matchbox 74 geöffnet, wird
entsprechend durch Signaleingang 62 ein Signal in der Interlock-Verteilerbox 58 generiert,
ein entsprechendes Signal anhand des Signalausgangs 68 beispielsweise
an HF-Generator 54 übermittelt und
HF-Generator 54 nicht weiter betrieben. Folglich wird auch
hierbei vermieden, eine HF-Spannung anhand einer Leitung 96 durch
die Matchbox 74 hindurch, an einer Elektrode 98 der
Plasmakammer 94 anzulegen. Zusätzlich kann auch anhand von
Signalausgang 70 ein Signal an den HF-Generator 56 gesandt
werden, aufgrund dessen der Betrieb des HF-Generators 56 unterbrochen
wird. Folglich liegt auch keine Spannung an einer Elektrode 100 der Plasmakammer
an, welche über
eine Leitung 102 mit dem HF-Generator 56 verbunden
ist.
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Alternativ
kann auch bei Öffnen
einer der Abdeckungen 78, 80, 82 der
Betrieb aller HF-Generatoren 52, 54, 56 unterbrochen
werden. Vorteilhafterweise kann dadurch kein Spannungsüberschlag
von einer betriebenen Elektrode 92, 98, 100 erfolgen,
wodurch auch kein Spannungsüberschlag
zwischen den einzelnen Elektroden 92, 98, 100 möglich ist.
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Ferner
kann ein weiterer Meldekontakt (nicht gezeigt) an einer Abdeckung
(nicht gezeigt) zu der Plasmakammer angeordnet sein, und bei Öffnen dieser
Abdeckung ein oder mehrere der HF-Generatoren 52, 54, 56 nicht
weiter mit Strom versorgt werden.
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3 zeigt
ein weiteres, bevorzugtes Vakuum Plasma System 104 ähnlich,
zu dem in 1 gezeigten Vakuum Plasma System 10.
Das Vakuum Plasma System 104 umfasst Sendeeinrichtungen 105a, 105b und
Empfangseinrichtungen 106a, 106b. Ferner umfasst
das Vakuum Plasma System 104 eine zentrale Master-Empfangs-Sendeeinrichtung 108.
Die zentrale Master-Empfangs-Sendeeinrichtung 108 ist hierbei
vorzugsweise mit der Interlock-Verteilerbox 16 in Signalaustausch.
Insbesondere kann die zentrale Master-Empfangs-Sendeeinrichtung 108 einen
oder mehrere der Signaleingänge 16, 20 und/oder
einen oder mehrere der Signalausgänge 22, 24 (gezeigt
in 1) der Interlock-Verteilerbox 16 ersetzen.
Folglich kann die Interlock-Verteilerbox 16 anhand der
Master-Empfangs-Sendeeinrichtung 108 in Signalaustausch
mit einer Vielzahl von Elementen des Vakuum Plasma Systems 104 sein.
Beispielsweise kann die zentrale Master-Empfangs-Sendeeinrichtung 108 von
den Sendeeinrichtungen 105a, 105b Signale empfangen.
Die Sendeeinrichtungen 105a, 105b können hierbei
in Kontakt mit einem oder mehreren der Meldekontakte 26, 28 stehen
und einen Zustand bzw. eine Zustandsänderung eines oder mehrerer
der Meldekontakte 26, 28 an die zentrale Master-Empfangs-Sendeeinrichtung 108 übermitteln.
Insbesondere kann die Signalübertragung über Funk,
W-Lan, Bluetooth, Infrarot, usw. durchgeführt werden. Die Meldekontakte 26, 28 können hierbei über eine
eigene Energieversorgung (nicht gezeigt) verfügen und/oder mit der Energieversorgung
beispielsweise eines der Schaltkreise 32, 36 verbunden sein.
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Ferner
sind in 3 Empfangseinrichtungen 106a, 106b dargestellt.
Die Empfangseinrichtungen 106a, 106b sind insbesondere
in Signalaustausch mit der zentralen Master-Empfangs-Sendeeinrichtung 108.
Stellt beispielsweise die Interlock-Verteilerbox 16 fest,
dass eine Zustandsänderung
eines der Meldekontakte 26, 28 statt gefunden
hat, kann anhand der zentralen Master-Empfangs-Sendeeinrichtung 108 ein
entsprechendes Signal an eine oder mehrere Empfangseinrichtungen 106a, 106b übermittelt
werden. Der Betrieb eines oder mehrerer der HF-Generatoren 12, 14 wird
daraufhin unterbrochen. Zusätzlich
oder alternativ kann/können
ein oder mehrere der HF-Generatoren 12, 14 über eigene
Meldekontakte (nicht gezeigt) verfügen, die über eigene Sendeeinrichtungen
(nicht gezeigt) in Signalaustausch mit der zentralen Master-Empfangs-Sendeeinrichtung 108 stehen.
Tritt beispielsweise eine Zustandsänderung eines (nicht gezeigten)
Meldekontaktes des HF-Generators 12 auf, wird ein entsprechendes
Signal an die zentrale Master-Empfangs-Sendeeinrichtung 108 übermittelt
und von der Interlock-Verteilerbox 16 ausgewertet. Entsprechend kann
anhand der zentralen Master-Empfangs-Sendeeinrichtung 108 ein
Signal an einen oder mehrere der HF-Generatoren 12, 14,
bzw. deren Empfangseinrichtungen 106a, 106b übermittelt
werden, so daß der
Betrieb eines oder mehrerer der HF-Generatoren 12, 14 unterbrochen
wird. Der Signalaustausch zwischen den HF-Generatoren 12, 14 und
der zentralen Master-Empfangs-Sendeeinrichtung 108 kann
auch anhand der Empfangseinrichtungen 106a, 106b durchgeführt werden.
In anderen Worten kann eine oder mehrere der Empfangseinrichtungen 106a, 106b auch
ausgelegt sein, Signale zu senden. Es können daher Signale von einem
oder mehreren Meldekontakten (nicht gezeigt) der HF-Generatoren 12, 14 anhand
der Empfangseinrichtung(en) 106a, 106b an die
zentrale Master-Empfangs-Sendeeinrichtung 108 übermittelt
werden.
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In
anderen Worten kann die zentrale Master-Empfangs-Sendeeinrichtung 108 die
Signalausgänge 22, 24 und
Signaleingänge 18, 20 der
Interlock-Verteilerbox 16 ersetzen. Analog können die Sendeeinrichtungen 105a, 105b und
die Empfangseinrichtungen 106a, 106b die Signalleitungen
zwischen den Meldekontakten 26, 28 und der Interlock-Verteilerbox 16 und
die Signalleitungen zwischen den HF-Generatoren 12, 14 und
der Interlock-Verteilerbox 16 ersetzen.
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Die
zentrale Master-Empfangs-Sendeeinrichtung 108 kann beispielsweise
integraler Bestandteil der Interlock-Verteilerbox 16 sein.
Die zentrale Master-Empfangs-Sendeeinrichtung 108 kann
beispielsweise bei der Herstellung der Interlock-Verteilerbox 16 integriert
sein. Alternativ kann die Interlock-Verteilerbox 16 auch
mit einer zentralen Master-Empfangs-Sendeeinrichtung 108 nachgerüstet werden.
Hierbei kann die zentrale Master-Empfangs-Sendeeinrichtung 108 signaltechnisch
mit den Signaleingängen 18, 20 und
den Signalausgängen 22, 24 der
Interlock-Verteilerbox 16 verbunden werden. Analog können auch
ein oder mehrere der Meldekontakte 26, 28 bzw.
der Matchboxen 72, 76 (gezeigt in 2)
mit Sendeeinrichtungen 105a, 105b nachgerüstet werden
oder entsprechend ausgetauscht werden. Ebenso können die HF-Generatoren mit
Empfangseinrichtungen 106a, 106b nachträglich ausgestattet
werden.
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Das
Vakuum Plasma System 104, wie in 3 gezeigt,
kann daher identisch zu dem in 1 gezeigten
Vakuum Plasma System 10 sein, bis auf die Ausnahme, dass
der Signalaustausch zwischen den Meldekontakten 26, 28 und
der Interlock-Verteilerbox 16 und den HF-Generatoren 12, 14 drahtlos ist.
Entsprechend kann auch der Signalaustausch in dem Vakuum Plasma
System 50, wie in 2 gezeigt,
drahtlos sein, indem entsprechende Sendeeinrichtungen und Empfangseinrichtungen
eingesetzt werden.
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4 zeigt
einen beispielhaften Schaltplan einer Plasmaenergieversorgungseinrichtung
mit einer Kontrollvorrichtung 110. Die Kontrollvorrichtung 110 umfasst
beispielsweise ein herkömmliches
Sicherheitsschaltgerät 112 als
bevorzugte Logikeinrichtung 112. Eine solche Logikeinrichtung 112 kann beispielsweise
ein Sicherheitsschaltgerät
sein, welches in NOT-AUS-Einrichtungen nach EN 418 und in Sicherheitsstromkreisen
nach VDE 0113 Teil 1 (11.98) bzw. EN 60 204-1 (11.98) verwendet
wird, z. B. bei beweglichen Verdeckungen und Schutztüren. Insbesondere
kann die Logikeinrichtung ein Sicherheitsschaltgerät umfassen,
welches je nach äußerer Beschaltung
Kategorie 3 und/oder 4 nach DIN EN 954-1 erreicht.
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Herkömmlicherweise
besitzt ein Sicherheitsschaltgerät
zwei Freigabekreise (sichere Kreise) als Schließerkreise. Beim Einschalten
werden die interne Schaltung des Sicherheitsschaltgerätes und
die externen Schütze
auf korrekte Funktion (klebende bzw. verschweißte Kontakte) überprüft. Hierzu
wird beispielhaft auf die obige Beschreibung der Interlock-Verteilerbox 58 verwiesen.
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Wird
beispielsweise der Interlockkreis der Interlock-Verteilerbox 58 unterbrochen,
z. B. durch Öffnen
einer Abdeckung oder durch Drahtbruch, so wird die Versorgungsspannung
am Signaleingang 114 (siehe unten), vorzugsweise etwa 24
V, am Sicherheitsschaltgerät 112 unterbrochen
und der Freigabekreis des Sicherheitsschaltgerätes 132a, 132b, 134a, 134b (siehe
unten) öffnet
sicher. Dadurch öffnen
die Hilfsschütze 126, 128 als
bevorzugte Relais 126, 128 (siehe unten) redundant
die Schaltkreise 126a, 126b, 126c, 126d sowie 128a, 128b, 128c, 128d (siehe
unten). Durch die Serienschaltung der Schaltkontakte von Relais 126 und
Relais 128 wird redundant abgeschaltet.
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Die
Elemente 126a, 126b, 126c, 126d sowie, 128a, 128b, 128c, 128d sind
Schließer, 126e sowie 128e sind Öffner. Sie
sind zwangsgeführt.
Wenn z. B. Hilfsschütz 126a klebt,
bleibt der Kontakt 126e geöffnet, dadurch werden Logikelemente 132 und 134 nicht
angesteuert.
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Die
Logikeinrichtung 112 hat einen Signaleingang 114 und
zwei Signalausgänge 116, 118.
Ferner hat die Logikeinrichtung eine Verbindungsstelle 120 zum
Verbinden mit zwei Logikkontakteinrichtungen 126e, 128e.
Die Logikkontakteinrichtungen 126e, 128e können herkömmliche
elektrische Schalter bzw. Kontakte sein.
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Die
Logikkontakteinrichtungen 126e, 128e sind mit
Schaltern 126a und 128a eines ersten HF-Generators 130a zwangsgeführt verbunden.
In anderen Worten kann zwischen dem Schalter 126e und dem
Schalter 126a eine mechanische Verbindung vorliegen, so
dass, wenn der Schalter 126e geöffnet wird, der Schalter 126a geschlossen
wird. Analog kann zwischen dem Schalter 128e und dem Schalter 128a eine
derartige mechanische bzw. elektrische insbesondere elektromagnetische
Verbindung vorliegen, dass, wenn Schalter 128e geöffnet wird,
Schalter 128a geschlossen wird.
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Ferner
sind in 4 ein zweiter HF-Generator 130b,
ein dritter HF-Generator 130c und ein vierter HF-Generator 130d dargestellt.
Der HF-Generator 130b hat Schalter 126b, 128b.
Der HF-Generator 130c hat Schalter 126c, 128c und
der HF-Generator 130d hat Schalter 126d, 128d.
Die Schalter 126a, 126b, 126c, 126d sind
vorzugsweise zwangsgeführt miteinander
verbunden, d. h. die Schalter 126a, 126b, 126c, 126d lassen
sich nur gemeinsam öffnen und
schließen.
Ebenso sind die Schalter 128a, 128b, 128c, 128d zwangsgeführt miteinander
verbunden. Wird somit die Logikkontakteinrichtung 126e,
d. h. der Schalter 126e der Logikeinrichtung 110 geöffnet, werden
die Schalter 126a, 126b, 126c, 126d alle
gemeinsam geschlossen und umgekehrt.
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Weiterhin
sind in 4 ein Schalter 132a und
ein Schalter 132b gezeigt. Die Schalter 132a, 132b sind
zwangsgeführt
miteinander verbunden.
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Ferner
ist in 4 der Schalter 134a und der Schalter 134b gezeigt.
Die Schalter 134a und 134b sind zwangsgeführt miteinander
verbunden. Außerdem
sind die Schalter 132a, 134a mit dem Signalausgang 116 verbunden.
Sind die Schalter 132a, 134a geschlossen, kann über den
Signalausgang 116 ein Signal an ein erstes Relais 126 als
bevorzugte erste Logikschalteinrichtung gegeben werden. Ebenso gilt für die Schalter 132b, 134b,
dass, wenn sie geschlossen sind, ein Signal über den zweiten Signalausgang 118 an
ein zweites Relais 128 als bevorzugte zweite Logikschalteinrichtung
ausgegeben werden kann.
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Das
Relais 126 steht derart in Kontakt mit einem der Schalter 126a, 126b, 126c, 126d,
dass das Relais 126 diesen Schalter betätigen kann. In anderen Worten
wird über
den Signalausgang 116 an das Relais 126 ein Signal
ausgegeben und dadurch das Relais von einem aktiven in einen inaktiven
Zustand übergeführt oder
von einem inaktiven in einen aktiven Zustand. Entsprechend wird
der daran gekoppelte Schalter, beispielsweise Schalter 126a geöffnet oder geschlossen.
Folglich werden die mit Schalter 126a zwangsgeführt verbundenen
Schalter 126b, 126c, 126d ebenso geöffnet oder
geschlossen. Gleiches gilt für
das Relais 128 und die Schalter 128a, 128b, 128c, 128d in
analoger Weise. Ferner sind die Schalter 132a und 132b zwangsgeführt miteinander
verbunden. Die Schalter 134a und 134b sind ebenfalls zwangsgeführt miteinander
verbunden. Wird beispielsweise der Schalter 132a geschlossen,
wird auch der Schalter 132b geschlossen. In gleicher Weise
gilt für
die Schalter 134a und 134b, dass, wenn Schalter 134a geschlossen
wird, auch der Schalter 134b geschlossen wird und umgekehrt.
Die Aktivierung der Schalter 132a, 132b, 134a, 134b wird
durch Logikelement 140 der Logikeinrichtung 112 durchgeführt.
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Das
erste und/oder das zweite Relais 126, 128 kann
ein herkömmliches
Hilfsschütz
mit zwangsgeführten
Kontakten sein bzw. einen solchen umfassen. Schütze bzw.
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Schütz-Schalter
sind beispielsweise elektromagnetisch betätigte Schalter. Sie werden
durch den Steuerstrom einer Magnetspule eingeschaltet und in ihrer
Einschaltstellung gehalten. Dabei werden die am Anker angebrachten
beweglichen Schaltstücke gegen
feste Schaltstücke
gepresst. Mit diesen Kontakten schaltet man Verbraucher mit größeren Leistungen,
wie z. B. Motoren, Beleuchtungsanlagen.
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Hilfsschütze sind
elektromagnetisch betätigte
Schalter, die zum Schalten von so genannten Hilfsstromkreisen, wie
z. B. Meldeeinrichtungen, Verriegelungen, Steuerungen, usw. genutzt
werden.
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Nachfolgend
werden beispielhaft der Aufbau und die Funktionsweise eines Schützes beschrieben. Ein
Schütz
ist ein Schalter, der elektromagnetisch betätigt wird. Es besteht aus einem
Gehäuse,
einer Magnetspule, einem feststehenden Spulenkern, einem beweglichen
Anker, den Schaltkontakten sowie Ankerrückstellfedern Wird an der Spule
Spannung angelegt, so baut sie ein Magnetfeld auf. Der Anker wird angezogen.
Dadurch werden die Kontakte je nach Ausführung entweder geschlossen
(Schließer)
oder geöffnet
(Öffner).
Nimmt man die Spannung weg, so fällt
der Anker wieder ab und die Ankerrückstellfedern bringen die Kontakte
wieder in die Ausgangsstellung. Schütze werden beispielsweise mit
Betätigungsspannungen
(Spulenspannungen) von 24 V, 42 V, 60 V, 115 V, 125 V, 230 V, 400
V und 500 V (vorzugsweise bei 50 Hz) gebaut.
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Nachfolgend
werden zwangsgeführte
Kontakte beschrieben, wie sie beispielsweise in der Norm EN 50205
bzw. IEC 60947 definiert werden. Die vorgenannten Normen und darin
enthaltenen Definitionen sind insoweit integraler Bestandteil der
Anmeldung. Bei zwangsgeführten
Kontakten eines Relais/Schütz
dürfen Öffner und
Schließer über die
Lebensdauer niemals gleichzeitig geschlossen sein. Dies gilt auch
für den
fehlerhaften Zustand der Relais/Schütze. Ist beispielsweise ein
Schließer
verschweißt,
so bleiben alle anderen Öffnerkontakte
des betroffenen Relais/Schütz
geöffnet,
egal ob das Relais/Schütz
erregt wird oder nicht.
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Zusätzlich sind
in 4 die Meldekontakte 142a bis 142h dargestellt.
Die Meldekontakte 142a bis 142h sind in Serie
miteinander verbunden. Weiterhin ist in 4 eine Stromversorgung
in Form eines Netzteils 144 zum Betreiben der Kontrollvorrichtung 110 und/oder
der Meldekontakte 142a bis 142h dargestellt.
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Der
Signaleingang 114 der Kontrollvorrichtung 110 ist
einerseits mit dem negativen Anschluss des Netzteils 144,
d. h. mit dem Potential Erde verbunden. Der andere Anschluss des
Signaleingangs 114 ist über
die in Serie geschalteten Meldekontakte 142a bis 142h mit
dem positiven Kontakt des Netzteils 144 verbunden. Sind
alle Meldekontakte 142a bis 142h funktionstüchtig und
geschlossen, kann ein Strom durch die Meldekontakte fließen und
anhand des Signaleingangs 114 durch die Logikeinrichtung 112 detektiert
werden. In diesem Fall wird geprüft,
ob die Schalter 126e, 128e offen oder geschlossen
sind. Sind auch die Schalter 126e, 128e geschlossen,
d. h. die Schalter 126a bis 126d und die Schalter 128a bis 128d sind
geöffnet,
werden die Schalter 132a und 134a aktiviert. Aufgrund
der Zwangsführung
werden auch die Schalter 132b und 134b aktiviert,
d. h. geschlossen. Es fließt
folglich anhand der Signalausgänge 116, 118 ein
Strom durch die Relais 126, 128. Die Relais 126, 128 werden
somit aktiviert und schließen
die Kontakte 126a und 128a. Entsprechend, werden
aufgrund der Zwangsführung,
die weiteren Kontakte 126b, 126c, 126d und
die Kontakte 128a, 128b und 128c geschlossen.
Dadurch wird erreicht, dass die HF-Generatoren 130a bis 130d mit
Strom versorgt werden können
und ein entsprechendes HF-Signal ausgeben können.
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Wird
beispielsweise zumindest einer der Meldekontakte 142a bis 142h geöffnet, wird
auch der Stromfluss am Signaleingang 114 unterbrochen.
Diese Unterbrechung kann von dem Logikelement 140 detektiert
werden. Es ist möglich,
dass ein vorzugsweise geringer Hilfsstrom durch den Signaleingang 114 und
die Meldekontakte 142a–142h fließt und eine Änderung
des Stromflusses bzw. ein Unterbrechen des Stromflusses detektiert
wird. Aufgrund dieser Zustandsänderung
eines der Meldekontakte 142a–142h werden die Kontakte 132a und 134a geöffnet und
entsprechend, aufgrund der Zwangsführung, auch die Kontakte 132b und 134b geöffnet. Somit
wird eine Stromversorgung der Relais 126, 128 unterbrochen,
wodurch die Schalter 126a und 128a geöffnet werden.
Ebenso werden, aufgrund der Zwangsführung, die Schalter 126a bis 126d und
die Schalter 128a bis 128d geöffnet. Die Stromversorgung
der HF-Generatoren 130a bis 130d wird daher unterbrochen
und keine HF-Spannung mehr ausgegeben. Aufgrund der Zwangsführung werden
die Kontakte 126e, 128e geschlossen.
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Wird
der geöffnete
Meldekontakt der Meldekontakte 142a–142h wieder geschlossen,
können auch
die HF-Generatoren 130a bis 130d wieder betrieben
werden, da die Logikeinrichtung 112 das Schließen der
Schalter 126a–126d und
der Schalter 128a–128d ermöglicht.
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Es
ist auch möglich,
dass ein oder mehrere der Schalter 126a–126d bzw. der Schalter 128a–128d defekt
sind. Wird beispielsweise der Betrieb der Relais 126, 128 unterbrochen,
da beispielsweise einer der Meldekontakte 142a–142h öffnet, öffnen sich
im Normalfall die Schalter 126a–126d und die Schalter 128a–128d.
Ein Defekt der Schalter 126a–126d oder der Schalter 128a–128d kann
darin bestehen, dass beispielsweise der Schalter 126b aufgrund
eines Verklebens bzw. Verschweißens
geschlossen bleibt. Aufgrund der Zwangsführung bleiben auch die Schalter 126a, 126c und 126d geschlossen.
Entsprechend, aufgrund der Zwangsführung, bleibt der Schalter 126e der
Kontrollvorrichtung 110 geöffnet. Eine Stromversorgung
der HF-Generatoren 130a–130d ist nicht möglich, da
die Schalter 128a–128d geöffnet sind.
Wird nun an dem Signaleingang 114 ein Signal angelegt,
wenn beispielsweise alle Meldekontakte 142a bis 142h wieder
betriebsfähig
sind, ist es erwünscht,
auch die HF-Generatoren 130a bis 130d wieder zu
betreiben. Dies kann z. B. gelten, wenn ein vorher geöffneter
Meldekontakt der Meldekontakte 142a bis 142h wieder
geschlossen ist. Das Logikelement 140 der Logikeinrichtung 112 detektiert
jedoch, dass kein Stromfluss durch die Verbindungsstelle 120 möglich ist,
da Schalter 126e geöffnet
ist. In diesem Fall verhindert das Logikelement 140, dass
die Kontakte 132a, 132b, 134a, 134b geschlossen
werden, wodurch auch die Relais 126, 128 nicht
betrieben werden. Folglich werden die Schalter 128a bis 128d nicht
geschlossen. Die HF-Generatoren 130a–130d werden daher,
obwohl die Schalter 126a–126d geschlossen
sind, nicht betrieben.
-
Erst
wenn der defekte, d. h. beispielsweise der verklebte bzw. verschweißte Schalter 126b ausgetauscht
wird und somit die Schalter 126a bis 126b alle
geöffnet
sind, kann wieder ein Stromfluss durch die Kontaktstelle 120 möglich sein,
was von dem Logikelement 140 detektiert wird. Daraufhin
werden durch Schließen
der Schalter 132a, 132b, 134a, 134b die
Relais 126, 128 aktiviert und alle Schalter 126a–126b und 128a–128b geschlossen.
Die HF-Generatoren 130a bis 130b werden folglich
wieder mit Strom versorgt und HF-Spannung bzw. HF-Signal ausgegeben.
-
Die
obigen Ausführungen
gelten sinngemäß auch für die Schalter 128a–128d,
d. h. falls ein oder mehrere Schalter 128a–128d defekt
ist.
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Weiterhin
kann die Anzahl der HF-Generatoren vergrößert bzw. verkleinert werden.
Entsprechend können
mehrere Paare von Signalausgängen in
der Kontrollvorrichtung angeordnet sein und unterschiedliche Gruppen
von Signalausgängen
unterschiedlicher Gruppen von HF-Generatoren ansteuern. Entsprechend
kann eine größere oder
kleinere Anzahl von Meldekontakten 142a bis 142h vorliegen, wobei
Teilmengen der Meldekontakte in Gruppen unterteilt sein können. Die
Meldekontakte einer jeden Gruppe können beispielsweise in Serie
geschaltet sein. Die Meldekontakte der verschiedenen Gruppen können an
verschiedenen Signaleingängen
mit der Kontrollvorrichtung 110 verbunden sein. Ebenso
können
mehrere Gruppen von Schaltern 132a, 132b, 134a, 134b,
entsprechend der Anzahl von Signaleingängen, d. h. entsprechend der
Anzahl von Gruppen von Meldekontakten vorliegen. Gleiches gilt für die Logikkontakteinrichtung 126e, 128e und
für die
Kontaktstelle 120. Entsprechend einer Vielzahl von Gruppen
von Plasmaenergieversorgungseinrichtungen kann eine Vielzahl von
Kontaktstellen 120 vorliegen.
-
Alternativ
kann ein Energieversorgungssystem auch eine Vielzahl von Kontrollvorrichtungen 110 aufweisen,
wobei die Kontrollvorrichtungen jeweils ausgebildet sind, eine Gruppe
von HF-Generatoren zu steuern bzw. mit einer Gruppe von Meldekontakten
in Kontakt zu treten.
-
Weiterhin
ist es beispielsweise möglich,
dass ein oder mehrere der Relais 126, 128 in einen
der HF-Generatoren 130a–130d integriert sind
und das bzw. die Relais mit Strom durch die Signalausgänge 116, 118 versorgt
werden, um die Kontakte 126a–126d, 128a–128d zu
schließen.
-
- 10
- Vakuum
Plasma System
- 12
- HF-Generator
- 14
- HF-Generator
- 16
- Interlock-Verteilerbox
- 18
- Signaleingang
- 20
- Signaleingang
- 22
- Signalausgang
- 24
- Signalausgang
- 26
- Meldekontakt
- 28
- Meldekontakt
- 30
- Abdeckung
- 32
- Schaltkreis
- 34
- Abdeckung
- 36
- Schaltkreis
- 38
- Leitung
- 40
- Elektrode
- 42
- Plasmakammer
- 44
- Leitung
- 50
- Vakuum
Plasma System
- 52
- HF-Generator
- 54
- HF-Generator
- 56
- HF-Generator
- 58
- Interlock-Verteilerbox
- 60
- Signaleingang
- 62
- Signaleingang
- 64
- Signaleingang
- 66
- Signalausgang
- 68
- Signalausgang
- 70
- Signalausgang
- 72
- Matchbox
- 74
- Matchbox
- 76
- Matchbox
- 78
- Abdeckung
- 80
- Abdeckung
- 82
- Abdeckung
- 84
- Meldekontakt
- 86
- Meldekontakt
- 88
- Meldekontakt
- 90
- Leitung
- 92
- Elektrode
- 94
- Plasmakammer
- 96
- Leitung
- 98
- Elektrode
- 100
- Elektrode
- 102
- Leitung
- 104
- Vakuum
Plasma System
- 105a
- Sendeeinrichtung
- 105b
- Sendeeinrichtung
- 106a
- Empfangseinrichtung
- 106b
- Empfangseinrichtung
- 108
- Master-Empfangs-Sendeeinrichtung
- 110
- Kontrollvorrichtung
- 112
- Logikeinrichtung/Sicherheitsschaltgerät
- 114
- Signaleingang
- 116
- Signalausgang
- 118
- Signalausgang
- 120
- Verbindungsstelle
- 126
- Relais/Logikschalteinrichtung
- 126a
- Schalter
- 126b
- Schalter
- 126c
- Schalter
- 126d
- Schalter
- 126e
- Logikkontakteinrichtung
- 128
- Relais/Logikschalteinrichtung
- 128a
- Schalter
- 128b
- Schalter
- 128c
- Schalter
- 128d
- Schalter
- 128e
- Logikkontakteinrichtung
- 130a
- HF-Generator
- 130b
- HF-Generator
- 130c
- HF-Generator
- 130d
- HF-Generator
- 132
- Logikelement
- 132a
- Schalter
- 132b
- Schalter
- 134
- Logikelement
- 134a
- Schalter
- 134b
- Schalter
- 140
- Logikelement
- 142–142h
- Meldekontakt
- 144
- Netzteil