KR20080052484A

KR20080052484A - 제어 장치, 전력 공급 시스템, 방법 및 컴퓨터 프로그램 제품

Info

Publication number: KR20080052484A
Application number: KR1020070126419A
Authority: KR
Inventors: 헬데 미카엘; 만 에케하르트; 프리체 크리스챤
Original assignee: 헛팅거 일렉트로닉 게엠베하 + 코 카게
Priority date: 2006-12-06
Filing date: 2007-12-06
Publication date: 2008-06-11
Also published as: DE102006057529B4; US20080150361A1; KR101398409B1; DE102006057529A1

Abstract

본 발명은, 하나 또는 복수의 전기적 부하(40; 92, 98, 100)의, 복수의 플라즈마 전력 공급 디바이스(power supply devices)(12, 14; 52, 54, 56; 130a-130d), 특히, 적어도 2개의 RF 생성기(radio frequency generator)를 공동으로(jointly) 모니터링하기 위한 제어 장치(16; 58; 110)로서,

- 적어도 하나의 알림 디바이스(indication devices; 26, 28; 84, 86, 88; 142a-142h)의 알림 신호를 수신하도록 설계된 적어도 하나의 신호 입력단(18, 20; 60, 62, 64; 114);

- 적어도 하나의 상기 플라즈마 전력 공급 디바이스(12, 14;, 52, 54, 56; 130a-130d)의 제1 전력 인터럽터(126a-126d)를 개방(open) 및/또는 단락(close)하도록 설계된 적어도 하나의 제1 논리 스위칭 디바이스(126)에 접속된 적어도 하나의 신호 출력단(22, 24; 66, 68, 70; 116); 및

- 공통 논리 디바이스(common logic device; 112)로서,

-- 상기 적어도 하나의 알림 디바이스(26, 28; 84, 86, 88; 142a-142h)의 상태(state) 또는 상태 변화(state change)를 검출하고,

-- 상기 적어도 하나의 알림 디바이스(26, 28; 84, 86, 88; 142a-142h)의 상 태 변화 검출 시 또는 소정의 상태의 검출 시에, 상기 제1 논리 스위칭 디바이스(126)에 의하여, 상기 적어도 하나의 플라즈마 전력 공급 디바이스(12, 14; 52, 54, 56; 130a-130d)의 전력 공급을 중단하도록 설계된 상기 공통 논리 디바이스(112)를 포함하는, 제어 장치(16; 58; 110)와 전력 공급 시스템, 그 방법 및 컴퓨터 프로그램 제품에 관련된 것이다.

제어 장치, 전력 공급 시스템, 알림 디바이스

Description

제어 장치, 전력 공급 시스템, 방법 및 컴퓨터 프로그램 제품{CONTROL APPARTUS, POWER SUPPLY SYSTEM, METHOD AND COMPUTER PROGRAM PRODUCT}

이하의 발명은, 하나 또는 복수의 전기적 부하의, 플라즈마 전력 공급 디바이스(device)를 공동으로(jointly) 모니터링 또는 제어하기 위한 제어 장치, 전력 공급 시스템, 복수의 전력 공급 디바이스를 공동으로 모니터링 또는 제어하는 방법, 및 컴퓨터 프로그램 제품에 관한 것이다.

예를 들어 무선 주파수 생성기(radio frequency generator; 이하, RF 생성기라고 함)와 같은 산업 애플리케이션 용의 전력 공급 디바이스는, 종래에는, 그것을 위해 제공되는 개폐기 캐비닛(switchgear cabinet)에 수납된다. 예를 들어, RF 생성기는 플라즈마 설비를 동작시키는데 이용될 수 있다. 플라즈마 챔버의 충분하고 정확한 전력 공급을 보장하기 위하여, 사용되는 RF 생성기와 플라즈마 챔버 사이에, 하나 또는 복수의 임피던스 정합 디바이스가 삽입될 필요가 종종 있다. 상기 임피던스 정합 디바이스에 의하여, RF 생성기에 의해 송신되고, 예를 들어, 공급 라인(feed line)의 기생 임피던스에 의해 변화될 수 있는 신호가, 플라즈마 생성에 필요한 신호에 부합하는 것이 보장된다. 임피던스 정합 디바이스의 출력 신호는 최 종적으로 플라즈마 챔버의 입력 신호를 나타낸다.

플라즈마 챔버에 대해 정비(maintenance) 작업이 수행되는 경우, 플라즈마 챔버로 RF 생성기의 신호가 공급(feed)되지 않을 것, 즉, 플라즈마 챔버의 전극에 RF 전압이 존재하지 않을 것이 보장될 필요가 있다. 이것은, 예를 들어, 임피던스 정합 디바이스들 중 하나에 정비 작업이 수행되어야 하는 경우, 또는, 임피던스 정합 디바이스들 중 하나가 교환되어야 하는 경우에, 동일하게 적용된다. 마찬가지로, 예를 들어, RF 생성기가 수납되는 개폐기 캐비닛이 개방된 때, RF 생성기에 전압이 존재하지 않는 것(free of voltage)이 보장되어야 한다.

종래에는, 안전 조치는, 플라즈마 챔버, RF 생성기, 임피던스 정합 디바이스 및/또는 RF 생성기의 개폐기 캐비닛의 도어(doors), 뚜껑(flaps) 또는 이와 유사한 개구(openings)에 하나 또는 복수의 콘택트(contact)를 설비하는 것에 의하여 구현될 수 있다. 그러한 콘택트가 예를 들어 도어가 개방되는 것에 의하여 개방되는 경우, RF 생성기의 전류 공급이 중단될 수 있다. 따라서, 예를 들어 정비 작업 또는 이와 유사한 것이 수행되는 경우, 시스템에 또는 시스템 내부에 전압이 존재하지 않는 것이 간단한 방식으로 보장된다.

RF 생성기가 복수개인 경우, 특히, RF 생성기 그룹이 상이한 태스크(task)를 수행하는 경우, 종래에는, 모든 가능한 전기적 소자들, 특히, 제어 콘택트 및 복수 의 RF 생성기의 복잡한 케이블링(cabling)에 의하여만, 그러한 전압 공급의 모니터링을 보장하는 것이 가능하다. 종래에는, 플라즈마 챔버에 바람직하지 않은 전력 공급이 발생하지 않는 것을 보장하기 위하여, 전술한 디바이스들 및 콘택트들은 복잡한 방식으로 수작업으로 케이블링 되어야만 한다.

따라서, 본 발명의 목적은, 예를 들어, 플라즈마 챔버와 같은 전기적 부하로의 전력 공급을 간단한 방식으로 모니터링 또는 제어하는 것이다.

이러한 목적은 청구항 1에 따른 제어 장치, 청구항 12에 따른 전력 공급 시스템, 청구항 34에 따른 방법 및 청구항 35에 따른 컴퓨터 프로그램에 의하여 달성된다. 종속 청구항들은 바람직한 실시 형태 또는 변형 실시 형태에 관련된 것이다.

본 발명에 의하여, 플라즈마 챔버와 같은 전기적 부하로의 전력 공급을 간단한 방식으로 모니터링 또는 제어할 수 있다.

본 발명의 일 특징에 따른 제어 장치

본 발명의 일 특징은, 하나 또는 복수의 전기적 부하의, 복수의 플라즈마 전력 공급 디바이스, 특히, 적어도 2개의 RF 생성기를 공동으로 모니터링 또는 제어하는 제어 장치로서,

- 적어도 하나의 알림(indication) 디바이스의 알림 신호를 수신하기 위하여 설계된 적어도 하나의 신호 입력단,

- 적어도 하나의 플라즈마 전력 공급 디바이스의 제1 전력 인터럽터(interrupter)를 개방(open) 및/또는 단락(close)하도록 설계된 적어도 하나의 제1 논리 스위칭 디바이스에 접속되는 적어도 하나의 신호 출력단; 및

- 공통 논리 디바이스로서,

-- 적어도 하나의 알림 디바이스의 상태(state) 또는 상태 변화(state change)를 검출하고,

-- 적어도 하나의 알림 디바이스의, 상태 변화 검출 시 또는 소정의 상태의 검출 시에, 제1 논리 스위칭 디바이스에 의하여, 적어도 하나의 플라즈마 전력 공급 디바이스의 전력 공급을 중단하도록 설계된, 공통(common) 논리 디바이스를 포함하는, 제어 장치에 관련된 것이다.

즉, 예를 들어, 도어가 개방된 때 또는 뚜껑이 개방된 때 등에 그 상태가 변하는, 종래의 전기적 콘택트와 같은, 2개 이상의 알림 디바이스가, 단일 제어 장치에 의하여 모니터링될 수 있다. 상태 변화는 예를 들어, 단락된 콘택트의 개방이 될 수 있다. 그러한 상태 변화는 제어 장치에 의하여 검출될 수 있다. 상태가 확인될 때, 논리 스위칭 디바이스의 상태도 또한 변화된다. 예를 들어, 동작하지 않는 논리 스위칭 디바이스가 이제 전류 공급으로 인하여 동작할 수 있다. 이와 다르게는, 동작 중인 논리 스위칭 디바이스로의 전류 공급이 또한 중단될 수 있다. 논리 스위칭 디바이스는, 하나의 또는 모든 플라즈마 전력 공급 디바이스의 전력 공급이 상태 변화에 의하여 중단되는 방식으로 설계된다. 예를 들어, 하나 또는 복수의 RF 생성기와 같은, 예를 들어 하나 또는 복수의 플라즈마 전력 공급 디바이스는 논리 스위칭 디바이스의 상태의 변화에 반응하는 스위치를 가질 수 있으며, 또는 논리 스위칭 디바이스가 이와 상응하게 설계될 수 있다. 이 경우, 논리 스위칭 디바이스는 전자기적 릴레이 디바이스일 수 있다. 특히, 논리 스위칭 디바이스는 소위 종래의 “보조 콘택터(contactor) 스위치”이거나, 그러한 “보조 콘택터 스위치”의 일부일 수 있다. 신호 출력단은 정확하게 하나의 제1 논리 스위칭 디바이스에 접속될 수 있다. 또한, 신호 출력단은 두 개 이상의 제1 논리 스위칭 디바이스에 접속될 수 있다. 바람직하게는, 신호 출력단은 제1 신호 출력단으로 칭해질 수 있다.

효과적으로는, 단일 제어 장치에 의하여, 특히, 제어 장치의 단일의 제1 논리 스위칭 디바이스에 의하여, 복수의 플라즈마 전력 공급 디바이스의 전류 공급을 중단시킬 수 있다. 즉, 단일의 제1 릴레이, 예를 들어, 소위 “보조 콘택터 스위치”에 의하여, 예를 들어 RF 생성기와 같은 복수의 플라즈마 전력 공급 디바이스가 그것들의 전류 공급으로부터 접속 차단될 수 있다.

예를 들어, 알림 디바이스는 하나 또는 복수의 RF 생성기의 도어 콘택트, 플라즈마 챔버로의 액세스(access)에서의 콘택트, 또는 DC 전류원 및/또는 AC 전류원과 같은 전류원의 개방 가능한 곳에서의 콘택트일 수 있다. 또한, 알림 디바이스 는, 플라즈마 전력 공급 디바이스 등의 스위칭 외장커버(enclosure)의 콘택트일 수 있다. 효과적으로는, 예를 들어 복수의 스위칭 콘택트와 같은 복수의 알림 디바이스가 하나의 유닛에 의하여 공동으로 모니터링되는 것이 가능하다.

알림 디바이스의 알림 신호는, 하나 또는 복수의 신호 입력단을 통하여, 제어 장치로 전송될 수 있다. 예를 들어, 전술한 바와 같이, 복수의 전기적 모니터링 스위치는 서로 직렬로 접속되고, 제어 장치의 신호 입력단에 접속될 수 있다. 즉, 바람직하게는, 알림 콘택트 또는 그것의 알림 신호는 하나의 신호 입력단에서 수집된다.

따라서, 바람직한 제어 장치는, 특히, 예를 들어, 하나 또는 복수의 RF 생성기, DC 전류원, 임피던스 정합 디바이스 등과 같은 복수의 공급 디바이스를 가지는 플라즈마 설비의 경우에, 조작자 보호를 효과적으로 가능케 한다.

제어 장치의 바람직한 실시 형태

바람직하게는, 제어 장치는, 적어도 하나의 플라즈마 전력 공급 디바이스의 제2 전력 인터럽터를 개방 및/또는 단락하도록 설계된 적어도 하나의 제2 논리 스위칭 디바이스에 접속된 추가적인(further) 신호 출력단을 가진다.

추가적인 신호 출력단은 정확하게 하나의 제2 논리 스위칭 디바이스에 접속될 수 있다. 또한, 추가적인 신호 출력단, 즉, 제2 신호 출력단은 2개 이상의 논리 스위칭 디바이스에 접속될 수 있다.

더욱 바람직한 실시 형태에 따라서, 제어 장치는, 적어도 한 그룹의 신호 출력단을 가지고, 여기서,

- 신호 출력단 그룹의 신호 출력단 각각은 신호 인터럽터를 가지고,

- 신호 출력단 그룹의 신호 인터럽터는 양으로(positively) 구동되는 방식으로 서로 접속된다.

본 발명의 의미 내에서 “양으로 구동되는 방식”이란 표현은, 예를 들어, 스위치 중 하나의 상태 변화가 일어나면, 나머지 다른 스위치들의 상태 변화도 마찬가지로 일어나는 방식으로, 2개 이상의 전기적 스위치가 기계적 및/또는 전기적으로 서로 접속되는 사실을 유사하게 포함한다. 즉, 제1 스위치는 개방될 수 있으며, 그 경우, 제2, 제3 등의 스위치도 또한 마찬가지로 개방될 수 있다. 제2 스위치가 단락된 경우, 제2, 제3 등의 스위치도 또한 단락된다. 이와 다르게는, 제1 스위치는 개방될 수 있으며, 추가적인 스위치, 즉, 제1 스위치에 양으로 구동되는 방식으로 접속된 스위치는 단락될 수 있다. 제1 스위치가 개방된 경우, 양으로 구동된 접속 때문에, 따라서, 추가적인 스위치도 단락된다. 이것은 임의의 바람직한 개수의 스위치에 유사하게 적용될 수 있다. 예를 들어, 3개, 4개, 5개 등의 스위치가 양으로 구동되는 방식으로 서로 접속될 수 있으며, 여기서, 스위치들의 한 서브셋(subset)은 개방 상태를 가질 수 있고, 스위치들의 한 서브셋은 단락 상태를 가질 수 있다. 혹은, 모든 스위치가 개방되거나 모든 스위치가 단락되는 것도 또한 가능하다.

예를 들어, 제1 전기적 스위치가, 제1 디바이스, 예를 들어 제1 플라즈마 전력 공급 디바이스로의 전류 공급 상황에 놓여 있고, 제2 전기적 스위치가, 제2 디바이스, 예를 들어, 제2 플라즈마 전력 공급 디바이스로의 전류 공급 상황에 놓여 있는 경우, 2개의 스위치는 양으로 구동되는 방식으로 접속될 수 있다. 특히, 이것은 제2 스위치 역시 개방된 경우 제1 스위치가 개방되는 방식으로 이루어 질 수 있다. 제1 스위치가 단락된 경우, 제1 스위치도 또한 단락된다. 마찬가지로, 제2 스위치가 단락된 경우, 제1 스위치도 또한 단락되는 것도 들어 맞는다. 예를 들어, 접속은 간단한 기계적 접속일 수 있다. 2개의 스위치는 예를 들어, 링크(link), 클립(clip)을 통하여 접속될 수 있다. 또한, 접속은 전기적, 특히, 예를 들어 전자석에 의한 전자기적 접속일 수 있다.

효과적인 방식으로는, 전술한 바람직한 실시 형태에 따라서, 적어도 이 2개의 신호 출력단을 기초로 하여 출력 신호가 복제된다. 바람직하게는, 이것은 양으로 구동된 신호 인터럽터에 의하여 달성된다. 이 경우, 이 신호 인터럽터는, 모든 스위치들이 동일한 상태를 가지도록, 서로 양으로 구동되도록 서로 접속되는, 단순 한 전기적 스위치 또는 콘택트일 수 있다.

즉, 예를 들어, 알림 디바이스의 상태가 변경되었다는 정보가 복수의 스위치로 전송되거나, 또는 복수의 신호 출력단으로 전송된다. 이것은 알림 디바이스의 상태 내지는 알림 신호의 복제에 해당한다.

바람직하게는, 신호 출력단은 또한 복수의 신호 인터럽터를 가질 수 있다. 예를 들어, 제1 신호 출력단은 제1 신호 인터럽터, 제2 신호 인터럽터, 제3 신호 인터럽터 등을 가질 수 있다. 마찬가지로, 제2 신호 출력단은 제1 신호 인터럽터, 제2 신호 인터럽터, 제3 신호 인터럽터 등을 가질 수 있다. 바람직하게는, 제1 신호 인터럽터는 각 경우에 양으로 구동되는 방식으로 서로 접속된다. 마찬가지로, 바람직하게는, 제2 신호 인터럽터는 각 경우에 양으로 구동되는 방식으로 서로 접속되고, 바람직하게는, 제3 신호 인터럽터는 각 경우에 양으로 구동되는 방식으로 서로 접속된다.

신호 출력단 그룹은 예를 들면 신호 출력단의 전체 세트(set)의 서브셋(subset)일 수 있다.

바람직하게는, 논리 디바이스는 적어도 하나의 논리 콘택트 디바이스에 접속되며, 여기서,

적어도 하나의 논리 콘택트 디바이스는, 적어도 하나의 플라즈마 전력 공급 디바이스의 적어도 하나의 제1 전력 인터럽터 디바이스에 양으로 구동되는 방식으로 접속될 수 있다.

더욱 바람직하게는, 논리 디바이스는 적어도 하나의 제2 논리 콘택트 디바이스에 접속되며, 여기서,

제2 논리 콘택트 디바이스는 적어도 하나의 플라즈마 전력 공급 디바이스의 제2 전력 인터럽터에 양으로 구동되는 방식으로 접속될 수 있다.

즉, 바람직하게는, 플라즈마 전력 공급 디바이스의 제1 전력 인터럽터와 제1 논리 콘택트 디바이스의 사이에 기계적 접속이 제작될 수 있다. 제1 논리 콘택트 디바이스, 예를 들어, 전기적 스위치의 상태가 변화된 경우, 플라즈마 전력 공급 디바이스의 제1 전력 인터럽터의 상태도 또한 변화된다. 특히, 제1 전력 인터럽터가 단락된 경우, 제1 논리 콘택트 디바이스가 개방될 수 있다. 제1 전력 인터럽터가 개방된 경우, 제1 논리 콘택트 디바이스는 동시에 단락된다. 오작동의 경우, 특히, 전력 공급원의 제1 전력 인터럽터가 결함으로 인하여 단락된 채 유지되는 경우, 즉, 결함이 있는 전력 인터럽터로 인하여 플라즈마 전력 공급 디바이스의 전류 공급이 계속 단락되어 있는 경우, 제1 논리 콘택트 디바이스는 개방된 채 유지된 다.

또한, 바람직하게는, 제2 논리 콘택트 디바이스도 또한 기계적 및/또는 전기적으로 플라즈마 전력 공급 디바이스의 제2 전력 인터럽터에 접속될 수 있다. 따라서, 제2 논리 콘택트 디바이스의 상태 변화는 제2 전력 인터럽터의 상태 변화에 동시에 수반된다. 또한, 논리 디바이스에 전기적으로 접속될 수 있는, 복수의 논리 콘택트 디바이스, 특히, 제3, 제4 등의 논리 콘택트 디바이스를 제공하는 것도 역시 가능하다. 마찬가지로, 전력 공급원의 추가적인 전력 인터럽터, 예를 들어, 제3, 제4 등의 전력 인터럽터를 제공하는 것이 가능하다. 특히, 논리 콘택트 디바이스는 직렬로 접속되고, 논리 디바이스의 입력단 및 출력단에 접속된다.

더욱 바람직하게는, 논리 디바이스는, 제어 장치의 스타트-업(start-up) 시에 적어도 하나의 논리 콘택트 디바이스의 상태를 검출하고,

적어도 하나의 논리 콘택트 디바이스의 소정의 상태의 검출 시에 논리 스위칭 디바이스의 상태 변화를 방지하도록 설계된다.

즉, 논리 디바이스는, 적어도 하나의 논리 콘택트 디바이스가 소정의 상태를 가지지 않는 경우, 논리 디바이스가 하나 또는 복수의 논리 스위칭 디바이스로의 신호 출력을 방지하는 방식으로 설계될 수 있다. 즉, 예를 들어, 논리 스위칭 디바 이스는, 모든 논리 콘택트 디바이스가 단락된 때에만 활성화될 수 있다. 더욱 바람직하게는, 논리 콘택트 디바이스는, 대응되는 전력 공급원의 전력 인터럽터에 양으로 구동되는 방식으로 접속되기 때문에, 따라서, 할당된 전력 인터럽터는 개방되어야만 한다. 전력 인터럽터 중 하나가, 예를 들어, 결함으로 인하여 단락된 채 유지되는 경우, 그것에 접속될 수 있는 논리 콘택트 디바이스는 개방된 채 유지된다. 따라서, 논리 디바이스는 하나 또는 복수의 논리 스위칭 디바이스의 활성화를 방지한다. 따라서, 플라즈마 전력 공급 디바이스의 나머지 전력 인터럽터는 단락되지 않는다. 바람직하게는, 모든 전력 인터럽터가 단락된 경우에만 플라즈마 전력 공급 디바이스의 동작이 가능하기 때문에, 효과적으로, 플라즈마 전력 공급 디바이스는 동작하지 않는다.

특히 바람직하게는, 논리 디바이스는, 적어도 하나의 논리 콘택트 디바이스의 소정의 상태의 검출 시에, 신호 출력단 그룹 중 하나의, 하나 또는 복수의 신호 인터럽터의 상태 변화를 방지하도록 설계된다.

즉, 위에서 설명한 바와 같이, 하나 또는 복수의 논리 콘택트 디바이스의 상태 때문에, 논리 스위칭 디바이스의 활성화 또는 턴-오프(turn-off)를 방지할 수 있다. 이것은, 예를 들어, 논리 디바이스들로 인하여, 논리 디바이스가 하나 또는 복수의 논리 콘택트 디바이스의 소정의 상태를 검출한 경우, 하나 또는 복수의 신호 인터럽터가 개방된 채 유지되거나 단락된 채 유지되는 사실에 의하여 이루어질 수 있다. 이것은, 논리 디바이스가, 논리 콘택트 디바이스(들)의 논리 디바이스에 대한 접속에서 소정의 신호를 검출한 경우, 예를 들어, 소정의 전류 크기를 가지는 테스트 전류가 존재하거나 존재하지 않는 경우에도 동일하게 적용된다.

특히 바람직하게는, 논리 디바이스는, 적어도 하나의 논리 콘택트 디바이스의 소정의 상태의 검출 시에, 신호 출력단 그룹을 선택적으로 선택하고, 이들 신호 출력단 그룹의 신호 인터럽터의 상태 변화를 방지하도록 설계된다.

예를 들어, 위에서 설명한 논리 콘택트 디바이스에 더하여, 추가적인 입력단 또는 접속 위치에 의하여, 추가적인 논리 콘택트 디바이스 쌍이 논리 디바이스에 접속될 수 있다. 마찬가지로, 바람직하게는, 제어 장치는 추가적인 신호 출력단을 가질 수 있다. 바람직하게는, 추가적인 신호 출력단은, 앞에서 설명한 신호 출력단과는 개별적으로 논리 디바이스에 의해 구동될 수 있다. 추가적인 신호 출력단 또는 신호 출력단 그룹은, 위에서 설명한 신호 인터럽터와는 개별적으로 논리 디바이스에 의해 구동될 수 있는 신호 인터럽터를 가질 수 있다. 특히, 추가적인 신호 인터럽터는 양으로 구동될 수 있다. 예를 들어, 추가적인 논리 콘택트 디바이스가 소정의 상태를 가지지 않는 경우, 신호 인터럽터는 예를 들어 개방 상태에서 유지될 수 있다. 반대로, 추가적인 논리 콘택트 디바이스가 소정의 상태를 가지는 경우, 추가적인 인터럽터는 단락되고, 대응되는 추가적인 신호 출력단에 신호가 제공된다.

추가적인 논리 스위칭 디바이스는 상기 추가적인 신호 출력단에 접속될 수 있다. 이들 추가적인 논리 스위칭 디바이스는 추가적인 플라즈마 전력 공급 디바이스를 켜고 끄는 역할을 한다. 예를 들어, 위에서 언급한 플라즈마 전력 공급 디바이스는 RF 생성기일 수 있다. 추가적인 플라즈마 전력 공급 디바이스는 DC 전류원일 수 있다. RF 생성기의 전력 인터럽터는 위에서 언급한 논리 콘택트 디바이스에 양으로 구동되는 방식으로 접속 가능할 수 있다. 추가적인 논리 콘택트 디바이스는 DC 전류원의 전력 인터럽터에 양으로 구동되는 방식으로 접속 가능할 수 있다. 따라서, 하나 또는 복수의 RF 생성기에 또는 대응되는 전력 인터럽터에 결함이 있으면, 상기 RF 생성기는 그 다음 동작으로부터 선택적으로 배제될 수 있다. 반대로, 결함이 존재하지 않는 DC 전류원은 계속하여 동작할 수 있다.

상응하게, 바람직하게는, 상이한 알림 콘택트들을 결합(combine)하는 추가적인 신호 입력단들이 제공될 수 있다. 바람직하게는, 논리 디바이스는, 알림 신호 입력에 따라, 즉, 알림 신호가 도착하는 신호 입력단에 의존하여 출력 신호를 생성하도록, 그리고 예를 들어 신호 출력을 위해 신호 출력단 그룹을 선택적으로 구동하도록 설계될 수 있다. 따라서, 바람직하게는, 플라즈마 전력 공급 디바이스 그룹은, 마찬가지로 알림 신호에 의존하여, 동작으로부터 선택적으로 배제될 수 있다.

특히, 동일한 디바이스 그룹의 알림 신호가 제1 신호 입력단에서 입력될 수 있다. 예를 들어, 플라즈마 챔버의 알림 콘택트들로부터의 알림 신호가 제1 신호 입력단에서 입력될 수 있다. RF 생성기들의 알림 콘택트들로부터의 알림 신호가 제2 신호 입력단에서 도착할 수 있다.

바람직하게는, 논리 디바이스는, 신호 출력단의 각 그룹을 위해, 제1 논리 콘택트 디바이스 및 제2 논리 콘택트 디바이스를 포함한다.

즉, 제1 논리 콘택트 디바이스 및 제2 논리 콘택트 디바이스를 포함하는 한 쌍의 논리 콘택트 디바이스가, 신호 출력단의 각 그룹을 위해 제공된다. 만약, 예를 들어, 2개, 3개, 4개 등의 신호 출력단 그룹이 존재하는 경우, 2쌍, 3쌍, 4쌍 등의 논리 콘택트 디바이스가 논리 디바이스에 또한 접속된다. 논리 콘택트 디바이스의 쌍들은 이 경우 각각 논리 디바이스에 서로 독립적으로 접속된다. 따라서, 제1 쌍의 논리 콘택트 디바이스는 단독으로 논리 디바이스에 접속된다. 제2 쌍의 논리 콘택트 디바이스는 제1 쌍의 논리 콘택트 디바이스 등과 개별적으로 논리 디바이스에 접속된다. 또한, 신호 디바이스 그룹은 3개, 4개, 5개 등의 신호 출력단을 포함할 수 있다. 따라서, 이 그룹에 3개, 4개, 5개 등의 논리 콘택트 디바이스가 제공된다.

특히 바람직하게는, 제어 장치는, 적어도 하나의 알림 디바이스의 신호, 특히, 디지털 무선 신호를 수신하도록 설계된 수신기를 포함한다.

특히, 수신기는 제어 장치의 적어도 하나의 신호 입력단에 접속될 수 있다. 예를 들어, 수신기는 무선 신호, 적외선 신호, 블루투스 신호, LAN 신호, WLAN 신호 등을 수신하도록 설계될 수 있다. 이와 다르게 또는 부가적으로, 신호 입력단, 즉, 특히, 수신기는 구리 케이블에 의하여, “직접적으로” 또는 “디지털화 방식으로” 알림 신호를 수신하도록 설계될 수 있다. 이와 다르게/부가적으로, 신호 입력단, 특히 수신기는 광학 웨이브가이드(waveguide)로부터 광 신호로서 알림 신호를 수신하도록 설계될 수 있다.

더욱 바람직하게는, 적어도 하나의 논리 스위칭 디바이스는 전자기적 릴레이 디바이스이다.

본 발명의 일 특징에 따른 전력 공급 시스템

본 발명의 또 다른 특징은, 적어도 하나의 전기적 부하에 대한, 복수의 플라즈마 전력 공급 디바이스, 특히, 적어도 2개의 RF 생성기를 포함하고, 적어도 2개의 플라즈마 전력 공급 디바이스를 공동으로 모니터링 또는 제어하기 위한 제어 장치를 포함하는 전력 공급 시스템에 관련된 것으로, 여기서, 제어 장치는,

- 적어도 하나의 알림 디바이스의 알림 신호를 수신하도록 설계된 적어도 하 나의 신호 입력단,

- 적어도 하나의 플라즈마 전력 공급 디바이스의 전력 인터럽터를 개방 및/또는 단락하도록 설계된 적어도 하나의 제1 논리 스위칭 디바이스에 접속된 적어도 하나의 신호 출력단, 및

- 공통 논리 디바이스를 가지고, 공통 논리 디바이스는,

-- 각 알림 디바이스의 상태 또는 상태 변화를 검출하고,

-- 알림 디바이스들 중 하나의 상태 변화의 검출 시에 또는 소정의 상태의 검출 시에, 제1 논리 스위칭 디바이스에 의하여, 적어도 하나의 플라즈마 전력 공급 디바이스의 전류 공급을 중단하도록 설계된 것이다.

전력 인터럽터는 예를 들어, 종래의 스위치 또는 콘택트일 수 있다. 전력 인터럽터는 또한 릴레이-제어된 스위치일 수 있다.

전력 공급 시스템의 바람직한 실시 형태

바람직하게는, 제어 장치는, 적어도 하나의 제2 논리 스위칭 디바이스에 접속된 적어도 하나의 제2 신호 출력단을 가지고,

여기서, 제2 논리 스위칭 디바이스는 전력 공급원 중 적어도 하나의 제2 전력 인터럽터를 개방 및/또는 단락하도록 설계된다.

더욱 바람직하게는, 제어 장치는 적어도 하나의 신호 출력단 그룹을 가지고, 여기서,

- 신호 출력단 그룹의 신호 인터럽터는 양으로 구동되는 방식으로 서로 접속된다.

특히 바람직하게는, 플라즈마 전력 공급 디바이스는 플라즈마 전력 공급 디바이스의 그룹을 가지고, 여기서, 각 플라즈마 전력 공급 디바이스는 적어도 하나의 제1 전력 인터럽터를 가지고, 플라즈마 전력 공급 디바이스들의 제1 전력 인터럽터는 양으로 구동되는 방식으로 서로 접속된다.

바람직한 일 실시 형태에 따라서, 논리 디바이스는 적어도 하나의 제1 논리 콘택트 디바이스를 가지고, 적어도 하나의 제1 논리 디바이스는 플라즈마 전력 공급 디바이스 그룹의 제1 전력 인터럽터에 양으로 구동되는 방식으로 접속된다.

또 다른 바람직한 실시 형태에 따라서, 논리 디바이스는 적어도 하나의 제2 논리 콘택트 디바이스를 가지고, 적어도 하나의 제2 논리 콘택트 디바이스는 플라즈마 전력 공급 디바이스 그룹의 제2 전력 인터럽터에 양으로 구동되는 방식으로 접속된다.

특히 바람직한 실시 형태에 따라서,

- 논리 디바이스의 제1 논리 콘택트 디바이스와 플라즈마 전력 공급 디바이스 그룹의 제1 전력 인터럽터는, 논리 디바이스의 제1 논리 콘택트 디바이스가 개방일 때, 플라즈마 전력 공급 디바이스 그룹의 제1 전력 인터럽터가 단락되는 방식으로, 양으로 구동되는 방식으로 접속되고, 그리고/또는

- 논리 디바이스의 제2 논리 콘택트 디바이스와 플라즈마 전력 공급 디바이스 그룹의 제2 전력 인터럽터는, 논리 디바이스의 제2 논리 콘택트 디바이스가 개방일 때, 플라즈마 전력 공급 디바이스 그룹의 제2 전력 인터럽터가 단락되는 방식으로, 양으로 구동되는 방식으로 접속된다.

바람직하게는, 논리 디바이스는, 적어도 하나의 논리 콘택트 디바이스의 소정의 상태의 검출 시에, 신호 출력단 그룹 중 하나의 하나 또는 복수의 신호 인터럽터의 상태 변화를 방지하도록 설계된다.

더욱 바람직하게는, 논리 디바이스는, 적어도 하나의 논리 콘택트 디바이스의 소정의 상태의 검출 시에, 신호 출력단 그룹을 선택적으로 선택하고, 이들 신호 출력단 그룹의 신호 인터럽터의 상태 변화를 방지하도록 설계된다.

바람직하게는, 논리 디바이스는, 신호 출력단 그룹 각각을 위해, 제1 논리 콘택트 디바이스 및 제2 논리 콘택트 디바이스를 포함한다.

특히 바람직하게는, 전력 공급 시스템은 적어도 하나의 알림 디바이스의 신호, 특히 디지털 무선 신호를 수신하도록 설계된 수신기를 탑재한다.

특히 바람직하게는, 전력 공급 시스템은, 적어도 하나의 알림 디바이스의 신호, 특히 디지털 무선 신호를 송신하도록 설계된 적어도 하나의 송신 디바이스를 포함한다.

바람직한 일 실시 형태에 따라서, 적어도 2개의 플라즈마 전력 공급 디바이스들은 개별적인 전위(potential)를 가진다.

더욱 바람직한 실시 형태에 따라서, 전력 공급 시스템은, 적어도 하나의 플라즈마 전력 공급 디바이스들의 전력 출력을, 적어도 하나의 전기적 부하들에 정합 시키도록 설계된 2개 이상의 정합 디바이스들을 포함하고, 여기서, 각 정합 디바이스는 적어도 하나의 알림 디바이스를 포함하며, 그리고/또는,

또한, 전력 공급 시스템은, 적어도 하나의 플라즈마 전력 공급 디바이스들의 전력 출력을, 적어도 하나의 전기적 부하에 정합시키도록 설계된 정합 디바이스를 포함할 수 있으며, 여기서, 정합 디바이스는 2개 이상의 알림 디바이스를 포함한다.

특히 바람직한 실시 형태에 따라서, 플라즈마 전력 공급 디바이스 그룹의 제1 전력 인터럽터들은, 제1 전력 인터럽터의 결함이 있는 경우에 논리 디바이스의 제1 논리 인터럽팅 디바이스가 개방되는 방식으로, 서로 그리고 논리 디바이스의 제1 논리 인터럽팅 디바이스에, 양으로 구동되는 방식으로 접속된다.

바람직하게는, 논리 디바이스 및 적어도 하나의 알림 디바이스는, 알림 디바이스가 상태 정보를 디지털적으로, 바람직하게는, 디지털 무선 신호로서, 논리 디바이스에 송신하는 방식으로, 서로 접속된다.

적어도 하나의 알림 디바이스는, 더욱 바람직하게는, 신호를 연속적으로 송신하도록 설계되고, 논리 디바이스는 신호가 중단된 경우 상태 변화를 검출하도록 설계된다.

바람직하게는, 전력 공급 시스템은 전력 부하를 가지며, 여기서, 전력 부하는 플라즈마 챔버의 적어도 하나의 전극을 포함한다.

특히 바람직하게는, 전력 부하는 플라즈마 챔버의 2개 이상의 전극을 포함한다.

바람직하게는, 전력 공급 시스템은 레이저, 특히, CO2 레이저를 가지는 전력 부하를 포함한다.

2개 이상의 RF 생성기의 출력 신호가, 플라즈마 생성을 위해 하나 이상의 전극을 포함하는 플라즈마 챔버의 입력 신호로서 정합되는 방식으로, 2개 이상의 RF 생성기의 출력 신호를 정합하도록 설계되는 2개 이상의 임피던스 정합 디바이스를 포함한다.

바람직하게는, 적어도 하나의 논리 스위칭 디바이스는 전자기적 릴레이 디바이스이다.

본 발명의 일 특징에 따른 방법

본 발명의 다른 특징은, 복수의 플라즈마 전력 공급 디바이스, 특히, 적어도 2개의 RF 생성기를 공동으로 모니터링 또는 제어하는 방법에 관련된 것으로, 그 방법은,

- 적어도 하나의 알림 디바이스의 상태를 모니터링하는 단계,

- 논리 디바이스에 의하여 적어도 하나의 알림 디바이스의 상태 변화 및/또는 소정의 상태를 검출하는 단계,

- 적어도 하나의 알림 디바이스의 상태 변화 및/또는 소정의 상태가 검출된 경우, 논리 디바이스에 의하여, 제1 논리 스위칭 디바이스의 상태를 변화시키는 단계,

- 제1 논리 스위칭 디바이스의 상태 변화에 기초하여, 적어도 하나의 플라즈마 전력 공급 디바이스, 특히, 2개의 RF 생성기의 전류 공급이 중단되도록, 적어도 하나의 플라즈마 전력 공급 디바이스, 특히, 각 RF 생성기의 전력 인터럽터의 상태를 변화시키는 단계를 포함한다.

효과적으로는, 이 방법은 적어도 2개의 플라즈마 전력 공급 디바이스의 전류 공급(feed)을 모니터링 또는 제어하도록 설계된다.

바람직하게는, 이 방법은 논리 회로의 상태를 검출하는 단계를 포함한다. 논리 회로는, 특히 2개 이상의 논리 콘택트 디바이스를 포함한다. 따라서, 바람직하게는, 적어도 하나의 논리 콘택트 디바이스가 개방인지 여부가 확인될 수 있다.

더욱 바람직하게는, 방법은, 적어도 하나의 논리 콘택트 디바이스의 상태가 개방으로 검출된 경우, 예를 들어, 적어도 하나의 신호 출력단에서의 신호 출력단을 중단함으로써, 신호 출력단을 방지하는 단계를 포함한다. 이것은 인터럽팅 회로에 의해 행해질 수 있다.

더욱 바람직하게는, 논리 회로의 상태를 검출하는 단계는, 특히, 적어도 하나의 플라즈마 전력 공급 디바이스의 동작이 시작된 경우, 반복적으로 수행된다. 즉, 논리 회로의 상태의 검출은, 적어도 하나의 플라즈마 전력 공급 디바이스의 전류 공급이 활성화되거나 활성화되도록 의도될 때 마다, 수행된다.

본 발명의 일 특징에 따른 컴퓨터 프로그램 제품

본 발명의 다른 특징은, 특히, 컴퓨터-판독가능 매체에 저장되거나 신호로 실현되는 컴퓨터 프로그램 제품으로서, 컴퓨터에 의해 로딩되고 실행될 때, 컴퓨터가 본 발명에 따른 방법을 수행하는 효과를 가지는 컴퓨터 프로그램 제품에 관련된 것이다.

본 발명의 특징들의 상술한 설명은 각각의 특징에 한정되지 않는다. 오히려, 각각의 특징에 관한 설명은 본 발명의 다른 특징에 유사하게 적용된다. 특히, 제어 장치에 관한 실시 형태들 또는 제어 장치의 바람직한 실시 형태들은 전력 공급 시스템, 방법, 및 컴퓨터 프로그램 제품에 유사하게 적용된다.

본 발명의 바람직한 실시 형태들은 첨부 도면들을 참조하여 이하의 예시로서 설명된다. 설명되는 실시 형태들의 개개의 소자들은 상기 실시 형태에 한정되지 않는다. 오히려, 실시 형태들의 구성요들은 원하는 만큼 서로 결합될 수 있고, 그것에 의해 새로운 실시 형태들이 창조될 수 있다.

도 1 은 바람직한 플라즈마 전력 공급 디바이스로서 제1 RF 생성기(12) 및 제2 RF 생성기(14)를 포함하는, 바람직한 전력 공급 시스템으로서의 진공 플라즈마 시스템(10)의 바람직한 일 실시 형태를 나타낸다. 제1 RF 생성기(12)는, 예를 들어, 13.56㎒의 신호 출력단을 탑재한다. 제2 RF 생성기(14)는, 예를 들어, 3.39㎒의 신호 출력단을 탑재한다. 또한, 진공 플라즈마 시스템(10)은 바람직한 제어 장치로서, 소위 “인터록 분배기 박스(interlock distributor box; 16)를 포함한다. 인터록 분배기 박스(16)는 신호 입력단(18, 20) 및 신호 출력단(22, 24)을 가진다. 신호 입력단(18, 20)은, 바람직한 알림 디바이스로서의 알림 콘택트 또는 스위 치(26, 28)에 접속된다. 용어 “스위치” 및 “콘택트”는 이 발명의 의미 내에서 동의어로서 사용된다. 이 경우, 회로를 단락하는 콘택트 또는 스위치는 “메이크(make) 콘택트”라고 칭해진다. 회로를 개방하는 콘택트 또는 스위치는 “브레이크(break) 콘택트”라고 칭해진다.

알림 콘택트(26)는, 예를 들어, 바람직한 임피던스 정합 디바이스로서 소위 “정합박스(matchbox)”의 덮개(covering)에 접속될 수 있다. 정합박스는 예로서, 회로(32)에 의해 나타내어 진다. 예를 들어, 덮개(30)는 개방되고, 알림 콘택트(26)도 또한 개방되고, 즉, 알림 콘택트(26)를 통한 전류 흐름은 방지된다. 알림 회로(26)는 예시적인 “브레이크 콘택트”이다. 마찬가지로, 신호 입력단(18)을 통한 전류 흐름은 더 이상 가능하지 않고, 이것은 인터록 분배기 박스(16)에 의해 검출될 수 있다. 예를 들어, 작은 보조 전류가 알림 콘택트를 통해 흐를 수 있고, 보조 전류는 인터록 분배기 박스(16)에 의해 모니터링 또는 검출될 수 있다. 알림 콘택트(26)가 개방되었기 때문에 보조 전류가 더 이상 흐르지 않는 경우, 이것은 인터록 분배기 박스(16)에 의하여 검출될 수 있다.

제2 “정합박스”의 덮개(34)는 유사한 방식으로 나타내어진다. 제2 정합박스는 회로(36)에 의해 예로서 나타내어진다. 덮개(34)가 개방인 경우, 알림 콘택트(28)도 또한 개방이고, 이것에 의해, 알림 콘택트(28)를 통한 전류 흐름은 더 이상 가능하지 않고, 이것은 인터록 분배기 박스(16)에 의하여 검출될 수 있다. 이 경우, 신호 입력단(18)의 경우처럼, 알림 콘택트(28)가 개방되었기 때문에 신호 입력단(20)을 통한 전류 흐름은 가능하지 않다. 이것은 인터록 분배기 박스(16)에 의해 검출될 수 있다. 인터록 분배기 박스(16)가 알림 콘택트(26)를 검출하고, 그리고/또는 알림 콘택트(28)가 개방된 경우, 신호 출력단(22) 및/또는 신호 출력단(24)에 의해 신호가 출력된다. RF 생성기(12)의 전류 공급원 및/또는 RF 생성기(14)는 그 신호에 기초하여 중단된다. 신호 출력단(22, 24)은 단일 신호 출력단으로서 탑재될 수 있다. 따라서, 두 RF 생성기(12, 14) 모두, 개방 알림 콘택트(26, 28)의 검출 시에 전류 공급으로부터 단절될 수 있다. 만약, 예를 들어, RF 생성기(12)가 메인 공급 시스템으로부터 단절된 경우, 신호는, 라인(38)을 통하여 플라즈마 챔버(42)의 전극(40)으로 더 이상 통신될 수 없거나, 전압이 RF 생성기(12)에 의하여 더 이상 전극(40)에 인가되지 않는다. 즉, 덮개(30)가 개방되자 마자, 그 속에 또는 매우 근접하여 정합박스(32)가 배열되는 플라즈마 챔버(42) 내에 전압이 인가되는 것이 방지된다. 효과적인 방식으로, 따라서, 예를 들어, 정비 목적을 위해 덮개(30)를 이용하여 챔버를 개방하는 정비 인력이, 전압/전류에 의해 유발되는 전기적 쇼크로 인한 건강에의 상해 또는 피해로부터 보호된다. 동일한 것이, 덮개(34)가 개방된 경우에도 유사한 방식으로 적용된다. 이 경우, RF 생성기(14)의 전류 공급이 중단되고, 전류가 라인(44)를 통해 플라즈마 챔버(42)의 전극(40)으로 흐를 수 없다. 즉, 플라즈마 챔버(42)로의 전류 흐름이 방지된다. 이 출원의 의미 내에서, 위에서 언급한 용어 “신호”는 “전자기적 신호”, 특히, (높은) 전압 및/또는 (높은) 전류 흐름과 동의어이다.

도 2는, 도 1과 유사하게, 바람직한 전력 공급 시스템으로서의 진공 플라즈마 시스템(50)을 나타낸다. 진공 플라즈마 시스템(50)은 제1 RF 생성기(52), 제2 RF 생성기(54) 및 제3 RF 생성기(56)를 포함한다. 또한, 진공 플라즈마 시스템(50)은 인터록 분배기 박스(58)를 포함한다. 인터록 분배기 박스(58)는 신호 입력단(60, 62, 64) 및 신호 출력단(66, 68, 70)을 가진다. 또한, 도 2는 정합박스(72), 정합박스(74) 및 정합박스(76)를 나타내고, 여기서, 정합박스(72)는 덮개(78)를 가지고, 정합박스(74)는 덮개(80)를 가지고, 정합박스(76)는 덮개(82)를 가진다. 또한, 알림 콘택트(84)는 정합박스(72)에 배열되고, 알림 콘택트(86)는 정합박스(74)에 배열되고, 알림 콘택트(88)는 정합박스(76)에 배열된다. 신호 입력단(60, 62, 64)은 결합되어 하나의 신호 입력단을 형성할 수 있다.

정합박스(72)의 덮개(78)가 개방된 경우, 인터록 분배기 박스(58)는 이것을 검출할 수 있다. 특히, 신호 입력단(60)을 통한 전류 흐름은 불가능하고, 이것은 유사하게, 인터록 분배기 박스(58)에 의하여 검출될 수 있다. 상응하게, 인터록 분배기 박스(58)는 RF 생성기(52)의 전류 공급을 중단하는 신호를 신호 출력단(66)으로 출력할 수 있다. 따라서, 또한, RF 생성기(52)로부터, 라인(90)에 의해 정합박스(72)를 통해 플라즈마 챔버(94)의 전극(92)으로, RF 전압이 출력되지 않거나, 라인(90)을 통해 전류가 흐르지 않는다. RF 생성기(54, 56)는 예를 들어 이것과 독립적으로 계속해서 동작할 수 있다.

정합박스(74)의 덮개(80)가 개방된 경우, 상응하게, 신호 입력단(62)을 통해, 인터록 분배기 박스(58)에서 신호가 생성되고, 상응하는 신호는 신호 출력단(68)에 의하여 RF 생성기(54)로 통신되고, 예를 들어, 그리고 RF 생성기(54)는 더 이상 동작하지 않는다. 따라서, 이것은 또한, RF 전압이 라인(96)에 의해 정합박스(74)를 통해 플라즈마 챔버(94)의 전극(98)에 인가되는 것을 방지한다. 또는, 신호는 또한 신호 출력단(70)에 의해 RF 생성기(56)로 전송될 수 있으며, 그 신호로 인하여, RF 생성기(56)의 동작이 중단된다. 따라서, 라인(102)을 통하여 RF 생성기(56)에 접속된 플라즈마 챔버의 전극(100)에 존재하는 전압도 또한 없다.

이와 다르게는, 또한, 덮개(78, 80, 82) 중 하나의 개방 시에 모든 RF 생성기(52, 54, 56)의 동작이 중단될 수도 있다. 효과적인 방식으로, 이것은 동작 전극(92, 98, 100)으로부터의 전압 플래시오버(flashover)가 발생할 수 없다는 것을 의미하며, 이것은 또한, 개별 전극(92, 98, 100) 사이에서 전압 플래시오버가 있을 수 없다는 것을 의미한다.

또한, 추가적인 알림 콘택트(미도시)가 플라즈마 챔버에 관한 덮개(미도시)에 배열될 수 있고, 상기 덮개의 개방 시에, 하나 또는 복수의 RF 생성기(52, 54, 56)에는 더 이상 전류가 공급되지 않는다.

도 3은 도 1에 나타낸 진공 플라즈마 시스템(10)과 유사한, 더욱 바람직한 진공 플라즈마 시스템(104)을 나타낸다. 진공 플라즈마 시스템(104)은 송신 디바이스(105a, 105b) 및 수신 디바이스(106a, 106b)를 포함한다. 또한, 진공 플라즈마 시스템(104)은 중앙 마스터 송수신기(108)를 포함한다. 이 경우, 중앙 마스터 송수신기(108)는 바람직하게는, 인터록 분배기 박스(16)와 신호 교환 중이다. 특히, 중앙 마스터 송수신기(108)는, 인터록 분배기 박스(16)의 하나 또는 복수의 신호 입력단(18, 20) 및/또는 하나 또는 복수의 신호 출력단(22, 24) (도 1에 도시)을 대체할 수 있다. 따라서, 인터록 분배기 박스(16)는, 마스터 송수신기(108)에 의해서, 진공 플라즈마 시스템(104)의 복수의 소자들과 신호교환 중일 수 있다. 예를 들어, 중앙 마스터 송수신기(108)는 송신 디바이스(105a, 105b)로부터 신호를 수신할 수 있다. 이 경우, 송신 디바이스(105a, 105b)는 하나 또는 복수의 알림 콘택트(26, 28)와 접속 중일 수 있고, 하나 또는 복수의 알림 콘택트(26, 28)의 상태 또는 상태 변화를 중앙 마스터 송수신기(108)로 통신한다. 특히, 신호 송신은 무선, WLAN, 블루투스(bluetooth), 적외선 등을 통하여 수행될 수 있다. 이 경우, 알림 콘택트(26, 28)는 전용 전력 공급원(미도시)을 제공받을 수 있고, 그리고/또는 예를 들어, 회로(32, 36) 중 하나의 전력 공급원에 접속될 수 있다.

또한, 도 3은 수신 디바이스(106a, 106b)를 나타낸다. 수신 디바이스(106a, 106b)는 특히 중앙 마스터 송수신기(108)와 신호 교환 중이다. 만약, 예를 들어, 인터록 분배기 박스(16)가, 알림 콘택트(26, 28) 중 하나의 상태 변화가 발생한 것 을 확인한 경우, 중앙 마스터 송수신기(108)에 의해서 하나 또는 복수의 수신 디바이스(106a, 106b)로 대응되는 신호가 통신될 수 있다. 그때, 하나 또는 복수의 RF 생성기(12, 14)의 동작이 중단된다. 부가적으로 또는 이와 다르게는, 하나 또는 복수의 RF 생성기(12, 14)는, 전용 송신 디바이스(미도시)를 통하여 중앙 마스터 송수신기(108)와 신호 교환 중인 전용 알림 콘택트(미도시)를 제공받을 수 있다. 만약, 예를 들어, RF 생성기(12)의 알림 콘택트(미도시)의 상태 변화가 발생한 경우, 중앙 마스터 송수신기(108)로 대응되는 신호가 통신되고, 인터록 분배기 박스(16)에 의해 평가된다. 상응하게, 하나 또는 복수의 RF 생성기(12, 14)의 동작이 중단되도록, 중앙 마스터 송수신기(108)에 의해서, 하나 또는 복수의 RF 생성기(12, 14) 또는 그것의 수신 디바이스(106a, 106b)에 통신될 수 있다. 또한, RF 생성기(12, 14)와 중앙 마스터 송수신기(108) 사이의 신호 교환은 수신 디바이스(106a, 106b)에 의해서 수행될 수 있다. 즉, 하나 또는 복수의 수신 디바이스(106a, 106b)는 또한 신호를 송신하도록 설계될 수 있다. 따라서, 수신 디바이스(들)(106a, 106b)에 의해서, RF 생성기(12, 14)의 하나 또는 복수의 알림 콘택트(미도시)로부터 중앙 마스터 송수신기(108)로 신호를 통신할 수 있다.

즉, 중앙 마스터 송수신기(108)는, 인터록 분배기 박스(16)의 신호 출력단(22, 24) 및 신호 입력단(18, 20)을 대체할 수 있다. 유사하게, 송신 디바이스(105a, 105b) 및 수신 디바이스(106a, 106b)는, 알림 콘택트(26, 28)와 인터록 분배기 박스(16) 사이의 신호 라인, 및 RF 생성기(12, 14)와 인터록 분배기 박 스(16) 사이의 신호 라인을 대체할 수 있다.

중앙 마스터 송수신기(108)는, 예를 들어, 인터록 분배기 박스(16)의 집적된 부품일 수 있다. 중앙 마스터 송수신기(108)는 예를 들어, 인터록 분배기 박스(16)의 제조 시에 집적될 수 있다. 이와 다르게는, 인터록 분배기 박스(16)는 또한 중앙 마스터 송수신기(108)에 의해 개장(retrofit)될 수 있다. 이 경우, 중앙 마스터 송수신기(108)는 시그널링 기술의 관점에서, 인터록 분배기 박스(16)의 신호 입력단(18, 20) 및 신호 출력단(20, 24)에 접속될 수 있다. 유사하게, 하나 또는 복수의 알림 콘택트(26, 28) 또는 정합박스(72, 76; 도 2에 도시)는, 또한, 송신 디바이스(105a, 105b)에 의해 개장되거나 상응하게 교환될 수 있다. 마찬가지로, RF 생성기는, 따라서, 수신 디바이스(106a, 106b)를 구비할 수 있다.

도 3에 도시된 진공 플라즈마 시스템(104)은, 따라서, 알림 콘택트(26, 28)와 인터록 분배기 박스(16)와 RF 생성기(12, 14) 사이의 신호 교환이 무선인 점을 제외하고는, 도 1에 도시된 진공 플라즈마 시스템(10)과 동일할 수 있다. 상응하게, 도 2에 도시된 바와 같이 진공 플라즈마 시스템(50)에서의 신호 교환은, 또한, 상응하는 송신 디바이스 및 수신 디바이스를 이용함으로써, 무선일 수 있다.

도 4는 제어 장치(110)를 갖는 플라즈마 전력 공급 디바이스의 예시적인 회로도를 나타낸다. 제어 장치(110)는 예를 들어 종래의 안전 스위칭 디바이스(112) 를 바람직한 논리 디바이스(112)로서 포함한다. 그러한 논리 디바이스(112)는, 예를 들어, 움직일 수 있는 덮개 및 보호 문(protective door)의 경우, VDE 0113 파트 1 (11.98) 또는 EN 60 204-1 (11.98)에 따른 안전 회로에서, 그리고 EN 418에 따른 비상-오프(emergency-off)에서 사용되는 안전 스위칭 디바이스일 수 있다. 특히, 논리 디바이스는, 외부 회로에 의존하여, DIN EN 954-1에 따른 카테고리 3 및/또는 4를 달성하는 안전 스위칭 디바이스를 포함할 수 있다.

종래에는, 안전 스위칭 디바이스는 메이크 콘택트 회로로서 2개의 릴리스(release) 회로(안전 회로)를 가진다. 스위치-온(switch-on) 시에, 안전 스위칭 디바이스의 내부 회로 및 외부 콘택터들은 정확한 기능을 위해 체크된다 (부착(sticking) 또는 접합된(welded) 콘택트). 이 점에서는, 위의 인터록 분배기 박스(58)의 설명에 대한 예시로서 참조가 행해진다.

예를 들어, 덮개의 개방에 의해 또는 와이어(wire) 단절에 의해, 예를 들어, 인터록 분배기 회로(58)의 인터록 회로가 중단된 경우, 안전 스위칭 디바이스(112)의 신호 입력단(114, 아래 참조)에서의, 바람직하게는 약 24V 의 공급 전압이 중단되고, 안전 스위칭 디바이스(132a, 132b, 134a, 134b, 아래 참조)는 안전하게 개방된다. 따라서, 바람직한 릴레이(126, 128, 아래 참조)로서의 보조 콘택터(contactor; 126, 128)는 회로(126a, 126b, 126c, 126d 및 또한 128a, 128b, 128c, 128d, 아래 참조)를 중복된(redundant) 방식으로 개방한다. 릴레이(126, 128)의 스위칭 콘택트의 직렬 접속에 의하여, 턴-오프(turn-off)는 중복된 방식으로 영향 받는다.

소자(126a, 126b, 126c, 126d 및 또한 128a, 128b, 128c, 128d)는 메이크 콘택트이고, 126e 및 128e는 브레이크 콘택트이다. 그것들은 양으로 구동된다. 예를 들어, 보조 콘택터(126a)가 부착되고, 콘택트(126e)가 개방된 채 유지되는 경우, 따라서, 논리 소자(132 및 134)는 구동되지 않는다.

논리 디바이스(112)는 하나의 신호 입력단(114) 및 2개의 신호 출력단(116, 118)을 갖는다. 또한, 논리 디바이스는 2개의 논리 콘택트 디바이스(126e, 128e)에의 접속을 위해 접속 위치(connecting location; 120)를 가진다. 논리 콘택트 디바이스(126e, 128e)는 종래의 전기적 스위치 또는 콘택트일 수 있다.

논리 콘택트 디바이스(126e 128e)는 제1 RF 생성기(130a)의 스위치(126a 및 128a)에 양으로 구동되는 방식으로 접속된다. 즉, 스위치(126e)와 스위치(126a) 사이에 기계적 접속이 존재할 수 있으며, 스위치(126e)가 개방되면 스위치(126a)가 단락된다. 유사하게, 스위치(128e)와 스위치(128a) 사이에 기계적 또는 전기적, 특히, 전자기적 접속이 존재할 수 있으며, 스위치(128e)가 개방되면, 스위치(128a)가 단락된다.

또한, 도 4는 제2 RF 생성기(130b), 제3 RF 생성기(130c) 및 제4 RF 생성기(130d)를 나타낸다. RF 생성기(130b)는 스위치(126b, 128b)를 가진다. RF 생성기(130c)는 스위치(126c, 128c)를 가지고, RF 생성기(130d)는 스위치(126d, 128d)를 가진다. 스위치(126a, 126b, 126c, 126d)는 바람직하게는, 양으로 구동되는 방식으로 서로 접속되며, 즉, 스위치(126a, 126b, 126c, 126d)는 공동으로만 개방 및 단락될 수 있다. 마찬가지로, 스위치(128a, 128b, 128c, 128d)는 서로 양으로 구동되는 방식으로 접속된다. 논리 콘택트 디바이스(126e), 즉, 따라서, 논리 디바이스(110)의 스위치(126e)가 개방된 경우, 스위치(126a, 126b, 126c, 126d)는 모두 공동으로 단락되고, 그 역도 마찬가지이다.

또한, 도 4는 스위치(132a) 및 스위치(132b)를 도시한다. 스위치(132a, 132b)는 양으로 구동되는 방식으로 서로 접속된다.

또한, 도 4는 스위치(134a) 및 스위치(134b)를 도시한다. 스위치(134a 및 134b)는 양으로 구동되는 방식으로 서로 접속된다. 더욱이, 스위치(132a, 134a)는 신호 출력단(116)에 접속된다. 스위치(132a, 134a)가 단락된 경우, 신호는 신호 출력단(116)을 통하여 바람직한 제1 논리 스위칭 디바이스로서의 제1 릴레이(126)에 전달될 수 있다. 스위치(132b, 134b)의 경우에도 마찬가지로, 그것들이 단락되면, 제2 신호 출력단(118)을 통하여 바람직한 제2 논리 스위칭 디바이스로서의 제2 릴레이(128)에 출력될 수 있다.

릴레이(126)는 스위치(126a, 126b, 126c, 126d) 중 하나와 접촉하고 있어, 릴레이(126)는 상기 스위치를 작동시킬 수 있다. 즉, 신호는 신호 출력단(116)을 통하여 릴레이(126)에 출력되고, 릴레이는 그것에 의하여 활성 상태로부터 비활성 상태로 또는 비활성 상태로부터 활성 상태로 변환된다. 상응하게, 그것에 커플링된 스위치, 예를 들어 스위치(126a)는 개방 또는 단락된다. 따라서, 스위치(126a)에 양으로 구동되는 방식으로 접속된 스위치(126b, 126c, 126d)는 마찬가지로 개방 또는 단락된다. 동일한 것이 릴레이(128) 및 스위치(128a, 128b, 128c, 128d)에 유사한 방식으로 적용된다. 또한, 스위치(132a 및 132b)는 양으로 구동되는 방식으로 서로 접속된다. 스위치(134a 및 134b)는 마찬가지로 양으로 구동되는 방식으로 서로 접속된다. 예를 들어 스위치(132a)가 단락된 경우, 스위치(132b)도 또한 단락된다. 동일한 방식으로, 그것은 스위치(134a 및 134b)에도 성립하고, 스위치(134a)가 단락된 경우, 스위치(134b)도 또한 단락되고, 그 역도 마찬가지이다. 스위치(132a, 132b, 134a, 134b)의 활성화는 논리 디바이스(11)의 논리 소자(140)에 의해 수행된다.

제1 및/또는 제2 릴레이(126, 128)는 양으로 구동되는 콘택트를 갖는 종래의 보조 콘택터이거나 그것을 포함할 수 있다. 콘택터 또는 콘택터 스위치는 예를 들어 전자기적으로 작동되는 스위치이다. 그것들은 솔레노이드(solenoid)의 제어 전류에 의해 스위치-온 되고, 그 스위치-온 위치에 유지된다. 이 경우, 전기 자(armature)에 피팅된(fitted) 움직일 수 있는 콘택트 부재들은 고정된 콘택트 부재들을 향해 압박된다. 이들 콘택트들은, 예를 들어 모터, 조명 시스템과 같이, 상대적으로 높은 전력을 갖는 스위치 부하에 사용된다.

보조 콘택터들은, 예를 들어, 알림 디바이스, 인터록(interlock), 제어기와 같이, 소위 보조 회로 스위칭에 사용되는, 전자기적으로 작동되는 스위치들이다.

콘택터의 구성 및 기능은 이하 예를 들어 설명한다. 콘택터는 전자기적으로 작동되는 스위치이다. 그것은 하우징(housing), 솔레노이드, 고정 코일 코어(stationary coil core), 움직일 수 있는 전기자, 스위칭 콘택트와, 또한, 전기자 복원 스프링을 포함한다.

코일에 전압이 인가되면, 자계(magnetic field)가 형성된다. 전기자는 당겨진다. 따라서, 실시 형태에 의존하여, 콘택트들은 모두 단락되거나(메이크 콘택트) 또는 개방된다(브레이크 콘택트). 전압이 제거되면, 전기자는 다시 떨어지고, 전기자 복원 스프링은 콘택트를 최초 위치로 다시 가져온다. 예를 들어, 콘택터는, (바람직하게는 50Hz에서) 24 V, 42 V, 60 V, 115 V, 125 V, 230 V, 400 V 및 500 V 의 작동 전압(코일 전압)으로 구성된다. 이하, 예를 들어 표준 EN 50205 또는 IEC 60947에 정의된 양으로 구동되는 콘택트들을 설명한다. 전술한 표준들 및 그 속에 포함된 정의들은 이 관점에서 본 출원의 일부로 포함된다. 릴레이/콘택터와 같은 양으로 구동되는 콘택트의 경우에, 브레이크 콘택트 및 메이크 콘택트는 사용 수명에 걸쳐 절대로 동시에 단락되어서는 안 된다. 이것은 심지어 릴레이/콘택터의 결함 상태에도 적용된다. 예를 들어, 메이크 콘택트가 접합되면, 릴레이/콘택터가 여자(勵磁)되었는지 여부에 무관하게, 영향 받는 릴레이/콘택트의 다른 모든 브레이크 콘택트는 개방된 채 유지된다.

또는, 도 4는 알림 콘택트들(142a 내지 142h)을 나타낸다. 알림 콘택트들(142a 내지 142h)은 서로 직렬로 접속된다. 또한, 도 4는 제어 장치(110) 및/또는 알림 콘택트들(142a 내지 142h)을 동작시키기 위한 전력 공급 유닛(144) 형태의 전력 공급원을 나타낸다.

제어 장치(110)의 신호 입력단(114)은, 한편, 전력 공급 유닛(144)의 음의 단자, 즉, 접지 전위에 접속된다. 신호 입력단(114)의 다른 단자는 직렬 접속된 알림 콘택트들(142a 내지 142h)을 통해 전력 공급 유닛(144)의 양의 콘택트에 접속된다. 모든 알림 콘택트들(142a 내지 142h)이 기능하고 있고 단락된 경우, 전류는 알림 콘택트들을 통해 흐를 수 있고, 신호 입력단(114)에 의해 논리 디바이스(112)에 의해 검출될 수 있다. 이 경우, 스위치들(126e, 128e)이 개방되었는지 단락되었는지 여부를 판정하기 위하여 체크가 행해진다. 스위치들(126a 내지 126d) 및 스위치들(128a 내지 128d)이 개방된 경우, 스위치들(132a 내지 134a)은 활성화된다. 양의 구동 때문에, 스위치들(132b 및 134b)도 또한 활성화, 즉 단락된다. 따라서, 신호 출력단(116, 118)에 의하여 릴레이(126, 128)를 통해 전류가 흐른다. 따라서, 릴레이들(126, 128)은 활성화되고, 콘택트(126a 및 128a)를 단락한다. 상응하게, 양의 구동 때문에, 다른 콘택트(126b, 126c, 126d) 및 콘택트(128a, 128b 및 128c)는 단락된다. 그것에 의해 달성되는 것은, RF 생성기(130a 내지 130d)가 전류를 공급받을 수 있고, 대응되는 RF 신호를 출력할 수 있다는 것이다.

예를 들어, 적어도 하나의 알림 콘택트(142a 내지 142h)가 개방된 경우, 신호 입력단(114)에서의 전류 흐름도 또한 중단된다. 이 중단은 논리 소자(140)에 의해 검출될 수 있다. 바람직하게 작은 보조 전류가 신호 입력단(114) 및 알림 콘택트(142a - 142h)를 통해 흐를 수 있고, 전류 흐름의 변화 또는 전류 흐름의 중단이 검출될 수 있다. 알림 콘택트(142a - 142h) 중 하나의 이 상태 변화 때문에, 콘택트(132a 및 134a)는 개방되고, 양의 구동 때문에 콘택트(132b 및 134b)도 또한 상응하게 개방된다. 따라서, 릴레이(126, 128)의 전류 공급은 중단되고, 그것에 의해, 스위치(126a, 128a)는 개방된다. 스위치(126a 내지 126d) 및 스위치(128a 내지 128d)는 마찬가지로 양의 구동 때문에 개방된다. RF 생성기(130a 내지 130d)의 전류 공급은 따라서 중단되고, RF 전압은 더 이상 출력되지 않는다. 콘택트(126e, 128e)는 양의 구동 때문에 단락된다.

알림 콘택트(142a - 142h)의 개방 알림 콘택트가 다시 단락된 경우, 논리 디바이스(112)가 스위치(126a - 126d) 및 스위치(128a - 128d)의 단락을 가능하게 하 기 때문에, RF 생성기(130a 내지 130d)도 또한 다시 동작한다.

또한, 하나 또는 복수의 스위치(126a - 126d) 또는 스위치(128a - 128d)가 결함일 수 있다. 예를 들어, 알림 콘택트(142a - 142h) 중 하나가 개방된 이후에, 예를 들어, 릴레이(126, 128)가 중단된 경우, 스위치(126a - 126d) 및 스위치(128a - 128d)는 정상적으로 개방된다. 스위치(126a - 126d) 또는 스위치(128a - 128d)의 결함은, 예를 들어 부착 또는 접합 때문에 단락된 채 유지되는 스위치(126b)에 존재할 수 있다. 스위치(126a, 126c 및 126d)는 또한 양의 구동 때문에 단락된 채 유지된다. 제어 장치(110)의 스위치(126e)는 양의 구동 때문에 상응하게 개방된 채 유지된다. RF 생성기(130a - 130d)의 전류 공급은, 스위치(128a - 128d)가 개방되어 있기 때문에 가능하지 않다. 그 때, 신호가 신호 입력단(114)에 인가되는 경우, 예를 들어, 모든 알림 콘택트(142a 내지 142h)가 동작하는 경우, RF 생성기(130a 내지 130d)도 또한 다시 동작하는 것이 바람직하다. 이것은, 예를 들어, 알림 콘택트(142a 내지 142h)의 이전에 개방된 알림 콘택트가 다시 단락되는 경우 적용 가능할 수 있다. 그러나, 논리 디바이스(112)의 논리 소자(140)가, 스위치(126e)가 개방되어 있기 때문에 접속 위치(120)를 통한 전류 흐름이 가능하지 않음을 검출한다. 이 경우, 논리 소자(140)는 콘택트(132a, 132b, 134a, 134b)가 단락되는 것을 방지하고, 그것에 의해, 릴레이(126, 128)도 또한 동작하지 않는다. 따라서, 스위치(128a 내지 128d)는 단락되지 않는다. 따라서, RF 생성기(130a - 130d)는, 스위치(126a - 126d)가 단락되더라도, 동작하지 않는다.

결함이 있는, 즉, 예를 들어 부착되거나 접합된 스위치(126b)가 교환되고, 모든 스위치(126a 내지 126b)가 따라서 모두 개방된 경우에만, 콘택트 위치(120)를 통한 전류 흐름은 다시 가능할 수 있고, 이것은 논리 소자(140)에 의해 검출된다. 그 후, 스위치(132a, 132b, 134a, 134b)의 단락에 의해, 릴레이(126, 128)가 활성화되고, 모든 스위치(126a - 126b 및 128a - 128b)가 단락된다. 따라서, RF 생성기(130a 내지 130b)는 전류를 다시 공급받고, RF 전압 또는 RF 신호가 출력된다.

또한, 위의 설명은 또한 스위치(128a - 128d)에도 유사하게, 즉, 하나 또는 복수의 스위치(128a - 128d)가 결함인 경우에도 적용된다.

또한, RF 생성기의 개수는 증가되거나 감소될 수 있다. 상응하게, 제어 장치에 복수 쌍의 신호 출력단이 배열될 수 있고, RF 생성기의 상이한 그룹의 신호 출력단의 상이한 그룹을 구동할 수 있다. 상응하게, 더 많거나 더 적은 개수의 알림 콘택트(142a 내지 142h)가 존재할 수 있고, 그 경우, 알림 콘택트의 서브셋은 그룹으로 세분화(subdivide)된다. 각 그룹의 알림 콘택트들은 예를 들어 직렬로 접속될 수 있다. 상이한 그룹의 알림 콘택트들은 상이한 신호 입력단에서 제어 장치(110)에 접속될 수 있다. 마찬가지로, 신호 입력단의 개수에 따라, 즉, 알림 콘택트 그룹의 개수에 따라, 복수의 그룹의 스위치(132a, 132b, 134a, 134b)가 존재할 수 있다. 동일한 것이 논리 콘택트 디바이스(126e, 128e) 및 콘택트 위치(120)에 적용된 다. 복수의 콘택트 위치(120)는 플라즈마 전력 공급 디바이스의 복수의 그룹에 상응하는 방식으로 존재할 수 있다.

이와 다르게는, 전력 공급 시스템은 또한 복수의 제어 장치(110)를 가질 수 있으며, 여기서, 제어 장치는 각 경우에, RF 생성기 그룹을 제어하도록 또는 알림 콘택트 그룹에 접속하도록 설계된다.

또한, 예를 들어, 하나 또는 복수의 릴레이(126, 128)가 하나의 RF 생성기(130a - 130d) 내에 접속될 수 있고, 릴레이 또는 릴레이들이 콘택트(126a - 126d, 128a - 128d)를 단락하기 위하여 신호 출력단(116, 118)을 통해 전류를 공급받을 수 있다.

도 1은 하나의 바람직한 전력 공급 시스템의 개략도를 나타낸다.

도 2는 하나의 바람직한 전력 공급 시스템의 개략도를 나타낸다.

도 3은 하나의 바람직한 전력 공급 시스템의 개략도를 나타낸다.

도 4는 예시적인 회로도를 나타낸다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10 : 진공 플라즈마 시스템

12 : RF 생성기

14 : RF 생성기

16 : 인터록 분배기 박스

18 : 신호 입력단

20 : 신호 입력단

22 : 신호 출력단

24 : 신호 출력단

26 : 알림 콘택트

28 : 알림 콘택트

30 : 덮개

32 : 회로

34 : 덮개

36 : 회로

38 : 라인

40 : 전극

42 : 플라즈마 챔버

44 : 라인

50 : 진공 플라즈마 시스템

52 : RF 생성기

54 : RF 생성기

56 : RF 생성기

58 : 인터록 분배기 박스

60 : 신호 입력단

62 : 신호 입력단

64 : 신호 입력단

66 : 신호 출력단

68 : 신호 출력단

70 : 신호 출력단

72 : 정합박스

74 : 정합박스

76 : 정합박스

78 : 덮개

80 : 덮개

82 : 덮개

84 : 알림 콘택트

86 : 알림 콘택트

88 : 알림 콘택트

90 : 라인

92 : 전극

94 : 플라즈마 챔버

96 : 라인

98 : 전극

100 : 전극

102 : 라인

104 : 진공 플라즈마 시스템

105a : 송신 디바이스

105b : 송신 디바이스

106a : 수신 디바이스

106b : 수신 디바이스

108 : 마스터 송수신기

110 : 제어 장치

112 : 논리 디바이스/안전 스위칭 디바이스

114 : 신호 입력단

116 : 신호 출력단

118 : 신호 출력단

120 : 접속 위치

126 : 릴레이/논리 스위칭 디바이스

126a : 스위치

126b : 스위치

126c : 스위치

126d : 스위치

126e : 논리 콘택트 디바이스

128 : 릴레이/논리 스위칭 디바이스

128a : 스위치

128b : 스위치

128c : 스위치

128d : 스위치

128e : 논리 콘택트 디바이스

130a : RF 생성기

130b : RF 생성기

130c : RF 생성기

130d : RF 생성기

132 : 논리 소자

132a : 스위치

132b : 스위치

134 : 논리 소자

134a : 스위치

134b : 스위치

140 : 논리 소자

142a - 142h : 알림 콘택트

144 : 메인 공급 시스템

Claims

하나 또는 복수의 전기적 부하(40; 92, 98, 100)의, 복수의 플라즈마 전력 공급 디바이스(power supply devices)(12, 14; 52, 54, 56; 130a-130d), 특히, 적어도 2개의 RF 생성기(radio frequency generator)를 공동으로(jointly) 모니터링하기 위한 제어 장치(16; 58; 110)로서,

적어도 하나의 알림 디바이스(indication devices; 26, 28; 84, 86, 88; 142a-142h)의 알림 신호를 수신하도록 설계된 적어도 하나의 신호 입력단(18, 20; 60, 62, 64; 114);

적어도 하나의 상기 플라즈마 전력 공급 디바이스(12, 14;, 52, 54, 56; 130a-130d)의 제1 전력 인터럽터(126a-126d)를 개방(open) 및/또는 단락(close)하도록 설계된 적어도 하나의 제1 논리 스위칭 디바이스(126)에 접속된 적어도 하나의 신호 출력단(22, 24; 66, 68, 70; 116); 및

공통 논리 디바이스(common logic device; 112)로서,

상기 적어도 하나의 알림 디바이스(26, 28; 84, 86, 88; 142a-142h)의 상태(state) 또는 상태 변화(state change)를 검출하고,

상기 적어도 하나의 알림 디바이스(26, 28; 84, 86, 88; 142a-142h)의 상태 변화 검출 시 또는 소정의 상태의 검출 시에, 상기 제1 논리 스위칭 디바이스(126)에 의하여, 상기 적어도 하나의 플라즈마 전력 공급 디바이스(12, 14; 52, 54, 56; 130a-130d)의 전력 공급을 중단하도록 설계된 상기 공통 논리 디바이스(112)를 포함하는, 제어 장치(16; 58; 110).
제1항에 있어서,

상기 적어도 하나의 플라즈마 전력 공급 디바이스(130a-130d)의 제2 전력 인터럽터(128a-128d)를 개방 및/또는 단락하도록 설계된 적어도 하나의 제2 논리 스위칭 디바이스(128)에 접속된 추가적인(further) 신호 출력단(118)을 포함하는, 제어 장치(16; 58; 110).
제1항 또는 제2항에 있어서,

상기 제어 장치(15; 58; 110)는 적어도 한 그룹의 신호 출력단(116, 118)을 가지고,

상기 신호 출력단(116, 118) 그룹의 신호 출력단(116, 118) 각각은 신호 인터럽터(132a, 132b)를 가지고,

상기 신호 출력단(116, 118) 그룹의 상기 신호 인터럽터(132a, 132b)는 양으로(positively) 구동되는 방식으로 서로 접속되는, 제어 장치(16; 58; 110).
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 논리 디바이스(112)는 적어도 하나의 제1 논리 콘택트 디바이스(logic contact device; 126e)에 접속되며, 여기서,

상기 제1 논리 콘택트 디바이스(126e)는, 적어도 하나의 플라즈마 전력 공급 디바이스(130a-130d)의 적어도 하나의 제1 전력 인터럽터(126a-126d)에 양으로 구동되는 방식으로 접속되는, 제어 장치(16; 58; 110).
제4항에 있어서,

상기 논리 디바이스(112)는, 적어도 하나의 제2 논리 콘택트 디바이스(128e)에 접속되고, 여기서,

상기 제2 논리 콘택트 디바이스(128e)는 적어도 하나의 플라즈마 전력 공급 디바이스(130a-130d)의, 적어도 하나의 상기 제2 전력 인터럽터(128a-128d)에 양으로 구동되는 방식으로 접속되는, 제어 장치(16; 58; 110).
제4항 또는 제5항에 있어서,

상기 논리 디바이스(112)는, 상기 제어 장치(16; 58; 110)의 스타트-업(start-up) 시에 상기 적어도 하나의 제1 및/또는 제2 논리 콘택트 디바이스(126e, 128e)의 상태를 검출하고,

상기 적어도 하나의 제1 및/또는 제2 논리 콘택트 디바이스(126e, 128e)의 소정의 상태의 검출 시에 상기 논리 스위칭 디바이스(126, 128)의 상태 변화를 방지하도록 설계되는, 제어 장치(16; 58; 110).
제6항에 있어서,

상기 논리 디바이스(112)는, 상기 적어도 하나의 논리 콘택트 디바이스(126e, 128e)의 소정의 상태의 검출 시에, 상기 신호 출력단(116, 118) 그룹 중 하나의, 하나 또는 복수의 신호 인터럽터(132a, 132b, 134a, 134b)의 상태 변화를 방지하도록 설계되는, 제어 장치(16; 58; 110).
제7항에 있어서,

상기 논리 디바이스(112)는, 적어도 하나의 논리 콘택트 디바이스(126e, 128e)의 소정의 상태의 검출 시에, 신호 출력단(116, 118) 그룹을 선택적으로 선택하고, 상기 신호 출력단(116, 118) 그룹의 신호 인터럽터(132a, 132b, 134a, 134b)의 상태 변화를 방지하도록 설계되는, 제어 장치(16; 58; 110).
제4항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 논리 디바이스(112)는, 신호 출력단(116, 118)의 각 그룹을 위해, 제1 논리 콘택트 디바이스(126e) 및 제2 논리 콘택트 디바이스(128e)를 포함하는, 제어 장치(16; 58; 110).
제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 적어도 하나의 알림 디바이스(26, 28; 84, 86, 88; 142a-142h)의 신호, 특히, 디지털 무선 신호(digital radio signal)를 수신하도록 설계된 수신기(108)를 포함하는, 제어 장치(16; 58; 110).
제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 적어도 하나의 논리 스위칭 디바이스(126, 128)는 전자기적 릴레이 디바이스인, 제어 장치(16; 58; 110).
적어도 하나의 전기적 부하(40, 92, 98, 100)에 대한, 적어도 2개의 플라즈마 전력 공급 디바이스(12, 14; 52, 54, 56; 130a-130d), 특히, 적어도 2개의 RF 생성기(12, 14; 52, 54, 56; 130a-130d); 및

상기 적어도 2개의 플라즈마 전력 공급 디바이스(12, 14; 52, 54, 56; 130a-130d)를 공동으로 모니터링 또는 제어하기 위한 제어 장치(16, 58; 110)를 포함하고, 여기서,

상기 제어 장치(16; 58; 110)는,

적어도 하나의 알림 디바이스(26, 28; 84, 86, 88; 142a-142h)의 알림 신호를 수신하도록 설계된 적어도 하나의 신호 입력단(18, 20; 60, 62, 64; 114);

상기 적어도 하나의 플라즈마 전력 공급 디바이스(26, 28; 84, 86, 88; 142a-142h)의 전력 인터럽터(126a-126d)를 개방 및/또는 단락하도록 설계된 적어도 하나의 제1 논리 스위칭 디바이스(126)에 접속된 적어도 하나의 신호 출력단(22, 24; 66, 68, 70; 116), 및

공통 논리 디바이스(112)로서,

상기 적어도 하나의 알림 디바이스(26, 28; 84; 86; 88; 142a-142h)의 상태 또는 상태 변화를 검출하고,

상기 알림 디바이스(26, 28; 84; 86; 88; 142a-142h) 중 하나의 상태 변화의 검출 시에 또는 소정의 상태의 검출 시에, 상기 제1 논리 스위칭 디바이스(126)에 의하여, 상기 적어도 하나의 플라즈마 전력 공급 디바이스(12, 14; 52, 54, 56; 130a-130d)의 전류 공급을 중단하도록 설계된, 상기 공통 논리 디바이스(112)를 포함하는, 전력 공급 시스템(10, 50).
제12항에 있어서,

상기 제어 장치(16; 58)는, 적어도 하나의 제2 논리 스위칭 디바이스(128)에 접속된 적어도 하나의 제2 신호 출력단(118)을 가지고,

상기 제2 논리 스위칭 디바이스(128)는 전력 공급원(130a-130d) 중 적어도 하나의 제2 전력 인터럽터(128a-128d)를 개방 및/또는 단락하도록 설계되는, 전력 공급 시스템(10, 50).
제12항 또는 제13항에 있어서,

상기 제어 장치(16; 58)는 적어도 하나의 신호 출력단(116, 118) 그룹을 가지고,

상기 상기 신호 출력단(116, 118) 그룹의 신호 출력단(116, 118) 각각은 신 호 인터럽터(132a, 132b)를 가지고,

상기 상기 신호 출력단(116, 118) 그룹의 상기 신호 인터럽터(132a, 132b)는 양으로 구동되는 방식으로 서로 접속되는, 전력 공급 시스템(10, 50).
제12항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 플라즈마 전력 공급 디바이스(130a-130d) 그룹을 포함하고, 여기서, 상기 각 플라즈마 전력 공급 디바이스(130a-130d)는 적어도 하나의 제1 전력 인터럽터(126a-126d)를 가지고, 상기 플라즈마 전력 공급 디바이스(130a-130d)의 상기 제1 전력 인터럽터(126a-126d)는 양으로 구동되는 방식으로 서로 접속되는, 전력 공급 시스템(10, 50).
제12항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 논리 디바이스(112)는 적어도 하나의 제1 논리 콘택트 디바이스(126e)를 가지고, 상기 제1 논리 콘택트 디바이스(126e)는 상기 플라즈마 전력 공급 디바이스(130a-130d) 그룹의 상기 제1 전력 인터럽터(126a-126d)에 양으로 구동되는 방식으로 접속되는, 전력 공급 시스템(10, 50).
제16항에 있어서,

상기 논리 디바이스(112)는 적어도 하나의 제2 논리 콘택트 디바이스(128e)를 가지고, 상기 제2 논리 콘택트 디바이스(128e)는 상기 플라즈마 전력 공급 디바 이스(130a-130d) 그룹의 상기 제2 전력 인터럽터(128a-128d)에 양으로 구동되는 방식으로 접속되는, 전력 공급 시스템(10; 50).
제17항에 있어서,

상기 제1 논리 콘택트 디바이스(126e)와 상기 플라즈마 전력 공급 디바이스(130a-130d) 그룹의 상기 제1 전력 인터럽터(126a-126d)는, 상기 제1 논리 콘택트 디바이스(126e)가 개방일 때, 상기 플라즈마 전력 공급 디바이스(130a-130d) 그룹의 상기 제1 전력 인터럽터(126a-126d)가 단락되는 방식으로, 양으로 구동되는 방식으로 접속되고, 그리고/또는,

상기 제2 논리 콘택트 디바이스(128e)와 상기 플라즈마 전력 공급 디바이스(130a-130d) 그룹의 상기 제2 전력 인터럽터(128a-128d)는, 상기 제2 논리 콘택트 디바이스(128e)가 개방일 때, 상기 플라즈마 전력 공급 디바이스(130a-130d) 그룹의 상기 제2 전력 인터럽터(128a-128d)가 단락되는 방식으로, 양으로 구동되는 방식으로 접속되는, 전력 공급 시스템(10; 50).
제17항 또는 제18항에 있어서,

상기 논리 디바이스(112)는, 상기 적어도 하나의 논리 콘택트 디바이스(126e, 128e)의 소정의 상태의 검출 시에, 상기 신호 출력단(116, 118) 그룹 중 하나의 하나 또는 복수의 신호 인터럽터(132a, 132b, 134a, 134b)의 상태 변화를 방지하도록 설계되는, 전력 공급 시스템(10; 50).
제17항 내지 제19항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 논리 디바이스(112)는, 상기 적어도 하나의 논리 콘택트 디바이스(126e, 128e)의 소정의 상태의 검출 시에, 상기 신호 출력단(116, 118) 그룹을 선택적으로 선택하고, 상기 신호 출력단(116, 118) 그룹의 상기 신호 인터럽터(132a, 132b, 134a, 134b)의 상태 변화를 방지하도록 설계되는, 전력 공급 시스템(10; 50).
제17항 내지 제20항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 논리 디바이스(112)는, 신호 출력단(116, 118) 그룹 각각을 위해, 제1 논리 콘택트 디바이스(126e) 및 제2 논리 콘택트 디바이스(128e)를 포함하는, 전력 공급 시스템(10; 50).
제12항 내지 제21항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 적어도 하나의 알림 디바이스(26, 28; 84, 86, 88; 142a-142h)의 신호, 특히 디지털 무선 신호를 수신하도록 설계된 수신기를 포함하는, 전력 공급 시스템(10; 50).
제12항 내지 제22항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 적어도 하나의 알림 디바이스(26, 28; 84, 86, 88; 142a-142h)의 신호, 특히 디지털 무선 신호를 송신하도록 설계된 적어도 하나의 송신 디바이스(105a, 105b)를 포함하는, 전력 공급 시스템(10; 50).
제12항 내지 제23항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 적어도 2개의 플라즈마 전력 공급 디바이스(130a-130d)는 개별적인 전위(potential)를 가지는, 전력 공급 시스템(10; 50).
제12항 내지 제24항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 적어도 하나의 플라즈마 전력 공급 디바이스(12, 14; 52, 54, 56; 130a-130d)의 전력 출력을, 상기 적어도 하나의 전기적 부하(40; 92, 98, 100)에 정합시키도록 설계되고, 적어도 하나의 알림 디바이스(26, 28; 84, 86, 88; 142a-142h)를 포함하는, 2개 이상의 정합 디바이스(32, 36; 72, 74, 76); 및/또는

상기 적어도 하나의 플라즈마 전력 공급 디바이스(12, 14; 52, 54, 56; 130a-130d)의 전력 출력을, 상기 적어도 하나의 전기적 부하에 정합시키도록 설계되고, 2개 이상의 알림 디바이스(26, 28; 84, 86, 88; 142a-142h)를 포함하는 정합 디바이스(32, 36; 72, 74, 76)를 포함하는, 전력 공급 시스템(10; 50).
제12항 내지 제25항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 플라즈마 전력 공급 디바이스(103a-130d) 그룹의 상기 제1 전력 인터럽터들(126a-126b)은, 상기 제1 전력 인터럽터(126a-126d)의 결함이 있는 경우에 상 기 논리 디바이스(112)의 상기 제1 논리 인터럽팅 디바이스(126e)가 개방되는 방식으로, 서로 그리고 상기 논리 디바이스(112)의 상기 제1 논리 인터럽팅 디바이스(126e)에, 양으로 구동되는 방식으로 접속되는, 전력 공급 시스템(10; 50).
제12항 내지 제26항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 논리 디바이스(112) 및 상기 적어도 하나의 알림 디바이스(26, 28; 84, 86, 88; 142a-142h)는, 상기 알림 디바이스(26, 28; 84, 86, 88; 142a-142h)가 상태 정보를 디지털적으로, 바람직하게는, 디지털 무선 신호로서, 상기 논리 디바이스(112)에 송신하는 방식으로, 서로 접속되는, 전력 공급 시스템(10; 50).
제27항에 있어서,

상기 알림 디바이스(26, 28; 84, 86, 88; 142a-142h)는 신호를 연속적으로 송신하도록 설계되고, 상기 논리 디바이스(112)는 상기 신호가 중단된 경우 상태 변화를 검출하도록 설계되는, 전력 공급 시스템(10; 50).
제12항 내지 제28항 중 어느 한 항에 있어서,

전력 부하(40; 92, 98, 100)를 포함하고, 여기서, 상기 전력 부하(40; 92, 98, 100)는 플라즈마 챔버(42; 94)의 적어도 하나의 전극(40; 92, 98, 100)을 포함하는, 전력 공급 시스템(10; 50).
제29항에 있어서,

상기 전력 부하(40; 92, 98, 100)는 플라즈마 챔버(42; 94)의 2개 이상의 전극(40; 92, 98, 100)을 포함하는, 전력 공급 시스템(10; 50).
제12항 내지 제28항 중 어느 한 항에 있어서,

전력 부하를 포함하고, 여기서, 상기 전력 부하는 레이저, 특히, CO2 레이저를 포함하는, 전력 공급 시스템(10; 50).
제12항 내지 제31항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 2개 이상의 RF 생성기(12, 14; 52, 54, 56; 130a-130d)의 출력 신호가, 플라즈마 생성을 위해 하나 이상의 전극(40; 92, 98, 100)을 포함하는 플라즈마 챔버(42; 94)의 입력 신호로서 정합되는 방식으로, 상기 2개 이상의 RF 생성기(12, 14; 52, 54, 56; 130a-130d)의 출력 신호를 정합하도록 설계되는 2개 이상의 임피던스 정합 디바이스(32, 36; 72, 74, 76)를 포함하는, 전력 공급 시스템(10; 50).
제12항 내지 제32항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 적어도 하나의 논리 스위칭 디바이스(126, 128)는 전자기적 릴레이 디바이스인, 전력 공급 시스템(10; 50).
적어도 하나의 알림 디바이스(26, 28; 84, 86, 88; 142a-142h)의 상태를 모 니터링하는 단계;

논리 디바이스(112)에 의하여 상기 적어도 하나의 알림 디바이스(26, 28; 84, 86, 88; 142a-142h)의 상태 변화 및/또는 소정의 상태를 검출하는 단계;

상기 적어도 하나의 알림 디바이스(26, 28; 84, 86, 88; 142a-142h)의 상태 변화 및/또는 소정의 상태가 검출된 경우, 상기 논리 디바이스(112)에 의하여, 제1 논리 스위칭 디바이스(126)의 상태를 변화시키는 단계; 및

상기 제1 논리 스위칭 디바이스(126)의 상태 변화에 기초하여, 적어도 하나의 플라즈마 전력 공급 디바이스(12, 14; 52, 54, 56; 130a-130d)의 전류 공급이 중단되도록, 적어도 하나의 플라즈마 전력 공급 디바이스(12, 14; 52, 54, 56; 130a-130d)의 전력 인터럽터(126a-126d)의 상태를 변화시키는 단계를 포함하는,

복수의 플라즈마 전력 공급 디바이스(12, 14; 52, 54, 56; 130a-130d), 특히, 적어도 2개의 RF 생성기를 공동으로 모니터링하는 방법.
컴퓨터에 의해 로딩되고 실행될 때, 컴퓨터가 제34항에 따른 방법을 수행하는 효과를 가지는, 컴퓨터 프로그램 제품.