DE102006024938B3 - Hochleistungsschaltmodul und Verfahren zur Erzeugung von Schaltsynchronität bei einem Hochleistungsschaltmodul - Google Patents

Abstract

Bekannte Hochleistungsschaltmodule weisen eine Reihenschaltung von einzelnen Schaltstufen auf, die jeweils einen Halbleiterschalter und ein einen festen Steuerwiderstand umfassendes Ansteuernetzwerk enthalten, mit dem jeder Halbleiterschalter auf einen festen Betriebspunkt eingestellt wird. Zeitlich veränderliche Betriebsbedingungen werden dabei nicht berücksichtigt, eine hohe Schaltsynchronität ist somit nicht erreichbar. Zur Erzielung einer hohen Schaltsynchronität (Ein- und Ausschalten) in einem engen Zeitfenster (ZF) unterhalb von 1,5 ns sieht die Erfindung in jeder Schaltstufe (SS<SUB>N</SUB>) neben parallel zu den Halbleiterschaltern (HL<SUB>N</SUB>) geschalteten Symmetrisierwiderständen (ER<SUB>N</SUB>) für eine gleichmäßige Spannungsverteilung noch im Ansteuernetzwerk (AN<SUB>N</SUB>) ein Verzögerungselement (VE<SUB>N</SUB>) mit einer passiven Kompensationsschleife oder einer aktiven Regelschleife vor, das den betriebsbedingt unterschiedlichen Schaltzeitpunkt der Halbleiterschalter (HL<SUB>N</SUB>) durch eine fortlaufende schaltstufenindividuelle Einstellung einer Offsetspannung aus einem bauelementabhängigen statischen Grundwert und aus einem spannungs- und temperaturabhängigen dynamischen Momentanwert und damit durch eine schaltstufenindividuell veränderlich einstellbare Verzögerung aller Halbleiterschalter (HL<SUB>N</SUB>) zueinander berücksichtigt.

Description

• Die Erfindung bezieht sich auf ein Hochleistungsschaltmodul zur direkten Pulsenergiespeisung eines Verbrauchers mit in Reihe geschalteten Schaltstufen, die jeweils einen Halbleiterschalter mit Anoden-, Kathoden- und Steueranschluss und ein auf den Halbleiterschalter einwirkendes, mit Hilfsenergie von einem Pulstreiber versorgtes Steuernetzwerk zur Schaltbeeinflussung des Halbleiterschalters aufweisen, wobei das Steuernetzwerk zumindest einen Steuerwiderstand und eine bezüglich ankommender Schaltpulse von dem alle Schaltstufen versorgenden Pulstreiber in Durchlassrichtung gepolte Steuerdiode umfasst und wobei eine Snubberkapazität und ein zusätzlicher Synchronisierwiderstand parallel zum Halbleiterschalter zwischen Anoden- und Kathodenanschluss geschaltet sind, sowie auf ein Verfahren zur Erzeugung von Schaltsynchronität bei einem Hochleistungsschaltmodul.
• In vielen Systemen der Lasertechnik, Optik, Optoelektronik und Elektronik müssen mit hohen Spannungen Laststrecken geschaltet werden. Die Last muss in sehr kurzer Zeit, insbesondere unter 10 ns, in einen niederohmigen Zustand gebracht werden, um schnell und effizient hohe Ströme einspeisen oder Kapazitäten umzuladen zu können. Beispiele sind der Gasentladungskanal eines transversal elektrisch angeregten Gasentladungslasers, beispielsweise CO₂-Lasers, zur Erzeugung von Lichtpulsen geringer Breite, die Ansteuerung von Pockelszellen zur Lichtmodulation und Einrichtungen zur Steuerung von Ionenflugbahnen in Time-Of-Flight-Spektrometern. Die Schaltvorgänge müssen sehr schnell ablaufen, es müssen Folgefrequenzen bis zu einigen kHz möglich sein. Es besteht somit ein großer Bedarf an einem robusten, langlebigen Hochleistungsschaltmodul, das in einem weiten Betriebsspannungsbereich schnelles Einspeisen von Strömen oder Laden und Entladen von Kapazitäten ermöglicht.
• Für den Einsatz eines solchen Hochleistungsschaltmoduls bei einem Gasentladungslaser ist beispielsweise folgendes Leistungsprofil wünschenswert:

  Schaltspannung	5 bis 25 kV
  sichere Sperrspannung	15 % über der Schaltnennspannung
  Schaltzeit	5-15 ns
  Sperrverzögerungszeit	max. 5 μs
  Time Jitter Schaltvorgang	0,6 bis max. 1,5 ns
  Wiederholfrequenz	100 bis 2500 pps
  Peakstrom (> 250 ns)	1.800 bis 5.500 A
  Umkehrstrom (> 200 ns)	40 % des Peakstroms
  Stromanstieg	120 –500 A/ns

• Stand der Technik
• Die bekannten Hochleistungsschaltmodule arbeiten mit den verschiedensten aktiven Bauelementen. Bei mit Wasserstoff oder Deuterium gefüllten Thyratrons werden kurze Schaltzeiten bei hohen Spannungen und Strömen erreicht. Problematisch sind die sehr großen mechanischen Abmessungen und eine notwendige ständige Heizung, die Vorwärmzeiten erforderlich macht. Weitere Nachteile sind eine endliche Lebensdauer durch Wasserstoffverlust und eine Kathodenermüdung.
• Bei primärseitig geschalteten Hochleistungsschaltmodulen mit Halbleiterschaltsystemen wird der Schaltvorgang mit Spannungen ausgeführt, die mit heute verfügbaren Halbleiterbauelementen sicher beherrscht werden (1 bis 1,5 kV). Ein hochfrequenter Pulstreiber transformiert den Schaltvorgang in den benötigten Hochspannungsbereich von einigen 10 kV. Nachteilig sind hier die endliche Bandbreite derartiger Pulstreiber, die großen Baumaße, extrem hohe Ströme auf der Primärseite und ein schlechter Wirkungsgrad. Weiterhin muss in der Regel der HV-Impuls nachversteilert werden. Für die Applikationen, auf die die Erfindung zielt, sind derartige Schaltsysteme deshalb nicht einsetzbar.
• Weiterhin existieren neuerdings auf dem Markt Hochleistungsschaltmodule mit so genannten „Plasmahalbleiterschaltern" (Drift Step Recovery Diodes (DSRD) oder Fast Ionisation Dynistors (FID) als ein- und mehrstufige Halbleiterschalter mit besonderen Ausführungen (vergleiche Publikation „High Power Semiconductor-Based Nano and Subnanosecond Pulse Generator with a Low Delay Time" von I.V. Grekhov et al. aus IEEE Transactions on Plasma Science, Vol. 33, No. 4, August 2005, pp 1240-1244). Jedoch gibt es zu diesen Halbleiterschaltern noch keine gesicherten Angaben zur Zuverlässigkeit und Lebensdauer, was den derzeitigen Einsatz in Industrieprodukten erheblich erschwert. Diese Bauelemente sind prinzipiell nicht abschaltbar, wodurch sie für einige Anwendungen nicht in Frage kommen.
• Am häufigsten werden bislang direkt schaltende Leistungsmodule mit Bipolar- und Unipolar-Schaltransistoren sowie IGBT's eingesetzt. Die Strom- und Spannungsbereiche, die bei der vorliegenden Erfindung betrachtet werden, machen hierbei jedoch bislang die Reihen- und Parallelschaltung von einigen hundert Bauelementen erforderlich. Zum Ausgleich von Bauelementetoleranzen werden deshalb Symmetriernetzwerke erforderlich. Ab ca. 300 Bauelementen führen die Eigenschaften dieser Symmetriernetzwerke (Limitierung von Dynamik, Toleranzen, Verlustleistung) jedoch dazu, dass die Parameter der Halbleiterschalter nicht mehr annähernd voll ausgeschöpft werden können. Die Schaltgeschwindigkeit oder Stromanstiegsgeschwindigkeit eines derart aufgebauten Schaltungsmoduls ist nicht mehr steigerbar, die Verlustleistung derartiger Systeme steigt in unwirtschaftliche Bereiche.
• Bei den bekannten Hochleistungsschaltmodulen werden genügend hohe Spannungen im Bereich einiger 10 kV und Schaltzeiten unter 20 ns nur erreicht durch Reihenschaltungen vieler Einzelschalter (vergleiche US 4.425.518 ). Die Einzelschalter müssen jedoch möglichst zeitsynchron angesteuert werden, wie es in der DE 36 30 775 C2 durch einen gestuften Trafo gelöst wird. Zur Steigerung des zulässigen Stromes ist auch eine Matrixanordnung vieler Leistungsschalter bekannt (vergleiche DE 696 29 175 T2 ). Damit können nur Ströme bis zu wenigen 100 A sicher beherrscht werden. Um bei hohen Spannungen in den Grenzbereichen der Bauelemente eine gleichmäßige Verteilung der Spannung auf die einzelnen Stufen bei etwas unterschiedlichen aktiven Bauelementen zu erreichen, wird in der DD 234 974 A1 eine Kette von Widerständen parallel zu den Schaltstufen geschaltet. In der DE 198 25 056 C1 wird eine Schaltungsanordnung zum Einspeisen von Elektroenergie in ein Plasma einer Glimmentladung mit einer speziell zusammengeschalteten p- und n-leitenden MOSFET-Endstufe als Treiber für einen Hochleistungs-IGBT beschrieben, um die Leistung unipolar oder bipolar gepulster Plasmen erhöhen zu können.
• Aus der DE 36 30 775 C2 ist ein Hochleistungsschaltmodul bekannt, bei dem mehrere Schaltstufen jeweils einen MOSFET als Halbleiterschalter aufweisen. Alle Halbleiterschalter sind mit ihren Anoden- und Kathodenanschlüssen in Reihe geschaltet. In jeder Schaltstufe ist ein Steuernetzwerk für den Halbleiterschalter vorgesehen, das zwischen dem Steueranschluss und einem Pulstreiber, der mit einer Primär- und einer der Anzahl der vorgesehenen Schaltstufen entsprechenden Anzahl von Sekundärwicklungen ausgerüstet ist, angeordnet ist. Ohne dieses Ansteuernetzwerk ist die Schaltdauer des bekannten Hochleitungsschaltmoduls durch die Spannungszeitfläche des Pulstreibers fest vorgegeben und liegt in der Größenordnung von 100 ns. Zur Erzielung von geringfügig längeren Schaltdauern weist das Steuernetzwerk deshalb eine Steuerdiode, die bezüglich der induzierten Steuerspannung in Durchlassrichtung gepolt ist, und einen Steuerwiderstand, der zwischen den Steuer- und den Anodenanschluss der Halbleiterschalters geschaltet ist, auf. Bei dem bekannten Hochleistungsschaltmodul dient das Ansteuernetzwerk also einer möglichen Verlängerung der Schaltdauer in Abhängigkeit eines fest eingestellten Steuerwiderstands pro Schaltstufe.
• Der nächstliegende Stand der Technik, von dem die vorliegende Erfindung ausgeht, wird in der DE 195 15 279 C1 offenbart. Bei diesem gattungsgemäßen Hochleistungsschaltmodul sind parallel zu jedem Halbleiterschalter zwischen Anoden- und Kathodenanschluss eine Snubberkapazität und ein zusätzlicher Synchronisierwiderstand (dort als Varistor) geschaltet. Snubbernetzwerke neutralisieren störende Schwingungen oder Spannungsspitzen. Die beim Prellen der Kontakte des Halbleiterschalters entstehenden hochfrequenten Spannungsspitzen werden durch eine Snubberkapazität kurzgeschlossen. Werden in die Schaltstufe Schaltpulse vom Pulstreiber induziert, so gelangen diese über die Steuerdiode an den Steueranschluss des Halbleiterschalters, laden dessen Snubberkapazität auf und der Halbleiterschalter schaltet ein. Bei nachlassender Pulsamplitude verhindern die dann gesperrten Steuerdioden einen Ladungsausgleich in der Snubberkapazität über den Pulstreiber, sodass die Snubberkapazität nur durch den parallel geschalteten Steuerwiderstand entladen wird. Die Schaltdauer kann somit durch den Wert des Steuerwiderstandes eingestellt werden.
• Dabei besteht jedoch bei diesem bekannten und bei allen genannten Hochleistungsschaltmodulen immer eine feste Bindung jeder Schaltstufe an einen Arbeitspunkt mit einer festen Schaltstufenspannung. Bauelementetoleranzen und Betriebsschwankungen lassen deshalb nur eine Schaltsynchronität bestenfalls zwischen 3 ns und 5 ns zu. Wenn aber durch Arbeitspunktverschiebungen, Temperaturgang oder Störeinkopplungen einzelne Schaltstufen eher als andere einschalten, kann dies zur Zerstörung aller Halbleiterschalter im Hochleistungsschaltmodul führen. Dies gilt im gleichen Maß auch für Ausschaltvorgänge. Wenn aktiv ausgeschaltet wird, muss dies zwangsweise synchron erfolgen, da sonst die Spannung an der zuerst schaltenden Schaltstufe unzulässig ansteigt und die Schaltstufe zerstört wird.
• Die Schaltsynchronität in einem Hochleistungsmodul wird durch die Ein- und Ausschaltzeitkonstanten (turn on delay, turn off delay) der einzelnen Schaltstufen bestimmt. Diese werden wiederum von den Bauelementeparametern, beispielsweise Snubberkapazität, Schaltpegel, Verstärkung, Linearität und Mitkopplung, beeinflusst. Hinzu kommen noch Einflüsse der Schalterperipherie wie Steuerpegel, Quellwiderstand, Anoden- und Kathodenspannung, Lastkapazität- und induktivität sowie der Temperaturgang. Bei den bekannten Hochleistungsschaltmodulen im Stand der Technik werden Unterschiede in den Schaltzeiten der einzelnen Halbleiterschalter durch innere Mitkoppeleffekte ausgeglichen und durch äußere Schutzbeschaltungen begrenzt. Durch die trotzdem noch stark variierenden Ein- und Ausschaltzeitkonstanten der einzelnen Schaltstufen kann jedoch bei bekannten Hochleistungsmodulen keine Schaltsynchronität im unteren ns-Bereich erreicht werden.
• Aufgabenstellung
• Die Aufgabe für die vorliegende Erfindung ist daher darin zu sehen, ein gattungsgemäßes Hochleistungsschaltmodul der eingangs genannten Art so weiterzubilden, dass auch bei extremen Betriebsbedingungen eine hohe Schaltsynchronität unterhalb von 1,5 ns aller Schaltstufen beim Ein- und Ausschalten über einen weiten Spannungs- und Temperaturbereich gewährleistet ist. Dazu sind die Ein- und Ausschaltzeitkonstanten aller Schaltstufen auf gleiche Werte im ns-Bereich zu bringen und auch unter den extremen Betriebsbedingungen zu halten. Die Mittel zur Lösung dieser Aufgabe sollen einfach in der Handhabung, robust im Betrieb und kostengünstig in der Anschaffung sein. Weiter ist es Aufgabe für die vorliegende Erfindung, ein auf das weitergebildete Hochleistungsmodul abgestimmtes Verfahren zur Erzielung einer hohen Schaltsynchronität anzugeben, wobei auch das Verfahren einfach, robust und kostengünstig sein soll. Die Lösungen für diese Aufgaben sind dem Produktanspruch und dem nebengeordneten Verfahrensanspruch zu entnehmen. Vorteilhafte Modifikationen werden jeweils in den Unteransprüchen aufgezeigt und im Folgenden im Zusammenhang mit der Erfindung näher erläutert.
• Das erfindungsgemäße Hochleistungsschaltmodul ist vornehmlich dadurch gekennzeichnet, dass in jeder Schaltstufe in Abhängigkeit von den individuellen Gegebenheiten der Arbeitspunkt, also das eigentliche Schaltereignis, in seiner zeitlichen Lage veränderlich einstellbar ist. Diese veränderliche Einstellbarkeit basiert auf der grundlegenden Erkenntnis, dass bei einer in parallelen Schaltstufen erfolgenden Kaskadierung moderner Leistungsbauelemente deren maximal mögliche Schaltzeiten (Ein- und Ausschalten) nur nutzbar sind, wenn alle Schaltzeitpunkte in ein gemeinsames Zeitfenster geschoben werden. Die Breite des Zeitfensters bestimmt damit die Schaltsynchronität und kann beispielsweise unterhalb von 1,5 ns liegen.
• Zur schaltstufenindividuellen Verschiebung der Schaltzeitpunkte weist das Steuernetzwerk ein mit der Steuerdiode in Reihe und zum Steuerwiderstand parallel geschaltetes einstellbares Verzögerungselement auf, mit dem eine schaltstufenindividuelle Offsetspannung am Halbleiterschalter zur variablen Einstellung seiner Ein- und Ausschaltpunkte eingestellt werden kann.
• Mit dem Verzögerungselement können folgende Effekte im Hochleistungsschaltmodul nach der Erfindung kompensiert werden:
• • individuelle Toleranzen der Schaltverzögerungszeit zwischen den einzelnen Halbleiterschaltern, bedingt durch
• • Grenzen der Reproduzierbarkeit der inneren Halbleiterstrukturen, die sich im Toleranzfeld der Schaltverzögerungszeit widerspiegeln
• • Toleranzen im Zusammenspiel zwischen der Ansteuerelektronik und dem Steueranschluss der Halbleiterschalter durch Snubberkapazitäten und Ansprechschwellen
• • systematische temperaturabhängige Abweichungen, bedingt durch einen bekannten Temperaturgradienten zwischen den einzelnen Schaltstufen, d.h. die vorgesehene Wärmesenke wirkt nicht absolut gleichmäßig auf jede Schaltstufe
• • individuelle Toleranz der Kathoden-/Kollektor-/Anodenspannung einer jeden Schaltstufe, bedingt durch Ungenauigkeiten des symmetrisierenden Netzwerks von Synchronisierwiderständen
• • eventuell individuelle Streuungen der Abhängigkeiten zwischen Schaltverzögerungszeit und Anodenspannung bzw. Temperatur.
• In Abhängigkeit vom jeweils langsamsten Halbleiterschalter beim Ein- bzw. Ausschalten werden bei dem Hochleistungsmodul nach der Erfindung alle anderen Halbleiterschalter in ihrer Ein- bzw. Ausschaltdauer gezielt so verzögert, dass alle Halbleiterschalter in einem sehr engen Zeitfenster unterhalb von 1,5 ns schalten. Zum verzögerten Schalten jedes Halbleiterschalters werden weiterhin bei der Erfindung eine bezüglich ankommender Schaltpulse in Sperrrichtung gepolte Hilfsdiode und eine Hilfskapazität zur Auskopplung und Speicherung von Hilfsenergie zum Halten der schaltstufenindividuellen Offsetspannung am Halbleiterschalter eingesetzt.
• Da die Ein- und Ausschaltzeiten der bekannten Halbleiterschalter derzeit nicht unter 1 ns reduzierbar sind und große Bauelementabweichungen auftreten, werden bei der Erfindung durch die Verzögerung der Ein- und Ausschaltzeitdauern die Endpunkte der Ein- und Ausschaltvorgänge mit dem Ergebnis des vollständig ein- oder ausgeschalteten Halbleiterschalters in ein sehr schmales Zeitfenster unter 1,5 ns gelegt, sodass sich die geforderte hohe Schaltsynchronität sowohl für den Ein- als auch für den Ausschaltzustand ergibt. Durch die erreichte hohe Schaltsynchronität beim Ein- und Ausschalten kann in Folge die Schaltzeit (rise time) des Hochleistungsschaltmoduls gegenüber bekannten Modulen bedeutsam erhöht werden. Durch diese Maßnahmen kann die Pulsenergie so effizient geschaltet werden, dass bereits 10 bis maximal 20 Leistungsbauelemente das für die meisten Anwendungen erforderliche Leistungsprofil erbringen. Gegenüber Lösungen mit bis zu 300 Halbleiterschaltern, wie aus dem Stand der Technik bekannt, stellt dies eine deutliche Verringerung der erforderlichen Anzahl von Halbleiterschaltern und damit der Kosten dar.
• Zur Erreichung der hohen Schaltsynchronität wird am Halbleiterschalter jeder Schaltstufe im erfindungsgemäßen Hochleistungsmodul in einem aktiven oder passiven Ansteuernetzwerk eine individuelle Offsetspannung voreingestellt. Da die einzelnen Ein- und Ausschaltzeiten der Halbleiterschalter von den dauerhaften und den momentanen Betriebsbedingungen in jeder Schaltstufe abhängen, ist im Ansteuernetzwerk ein Verzögerungselement vorgesehen, über das die schaltstufenindividuelle Offsetspannung in einem ausreichend weiten Bereich durch unterschiedliche Verzögerung kontinuierlich eingestellt werden kann. Fallabhängig kann dieses Verzögerungselement eine passive Kompensationsschleife oder eine aktive Regelschleife und Messvorrichtungen zur Messung der momentanen Schaltstufenspannung und der momentanen Schaltstufentemperatur umfassen.
• Als weitere Maßnahmen für eine Optimierung der Schaltsynchronität werden bekanntermaßen noch in jeder Schaltstufe eine Snubberkapazität und ein zusätzlicher Synchronisierwiderstand parallel zum Halbleiterschalter zwischen Anoden- und Kathodenanschluss geschaltet. Die parallel geschalteten Snubberkapazitäten sorgen für eine dynamische Spannungsaufteilung in der Schaltphase und speisen die Halbleiterschalter in den sicher geschalteten Zustand. Die negative Wirkung von Zuleitungsinduktivitäten, die beim Schalten durch Einschwingverläufe den Haltestrom der Schaltstufen unterschreiten lässt, können wirksam unterdrückt werden. Die in jeder Schaltstufe beigefügten Synchronisierwiderstände parallel zum Halbleiterschalter sorgen für eine gleichmäßige Spannungsaufteilung auf alle Schaltstufen.
• In einer Modifikation des erfindungsgemäßen Hochleistungsschaltmoduls kann vorgesehen sein, dass die Einschaltdiode für vorgegebene Offsetspannungswerten auch in der Sperrrichtung bezüglich der ankommenden Schaltpulse durchlässig ist. Eine beidseitig spannungsabhängig durchlässige Einschaltdiode kann zum einen den für den Schaltvorgang des Halbleiterschalters erforderlichen Schaltstrom sicher durchlassen und einen Rückstrom verhindern, zum anderen kann sie aber auch in der Gegenrichtung einen geringeren Strom, der beispielsweise Überwachungszwecken dient, durchlassen. Näheres hierzu ist ebenfalls den Ausführungen zum Verfahren nach der Erfindung zu entnehmen.
• Ein weiteres Modifikationspaket des Hochleistungsmoduls nach der Erfindung beschäftigt sich mit dessen Betriebstemperatur. Die momentane Temperatur in den einzelnen Schaltstufen hat einen wesentlichen Einfluss auf das Schaltverhalten der Halbleiterschalter und somit auf die Einstellung der schaltstufenindividuellen Offsetspannung bzw. der verzögerten Schaltzeit. Somit ist für einen guten Temperaturausgleich zwischen den einzelnen Schaltstufen und für eine insgesamt möglichst konstante Temperatur aller Schaltstufen zu sorgen. Vorteilhaft ist es deshalb, wenn die einzelnen Schaltstufen auf einen gemeinsamen Träger aus einem Basismaterial mit sehr hoher Wärmeleitfähigkeit aufgebracht sind. Hierbei kann es sich bevorzugt um ein technisches Keramikmaterial, beispielsweise Aluminiumoxid oder Aluminiumnitrid, handeln. Aus dem Stand der Technik ist eine Vielzahl von technischen Keramiken mit sehr hohen Wärmeleitkoeffizienten bekannt. Für die im passiven Netzwerk enthaltenen Bauelemente bietet sich die Dickschichttechnologie an. Diese Technologie ermöglicht die Konstruktion selbstkompensierender Schaltungen, präzise Abgleichmöglichkeiten und hohe Zuverlässigkeit.
• In der konstruktiven Gestaltung kann das Hochleistungsmodul planar, d.h. zweidimensional in der Fläche, oder räumlich, d.h. dreidimensional im Raum, ausgebildet sein. Dabei gewährleistet der Aufbau einen minimalen Temperatur gradienten (unter 10 K) zwischen den Schaltstufen, ideale Verlustleistungsabführung (einige 100 Watt), minimalen Platzbedarf und damit einhergehend geringste mögliche Baugruppeninduktivität. Dies ist angesichts der betrachteten Schaltzeiten ein besonderer Vorteil. Bei der planaren Ausbildung sind alle Schaltstufen auf einem gemeinsamen Träger angeordnet. Dies ermöglicht eine ideal angepasste Geometrie und eine hohe Spannungsfestigkeit und Stabilität. Bei der räumlichen Ausbildung wird einer oder einer Gruppe von Schaltstufen ein eigener Träger zugeordnet. Alle Träger werden dann über- oder nebeneinander in einen Rahmen aus einem Material mit hoher Wärmeleitfähigkeit eingesteckt. Um einen Temperaturausgleich zwischen den einzelnen Trägern zu gewährleisten, kann bevorzugt der Rahmen aus einem elektrisch leitenden oder elektrisch isolierenden Material ausgebildet sein. Es kann sich beispielsweise um einen Metallrahmen handeln. Dabei kann der Rahmen an eine Kühleinrichtung des Verbrauchers thermisch angekoppelt sein, um die auftretende Wärmelast einfach abführen zu können. Bei der Kühleinrichtung kann es sich beispielsweise um den Kühlkollektor eines Gasentladungslasers handeln.
• Die Realisierung der Bauelemente auf einem gemeinsamen Träger in einem Prozess, gekoppelt mit dem aktiven Abgleich der einzelnen Schaltstufen durch eine individuelle Offsetspannungseinstellung bei dem Hochleistungsschaltmodul nach der Erfindung, ermöglichen enge Bauelementetoleranzen und einen hohen Gleichlauf (TK, Spannungsabhängigkeit u.a.)
• Bereits weiter oben wurde ausgeführt, dass die Ein- oder Ausschaltzeiten eines Hochleistungsschaltmoduls durch individuelle Betriebsbedingungen nicht unter 1 ns verkürzbar sind. Dabei handelt es sich bereits um ultrakurze Schaltzeiten, die aber auch nur Schaltfenster von 3 bis 5 ns erbringen. Das aus der DE 36 30 775 C2 bekannte Hochleistungsschaltmodul hat noch eine Schaltzeit von 100 ns, ist aber auch schon zwanzig Jahre alt. Da es aber zur Erzeugung beispielsweise von ultrakurzen Lichtpulsen (im ps-Bereich) mit einem Gasentladungslaser wichtig ist, dass die gesamte gespeicherte Energie vom Hochleis tungsschaltmodul in einem sehr schmalen Zeitfenster – angestrebt wird eine Breite von 800 ps – freigegeben wird und auch der Ausschaltvorgang in einem derart schmalen Zeitfenster erfolgt, damit eine hohe Pulsfolgefrequenz erreicht werden kann, basiert das erfindungsgemäße Hochleistungsschaltmodul auf dem Grundgedanken, jeden einzelnen Halbleiterschalter in seiner Schaltzeit individuell einzustellen und auf ein Zeitfenster unterhalb von 1,5 ns zu trimmen.
• Somit ist ein bevorzugtes Verfahren zur Erzeugung von Schaltsynchronität bei einem Hochleistungsschaltmodul der beschriebenen Art dadurch gekennzeichnet, dass in jeder Schaltstufe am Halbleiterschalter unter Ausnutzung von gespeicherter Hilfsenergie eine schaltstufenindividuelle Offsetspannung zur Verzögerung der Schaltzeit eingestellt wird, deren Wert in Abhängigkeit von der gesamten Schaltstufenkapazität, der momentanen Schaltstufenspannung und der momentanen Schaltstufentemperatur so bestimmt wird, dass die Halbleiterschalter aller Schaltstufen nach dem Eintreffen eines Schaltpulses in einem Zeitfenster ≤ 1,5 ns eingeschaltet sind. Dabei wird in jeder Schaltstufe die Hilfsenergie mittels eines den Schaltpulsen des Pulstreibers überlagerten Wechselstroms vom Pulstreiber abgezweigt. Mit diesem Verfahren werden in jeder Schaltstufe individuell die aktuellen Schaltbedingungen des Halbleiterschalters ermittelt und berücksichtigt, indem eine individuelle Offsetspannung mit der Wirkung einer verzögernden Biasspannung am Halbleiterschalter eingestellt wird. Diese Offsetspannung richtet sich nach dem jeweils langsamsten Halbleiterschalter und sorgt für eine entsprechende Verzögerung aller anderen Halbleiterschalter. Je negativer die Offsetspannung voreingestellt ist, desto später geht der Halbleiterschalter in den sicher ein- oder ausgeschalteten Zustand über. Der schnellste Halbleiterschalter im Verbund erhält somit den größten Betrag an Offsetspannung als Voreinstellung. Die Hilfsenergie wird dabei dazu genutzt, die Offsetspannung am Halbleiterschalter aufzubauen und diesen in einem sicheren offenen Zustand zu halten.
• Dabei kann bevorzugt die Einstellung der Offsetspannung bezüglich des gesamten Schaltstufenpotenzials als Grundwert (statisch) und bezüglich der momentanen Schaltstufenspannung und der momentanen Schaltstufentemperatur als Momentanwert (dynamisch) in einer passiven Kompensationsschleife, wie sie aus der Messtechnik hinreichend bekannt ist, oder in einer aktiven Regelschleife erfolgen. Das dabei erforderliche aktive Regelelement bezieht seine Energie dann aus der in der Schaltstufe zur Verfügung gestellten Hilfsenergie. Die Schaltzeitkonstante jeder Stufe (turn on delay, turn off delay) wird von Snubberkapazität, Schaltpegel, Verstärkung, Linearität und Mitkopplung des Leistungsbauelements bestimmt. Toleranzen dieser Parameter führen, auch bei exakt abgestimmten Treiberpulsen, zu unterschiedlichen Schaltzeitpunkten. Bei der Erfindung werden die Toleranzen über einen individuell einstellbaren Offsetgrundwert ausgeglichen. Hinzu kommen die Einflüsse der Schalterperipherie wie Steuerpegel, Quellwiderstand, Anoden-Kathodenspannung, Lastkapazität- und Induktivität sowie der Temperaturgang je Stufe. Erfindungsgemäß werden die von den momentanen Betriebsbedingungen abhängigen Delayverschiebungen jeder Schaltstufe dem Offsetgrundwert derart aufgeschaltet, dass ein Schaltzeitfenster von < 1,5 ns über alle Schaltstufen erhalten wird und bleibt.
• Schließlich kann bei dem Verfahren als Weiterbildung noch vorteilhaft vorgesehen sein, dass die schaltstufenindividuelle Offsetspannung durch Vergleich mit einem vorgegebenen Grenzwert gleichzeitig zur Funktionsüberwachung jeder Schaltstufe eingesetzt und in verknüpfter Form zur Freigabe der Treiberschaltung eingesetzt wird. Somit können durch die ständig wiederholte Ermittlung der Offsetspannung auch Kontrollfunktionen für die Betriebssicherheit des gesamten Hochleistungsschaltmoduls übernommen werden. Dabei wird von vorgegebenen minimalen und maximalen Grenzwerten ausgegangen, zwischen denen die eingestellte Offsetspannung liegen darf. Werte außerhalb dieser Grenzwerte deuten auf eine fehlerhafte Schaltstufe hin. Liegt die eingestellte Offsetspannung aber im erlaubten Bereich, kann diese über die dann in beide Richtungen entsprechend teildurchlässige Einschaltdiode an den Treiber weitergeleitet werden. Somit kann sichergestellt werden, dass die Schaltstufen immer nur dann geschaltet werden, wenn sichere Betriebsbedingungen vorliegen. Bei Abweichungen wird ein Fehlersignal generiert und/oder der Schaltpuls gesperrt, wodurch Sekundärausfälle verhindert werden.
• Ausführungsbeispiele
• Das Hochleistungsschaltmodul nach der Erfindung und ein bevorzugtes Verfahren zur Erzeugung von Schaltsynchronität bei einem derartigen Hochleistungsschaltmodul werden nachfolgend anhand der schematischen Figuren beispielhaft näher erläutert. Dabei zeigt:
• 1 einen Schaltplan des Hochleistungsschaltmoduls,
• 2 eine Steuerspannungskurve eines Halbleiterschalter,
• 3 einen Querschnitt durch ein planares Hochleistungsmodul und
• 4 einen Querschnitt durch ein räumliches Hochleistungsmodul.
• In der 1 ist ein Hochleistungsschaltmodul HLM nach der Erfindung zur direkten Pulsenergieeinspeisung eines Verbrauchers dargestellt. Bei dem Verbraucher kann es sich um einen transversal elektrisch angeregten Gasentladungslaser zur Erzeugung von ultrakurzen Lichtpulsen handeln. Die zur Lichtverstärkung benötigte Energiezuführung wird dabei durch eine Hochstromentladung mit 1.000-14.000 A cm^–2 quer durch das aktive Laservolumen erreicht. Durch die Hochstromentladung wird in der Gasentladungsstrecke ein Plasma gezündet. Gespeist wird die Hochstromentladung beispielsweise aus niederinduktiven Kondensatoren, in denen in den Laserpulspausen Elektroenergie zwischengespeichert wird. Über das Hochleistungsmodul HLM wird die zwischengespeicherte Energie beispielsweise mit einer Stromanstiegsge schwindigkeit von beispielsweise 100.000 A/μs in das Laservolumen zur Plasmazündung geleitet. (z.B. LTB MNL 100)
• Das Hochleistungsschaltmodul HLM besteht aus einer Anzahl N von Schaltstufen SS_N, beispielsweise N = 1...10 bis max. 20, die jeweils einen Halbleiterschalter HL_N mit einem Anodenanschluss SA (auch Quellen- oder Anodenanschluss), einem Kathodenanschluss DA (auch Senken- oder Kathodenanschluss) und einem Steueranschluss GA (Steuerung) aufweisen. Bei dem Halbleiterschalter HL kann es sich um einen MOS gesteuerten Thyristor (MCRT) oder um einen SMCT handeln. Jedem Halbleiterschalter HL_N sind eine Snubberkapazität EC_N und ein Synchronisierwiderstand ER_N zwischen Anodenanschluss SA und Kathodenanschluss DA parallel geschaltet. Alle Halbleiterschalter HL_N sind mit ihren Anodenanschlüssen SA und Kathodenanschlüssen DA in Reihe geschaltet. An äußeren Anschlüssen AA ist der Verbraucher angeschlossen. Weiterhin weist jedes Hochleistungsschaltmodul HLM ein Ansteuernetzwerk AN_N zur individuellen Einstellung des Ein- und Ausschaltzeitpunktes jedes Halbleiterschalters HL_N durch eine Offsetspannung auf. Über das Ansteuernetzwerk AN_N ist jede Schaltstufe SS_N mit einem Pulstreiber PTF als Triggerquelle verbunden. Dieser weist eine allen Schaltstufen SS_N gemeinsame Primärwicklung PW auf, der für jede Schaltstufe SS_N eine Sekundarwicklung SW_N zugeordnet ist. So können alle Schaltstufen SS_N gemeinsam von dem Pulstreiber PTF versorgt werden.
• Jedes Ansteuernetzwerk AN_N pro Schaltstufe SS_N weist eine Steuerdiode SD_N als Potenzialsperre auf, über die nur ein ausreichend großer Schaltpuls des Pulstreibers PTF auf den Halbleiterschalter HL_N durchgelassen wird. In Reihe zu der Steuerdiode SD_N ist ein Verzögerungselement VE_N angeordnet, über das eine Offsetspannung am Halbleiterschalter HL_N und damit dessen Schaltzeit in weiten Bereichen und in Abhängigkeit von den momentanen Umgebungsbedingungen eingestellt wird (zur Einstellung der Offsetspannung siehe 2). Parallel zur Steuerdiode SD_N und dem Verzögerungselement VE_N ist jeweils noch ein Steuerwiderstand SR_N angeordnet. Die eingestellte Offsetspannung wird am Halbleiterschalter HL_N durch eine Hilfsenergie, die in einer Hilfskapazität HC_N gespeichert wird, sicher im Sperrzustand gehalten. Die Hilfsenergie wird über eine Hilfsdiode HD_N vom Pulstreiber PTF abgezweigt. Dafür wird dieser mit einer kleinen Wechselspannung, beispielsweise Sinus-, Dreieck- oder Rechteckverlauf, beaufschlagt, die dem Triggern der Schaltpulse (Potenzialdifferenz einige 10 kV) dem Pulstreiber PTF überlagert wird (vergleiche Einschub 1).
• In der 2 ist ein schematisches Diagramm zum Einstellverhalten jedes Halbleiterschalters HL_N pro Schaltstufe SS_N dargestellt (gezeigt ist nur der Einschaltvorgang, für den Ausschaltvorgang gilt aber Analoges, hier mit einer fallenden Ansteuergeraden). Aufgetragen ist die Steuerspannung U_S über der Zeit t. Der Halbleiterschalter HL_N besitzt ein lineares Schaltverhalten. Der gestrichelte Bereich zeigt den sicheren Schaltbereich SSB jedes Halbleiterschalters HL_N. Dieser muss von allen Halbleiterschaltern HL_N des Hochleistungsschaltmoduls HLM innerhalb eines Zeitfensters ZF von maximal 1,5 ns (angestrebt wird eine minimale Breite von nur ca. 600 bis 800 ps) erreicht werden. Je nach Betriebszustand der jeweiligen Schaltstufe SS_N haben die Halbleiterschalter HL_N jedoch eine unterschiedliche Schaltdauer. Damit alle Halbleiterschalter HL_N synchron schalten, wird zunächst der langsame Halbleiterschalter HL_N ermittelt. Alle anderen, schnelleren Halbleiterschalter HL_N-1 werden dann entsprechend ihrer eigenen Schaltdauern zu diesem Halbleiterschalter HL_N durch Einstellen einer Offsetspannung verzögert. Je schneller der Halbleiterschalter HL_N-1, desto größer muss die voreingestellte Offsetspannung sein, desto größer wird die erreichte Verzögerung. Alle Halbleiterschalter HL_N können in einem Einstellbereich EB bis zu einer maximalen Offsetspannung und damit mit einer maximalen Verzögerung voreingestellt werden. Höhere erforderliche Offsetspannungen deuten auf eine Funktionsstörung des Halbleiterschalters HL_N hin.
• Die einzustellende Offsetspannung hängt zum einen von den Bauelementeparametern in der jeweiligen Schaltstufe SS_N ab. Hierbei handelt es sich um einen Grundwert, der zu einer ersten Offsetspannung führt. Weiterhin überlagern sich am Halbleiterschalter HL_N momentane Betriebszustände. Hierbei handelt es sich um die momentane Schaltstufenspannung und die momentane Schaltstufentemperatur. Diese beiden Werte, die mit entsprechenden Messeinrichtungen gemessen werden, überlagern sich mit dem Grundwert der Offsetspannung. Beide Werte führen dann zu einer individuellen und zeitabhängigen Voreinstellung jedes Halbleiterschalters HL_N. Im Ausschaltzustand wird der Halbleiterschalter HL_N durch Nutzen einer Hilfsenergie im sichereren Sperrbereich gehalten. Nach der Auslösung eines Schaltpulses schalten dann alle Halbleiterschalter HL_N individuell durch die zusätzliche Verzögerung mit einer solchen Dauer, dass sie ihren sicheren Schaltbereich SSB (für Ein- und Ausschalten) innerhalb des gemeinsamen vorgegebenen Zeitfensters ZF unterhalb von 1,5 ns erreicht haben. Dadurch kann bei dem Hochleistungsschaltmodul HLM nach der Erfindung ein besonders hoher Stromanstieg erreicht werden.
• In den 3 und 4 ist das Hochleistungsschaltmodul HLM nach der Erfindung in einer planaren Ausführung (3) und in einer räumlichen Ausführung (4) dargestellt.
• In der planaren Ausführungsform gemäß 3 sind alle Schaltstufen SS_N (mit N von 1 bis i bei i vorgesehenen Schaltstufen SS_i) auf einem gemeinsamen Träger GT angeordnet. Im gezeigten Ausführungsbeispiel handelt es sich dabei um eine Dickschichtkeramik (DSK). Auf der Oberseite des gemeinsamen Trägers GT sind die Halbleiterschalter HL_N angeordnet. Die Kathodenanschlüsse DA_N sind mit den Anodenanschlüssen SA_N benachbarter Halbleiterschalter HL_N über Kontaktbügel KB in Reihe geschaltet. Auf der Unterseite der Halbleiterschalter HL_N sind die Steueranschlüsse GA_N mit den Ansteuernetzwerken AN_N verbunden. Die Schaltung der einzelnen Ansteuernetzwerke AN_N ist der 1 zu entnehmen. Weiterhin sind über Durchkontaktierungen DK, Dickschichtleiterbahnen DLB und elektrisch leitende Lötverbindungen LVB die Snubberkapazitäten EC_N und die Synchronisierwiderstände ER_N an die Anodenanschlüsse SA_N und Kathodenanschlüsse DA_N angeschlossen und somit parallel zu den Halbleiterschaltern HL_N geschaltet. Zur Erreichung einer geringen Induktivität weisen die Synchronisierwiderstände ER_N eine spezielle Formgebung auf.
• Die räumliche Ausführungsform gemäß 4 unterscheidet sich von der Ausführungsform gemäß 3 dadurch, dass im gewählten Ausführungsbeispiel immer eine Schaltstufe SS_N auf einem einzelnen Träger ET angeordnet ist (möglich ist auch die planare Anordnung mehrerer Schaltstufen SS_N auf einem gemeinsamen Träger GT, wovon dann mehrere nach Art eines einzelnen Trägers ET vorgesehen sind). Dabei ist jeder zweite Träger ET ist im gewählten Ausführungsbeispiel überkopf angeordnet, sodass eine einfache Reihenkontaktierung möglich ist. Diese wird durch Flexverbinder FV hergestellt. Zur Vermeidung von Kurzschlüssen sind zwischen den einzelnen Schaltstufen SS_N noch Isolationsscheiben IS mit Durchführungen DF für die Flexverbinder FV vorgesehen. Die Isolationsscheiben IS können – wie die Träger GT, ET – bevorzugt aus einem keramischen Material hergestellt sein. Alle einzelnen Träger ET sind über- bzw. nebeneinander – je nach Betrachtungsweise – parallel in einen Rahmen RA eingeschoben, der aus einem gut wärmeleitenden Material besteht. Es kann sich beispielsweise um einen Metallrahmen handeln. Dieser kann auch mit einer Kühleinrichtung, beispielsweise der des Verbrauchers, verbunden sein. Der Rahmen RA kann aber auch aus einem elektrisch isolierenden Material bestehen.

AA

äußerer Anschluss

AN

Ansteuernetzwerk

DA

Kathodenanschluss

DF

Durchführung

DK

Durchkontaktierung

DLB

Dickschichtleiterbahn

DSK

Dickschichtkeramik

EB

Einstellbereich Verzögerung

EC

Snubberkapazität

ER

Synchronisierwiderstand

ET

einzelner Träger

FV

Flexverbinder

GA

Steueranschluss

GT

gemeinsamer Träger

HC

Hilfskapazität

HD

Hilfsdiode

HL

Halbleiterschalter

HLM

Hochleistungsschaltmodul

IS

Isolationsscheibe

KB

Kontaktbügel

LVB

elektrisch leitende Lötverbindung

N

Anzahl SS (Index)

PTF

Pulstreiber

PW

Primärwicklung

RA

Rahmen

SA

Anodenanschluss

SD

Steuerdiode

SR

Steuerwiderstand

SS

Schaltstufe

SSB

sicherer Schaltbereich HL

SW

Sekundarwicklung

VE

Verzögerungselement

ZF

Zeitfenster

Claims (12)

1. Hochleistungsschaltmodul zur direkten Pulsenergiespeisung eines Verbrauchers mit in Reihe geschalteten Schaltstufen, die jeweils einen Halbleiterschalter mit Anoden-, Kathoden- und Steueranschluss und ein auf den Halbleiterschalter einwirkendes, mit Hilfsenergie von einem Pulstreiber versorgtes Steuernetzwerk zur Schaltbeeinflussung des Halbleiterschalters aufweisen, wobei das Steuernetzwerk zumindest einen Steuerwiderstand und eine bezüglich ankommender Schaltpulse von dem alle Schaltstufen versorgenden Pulstreiber in Durchlassrichtung gepolten Steuerdiode umfasst und wobei eine Snubberkapazität und ein zusätzlicher Synchronisierwiderstand parallel zum Halbleiterschalter zwischen Anoden- und Kathodenanschluss geschaltet sind, dadurch gekennzeichnet, dass in jeder Schaltstufe (SSN) das Steuernetzwerk (AN_N) ein mit der Steuerdiode (SD_N) in Reihe und zum Steuerwiderstand (SR_N) parallel geschaltetes einstellbares Verzögerungselement (VE_N) zur variablen Einstellung einer den Schaltzeitpunkt des Halbleiterschalters (HL_N) bestimmenden, schaltstufenindividuellen Offsetspannung am Halbleiterschalter (HL_N) sowie eine bezüglich ankommender Schaltpulse in Sperrrichtung gepolte Hilfsdiode (HD_N) und eine Hilfskapazität (HC_N) zur Auskopplung und Speicherung von Hilfsenergie zum Halten der Offsetspannung am Halbleiterschalter (HL_N) umfasst.
2. Hochleistungsschaltmodul nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Verzögerungselement (VE_N) eine passive Kompensationsschleife oder einer aktive Regelschleife und Messvorrichtungen zur Messung der momentanen Schaltstufenspannung und der momentanen Schaltstufentemperatur umfasst.
3. Hochleistungsschaltmodul nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuerdiode (SD_N) für vorgegebene Offsetspannungswerte auch in der Sperrrichtung bezüglich der ankommenden Schaltpulse durchlässig ist.
4. Hochleistungsschaltmodul nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass eine planare Ausbildung gegeben ist, wobei die einzelnen Schaltstufen (SS_N) auf einen gemeinsamen Träger (GT) aus einem Basismaterial (DSK) mit sehr hoher Wärmeleitfähigkeit aufgebracht sind.
5. Hochleistungsschaltmodul nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass eine räumliche Ausbildung gegeben ist, wobei eine oder einer Gruppe von Schaltstufen (SS_N) auf einen einzelnen Träger (ET) aus einem Basismaterial mit sehr hoher Wärmeleitfähigkeit aufgebracht ist und alle Träger (ET) über- oder nebeneinander in einen Rahmen (RA) aus einem Material mit hoher Wärmeleitfähigkeit eingesteckt sind.
6. Hochleistungsschaltmodul nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Rahmen (RA) aus einem elektrisch leitenden oder elektrisch isolierenden Material ausgebildet ist.
7. Hochleistungsschaltmodul nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Rahmen (RA) an eine Kühleinrichtung des Verbrauchers thermisch angekoppelt ist.
8. Hochleistungsschaltmodul nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das gemeinsame Basismaterial als technisches Keramikmaterial ausgebildet ist.
9. Hochleistungsschaltmodul nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass das gemeinsame Basismaterial eine Beschaltung jeder Schaltstufe (SS_N) in Dickschichttechnologie besitzt.
10. Verfahren zur Erzeugung von Schaltsynchronität bei einem Hochleistungsschaltmodul zur direkten Pulsenergiespeisung eines Verbrauchers mit in Reihe geschalteten Schaltstufen, die jeweils einen Halbleiterschalter mit Anoden-, Kathoden- und Steueranschluss und ein auf den Halbleiterschalter einwirkendes, mit Hilfsenergie von einem Pulstreiber versorgtes Steuernetzwerk zur Verzögerung der Schaltdauer des Halbleiterschalters aufweisen, wobei das Steuernetzwerk zumindest einen Steuerwiderstand und eine bezüglich ankommender Schaltpulse von dem alle Schaltstufen versorgenden Pulstreiber in Durchlassrichtung gepolte Steuerdiode umfasst und wobei eine Snubberkapazität und ein zusätzlicher Synchronisierwiderstand parallel zum Halbleiterschalter zwischen Anoden- und Kathodenanschluss geschaltet sind, insbesondere nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass in jeder Schaltstufe (SS_N) am Halbleiterschalter (HL_N) unter Ausnutzung der gespeicherten Hilfsenergie eine schaltstufenindividuelle Offsetspannung eingestellt wird, deren Wert in Abhängigkeit von der gesamten Schaltstufenkapazität, der momentanen Schaltstufenspannung und der momentanen Schaltstufentemperatur so bestimmt wird, dass die Halbleiterschalter (HL_N) aller Schaltstufen (SS_N) nach dem Eintreffen eines Schaltpulses in einem Zeitfenster (ZF) ≤ 1,5 ns ein- oder ausgeschaltet sind, wobei in jeder Schaltstufe (SS_N) die Hilfsenergie mittels eines den Schaltpulsen des Pulstreibers (PTF) überlagerten Wechselstroms vom Pulstreiber (PTF) abgezweigt wird.
11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Einstellung der schaltstufenindividuellen Offsetspannung bezüglich des Schaltzeitpunktes als Grundwert und bezüglich der momentanen Schaltstufenspannung und der momentanen Schaltstufentemperatur als Momentanwert in einer passiven Kompensationsschleife oder in einer aktiven Regelschleife erfolgt.
12. Verfahren nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass die schaltstufenindividuelle Offsetspannung durch Vergleich mit einem vorgegebenen Grenzwert gleichzeitig zur Funktionsüberwachung jeder Schaltstufe eingesetzt und dem Pulstreiber (PTF) zur Auslösung der Schaltpulse zugeleitet wird.