DE102006014136C5

DE102006014136C5 - Maschine zum Entstapeln von scheibenförmigen Substraten

Info

Publication number: DE102006014136C5
Application number: DE102006014136.9A
Authority: DE
Inventors: Vasile-Adrian Bojan; Richard Herter
Original assignee: Rena GmbH
Current assignee: RENA Technologies GmbH
Priority date: 2006-03-28
Filing date: 2006-03-28
Publication date: 2017-01-12
Anticipated expiration: 2026-03-29
Also published as: DE102006014136B4; DE102006014136A1

Abstract

Maschine zum Entstapeln von horizontal liegenden, übereinander gestapelten Scheiben (7), insbesondere von scheibenförmigen Substraten, innerhalb eines bis zur Position (e) mit einem flüssigen Medium gefüllten Behälters (1), mit einer Mitnehmerplatte (3), mit welcher die oberste Scheibe (7) des Stapels mittels Unterdruck ansaugbar und zwischen den Positionen (e) und (a) vertikal zwischen den Positionen (a) und (c) sowie horizontal verfahrbar ist, mindestens einer unterhalb der Position (e) angeordneten Trenndüse (6), mit welcher seitlich auf die gestapelten Scheiben (7) mindestens ein Flüssigkeitsstrahl ausübbar ist, der Scheiben (7) im Stapel innerhalb des flüssigen Mediums zum Schweben und die oberste Scheibe (7) in Position (e) bringt, und oberhalb des Stapels zwischen den Positionen (e) und (a) angeordneten Spüldüsen (5) zur Ausgabe eines weiteren Strahls, mit dem eine nach dem Abheben der obersten Scheibe (7) vom Stapel an dieser haftende weitere Scheibe (7) von der obersten Scheibe abspülbar ist.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft das Entstapeln bzw. Vereinzeln von scheibenförmigen Substraten. Insbesondere betrifft die Erfindung eine Maschine, mit der die sich in einem eingegrenzten Stapel befindenden Scheiben oder scheibenförmigen Substrate mit Hilfe eines Mitnehmers einzeln von deren Stapel abgenommen und auf einem Transportband abgesetzt werden.
Es ist bekannt, dass zum Vereinzeln von scheibenförmigen Substraten verschiedene Vorrichtungen verwendet werden, die sich in Bezug auf die Position der Scheiben horizontal, vertikal oder in irgendeiner anderen Richtung bewegen oder drehen.
Im Allgemeinen werden die Scheiben bzw. scheibenförmigen Substrate von einem Stapel gespült und/oder mittels Vakuum oder einem Greifer vereinzelt.
Beispielsweise beschreibt die DE 44 44 963 C2 ein Verfahren und eine Einrichtung zum Vereinzeln von gestapelten nichtferromagnetischen metallischen Platinen, bei dem die Platinen mittels vertikal und horizontal bewegbar angeordneten Sauggreifern vom Platinenstapel abgehoben und mit Druckluftdüsen seitlich beaufschlagt werden. An einer abgehobenen Scheibe anhaftende Scheiben werden mit geschwenkten Druckluftdüsen abgespült. Das Verfahren wird im Trockenen durchgeführt und bewirkt eine kontrollierte Vereinzelung eines Stapels scheibenartiger Substrate.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht in der Bereitstellung einer Maschine, mit der das Entstapeln und Vereinzeln eines Stapels scheibenförmiger Substrate gleichmäßig und sicher sowie zuverlässig und rasch durchgeführt werden kann.
Die Aufgabe wird gelöst durch Bereitstellung der Maschine gemäß Anspruch 1.
Vorteilhafte Ausführungsformen sind Gegenstand der jeweiligen Unteransprüche.
Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beispielhaft näher erläutert.
Die 1 zeigt ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Maschine, während in 2 eine Mitnehmerplatte 3 mit mehreren Ansaug- bzw. Spülbohrungen dargestellt ist.
Die Maschine zum Entstapeln bzw. Vereinzeln eines Stapels scheibenförmiger Substrate besteht aus einem mit einem flüssigen oder gasförmigen Medium befüllbaren Behälter 1, in welchem sich die Scheiben 7 stapelweise befinden.
Die zu vereinzelnden Scheiben 7 werden auf einen Lift 2 gesetzt, und der Behälter 1 wird mit einem Medium gefüllt. Das Medium darf nicht über den Rand herausfließen, sondern durch die Öffnung d. Die gestapelten Scheiben 7 müssen unter der Mediumoberfläche sein und können vom Lift 2 bis zur Position e angehoben, von den Trenndüsen 6 getrennt und bis zur Position e angehoben, oder vom Lift 2 angehoben und dann von den Trenndüsen 6 getrennt werden. Eine Mitnehmerplatte 3 wartet in der Position a, bis die oberste Scheibe 7 die Position e erreicht hat, und saugt diese Scheibe 7 mit Hilfe der Ansaugbohrungen an. Die Mitnehmerplatte 3 geht an den Spüldüsen 5 vorbei, die eine andere Scheibe abspült, welche versehentlich an der obersten angehobenen Scheibe haften könnte. Die Mitnehmerplatte 3 geht auf Position c. Die von der Mitnehmerplatte geholte Scheibe wird diesmal von den Ansaugbohrungen weggeblasen und kann auf einem Transportband 4 abgelegt werden. In dem Behälter, in welchem sich ein Stapel mit zu vereinzelnden Scheiben befindet, befindet sich der Stapel in Luft, Nebel oder Aerosol. Er kann dauernd von Düsen bespritzt werden. Befindet sich der Stapel in einem flüssigen Medium und werden die Scheiben zur Position e hochbefördert, so üben eine oder mehrere Trenndüsen 6 auf die Scheiben einen Flüssigkeitsstrahl aus. Dieser bringt die Scheiben zum Schweben und sie werden bis zur Position e hochbefördert.
Die Mitnehmerplatte 3 dient dem Transfer der Scheibe 7 zum Transportband und hat deren Form sowie eine oder mehrere Ansaug- und Spülbohrungen. Die Ansaug- und Spülbohrungen werden mit Unterdruck beaufschlagt und saugen die sich in der Nähe befindende Scheibe 7 an, sodass diese adhäsionsbedingt an der Mitnehmerplatte haften bleibt. Wenn die Ansaug- und Spülbohrungen mit Druck beaufschlagt werden, wird die Scheibe 7 von der Mitnehmerplatte gelöst.
Bezugszeichenliste

1: Behälter
2: Lift (Aufheber)
3: Mitnehmerplatte (Platte mit einer oder mehreren Ansaugbohrungen)
4: Transportband
5: Spüldüse
6: Trenndüsen
7: Scheiben

Claims

Maschine zum Entstapeln von horizontal liegenden, übereinander gestapelten Scheiben (7), insbesondere von scheibenförmigen Substraten, innerhalb eines bis zur Position (e) mit einem flüssigen Medium gefüllten Behälters (1), mit einer Mitnehmerplatte (3), mit welcher die oberste Scheibe (7) des Stapels mittels Unterdruck ansaugbar und zwischen den Positionen (e) und (a) vertikal zwischen den Positionen (a) und (c) sowie horizontal verfahrbar ist, mindestens einer unterhalb der Position (e) angeordneten Trenndüse (6), mit welcher seitlich auf die gestapelten Scheiben (7) mindestens ein Flüssigkeitsstrahl ausübbar ist, der Scheiben (7) im Stapel innerhalb des flüssigen Mediums zum Schweben und die oberste Scheibe (7) in Position (e) bringt, und oberhalb des Stapels zwischen den Positionen (e) und (a) angeordneten Spüldüsen (5) zur Ausgabe eines weiteren Strahls, mit dem eine nach dem Abheben der obersten Scheibe (7) vom Stapel an dieser haftende weitere Scheibe (7) von der obersten Scheibe abspülbar ist.
Maschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sich die gestapelten Scheiben (7) unter der Oberfläche des Mediums befinden.
Maschine nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass sie ferner einen Lift (2) aufweist, mit welchem die zu entstapelnden Scheiben (7) innerhalb des Behälters (2) vertikal verfahrbar sind.
Maschine nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Mitnehmerplatte (3) eine oder mehrere Ansaug- und Spülbohrungen aufweist.
Maschine nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Ansaug- und Spülbohrungen mit Druck beaufschlagbar sind.