DE102006014136B4 - Maschine zum Entstapeln von scheibenförmigen Substraten - Google Patents
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Abstract
Maschine zum Entstapeln von Scheiben (7), insbesondere von scheibenförmigen Substraten, die sich in einem eingegrenzten Stapel befinden, dessen oberste Scheibe (7) mit Unterdruck aus einer Mitnehmerplatte (3) angesaugt wird, wobei mindestens eine Trenndüse (6) seitlich auf die gestapelten Scheiben (7) mindestens einen Strahl ausübt und wobei ein Strahl nach dem Abheben der ersten Scheibe (7) und einer weiteren daran haftenden Scheibe (7) vom Stapel die weitere Scheibe abspült, dadurch gekennzeichnet, dass die Eingrenzung durch einen Behälter (1) erfolgt, dass der Strahl auf die gestapelten Scheiben (7) aus einer Trenndüse (6) ein Flüssigkeitsstrahl ist, der Scheiben (7) im Stapel zum Schweben bringt, und dass oberhalb des Stapels nach dem Abheben einer ersten Scheibe (7) vom Stapel ein weiterer Strahl aus einer Spüldüse (5) auf die erste und weitere Scheibe (7) trifft und die weitere Scheibe (7) von der ersten abspült.
Description
- Die vorliegende Erfindung betrifft das Entstapeln bzw. Vereinzeln von scheibenförmigen Substraten. Insbesondere betrifft die Erfindung eine Maschine, mit der die sich in einem eingegrenzten Stapel befindenden Scheiben oder scheibenförmigen Substrate mit Hilfe eines Mitnehmers einzeln von deren Stapel abgenommen und auf einem Transportband abgesetzt werden.
- Es ist bekannt, dass zum Vereinzeln von scheibenförmigen Substraten verschiedene Vorrichtungen verwendet werden, die sich in Bezug auf die Position der Scheiben horizontal, vertikal oder in irgendeiner anderen Richtung bewegen oder drehen.
- Im Allgemeinen werden die Scheiben bzw. scheibenförmigen Substrate von einem Stapel gespült und/oder mittels Vakuum oder einem Greifer vereinzelt.
- Beispielsweise beschreibt die
DE 44 44 963 C2 ein Verfahren und eine Einrichtung zum Vereinzeln von gestapelten nichtferromagnetischen metallischen Platinen, bei dem die Platinen mittels vertikal und horizontal bewegbar angeordneten Sauggreifern vom Platinenstapel abgehoben und mit Druckluftdüsen seitlich beaufschlagt werden. An einer abgehobenen Scheibe anhaftende Scheiben werden mit geschwenkten Druckluftdüsen abgespült. Das Verfahren wird im Trockenen durchgeführt und bewirkt eine kontrollierte Vereinzelung eines Stapels scheibenartiger Substrate. - Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht in der Bereitstellung einer Maschine, mit der das Entstapeln und Vereinzeln eines Stapels scheibenförmiger Substrate gleichmäßig und sicher sowie zuverlässig und rasch durchgeführt werden kann.
- Die Aufgabe wird gelöst durch Bereitstellung der Maschine gemäß Anspruch 1.
- Vorteilhafte Ausführungsformen sind Gegenstand der jeweiligen Unteransprüche.
- Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beispielhaft näher erläutert.
- Die
1 zeigt ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Maschine, während in2 eine Mitnehmerplatte3 mit mehreren Ansaug- bzw. Spülbohrungen dargestellt ist. - Die Maschine zum Entstapeln bzw. Vereinzeln eines Stapels scheibenförmiger Substrate besteht aus einem mit einem flüssigen oder gasförmigen Medium befüllbaren Behälter
1 , in welchem sich die Scheiben7 stapelweise befinden. - Die zu vereinzelnden Scheiben
7 werden auf einen Lift2 gesetzt, und der Behälter1 wird mit einem Medium gefüllt. Das Medium darf nicht über den Rand herausfließen, sondern durch die Öffnung d. Die gestapelten Scheiben7 müssen unter der Mediumoberfläche sein und können vom Lift2 bis zur Position e angehoben, von den Trenndüsen6 getrennt und bis zur Position e angehoben, oder vom Lift2 angehoben und dann von den Trenndüsen6 getrennt werden. Eine Mitnehmerplatte3 wartet in der Position a, bis die oberste Scheibe7 die Position e erreicht hat, und saugt diese Scheibe7 mit Hilfe der Ansaugbohrungen an. Die Mitnehmerplatte3 geht an den Spüldüsen5 vorbei, die eine andere Scheibe abspült, welche versehentlich an der obersten angehobenen Scheibe haften könnte. Die Mitnehmerplatte3 geht auf Position c. Die von der Mitnehmerplatte geholte Scheibe wird diesmal von den Ansaugbohrungen weggeblasen und kann auf einem Transportband4 abgelegt werden. In dem Behälter, in welchem sich ein Stapel mit zu vereinzelnden Scheiben befindet, befindet sich der Stapel in Luft, Nebel oder Aerosol. Er kann dauernd von Düsen bespritzt werden. Befindet sich der Stapel in einem flüssigen Medium und werden die Scheiben zur Position e hochbefördert, so üben eine oder mehrere Trenndüsen6 auf die Scheiben einen Flüssigkeitsstrahl aus. Dieser bringt die Scheiben zum Schweben und sie werden bis zur Position e hochbefördert. - Die Mitnehmerplatte
3 dient dem Transfer der Scheibe7 zum Transportband und hat deren Form sowie eine oder mehrere Ansaug- und Spülbohrungen. Die Ansaug- und Spülbohrungen werden mit Unterdruck beaufschlagt und saugen die sich in der Nähe befindende Scheibe7 an, sodass diese adhäsionsbedingt an der Mitnehmerplatte haften bleibt. Wenn die Ansaug- und Spülbohrungen mit Druck beaufschlagt werden, wird die Scheibe7 von der Mitnehmerplatte gelöst. -
- 1
- Behälter
- 2
- Lift (Aufheber)
- 3
- Mitnehmerplatte (Platte mit einer oder mehreren Ansaugbohrungen)
- 4
- Transportband
- 5
- Spüldüse
- 6
- Trenndüsen
- 7
- Scheiben
Claims (4)
- Maschine zum Entstapeln von Scheiben (
7 ), insbesondere von scheibenförmigen Substraten, die sich in einem eingegrenzten Stapel befinden, dessen oberste Scheibe (7 ) mit Unterdruck aus einer Mitnehmerplatte (3 ) angesaugt wird, wobei mindestens eine Trenndüse (6 ) seitlich auf die gestapelten Scheiben (7 ) mindestens einen Strahl ausübt und wobei ein Strahl nach dem Abheben der ersten Scheibe (7 ) und einer weiteren daran haftenden Scheibe (7 ) vom Stapel die weitere Scheibe abspült, dadurch gekennzeichnet, dass die Eingrenzung durch einen Behälter (1 ) erfolgt, dass der Strahl auf die gestapelten Scheiben (7 ) aus einer Trenndüse (6 ) ein Flüssigkeitsstrahl ist, der Scheiben (7 ) im Stapel zum Schweben bringt, und dass oberhalb des Stapels nach dem Abheben einer ersten Scheibe (7 ) vom Stapel ein weiterer Strahl aus einer Spüldüse (5 ) auf die erste und weitere Scheibe (7 ) trifft und die weitere Scheibe (7 ) von der ersten abspült. - Maschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sich der Stapel im Behälter (
1 ) in einem Medium aus Nebel oder Flüssigkeit befindet. - Maschine nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Behälter (
1 ) eine Öffnung (d) aufweist. - Maschine nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass sich die gestapelten Scheiben (
7 ) unter der Oberfläche des Mediums befinden.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102006014136.9A DE102006014136C5 (de) | 2006-03-28 | 2006-03-28 | Maschine zum Entstapeln von scheibenförmigen Substraten |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE102006014136.9A DE102006014136C5 (de) | 2006-03-28 | 2006-03-28 | Maschine zum Entstapeln von scheibenförmigen Substraten |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102006014136A1 DE102006014136A1 (de) | 2007-10-11 |
DE102006014136B4 true DE102006014136B4 (de) | 2010-02-04 |
DE102006014136C5 DE102006014136C5 (de) | 2017-01-12 |
Family
ID=38513138
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102006014136.9A Active DE102006014136C5 (de) | 2006-03-28 | 2006-03-28 | Maschine zum Entstapeln von scheibenförmigen Substraten |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102006014136C5 (de) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102007061410A1 (de) * | 2007-12-11 | 2009-06-18 | Gebr. Schmid Gmbh & Co. | Verfahren und Vorrichtung zum Vereinzeln von Wafern von einem Waferstapel |
DE102009024239A1 (de) | 2009-05-29 | 2010-12-02 | Schmid Technology Systems Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum Stapeln bzw. Transport einer Vielzahl von flachen Substraten |
DE102019217033B4 (de) * | 2019-11-05 | 2022-06-30 | Asys Automatisierungssysteme Gmbh | Be- und Entladeeinrichtung für ein Substratmagazin, Substratmagazinsystem |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4444963C2 (de) * | 1994-12-16 | 1997-12-18 | Erfurt Umformtechnik Gmbh | Verfahren zum Entstapeln von nichtferromagnetischen Platinen und Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
-
2006
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Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4444963C2 (de) * | 1994-12-16 | 1997-12-18 | Erfurt Umformtechnik Gmbh | Verfahren zum Entstapeln von nichtferromagnetischen Platinen und Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102006014136A1 (de) | 2007-10-11 |
DE102006014136C5 (de) | 2017-01-12 |
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|
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R206 | Amended patent specification | ||
R081 | Change of applicant/patentee |
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|
R082 | Change of representative |