DE102005055477A1 - Vorrichtung zur Verpackung eines Bauelements, Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung und Verwendung der Vorrichtung - Google Patents
Vorrichtung zur Verpackung eines Bauelements, Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung und Verwendung der Vorrichtung Download PDFInfo
- Publication number
- DE102005055477A1 DE102005055477A1 DE102005055477A DE102005055477A DE102005055477A1 DE 102005055477 A1 DE102005055477 A1 DE 102005055477A1 DE 102005055477 A DE102005055477 A DE 102005055477A DE 102005055477 A DE102005055477 A DE 102005055477A DE 102005055477 A1 DE102005055477 A1 DE 102005055477A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- connection
- component
- main
- main connection
- circuit board
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/495—Lead-frames or other flat leads
- H01L23/49503—Lead-frames or other flat leads characterised by the die pad
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
- H01L23/31—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape
- H01L23/3107—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
- H01L2224/48247—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L24/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/00014—Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/181—Encapsulation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Structures For Mounting Electric Components On Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
Es wird eine Vorrichtung zur Verpackung eines Bauelements, ein Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung und eine Verwendung der Vorrichtung vorgeschlagen, wobei die Vorrichtung ein Gehäuse aufweist, wobei das Bauelement eine Bauelementfläche aufweist, wobei das Gehäuse ein mit dem Bauelement über eine Flächenverbindung verbundenes Hauptanschlusselement (exposed die pad) aufweist, wobei das Hauptanschlusselement eine Hauptanschlussfläche zur äußeren Kontaktierung aufweist, wobei die Hauptanschlussfläche kleiner als die Bauelementfläche vorgesehen ist und/oder wobei die Hauptanschlussfläche zur Verbindung mit einer flächenmäßig kleiner als die Bauelementfläche vorgesehenen Verbindungsfläche vorgesehen ist.
Description
- Stand der Technik
- Die Erfindung geht aus von einer Vorrichtung zur Verpackung eines Bauelements nach der Gattung des Hauptanspruchs. Aus der deutschen Offenlegungsschrift
DE 103 18 501 A1 ist ein Chipaufbau in einem Premold-Gehäuse bekannt, wobei die Verpackung des Bauelements einen teilweise metallischen Gehäuseboden aufweist, auf dem das Halbleiterbauelement direkt montiert bzw. geklebt ist. Hierdurch kann eine gute thermische Ankopplung des Bauelementes an eine unterhalb des metallischen Bereichs des Gehäusebodens befindliche Leiterplatte realisiert werden. Hierbei wird zur Realisierung einer solchen guten thermischen Anbindung der metallische Bereich des Gehäusebodens auf eine Leiterplatte aufgelötet. Es ist hierbei nachteilig, dass bei einer thermischen Belastung des Gesamtaufbaus aus Leiterplatte und Bauelement eine Verbiegung des Bauelements auftritt, was insbesondere dann der Fall ist, wenn es sich um eine Gehäuseform handelt, bei der keine Anschlusspins („Beinchen") aus dem Gehäuse austreten und auf der Leiterplatte festgelötet werden, sondern bei der auf der Unterseite des Gehäuses lediglich eine Mehrzahl von vergleichsweisen kleinen Anschlussflächen vorhanden ist, wie dies beispielsweise bei den sogenannten QFN-Gehäusen (Quad flat no-Leads) der Fall ist. Die Durchbiegung des gesamten Gehäuses des Bauelementes wirkt sich dann negativ auf das Verhalten der Bauelemente aus, insbesondere dann, wenn es sich bei dem verpackten Bauelement um ein Sensorbauelement handelt. - Vorteile der Erfindung
- Die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Verpackung eines Bauelementes, das Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung und die Verwendung der Vorrichtung gemäß den Merkmalen der nebengeordneten Ansprüche hat demgegenüber den Vorteil, dass eine Durchbiegung des gesamten Gehäuses trotz einer Verwendung eines festgelöteten Diepads vermieden wird. Erfindungsgemäß kann damit die wirksame Fläche zur Verbindung der Vorrichtung mit etwa einer Leiterplatte derart variiert und angepasst werden, dass trotz eines großen spezifizierbaren Temperaturbereich eine Durchbiegung des Bauelementes bzw. der kompletten Vorrichtung weitgehend vermieden wird. Unter der wirksamen bzw. effektiven Verbindungsfläche zwischen dem Hauptanschlusselement der erfindungsgemäßen Vorrichtung und einer Leiterplatte wird diejenige kleinste Fläche bzw. Querschnittfläche verstanden, mittels der die erfindungsgemäße Vorrichtung mittels des Hauptanschlusselements an der Leiterplatte befestigt ist. Erfindungsgemäß wesentlich ist, das diese effektive Verbindungsfläche kleiner ist als die Fläche des mittels der Vorrichtung zu verpackenden Bauelements. Dies kann erfindungsgemäß beispielsweise derart realisiert werden, dass die Hauptanschlussfläche unterhalb des Hauptanschlusselements kleiner ist als die Bauelementfläche, wobei in diesem Fall die auf der Leiterplatte vorgesehene Verbindungsfläche im Wesentlichen gleich groß mit der Hauptanschlussfläche sein kann. Oder aber es kann auch lediglich durch eine Verkleinerung der Verbindungsfläche auf der Leiterplatte eine Verkleinerung der effektiven Verbindungsfläche realisiert werden.
- Erfindungsgemäß ist weiterhin bevorzugt, dass die Hauptanschlussfläche oder die Verbindungsfläche wenigstens 10% kleiner als die Bauelementfläche vorgesehen ist, bevorzugt wenigstens 20% kleiner, besonders bevorzugt wenigstens 40% kleiner vorgesehen ist. Hierdurch ist es möglich, einen effektiven Schutz vor Verbiegung des Bauelementes über den gesamten relevanten Temperaturbereich zu erzielen, (welcher insbesondere weit größer als 100 K sein kann) wobei für diesen Temperaturbereich die minimale Einsatztemperatur und die Löterstarrungstemperatur zur Befestigung der Vorrichtung auf der Leiterplatte heranzuziehen sind.
- Erfindungsgemäß ist ferner bevorzugt, dass das Gehäuse eine Mehrzahl von mit dem Bauelement über Drahtverbindungen verbundenen Nebenanschlusselementen aufweist, wobei die Nebenanschlusselemente jeweils eine Nebenanschlussfläche aufweisen, wobei die Nebenanschlussflächen bevorzugt in einer gemeinsamen Ebene mit der Hauptanschlussfläche vorgesehen sind. Hierdurch ist es erfindungsgemäß möglich, mittels der sogenannten SMD-Technologie (Surface mounted device) eine einfache und sichere Verbindung der Vorrichtung und damit des Bauelementes mit einer Leiterplatte zu bewerkstelligen. Besonders bevorzugt ist ferner, dass die Nebenanschlusselemente bis auf die Nebenanschlussflächen im Wesentlichen vollständig von Verpackungsmaterial des Gehäuses der Vorrichtung umgeben sind. Hierdurch ist eine besonders kompakte Realisierung der Vorrichtung möglich, so dass eine große Packungsdichte auf einer Leiterplatte erzielt werden kann. Aufgrund der Tatsache, dass die Nebenanschlusselemente mit ihren Nebenanschlussflächen lediglich auf der Unterseite der Vorrichtung als Kontaktflächen vorgesehen sind, dass also keine Pins („Beinchen") aus dem Gehäuse der Vorrichtung seitlich herausragen, wird die erfindungsgemäße Anpassung der effektiven Verbindungsfläche noch wichtiger, weil solchermaßen vorgesehene Nebenanschlusselemente mit lediglich nach unten weisenden Nebenanschlussflächen im Wesentlichen keinen Ausgleich der thermischen Ausdehnung, wie dies etwa durch Pins realisierbar wäre ermöglichen.
- Bevorzugt ist ferner, dass das Hauptanschlusselement und die Nebenanschlusselemente aus einem Trägerstreifen (Leadframe) hergestellt vorgesehen sind. Hierdurch ist es erfindungsgemäß möglich, dass die Vorrichtung zur Verpackung des Bauelementes mit einfachen und gut beherrschten Technologien kostengünstig und mit verhältnismäßig geringem Aufwand hergestellt werden kann.
- Besonders ist bevorzugt, dass die Vorrichtung außer dem Hauptanschlusselement und den Nebenanschlusselementen ein Verpackungsmaterial, insbesondere eine Spritzgussmasse, aufweist. Hierdurch kann in bekannter Weise das Gehäuse der Vorrichtung vorwiegend aus einem spritzpressfähigen Material (Transfermolden) hergestellt werden. Nach einer Verbindung des Bauelementes, welches im Folgenden auch als Chip bezeichnet wird, mit dem Hauptanschlusselement und einer elektrischen Kontaktierung, bevorzugt mittels sogenannten Bond-Drahtverbindungen, des Bauelements mit den Nebenanschlusselementen ist es damit möglich, ein abgeschlossenes und passiviertes Gehäuse zu realisieren, in dem die Spritzgussmasse den Großteil des Gehäuses der Vorrichtung ausmacht.
- Erfindungsgemäß ist ferner bevorzugt, dass das Hauptanschlusselement zur Realisierung der Flächenverbindung mit dem Bauelement eine der Hauptanschlussfläche gegenüberliegende Innenseite aufweist, wobei das Hauptanschlusselement zwischen der Innenseite und der Hauptanschlussfläche zur Flächenreduktion stufenförmig oder pyramidenstumpfförmig geformt vorgesehen ist.
- Hierdurch ist es mit einfachen Mitteln möglich, die effektive Verbindungsfläche gegenüber der Bauelementfläche zur reduzieren.
- Ein weiterer Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zur Herstellung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung, wobei das Hauptanschlusselement derart geformt wird, insbesondere mittels eines Ätzverfahrens geformt wird, dass nach der Fertigstellung des Gehäuses die Hauptanschlussfläche kleiner als die Bauelementfläche vorgesehen ist. Ein weiterer Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist eine Verwendung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Kontaktierung des Bauelementes mit einer Leiterplatte, wobei die Leiterplatte die Verbindungsfläche aufweist. Hierdurch ist es mit einfachen Mitteln möglich, die effektive Verbindungsfläche zwischen dem Hauptanschlusselement und der Leiterplatte derart anzupassen, dass die effektive Verbindungsfläche kleiner ist als die Bauelementfläche.
- Zeichnung
- Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert.
- Es zeigen
-
1 eine perspektivische Darstellung von unten einer erfindungsgemäßen Vorrichtung, -
2 eine erste Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Verpackung, -
3 eine zweite Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Verpackung, -
4 eine erste Ausführungsform der Anbindung der erfindungsgemäßen Vorrichtung an eine Leiterplatte, -
5 eine zweite Ausführungsform der Anbindung der erfindungsgemäßen Vorrichtung an eine Leiterplatte und -
6 eine schematische Ausführungsform eines auf einer Mehrzahl von Hauptanschlusselementen befestigten Bauelements. - In
1 ist eine erfindungsgemäße Vorrichtung10 zur Verpackung eines Bauelementes20 dargestellt. Das Bauelement20 ist in1 nicht sichtbar, weil es von der Vorrichtung10 vollständig umschlossen und damit passiviert ist. Die Vorrichtung10 weist ferner ein Gehäuse30 , ein Hauptanschlusselement mit einer Hauptanschlussfläche31' und eine Mehrzahl von Nebenanschlusselementen mit jeweils einer Nebenanschlussfläche32' auf. - In den
2 und3 ist eine Schnittdarstellung durch eine erste bzw. eine zweite Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung10 zur Verpackung des Bauelementes20 dargestellt, welche zunächst gemeinsam beschrieben werden. Bei dem Bauelement20 handelt es sich insbesondere um ein mikromechanisches Sensorbauelement. Das Hauptanschlusselement31 ist mittels einer Flächenverbindung21 mit dem Bauelement20 verbunden. Hierbei kann es sich beispielsweise um eine Lötverbindung oder um eine Verbindung mit einem Klebstoff handeln, wobei es sich bei dem Verbindungsmaterial29 insbesondere um ein elektrisch und/oder thermisch leitfähiges Material handelt, um insbesondere die vergleichsweise große Anbindungsfläche der Flächenverbindung21 für eine elektrische und/oder thermische Ankopplung des Bauelements20 an das Hauptanschlusselement31 und letzlich an die Leiterplatte zu verwenden, wobei die Leiterplatte erst in den4 und5 dargestellt ist. An der Flächenverbindung21 zwischen dem Hauptanschlusselement31 und dem Bauelement20 weist das Hauptanschlusselement35 eine sogenannte Innenseite35 auf. Dieser Innenseite35 gegenüberliegend weist das Hauptanschlusselement31 die Hauptanschlussfläche31' auf. Mittels Kontaktierungsleitungen28 , welche insbesondere als Drahtband und Verbindungsleitungen vorgesehen sind, ist das Bauelement20 mit einer Mehrzahl von Nebenanschlusselementen32 verbunden. Diese Nebenschlusselemente32 weisen die Nebenanschlussflächen32' , welche sich bevorzugt in eine gemeinsame Ebene33 mit der Hauptanschlussfläche31' befinden. Der restliche Teil des Gehäuses30 der Vorrichtung10 wird im Wesentlichen durch ein Verpackungsmaterial15 gebildet, welches insbesondere als eine Spritzpressmasse (Moldmasse, Moldcompound) vorgesehen ist. In den2 und3 dargestellt bei dem genau ein Bauelement20 auf genau einem Hauptanschlusselement31 mittels des Gehäuses30 bzw. der Spritzgussmasse15 gemeinsam verpackt vorgesehen ist. Erfindungsgemäß ist es jedoch auch möglich, dass entweder eine Mehrzahl von Bauelementen20 auf einem einzigen Hauptanschlusselement31 befestigt vorgesehen und miteinander verpackt sind oder dass ein einziges Bauelement auf einer Mehrzahl von Hauptanschlusselementen31 befestigt ist (vgl.6 ). In einer weiteren Ausführungsform kann es erfindungsgemäß vorgesehen sein, dass das Bauelement eine Mehrzahl von insbesondere übereinander angeordneten Chips bzw. Substratabschnitten umfasst. - Bei der in
2 dargestellten ersten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung10 ist das Hauptanschlusselement31 zwischen seiner Innenseite35 und der Hauptanschlussfläche31' mittels einer Stufe39 gestuft vorgesehen, so dass die Hauptanschlussfläche31 kleiner ist als die Flächenverbindung21 zwischen den Hauptanschlusselement31 und dem Bauelement20 . - Bei der in
3 dargestellten zweiten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung10 ist lediglich die stufenförmige Formgebung des Hauptanschlusselements im Bereich der Hauptanschlussfläche31' durch eine pyramidenstumpfförmige Formgebung38 bzw. eine konische Form38 ersetzt, die jedoch ebenfalls der Verkleinerung der Hauptanschlussfläche31' dient. - In den
4 und5 ist eine erste und zweite Ausführungsform einer Anbindung der erfindungsgemäßen Vorrichtung10 an eine Leiterplatte40 dargestellt. Die Leiterplatte40 weist eine Verbindungsfläche40' auf, welche beispielsweise durch die Größe einer Metallisierungsregion41 , beispielsweise als Lötbereich, realisiert ist. Bei der Leiterplatte40 kann es sich erfindungsgemäß selbstverständlich auch um ein keramisches Substrat oder um eine sonstige Form eines Trägersubstrates handeln. Weitere Metallisierungsregionen42 sind zur Bindung der Nebenanschlusselemente32 auf der Leiterplatte40 vorgesehen. Zwischen der Hauptanschlussfläche31` und der Verbindungsfläche40' ist ein Verbindungsmittel49 vorgesehen, welches insbesondere als ein Lot vorgesehen ist. Ein solches Verbindungsmittel49 weist in der Regel aufgrund seiner Oberflächenspannung einen Miniskus48 auf, so dass als effektive Verbindungsfläche zwischen der Hauptanschlussfläche31' und der Verbindungsfläche40' im Wesentlichen der kleinste Querschnitt des Verbindungsmaterials49 anzusehen ist. Bei der in4 dargestellten ersten Ausführungsform einer Anbindung der Vorrichtung10 an die Leiterplatte40 ist die Hauptanschlussfläche31' etwa gleich groß wie die Verbindungsfläche40' vorgesehen (und beide kleiner als die Bauelementfläche20' ausgeführt). - Bei der in
5 dargestellten zweiten Ausführungsform einer Anbindung der Vorrichtung10 an die Leiterplatte40 ist die Hauptanschlussfläche31' nicht kleiner als die Bauelementfläche20' ausgeführt, jedoch ist die Verbindungsfläche40' kleiner als die Bauelementfläche20' vorgesehen, so dass sich durch die Ausbildung des Miniskus48 des Verbindungsmaterials49 eine effektive Erfindungsfläche ergibt, die im Wesentlichen der Verbindungsfläche40' auf der Leiterplatte40 entspricht. Mittels der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Verpackung des Bauelements20 wird vermieden, dass sich bei Temperaturschwankungen eine Durchbiegung des Bauelements20 ergibt. - In
6 ist am Beispiel der zweiten Ausführungsform eine Ausführungsform eines auf einer Mehrzahl von Hauptanschlusselementen31 befestigten Bauelements20 schematisch dargestellt. Gleiche Bezugszeichen aus5 bezeichnen gleiche Teile bzw. Komponenten der Vorrichtung10 .
Claims (9)
- Vorrichtung (
10 ) zur Verpackung eines Bauelements (20 ) mit einem Gehäuse (30 ), wobei das Bauelement (20 ) eine Bauelementfläche (20' ) aufweist, wobei das Gehäuse (30 ) ein mit dem Bauelement (20 ) über eine Flächenverbindung (21 ) verbundenes Hauptanschlusselement (exposed die pad) (31 ) aufweist, wobei das Hauptanschlusselement (31 ) eine Hauptanschlussfläche (31' ) zur äußeren Kontaktierung aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Hauptanschlussfläche (31' ) kleiner als die Bauelementfläche (20' ) vorgesehen ist und/oder dass die Hauptanschlussfläche (31' ) zur Verbindung mit einer flächenmäßig kleiner als die Bauelementfläche (20' ) vorgesehenen Verbindungsfläche (40' ) vorgesehen ist. - Vorrichtung (
10 ) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Hauptanschlussfläche (31' ) oder die Verbindungsfläche (40' ) wenigstens 10% kleiner als die Bauelementfläche (20' ) vorgesehen ist, bevorzugt wenigstens 20% kleiner, besonders bevorzugt wenigstens 40% kleiner vorgesehen ist. - Vorrichtung (
10 ) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse (30 ) eine Mehrzahl von mit dem Bauelement (20 ) über Drahtverbindungen (22 ) verbundenen Nebenanschlusselementen (32 ) aufweist, wobei die Nebenanschlusselemente (32 ) jeweils eine Nebenanschlussfläche (32' ) aufweisen, wobei die Nebenanschlussflächen (32' ) bevorzugt in einer gemeinsamen Ebene (33 ) mit der Hauptanschlussfläche (31' ) vorgesehen sind. - Vorrichtung (
10 ) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Hauptanschlusselement (31 ) und die Nebenanschlusselemente (32 ) aus einem Trägerstreifen (Leadframe) (35 ) hergestellt vorgesehen sind. - Vorrichtung (
10 ) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung (10 ) außer dem Hauptanschlusselement (31 ) und den Nebenanschlusselementen (32 ) ein Verpackungsmaterial (15 ), insbesondere eine Spritzgussmasse (15 ), aufweist. - Vorrichtung (
10 ) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Nebenanschlusselemente (32 ) bis auf die Nebenanschlussflächen (32' ) im wesentlichen vollständig von Verpackungsmaterial (15 ) umgeben vorgesehen sind. - Vorrichtung (
10 ) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Hauptanschlusselement (31 ) zur Realisierung der Flächenverbindung (21 ) mit dem Bauelement (20 ) eine der Hauptanschlussfläche (31' ) gegenüberliegende Innenseite (35 ) aufweist, wobei das Hauptanschlusselement (31 ) zwischen der Innenseite (35 ) und der Hauptanschlussfläche (31' ) zur Flächenreduktion stufenförmig oder pyramidenstumpfförmig geformt vorgesehen ist. - Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung (
10 ) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Hauptanschlusselement (31 ) derart geformt wird, insbesondere mittels eines Ätzverfahrens geformt wird, dass nach der Fertigstellung des Gehäuses (30 ) die Hauptanschlussfläche (31' ) kleiner als die Bauelementfläche (20' ) vorgesehen ist. - Verwendung einer Vorrichtung (
10 ) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 7 zur Kontaktierung des Bauelements (20 ) mit einer Leiterplatte (40 ), dadurch gekennzeichnet, dass die Leiterplatte (40 ) die Verbindungsfläche (40' ) aufweist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102005055477A DE102005055477A1 (de) | 2005-11-22 | 2005-11-22 | Vorrichtung zur Verpackung eines Bauelements, Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung und Verwendung der Vorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102005055477A DE102005055477A1 (de) | 2005-11-22 | 2005-11-22 | Vorrichtung zur Verpackung eines Bauelements, Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung und Verwendung der Vorrichtung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102005055477A1 true DE102005055477A1 (de) | 2007-05-24 |
Family
ID=37989499
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102005055477A Ceased DE102005055477A1 (de) | 2005-11-22 | 2005-11-22 | Vorrichtung zur Verpackung eines Bauelements, Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung und Verwendung der Vorrichtung |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102005055477A1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102008002391A1 (de) | 2008-06-12 | 2009-12-17 | Robert Bosch Gmbh | Gehäuse zur Verpackung eines Bauelements und Herstellungsverfahren für ein Gehäuse |
-
2005
- 2005-11-22 DE DE102005055477A patent/DE102005055477A1/de not_active Ceased
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102008002391A1 (de) | 2008-06-12 | 2009-12-17 | Robert Bosch Gmbh | Gehäuse zur Verpackung eines Bauelements und Herstellungsverfahren für ein Gehäuse |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE102007019809B4 (de) | Gehäuste Schaltung mit einem wärmeableitenden Leitungsrahmen und Verfahren zum Häusen einer integrierten Schaltung | |
DE102011053871B4 (de) | Multichip-Halbleitergehäuse und deren Zusammenbau | |
DE19747105B4 (de) | Bauelement mit gestapelten Halbleiterchips | |
DE4421077B4 (de) | Halbleitergehäuse und Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE19716668C2 (de) | Halbleiterchip-Stapelgehäuse mit untenliegenden Zuleitungen | |
DE10333841B4 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Nutzens mit in Zeilen und Spalten angeordneten Halbleiterbauteilpositionen und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauteils | |
DE102009008738A1 (de) | Halbleiteranordnung und Verfahren zum Herstellen einer Halbleiteranordnung | |
DE102008046095B4 (de) | Verfahren zum vereinzeln eines halbleiterbausteins | |
DE19743767A1 (de) | Halbleiterchip-Gehäuse für Oberflächenmontage sowie Verfahren zum Herstellen desselben | |
DE102014104399B4 (de) | Halbleiterchipgehäuse umfassend einen Leadframe | |
EP3360167A1 (de) | Optoelektronisches bauelement mit einem leiterrahmen mit einer versteifungsstruktur | |
DE102006023998A1 (de) | Elektronische Schaltungsanordnung und Verfahren zur Herstellung einer solchen | |
DE102018130965A1 (de) | Gehäuse-in-gehäuse struktur für halbleitervorrichtungen und verfahren zur herstellung | |
DE102008054735A1 (de) | Leadless-Gehäusepackung | |
DE102019127007B4 (de) | Stapel elektrischer bauelemente und verfahren zur herstellung desselben | |
DE102018207308B4 (de) | Halbleiterbauteil mit integriertem shunt-widerstand und verfahren zu dessen herstellung | |
DE102005055477A1 (de) | Vorrichtung zur Verpackung eines Bauelements, Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung und Verwendung der Vorrichtung | |
WO2021185598A1 (de) | Gehäuse für ein optoelektronisches halbleiterbauelement und optoelektronisches halbleiterbauelement | |
DE102004015597B4 (de) | Halbleitervorrichtung mit schützender Gehäusestruktur | |
DE10047135B4 (de) | Verfahren zum Herstellen eines Kunststoff umhüllten Bauelementes und Kunststoff umhülltes Bauelement | |
DE102004058815A1 (de) | Chipmodul und Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE19743766A1 (de) | Halbleiterchip-Gehäuse und Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE10219353B4 (de) | Halbleiterbauelement mit zwei Halbleiterchips | |
DE112021006931T5 (de) | Lead-frames für halbleitergehäuse mit erhöhter zuverlässigkeit und zugehörige gehäuse und verfahren | |
DE112021007581T5 (de) | Verfahren zum ausbilden eines oberflächenmontierten integrierten schaltungsgehäuses mit lötoptimierten leadframe-anschlüssen |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R012 | Request for examination validly filed |
Effective date: 20120824 |
|
R002 | Refusal decision in examination/registration proceedings | ||
R003 | Refusal decision now final | ||
R003 | Refusal decision now final |
Effective date: 20150109 |