DE102005054589A1 - Kalibriernormal - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung betrifft ein Kalibriernormal, insbesondere zur Kalibrierung von Vorrichtungen zur zerstörungsfreien Messung der Dicke dünner Schichten, mit einer Trägerplatte (16) aus einem Grundwerkstoff und einem auf der Trägerplatte (16) aufgebrachten Normal (17), welches die Dicke der Schicht aufweist, auf welche die Vorrichtung zu kalibrieren ist, wobei eine am Grundkörper (12) des Kalibriernormals (11) angeordnete Haltevorrichtung (22) wenigstens das Normal (17) zum Grundkörper (12) derart aufnimmt, dass beim Aufsetzen einer Messsonde der Vorrichtung zur zerstörungsfreien Messung dünner Schichten auf das Normal (17) seine Lage in zumindest einem Freiheitsgrad veränderbar ist.
Description
- Die Erfindung betrifft ein Kalibriernormal, insbesondere zur Kalibrierung von Vorrichtungen zur zerstörungsfreien Messung der Dicke dünner Schichten mit einer Trägerplatte aus einem Grundwerkstoff und einem auf der Trägerplatte aufgebrachten Normal, welches die Dicke der zu messenden Schichten aufweist, auf welche die Vorrichtung zu kalibrieren ist.
- Bei der zerstörungsfreien Messung der Dicke dünner Schichten durch ein magnetinduktives Verfahren oder ein Wirbelstromverfahren in Abhängigkeit des Grundwerkstoffes und/oder der Beschichtung ist erforderlich, dass die Vorrichtungen nach einer Normierung für die jeweilige Messung kalibriert werden. Durch das Kalibrieren wird eine Differenz zwischen dem Sollwert und dem gemessenen Istwert festgestellt. Diese Differenz wird korrigiert, wodurch die Vorrichtung auf die Messaufgabe kalibriert ist.
- Die Kalibrierung erfolgt in der Weise, dass zunächst ein erster Wert mittels einer Messsonde der Messvorrichtung auf einem Grundwerkstoff ermittelt wird. Im Anschluss daran wird ein weiterer Wert auf einem Normal erfasst, welches auf der zuvor gemessenen Trägerplatte aufgebracht ist. Die Differenz ergibt die gemessene Schichtdicke. Durch das Normal steht der zu messende Sollwert fest. Nach mehreren Messungen wird die gemittelte Abweichung zwischen Soll- und Istwerten erfasst und kalibriert. Die bisher bekannten Kalibriernormale bestehen aus einer Trägerplatte des Grundwerkstoffes aus Stahl und Eisen für das magnetinduktive Schichtdickenmessverfahren und einem nicht ferromagnetischen Grundwerkstoff, zum Beispiel nicht magnetischer Stahl, Aluminium und deren Legierung, für die Schichtdickenmessung durch das Wirbelstromverfahren. Die Oberflächen der Trägerplatte sind bevorzugt poliert. Auf dieser Trägerplatte ist ein Normal, beispielsweise als Kunststofffolie aufgelegt oder aufgeklebt. Diese Kalibriernormalen sind insoweit problematisch, als dass bereits durch das Auflegen oder Aufkleben Aufwertungen entstehen können. Um diese Nachteile zu vermeiden, wurde durch die
DE 10 2005 028 652.6 - Der Erfindung liegt, ausgehend von diesem Kalibriernormal, die Aufgabe zugrunde, die Präzision der Kalibrierung zu erhöhen, um eine bessere Messgenauigkeit der kalibrierten Messvorrichtungen zu erzielen.
- Diese Aufgabe wird durch das erfindungsgemäße Kalibriernormal gemäß den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen sind in den weiteren Ansprüchen angegeben. Durch die zumindest in einem Freiheitsgrad beim Aufsetzen einer Messsonde der Vorrichtung zur Messung der dünnen Schichten in der Lage veränderbaren Normal wird ermöglicht, dass ein verkippungsfreies Aufsetzen der Messsonde beziehungsweise einer Aufsetzkalotte mit einem dieser zugeordneten Sensorelement der Messsonde gegeben ist. Durch dieses aus der Ruhelage veränderbare Normal während dem Erfassen von mehreren Istwerten zur Kalibrierung der Vorrichtung ist ermöglicht, dass die Messsonde immer in der gleichen Lage aufgesetzt wird, selbst dann, wenn die Messsonde vollständig von dem Kalibriernormal abgehoben und anschließend wieder aufgesetzt wird. Durch das in der Lage veränderbare Normal ist eine Art taumelnde Anordnung des Normales zum Grundkörper des Kalibriernormals gegeben, wodurch die verkippungsfreie Anordnung zur Messsonde ermöglicht ist und somit das Auftreten von Fehlern erheblich minimiert wird.
- Nach einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass das Normal um eine senkrecht zur Oberfläche des Normals stehende Achse verdrehgesichert von der Haltevorrichtung zum Grundkörper positioniert ist. Dadurch wird ermöglicht, dass beim Aufsetzen der Messsonde außerhalb einer Mittelachse des Normals eine definierte, insbesondere taumelnde Auslenkbewegung ohne Verdrehung gegeben ist. Die Ausrichtung des Normals zum Grundkörper bleibt erhalten, wodurch gleiche Messbedingungen für jede Messung und somit zur Erfassung der Istwerte ermöglicht sind. Durch die verdrehgesicherte Aufnahme kann eine zusätzliche Drehung des Normals zum Kippen oder Auslenken des Normals aus der Ruhelage verhindert werden, so dass eindeutige Bedingungen bei der Kalibrierung vorgesehen sind.
- Die Haltevorrichtung weist, gemäß einer bevorzugten Ausführungsform zumindest ein federnd nachgiebiges Halteelement auf, welches insbesondere in seiner Mittelachse eine Auflagefläche zur zentralen Aufnahme des Normals oder der Trägerplatte mit einem darauf aufgebrachten Normal aufweist. Durch dieses Halteelement kann unmittelbar beim Aufsetzen einer Messsonde auf das Normal eine zumindest geringfügige Auslenkung aus der Ruhelage erfolgen, damit eine verkippungsfreie Messung ermöglicht ist. Dadurch können insbesondere bei der Kalibrierung eines Handmessgerätes durch den Benutzer unterschiedlich aufgebrach te Kräfte ausgeglichen werden, um kleinste Beschädigungen der Oberfläche des Normals und/oder der Aufsetzkalotte zu vermeiden.
- Das Halteelement der Haltevorrichtung ist nach einer bevorzugten Ausführungsform als scheibenförmige Membran ausgebildet. Eine solche scheibenförmige Membran ist mit einer sehr dünnen Wandstärke ausgestaltet, so dass diese Membran federnd nachgiebig ausgebildet ist. Beispielsweise kann die Membran federhart aus einer Kupfer-Beryllium-Legierung, aus Nickel, Aluminium oder dergleichen ausgebildet sein. Die Membran kann bevorzugt radial zur Mittelachse angeordnete Erhöhungen oder Vertiefungen aufweisen, die die Durchbiegung als auch die Biegekraft beziehungsweise die Rückstellkraft bestimmen.
- Nach einer alternativen Ausführungsform der Haltevorrichtung ist vorgesehen, dass das Halteelement als Federscheibe mit kreissegmentförmigen Ausstanzungen ausgebildet ist. Eine solche Federscheibe weist dieselben Eigenschaften wie eine scheibenförmige Membran auf.
- Bevorzugt ist das Halteelement in einer Vertiefung am Grundkörper befestigt. Diese Vertiefung dient quasi als Freiraum für eine Auslenkbewegung des Halteelementes. Bevorzugt ist die Vertiefung mit einer umlaufenden Schulter ausgebildet, in welcher das Halteelement zur einfachen Ausrichtung und Positionierung aufliegt.
- Nach einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Haltevorrichtung zumindest ein Dämpfungs- oder Federelement umfasst, welches sich am Boden der Vertiefung abstützt und an einer Unterseite des Halteelementes angreift. Ein solches Dämpfungs- oder Federelement kann zusätzlich eine Widerstandskraft während dem Aufsetzen einer Messsonde auf das Normal aufbringen. Beim Einsatz eines solchen Dämpfungs- oder Federelementes kann das als scheibenförmige Membran oder Federscheibe ausgebildete Halteelement weich ausgebildet sein. Dies weist den Vorteil auf, dass ein sanftes Auslenken des Normals ermöglicht ist, wodurch die Messung der Istwerte erhöht und folglich die Kalibrierung exakter durchführbar ist.
- In einer bevorzugten Ausführungsform ist vorgesehen, dass die Trägerplatte in einer Aufnahme des Grundkörpers vorgesehen ist und die Oberfläche der Trägerplatte in einer Ruhelage in der Ebene der Oberfläche des Grundkörpers liegt. Dadurch bildet die Oberfläche des Grundkörpers eine Auflagefläche, auf welcher ein Hilfspol eines Handmessgerätes aufgesetzt werden kann, um zunächst eine erste Messung auf der Trägerplatte in gleicher Ebene vorzunehmen. In der Aufnahme des Grundkörpers ist bevorzugt auch die Vertiefung zur Anordnung des Halteelementes der Haltevorrichtung vorgesehen.
- Des Weiteren ist bevorzugt zwischen der Aufnahme des Grundkörpers und der Trägerplatte ein schmaler umlaufender Spalt ausgebildet. Durch den schmal umlaufenden Luftspalt wirkt die zumindest um einen Freiheitsgrad aus der Ruhelage veränderbare Oberfläche der Trägerplatte und somit auch die Messfläche des Normals zum benachbarten Grundkörper wie ein durchgehendes Material, so dass die radialen Kraftfeldlinien quasi durchgehend ausgebildet sein können, ohne dass eine Beeinträchtigung gegeben im Vergleich mit einer ununterbrochenen Oberfläche wäre.
- Bevorzugt ist das Kalibriernormal mit mehreren Normalen unterschiedlicher Schichtdicke ausgebildet, die auf den Trägerplatten aufgebracht sind. Dabei sind die Trägerplatten bevorzugt in einer Reihe nebeneinander durch einen schmalen Spalt getrennt angeordnet. Diese Spaltbreite ist bevorzugt auch zwischen der Trägerplatte und dem Grundkörper vorgesehen, so dass gleiche Verhältnisse bestehen. Dadurch kann ein Kalibriernormal für mehrere Schichtdicken mittels einem Grundkörper ausgebildet sein, wobei bei alle Schichtdicken die gleichen Verhältnisse gegeben sind.
- Bevorzugt ist ein Kalibriernormal mit mehreren normalen unterschiedlichen Schichtdicken derart aufgebaut, dass die Trägerplatte, welche das Normal mit der größten Dicke aufnimmt, in der Mitte des Grundkörpers angeordnet ist und die weiteren, jeweils ein Normal aufnehmenden Trägerplatten mit absteigender Dicke des Normals zunehmend entfernt zum Normal mit der größten Dicke angeordnet sind. Dadurch kann sicherge stellt werden, dass zur Erfassung der größten Dicke des Normals ein großes radiales Kraftfeld zur Verfügung steht, um eine exakte Erfassung des Istwertes zu ermöglichen.
- Das erfindungsgemäße Kalibriernormal kann als ein sogenanntes Präzisionsstandard ausgebildet sein, welches ein verkippungsfreies Aufsetzen der Messsonde eine Vorrichtung zur zerstörungsfreien Messung der Dicke dünner Schichten auf dem Normal ermöglicht, wodurch immer gleiche Bedingungen beim Aufsetzen einer Messsonde auf dem Normal gegeben sind.
- Die Erfindung sowie weitere vorteilhafte Ausführungsformen und Weiterbildungen derselben werden im Folgenden anhand der in den Zeichnungen dargestellten Beispiele näher beschrieben und erläutert. Die der Beschreibung und den Zeichnungen zu entnehmenden Merkmale können einzeln für sich oder zu mehreren in beliebiger Kombination erfindungsgemäß angewandt werden. Es zeigen:
-
1 eine schematische Draufsicht auf ein erfindungsgemäßes Kalibriernormal, -
2 eine schematische Schnittdarstellung entlang der Linie I-I in2 des erfindungsgemäßen Kalibriernormals. -
3 eine schematische Ansicht beim Kalibrieren eines Handmessgerätes zur Messung der Dicke dünner Schichten und -
4 eine vergrößerte Teilansicht der Schnittdarstellung in2 . - In
1 ist eine schematische Draufsicht auf ein erfindungsgemäßes Kalibriernormal11 dargestellt.2 zeigt eine schematische Schnittdarstellung entlang der Linie I-I in1 . Das Kalibriernormal11 umfasst einen Grundkörper12 , welcher eine Aufnahme14 für zumindest eine Trägerplatte16 aufweist, auf der ein Normal17 mit einer definierten Dicke aufgebracht ist. - Das Normal
17 weist eine Ober- und Unterseite auf, die planparallel poliert, insbesondere hochglanzpoliert, sind. Das Normal17 wird durch Aufreiben auf einer Messoberfläche18 der Trägerplatte16 , die gleichermaßen poliert ist wie das Normal17 , befestigt ist. Dadurch entsteht durch die Wirkung der Coulomb-Kräfte eine Kaltverschweißung zwischen dem Normal17 und der Trägerplatte16 . Zusätzlich kann im Übergangsbereich beziehungsweise Randbereich des Normals17 zur Messoberfläche18 der Trägerplatte16 eine Hohlkehle ausgebildet sein, um diesen Randbereich vor Korrosion zu schützen. Diese Hohlkehle hat somit nur eine abdichtende Wirkung. Das Normal17 kann in Schichtdicken von bis zu 1.000 μm bereitgestellt werden. Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung ist das Normal17 als Isolierschicht, insbesondere aus einem Halbleitermaterial, wie beispielsweise Silizium oder Germanium, hergestellt. - In der Aufnahme
14 des Grundkörpers12 sind Vertiefungen21 vorgesehen. Diesen Vertiefungen21 zugeordnet sind Haltevorrichtungen22 vorgesehen, welche jeweils die Trägerplatte16 tragen. Die Haltevorrichtung22 besteht aus einem federnd nachgiebigen Halteelement24 , welches sich über die Vertiefung21 erstreckt und an einer die Vertiefung21 begrenzenden Schulter26 aufliegt. Diese Schulter26 dient zur lagerichtigen Positionierung des Halteelementes24 . Beispielsweise ist das Halteelement24 als scheibenförmige Membran ausgebildet. Diese scheibenförmige Membran weist in ihrer Mittelachse eine Auflagefläche28 auf, welche zur Aufnahme eines Anschlussstückes29 vorgesehen ist, das die Trägerplatte16 trägt. Dem Anschlussstück29 gegenüberliegend auf der Unterseite des Halteelementes24 ist bevorzugt ein Dämpfungs- oder Federelement34 vorgesehen, welches sich am Boden32 der Vertiefung21 abstützt. Dieses Dämpfungs- oder Federelement34 kann als Spiralfeder, als gummielastisches Element oder dergleichen ausgebildet sein. Das als scheibenförmige Membran ausgebildete Halteelement24 weist zwischen einem Auflageabschnitt an der Schulter26 und einer Auflagefläche28 Erhöhungen und/oder Vertiefungen33 auf. In Abhängigkeit der Dicke der Membran, des Materials der Membran sowie den Ausgestal tungen der Erhöhungen oder Vertiefungen33 kann die Federkraft der Membran und auch der Federweg bestimmbar sein. Das Halteelement24 ist bevorzugt an der Schulter26 durch eine Verklebung oder Verlötung gehalten. - Die vorbeschriebene Anordnung eines Normals
17 auf der Trägerplatte16 , welche zum Grundkörper12 durch die Haltevorrichtung22 aufgenommen wird, kann ein Kalibriernormal11 bilden, welches somit aus nur einem Normal17 besteht. Alternativ können auch mehrere Normale17 nebeneinanderliegend angeordnet sein, wie dies aus dem Ausführungsbeispiel gemäß den1 und2 hervorgeht. Die Trägerplatte16 ist beispielsweise mit einer quadratischen Grundfläche ausgebildet. Dies weist den Vorteil auf, dass ein gleichmäßiger Spalt36 zwischen der Trägerplatte16 und dem Grundkörper12 als auch zwischen den zueinander benachbarten Trägerplatten16 ermöglicht ist. - Durch die erfindungsgemäße Anordnung des Normals
17 beziehungsweise der Trägerplatte16 mit dem darauf vorgesehenen Normal17 zum Grundkörper12 ist ermöglicht, dass das Normal17 verdrehsicher zum Grundkörper12 angeordnet ist, jedoch in seiner Längsmittelachse beziehungsweise entlang der Flächennormalen zum Normal17 nachgiebig bewegbar ist, sowie durch die scheibenförmige Membran in einer taumelnden Auslenkung verdrehgesichert zur Aufnahme14 gehalten ist. Dadurch wird gleichzeitig sichergestellt, dass beim Verkippen aus einer Ruhelage ein Verkanten mit einem benachbarten Wandabschnitt des Grundkörpers12 oder der Trägerplatte16 unterbunden bleibt. Gleichzeitig wird der Effekt erzielt, dass der Luftspalt36 keine Unterbrechung der radialen Kraftlinien eines Sensorelementes der Messsonde bewirkt, wodurch eine hohe Messgenauigkeit erzielt wird. - Benachbart zur Trägerplatte
16 ist eine Auflagefläche37 am Grundkörper12 ausgebildet, die bevorzugt in derselben Ebene zur Auflagefläche beziehungsweise Messfläche18 der Trägerplatte16 liegt. Eine solche Auflagefläche37 ist als Hilfspol ausgebildet, um darauf Handmessgeräte aufzusetzen und im Anschluss daran über eine Kippbewegung des Handmessgerätes eine Messsonde auf dem Normal17 aufzusetzen. - In
3 ist ein solches Anwendungsbeispiel dargestellt. Ein Handmessgerät41 wird mit einem Aufsetzfuß42 auf einer Auflagefläche37 aufgesetzt. Im Anschluss daran erfolgt eine Schwenkbewegung, wodurch eine Messsonde43 auf das Normal17 zubewegt wird. Im Ausführungsbeispiel ist eine Aufsetzkalotte44 der Messsonde43 außerhalb einer Mittelachse des Normals17 aufgesetzt. Dadurch wird eine Veränderung der Lage des Normals17 aus der Ruhelage bewirkt. Durch die taumelnde Aufnahme des Normals17 über die Haltevorrichtung22 zum Grundkörper12 ist ermöglicht, dass ein außermittiges Aufsetzen durch eine Auslenkbewegung des Normals17 ausgeglichen werden kann, so dass das Normal17 in einer verkippungsfreien Position zur Messsonde43 ausgerichtet ist. Dadurch kann der aufgrund der Verkippung entstehende Messfehler durch die taumelnde Anordnung des Normals17 eliminiert werden. Aufgrund der verdrehgesicherten Aufnahme des Normals17 über die Haltevorrichtung22 zum Grundkörper ist eine definierte Auslenkung des Normals17 sichergestellt. - In
4 ist eine vergrößerte Ansicht eines Kalibriernormals11 gemäß2 dargestellt. Die linke Darstellung zeigt die Trägerplatte16 in einer Ruhelage. Die rechte Darstellung zeigt die Trägerplatte16 in einer maximal ausgelenkten Lage, welche durch die Aufnahme14 beziehungsweise des Spaltes36 zwischen der Trägerplatte16 und der Aufnahme14 begrenzt ist. Alternativ kann auch die Haltevorrichtung22 für eine Begrenzung der Auslenkbewegung ausgebildet sein. - Solche Kalibriernormale
11 können ebenfalls für handgeführte Messsonden eingesetzt werden, die mit einer Vorrichtung zur zerstörungsfreien Messung der Dicke dünner Schichten über eine Signalleitung verbunden sind. Ebenso sind die Kalibriernormale11 für Messvorrichtungen vorgesehen, die beispielsweise auf einem Stativ auf und ab bewegbar gehalten sind. - Eine alternative Ausgestaltung eines in
1 dargestellten Kalibriernormals11 kann darin bestehen, dass eine der Trägerplatten16 ohne einem darauf aufgebrachten Normal17 in die Aufnahme14 des Grundkörpers12 eingesetzt wird. Diese Trägerplatte16 umfasst eine Mess oberfiäche18 , die als Referenzfläche dient und gleich zu den weiteren Messoberflächen18 der weiteren Trägerplatte16 ausgerichtet ist. Eine solche Trägerplatte16 ohne Normal17 ist bevorzugt im Randbereich der Aufnahme14 angeordnet. Die Trägerplatte16 ohne Normal17 entspricht bevorzugt der Größe der weiteren in der Aufnahme14 vorgesehenen Trägerplatten16 . Alternativ kann auch eine flächenmäßig kleinere Trägerplatte16 vorgesehen sein, die jedoch gleichermaßen wie die weiteren Trägerplatten16 taumelnd aufgenommen ist. - Alle vorgenannten Merkmale sind jeweils für sich erfindungswesentlich und können beliebig miteinander kombiniert werden.
Claims (13)
- Kalibriernormal, insbesondere zur Kalibrierung von Vorrichtungen zur zerstörungsfreien Messung der Dicke dünner Schichten, mit einer Trägerplatte (
16 ) aus einem Grundwerkstoff und einem auf der Trägerplatte (16 ) aufgebrachten Normal (17 ), welches die Dicke der Schicht aufweist, auf welche die Vorrichtung zu kalibrieren ist, dadurch gekennzeichnet, dass eine am Grundkörper (12 ) des Kalibriernormals (11 ) angeordnete Haltevorrichtung (22 ) wenigstens das Normal (17 ) zum Grundkörper (12 ) derart aufnimmt, dass beim Aufsetzen einer Messsonde der Vorrichtung zur zerstörungsfreien Messung dünner Schichten auf das Normal (17 ) seine Lage in zumindest einem Freiheitsgrad veränderbar ist. - Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Normal (
17 ) um eine senkrecht zur Oberfläche des Normals (17 ) stehende Achse verdrehgesichert von der Haltevorrichtung (22 ) aufgenommen ist. - Kalibriernormal nach Anspruch 1 oder 2 dadurch gekennzeichnet, dass die Haltevorrichtung (
22 ) zumindest ein federnd nachgiebiges Halteelement (24 ) aufweist, welches insbesondere in seiner Mittelachse eine Auflagefläche (28 ) zur zentralen Aufnahme des Normals (17 ) oder der Trägerplatte (16 ) mit dem darauf positionierten Normal(17 ) aufweist. - Kalibriernormal nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Haltevorrichtung (
22 ) ein Halteelement (24 ) aufweist, welches als scheibenförmige Membran ausgebildet ist. - Kalibriernormal nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Haltevorrichtung (
22 ) ein Halteelement (24 ) aufweist, welches als Federscheibe mit kreissegmentförmigen Ausstanzungen ausgebildet ist. - Kalibriernormal nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Haltevorrichtung (
22 ) zwischen dem Normal (17 ) und dem Grundkörper (12 ) angeordnet ist. - Kalibriernormal nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Halteelement (
24 ) der Haltevorrichtung (22 ) einer Vertiefung (21 ) im Grundkörper (12 ) zugeordnet ist. - Kalibriernormal nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Haltevorrichtung (
22 ) zumindest ein Dämpfungs- oder Federelement (31 ) umfasst, welches sich am Boden (32 ) der Vertiefung (31 ) abstützt und an einer Unterseite des Halteelementes (24 ) angreift. - Kalibriernormal nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Dämpfungs- oder Federelement (
31 ) in der Mittelachse des Halteelementes (24 ) angeordnet ist. - Kalibriernormal nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Trägerplatte (
16 ) in einer Aufnahme (14 ) des Grundkörpers (12 ) vorgesehen ist und die Oberfläche der Trägerplatte (16 ) in einer Ruhelage des Normals (17 ) in der Ebene der Oberfläche (37 ) des Grundkörpers (12 ) liegt. - Kalibriernormal nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der Aufnahme (
14 ) des Grundkörpers (12 ) und der Trägerplatte (16 ) ein schmaler umlaufender Spalt (36 ) ausgebildet ist. - Kalibriernormal nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Trägerplatten (
16 ) mit jeweils einem Normal (17 ) im Grundkörper (12 ) nebeneinander gereiht vorgesehen sind und zwischen den einander zugeordneten Trägerplatten (16 ) ein schmaler Spalt (36 ) gebildet ist. - Kalibriernormal nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass bei mehreren, von einem Grundkörper (
12 ) aufgenommenen Normalen (17 ) auf jeweils einer Trägerplatte (16 ) das Normal (17 ) mit der größten Dicke in der Mitte der Aufnahme (14 ) des Grundkörpers (12 ) und die weiteren Normale (17 ) mit absteigender Dicke zum Normal (17 ) mit der größten Dicke angeordnet sind.
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