DE19918064C2 - Schichtdickenmeßgerät mit automatisierter Nulleinstellung und/oder Kalibrierung - Google Patents

Schichtdickenmeßgerät mit automatisierter Nulleinstellung und/oder Kalibrierung

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DE19918064C2 DE19918064A DE19918064A DE19918064C2 DE 19918064 C2 DE19918064 C2 DE 19918064C2 DE 19918064 A DE19918064 A DE 19918064A DE 19918064 A DE19918064 A DE 19918064A DE 19918064 C2 DE19918064 C2 DE 19918064C2
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Description

Die Erfindung betrifft eine Handgerät-Schichtdickenmessvorrichtung mit mindestens einer Messsonde, die mindestens einen Messkopf aufweist, sowie mit einer Einrichtung zur Durch­ führung einer Nulleinstellung und/oder einer Kalibrierung.
Bei allen Geräten zum Messen von Beschichtungen, die bisher auf dem Markt angeboten werden, ist eine regelmäßige Überprüfung der Nulleinstellung und ggf. auch der Kalibrierung erforderlich. Hierfür gibt es mehrere Gründe. Entweder die Geräte wurden längere Zeit nicht benutzt, oder es musste ein Batteriewechsel vorgenommen werden, oder aber die Messbedin­ gungen weichen deutlich von den normalen Bedingungen ab, wegen starker Temperatur­ schwankungen in der Umgebung, Änderungen der Substratart oder -dicke, dem Gerät oder der Sonde selbst. Auch bei der Auswechselung von Messsonden ist in der Regel eine erneute Nulleinstellung bzw. Kalibrierung erforderlich. Hierzu müssen die Geräte oder Sonden vor Beginn der Messwertaufnahme auf Referenzplatten aufgesetzt und mittels Bedienknöpfen auf Null gesetzt oder der Kalibriervorgang gestartet werden. Diese Vorgehensweise ist z. B. im Patent DE 34 04 720 beschrieben.
In Patent US 5,293,132 ist ebenfalls eine Methode zur Nulleinstellung dargelegt, bei der der Anwender die Entscheidung fällen muss, auf welchem Basismaterial er messen will, um ge­ gebenenfalls eine manuelle Umschaltung für den Materialwechsel vorzunehmen. Bei einem Materialwechsel wird der Anwender durch die Vorrichtung aufgefordert, eine Nulleinstellung durchzuführen. Die hier beschriebene Vorrichtung zwingt den Anwender zu einer solchen Vorgehensweise, weil andernfalls eine Messung nicht möglich ist. Bei anderen bekannten Vorrichtungen besteht die Gefahr, dass bei unterlassener Justierung der Vorrichtung die Messergebnisse verfälscht sind. In keinem Fall sind Referenzplatten integraler Bestandteil der Vorrichtungen, so dass der Vorrichtung über Bedienelemente mitgeteilt werden muss, welche Art von Referenzplatte bei der manuellen Justierung zum Einsatz kommt. Dadurch kann es auch zu Verwechslungen kommen.
Ein weiterer Nachteil der bisherigen Geräte besteht darin, dass die Nulleinstellung und Justie­ rung von der Art ihrer Durchführung abhängt. Das Aufsetzen der Messköpfe an unterschiedli­ chen Stellen oder unruhiges Aufsetzen hat unter Umständen deutlich unterschiedliche Ergeb­ nisse zur Folge. Dies führt nicht nur zu Ungenauigkeiten, sondern auch zu mangelnder Ver­ gleichbarkeit von Messergebnissen zwischen Schichtdickenmessgeräten, die ansonsten ver­ gleichbare Eigenschaften haben.
Weiterhin sind Schichtdickenmessvorrichtungen mit separaten Sonden bekannt, die entweder über Kabel mit der Vorrichtung verbunden sind oder bei denen die Daten über Funk an das Messgerät übertragen werden. Die Sonden sind zwar so konzipiert, dass bei Ihrer Anwendung die Messungen beim Aufsetzen auf die Prüffläche gestartet werden. Für die Nulleinstellung bzw. Kalibrierung sind an den Geräten aber nach wie vor Bedienungselemente erforderlich. Die Einstellung bzw. Kalibrierung auf Referenzplatten muss vom Anwender individuell ge­ startet und ausgeführt werden.
Die DE 40 11 717 C2 betrifft ein Verfahren zum Kalibrieren einer Dickenmesseinrichtung.
In der DE 33 24 701 A1 ist eine Vorrichtung zur Messung von Schichtdicken an ausgewähl­ ten Bereichen eines beweglichen bandartigen Materials offenbart.
Die DE 39 19 131 A1 betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur berührungslosen Mes­ sung der Schichtdicke eines nichtleitenden Materials sowie die Verwendung der Vorrichtung zur Messung kunststoffbeschichteter Metallteile.
In der DE 42 27 735 C2 ist eine Anordnung zum berührungslosen Messen der Dicke von Schichten gezeigt.
Die DE 25 58 897 C3 betrifft eine Testplatte zum Kalibrieren von Messgeräten für nichtmag­ netische Schichten auf ferromagnetischer Unterlage, insbesondere auf Stahl, und von elekt­ risch isolierenden Schichten auf elektrisch leitender Unterlage.
Der Erfindung lag die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur Messung von Beschichtungen vorzuschlagen, die die gängigen Schwierigkeiten und Fehlerquellen vermeidet, die sich durch die bei den bekannten Messgeräten erforderlichen Nulleinstellungen und Kalibrierungen er­ geben.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass die Schichtdickenmessvorrichtung mit Einrichtungen versehen wird, die bei einer Wechselwirkung, insbesondere einem Kontakt oder einer Relativbewegung zwischen einem Messkopf und einer Referenzplatte die jeweilige Nulleinstellung oder Kalibrierung automatisch aktivieren. Der Vorteil dieser Vorrichtung be­ steht insbesondere darin, dass der Anwender in jedem Fall bei der Inbetriebnahme der Vor­ richtung eine korrekte und immer unter denselben Bedingungen ablaufende Justierung der Messsonde(n) erhält. Ihre Justierung ist damit auch frei von individuellen Einflüssen.
Bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung werden durch die Unteransprüche definiert.
Beispielsweise wird gemäß einer bevorzugten Ausführungsform eine Vorrichtung mit einer herausnehmbaren Sondeneinheit vorgeschlagen, in der bei dem Herausnehmen die Nullein­ stellung automatisch durchgeführt wird, so dass danach direkt mit dem Messen begonnen werden kann.
Ferner kann die erfindungsgemäße Schichtdickenmessvorrichtung über integrierte Referenz­ platten verfügen, und sie erkennt vorteilhafterweise beim Aufsetzen der Messsonde, auf wel­ cher dieser Referenzplatten eine Nulleinstellung bzw. eine Kalibrierung erfolgen soll. Sie führt diese automatisch durch, ohne dass der Anwender Bedienelemente betätigen muss.
Die Erfindung wird im weiteren anhand bevorzugter Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen
Fig. 1 eine Prinzipdarstellung einer erfindungsgemäßen Schichtdickenmessvorrichtung;
Fig. 2 eine bevorzugte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Schichtdickenmess­ vorrichtung mit einer Halterung für einen Messkopf;
Fig. 3 eine Schemadarstellung einer Sondeneinheit für eine erfindungsgemäße Schicht­ dickenmessvorrichtung mit einem Mikroprozessor; und
Fig. 4 eine Schemadarstellung für eine erfindungsgemäße Schichtdickenmessvorrich­ tung mit Mikroprozessor für das Zusammenwirken mit der Sondeneinheit.
In Fig. 1 ist eine Prinzipdarstellung einer erfindungsgemäßen Schichtdickenmessvorrichtung gezeigt. Die Vorrichtung ist mit einer oder mehreren Referenzplatten 11, 11' verbunden, an denen jeweils ein Schalter bzw. Sensor 12 angeschlossen ist, der das Aufsetzen einer Mess­ sonde erfasst. Auf den unbeschichteten Referenzplatten werden die Messsonden auf Null ge­ setzt, auf den Platten mit einer Beschichtung bekannter Dicke werden sie kalibriert. Je nach­ dem, ob es sich um eine Null-Referenzplatte oder eine Platte für die Kalibrierung handelt, wird ein Signal an die Schichtdickenmessvorrichtung geleitet, worauf der Nulleinstellungs- bzw. Kalibriervorgang automatisch gestartet wird. Danach ist die Messsonde justiert, und es kann mit den eigentlichen Messungen begonnen werden. Vorzugsweise werden diese Refe­ renzplatten in der Vorrichtung integriert. In einer denkbaren Ausführung sind die Platten 11 direkt an der Außenseite des Gehäuses 13 so angebracht, dass sie senkrecht zur Gehäuseflä­ che 13 federnd gelagert und die Auslöseschalter oder -sensoren 12 an der Innenseite der Plat­ ten 11 angebracht sind. Beim Aufsetzen der Messsonden 14 werden die Platten nach innen gedrückt und lösen dabei über den Schalter bzw. in den Sensoren ein Signal aus, das an die Steuerung (z. B. Mikroprozessor) geleitet wird. Dort wird daraufhin der Nulleinstellungs- bzw. Kalibriervorgang gestartet. Alternativ ist eine Lösung denkbar, bei der das von den Messköp­ fen ausgehende Signal (z. B. ein elektromagnetisches Feld oder akustisches Signal) von dem Sensor 12, der mit der Referenzplatte 11 verbunden ist, detektiert wird, so dass die Platten fest montiert sein können.
In Fig. 2 ist eine bevorzugte Ausführung dargestellt. Die Schichtdickenmessvorrichtung wird mit einer Halterung für eine oder mehrere Messsonden ausgestattet, in der auch die Referenz­ platten 11, 11' integriert sind. Besonders vorteilhaft ist es, zwei Messköpfe 15, 15' in einem separaten Gehäuse an zwei gegenüberliegenden Enden anzuordnen, wobei die Breite dieses Gehäuses kleiner als die Breite des Vorrichtungsgehäuses ist. Dadurch kann die Halterung so gestaltet werden, dass das Gehäuse mit den Messköpfen direkt in das Gehäuse der Vorrich­ tung eingesteckt und verriegelt werden kann. Das Einführen der Messsonde wird durch die Einlaufschrägen 16 erleichtert. Die beiden Messköpfe 15, 15' der Messsonde liegen auf den ihnen jeweils zugeordneten Referenzplatten 11, 11' auf. Beim Herausnehmen der Messsonde wird diese aktiviert und anschließend über einen Schalter oder speziellen Sensor automatisch der Nullungs- oder Kalibriervorgang für beide Messköpfe gestartet, solange diese noch auf den Referenzplatten aufliegen. Die Aktivierung kann dadurch erfolgen, dass durch die Entrie­ gelung der Messsonde die Referenzplatten gegen die Messköpfe 15, 15' bewegt werden, so dass die Köpfe in das Gehäuse eingeschoben werden und dabei einen Schalter im Gehäuse der Messsonde auslösen. Eine alternative Lösung besteht darin, dass durch Hineindrücken des Messsondengehäuses in die Halterung der Schichtdickenmessvorrichtung ein Stift 18, der an der Halterung angebracht ist und in eine entsprechende Öffnung des Meßsondengehäuses ragt, einen Schalter 16 in der Meßsonde auslöst. Auch das Schließen eines elektrischen Kon­ taktes beim Entriegeln direkt zwischen Halterung und Meßsondengehäuse ist denkbar.
Selbstverständlich ist eine solche Schichtdickenmeßvorrichtung auch für eine Meßsonde mit nur einem Meßkopf denkbar. In diesem Fall wird nur eine Referenzplatte 11 in der Halterung der Schichtdickenmeßvorrichtung 10 benötigt. Wenn die Meßsonde mit einem Meßkopf aus­ gestattet ist, in dem zwei Meßverfahren zusammen untergebracht sind, so sind wiederum zwei Referenzplatten 11, 11' notwendig, die in der bereits in der in Fig. 2 gezeigten Weise angeord­ net werden. Wenn aber nur ein Meßkopf 15 vorhanden ist, wird vorteilhaft die Meßsonde so in die Halterung eingesteckt, daß der Kopf an der Referenzplatte 11 oder 11' anliegt, die dem Meßverfahren zugeordnet ist, mit dem nach dem Herausnehmen der Meßsonde gemessen werden soll. In diesem Fall wird beim Entriegeln von der Steuerung der Meßsonde durch Starten einer Probemessung geprüft, welche Referenzplatte 11 oder 11' an dem Meßkopf an­ liegt. Anschließend wird die Nulleinstellung oder der Kalibriervorgang für das Meßverfahren ausgelöst, das der Referenzplatte zugeordnet ist. Nach dem Herausnehmen wird dann mit die­ sem Verfahren gemessen. Soll das Meßverfahren gewechselt werden, weil z. B. auf einem anderen Untergrund gemessen werden soll, so wird die Meßsonde kurzzeitig so in die Halte­ rung gesteckt, daß der Meßkopf an der Referenzplatte anliegt, die dem Meßverfahren für den anderen Untergrund zugeordnet ist. Bei dem erneuten Entriegeln werden die entsprechenden Vorgänge für das andere Meßverfahren gestartet. Neben der in Fig. 2 gezeigten Anordnung sind auch andere Lösungen für die Meßsonde mit nur einem Meßkopf denkbar. So könnte die Referenzplatte auch horizontal in der Halterung eingebaut sein, so daß die Meßsonde mit dem Meßkopf voraus in die Halterung eingeschoben wird. Im Falle eines Meßkopfes für zwei Meßverfahren würde dieser seitlich versetzt von der Mittelachse des Meßsondengehäuses angeordnet. Entsprechend würden die Referenzplatten links und rechts versetzt von der Mit­ telachse des Gehäuses der Vorrichtung angeordnet. Für die Wahl eines bestimmten Meßver­ fahrens würde die Meßsonde so in die Halterung eingeschoben, daß der Meßkopf über der jeweils zugehörigen Referenzplatte positioniert ist.
Für eine kombinierte Vorrichtung zur Messung auf Stahl und Nichteisenmetallen ist auch eine einzige Referenzplatte denkbar, bei der auf dem Stahlblech eine dünne Schicht eines Nichtei­ senmetalls von etwa 20-50 µm aufgebracht ist. Die dünne Nichteisenmetallschicht ist ausrei­ chend, weil zur Messung auf Nichteisenmetallen hochfrequente Wechselfelder (üblicherweise < 10 MHz) benutzt werden, die aufgrund des Skineffektes nur eine Eindringtiefe von etwa 20 µm haben. Bei der Nulleinstellung oder Kalibrierung des Meßkopfes für die Messung auf Stahl wird die bekannte Dicke der Schicht aus Nichteisenmetall berücksichtigt.
Die Ausführung der Schichtdickenmeßvorrichtung gemäß der vorhergehenden Beschreibung ermöglicht auch den Einsatz von Meßsonden mit speziellen Bauformen, wobei für die Auslö­ sung der Nulleinstellung oder der Kalibrierung ein Adapter mit der Meßsonde verbunden ist, der anstelle der Meßsonde in die Halterung eingesetzt werden kann und mit den oben be­ schriebenen Verriegelungs- und Auslösemechanismen ausgerüstet ist. Vorteilhaft hat der Ad­ apter die gleiche Geometrie wie eine direkt in die Halterung einsetzbare Einfach- oder Mehr­ fachmeßsonde. Beispielsweise läßt sich so eine Meßsonde realisieren, deren Meßkopf an ei­ ner (u. U. teleskopartig ausfahrbaren) Stange befestigt ist. Die Stange wiederum ist mit dem Adapter fest oder über ein Kabel verbunden. Beim Entriegeln des Adapters wird die auf einer externen Referenzplatte aufgesetzte Meßsonde wieder automatisch genullt. Mit solch einer Vorrichtung lassen sich Beschichtungen z. B. an schwer zugänglichen Stellen oder in Rohren messen. Es lassen sich aber auch andere Meßsonden realisieren, so daß mit einer Schichtdc­ kenmeßvorrichtung verschiedene Meßsonden betrieben werden können.
In der bevorzugten Ausführungsform ist gemäß Fig. 3 in der Meßsonde außer der Elektronik für die Erfassung der Sondensignale 21 ein Mikroprozessor 23 integriert. Damit können die Signale unmittelbar nach ihrer Erfassung bereits in der Meßsonde digitalisiert werden, bevor sie an die Schichtdickenmeßvorrichtung weitergegeben werden. Dies ist bei längeren Über­ tragungswegen von Vorteil, weil digitalisierte Daten weniger störanfällig sind als analoge. Des weiteren können Temperaturunterschiede zwischen Meßsonde und Schichtdickenmeß­ vorrichtung nicht mehr zu Fehlern führen, weil die Temperaturkorrektur des Meßsignals be­ reits in der Meßsonde erfolgt und die digitalisierten Daten, die von der Schichtdickenmeßvor­ richtung empfangen werden, nur noch von dem Mikroprozessor in der Vorrichtung in einen Schichtdickenwert umgerechnet werden müssen.
Messungen, die mit der oder den Meßsonden aufgenommen werden, können auf verschiedene Arten zu der Schichtdickenmeßvorrichtung übertragen werden. Die einfachste Übertragung erfolgt über ein Kabel. In diesem Fall kann die Stromversorgung der Meßsonde ebenfalls über das Kabel erfolgen. Alternativ kann die Übertragung auf optischem Wege erfolgen. In der bevorzugten Ausführung werden die Daten per Funk übertragen. Hierbei sind grundsätzlich mehrere Übertragungslösungen denkbar. In der einfachsten Form ist die Meßsonde 14 nur mit einem Sender 24 ausgestattet, der nach erfolgter Messung das Ergebnis an die Schichtdic­ kenmeßvorrichtung überträgt. Das Gerät selbst ist, wie in Fig. 4 gezeigt, mit einem Empfänger 35 ausgestattet. Für die Datensicherheit wird der Meßwert vorteilhaft mindestens dreimal hintereinander gesendet. Dadurch kann eine fehlerhafte Übertragung erkannt und eliminiert werden.
Zusätzlich besteht die Möglichkeit, die korrekte Datenübertragung durch optische und/oder akustische Signale von der Schichtdickenmeßvorrichtung anzeigen zu lassen. Eine andere Möglichkeit stellt eine bidirektionale Übertragungsstrecke dar. Hierfür müssen in Meßsonde 14 und Schichtdickenmeßvorrichtung 10 sowohl Sender 24, 34 als auch Empfänger 25, 35 vor­ handen sein. Dadurch besteht die Möglichkeit, durch den Mikroprozessor 31 der Schichtdic­ kenmeßvorrichtung 10 eine Rückmeldung an die Meßsonde 14 zu senden, so daß diese er­ kennt, ob das Meßergebnis auch richtig empfangen wurde. Ist das nicht der Fall, startet der Mikroprozessor 21 der Meßsonde eine Wiederholung des Meßvorgangs. Auch hier kann eine optische und/oder akustische Meldung die korrekte oder inkorrekte Datenübertragung anzei­ gen. Über eine bidirektionale Übertragungsstrecke können aber auch sondenspezifische Daten an die Meßsonde übertragen werden (z. B. Seriennummer, Sondenparameter), die u. a. bei der Kalibrierung der Meßsonden ermittelt werden. In diesem Fall kann der in Fig. 2 gezeigte Schalter 17 und der Stift 18 entfallen, denn von der Schichtdickenmeßvorrichtung können einzelne Befehle (z. B. für die Nulleinstellung) an die Meßsonde übertragen werden.
Mit dem eigentlichen Meßsignal wird auch eine Kennung übertragen, anhand der die Schicht­ dickenmeßvorrichtung erkennt, welcher Meßkopf bzw. welches Meßverfahren benutzt wurde. Dadurch kann das Meßergebnis eindeutig identifiziert, angezeigt und/oder an ein weiterverar­ beitendes Gerät (z. B. Drucker, Computer) übertragen werden.
Bei einer drahtlosen Datenübertragung erfolgt die Spannungsversorgung der Meßsonde über eine Batterie 26. In einer bevorzugten Ausführung ist die Meßsonde mit einem Akkumulator 26 ausgestattet. Solange die Meßsonde in der Halterung der Schichtdickenmeßvorrichtung eingesteckt ist, wird der Akkumulator 2 über die Ladeelektronik 32 der Vorrichtung geladen. Dies kann über elektrische Kontakte zwischen der Meßsonde und der Vorrichtung oder auf induktivem Wege erfolgen. Vorteilhaft wird der Ladezustand der Batterie bzw. des Akkumu­ lators durch eine Batterieladezustandsüberwachung 27 kontrolliert, die vom Mikroprozessor 23 regelmäßig abgefragt wird. Wird ein vordefiniertes Ladeniveau unterschritten, erfolgt zu­ sammen mit der Meßdatenübertragung eine Warnmeldung, die vorteilhaft in der Anzeige 37 der Schichtdickenmeßvorrichtung erscheint.
Neben der Anzeige im Gehäuse kann die Schichtdickenmeßvorrichtung auch mit einer Schnittstelle 38 ausgestattet werden, mit der die Vorrichtung zum Beispiel an einen Computer oder Drucker angeschlossen werden kann. Über diese Schnittstelle können die Meßdaten di­ rekt zur Speicherung und/oder Weiterverarbeitung in den Computer oder Drucker geladen werden. Ebenso können Daten und Befehle in die Vorrichtung geladen werden. Vorteilhaft . wird diese Schnittstelle als Infrarot-Schnittstelle ausgeführt. Die Schichtdickenmeßvorrichtung kann des weiteren mit einem Speicher 39 ausgerüstet sein, in dem die Meßwerte, die von der Meßsonde aufgenommen und an die Vorrichtung übertragen wurden, gespeichert werden können.
Zur Erleichterung der Handhabung kann die Vorrichtung auf der Rückseite mit einem Bügel 19 ausgestattet sein, der in mehreren Positionen einrasten kann. In eingeklapptem Zustand rastet der Bügel am Gehäuse hinter Führungsleisten 20 ein, so daß er als Befestigungs-Clip dient, um die Schichtdickenmeßvorrichtung zum Beispiel an einem Kleidungsstück anhängen bzw. anklemmen zu können. Durch leichtes Zusammendrücken der Schenkel kann der Bügel 19 ausgeklappt werden. Der Winkel des Ausklappens kann durch eine oder mehrere Rast­ stellungen variiert werden, um die Vorrichtung in einem geeigneten Anstellwinkel auf einer Ablagefläche abstellen zu können. Dadurch wird eine einfache einhändige Bedienung der Schichtdickenmeßvorrichtung ermöglicht, bei der sich der Anwender ganz auf die Handha­ bung der Meßsonde konzentrieren kann.

Claims (22)

1. Handgerät-Schichtdickenmessvorrichtung (10) mit mindestens einer Messsonde (14), die mindestens einen Messkopf (15, 15') aufweist, sowie mit einer Einrichtung zur Durchführung einer Nulleinstellung und/oder einer Kalibrierung unter Verwendung mindestens einer Referenzplatte (11, 11'), gekennzeichnet durch einen Schalter (12) oder einen Sensor (12), der bei einem Kontakt oder einer Relativbewegung zwischen dem mindestens einen Messkopf (15, 15') und der mindestens einen an einem Gehäuse angeordneten oder in einer Halterung integrierten Referenzplatte (11, 11') die jeweilige Nulleinstellung oder Kalibrierung automatisch aktiviert.
2. Handgerät-Schichtdickenmessvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine oder mehrere Referenzplatte(n) (11, 11') mit bekannter Beschichtungsdicke zur Kalibrierung der Schichtdickenmessvorrichtung vorgesehen ist/sind.
3. Handgerät-Schichtdickenmessvorrichtung Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Sensor oder Schalter (12) vorgesehen ist, um den Nulleinstel­ lungs- und/oder Kalibrierungsvorgang automatisch auszulösen.
4. Handgerät-Schichtdickenmessvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass jede Referenzplatte (11, 11') ihren eigenen Sensor oder Schalter (12) hat.
5. Handgerät-Schichtdickenmessvorrichtung nach einem der vorgehenden Anspruche, dadurch gekennzeichnet, dass die Messsonde(n) (14) in eine Halterung der Vorrichtung eingesetzt werden kann/können.
6. Handgerät-Schichtdickenmessvorrichtung nach Anspruch 5. dadurch gekennzeichnet, dass die Referenzplatten (11, 11') in der Halterung integriert sind.
7. Handgerät-Schichtdickenmessvorrichtung nach einem der vorgehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Einrichtungen vorgesehen sind, welche die Nulleinstel­ lung/Kalibrierung beim Herausnehmen der Messsonde(n) automatisch aktivieren
8. Handgerät-Schichtdickenmessvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass bei einer Einfachsonde eine Referenzplatte unter dem Messpol und bei Mehrzwecksonden unter jedem Messpol die jeweils zugeordnete Referenzplatte in der Halterung angeordnet ist.
9. Handgerät-Schichtdickenmessvorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass eine kombinierte Referenzplatte in der Halterung angeordnet ist, bei der auf der Stahlplatte eine dünne Nichteisenmetallschicht aufgebracht ist, deren be­ kannte Dicke bei der Einstellung der Messsonde für Messungen auf Stahl oder Eisen be­ rücksichtigt wird.
10. Handgerät-Schichtdickenmessvorrichtung nach einem der vorgehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Einrichtung vorgesehen ist, welche die Signale direkt in einer Einfach- oder Mehrzweckmesssonde digitalisiert.
11. Handgerät-Schichtdickenmessvorrichtung nach einem der vorgehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Einfach- oder Mehrzweckmesssonden über ein Kabel an die Vorrichtung angeschlossen werden können.
12. Handgerät-Schichtdickenmessvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Signal- und/oder Datenübertragung zwischen Sonde und Vor­ richtung per Funk oder induktiv erfolgt.
13. Handgerät-Schichtdickenmessvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Signal- und/oder Datenübertragung zwischen Sonde und Vor­ richtung auf optischem Wege erfolgt.
14. Handgerät-Schichtdickenmessvorrichtung nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Signal- und/oder Datenübertragung über einen Sender in der Einfach- oder Mehrzweckmesssonde und einen Empfänger in der Schichtdickenmessvorrichtung erfolgt.
15. Handgerät-Schichtdickenmessvorrichtung nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Signal- und/oder Datenübertragung über eine bidirektionale Übertra­ gungsstrecke zwischen Einfach- oder Mehrzweckmesssonde und Schichtdickenmess­ vorrichtung erfolgt.
16. Handgerät-Schichtdickenmessvorrichtung nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Sonde(n) (14) mit einer eigenen Stromversorgung ausgestattet ist (sind).
17. Handgerät-Schichtdickenmessvorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Sonden mit Akkumulatoren ausgerüstet sind, die aufgeladen werden, solange sich die Sonden in der Halterung der Vorrichtung (10) befinden.
18. Handgerät-Schichtdickenmessvorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass bei Unterschreitung eines bestimmten Batterieladezustands eine Warnmeldung zusammen mit den Messdaten von der Messsonde zur Schichtdicken­ messvorrichtung übertragen und an der Schichtdickenmessvorrichtung angezeigt wird.
19. Handgerät-Schichtdickenmessvorrichtung nach einem der vorgehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung (10) erkennt, welche Sonde betätigt wird, dementsprechend das Signal auswertet und das Ergebnis mit einer dem Verfahren ent­ sprechenden Kennung versieht.
20. Handgerät-Schichtdickenmessvorrichtung nach einem der vorgehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung (10) mit einer Schnittstelle ausgestattet ist, über die die von der Messsonde aufgenommenen und an die Schichtdickenmessvor­ richtung übertragenen Messdaten an einen Computer oder Drucker weitergeleitet wer­ den können.
21. Handgerät-Schichtdickenmessvorrichtung nach einem der vorgehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung mit einem Speicher ausgestattet ist, in dem die von der Messsonde aufgenommenen und an die Vorrichtung übertragenen Messdaten gespeichert werden können.
22. Handgerät-Schichtdickenmessvorrichtung nach einem der vorgehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass an der Rückseite des Gehäuses ein Bügel angebracht ist, der in eingeklapptem Zustand als Aufhänger und im ausgeklapptem Zustand als Ständer für die Vorrichtung benutzt werden kann.
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Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10252541B4 (de) * 2002-11-08 2016-08-11 Immobiliengesellschaft Helmut Fischer Gmbh & Co. Kg Vorrichtung zur zerstörungsfreien Messung der Dicke dünner Schichten
US7109728B2 (en) * 2003-02-25 2006-09-19 Agilent Technologies, Inc. Probe based information storage for probes used for opens detection in in-circuit testing
US6995574B2 (en) * 2003-12-18 2006-02-07 The Boeing Company Measurement of a coating on a composite using capacitance
DE202004008995U1 (de) * 2004-06-07 2005-10-13 Immobiliengesellschaft Helmut Fischer Gmbh & Co. Kg Kalibriervorrichtung zur Anpassung einer Messeinrichtung zur Messung der Dicke von Schichten auf einem Messgegenstand
GB0413746D0 (en) * 2004-06-19 2004-07-21 Atomic Energy Authority Uk Wireless probe
GB2427472B (en) * 2005-06-20 2010-04-21 Immobilienges Helmut Fischer Calibration standard
DE102005054589B4 (de) * 2005-11-14 2017-11-02 Immobiliengesellschaft Helmut Fischer Gmbh & Co. Kg Kalibriernormal
US8874408B2 (en) * 2011-02-10 2014-10-28 John Gardner Pfanstiehl Low cost method for creating product condition reports from field inspections
CN103575202A (zh) * 2012-08-06 2014-02-12 富泰华工业(深圳)有限公司 具有测量涂覆层厚度功能的电子装置及测试系统
US9927233B2 (en) 2013-01-10 2018-03-27 Elcometer Limited Coating thickness measuring instrument and methods
USD1002408S1 (en) * 2022-01-14 2023-10-24 Li-Chuan Chen Coating thickness gauge

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2558897C3 (de) * 1975-12-27 1979-02-15 Elektro-Physik Hans Nix & Dr.-Ing. E. Steingroever Kg, 5000 Koeln Testplatte zum Kalibrieren von Schichtdicken-Meßgeräten
DE3324701A1 (de) * 1982-08-09 1984-02-09 Twin City International, Inc., 14150 Amherst, N.Y. Vorrichtung zur messung von schichtdicken an ausgewaehlten bereichen eines beweglichen bandartigen materials
DE3404720C2 (de) * 1984-02-10 1988-10-27 Karl Deutsch Pruef- Und Messgeraetebau Gmbh + Co Kg, 5600 Wuppertal, De
DE3919131A1 (de) * 1989-06-12 1990-12-13 Tzn Forschung & Entwicklung Vorrichtung und verfahren zur beruehrungslosen messung der schichtdicke eines nichtleitenden materials sowie verwendung der vorrichtung zur messung kunststoffbeschichteter metallteile
DE4011717C2 (de) * 1990-04-11 1992-11-05 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co Kg, 8359 Ortenburg, De
US5293132A (en) * 1990-06-05 1994-03-08 Defelsko Corporation Coating thickness measurement gauge
DE4227735C2 (de) * 1992-08-21 1995-10-12 Leybold Ag Anordnung zum berührungslosen Messen der Dicke von Schichten

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4255709A (en) * 1978-09-22 1981-03-10 Zatsepin Nikolai N Device for providing an electrical signal proportional to the thickness of a measured coating with an automatic range switch and sensitivity control
US5094009A (en) * 1990-10-17 1992-03-10 Defelsko Corporation Gauge for measuring the thickness of a coating on a substrate
US5831430A (en) * 1995-12-28 1998-11-03 Pfanstiehl; John Multiple remote probe electronic thickness gauge with probe holder
US6243661B1 (en) * 1998-02-12 2001-06-05 Elcometer Instruments Ltd. Coating thickness gauge

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2558897C3 (de) * 1975-12-27 1979-02-15 Elektro-Physik Hans Nix & Dr.-Ing. E. Steingroever Kg, 5000 Koeln Testplatte zum Kalibrieren von Schichtdicken-Meßgeräten
DE3324701A1 (de) * 1982-08-09 1984-02-09 Twin City International, Inc., 14150 Amherst, N.Y. Vorrichtung zur messung von schichtdicken an ausgewaehlten bereichen eines beweglichen bandartigen materials
DE3404720C2 (de) * 1984-02-10 1988-10-27 Karl Deutsch Pruef- Und Messgeraetebau Gmbh + Co Kg, 5600 Wuppertal, De
DE3919131A1 (de) * 1989-06-12 1990-12-13 Tzn Forschung & Entwicklung Vorrichtung und verfahren zur beruehrungslosen messung der schichtdicke eines nichtleitenden materials sowie verwendung der vorrichtung zur messung kunststoffbeschichteter metallteile
DE4011717C2 (de) * 1990-04-11 1992-11-05 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co Kg, 8359 Ortenburg, De
US5293132A (en) * 1990-06-05 1994-03-08 Defelsko Corporation Coating thickness measurement gauge
DE4227735C2 (de) * 1992-08-21 1995-10-12 Leybold Ag Anordnung zum berührungslosen Messen der Dicke von Schichten

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Publication number Publication date
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