DE102005004463A1

DE102005004463A1 - Polierkopf zum Bearbeiten einer Oberfläche einer optischen Linse

Info

Publication number: DE102005004463A1
Application number: DE102005004463A
Authority: DE
Inventors: Christoph KÜBLER; Klaus Friedrich Dr. Beckstette; Hexin Dr. Wang; Edwin Schüttler
Original assignee: Carl Zeiss AG
Current assignee: Carl Zeiss AG
Priority date: 2005-01-31
Filing date: 2005-01-31
Publication date: 2006-08-10
Also published as: GB0601690D0; GB2422565B; GB2422565A

Abstract

Ein Polierkopf (10) dient zum Bearbeiten einer ersten Oberfläche (14) einer optischen Linse (16). Der Polierkopf (10) weist ein um eine erste Achse (18) rotierendes Polierwerkzeug (12) auf, das mit einer zweiten Oberfläche (20) in einem näherungsweise punktförmigen und außerhalb der ersten Achse (18) liegenden Bereich (22) an der ersten Oberfläche (14) anliegt. Das Polierwerkzeug (12) rotiert ferner um eine zur ersten Achse (18) um einen Winkel (alpha) geneigte zweite Achse (64), die den Bereich (22) sowie die erste Achse (18) schneidet. Das Polierwerkzeug (12) bildet zusammen mit einem Antriebsmotor (44) für die Rotation des Polierwerkzeugs (12) um die erste Achse (18) eine gemeinsame erste Antriebseinheit (42). Die erste Antriebseinheit (42) ist um eine erste Schwenkachse (58; 58*) schwenkbar mit einem Träger (60) verbunden. Der Träger (60) ist mit einer zweiten Antriebseinheit (66) für die Rotation des Trägers (60) um die zweite Achse (64) verbunden. Zwischen dem Träger (60) und der ersten Antriebseinheit (42) ist ferner ein Kraftglied zum Verschwenken der ersten Antriebseinheit (42) um die erste Schwenkachse (58; 58*) vorgesehen (einzige Figur).

Description

Die Erfindung betrifft einen Polierkopf zum Bearbeiten einer ersten Oberfläche einer optischen Linse, mit einem um eine erste Achse rotierenden Polierwerkzeug, das mit einer zweiten Oberfläche in einem näherungsweise punktförmigen und außerhalb der ersten Achse liegenden Bereich an der ersten Oberfläche anliegt, wobei das Polierwerkzeug ferner um eine zur ersten Achse um einen Winkel geneigte zweite Achse rotiert, die den Bereich sowie die erste Achse schneidet.

Ein Polierkopf der vorstehend genannten Art ist aus dem Aufsatz „Pressure-Based Grinding and Polishing of Free-Form Lenses with Spherical Tools" von Zhang, Y. et al. in Key Engineering Materials, Vols. 257-258 (2004), Advances in Abrasive Technology VI, Seiten 401-406 (www.scientific.net) bekannt.

Es ist bekannt, optische Linsen, insbesondere Brillengläser mit Freiformflächen, mittels Feinkorrekturverfahren zu polieren. Hierzu werden Polierköpfe verwendet, deren angetriebene Polierwerkzeuge mit einer bestimmten Kinematik umlaufen und über die Oberfläche der Linse geführt werden.

Die einfachste Kinematik ist die Rotation des Polierwerkzeugs um eine Achse, wobei das Polierwerkzeug in Richtung der Achse auf die Linse gedrückt wird. Dabei entstehen eine vom Wert Null im Zentrum nach außen linear ansteigende Abtragleistung sowie kreisbogenförmige Bewegungsvektoren der Polierpartikel.

Bei einer zweiten Kinematik wird eine zur Rotationsachse des Antriebes abgekröpfte Welle mit zwei parallel zueinander versetzten Abschnitten verwendet, so dass das Polierwerkzeug exzentrisch rotiert. Das führt zu einer von einem zentralen Plateau nach außen abfallenden Abtragleistung und zu Bewegungsvektoren, die gerade und in konstanter Ausrichtung parallel zueinander verlaufen.

Bei einer dritten Kinematik wird wiederum eine abgekröpfte Welle verwendet, deren beide parallel zueinander versetzte Abschnitte jedoch gegenläufig angetrieben werden. Das Ergebnis unterscheidet sich hinsichtlich der Abtragleistung dabei nur unwesentlich von dem der zweiten Kinematik. Das Feld der Bewegungsvektoren rotiert dabei jedoch.

Bei einer vierten bekannten Kinematik wird ein Polierwerkzeug mit einer pneumatisch dargestellten Kugelkappe verwendet. Die Kugelkappe rotiert um ihre Achse, die schräg zur Oberfläche der Linse angestellt ist. In diesem Fall ergibt sich eine Abtragfunktion in Gestalt eines schrägen Bogens, der asymmetrisch zum Zentrum verläuft. Die Bewegungsvektoren liegen mit unterschiedlicher Länge auf Kreisbögen, deren Mittelpunkt sich weit außerhalb des Zentrums befindet.

Ferner ist noch eine fünfte Kinematik bekannt, bei der das Polierwerkzeug die Gestalt eines zylindrischen Rades hat, das mit seiner Lauffläche auf der Oberfläche der Linse aufliegt. Hier stellt sich ein steil bogenförmiger, jedoch zum Zentrum symmetrischer Verlauf der Abtragleistung ein, und die Bewegungsvektoren liegen in konstanter Ausrichtung zueinander parallel.

Diese bekannten Vorgehensweisen liefern Ergebnisse, die den heutigen, hohen Ansprüchen nicht immer genügen können. Sie sind in ihrer jeweiligen Kinematik mit Nachteilen hinsichtlich des Abflusses des Poliermittels behaftet, und die polierten Oberflächen weisen häufig noch Restspuren des Poliervorganges auf.

Aus dem eingangs erwähnten Aufsatz von Zhang et al. ist schließlich noch eine sechste Kinematik bekannt, bei der das Polierwerkzeug eine Präzessionsbewegung ausführt. Das Polierwerkzeug hat die Gestalt einer Kugelkappe und dreht sich mit einer ersten Drehzahl um deren Achse, die zur Vertikalen ge neigt ist. Diese Anordnung wiederum rotiert als Ganzes um eine Vertikalachse, die einerseits die Achse der Kugelkappe und andererseits den Anlagepunkt der Kugelkappe an der Linse schneidet.

Es hat sich herausgestellt, dass diese Kinematik den anderen oben beschriebenen Kinematiken überlegen ist. Der Verlauf der Abtragleistung ist flach bogenförmig und symmetrisch zum Zentrum, und das kreisbogenförmige Feld der Bewegungsvektoren rotiert mit der Drehzahl der Präzessionsbewegung. Die Kinematik ist für weite Bereiche von konvexen und konkaven Krümmungen der zu polierenden Oberfläche geeignet. Die Bewegungsvektoren haben infolge der Präzessionsbewegung keine Vorzugsrichtung und der Fluss des Poliermittels ist kontinuierlich.

Andererseits ist die praktische Realisierung eines Polierkopfes mit dieser Kinematik problematisch, weil zwei unterschiedliche Bewegungen überlagert werden müssen und vor allem auch der Anpressdruck des Polierwerkzeuges feinfühlig einstellbar sein muss. Der eingangs erwähnte Aufsatz von Zhang et al. stellt insoweit nur eine theoretische Abhandlung dar, der keine Hinweise auf eine Umsetzung der beschriebenen Kinematik in die Praxis enthält.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen Probenkopf der eingangs genannten Art dahingehend weiterzubilden, dass die beschriebene Kinematik in einem praktisch realisierbaren Polierkopf industriell einsetzbar wird.

Diese Aufgabe wird bei dem Polierkopf der eingangs genannten Art erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass das Polierwerkzeug zusammen mit einem Antriebsmotor für die Rotation des Polierwerkzeugs um die erste Achse eine gemeinsame erste Antriebseinheit bilden, dass die erste Antriebseinheit um eine erste Schwenkachse schwenkbar mit einem Träger verbunden ist, dass der Träger mit einer zweiten Antriebseinheit für die Rotation des Trägers um die zweite Achse verbunden ist, und dass zwischen dem Träger und der ersten Antriebseinheit ferner ein Kraftglied zum Verschwenken der ersten Antriebseinheit um die erste Schwenkachse vorgesehen ist.

Die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe wird auf diese Weise vollkommen gelöst.

Erfindungsgemäß wird nämlich eine Anordnung realisiert, bei der die Dosierung der Anpresskraft im rotierenden System erfolgt, so dass nur relativ geringe Massen bewegt werden müssen. Die Kraft wird dabei durch eine Verschwenkbewegung dosiert, was ebenfalls mechanisch relativ einfach zu lösen ist und eine genaue Dosierung der Kraft gestattet.

Bei einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass der Winkel zwischen 30° und 60° liegt und vorzugsweise etwa 45° beträgt.

Diese Maßnahme hat den Vorteil, dass ein kompakter Aufbau entseht, bei dem infolge der relativ großen Winkel keine stark überhöhten Kräfte entstehen oder benötigt werden.

Besonders bevorzugt ist, wenn das Kraftglied in Richtung einer Linearachse wirkt, und die Linearachse unter dem Winkel zur zweiten Achse geneigt ist.

Diese Maßnahme hat den Vorteil, dass ein in der Seitenansicht dreieckförmiger Aufbau entsteht, der einen einfachen Bewegungsablauf und zugleich eine gute Massenverteilung gestattet.

Bevorzugt ist das Kraftglied als Kolben-Zylinder-Einheit ausgebildet, insbesondere als Luftlagerkolben.

Bei bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung ist der Träger im Wesentlichen eben ausgebildet, und die erste Antriebseinheit ist an einer Unterseite des Trägers angelenkt.

Bei diesem Ausführungsbeispiel ist bevorzugt ferner das Kraftglied an seinem einen Ende mit einer zweiten Schwenkachse an der ersten Antriebseinheit und an seinem anderen Ende mit einer dritten Schwenkachse an der Unterseite des Trägers angelenkt, wobei die erste und die zweite Schwenkachse im Abstand zueinander angeordnet sind. Der Träger ist dabei vorzugsweise an seiner Oberseite mit der zweiten Antriebseinheit verbunden.

Diese Maßnahmen haben den Vorteil, dass der Träger von oben antreibbar ist und sich die gesamte erste Antriebseinheit darunter befindet. Durch diese Trennung entsteht ein modularer Aufbau, der einerseits die Wartung und andererseits im Bedarfsfall auch den Austausch von Komponenten ermöglicht.

Eine besonders ausgewogene Anordnung entsteht, wenn die erste Schwenkachse die erste Achse schneidet.

Obwohl erfindungsgemäß auch elliptische, parabolische und dgl. Formen für das Polierwerkzeug verwendbar sind, ist bevorzugt, wenn die zweite Oberfläche im Wesentlichen kugelkappenförmig ist.

Diese Maßnahme hat den Vorteil, dass eindeutige geometrische Verhältnisse bestehen, insbesondere, wenn das Polierwerkzeug zum Einstellen der Anpresskraft verschwenkt wird.

Insoweit ist bevorzugt, wenn die zweite Oberfläche einen Krümmungsradius im Bereich zwischen 2 mm und 100 mm aufweist.

Eine besonders gute kinematische Anordnung entsteht, wenn ein Mittelpunkt der zweiten Oberfläche im Schnittpunkt der ersten und der zweiten Achse liegt.

Weiterhin ist bevorzugt, wenn das Polierwerkzeug mindestens im Bereich der zweiten Oberfläche aus einem elastischen Vollmaterial besteht, das vorzugsweise aus der Gruppe Gummi, Kautschuk, Polyurethan, Polyetherurethan und der Elastomere ausgewählt ist, wobei der Elastizitätsmodul des Vollmaterials größer als 0, 02 N/mm² ist.

Diese Werkstoffe bzw. Werte haben sich in praktischen Versuchen als besonders vorteilhaft erwiesen.

Ferner kann es von Vorteil sein, wenn das Polierwerkzeug auf einer Scheibe aus einem elastischem Werkstoff sitzt.

Diese Maßnahme hat den Vorteil, dass das Polierwerkzeug mit seiner Oberfläche eine gewisse Ausweichbewegung ausführen kann, die durch entsprechende Formgebung der Scheibe eine bestimmte Charakteristik haben kann.

Obwohl die Drehzahlen der beiden Antriebseinheiten in weiten Bereichen variierbar sind, hat sich für den Einsatz beim Polieren von Freiform-Brillengläsern herausgestellt, dass zweckmäßigerweise die erste Antriebseinheit das Polierwerkzeug mit einer Drehzahl zwischen 10 min^–1 und 2.000 min^–1 und die zweite Antriebseinheit den Träger mit einer Drehzahl zwischen 10 min^–1 und 1.000 min^–1 antreibt, wobei die Antriebseinheiten vorzugsweise gegenläufig arbeiten.

Schließlich ist noch eine Ausführungsform eines Polierkopfes bevorzugt, bei der dessen Massenschwerpunkt auf der zweiten Achse liegt.

Diese Maßnahme hat den Vorteil, dass eine Rotation um die zweite Achse ohne Unwucht möglich ist. Ferner wirken sich die Fliehkräfte dann nicht auf die Polierandruckrichtung aus.

Weitere Vorteile ergeben sich aus der Beschreibung und der beigefügten Zeichnung.

Es versteht sich, dass die vorstehend genannten und die nachstehend noch zu erläuternden Merkmale nicht nur in der jeweils angegebenen Kombination sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung verwendbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert.

Die einzige Figur zeigt in einer Seitenansicht, teilweise aufgebrochen, ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Polierkopfes.

In der Figur bezeichnet 10 ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Polierkopfes als Ganzes. Der Polierkopf 10 ist mit einem Polierwerkzeug 12 versehen. Das Polierwerkzeug 12 ist kugelkappenförmig ausgebildet. Der Mittelpunkt der Kugelkappe ist bei 13 angedeutet, ihr Radius ist mit R bezeichnet.
Das Polierwerkzeug 12 dient zum Polieren einer ersten Oberfläche 14 einer bei 16 angedeuteten optischen Linse. Das bevorzugte Einsatzgebiet des Polierkopfes 10 ist das Polieren von Freiform-Brillengläsern, ohne jedoch darauf beschränkt zu sein.
Das Polierwerkzeug 12 ist um eine erste Achse 18 mit einer Winkelgeschwindigkeit ω₁ drehbar. Die erste Achse 18 ist in der in der Figur dargestellten Gebrauchsstellung des Polierkopfes 10 um einen Winkel α zur Vertikalen geneigt.
Das Polierwerkzeug 12 liegt mit seiner kugelkappenförmigen, zweiten Oberfläche 20 in einem näherungsweise punktförmigen Bereich 22 an der ersten Oberfläche 14 der Linse 16 an. Das Polierwerkzeug 12 besteht aus einem elastischen Werkstoff 24.
Das Polierwerkzeug 12 sitzt vorzugsweise auf einer Scheibe 26, die aus einem elastischen Werkstoff 24 besteht. Die Scheibe 26 sitzt in einer topfartigen Halterung 30. Diese ist an ihrer Rückseite mit einer Fassung 32 versehen, in der eine erste Welle 34 befestigt ist. Die erste Welle 34 erstreckt sich ent lang der ersten Achse 18. Sie ist in Lagern 36, 38 eines Gehäuses 40 drehbar, jedoch axial fest gelagert.
Das Gehäuse 40 nimmt ferner einen Antriebsmotor 44 auf, der im Wesentlichen parallel zur ersten Welle 34 ausgerichtet ist. Über ein aus Zahnrädern 46, 48 und 50 gebildetes Getriebe wird die erste Welle 34 vom Antriebsmotor 44 angetrieben.
An einer Oberseite 52 oder einer Seite des Gehäuses 40 befindet sich ein Auge 54, das zusammen mit einem Flansch 56 ein Gelenk mit einer ersten Schwenkachse 58 bildet. Bei 58* ist angedeutet, dass die erste Schwenkachse auch so positioniert sein kann, dass sie die erste Achse 18 schneidet.
Der Flansch 56 ist am Rande einer Unterseite 59 eines Trägers 60 befestigt. Der Träger 60 ist eben und teller- oder rahmenartig ausgebildet. In seinem Zentrum ist an der Oberseite eine zweite Welle 62 befestigt, die sich entlang einer zweiten Achse 64 erstreckt.
Die zweite Achse 64 erstreckt sich in der in der Figur dargestellten Gebrauchsstellung des Polierkopfes 10 in vertikaler Richtung. Sie schließt daher mit der ersten Achse 18 den bereits erwähnten Winkel α ein. Die Anordnung ist ferner so getroffen, dass die zweite Achse 64 den näherungsweise punktförmigen Bereich 22 schneidet, vorzugsweise auch den Mittelpunkt 13 des kugelkappenförmigen Polierwerkzeugs 12.
Die zweite Welle 62 ist mit einer zweiten, bei 66 nur schematisch angedeuteten Antriebseinheit verbunden. Damit kann der Träger mit einer Winkelgeschwindigkeit ω₂ um die zweite Achse 64 rotieren.
An der in der Figur linken unteren Ecke des Gehäuses 40, jedenfalls im Abstand von der ersten Schwenkachse 58, ist ein weiteres Auge 68 befestigt. Dieses bildet eine zweite Schwenkachse 70 für ein freies Ende einer Kolbenstange 72 einer Kolben-Zylinder-Einheit 74.
Die Kolben-Zylinder-Einheit 74 definiert eine Linearachse 75, die mit der Vertikalen, d.h. mit der zweiten Achse 64, vorzugsweise ebenfalls den Winkel α einschließt. Wenn der Winkel α also 45° beträgt, stehen die erste Achse 18 und die Linearachse 75 aufeinander senkrecht.
An einem Zylinder 76 der Kolben-Zylinder-Einheit 74 ist noch ein Auge 78 befestigt, das zusammen mit einem Flansch 82 eine dritte Schwenkachse 80 bildet. Der Flansch 82 ist wie der Flansch 56 an der Unterseite 59 des Trägers 60 befestigt, allerdings an einer dem Flansch 56 relativ zur zweiten Achse 64 diametral gegenüberliegenden Position.
Die vorstehend beschriebene Anordnung ist derart ausgebildet und angeordnet, dass ihr Massenschwerpunkt 84 auf der zweiten Achse 64 liegt. Zu diesem Zweck können Ausgleichsmassen vorgesehen sein (nicht dargestellt).
Bei einem praktischen Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Polierkopfes liegt der Winkel α zwischen 30° und 60°, vorzugsweise bei 45°. Der Radius R der kugelkappenförmigen zweiten Oberfläche 20 liegt vorzugsweise zwischen 2 mm und 100 mm. Die Winkelgeschwindigkeit ω₁ bzw. die Drehzahl des Polierwerkzeugs 12 um die erste Achse liegt bevorzugt zwischen 10 min^–1 und 2.000 min^–1, während die Winkelgeschwindigkeit ω₂ bzw. die Drehzahl des Trägers 60 um die zweite Achse 64 bevorzugt zwischen 10 min^–1 und 1.000 min^–1 liegt. Die Winkelgeschwindigkeiten sind dabei vorzugsweise entgegengesetzt, d.h. das Polierwerkzeug 12 und der Träger 60 rotieren gegenläufig.
Für den elastischen Werkstoff 24 des Polierwerkzeugs 12 wird bevorzugt ein elastisches Vollmaterial aus der Gruppe Gummi, Kautschuk, Polyurethan, Polyetherurethan und der Elastomere ausgewählt, wobei der Elastizitätsmodul des Werkstoffs 24 größer als 0,02 N/mm² ist.
Der Polierkopf 10 arbeitet wie folgt: Nach dem Einschalten des Antriebsmotors 44 und der zweiten Antriebseinheit rotiert das Polierwerkzeug 12 mit der Winkelgeschwindigkeit ω₁ um die erste Achse 64, und gleichzeitig vollführt die erste Antriebseinheit 42 mit der Winkelgeschwindigkeit ω₂ eine gegenläufige Präzessionsbewegung um die zweite Achse 64.
Durch entsprechende Zustelleinrichtungen (nicht dargestellt) wird nun das Polierwerkzeug 12 an die zu polierende Oberfläche 14 herangefahren, bis beide sich im Punkt 22 berühren. Dann wird über eine geeignete Steuerung (nicht dargestellt) die Kolben-Zylinder-Einheit 74 betätigt und damit die Kraft F eingestellt, mit der das Polierwerkzeug 12 an die Oberfläche 14 angedrückt wird. Die dabei auftretenden Wege bzw. Schwenkwinkel sind in der Praxis allerdings sehr gering.
Infolge der Elastizität des Werkstoffs 24 und ggf. auch des Werkstoffs 28 bildet sich dadurch ein Anlagebereich endlicher Größe aus, deren Betrag von der Kraft F abhängt. Mittels geeigneter Positionierantriebe (nicht dargestellt) werden nun das Polierwerkzeug 12 und die Oberfläche 14 relativ zueinander verfahren, bis die gesamte Oberfläche 14 poliert ist. Dabei kann die Kraft F je nach momentaner Krümmung der Oberfläche 14 nachgestellt werden.

Claims

Polierkopf zum Bearbeiten einer ersten Oberfläche (14) einer optischen Linse (16), mit einem um eine erste Achse (18) rotierenden Polierwerkzeug (12), das mit einer zweiten Oberfläche (20) in einem näherungsweise punktförmigen und außerhalb der ersten Achse (18) liegenden Bereich (22) an der ersten Oberfläche (14) anliegt, wobei das Polierwerkzeug (12) ferner um eine zur ersten Achse (18) um einen Winkel (α) geneigte zweite Achse (64) rotiert, die den Bereich (22) sowie die erste Achse (18) schneidet, dadurch gekennzeichnet, dass das Polierwerkzeug (12) zusammen mit einem Antriebsmotor (44) für die Rotation des Polierwerkzeugs (12) um die erste Achse (18) eine gemeinsame erste Antriebseinheit (42) bilden, dass die erste Antriebseinheit (42) um eine erste Schwenkachse (58; 58*) schwenkbar mit einem Träger (60) verbunden ist, dass der Träger (60) mit einer zweiten Antriebseinheit (66) für die Rotation des Trägers (60) um die zweite Achse (64) verbunden ist, und dass zwischen dem Träger (60) und der ersten Antriebseinheit (42) ferner ein Kraftglied zum Verschwenken der ersten Antriebseinheit (42) um die erste Schwenkachse (58; 58*) vorgesehen ist.
Polierwerkzeug nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Winkel (α) zwischen 30° und 60° liegt und vorzugsweise etwa 45° beträgt.
Polierkopf nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Kraftglied in Richtung einer Linearachse (75) wirkt, und dass die Linearachse (75) unter dem Winkel (α) zur zweiten Achse (64) geneigt ist.
Polierkopf nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Kraftglied als Kolben-Zylinder-Einheit (74) ausgebildet ist.
Polierkopf nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Träger (60) im Wesentlichen eben ausgebildet ist, und dass die erste Antriebseinheit (66) an einer Unterseite des Trägers (60) angelenkt ist.
Polierkopf nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Kraftglied an seinem einen Ende mit einer zweiten Schwenkachse (70) an der ersten Antriebseinheit (42) und an seinem anderen Ende mit einer dritten Schwenkachse (8) an der Unterseite des Trägers (60) angelenkt ist, wobei die erste (58; 58*) und die zweite (70) Schwenkachse im Abstand zueinander angeordnet sind.
Polierkopf nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Träger (66) an seiner Oberseite mit der zweiten Antriebseinheit (66) verbunden ist.
Polierkopf nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Schwenkachse (58*) die erste Achse (18) schneidet.
Polierkopf nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Oberfläche (20) im Wesentlichen kugelkappenförmig ist.
Polierkopf nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Oberfläche (20) einen Krümmungsradius (R) im Bereich zwischen 2 mm und 100 mm aufweist.
Polierkopf nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass ein Mittelpunkt (13) der zweiten Oberfläche (20) im Schnittpunkt der ersten (18) und der zweiten (64) Achse liegt.
Polierkopf nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass das Polierwerkzeug (12) mindestens im Bereich der zweiten Oberfläche (20) aus einem elastischen Vollmaterial (24) besteht.
Polierkopf nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Vollmaterial (24) aus der Gruppe Gummi, Kautschuk, Polyurethan, Polyetherurethan und der Elastomere ausgewählt ist.
Polierkopf nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Elastizitätsmodul des Vollmaterials (24) größer als 0,02 N/mm² ist.
Polierwerkzeug nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass das Polierwerkzeug (12) auf einer Scheibe (26) aus einem elastischem Werkstoff (28) sitzt.
Polierkopf nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Antriebseinheit (42) das Polierwerkzeug (12) mit einer Drehzahl (ω₁) zwischen 10 min^–1 und 2.000 min^–1 antreibt.
Polierkopf nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Antriebseinheit (66) den Träger (60) mit einer Drehzahl (ω₂) zwischen 10 min^–1 und 1.000 min^–1 antreibt.
Polierkopf nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebseinheiten (42, 66) gegenläufig arbeiten.
Polierkopf nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass sein Massenschwerpunkt (84) auf der zweiten Achse (64) liegt.