DE102004062594A1

DE102004062594A1 - Vorrichtung und Verfahren zur Recovery eines Systems zur Bearbeitung von scheibenförmigen Objekten

Info

Publication number: DE102004062594A1
Application number: DE102004062594A
Authority: DE
Inventors: Gert Weniger
Original assignee: Leica Microsystems Jena GmbH; Leica Microsystems CMS GmbH
Current assignee: KLA Tencor MIE GmbH
Priority date: 2004-12-24
Filing date: 2004-12-24
Publication date: 2006-07-06
Also published as: JP2006186360A; US20060182616A1; TW200624361A

Abstract

Es ist eine Vorrichtung zur Recovery eines Systems zur Bearbeitung von scheibenförmigen Objekten offenbart. Dem System ist ein OHT zugeordnet, der mindestens eine FOUP mit scheibenförmigen Objekten auf einem Loadport aufsetzt und/oder abhebt. Eine Lichtschrankenanordnung ist vor einem Bereich des Loadports angebracht, der zum Aufsetzen und/oder Abheben einer FOUP durch das OHT gebildet ist. Ein Eingabemittel ist vorgesehen, durch das das OHT den Vorgang des Aufsetzens und/oder Abhebens der FOUP fortsetzt, wenn dieser durch eine Unterbrechung der Lichtschrankenanordnung gestoppt ist.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Recovery eines Systems zur Bearbeitung von scheibenförmigen Objekten. Im Besonderen betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zur Recovery eines Systems zur Bearbeitung von scheibenförmigen Objekten, mit einem dem System zugeordneten OHT, der mindestens eine FOUP mit scheibenförmigen Objekten auf einem Loadport aufsetzt und/oder abhebt.
Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Recovery eines Systems zur Bearbeitung von scheibenförmigen Objekten.

In der Halbleiterfertigung werden Wafer bzw. scheibenförmige Substrate während des Fertigungsprozesses in einer Vielzahl von Prozessschritten sequentiell bearbeitet. Die scheibenförmigen Substrate werden in Behältern, den FOUPs, zu den Systemen transportiert. In den Systemen werden dann die verschiedenen Prozessschritte ausgeführt. Die FOUPs werden über ein OHT zu dem Loadports des Systems geliefert oder transportiert.

Die U.S. Patentanmeldung 2003/0053892 A1 offenbart, wie die einzelnen FOUPS mittels eines OHT zu einem Loadport transportiert werden. Dennoch offenbart diese Patentanmeldung keine Einrichtung, die überprüft, ob sich Gegenstände oder Ähnliches im Transportweg der FOUP vom OHT zur Basisplatte des Loadports befinden.

Die U.S. Patentanmeldung 2002/0155641 A1 offenbart eine Vorrichtung zum Ausrichten eines Loadports an einer Prozessmaschine. Die Vorrichtung besitzt eine Basisplatte, in der mindestens zwei vertikale Bohrungen ausgebildet sind, die mit entsprechenden Stiften an der Prozessmaschine zusammenarbeiten. Zur Ausrichtung ist einen Ausrichtblock vorgesehen, in dem mindestens eine horizontale Bohrung vorgesehen ist. Über die Bohrung wird mittels einer Lichtquelle und einem Detektor die Ausrichtung des Loadports bestimmt.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde eine Vorrichtung zu schaffen, mit bei einer Störung des Aufsetzens und/oder Abhebens einer FOUP von einem Loadport eine schnelles und kostengünsigtes Weiterarbeiten mit der Vorrichtung ermöglicht ist.

Diese Aufgabe wird durch eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.

Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist, ein Verfahren bereit zu stellen, mit dem bei einer Störung des Aufsetzens und/oder Abhebens einer FOUP von einem Loadport eine schnelles und kostengünsigtes Weiterarbeiten mit der Vorrichtung ermöglicht ist.

Diese Aufgabe wird durch eine Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 11 gelöst.

Es ist von besonderen Vorteil, wenn zur Recovery eines Systems zur Bearbeitung von scheibenförmigen Objekten ein OHT vorgesehen ist, mit dem mindestens eine FOUP mit scheibenförmigen Objekten auf einen Loadport gesetzt und/oder von diesem abgehoben werden kann. Das System ist mit einer Lichtschrankenanordnung versehen, wobei ein Eingabemittel vorgesehen ist, über das die Unterbrechung des Vorganges des Aufsetzens und/oder Abhebens einer FOUP durch das OHT zurücksetzbar ist, wenn die Unterbrechung das Aufsetzen und/oder Abheben durch eine Unterbrechung der Lichtschrankenanordnung bedingt ist.

Die Lichtschrankenanordnung besteht aus einer linearen Anordnung von mehreren einzelnen Lichtschranken, wobei jede aus einer Lichtquelle und einem Empfänger gebildet ist. Über dem Loadport ist eine erste und eine zweite seitliche Wand angebacht. Die Eingabeöffnung für das System ist zwischen der ersten und der zweiten seitlichen Wand ausgebildet. Die Lichtschrankenanordnung ist dabei jeweils an einem dem System abgewandten Ende der ersten und der zweiten Wand abgebracht.

Das Eingabemittel ist ein Bildschirm, der mit einer Steuerung des Systems und des OHT verbunden ist. Der Bildschirm kann als ein Touchscreen ausgebildet sein. Das System ist mit einem Signaltower verbunden, der mehrere Leuchten umfasst.

Ebenso Vorteilhaft ist das Verfahren zur Recovery eines Systems zur Bearbeitung von scheibenförmigen Objekten. Dabei wird zunächst das Unterbrechen der Lichtschrankenanordnung während des Aufsetzen auf oder des Abheben von einer FOUP einem Loadport registriert und der Load-/Unload-Vorgang sofort unterbrochen. Dann erfolgt das Überprüfen, ob die Unterbrechung der Lichtschrankenanordnung weiter besteht. Schließlich erfolgt das Durchführen einer Recovery und das Fortführen des Aufsetzen der FOUP auf oder Abhebens der FOUP von dem Loadport.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung können den Unteransprüchen entnommen werden.

In der Zeichnung ist der Erfindungsgegenstand schematisch dargestellt und wird anhand der Figuren nachfolgend beschrieben. Dabei zeigen:
1 eine schematische Ansicht eines System das scheibenförmige Halbleitersubstrate verarbeitet und wobei die scheibenförmigen Halbleitersubstrate in einer FOUP über ein OHT (overhead hoist transportation), zu einem Loadport des Systems geliefert werden;
2 eine perspektivische Ansicht eines Loadports in Verbindung einem System zum Abarbeiten von scheibenförmigen Substraten;
3 eine perspektivische Ansicht eines Loadports in Verbindung mit der erfindungsgemäßen Lichtschrankenanordnung;
4 eine schematische Darstellung eines Ablaufdiagramms des erfindungsgemäßen Verfahrens für das Aufsetzen einer FOUP; und
5 eine schematische Darstellung eines Ablaufdiagramms des erfindungsgemäßen Verfahrens für das Abheben einer FOUP.
1 ist eine schematische Ansicht eines System 100 das scheibenförmige Halbleitersubstrate verarbeitet. Die scheibenförmigen Halbleitersubstrate werden in einer FOUP 101 über ein OHT 102 (overhead hoist transportation), zu einem Loadport 20 des Systems 100 geliefert werden. Der Loadport 20 umfasst eine Basisplatte 21, auf der die FOUP 101 abgestellt werden kann, damit die scheibenförmigen Substrate von dem System 100 verarbeitet werden. Das System 100 ist ferner mit einem Signaltower 105 versehen, der mehrere farblich unterschiedliche Leuchten 104 umfassen kann. Die Leuchten 104 geben dem Benutzer einen Hinweis über einen möglichen Fehler. Ferner ist das System 100 mit einem Bildschirm 106 versehen über den der Benutzer Eingaben machen kann. Auf dem Bildschirm 106 sind dem Benutzer hierzu einige Eingabefelder 107 zur Verfügung gestellt. So kann z.B. der Benutzer über mindestens eines der Eingabefelder 107 ein automatisches Recovery einleiten. Ebenso kann er über den Bildschirm 106 ein manuelles Zurücksetzen des Systems 100 bestätigen.
2 ist eine perspektivische Ansicht eines Loadports 20 in Verbindung einem System 100 zum Prozessieren von scheibenförmigen Substraten. Der Loadport 20 ist mit dem System 100 verbunden und bildet somit die Schnittstelle zwischen dem System 100 zum Prozessieren der scheibenförmigen Substrate und der einer Eingabe von scheibenförmigen Substraten in das System 100. Der Loadport 20 hat ausgebildet Basisplatte 21 ausgebildet, auf eine FOUP 101 abgesetzt werden kann. Die Basisplatte 21 selbst trägt eine Verbindungsplatte 22, die gemäß dem Semi E 15 Standard ausgeführt ist und mit formschlüssig mit einer Unterseite (nicht dargestellt) der FOUP 101 zusammenwirkt. Durch die Formschlüssigkeit wird ein sicherer Sitz der FOUP 101 auf dem Loadport 20 gewährleistet. Neben der bereits beschriebenen Formschlüssigkeit greifen ebenfalls noch Kupplungselemente (nicht dargestellt) zwischen der FOUP 101 und dem Loadport 20 ineinander und den sicheren Sitz zu gewährleisten. Ein mit scheibenförmigen Objekten gefüllte FOUP 101 kann somit nicht aus Versehen von dem Loadport 20 gestoßen werden, so dass hierdurch zusätzlich eine Sicherheit zum Schutz der scheibenförmigen Objekte eingebaut ist. Ferner sind am Loadport 20 mehrere Leuchten 23 vorgesehen, die die korrekte Ausrichtung der FOUP 101 auf dem Loadport 20 anzeigen. Ebenso wird über die Leuchten 23 angezeigt, ob die FOUP 101 auf den Loadport aufgesetzt oder die vorhandene FOUP entfernt werden darf.
3 ist eine perspektivische Ansicht eines Loadports 20, mit dem erfindungsgemäßen Taster 30. Der Taster 30 dient dazu, dass eine FOUP 101 auf den Loadport 20 abgestellt werden kann, ohne dass die Sperre initialisiert wird, mittels der die FOUP 101 vor einem erneuten Abnehmen gesperrt ist, bevor die in der FOUP 101 vorhandenen scheibenförmigen Objekte durch das System 100 abgearbeitet sind. Stellt der Benutzer ein FOUP 101 auf den Loadport und drückt bzw. aktiviert den Taster 30, dann werden die in der FOUP 101 vorhandenen scheibenförmigen Objekte prozessiert. Stellt der Benutzer zum Parken eine FOUP 101 auf den Loadport 20 ab, ohne dass der Taster 30 betätigt oder aktiviert wird, ist der Loadport 20 sicher und fixiert auf dem Loadport 20 abgestellt, und kann beliebig oft entfernt und wieder abgestellt werden. Am Loadport 20 ist in geeigneter Weise eine Lichtschrankenanordnung 24 vorgesehen, mit der nicht in den Ladeweg der FOUP 101 durch das OHT 102 gehörende Ereignisse oder Gegenstände bestimmt oder registriert werden. So kann z. B. ein Ereignis sein, dass ein Benutzer mit dem Ellenbogen die Lichtschrankenanordnung 24 unterbricht. Die Lichtschrankenanordnung 24 ist eine linearen Anordnung von mehreren einzelnen Lichtschranken, wobei jede aus einer Lichtquelle und einem Empfänger besteht. Zur räumlichen Anordnung der Lichtschrankenanordnung 24 ist über dem Loadport 20 eine erste und einer zweite Wand 26 und 27 angebacht, zwischen denen eine Eingabeöffnung 28 für das System ausgebildet ist. Die Lichtschranken der Lichtschrankenanordnung 24 sind jeweils an einem dem System abgewandten Ende der ersten und der zweiten Wand 26 und 27 als eine lineare Anordnung der vorgesehen.
4 ist eine schematische Darstellung schematische Darstellung eines Ablaufdiagramms des erfindungsgemäßen Verfahrens für das Aufsetzen einer FOUP 20. Die E84-Loadsequenz 40 zwischen dem OHT 102 und dem Loadport 20 hat begonnen. Während des Ablaufs des Aufsetzens der FOUP 101 durch das OHT 102 kommt es zu einer Unterbrechung 41 der Lichtschranke und somit wird der Vorgang des Aufsetzens der FOUP 101 unterbrochen. Es erfolgt die Ausgabe 42 eines ES-Signals über das E84-Interface, so dass der Loadport 20 das OHT 102 stoppt. Es erfolgt die Ausgabe 43 eines Alarms auf dem Bildschirm und/oder einem Signaltower. Durch den Benutzer wird, falls noch vorhanden, eine Entfernung 44 der Unterbrechung der Lichtschranke durchgeführt. Das System führt eine Abfrage 45 durch, ob die Unterbrechung entfernt wurde oder nicht. Ist das Ergebnis der Abfrage, dass die Unterbrechung nicht entfernt worden ist, dann ist es erforderlich einen Servicetechniker zu holen. Ist das Ergebnis der Abfrage 45, dass die Unterbrechung entfernt worden ist, dann erfolgt eine weitere Abfrage 46, ob das System eine automatische Recovery durchführen soll. Ist das Ergebnis er Abfrage 46, dass kein automatisches Recovery durchgeführt werden soll, dann erfolgt eine Ausführung 47₁ , bei der das OHT manuell zurückgesetzt wird. Es erfolgt eine Bestätigung 47₂ auf dem Bildschirm, dass das Zurücksetzen manuell ausgeführt worden ist. Der Alarm 47₃ der Lichtschranke wird zurückgesetzt und schließlich erfolgt das erneute Starten 47₄ der E84 Loadsequenz.
Ist das Ergebnis der Abfrage 46, dass ein automatisches Revovery durchgeführt werden soll, dann erfolgt durch den Benutzer eine Auswahl 48₁ des automatischen Recovery. Nach der Auswahl 48₁ erfolgt das Zurücksetzen 48₂ der Lichtschranke. Anschließend, wird ein ES-Signal ausgegeben, das den Fortsatz 48₃ der E84-Loadsequenz erlaubt. Schließlich kommt es zum Abschluß 48₄ der E84-Loadsequenz. Dies bedeutet, dass das Aufsetzen der FOUP 101 auf den Loadport abgeschlossen ist.
5 ist eine schematische Darstellung schematische Darstellung eines Ablaufdiagramms des erfindungsgemäßen Verfahrens für das Abheben einer FOUP 101. Die E84-Unloadsequenz 50 zwischen dem OHT 102 und dem Loadport 20 hat begonnen. Während des Ablaufs des Abhebens der FOUP 101 durch das OHT 102 kommt es zu einer Unterbrechung 51 der Lichtschranke und somit wird der Vorgang des Abhebens der FOUP 101 unterbrochen. Es erfolgt die Ausgabe 52 eines ES-Signals, so dass der Loadport 20 das OHT 102 stoppt. Es erfolgt die Ausgabe 53 eines Alarms auf dem Bildschirm und/oder einem Signaltower. Durch den Benutzer wird, falls noch vorhanden, eine Entfernung 54 der Unterbrechung der Lichtschranke durchgeführt. Das System führt eine Abfrage 55 durch, ob die Unterbrechung entfernt wurde oder nicht. Ist das Ergebnis der Abfrage, dass die Unterbrechung nicht entfernt worden ist, dann ist es erforderlich einen Servicetechniker zu holen. Ist das Ergebnis der Abfrage 55, dass die Unterbrechung entfernt worden ist, dann erfolgt eine weitere Abfrage 56, ob das System eine automatische Recovery durchführen soll. Ist das Ergebnis er Abfrage 56, dass kein automatisches Recovery durchgeführt werden soll, dann erfolgt eine Ausführung 57₁ , bei der das OHT manuell zurückgesetzt wird. Es erfolgt eine Bestätigung 57₂ auf dem Bildschirm, dass das Zurücksetzen manuell ausgeführt worden ist. Der Alarm 57₃ der Lichtschranke wird zurückgesetzt und schließlich erfolgt das erneute Starten 57₄ der E84 Unloadsequenz.
Ist das Ergebnis der Abfrage 56, dass ein automatisches Revovery durchgeführt werden soll, dann erfolgt durch den Benutzer eine Auswahl 58₁ des automatischen Recovery. Nach der Auswahl 58₁ erfolgt das Zurücksetzen 58₂ der Lichtschranke. Anschließend, wird ein ES-Signal ausgegeben, das den Fortsatz 58₃ der E84-Unloadsequenz erlaubt. Schließlich kommt es zum Abschluß 58₄ der E84-Unlodsequenz. Dies bedeutet, dass das Abheben der FOUP 101 vom Loadport abgeschlossen ist.

Claims

Vorrichtung zur Recovery eines Systems zur Bearbeitung von scheibenförmigen Objekten, mit einem dem System zugeordneten OHT, der mindestens eine FOUP mit scheibenförmigen Objekten auf einem Loadport aufsetzt und/oder abhebt, dadurch gekennzeichnet, dass eine Lichtschrankenanordnung vor einem Bereich des Loadports angebracht ist, der zum Aufsetzen und/oder Abheben einer FOUP durch das OHT gebildet ist, und dass ein Eingabemittel vorgesehen ist, durch das das OHT zurücksetzbar ist, wenn das Aufsetzen und/oder Abheben durch eine Unterbrechung der Lichtschrankenanordnung gestoppt ist.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtschrankenanordnung eine linearen Anordnung von mehreren einzelnen Lichtschranken umfasst, wobei jede aus einer Lichtquelle und einem Empfänger besteht.
Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass über dem Loadport eine erste und eine zweite Wand angebacht ist, zwischen denen eine Eingabeöffnung für das System ausgebildet ist, und dass jeweils an einem dem System abgewandten Ende der ersten und der zweiten Wand die lineare Anordnung der Lichtschranken vorgesehen ist.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Eingabemittel ein Bildschirm ist, der mit einer Steuerung des Systems und des OHT verbunden ist.
Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Bildschirm ein Touchscreen ist.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das System mit einem Signaltower verbunden ist, der mehrere Leuchten umfasst.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das scheibenförmige Objekt (4) ein Wafer ist.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das scheibenförmige Objekt (4) ein Wafer auf einem Glassubstrat ist.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das scheibenförmige Objekt (4) eine Maske für die Lithographie ist.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das scheibenförmige Objekt (4) ein Flat-Panel-Display ist.
Verfahren zur Recovery eines Systems zur Bearbeitung von scheibenförmigen Objekten, gekennzeichnet durch die folgenden Schritte: • Unterbrechen der Lichtschrankenanordnung während des Aufsetzen auf oder des Abheben von einer FOUP einem Loadport; • Überprüfen ob Unterbrechung der Lichtschrankenanordnung weiter besteht; und • Durchführen einer Recovery und Fortführen des Aufsetzen der FOUP auf oder Abhebens der FOUP von dem Loadport.
Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass vom Benutzer ein automatisches Recovery über den Bildschrim ausgewählt wird.
Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass durch das automatische Recovery der durch die Lichtschrankenanordnung verursachte Alarm zurückgesetzt wird, dass ein ES-Signal den Fortsatz des Verfahrens erlaubt, und dass die E84-Load-/Unloadsequenz abgeschlossen wird.
Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass durch den Benutzer ein manuelles Revovery ausgewählt wird, wobei der OHT manuell zurückgesetzt wird und das manuelle Zurücksetzten am Bildschirm bestätigt wird.
Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass der durch die Lichtschrankenanordnung verursachte Alarm zurückgesetzt wird, und dass die E84-Load-/Unloadsequenz erneut gestartet wird.
Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass ein Servicetechniker gerufen werden muss, wenn die Unterbrechung der Lichtschrankenanordnung nicht aufgehoben werden kann.
Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass das scheibenförmige Objekt (4) ein Wafer ist.
Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass das scheibenförmige Objekt (4) ein Wafer auf einem Glassubstrat ist.
Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass das scheibenförmige Objekt (4) eine Maske für die Lithographie ist.
Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass das scheibenförmige Objekt (4) ein Flat-Panel-Display ist.