DE10161737C1 - Verfahren zum optischen Erfassen von lokalen Fehlern in einer periodischen Struktur - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Erfassen von lokalen Fehlern in einer periodischen Struktur mittels eines optischen Abtastsystems, welche Struktur wenigstens ein sich in einer Periode wiederholendes Muster aufweist, die zumindest abschnittsweise durch das Abtastsystem erfaßt wird. Gemäß der Erfindung wird vorgeschlagen, daß der Ursprungswert wenigstens eines aktuellen Abschnitts einer Periode mit wenigstens zwei Ursprungswerten von entsprechenden Abschnitten anderer Perioden verglichen wird, daß der Median der betrachteten Ursprungswerte ermittelt und in einem Abbild als Wert des dem aktuellen Abschnitt entsprechenden Abschnitts der periodischen Struktur gesetzt und aus dem Abbild und den Ursprungswerten ein Differenzbild gebildet wird, oder daß der Median der betrachteten Ursprungswerte ermittelt und der Differenzwert zwischen dem Median und dem Ursprungswert des aktuellen Abschnitts als Wert des betreffenden Abschnitts in einem Differenzbild der periodischen Struktur gesetzt wird, und daß zumindest das Differenzbild zur Ermittlung des lokalen Fehlers herangezogen wird.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Erfassen von lokalen Fehlern in einer periodischen Struktur mittels eines optischen Abtastsystems, welche Struktur wenigstens ein sich in einer Periode wiederholendes Muster aufweist, die zumindest abschnittsweise durch das Abtastsystem erfaßt wird. Insbesondere betrifft die Erfindung die optische Prüfung regelmäßiger Strukturen, welche zum Beispiel bei der Black-Matrix, der Active-Matrix und der Farbfilter-Arrays eines LCD-Bildschirms auftreten.

Es ist bekannt und zunehmend auch erforderlich, daß hochwertige Gegenstände oder Gegenstände, die sehr genau gefertigt sind, optisch auf Fehler hin untersucht werden, um optimale Ergebnisse bei minimalem Ausschuß zu erhalten. Dies gilt auch für die Bestandteile eines LCD- Bildschirms. Ein solcher LCD-Bildschirm weist unter anderem eine periodisch strukturierte Black-Matrix auf, die eine Vielzahl von gleichen Feldern begrenzt, die mit Farbfiltern versehen sein können. Im einzelnen kann die Anordnung so getroffen sein, daß ein Bildschirmpixel jeweils drei Felder als Subpixel umfaßt, die mit den Grundfarben blau, rot und grün versehen sind. Durch entsprechende Ansteuerung eines jedem Subpixel zugeordneten sogenannten Thin-Film-Transistor kann auf dem gesamten Bildschirm das gewünschte Bild in der gewünschten Farbaufteilung dargestellt werden. Es ist offensichtlich, daß die Black-Matrix und auch die einzelnen Felder des Farbfilter-Arrays mit hoher Qualität gefertigt und fehlerfrei sein müssen, da sich eventuelle Fehler unmittelbar auch das mit dem Bildschirm erzeugte Bild auswirken können.

Ein solcher Aufbau hat grundsätzlich eine streng regelmäßige Anordnung. Insbesondere sind die Pixel in der Regel matrixförmig in Ordinaten- und Abszissenrichtung angeordnet. Diese Struktur weist demnach ein periodisches Muster insbesondere in Ordinaten- und Abszissenrichtung auf. Eine Periodizität ist aber auch in einer anderen Zeilenrichtung parallel zur Strukturoberfläche erkennbar.

Zum Erfassen von lokalen Fehlern, wie Fehlstellen in der Black-Matrix oder in den einzelnen Feldern oder Flecken in den einzelne Feldern, ist es erforderlich, die gesamte Struktur optisch abzutasten. Das Problem besteht hierbei darin, daß letztlich ein Fehler wegen der unterschiedlichen Gestaltung der einzelnen Felder relativ schwer gefunden werden kann, da beispielsweise ein Wert eines Pixels, der einer schwarzen Farbe entspricht, in einem Feld einen Fehler, in der Black-Matrix aber keinen Fehler darstellt. Entsprechend umgekehrt verhält es sich bei einem Wert eines Pixels, der einer hellen Farbe entspricht. Letztlich müssen demnach die geometrische Lage der Struktur und die geometrischen Daten des abgetasteten Bereichs bekannt sein, um die erfaßten Werte richtig zuordnen und als fehlerhaft oder als fehlerfrei klassifizieren zu können.

Zweckmäßigerweise werden solche optischen Prüfungen während des laufenden Produktionsprozesses an einer geeigneten Stelle innerhalb der Produktionslinie durchgeführt. Dies hat zum einen den Vorteil, daß die Prüfung sich nicht wesentlich auf die Produktionszeit auswirkt. Zum anderen kann bei einem erkannten Fehler gegebenenfalls schnell in den Produktionsprozeß eingegriffen werden, um weiteren Ausschuß zu vermeiden. Demnach müssen eine Vielzahl von Daten innerhalb einer kurzen Zeit verarbeitet werden, so daß die Auswertung der erfaßten Meßwerte entsprechend schnell erfolgen muß.

Aus der US-A-5,513,275 ist es bekannt, nach der Erfassung eines Musters die periodische Struktur dieses Musters zu berechnen. Es wird ein Periodensegment ermittelt und mit den erfaßten Muster verglichen, um Abweichungen zu erkennen. Dieses Verfahren erfordert jedoch einen sehr hohen Rechenaufwand.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der eingangs geschilderten Art so auszubilden, daß ein Erfassen eines Fehlers schnell und zuverlässig möglich ist.

Die Aufgabe wird gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß zunächst der Ursprungswert wenigstens eines aktuellen Abschnitts einer Periode mit wenigstens zwei Ursprungswerten von entsprechenden Abschnitten anderer Perioden verglichen wird, und daß der Median der betrachteten Ursprungswerte ermittelt und in einem Abbild als Wert des dem aktuellen Abschnitt entsprechenden Abschnitts der periodischen Struktur gesetzt und aus dem Abbild und den Ursprungswerten ein Differenzbild gebildet wird. Alternativ ist vorgesehen, daß der Median der betrachteten Ursprungswerte ermittelt und gleich der Differenzwert zwischen dem Median und dem Ursprungswert des aktuellen Abschnitts als Wert des betreffenden Abschnitts in einem Differenzbild der periodischen Struktur gesetzt wird. Schließlich wird zumindest das Differenzbild zur Ermittlung des lokalen Fehlers herangezogen. Durch diese Maßnahmen wird erreicht, daß ein Abbild der periodischen Struktur geschaffen wird, die im wesentlichen einer idealen periodischen Struktur entspricht. Der Fehler wird durch den Austausch der ihn enthaltenden Abschnitte mit solchen Abschnitten, die einer fehlerfreien Struktur entsprechen, ausgeblendet. Das Abbild zeigt demnach eine periodische Struktur, wie sie im einwandfreien Zustand ohne Fehler abgebildet werden würde. Durch die sich daran anschließende Differenzbildung zwischen dem Abbild und dem Ursprungsbild mit den Ursprungswerten wird der Fehler sichtbar. Der Vorteil besteht insbesondere darin, daß bei der Differenzbildung die periodische Struktur im wesentlichen vollständig ausgeblendet wird. Es bleibt ein Differenzbild, das ausschließlich den Fehler zeigt. Es liegt auf der Hand, daß ein solches Bild eines Fehlers wesentlich einfacher ausgewertet werden kann.

Selbstverständlich ist es natürlich möglich, daß das Differenzbild unmittelbar nach der Ermittlung des Medians erzeugt wird. Ein Abbild als Zwischenbild mit der bereinigten periodischen Struktur wird nicht zwingend benötigt. Mit Differenzwert ist in der Regel der Betrag der tatsächlichen Differenz zwischen den betreffenden Werten zu verstehen.

Die Bildung des Medians ist in bezug auf die gewünschte Erzeugung eines Abbildes mit der vom Fehler bereinigten periodischen Struktur sehr unempfindlich und dennoch zuverlässig. Insbesondere hat die tatsächliche Abweichung eines eventuell auftretenden Fehlers keinen Einfluß auf das erzeugte Abbild selbst. Für ein einwandfreies Verfahren wird ist es jedoch als erforderlich erachtet, daß zumindest eine gewisse Häufigkeit von bestimmten Werten, die den Werten einer einwandfreien oder zumindest der umliegenden Struktur zumindest näherungsweise entsprechen, vorhanden ist. Ansonsten würde der Median, der einem einfachen mittleren Wert einer Vielzahl von Werten entspricht, nicht zu dem gewünschten Ergebnis führen. Es ist daher gemäß der Erfindung vorgesehen, daß der Unterschied oder die Differenz der erfaßten Ursprungswerte zur Bildung des Medians untereinander ermittelt wird, und daß der Median oder die Differenz zwischen Median und Ursprungswert des aktuellen Abschnitts nur dann für den Wert des dem aktuellen Abschnitt entsprechenden Abschnitt im Abbild oder Differenzbild gesetzt wird, wenn der Unterschied oder die Differenz zwischen wenigstens zwei betrachteten Ursprungswerten innerhalb einer vorgebbaren Toleranzschwelle liegt. Damit wird sichergestellt, daß der Median tatsächlich einem Wert entspricht, der bei den betrachteten Abschnitten relativ häufig vorliegt. Es ist daher davon auszugehen, daß bei fehlerfreien vorhergehenden Abschnitten auch der betrachtete aktuelle Abschnitt mit oder ohne Fehler im Abbild einen Wert erhält, der einem fehlerfreien Wert entspricht. Die Folge ist die Erzeugung eines Abbildes einer Struktur ohne Fehler.

Es kann zweckmäßig sein, daß der Unterschied oder die Differenz der erfaßten Ursprungswerte zur Bildung des Medians untereinander ermittelt wird, und daß wenigstens einer der Ursprungswerte zumindest im Differenzbild markiert wird, wenn der Unterschied oder die Differenz zwischen den betreffenden Ursprungswerten außerhalb einer vorgebbaren Toleranzschwelle liegt. Hier wird sichergestellt, daß bei solchen Ursprungswerten, bei welchen eine Medianbildung grundsätzlich versagt, dennoch ein Ergebnis erzeugt wird, daß auf einen vermeintlichen Fehler hinweist. Die Auswertung wird dann sich auch auf diesen Bereich erstrecken.

Es kann aber auch vorgesehen werden, daß der Unterschied oder die Differenz der erfaßten Ursprungswerte zur Bildung des Medians ermittelt wird und daß, wenn der Unterschied oder die Differenz zwischen den betreffenden Ursprungswerten außerhalb einer vorgebbaren Toleranzschwelle liegt, weitere Ursprungswerte zur Bildung des Medians erfaßt werden. So kann vorgesehen werden, daß anstelle von nur drei Ursprungswerten beispielsweise fünf oder sieben Ursprungswerte zur Bildung des Medians herangezogen werden, sofern die Ergebnisse dies erforderlich machen. Bei nicht kritischen Ergebnissen reicht die Betrachtung von nur drei Ursprungswerten aus.

Welche Ursprungswerte welcher Abschnitte zur Bildung des Medians herangezogen werden, ist grundsätzlich beliebig. Es ist jedoch zweckmäßig, wenn die Werte der Abschnitte solcher Perioden herangezogen werden, die in der Nähe der aktuell betrachteten Periode liegen. Es kann beispielsweise vorgesehen werden, daß zumindest der Wert des Abschnitts derjenigen Periode zur Bildung des Medians erfaßt wird, die der den aktuellen Abschnitt enthaltenden Periode unmittelbar vorhergeht und/oder unmittelbar nachfolgt. Es kann aber auch zweckmäßig sein, wenn zumindest der Wert des Abschnitts derjenigen Periode zur Bildung des Medians erfaßt wird, die der Periode vorhergeht oder folgt, die der den aktuellen Abschnitt enthaltenden Periode unmittelbar vorhergeht und/oder folgt. Letztlich bedeutet dies, daß der aktuelle Abschnitt sich zwischen zwei weiteren Abschnitten anderer Perioden befindet, deren Werte zur Bildung des Medians herangezogen werden. Es kann aber auch vorgesehen werden, daß der aktuell betrachtete Abschnitt am Rand der Gruppe von betrachteten Abschnitten liegt, und daß beispielsweise ein aktueller Wert mit zwei vorhergehenden Werten zur Bildung des Medians herangezogen wird.

Weiterhin kann vorgesehen werden, daß der Wert des aktuellen Abschnitts einer Periode mit den entsprechenden Werten der Abschnitte umliegender unmittelbar und/oder mittelbar benachbarter Perioden zur Bildung des Medians herangezogen wird. So liegen bei einer Black-Matrix oder einem Farbfilter-Array die periodischen Strukturen jeweils in Zeilenform vor. Identische Perioden wiederholen sich demnach nicht nur in einer Richtung, sondern liegen in identischer Weise auch in darüber- und darunterliegenden Zeilen vor. Dies hat zur Folge, daß eine Periode vier unmittelbare und vier diagonale Nachbarn hat. Grundsätzlich kann es hier zweckmäßig sein, wenn diese acht, nur die vier unmittelbaren, nur die vier diagonalen oder beliebige Kombinationen der Perioden um die aktuell betrachtete Periode herum beziehungsweise die Werte der jeweils betrachteten Abschnitte zur Bildung des Medians herangezogen werden.

Wie eingangs beschrieben, wird der Ursprungswert eines Abschnitts einer Periode insbesondere dann durch den Median ersetzt, wenn die erfaßten Werte der betrachteten Abschnitte unterschiedlich sind. Da jedoch nur das Umfeld des betrachteten Abschnitts erfaßt und zur Bildung des Medians herangezogen werden, entsteht ein Problem dann, wenn der Fehler sich über mehrere Perioden erstreckt. Allerdings wird durch das Verfahren sichergestellt, daß zumindest der Randbereich des Fehlers sicher erfaßt wird. Sofern jedoch alle Werte der betrachteten Abschnitte fehlerhafte Werte sind, wird auch der Medianwert einem fehlerhaften Wert entsprechen. Das Abbild enthält somit tatsächlich den Fehler, jedoch wird zumindest der Randbereich durch einen Medianwert ersetzt, der einem fehlerfreien Wert entspricht. Dies hat zur Folge, daß bei der Bildung der Differenz zwischen Ursprungsbild und Abbild der Fehler zwar vollständig verschwindet, jedoch der Rand desselben offensichtlich bleibt. Eine Auswertung der Ursprungswerte innerhalb des somit leicht erkennbaren Fehlergebiets ist ohne weiteres möglich.

Grundsätzlich ist es zweckmäßig, wenn ein Ursprungsbild mit den Ursprungswerten und/oder das Abbild mit den Medianen und/oder das Differenzbild gespeichert werden. Dies kann für die sich anschließende Auswertung der Fehler zweckmäßig sein. Insbesondere bei größeren Fehler, bei denen nur der Rand des Fehlers im Differenzbild erscheint, wird ein Zugriff auf das Ursprungsbild nach wie vor erforderlich sein. Auch kann anstelle einer Differenz und dem Erzeugen eines Differenzbildes eine andere vergleichende Verknüpfung der Werte erfolgen. Insbesondere kann vorgesehen werden, daß der Quotient der betreffenden Werte ermittelt und ein Quotientenbild erzeugt wird. Dies liefert gleiche oder ähnliche Ergebnisse mit der gleichen Aussagekraft. Auf die Bildung des Medians hat die sich daran anschließende vergleichende Verknüpfung keinen Einfluß.

Wie im einzelnen die periodische Struktur erfaßt wird, ist grundsätzlich beliebig. Es kann vorgesehen werden, daß die periodische Struktur relativ zum optischen Abtastsystem bewegt wird. Es entsteht eine Vielzahl von Daten, die im wesentlichen zeitgleich oder zumindest zeitnah entsprechend dem oben beschriebenen Verfahren ausgewertet werden können. Die Periode kann dabei parallel zur Bewegungsrichtung verlaufen. Auch kann vorgesehen werden, daß die Periode senkrecht zur Bewegungsrichtung verläuft. Bei streng rasterförmigen periodischen Strukturen, wie es bei einer Black-Matrix oder bei Farbfilter-Arrays der Fall ist, ist eine solche Ausrichtung des Musters relativ zu dem optischen Abtastsystem ohne weiteres möglich.

Das optische Abtastsystem kann die periodische Struktur beispielsweise zeilenweise erfassen. Hierbei ist es zweckmäßig, wenn die Periode parallel zur Zeile verläuft. Damit kann die Betrachtung der betreffenden Werte innerhalb der erfaßten Zeile erfolgen. Der Rechenaufwand wird somit wesentlich reduziert.

Grundsätzlich ist es günstig, wenn die periodische Struktur durch das optische Abtastsystem pixelweise erfaßt wird. Die periodische Struktur wird dabei mit einem Abbildungsmaßstab abgebildet, der so gewählt ist, daß ein ganzzahliges Vielfaches der Periode auf einem ganzzahligen Vielfachen von Pixeln abgebildet wird. Dies hat den Vorteil, daß eine Zuordnung der zur Bildung des Medians heranzuziehenden Werte beziehungsweise die betreffenden Pixel leicht zu ermitteln sind. Weiterhin ist es zweckmäßig, wenn der Abbildungsmaßstab so gewählt ist, daß die betreffenden Abschnitte der periodischen Struktur auf wenigstens einem Pixel abgebildet werden. Es können somit Mischwerte vermieden werden, die eine Auswertung erschweren. Bei dem Einsatz schneller Zeilenkameras, die eine Zeile mit einer Vielzahl, beispeilsweise 4096 oder 8192 Pixel besitzen und die parallel zum Verlauf der periodischen Struktur ausgerichtet ist, während die Bewegung des Substrats mit der periodischen Struktur senkrecht zur Zeile verläuft, kann zusammen mit dem letztgenannten Abbildungsmaßstab eine einfache, schnelle und genaue Erfassung der lokalen Fehler erfolgen.

Die Erfindung wird im folgenden anhand der schematischen Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 die Erzeugung des Abbildes der periodischen Struktur bei übereinstimmenden Werten,

Fig. 2 das Ursprungsbild, das Abbild und das Differenzbild bei einer Abbildung gemäß Fig. 1,

Fig. 3 die Erzeugung des Abbildes der periodischen Struktur bei einem abweichenden Wert,

Fig. 4 das Ursprungsbild, das Abbild und das Differenzbild bei einer Abbildung gemäß Fig. 3,

Fig. 5 die Erzeugung des Abbildes der periodischen Struktur bei mehreren abweichenden Werten, und

Fig. 6 das Ursprungsbild, das Abbild und das Differenzbild bei einer Abbildung gemäß Fig. 5.

Die in der Zeichnung dargestellten Diagramme zeigen im Schema die Ermittlung des Medians und das anschließende Ersetzen des aktuellen Werten durch den Median. Auf der Ordinate ist jeweils die Intensität I und auf der Abszisse die räumliche Erstreckung des Musters in eine Richtung, in der die Periodizität erkennbar ist, abgebildet. Bei den Beispielen sind jeweils drei Perioden gezeigt, die jeweils drei Abschnitte aufweisen, die, von links nach rechts, eine absteigender Intensität besitzen. In den Fig. 2, 4 und 6 sind die erzeugten Abbildungen der Werte gepunktet dargestellt, während die Ursprungswerte den durchgezogenen Linien entsprechen.

Die Fig. 1 und 2 zeigen den Werteverlauf von drei aufeinanderfolgenden Perioden 1, 2, 3. Jede Periode weist drei Abschnitte auf, die mit unterschiedlichen Werten belegt sind. Der aktuelle Wert des zweiten Abschnitts der Periode 3 wird mit wenigstens zwei Werten der entsprechenden zweiten Abschnitte der Perioden 1 und 2 zur Bildung des Medians herangezogen. Aufgrund der Tatsache, daß alle Werte im wesentlichen gleich sind, wird der Ursprungswert, oder der Wert, der gerade dem Median entspricht, an die Stelle des Wertes des zweiten Absatzes der Periode 3 im Abbild gesetzt. Die abgebildete periodische Struktur entspricht somit im wesentlichen bis hin zur Identität der ursprünglichen Struktur.

Für die Auswertung eines eventuellen Fehlers werden in einem weiteren Schritt die einander korrespondierenden Werte der einzelnen Abschnitte in den einzelnen Perioden voneinander abgezogen. Da sowohl das Ursprungsbild als auch das Abbild im wesentlichen übereinstimmende Werte enthält, ergibt sich ein Differenzbild mit dem Wert Null. Es sind insbesondere keine Änderungen ersichtlich, was auf eine einwandfreie Struktur schließen läßt.

Die Fig. 3 und 4 zeigen schematisch das Verfahren zum Erfassen von lokalen Fehlern, bei welchem in der dritten Periode 3 ein Fehler im zweiten Abschnitt vorhanden ist. Auch hier werden die entsprechenden Werte der zweiten Abschnitte der vorhergehenden Perioden 1 und 2 zur Bildung des Medians herangezogen. Es liegen demnach zwei normale Werte und ein erhöhter Wert vor. Der Median entspricht einem der normalen Werte der ersten oder zweiten Periode 1, 2. Dieser Wert wird an die Stelle des aktuellen Wertes der dritten Periode 3 gesetzt, so daß anstelle des fehlerhaften Verlaufs im Abbild ein fehlerfreier Verlauf abgebildet wird. Das Ergebnis zeigt Fig. 4. Aufgrund der Unterschiede der Werte des zweiten Abschnitts der dritten Periode im Ursprungsbild einerseits und im Abbild andererseits entsteht im Differenzbild eine Änderung, nämlich ein von Null abweichender Wert. Da der übrige Werteverlauf im Differenzbild im wesentlichen Null ist, läßt sich diese Änderung leicht erfassen.

Die Fig. 5 und 6 veranschaulichen die Bildung des Medians und das anschließende Erzeugen des Differenzbildes bei größeren Fehlern, die sich über mehrere Perioden erstrecken. Das Beispiel ist so gewählt, daß bei den gezeigten sieben Perioden die dritte, vierte und fünfte Periode 3, 4, 5 im zweiten Abschnitt einen Fehler aufweisen. Bei der Bildung des Medians wird bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel der Wert eines aktuellen Abschnittes einer aktuellen Periode mit den entsprechenden Werten der entsprechenden Abschnitte der zwei vorhergehenden Perioden herangezogen. Demnach wird bei der Abbildung des Wertes des zweiten Abschnittes der dritten Periode 3 der aktuelle Wert durch einen Wert der ersten oder zweiten Periode 1, 2 ersetzt, da diese der Mehrzahl entsprechen und einer dem Median bildet. Bei der Betrachtung der vierten Periode 4 hingegen überwiegen die fehlerhaften Werte der dritten und vierten Periode 3, 4, so daß hier als Median ein fehlerhafter Wert in die Abbildung gesetzt wird. Entsprechendes gilt bei der Betrachtung der fünften und sechsten Periode 5, 6. Bei der Betrachtung der siebten Periode 7 und deren zweiten Abschnitt überwiegt wieder die Anzahl der herkömmlichen Werte, so daß hier in der Abbildung ein herkömmlicher Wert erscheint.

Letztlich führt dies dazu, daß das Abbild den Fehler in der gleichen Größe zeigt, jedoch um eine Periode verschoben. Das Ergebnis zeigt Fig. 6. Aufgrund der Verschiebung der fehlerhaften Perioden wird sich im Differenzbild eine Änderung ebenfalls in der dritten und sechsten Periode zeigen. Diese Änderungen sind relativ einfach zu erfassen, so daß zum einen die Ränder eines Fehlers erfaßt und die Größe des Fehlers ermittelt werden kann. Insbesondere steht in der Regel ein Ursprungsbild mit den Ursprungswerten zur Verfügung, so daß eine abschließende Auswertung des fehlerhaften Bereichs anhand der Ursprungswerte erfolgen kann.

Das beschriebene Verfahren läßt sich mit einfachen Mitteln durchführen. Insbesondere ist es möglich, die Bildung des Medians in einer fest programmierten Schaltung durchzuführen. Die Vorverarbeitung des Ursprungsbildes kann somit sehr schnell erfolgen, während sich die Auswertung nur noch auf den im Differenzbild leicht erkennbaren Fehlerbereich beschränken kann. Dadurch kann die Dauer der Prüfung minimiert werden, so daß eine Online-Prüfung der betreffenden Strukturen möglich wird.

Claims (17)

1. Verfahren zum Erfassen von lokalen Fehlern in einer periodischen Struktur mittels eines optischen Abtastsystems, welche Struktur wenigstens ein sich in einer Periode wiederholendes Muster aufweist, die zumindest abschnittsweise durch das Abtastsystem erfaßt wird, dadurch gekennzeichnet,
daß der Ursprungswert wenigstens eines aktuellen Abschnitts einer Periode mit wenigstens zwei Ursprungswerten von entsprechenden Abschnitten anderer Perioden verglichen wird,
daß der Median der betrachteten Ursprungswerte ermittelt und in einem Abbild als Wert des dem aktuellen Abschnitt entsprechenden Abschnitts der periodischen Struktur gesetzt und aus dem Abbild und den Ursprungswerten ein Differenzbild gebildet wird,
oder daß der Median der betrachteten Ursprungswerte ermittelt und der Differenzwert zwischen dem Median und dem Ursprungswert des aktuellen Abschnitts als Wert des betreffenden Abschnitts in einem Differenzbild der periodischen Struktur gesetzt wird,
und daß zumindest das Differenzbild zur Ermittlung des lokalen Fehlers herangezogen wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Unterschied oder die Differenz der erfaßten Ursprungswerte zur Bildung des Medians untereinander ermittelt wird, und daß der Median oder die Differenz zwischen Median und Ursprungswert des aktuellen Abschnitts nur dann für den Wert des dem aktuellen Abschnitt entsprechenden Abschnitts in dem Abbild oder Differenzbild gesetzt wird, wenn der Unterschied oder die Differenz zwischen wenigstens zwei betrachteten Ursprungswerten innerhalb einer vorgebbaren Toleranzschwelle liegt.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Unterschied oder die Differenz der erfaßten Ursprungswerte zur Bildung des Medians untereinander ermittelt wird, und daß wenigstens einer der Ursprungswerte in dem Abbild oder Differenzbild markiert wird, wenn der Unterschied oder die Differenz zwischen den betreffenden Ursprungswerten außerhalb einer vorgebbaren Toleranzschwelle liegt.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Unterschied oder die Differenz der erfaßten Ursprungswerte zur Bildung des Medians ermittelt wird, und daß, wenn der Unterschied oder die Differenz zwischen den betreffenden Ursprungswerten außerhalb einer vorgebbaren Toleranzschwelle liegt, weitere Ursprungswerte zur Bildung des Medians erfaßt werden.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest der Wert des Abschnitts derjenigen Periode zur Bildung des Medians erfaßt wird, die der den aktuellen Abschnitt enthaltenden Periode unmittelbar vorhergeht und/oder unmittelbar nachfolgt.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest der Wert des Abschnitts der Periode zur Bildung des Medians erfaßt wird, die derjenigen Periode vorhergeht oder folgt, die der den aktuellen Abschnitt enthaltenden Periode unmittelbar vorhergeht oder folgt.

7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Wert des aktuellen Abschnitts einer Periode mit den entsprechenden Werten der Abschnitte umliegender unmittelbar und/oder mittelbar benachbarter Perioden zur Bildung des Medians verglichen wird.

8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß ein Ursprungsbild mit den Ursprungswerten und/oder das Abbild mit den Medianen und/oder das Differenzbild gespeichert werden.

9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die periodische Struktur relativ zum optischen Abtastsystem bewegt wird.

10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Periode parallel zur Bewegungsrichtung verläuft.

11. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Periode senkrecht zur Bewegungsrichtung verläuft.

12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß das optische Abtastsystem die periodische Struktur zeilenweise erfaßt und die Periode parallel zur Zeile verläuft.

13. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die periodische Struktur durch das optische Abtastsystem pixelweise erfaßt wird.

14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die periodische Struktur mit einem Abbildungsmaßstab erfaßt wird, der so gewählt ist, daß ein ganzzahliges Vielfaches der Periode auf einem ganzzahligen Vielfachen von Pixeln abgebildet wird.

15. Verfahren nach einem der Ansprüche 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, daß die betreffenden Abschnitte der periodischen Struktur auf wenigstens einem Pixel abgebildet werden.

16. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß der Median, das Abbild und das Differenzbild pixelweise ermittelt werden.

17. Verfahren nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß anstelle der Differenz von Werten der Quotient der Werte gebildet und anstelle des Differenzbildes ein Quotientenbild erzeugt wird.