DE10159216C2 - Halbleiterchip mit Standardzellen, sowie Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung des Halbleiterchips - Google Patents
Halbleiterchip mit Standardzellen, sowie Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung des HalbleiterchipsInfo
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Description
Die Erfindung betrifft einen Halbleiterchip, sowie ein Ver
fahren zur Herstellung des Halbleiterchips unter Verwendung
von Standardzellen.
Für eine Beschleunigung beim Entwurf eines Halbleiterchips
werden Standardzellen verwendet. Diese Standardzellen sind
beispielsweise Gatter, Schieberegister oder andere digitale
oder analoge Bausteine, die aus einzelnen integrierten
Bauelementen, wie Transistoren, Dioden oder Widerständen
gebildet werden und in der Regel eine oder mehrere
standardisierte Funktionen zur. Verfügung stellen.
Die Standardzellen werden gewöhnlicherweise in mehreren zu
einander benachbarten Reihen angeordnet. Die Standardzellen
einer Reihe werden mittels entlang der Reihe angeordneten
Bahnen mit Strom versorgt. Je nach Anzahl der innerhalb der
Reihe benötigten Spannungen oder Strömen erstrecken sich zwei
beziehungsweise weitere Bahnen zur Stromversorgung entlang
der Reihen. Die zugehörigen Stromversorgungsbahnen jeder
Reihe sind miteinander und weiteren Elementen oder An
schlüssen des Halbleiterchips verbunden.
Zudem sind üblicherweise weitere Bahnen insbesondere zur
Übertragung von analogen oder digitalen Signalen zwischen den
Standardzellen oder zu Anschlüssen des Halbleiterchips vor
gesehen. Die Bahnen sind in einer oder in der Regel in
mehreren sogenannten Metallisierungsebenen angeordnet. Diese
Verdrahtungsebenen sind neben metallischen Verbindungen auch
zur Anordnung von optischen Bahnen, insbesondere optischen
Leitern nutzbar. Eine herkömmliche Anordnung von Stan
dardzellen wird z. B. in der US 5 468 977 A beschrieben.
Um die Bahnen optimal anzuordnen, wird ein sogenanntes
Routerprogramm verwendet, das die Eingänge und Ausgänge der
Standardzellen untereinander und mit Anschlüssen des Halb
leiterchips verbindet. Anschließend wird die jeweilige
Position beziehungsweise der Verlauf der einzelnen Bahnen
entflochten, um eine möglichst dichte Anordnung der Standard
zellen, beziehungsweise der Bahnen und eine möglichst kurze
Signalverzögerung zu ermöglichen. Neben dieser bekannten
Anordnung von Standardzellen und deren Verdrahtung sind
selbstverständlich weitere Anordnungsvorschriften, beispiels
weise eine vertikale oder funktionsbezogene Anordnung,
beispielsweise zur Trennung eines digitalen und eines
analogen Bereiches eines ASICs oder dergleichen denkbar.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen
Halbleiterchip zu schaffen, der eine Verdichtung der Bahnen
ermöglicht, ohne die Anzahl der Verdrahtungsebenen zu
erhöhen.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch einen Halbleiterchip
mit den Merkmalen des Anspruchs 1, sowie durch ein Verfahren
zur Herstellung des Halbleiterchips mit den Merkmalen des
Patentanspruchs 6 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der
Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
Erfindungsgemäss sind die Bahnen zur Stromversorgung der
Standardzellen mindestens einer Reihe von Standardzellen so
verkürzt, dass die Bahnen im Bereich einer Standardzelle am
Rand der Reihe enden. Durch diese Verkürzung entsteht Raum
für zusätzliche Elemente des integrierten Halbleiterchips.
Insbesondere wird dieser Raum für weitere Verdrahtungen von
Standardzellen genutzt, alternativ können in diesem
entstandenen Raum auch Kapazität oder Induktivitäten
integriert werden.
Dabei grenzt an diese Enden der Bahnen zur Stromversorgung
ein Bereich an, in dem eine oder mehrere Signalbahnen
angeordnet sind. Diese Signalbahnen sind in diesem Bereich
erfindungsgemäß auch in der Verdrahtungsebene der
Stromversorgungsbahnen angeordnet, so dass auch Verdrahtungen
mittels der Signalbahnen quer zur Richtung der Reihen in
diesen Bereichen ermöglicht wird. Die Signalbahnen dienen zur
Übertragung von Signalen zwischen den Standardzellen oder den
Anschlüssen des Halbleiterchips.
Die Stromversorgungsbahnen werden vorzugsweise derart ver
kürzt, dass unter einer Einbeziehung von Prozessschwankungen
die Standardzellen am Rand der Reihe sicher mit Strom
versorgt werden, indem ein Überlappungsbereich zwischen den
Stromversorgungsanschlüssen der Standardzelle und den Bahnen
zur Stromversorgung vorgesehen ist. Hierzu enden in einer
vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung die Bahnen
innerhalb der Standardzelle am Rand der Reihe.
Um diese Berechnung zu vereinfachen und eine Stromversorgung
unter schlechteren Bedingungen sicherzustellen, können in
einer alternativen Ausgestaltung der Erfindung die gekürzten
Bahnen zur Stromversorgung über den Rand der äußeren
Standardzelle einer Reihe um einen Toleranzausgleichsbereich
von einigen µm hinausragen.
Ist der Entwurf des Halbleiterchips flexibel gestaltet, dass
nicht die Dichte der Anordnung der Standardzellen maßgeblich
ist, wie beispielsweise bei der Integration besonders
störsicherer Analogschaltkreise, sind in einer alternativen
Ausgestaltung der Erfindung die Standardzellen innerhalb
einer Reihe zu einer oder mehreren korrespondierenden
Standardzellen einer anderen Reihe positioniert, um die
Bahnen zur Übertragung von zeitkritischen Signalen zwischen
diesen Standardzellen zu verkürzen.
Ist dem entgegen eine besonders dichte Anordnung der
Standardzellen wünschenswert, oder es stehen nur wenige,
beispielsweise 2 Verdrahtungsebenen zur Verfügung sind in
einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung die
Standardzellen innerhalb einer Reihe derart zueinander
benachbart angeordnet, dass Zwischenräume zwischen den
Standardzellen reduziert sind.
In einem Verfahren zur Herstellung eines zuvor beschriebenen
Halbleiterchips werden Standardzellen in mehreren, zueinander
benachbarten Reihen angeordnet und jede Standardzelle durch
mehrere Bahnen zur Verbindung mit anderen Elementen des Halb
leiterchips und/oder Anschlüssen des Halbleiterchips verbun
den. Bahnen zur Stromversorgung werden bevorzugt entlang der
Reihe der Standardzellen angeordnet und versorgen jeweils die
Standardzellen einer Reihe mit Strom beziehungsweise unter
schiedlichen Versorgungsspannungen.
Ein Stromversorgungsbereich zumindest einer der äußeren
Standardzellen der Reihe wird ermittelt, indem insbesondere
die Position der Stromversorgungsanschlüsse, also die Verbin
dungspunkte zu den Einzelelementen der Standardzelle, wie
Transistoren, Dioden oder dergleichen bestimmt wird. Nach
folgend wird eine Anordnung von den Bahnen zur Stromversor
gung bis zur diesem Stromversorgungsbereich der Standardzelle
bestimmt, so dass die Stromversorgungsanschlüsse zu den
Bahnen zur Stromversorgung positioniert sind und eine sichere
Stromversorgung gewährleisten. Hierzu endet in einer Ausge
staltung der Erfindung der Stromversorgungsbereich innerhalb
der äußeren Standardzelle der Reihe.
Um das Verfahren rechentechnisch zu vereinfachen wird in
einer vorteilhaften Weiterbildung des Verfahrens der äußere
Rand der Standardzelle bestimmt und der gesamte Bereich der
Standardzelle als der Stromversorgungsbereich definiert, so
dass der Stromversorgungsbereich am äußeren Rand der äußeren
Standardzelle der Reihe endet. Der Randbereich der Standardzelle
lässt sich hierzu besonders einfach bestimmen.
Ein vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, dass
ein Bereich zur Stromversorgung bis zur äußeren Standardzelle
der Reihe ermittelt wird, indem jede Standardzelle der
aktuellen Reihe mit einer äußeren Maximalposition verglichen
wird. Der Anfangswert der Maximalposition wird zu Beginn
vorzugsweise im mittleren Bereich der Reihe vorgegeben.
Für den Vergleich werden die Koordinaten der aktuellen
Standardzelle in Richtung der Reihenlänge mit der Koordinate
der Maximalposition in derselben Richtung verglichen.
Bei einer Überschreitung der äußeren Maximalposition durch
den Stromversorgungsbereich der aktuellen Standardzelle,
insbesondere wenn die Koordinaten dieser Standardzellen die
Koordinate der Maximalposition überschreiten, wird die
Maximalposition auf den Stromversorgungsbereich dieser
Standardzelle neu festgelegt. Zur Festlegung wird
beispielsweise die Koordinate der Maximalposition gleich der
äußeren Koordinate dieser Standardzelle gesetzt.
Nach dem letzten Vergleich der aktuellen Reihe wird der
Bereich zur Stromversorgung dieser aktuellen Reihe bis zum
letzten Maximalwert gesetzt wird, so dass die
Stromversorgungsbahnen bis zu dieser Koordinate des letzten
Maximalwertes reichen.
Ist der Stromversorgungsbereich der äußeren Standardzelle der
Reihe bestimmt wird dieser vorzugsweise abgespeichert oder in
sonstiger Weise zur weiteren Auswertung zur Verfügung
gestellt. Der an den Stromversorgungsbereich angrenzende
Bereich kann nachfolgend bestimmt und als Platzhalter für
eine nachfolgende Verdrahtung (Routing) verwendet werden. In
einer vorteilhaften Ausgestaltung des Verfahrens wird in
diesem Bereich in der Verdrahtungsebene der Bahnen zur Strom
versorgung die Anordnung von Signalbahnen zur Übertragung von
Signalen zu anderen Elementen des Halbleiterchips und/oder
Anschlüssen des Halbleiterchips bestimmt.
Als Mittel zur Durchführung dieses Verfahrens wird beispiels
weise eine geeignete Software oder eine für eine Anordnung
der Verdrahtung spezialisierte Hardware verwendet. Die Soft
ware und die Hardware können auch in ein Gesamtsystem inte
griert sein, dass die Herstellung von Zwischenprodukten,
beispielsweise von Belichtungsmasken mit den erfindungs
gemäßen Strukturen ermöglicht.
Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die
Figuren der Zeichnungen an mehreren Ausführungsbeispielen
näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine Darstellung eines Halbleiterchips mit in Reihen
angeordneten Standardzellen gemäß des Standes der
Technik,
Fig. 1a eine Detaildarstellung der Fig. 1,
Fig. 2 eine Darstellung eines Halbleiterchips mit
erfindungsgemäß modifizierten Reihen,
Fig. 2a eine Detaildarstellung der Fig. 2,
Fig. 3 eine schematische Darstellung eines Teils eines
Verfahrensablaufs zur Verdrahtung eines
Halbleiterchips.
In den Fig. 1 und 1a sind Standardzellen in einer Struktur
eines Halbleiterchips gemäß des Standes der Technik
dargestellt.
In diesem Beispiel sind vier Spalten 11, 12, 13, 14
vorgesehen, die mehrere Reihen 21 bis 215 mit Standardzellen
511, 512, 513, 514 usw. aufweisen. Diese Standardzellen 511,
etc. sind beispielsweise Gatter, Schieberegister oder andere
digitale oder analoge Bausteine, die standardmäßig
vordefiniert sind. Diese Vordefinition gibt an, wie einzelne
integrierte Bauelemente, wie Transistoren, Dioden oder
Widerstände verschaltet sind.
Durch diese Zellenstruktur sind die äußeren Abmaße der
jeweiligen Standardzelle fest vorgegeben, können für
unterschiedliche Standardzellen 511, 512 etc. jedoch, wie die
Darstellung der Standardzellen 511 und 512 der Fig. 1a zeigt,
in der Breite wesentlich voneinander abweichen. Diese
Standardzellen 511, etc. stellen in der Regel eine oder
mehrere standardisierte Funktionen zur Verfügung. In diesem
Beispiel ist die Höhe der Standardzellen 511 etc., ebenfalls
fest vorgegeben, so dass die Höhe innerhalb einer Reihe 21,
etc. nicht variiert.
Die Standardzellen 511 bis 514 und 521 bis 523 einer Reihe 21
bzw. 22 sind mittels Stromversorgungsbahnen 421+, 421-, 422+
und 422- usw. mit Anschlüssen oder Funktionseinheiten des
Halbleiterchips zur Versorgung der jeweiligen Standardzelle
511, etc. mit der nötigen Energie verbunden. Hierzu werden
die Stromversorgungsbahnen 421+, 421-, 422+ und 422- usw.
aller Reihen 21 bzw. 22 usw. einer Spalte 11, 12, 13, 14 mit
Spaltenversorgungsbahnen 414 über Kontaktbereiche 41421- (pin
through) verbunden, die vorzugsweise in der Mitte der Reihen
21, etc. über die gesamte Höhe der jeweiligen Spalte 14, etc.
angeordnet sind.
Für Signalübertragungen oder zur Verbindung von Potentialen
sind Bahnen 50 innerhalb einer Standardzelle 513 etc.
vorgesehen, die einzelne Bauelemente, wie das Gate eines
Transistors und eine Diode, etc. einer Standardzelle 513
miteinander verbinden. Weiterhin werden die Standardzellen
513 etc. untereinander oder mit Anschlüssen des Halbleiter
chips verbunden. Für diese Verbindungen werden Signalbahnen
verwendet, die wie die übrigen Bahnen durch Metallbahnen
innerhalb einer oder mehrerer Metallisierungsebenen gebildet
werden.
Zwischen den horizontal in Zeilenform ausgerichteten Reihen
21, etc. sind Abstandsbereiche 2122 zwischen den Standard
zellen 51 etc. zweier Reihen 21, 22 vorgesehen, die für eine
horizontale Verdrahtung genutzt werden können.
Zwischen den einzelnen Spalten 11 bis 14 sind vertikale
Verdrahtungskanäle 112, 123, 134 vorgesehen, innerhalb derer
keine Standardzellen angeordnet sind. Die Verdrahtungskanäle
112, 123, 134 werden für eine vertikale Verdrahtung genutzt,
um Standardzellen 511, etc. unterschiedlicher Reihen und/oder
Spalten miteinander zu verbinden, um Signale zu übertragen
oder Potentiale oder beispielsweise Steueranschlüssen
zwischen diesen Standardzellen miteinander zu verbinden.
Erfindungsgemäß wird, wie in Fig. 2 dargestellt, die Breite
der Reihen 21' bis 216' der Spalten 11' bis 14' wesentlich
verringert. Durch diese Verringerung der Breite der Reihen
21' bis 216' werden die Verdrahtungskanäle 112', 123', 134'
wesentlich verbreitert, so dass eine Anzahl von vertikalen
Verbindungen innerhalb dieser Verdrahtungskanäle 112', 123',
134' erhöht werden kann.
Hierzu sind in dem über die äußere Standardzelle 521 hinaus
reichenden Bereich 220, wie er in Fig. 1a dargestellt ist,
die Bahnen zur Stromversorgung 422+ und 422- verkürzt. Eine
derartige Verkürzung ist in der Fig. 2a dargestellt. Der
Verdrahtungskanal 112' zwischen den Spalten 11' und 12' ist
dadurch zumindest zeilenweise verbreitert, dass die über die
äußere Standardzelle hinausragenden Bereiche 270', 280' der
Reihen 27' und 28' keine Stromversorgungsbahnen 427+', 427-'
428+' und 428-' aufweisen. Diese Bereiche können folglich für
eine vertikale oder auch horizontale Verdrahtung zusätzlich
genutzt werden.
Zusätzlich werden in einer nicht dargestellten Ausführungs
form die in Fig. 1a dargestellten Bereiche 221, 222 zwischen
den Standardzellen 522, 523, etc. verkürzt, indem die
Standardzellen 522, 523, etc. zueinander benachbart angeordnet
werden. Dies ist insbesondere dann vorteilhaft, wenn eine in
bestimmten Bereichen flexible Positionierung der Standard
zellen 522, 523, etc. möglich ist, so dass die Verdrahtung
(Routing) hiervon nur unwesentlich beeinflusst wird.
Fig. 3 zeigt eine schematische Darstellung eines Teils eines
Verfahrensablaufs zur Verdrahtung eines Halbleiterchips. Nach
dem Start des Ablaufs werden in Schritt 1 die Eckpunkte der
aktuellen Standardzellreihe ermittelt. Zusätzlich wird für
diese Reihe die linke Maximalposition und die rechte Maximal
position auf die Mitte der Standardzellreihe als Anfangswert
gesetzt. Jede Standardzelle SZ wird in Schritt 2 mit diesen
Eckpunkten verglichen, um zu bestimmen, ob diese aktuelle
Standardzelle SZ sich innerhalb der aktuellen Reihe befindet
und ob diese aktuelle Standardzelle SZ eine äußere Standard
zelle SZ der Reihe ist.
Im Schritt 2a wird hierzu anhand eines Vergleiches von
x-Koordinaten und y-Koordinaten überprüft, ob die aktuelle
Standardzelle SZ in der aktuellen Reihe sich befindet. Ist
dies nicht der Fall wird eine weitere Standardzelle SZ mit
den Eckpunkten verglichen. Hierzu weist der Verfahrensablauf
vorzugsweise eine Schleife für alle zu vergleichenden
Standardzellen SZ auf.
Befindet sich die aktuelle Standardzelle SZ innerhalb der
aktuellen Reihe, wird nachfolgend in Schritt 2b eine linke
Ecke der aktuellen Standardzelle SZ mit der aktuellen
Maximalposition der Reihe verglichen. Liegt die linke untere
Ecke weiter links als die linke Maximalposition wird in
Schritt 2c die linke Maximalposition auf den linken x-Wert
der aktuellen Standardzelle SZ gesetzt. In den Schritten 2d
und 2e erfolgen die zu den Schritten 2b und 2c analogen
Schritte für die rechte Maximalposition. Nachfolgend wird
gemäß der Schleife eine weitere Standardzelle SZ verglichen,
bis zumindest alle für diese Reihe relevanten Koordinaten von
Standardzellen SZ ausgewertet wurden.
Anschließend werden in Schritt 3 die Abschnitte der Standard
zellreihen zwischen dem linken Rand der Reihe und der linken
Maximalposition, sowie zwischen dem rechten Rand der Reihe
und der rechten Maximalposition gelöscht. Dieser Teil des
Verfahrensablaufs der Schritte 1 bis 3 wird für alle
Standardzellreihen mittels einer weiteren Schleife durch
geführt.
Abweichend von diesem Ausführungsbeispiel sind auch andere
iterative Verfahren denkbar, die die Verkürzung der Stromver
sorgungsbahnen bis zur ersten (äußeren) Standardzelle
berechnen.
Die Erfindung beschränkt sich in ihrer Ausführung nicht auf
die vorstehend angegebenen bevorzugten Ausführungsbeispiele.
Vielmehr ist eine Anzahl von Varianten denkbar, die von dem
erfindungsgemäßen Halbleiterchip oder dem Verfahren zur Her
stellung auch bei grundsätzlich anders gearteten Ausführun
gen, beispielsweise einer neuen Anordnung von Standardzellen,
Gebrauch machen.
11
,
11
',
12
,
12
',
13
,
13
',
14
,
14
' Spalten mit mehreren Reihen
21
bis
216
,
21
' bis
216
' Reihen mit Standardzellen
112
,
123
,
134
,
112
',
123
',
134
' Vertikale Verdrahtungs-Kanäle ohne
Standardzellen
2122
Horizontale Verdrahtungs-Kanäle zwischen
Standardzellreihen
511
,
512
,
513
,
514
,
521
,
522
,
523
,
571
',
572
',
573
',
574
',
581
',
582
',
583
', SZ Standardzellen
50
Verdrahtung innerhalb einer
Standardzelle
414
,
421
+,
421
-,
422
+,
422
-,
427
+',
427
-',
428
+',
428
-',
412
' Bahnen zur Stromversorgung der
Standardzellen
41421
- Verbindungsbereiche (pin through)
220
Randbereich einer Reihe mit
Stromversorgungsbahnen
221
,
222
Zwischenbereiche zwischen Standardzellen
mit Stromversorgungsbereichen
270
',
280
' Verbreiterungsbereiche der vertikalen
Verdrahtungs-Kanäle
Claims (11)
1. Halbleiterchip mit Standardzellen (571', 572', 573', 574',
581', 582', 583'), die in mehreren, zueinander benachbarten
Reihen (26', 27', 28', 29') angeordnet sind, wobei die
Standardzellen (571', 572', 573', 574', 581', 582', 583') durch
mehrere Bahnen (427+', 427-', 428+', 428-') zur Verbindung mit
anderen Elementen des Halbleiterchips und/oder Anschlüssen
des Halbleiterchips verbunden sind, wobei die Bahnen
(427+', 427-', 428+', 428-') zur Stromversorgung der
Standardzellen (571', 572', 573', 574', 581', 582', 583')
mindestens einer Reihe (26', 27', 28', 29') von Standardzellen
(571', 572', 573', 574', 581', 582', 583') so verkürzt sind, dass
die Bahnen (427+', 427-', 428+', 428-') im Bereich einer
Standardzelle (571', 581') am Rand der Reihe (26', 27', 28', 29')
enden,
dadurch gekennzeichnet,
dass am an die Enden der Bahnen (427+', 427-', 428+', 428-')
zur Stromversorgung angrenzenden Bereich zumindest in einer
Verdrahtungsebene der Bahnen (427+', 427-', 428+', 428-') zur
Stromversorgung eine oder mehrere Signalbahnen angeordnet
sind, die zur Übertragung von Signalen zwischen den
Standardzellen (571', 572', 573', 574', 581', 582', 583') oder den
Anschlüssen des Halbleiterchips dienen.
2. Halbleiterchip nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Bahnen (427+', 427-', 428+', 428-') innerhalb der
Standardzelle (571', 572', 573', 574', 581', 582', 583') am Rand
der Reihe enden.
3. Halbleiterchip nach einem der Ansprüche 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, dass
in diesen Bereichen eine oder mehrere Signalbahnen mit einem
Verlauf zumindest abschnittsweise senkrecht zur Reihe der
Standardzellen (571', 572', 573', 574', 581', 582', 583')
angeordnet sind.
4. Halbleiterchip nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Standardzellen (571', 572', 573', 574', 581', 582', 583')
innerhalb einer Reihe zu einer oder mehreren
korrespondierendenn (571', 572', 573', 574', 581', 582', 583')
einer anderen Reihe positioniert sind, um die Bahnen
(427+', 427-', 428+', 428-') zur Übertragung von zeitkritischen
Signalen zwischen diesen Standardzellen (571', 572', 573', 574',
581', 582', 583') zu verkürzen.
5. Halbleiterchip nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Standardzellen (571', 572', 573', 574', 581', 582', 583')
innerhalb einer Reihe zueinander benachbart sind, um
Zwischenräume zwischen den Standardzellen
(571', 572', 573', 574', 581', 582', 583') zur reduzieren.
6. Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterchips, wobei
Standardzellen (SZ, 571', 572', 573', 574', 581', 582', 583')
innerhalb mehrerer, zueinander benachbarter Reihen
(26', 27', 28', 29') angeordnet werden, und jede Standardzelle
(SZ, 571', 572', 573', 574', 581', 582', 583') durch mehrere Bahnen
(427+', 427-', 428+', 428-') zur Verbindung mit anderen
Elementen des Halbleiterchips und/oder Anschlüssen des
Halbleiterchips verbunden wird, wobei ein
Stromversorgungsbereich zumindest einer der äußeren
Standardzellen (SZ, 571', 581') der jeweiligen Reihe (26', 27',
28', 29') ermittelt wird, und
eine Anordnung von Bahnen (427+', 427-', 428+', 428-') zur
Stromversorgung bis zur diesem Stromversorgungsbereich der
Standardzelle (SZ, 571', 581') bestimmt wird,
dadurch gekennzeichnet, dass
in der Verdrahtungsebene der Bahnen (427+', 427-', 428+', 428-')
zur Stromversorgung in dem an den Stromversorgungsbereich
angrenzenden Bereich die Anordnung von Signalbahnen zur
Übertragung von Signalen zu anderen Elementen des
Halbleiterchips und/oder Anschlüssen des Halbleiterchips
bestimmt wird.
7. Verfahren nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet, dass
der Stromversorgungsbereich am äußeren Rand der äußeren
Standardzelle der Reihe endet.
8. Verfahren nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet, dass
der Stromversorgungsbereich innerhalb der äußeren
Standardzelle der Reihe endet.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 8,
dadurch gekennzeichnet, dass
ein Bereich zur Stromversorgung bis zur äußeren Standardzelle der Reihe ermittelt wird, indem
jede Standardzelle der aktuellen Reihe mit einer äußeren Maximalposition verglichen wird,
bei einer Überschreitung der äußeren Maximalposition durch den Stromversorgungsbereich der aktuellen Standardzelle die Maximalposition auf den Stromversorgungsbereich dieser Standardzelle neu festgelegt wird, und
nach dem letzten Vergleich einer aktuellen Reihe der Bereich zur Stromversorgung dieser aktuellen Reihe bis zur letzten Maximalposition gesetzt wird.
ein Bereich zur Stromversorgung bis zur äußeren Standardzelle der Reihe ermittelt wird, indem
jede Standardzelle der aktuellen Reihe mit einer äußeren Maximalposition verglichen wird,
bei einer Überschreitung der äußeren Maximalposition durch den Stromversorgungsbereich der aktuellen Standardzelle die Maximalposition auf den Stromversorgungsbereich dieser Standardzelle neu festgelegt wird, und
nach dem letzten Vergleich einer aktuellen Reihe der Bereich zur Stromversorgung dieser aktuellen Reihe bis zur letzten Maximalposition gesetzt wird.
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 9,
dadurch gekennzeichnet, dass
in der Verdrahtungsebene der Bahnen (427+', 427-', 428+', 428-')
zur Stromversorgung in dem an den Stromversorgungsbereich
angrenzenden Bereich die Anordnung von Signalbahnen zur
Übertragung von Signalen zu anderen Elementen des
Halbleiterchips und/oder Anschlüssen des Halbleiterchips
bestimmt wird.
11. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 10,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Standardzellen einer Reihe zueinander benachbart
angeordnet werden, um Zwischenräume zwischen den
Standardzellen zu reduzieren.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2001159216 DE10159216C2 (de) | 2001-11-27 | 2001-11-27 | Halbleiterchip mit Standardzellen, sowie Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung des Halbleiterchips |
US10/306,438 US6870206B2 (en) | 2001-11-27 | 2002-11-27 | Semiconductor chip, fabrication method, and device for fabricating a semiconductor chip |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2001159216 DE10159216C2 (de) | 2001-11-27 | 2001-11-27 | Halbleiterchip mit Standardzellen, sowie Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung des Halbleiterchips |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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