DE10122912A1

DE10122912A1 - Vorrichtung und Verfahren zum Erzeugen einer vorbestimmten Positionsbeziehung zweier zueinander beweglicher Elektroden

Info

Publication number: DE10122912A1
Application number: DE2001122912
Authority: DE
Inventors: Guardia Rafael Nadal; Robert Aigner
Original assignee: Infineon Technologies AG
Current assignee: Infineon Technologies AG
Priority date: 2001-05-11
Filing date: 2001-05-11
Publication date: 2002-11-21
Also published as: EP1257149B1; DE50204146D1; EP1257149A1

Abstract

Eine Vorrichtung zum Erzeugen eines vorbestimmten Abstands zwischen sich gegenüberliegenden Elektroden (2, 4), die derart gelagert sind, daß der Abstand zwischen denselben abhängig von auf dieselben aufgebrachten Ladungen variabel ist, umfaßt eine Stromquelle (12) zum Aufbringen von Ladungen auf zumindest eine der Elektroden (4). Ferner ist eine Schalteinrichtung (10) vorgesehen, um die Stromquelle (12) für eine vorbestimmte Zeitdauer zuzuschalten, um eine solche vorbestimmte Ladungsmenge auf die Elektrode (4) aufzubringen, daß sich der vorbestimmte Abstand zwischen den Elektroden (2, 4) einstellt, und um die Stromquelle (12) abzuschalten, so daß mit Ausnahme von Leckströmen keine Ladungen von der Elektrode (4) abfließen können oder auf die Elektrode (4) fließen können.

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Vorrichtungen und Verfahren zum Erzeugen einer vorbestimmten Positionsbeziehung zweier zueinander beweglicher Elektroden und insbesondere solche Vorrichtungen und Verfahren, bei denen eine vorbe stimmte Positionsbeziehung zweier zueinander beweglicher Elektroden unter Verwendung einer Ladungssteuerung erreicht wird. Derartige Vorrichtungen und Verfahren sind insbesondere in Verbindung mit kapazitiven Sensoren oder mikromechanischen Betätigungsgliedern vorteilhaft einsetzbar.

Mikromechanische Strukturen, bei denen die vorliegende Erfin dung Anwendung findet, umfassen zwei zueinander parallele Elektroden, von denen üblicherweise eine stationär und eine beweglich ist. Das Verhalten einer derartigen Struktur hängt von vier unterschiedlichen Kräften ab: einer Rückstellkraft, die bei einer Auslenkung auf die bewegliche Elektrode ausge übt wird; einer elektrostatischen Kraft, die durch Ladungen auf den Kondensatorplatten zwischen denselben erzeugt wird; einer externen mechanischen Kraft, die auf die bewegliche Elektrode einwirken kann; und einer Dämpfungskraft, die durch eine Reibung mit der umgebenden Atmosphäre erzeugt wird.

Eine solche Struktur kann vorteilhaft als kapazitiver Sensor eingesetzt werden, wobei derartige kapazitive Sensoren weit verbreitet Anwendung unter anderem in Mikrophonen und Druck sensoren finden. Bei derartigen Sensoren wird die bewegliche Elektrode aus der "Ruheposition", die durch die mechanische Lagerung derselben geliefert wird und einem unausgelenkten Zustand entspricht, elektrisch in einen vorbestimmten Abstand bezüglich der stationären Elektrode vorgespannt, was ein Aus lesen des Sensorsignals um den Vorspannungspunkt ermöglicht.

Aus dem Stand der Technik sind mehrere Techniken bekannt, um ein solches Auslesen von kapazitiven Sensoren durchzuführen. Bestimmte dieser Techniken basieren auf der Verwendung von geschalteten Kondensatoren, auf einer Spannungsvorspannung unter Verwendung eines Vorverstärkers mit hoher Eingangsimpe danz oder der Verwendung von Stromquellen, um eine Oszillati on der Schaltung zu bewirken.

Bei der Verwendung geschalteter Kondensatoren wird das Erfas sungselement mittels einer gewünschten Spannung vorgespannt, wobei eine Ladungsänderung aufgrund einer physikalischen An regung, d. h. einer zu erfassenden externen Anregung, quanti fiziert wird. Diesbezüglich sei beispielsweise auf Larry K. Baxter, Capacitive Sensors, IEEE Press, Series on Electronics Technology, 1997, S. 49-60, S. 147-197 und S. 221-225, ver wiesen. Eine weitere mögliche Konfiguration basiert auf einem Schmitt-Trigger-Oszillator, bei dem Stromquellen verwendet werden, um eine Rampe zu erzeugen. Die Hysterese, die durch den Schmitt-Trigger geliefert wird, bewirkt, daß ein rückge koppelter Ringoszillator mit einer Frequenz schwingt, die ei ne Funktion der Schwellenspannungen des Triggers, der Ampli tude der Stromquelle und der Kapazität, die durch den Konden sator des kapazitiven Sensors geliefert wird, abhängt. Bezüg lich dieser Technik sei auf S. M. SZE, Semiconductor Sensors, John Wiley & Sons Inc., 1994, S. 499-502, verwiesen.

Eine weitere Technik, die verbreitet bei Mikrophonen verwen det wird, besteht aus dem Vorspannen des kapazitiven Mikro phons mittels einer Spannungsquelle und einem seriell dazu geschalteten Widerstand, wobei sich das System wie eine Stromquelle verhält, wenn hohe Ohm'sche Widerstände verwendet werden. T. Bourouina, S. Spirkovitch, F. Baillieu, C. Vauge, "A new condenser microphone with a p+ silicon membrane", Sen sors and Actuators A, 31, 1992, S. 149-152; W. Kühnel, G. Hess, "Micromachined subminiature condenser microphones in silicon", Sensors and Actuators A, 32, 1992, S. 569-564; und A. G. H. Van der Donk, J. A. Voorthuyzen, P. Bergveld, "General Considerations of Noise in Microphone Preamplifiers", Sensors and Actuators A, 25-27, 1991, S. 515-520, lehren eine solche Vorgehensweise.

Bei allen oben genannten Techniken ist die Vorspannung der beweglichen Elektrode, d. h. die Auslenkung derselben in den Arbeitspunkt, maximal auf den sogenannten Pull-In-Abstand be grenzt. Dieser Pull-In-Abstand ist der, bei dem in bekannter Weise eine Pull-In-Instabilität auftritt, bei der die elek trostatische Anziehung zwischen den Elektroden, möglicherwei se zusammen mit einer extern ausgeübten Kraft, die durch die gefederte Lagerung der beweglichen Elektrode gelieferte Rück stellkraft übersteigen kann, so daß ein Kollabieren der Struktur stattfinden kann, d. h. die bewegliche Elektrode in Berührung mit der stationären Elektrode gelangt. Diese Pull- In-Instabilität begrenzt bei einem typischen Aufbau die Steuerung der Position zwischen einer Verschiebung von Null und einem Drittel des Abstands, der zwischen den Elektroden, wenn diese in einem unausgelenkten Zustand sind, vorliegt. Bei allen oben genannten Techniken zum Auslesen eines kapazi tiven Sensors ist die Verschiebung der beweglichen Elektrode maximal auf eine Verschiebung bis zum Pull-In-Abstand be grenzt, weshalb die Empfindlichkeit solcher kapazitiver Sen soren begrenzt ist.

Unter Verwendung einer Ladungssteuerung wäre es möglich, die bewegliche Platte des Sensors nach dem Pull-In-Punkt zu fi xieren, wodurch die Empfindlichkeit erhöht werden könnte.

Bei R. Puers, D. Lapadatu, "Electrostatic forces and their effects on capacitive mechanical sensors", Sensors and Actua tors A 56, S. 203-210, 1996, ist beschrieben, daß zwei unter schiedliche Antriebsmodi bzw. Steuerungsmodi verwendet werden können, um die Kapazität eines solchen kapazitiven Sensors zu erfassen, nämlich ein Q-Antrieb, bei dem der Kondensator mit einer konstanten Ladung vorgespannt wird, und einen V- Antrieb, bei dem der Kondensator mit einer konstanten Span nung vorgespannt wird. Wie eine Ladungs-Steuerung zu reali sieren ist, ist dieser Schrift nicht zu entnehmen, wobei, um die Effekte der elektrischen Anziehungskraft zu vermeiden, eine symmetrische Struktur vorgeschlagen wird, bei der zwei entgegengesetzte elektrostatische Kräfte auf die bewegliche Elektrode wirken.

M. Bao, H. Yang, H. Yin, S. Shen, "Effects of electrostatic forces generated by the driving signal on capacitive sensing devices", Sensors and Actuators 84, S. 213-219, 2000 behan deln die Wirkungen der elektrostatischen Kräfte, die durch das Treibersignal bei kapazitiven Erfassungselementen erzeugt werden, wobei dort als Treibersignal eine Spannung betrachtet wird, deren Frequenz viel größer als die Frequenz des zu mes senden Signals und die natürliche Schwingfrequenz der mecha nischen Struktur ist. Um die Pull-In-Problematik in den Griff zu bekommen, schlägt diese Schrift ebenfalls vor, einen dop pelseitigen Antrieb mit elektromechanischen Rückkopplung vor zusehen.

Eine Reihe von Druckschriften beschäftigt sich schließlich mit elektrostatisch betätigten mikromechanischen Aktoren, die eine starke Auslenkung des Aktors ermöglichen. Zu diesem Zweck lehren E. K. Chan, R. W. Dutton, "Electrostatic Microme chanical Actuator with Extended Range of Travel", Journal of Microelectromechanical Systems, Bd. 9, Nr. 3 (2000), S. 321- 328 das Vorsehen eines mit dem elektrostatischen Betätigungs glied seriell verbundenen Kondensators, um den effektiven elektrischen Abstand des Aktors zu vergrößern, während ein Spannungsantrieb verwendet wird. Ein vergleichbares Vorgehen ist bei J. I. Seeger and S. B. Crary, "Stabilization of Elec trostatically Actuated Mechanical Devices", 1997 Intl. Conf. On Solid-State Sensors and Actuators (Transducers '97), Chi cago II, USA, S. 1133-1136, beschrieben. Bei diesem Lösungs ansatz unter Verwendung eines Serienkondensators muß eine viel höhere Spannung an das Bauelement angelegt werden als bei einer direkten Spannungssteuerung ohne Serienkondensator.

Aus der Schrift J. I. Seeger and B. E. Boser, "Dynamics and Control of Parallel-Plate Actuators beyond the Electrostatic Instability", Proc. of the 10^th. Intl. Conf. On Solid-State Sensors and Actuators (Transducers '99), Sendai, Japan, 7-10 Juni 1999, ist eine Schaltkondensatortechnik bekannt, um die Ladung in dem Aktor, d. h. der beweglichen Elektrode einer Parallelplattenstruktur, zu steuern. Bei diesem Lösungsansatz müssen Probleme bezüglich parasitärer Kapazitäten, eines Taktdurchgriffs und Leckspannungen in den Schaltern berück sichtigt werden, die verwendet sind, um die Schaltkonden satortechnik zu implementieren. Gemäß dieser Schrift wird während einer ersten Phase Ladung auf die bewegliche Elektro de eines mikromechanischen Aktors aufgebracht, während wäh rend einer zweiten Phase die Ladung auf dem Kondensator abge tastet wird. Der Kondensator des Aktuators ist zwischen den Ausgang und den Eingang eines Differenzverstärkers geschal tet, wobei mit dem Eingang des Differenzverstärkers ferner ein Rückkopplungskondensator mit konstanter Kapazität verbun den ist. Eine Spannungsquelle ist über einen Schalter mit dem Rückkopplungskondensator verbunden. Bei einer solchen Konfi guration ist die Spannung über dem Aktorkondensator propor tional zu dem Abstand zwischen den Platten desselben, während der Aktorkondensator und der Rückkopplungskondensator stets seriell verbunden sind, so daß sich ein Spannungsgleichge wicht zwischen denselben durch einen Ladungsfluß zwischen den beiden Kondensatoren einstellt. Aufgrund der Ladungsverstär kerkonfiguration unter Verwendung des Rückkopplungskondensa tors kann dadurch die bewegliche Elektrode an Positionen jen seits des Pull-In-Abstands bei stabilen Betriebsspannungen fixiert werden.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, Vor richtungen und Verfahren zu schaffen, die die Realisierung von kapazitiven Sensoren und mikromechanischen Aktoren hoher Empfindlichkeit unter Verwendung einfacher Treiberschaltungen und Ausleseschaltungen ermöglichen.

Diese Aufgabe wird durch eine Vorrichtung nach Anspruch 1 und ein Verfahren nach Anspruch 15 gelöst.

Die vorliegende Erfindung schafft eine Vorrichtung zum Erzeu gen eines vorbestimmten Abstands zwischen sich gegenüberlie genden Elektroden, die derart gelagert sind, daß der Abstand zwischen denselben abhängig von auf dieselben aufgebrachten Ladungen variabel ist, mit folgenden Merkmalen:
einer Stromquelle zum Aufbringen von Ladungen auf zumindest eine der Elektroden; und
eine Schalteinrichtung zum Zuschalten der Stromquelle für ei ne vorbestimmte Zeitdauer, um eine solche vorbestimmte La dungsmenge auf die Elektrode aufzubringen, daß sich der vor bestimmte Abstand zwischen den Elektroden einstellt, und zum Abschalten der Stromquelle, so daß mit Ausnahme von Leckströ men keine Ladungen von der Elektrode abfließen können oder auf die Elektroden fließen können.

Ferner schafft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zum Erzeugen eines vorbestimmten Abstands zwischen sich gegen überliegenden Elektroden, die derart gelagert sind, daß der Abstand zwischen denselben abhängig von auf dieselben aufge brachten Ladungen variabel ist, mit folgenden Schritten:
Zuschalten einer Stromquelle für eine vorbestimmte Zeitdauer, um eine solche vorbestimmte Ladungsmenge auf zumindest eine der Elektroden aufzubringen, daß sich der vorbestimmte Ab stand zwischen den Elektroden einstellt; und
Abschalten der Stromquelle, so daß mit Ausnahme von Leckströ men keine Ladungen von der Elektrode abfließen können oder auf die Elektrode fließen können.

Die vorliegende Erfindung basiert auf der Erkenntnis, daß es unter Verwendung von Strompulsen möglich ist, die bewegliche Elektrode einer Parallelplattenstruktur aus beweglicher Elek trode und stationärer Elektrode in eine stabile Position jen seits des Pull-In-Abstands zu bringen. Zu diesem Zweck ist Steuerung der Amplitude und der Dauer des injizierten Strom pulses fixiert. Durch die Steuerung dieser Ladung wird auch die Position gesteuert. Da die elektrostatische Anziehungs kraft zwischen den Elektroden von den auf die Elektroden auf gebrachten Ladungen, bei konstanten aufgebrachten Ladungen jedoch nicht vom Abstand zwischen den Elektroden abhängt, kann die bewegliche Elektrode nach dem Pull-In-Abstand posi tioniert werden. Bei typischen mikromechanischen Aufbauten derartiger Parallelplattenstrukturen beträgt dieser Pull-In- Abstand etwa ein Drittel des Abstands, der bei unausgelenkter beweglicher Elektrode vorliegt. Da erfindungsgemäß die Ladung in dem Sensor mit Ausnahme von Leckströmen festgelegt ist, kann bei Verwendung der Struktur als kapazitiver Sensor ein fach die über den Elektroden vorliegende Spannung als Aus gangssignal verwendet werden. Die Spannung kann dann in ein facher Weise durch einen Spannungsfolger abgegriffen werden.

Um einer ungewünschten Bewegung der beweglichen Elektrode aufgrund von Leckströmen zu begegnen, wird erfindungsgemäß vorzugsweise ein Auffrischzyklus implementiert, bei dem die Ladung von dem Sensor beseitigt und nachfolgend wieder inji ziert wird, um die Elektrode wieder in der ursprünglichen stabilen Stellung zu positionieren. Messungen werden dann in dem Fenster durchgeführt, das zwischen den Auffrischzyklen definiert ist. Bei Verwendung der vorliegenden Erfindung in Zusammenhang mit kapazitiven Sensoren kann daher von einer Technik mit geschaltetem Strom gesprochen werden.

Die vorliegende Erfindung ermöglicht somit sowohl bei Verwen dung in Zusammenhang mit mikromechanischen Aktoren als auch mit kapazitiven Sensoren die bewegliche Elektrode nach dem Spannungs-Pull-In-Punkt stabil zu positionieren. Wie oben er läutert wurde, kann bei Verwendung einer Spannungssteuerung die Elektrode jenseits dieses Pull-In-Punkts nicht positio niert werden, da andernfalls ein Kollabieren der Struktur stattfinden würde. Die erfindungsgemäße Verwendung von Strom pulsen zur Ladungssteuerung ermöglicht bei Sensoranwendungen die Definition von Fenstern, innerhalb derer Messungen durch geführt werden. Ferner ermöglicht die Verwendung von geschal teten Strömen ein Auffrischen der Ladung und somit ein Auf frischen der Position der beweglichen Elektrode und ein ein faches Auslesen des Spannungssignals mit einer hohen Empfind lichkeit.

Die vorliegende Erfindung ermöglicht eine Erhöhung der Emp findlichkeit kapazitiver Sensoren, die dadurch erreicht wird, daß die Elektroden mit einem geringeren Abstand zwischen den selben positioniert werden können, weil die Pull-In- Instabilität nicht auftritt. Ferner nimmt, wie in der detail lierten Beschreibung näher erläutert wird, die sich bei der vorliegenden Erfindung zwischen den Elektroden entwickelnde Spannung jenseits des Pull-In-Abstands ab, so daß die hohe Empfindlichkeit ohne irgendeinen Spannungsnachteil erreicht werden kann.

Die vorliegende Erfindung gibt erstmals eine Möglichkeit an, wie kapazitive Sensoren der beschriebenen Art in einem Post- Pull-In-Modus betrieben werden können, und wie ein Auslesen von in einem solchen Modus betriebenen kapazitiven Sensoren erfolgen kann.

Bei einer Verwendung der vorliegenden Erfindung in Zusammen hang mit mikromechanischen Aktoren liefert dieselbe die Mög lichkeit einer stabilen Positionierung der beweglichen Elek trode, während große Auslenkungen erreicht werden können.

Weiterbildungen der vorliegenden Erfindung sind in den abhän gigen Ansprüchen dargelegt.

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend bezugnehmend auf die beiliegenden Zeich nungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Darstellung eines kapazitiven Sensors unter Verwendung der vorliegenden Erfin dung;

Fig. 2 ein schematisches Diagramm der sich zwischen den Elektroden entwickelnden Spannung;

Fig. 3a und 3b Diagramme, die schematisch Verschiebungen und Spannungen an einer Pre-Pull-In-Position und einer Post-Pull-In-Position zeigen;

Fig. 4a, 4b, 5a und 5b Ausschnitte des in Fig. 3b gezeigten Spannungsdiagramms; und

Fig. 6 eine schematische Teilansicht eines alternativen kapazitiven Sensors unter Verwendung der vorliegen den Erfindung.

Im folgenden werden bevorzugte Ausführungsbeispiele der vor liegenden Erfindung anhand kapazitiver Sensoren näher erläu tert. Die vorliegende Erfindung ist jedoch in gleicher Weise auf mikromechanische Betätigungsglieder bzw. Aktoren anwend bar.

Ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Sensors ist in Fig. 1 dargestellt, bei der schematisch eine mikromechanische Struktur, die einen kapazitiven Sensor bil det, durch eine stationäre Elektrode 2 und eine bewegliche Elektrode 4 dargestellt ist. Die stationäre Elektrode 2 und die bewegliche Elektrode 4 können eine herkömmliche Parallel plattenstruktur sein, die unter Verwendung herkömmlicher mi kromechanischer Verfahren hergestellt ist. Die stationäre Elektrode 2 ist bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel elektrisch mit einem vorbestimmten Potential, in der Regel Masse, verbunden. Die bewegliche Elektrode 4 besitzt eine Masse m, die in üblicher Weise beispielsweise durch mem branartige Strukturen (nicht gezeigt) gegenüber der stationä ren Elektrode 2 gelagert ist. Dadurch ergibt sich eine gefe derte und gedämpfte Lagerung, wie in Fig. 1 durch die Andeu tung eines Federglieds 6 mit einer Federkonstanten k und die Andeutung eines Dämpfungsglieds 8 mit einer Dämpfungskonstan te b gezeigt ist.

Die bewegliche Elektrode 4 ist bei dem gezeigten Ausführungs beispiel nun über eine Schalteinrichtung 10 mit einer ersten Stromquelle 12 und einer zweiten Stromquelle 14 verbindbar. Die erste Stromquelle 12 kann als Ladungsaufbringungsquelle bezeichnet werden, während die zweite Stromquelle 14 als Ent ladungseinrichtung bezeichnet werden kann. Die Stromquellen 12 und 14 sind ausgebildet, um Ströme mit entgegengesetzten Vorzeichen zu liefern.

Ferner ist die bewegliche Elektrode 4 mit einem Spannungsfol ger 16 verbunden, dem bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel ein Bandpaßfilter 18 nachgeschaltet ist. Ferner sind in Fig. 1 Schallwellen 20, die eine externe, auf die bewegliche Elek trode 4 wirkende Kraft darstellen, gezeigt.

Um die bewegliche Elektrode 4 in eine stabile Position zu bringen, wird erfindungsgemäß unter Verwendung der Stromquel le 12 eine vorbestimmte Ladungsmenge auf die bewegliche Elek trode 4 aufgebracht. Zu diesem Zweck wird für eine vorbe stimmte Zeitdauer ein Zuschalten der Stromquelle 12 durch die Schaltungseinrichtung bewirkt, die einen Strom vorbestimmter Amplitude liefert, so daß die vorbestimmte Ladungsmenge auf die bewegliche Elektrode 4 aufgebracht wird. Durch diese auf gebrachte Ladung findet eine konstante elektrostatische An ziehung zwischen den Elektroden 2 und 4 statt, der zum einen die Rückstellkraft der Feder 6 und zum anderen die Dämpfung des schematisch dargestellten Dämpfungsglieds 8 entgegen wirkt. Durch das sich einstellende Kräftegleichgewicht, nimmt die bewegliche Elektrode 4 eine stabile Vorspannungsposition ein, die von der Menge der aufgebrachten Ladungen abhängt.

Wird nun eine externe Kraft, beispielsweise durch die Schall wellen 20 auf die bewegliche Elektrode ausgeübt, ändert sich das Kräfteverhältnis und somit die Position der beweglichen Elektrode. Diese Positionsänderung der beweglichen Elektrode kann als Spannungsänderung durch den Spannungsfolger 16 er faßt werden und stellt ein Maß für das zu erfassende externe Signal dar. Bei Verwendung des kapazitiven Sensors als Mikro phon ist dem Spannungsfolger 16 vorzugsweise das Filter 18, in der Regel ein Bandpaßfilter, nachgeschaltet, das eine Fil tercharakteristik aufweist, die die Frequenzanteile der zu erfassenden Signale passieren läßt und die durch Leckströme bedingte Komponenten herausfiltert.

Aufgrund der Verwendung von Strompulsen, um die stabile Posi tion der beweglichen Elektrode einzustellen, ermöglicht die vorliegende Erfindung ein sehr einfaches Auslesen des Span nungssignals. Aufgrund der injizierten Vorspannungsladung entwickelt sich zwischen den Elektroden 2 und 4 eine defi nierte Gleichspannung V_b gemäß der folgenden Gleichung:

wobei C die Kapazität zwischen den Elektroden 2 und 4 dar stellt; Q_b die auf die Elektrode 4 aufgebrachte Ladungsmenge darstellt; V_b die sich zwischen den Elektroden entwickelnde Spannung darstellt; ε₀ die elektrische Feldkonstante ist; A die Fläche der Elektroden ist; und D_b den Abstand zwischen den Elektroden darstellt.

Wirkt nun ein externes Signal auf die bewegliche Elektrode 4 erzeugt dies aufgrund der konstanten Ladung eine Abstandsän derung d zwischen den Elektroden, was eine Änderung der er faßten Spannung um v zur Folge hat, wie sich aus der folgen den Gleichung 2 ergibt:

Es ist zu erkennen, daß die Spannungsänderung v proportional zu der Abstandsänderung d, die durch das externe Anregungs signal bewirkt wird, ist, was ein einfaches Auslesen des ex ternen Signals ermöglicht. Das Auslesen erfolgt durch den Spannungsfolger, der den Spannungsabfall zwischen den Elek troden 2 und 4 erfaßt.

Unter idealen, in der Praxis nicht zu erreichenden Verhält nissen, würde es ausreichen, die vorbestimmte Spannungsmenge lediglich einmal auf die bewegliche Elektrode aufzubringen. Jedoch treten in der Praxis parasitäre Kapazitäten sowie nicht unendlich hohe Eingangswiderstände hinsichtlich der Schalteinrichtung 10 und des Spannungsfolgers 16 auf, so daß Leckströme berücksichtigt werden müssen. Diese Leckströme be wirken ein langsames Abfließen von Ladungen von der bewegli chen Elektrode 4. Dieses langsame Abfließen von Ladungen auf grund der Leckströme führt zu einer unerwünschten Bewegung der beweglichen Elektrode, so daß die Position derselben von der stabilen Position abweicht und sich somit die tatsächli che Empfindlichkeit von der theoretischen Empfindlichkeit an der stabilen Position unterscheidet. Diesen Leckströmen kann Rechnung getragen werden, indem nach dem anfänglichen Auf bringen der vorbestimmten Ladungsmenge auf die bewegliche Elektrode 4 jeweils zu vorbestimmten Zeitpunkten ein solcher Strompuls der beweglichen Elektrode 4 durch die Schaltein richtung 10 zugeführt wird, daß der durch Leckströme abge flossene Ladungsanteil mittels dieses Strompulses wieder auf die bewegliche Elektrode aufgebracht wird.

Erfindungsgemäß ist es jedoch bevorzugt, einen Auffrischzy klus durchzuführen, bei dem die Ladung von der Elektrode 4 zunächst vollständig entfernt und nachfolgend wieder aufge bracht wird, um die ursprüngliche Position der Elektrode, d. h. die stabile Position, bei der die Messungen erfolgen sol len, wiederherzustellen. Zu diesem Zweck ist bei dem in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel die zweite Stromquelle 14 vorgesehen, die zum Entladen der beweglichen Elektrode 4 dient. Der durch diese Stromquelle gelieferte Strom besitzt ein Vorzeichen, das umgekehrt zu dem Vorzeichen des durch die Stromquelle 12 gelieferten Stroms ist. Erfindungsgemäß wird somit zunächst eine vorbestimmte Ladungsmenge durch Zuschal ten der Stromquelle 12 auf die bewegliche Elektrode 4 aufge bracht, nachfolgend kann in einem definierten Fenster eine Signalerfassung unter Verwendung des Spannungsfolgers 16 er folgen, woraufhin ein Auffrischzyklus durchgeführt wird, um den auftretenden Leckströmen Rechnung zu tragen. In diesem Auffrischzyklus wird zunächst unter Verwendung der Schaltein richtung 10 die Stromquelle 14 zum Entladen der beweglichen Elektrode 4 zugeschaltet, woraufhin mittels der Schaltein richtung 10 die Stromquelle 12 zugeschaltet wird, um wiederum die vorbestimmte Ladungsmenge auf die bewegliche Elektrode 4 aufzubringen.

Die aufzubringende Ladung kann ohne weiteres basierend auf der folgenden Gleichung eines eindimensionalen konzentrierten Modells des kapazitiven Sensors, das die auftretenden parasi tären Kapazitäten berücksichtigt, berechnet werden:

wobei Q die aufzubringende Ladung ist, D₁ den Abstand zwi schen den beiden Elektroden im ausgelenkten Zustand angibt, D₀ den Abstand zwischen den Elektroden im unausgelenkten Zu stand angibt, C₀ die Kapazität zwischen den Elektroden im un ausgelenkten Zustand ist, und C_p die parasitären Kapazitäten angibt.

Diese erforderlich Ladung wird unter Verwendung eines Kon stantstrompulses, der für eine begrenzte Zeit angelegt wird, injiziert. Wenn daher eine bestimmte Amplitude des Ladungs- bzw. Entladungs-Stroms durch die Stromquellen geliefert wird, muß nur die erforderliche Zeitdauer des Strompulses auf der Grundlage folgender Gleichung berechnet werden:

wobei t die Dauer des Strompulses und I die Amplitude des Strompulses ist.

Die durch den kapazitiven Sensor erzeugte Signalausgabe wird erfindungsgemäß vorzugsweise weiterverarbeitet, um trotz der verwendeten Auffrischzyklen den Einfluß einer Bewegung auf grund von Leckströmen zu beseitigen. Da die Leckströme repro duzierbar sind, können sie aus der Signalausgabe herausge rechnet werden. Andererseits ist es möglich, den Effekt der Bewegung aufgrund der Leckströme, der sehr niederfrequent ist, unter Verwendung eines Hochpaßfilters bzw. Bandpaßfil ters, dessen Durchlaßbereich die Frequenzbereiche der zu er fassenden Signale beinhaltet, beseitigt werden.

Im folgenden wird anhand eines spezifischen Ausführungsbei spiels bzw. mittels per Simulation erhaltener Ergebnisse ge zeigt, wie erfindungsgemäß die Empfindlichkeit eines kapazi tiven Sensors erhöht werden kann, so daß das Verhalten eines kapazitiven Sensors verbessert werden kann. Dieses bevorzug ten Ausführungsbeispiel wird anhand eines kapazitiven Mikro phons erläutert. Wie oben erwähnt, wird das physikalische Si gnal durch das Messen der dadurch bewirkten Wechselsignal spannung über den Elektroden erfaßt, wobei vorzugsweise eine Bandpaßfilterung durchgeführt wird, um den Einfluß von Ände rungen bezüglich der stabilen Position auf das Ausgangssignal aufgrund von Leckströmen zu eliminieren.

Zur Simulation wurde ein Modell eines kapazitiven Sensors vom Typ eines Parallelplattenkondensators mit kreisförmigen Elek troden verwendet. Der Abstand zwischen der festen und der be weglichen Elektrode im unausgelenkten Zustand (D₀) beträgt 1,5 µm. Der Durchmesser der Elektroden beträgt 1 mm, so daß die Elektrodenfläche 0,79 mm² beträgt. Bei einer solchen Struktur wurde ein Pull-In-Spannungswert von 7 V gemessen, so daß ein direktes Anlegen einer Spannung von mehr als 7 V das Kollabieren der beiden Elektroden bewirkt. Ferner bewirkt das Anlegen einer Spannung von 7 V, daß sich die bewegliche Elek trode um eine Strecke von einem Drittel des Abstands im un ausgelenkten Zustand bewegt, d. h. bei der betrachteten Struktur tritt eine Verschiebung x um 500 nm auf. Für diese Struktur beträgt die Kapazität C_o zwischen den Platten 4,64 pF. Ferner wurde eine parasitäre Kapazität von 2 pF und ein wirksamer Parallelwiderstand von 0,1 TΩ gemessen. Dieser Wi derstand trägt zusammen mit der parasitären Kapazität zu den Leckströmen, die die bewegliche Elektrode entladen, bei. Für das verwendete System wurde eine mechanische Resonanzfre quenz, d. h. eine mechanische Resonanzfrequenz für die beweg liche Elektrode zusammen mit dem Aufhängungssystem derselben, von 124,2 kHz gemessen. Die Federkonstante k beträgt 350 N/m, die Dämpfungskonstante b beträgt 5,5 × 10^-3 Ns/m und die Mas se m des beweglichen Teils beträgt 7,32 × 10^-10 Kg.

Zur Simulation des Verhaltens eines solchen kapazitiven Sen sors wurde ein eindimensionales konzentriertes Modell der ka pazitiven Struktur verwendet, das jedoch erweitert wurde, um einen Ausdruck, der sich auf den externen Druck, d. h. die zu erfassenden physikalische Größe, bezieht, zu beinhalten:

wobei

F_Schall = P_Platte.A Gl. 6

wobei b die Dämpfungskonstante auf der Grundlage von Luft zwischen den Elektroden ist, F_Schall die durch die Schallwelle auf die Elektrode wirkende Kraft ist und P_Platte der durch die Schallwelle auf der beweglichen Elektrode erzeugte Druck ist.

Das Verhalten eines kapazitiven Sensors der oben beschriebe nen Struktur wurde unter Verwendung des in Gleichung 5 darge stellten Modells simuliert. Dabei ist zu bemerken, daß sich bei dem erfindungsgemäßen Lösungsansatz die Gleichspannung zwischen den Elektroden frei entsprechend der Ladungsinjekti on entwickeln kann. Die sich dabei zwischen den Elektroden entwickelnde Spannung V_b ist in Fig. 2 gezeigt. In Fig. 2 ist über der Ordinate die Spannung V_b aufgetragen, während über der Abszisse die Auslenkung x beginnend mit einer Auslenkung von 0 dargestellt ist.

Wie dem Diagramm von Fig. 2 zu entnehmen ist, nimmt die sich entwickelnde Spannung V_b mit zunehmender in den kapazitiven Sensor eingebrachten Ladung bis zu einer Position im Bereich von einem Drittel des unausgelenkten Abstands, 500 nm bei dem gezeigten Beispiel, zu. In Fig. 2 ist dieser Pull-In-Punkt mit dem Bezugszeichen 22 bezeichnet. Werden Ladungsmengen aufgebracht, die eine Auslenkung der beweglichen Elektrode über den Pull-In-Punkt hinaus bewirken, nimmt die sich ent wickelnde Spannung mit zunehmender Auslenkung ab, bis zu ei nem Wert von 0 am rechten Rand des Diagramms von Fig. 2. Ei nem identischen Spannungsabfall über dem kapazitiven Sensor können somit jeweils zwei unterschiedliche Auslenkungen bzw. Positionen zugeordnet werden, eine vor dem Pull-In-Punkt 22 und eine nach dem Pull-In-Punkt 22. Zwei derartige Punkte sind in Fig. 2 mit den Bezugszeichen 24 und 26 bezeichnet, wobei 24 eine Vor-Pull-In-Position angibt, während 26 eine Nach-Pull-In-Position angibt.

Der in Fig. 2 gezeigten Spannung Vb, die sich aufgrund einer auf die bewegliche Elektrode aufgebrachten vorbestimmten La dung entwickelt, überlagert sich nun ein Wechselspannungs signal, das durch die zu erfassende physikalische Größe, näm lich die Schallwelle 20 erzeugt wird. Wie im folgenden ge zeigt wird, ist die Empfindlichkeit des kapazitiven Sensors größer, wenn die jenseits der Pull-In-Position 22 liegende Nach-Pull-In-Position 26 zur Signalerfassung verwendet wird.

Wie vorher bereits dargelegt wurde, ist die Signalspannung proportional zu der Abstandsänderung, die durch das externe Anregungssignal erzeugt wird. Bei der durchgeführten Simula tion wurde die akustische Impedanz eingestellt, um einen ty pischen Empfindlichkeitswert für Mikro-Mikrophone, die auf Silizium implementiert sind, zu ergeben, nämlich 10 nm/Pa. Ferner wurde davon ausgegangen, daß die externe Schallwelle einen Druck von 0,01 Pa erzeugt, einem typischerweise bei ei nem Gespräch zwischen zwei Personen auftretenden Wert. Um nun zu zeigen, wie die Empfindlichkeit durch das erfindungsgemäße Verfahren erhöht wird, wurde die bewegliche Elektrode an zwei unterschiedlichen Positionen plaziert, eine mit einer Auslen kung von weniger als einem Drittel des Abstands D₀, bei spielsweise dem Punkt 24, und die andere mit einer Auslenkung von mehr als einem Drittel des Abstands D₀, beispielsweise der Position 26.

Die sich für die Vor-Pull-In-Position 24 ergebende Auslenkung ist für mehrere Auffrischzyklen in Fig. 3a als Kurve 30 über der Zeit dargestellt. Die entsprechende Nach-Pull-In- Auslenkung ist als Kurve 32 in Fig. 3a gezeigt. Wie zu erken nen ist, beträgt die Auslenkung bei der Kurve 30 etwa 300 nm, während die Auslenkung bei der Kurve 32 etwa 700 nm beträgt. Jeweilige Auffrischzyklen, wie sie oben beschrieben wurden, sind in Fig. 3a mit dem Bezugszeichen 34 bezeichnet. An die ser Stelle sei angemerkt, daß Abweichungen von der oben ange gebenen Auslenkung nach unterschiedlichen Auffrischzyklen si mulationsbedingte Abweichungen darstellen.

In Fig. 3b sind schematisch die sich entwickelnden Spannungen dargestellt, wobei diese Figur lediglich zeigen soll, daß au ßerhalb der Auffrischzyklen durch die unterschiedlichen Posi tionen ein im wesentlichen identischer Spannungsabfall zwi schen den Elektroden entwickelt wird. Die Spannungseinbrüche bzw. Spannungsspitzen an den Punkten 36 sind wiederum durch die Auffrischzyklen bedingt. Mit dem Bezugszeichen 38 ist in Fig. 3b die der Position 26 zugeordnete Spannungskurve be zeichnet, während mit dem Bezugszeichen 40 die der Position 24 zugeordnete Spannungskurve bezeichnet ist.

An dieser Stelle sei angemerkt, daß ein Messen der zu erfas senden physikalischen Größe jeweils zwischen diesen Auf frischzyklen, also dort wo der Abstand zwischen den Elektro den bzw. die zwischen denselben entwickelte Spannung im we sentlichen konstant sind, stattfindet.

Die beiden Positionen wurden gewählt, um im wesentlichen die gleiche entwickelte Spannung zu ergeben, um überprüfen zu können, daß die Empfindlichkeit für Positionen jenseits der Pull-In-Position 22 ohne Spannungsnachteil erhöht ist.

Vergrößerte Darstellungen vorbestimmter Zeitabschnitte mit einem überlagernden Wechselanteil aufgrund einer externen Schallwelle sind in den Fig. 4a, 4b, 5a und 5b gezeigt, wobei die sich ergebende Gesamtspannung als V_erf bezeichnet ist. Wie dem der Nach-Pull-In-Position 26 zugeordneten Spannungsver lauf 38' zu entnehmen ist, nimmt der Gleichspannungsanteil aufgrund des auftretenden Leckstroms zu. Im Gegensatz dazu nimmt bei dem der Vor-Pull-In-Position 24 zugeordneten Span nungsverlauf 40' der Gleichspannungsanteil aufgrund des glei chen Leckstroms ab, so daß dieser Leckstrom hier einen gegen teiligen Einfluß hat. Dieses Verhalten erklärt sich ohne wei teres aus Fig. 2, die zeigt, daß die entwickelte Spannung über dem kapazitiven Sensor hinsichtlich ihrer Neigung vor und nach dem Pull-In-Abstand entgegengesetzte Vorzeichen hat. Eine weitere Vergrößerung der Spannungsverläufe 38' und 40' zwischen den Zeitpunkten 3,9 ms und 5,3 ms ist in Fig. 4b ge zeigt. Schließlich sind weitere Vergrößerungen der Signalver läufe in getrennten Darstellungen in den Fig. 5a und 5b ge zeigt. Wie den in Fig. 5a gezeigten Spannungsverlauf 40' zu entnehmen ist, wird an der Vor-Pull-In-Position eine Amplitu de des Wechselsignalanteils von näherungsweise 0,2 mV erhal ten, was bei einer angenommenen externen Signalstärke von 0,01 Pa eine Empfindlichkeit von 20 mV/Pa ergibt. Bei dem der Nach-Pull-In-Position zugeordneten Spannungsverlauf 38' in Fig. 5b ergibt sich eine Amplitude des Wechselsignalanteils von näherungsweise 0,4 mV, was bei der angenommenen Signal stärke von wiederum 0,01 Pa eine Empfindlichkeit von nähe rungsweise 40 mV/Pa ergibt. Somit erhält man bei der Post- Pull-In-Position, die durch die vorliegende Erfindung bei ka pazitiven Sensoranwendungen verwendbar ist, eine deutlich er höhte Empfindlichkeit.

Bei der durchgeführten Simulation wurden Spannungsimpulse ei ner Amplitude von 2 Mikroampere mit einer Dauer von 40 µs verwendet.

Die Wiederholfrequenz der Auffrischzyklen hängt dabei von der Höhe der auftretenden Leckströme ab, wobei bei höheren Leck strömen eine höhere Wiederholrate zu verwenden ist.

Ferner ist es bevorzugt, die jeweiligen Auffrischzyklen, d. h. das Entladen und das darauffolgende Beladen der beweglichen Elektrode, schneller durchzuführen als die mechanische Kon stante des Systems, die vom Aufbau der kapazitiven Struktur abhängt, ist. Somit ist es bevorzugt das Entladen und Beladen der kapazitiven Struktur mit sehr schnellen Strompulsen einer sehr hohen Amplitude durchzuführen. Zu diesem Zweck muß das zeitliche Ansprechverhalten der Stromquellen schneller sein als die mechanische Zeitkonstante der beweglichen Elektrode. Wird der Auffrischzyklus schneller durchgeführt als das me chanische Ansprechen des Systems ist, wird, wenn die gesamte Ladung beseitigt und nachfolgend wiederum injiziert wird, keine Bewegung der beweglichen Elektrode erzeugt. Lediglich die Spannung wird sich abhängig von der Ladung ändern.

Zur Durchführung der erfindungsgemäßen Verfahrens ist eine Vielzahl bekannter Stromquellen verwendbar.

Hinsichtlich der in Fig. 1 gezeigten ersten und zweiten Stromquellen 12 und 14 ist anzumerken, daß bei bevorzugten Ausführungsbeispielen der Erfindung diese Stromquellen derart ausgeführt sind, daß, wenn beide Stromquellen "abgeschaltet" sind, die Leckströme derselben sich gegenseitig auslöschen. In so einem Fall kann, sobald die Ladung in die bewegliche Elektroden injiziert wurde und beide Quellen mittels der Schalteinrichtung 10 von der beweglichen Elektrode getrennt wurden, d. h. dieselben ausgeschaltet wurden, ein Leckstrom, der von der Aufladungsstromquelle kommt, durch den Leckstrom, der zu der Entladungsstromquelle fließt, teilweise oder voll ständig kompensiert werden. Der einzig verbleibende Strom in oder aus der beweglichen Elektrode, d. h. die einzigen Ladun gen, die auf die bewegliche Elektroden fließen bzw. von der derselben abfließen, ist die Differenz zwischen den zwei Leckströmen. An einem bestimmten Spannungsarbeitspunkt ist diese Differenz Null und die gesamten Leckströme durch die bewegliche Elektroden sind kompensiert. Dieser Kompensations punkt kann durch einen geeigneten Entwurf der Abmessungen der Transistoren der Treiberstufen der Stromquellen eingestellt werden.

Eine weitere Möglichkeit zur Einstellung dieses "Arbeitspunk tes" in spannungsmäßiger Hinsicht besteht darin, eine Span nungsquelle 42, wie sie in Fig. 6 gezeigt ist, zwischen die stationäre Elektrode 2 und Masse zu schalten, um eine Span nung V_ext zu erzeugen, durch die der spannungsmäßige Ar beitspunkt, bei dem eine vollständige Leckstromkompensation stattfindet, einzustellen.

Als Stromquellen für die erfindungsgemäßen Vorrichtungen bzw. Verfahren können beliebige bekannte Stromquellen verwendet werden. Die zu verwendenden Stromquellen besitzen jedoch vor zugsweise ein oder mehrere der folgenden Eigenschaften. Die Stromquellen sollen vorzugsweise eine geringe parasitäre Aus gangskapazität aufweisen, um eine Reduzierung der maximalen stabilen Auslenkung zu verhindern. An dieser Stelle sei ange merkt, daß eine Auslenkung über den folgenden maximalen Be reich durchgeführt werden kann, so lange C_p ≦ 2C_o gilt:

Ferner sind vorzugsweise Stromquellen mit einem hohen Aus gangswiderstand zu verwenden, um sicherzustellen, daß inner halb des gesamten auftretenden Spannungsbereichs ein konstan ter Strom injiziert wird. Eine Stromquelle mit einem geringen Ausgangswiderstand würde hingegen abhängig von der Betriebs spannung an ihrem Ausgang einen unterschiedlichen Ausgangs strom liefern. Wie oben ausgeführt wurde, sollte das zeitli che Ansprechverhalten der Stromquelle ferner schneller sein als die mechanische Zeitkonstante der beweglichen Elektrode. Ferner kann die Stromquelle vorzugsweise eine Beladungs- und Entladungs-Programmierbarkeit besitzen, so daß anstelle der getrennten Stromquellen 12 und 14 eine gemeinsame Stromquelle verwendet werden kann, die entsprechend angesteuert werden kann, um je nach Bedarf eine Beladung bzw. Entladung der be weglichen Elektrode zu liefern.

Geeignete erfindungsgemäß verwendbare Stromquellen sind Kas kodenstromspiegel, Wilson-Stromspiegel, geregelte Kaskoden stromspiegel und dergleichen. Im Rahmen der Simulation wurden geregelte CMOS-Kaskodenstromspiegel verwendet, um die Strom quellen zu implementieren.

Obwohl entsprechend den beschriebenen Ausführungsbeispielen Ladungen auf die bewegliche Elektrode aufgebracht wurden, ist es in gleicher Weise möglich, Ladungen unter Verwendung von Strompulsen auf die stationäre Elektrode oder auf beide Elek troden aufzubringen.

Die vorliegende Erfindung liefert somit Verfahren und Vor richtungen, die es ermöglichen, die bewegliche Elektrode ei ner Parallelplatten-Struktur stabil an einer Position jen seits der Pull-In-Instabilitäts-Position anzuordnen, indem Strompulse, d. h. geschaltete Ströme, verwendet werden. Da durch ist es insbesondere bei Verwendung der Parallelplatten struktur als kapazitiver Sensor möglich, eine erhöhte Emp findlichkeit zu erhalten und gleichzeitig ein einfaches Aus lesen zu ermöglichen.

Bezugszeichenliste

2

stationäre Elektrode

4

bewegliche Elektrode

6

Federglied

8

Dämpfungsglied

10

Schalteinrichtung

12

erste Stromquelle

14

zweite Stromquelle

16

Spannungsfolger

18

Bandpaßfilter

20

Schallwellen

22

Pull-In-Position

24

Vor-Pull-In-Position

26

Nach-Pull-In-Position

30

Auslenkung vor der Pull-In-Position

32

Auslenkung nach der Pull-In-Position

34

Auffrischzyklen

36

Auffrischzyklus-Spannungsverlauf

38

,

38

' Nach-Pull-In-Position-Spannungsverlauf

40

,

40

' Vor-Pull-In-Position-Spannungsverlauf

42

Spannungsquelle

Claims

1. Vorrichtung zum Erzeugen eines vorbestimmten Abstands zwi schen sich gegenüberliegenden Elektroden (2, 4), die derart gelagert sind, daß der Abstand zwischen denselben abhängig von auf dieselben aufgebrachten Ladungen variabel ist, mit folgenden Merkmalen:
einer Stromquelle (12) zum Aufbringen von Ladungen auf zumin dest eine der Elektroden (4); und
eine Schalteinrichtung (10) zum Zuschalten der Stromquelle (12) für eine vorbestimmte Zeitdauer, um eine solche vorbe stimmte Ladungsmenge auf die Elektrode (4) aufzubringen, daß sich der vorbestimmte Abstand zwischen den Elektroden (2, 4) einstellt, und zum Abschalten der Stromquelle (12), so daß mit Ausnahme von Leckströmen keine Ladungen von der Elektrode (4) abfließen können oder auf die Elektrode (4) fließen kön nen.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Stromquelle (12) zum Aufbringen von Ladungen eine geringe parasitäre Ausgangs kapazität und einen hohen Ausgangswiderstand aufweist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, bei der die Stromquel le (12) durch einen Kaskodenstromspiegel, einen Wilson- Stromspiegel oder einen geregelten Kaskodenstromspiegel ge bildet ist.

4. Vorrichtung nach Anspruch 1, die ferner folgende Merkmale aufweist:
eine Entladungseinrichtung (14) zum Entfernen von Ladungen von der einen Elektrode (4); und
eine Schalteinrichtung (10) zum Zuschalten und Abschalten der Entladungseinrichtung (14).

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, bei der die Entladungsein richtung (14) eine Stromquelle ist.

6. Vorrichtung nach Anspruch 4 oder 5, bei der die Stromquel le (12) zum Aufbringen von Ladungen auf die Elektrode (4) programmierbar ist, um auch die Entladungseinrichtung zu bil den.

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, die ferner eine Steuerein richtung zum zyklischen Zuschalten und Abschalten der Strom quelle (12) und der Entladungseinrichtung (14) aufweist.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, bei der die Steuereinrichtung einen jeweiligen Zyklus aus Zuschalten der Entladungseinrich tung (14), Abschalten derselben, Zuschalten der Stromquelle (12) und Abschalten derselben schneller durchführt als die mechanische Konstante der zueinander beweglichen Elektroden (2, 4) ist.

9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 8, bei der die Entladungseinrichtung (14) eine Stromquelle ist, und bei der im wesentlichen identische Leckströme entgegengesetzten Vor zeichens durch die Stromquelle (12) zum Aufbringen von Ladun gen und die Stromquelle (14) zum Entfernen von Ladungen flie ßen, wenn dieselben abgeschaltet sind und die vorbestimmte Ladungsmenge auf die Elektrode (4) aufgebracht ist.

10. Vorrichtung nach Anspruch 9, bei der eine Spannungsquelle (42) mit der anderen Elektrode (2) verbunden ist, um einen Spannungsabfall zwischen den Elektroden zu bewirken, bei dem die im wesentlichen identischen Leckströme entgegengesetzten Vorzeichens auftreten.

11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, bei der sich für jeden eingestellten Abstand eine zugeordnete zwi schen den Elektroden (2, 4) anliegende Spannung entwickelt und bei der durch die vorbestimmte Ladungsmenge ein Abstand (26) zwischen den Elektroden (2, 4) eingestellt wird, der der kleinere von zwei Abständen (24, 26) ist, die der gleichen sich zwischen den Elektroden (2, 4) entwickelnden Spannung zugeordnet sind.

12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, bei der die eine Elektrode (4) die bewegliche Elektrode eines kapazi tiven Sensors ist, wobei die Vorrichtung ferner einen Span nungsfolger (16) zum Abgreifen der zwischen den Elektroden (2, 4) anliegenden Spannung aufweist.

13. Vorrichtung nach Anspruch 12, bei der die zwischen den Elektroden (2, 4) anliegende Spannung abgegriffen wird, wenn die Stromquelle (12) abgeschaltet ist.

14. Vorrichtung nach Anspruch 12 oder 13, die ferner eine Einrichtung (18) zum Filtern des Ausgangssignals des Span nungsfolgers (16), um durch Leckströme bedingte Signalkompo nenten zu eliminieren, aufweist.

15. Verfahren zum Erzeugen eines vorbestimmten Abstandes zwi schen sich gegenüberliegenden Elektroden (2, 4), die derart gelagert sind, daß der Abstand zwischen denselben abhängig von auf dieselben aufgebrachten Ladungen variabel ist, mit folgenden Schritten:
Zuschalten einer Stromquelle (12) für eine vorbestimmte Zeit dauer, um eine solche vorbestimmte Ladungsmenge auf zumindest eine der Elektroden (4) aufzubringen, daß sich der vorbe stimmte Abstand zwischen den Elektroden (2, 4) einstellt; und
Abschalten der Stromquelle (12), so daß mit Ausnahme von Leckströmen keine Ladungen von der Elektrode (4) abfließen können oder auf die Elektrode (4) fließen können.

16. Verfahren nach Anspruch 15, bei dem die Schritte des Zu schaltens und Abschaltens der Stromquelle (12) wiederholt werden, wobei zwischen zwei aufeinanderfolgenden Wiederholun gen ein Schritt des Entfernens von Ladungen von der zumindest einen Elektrode (4) durchgeführt wird.

17. Verfahren nach Anspruch 16, bei dem jeweils ein Schritt des Entfernens von Ladungen und nachfolgende Schritte des Zu schaltens und Abschaltens der Stromquelle (12) schneller durchgeführt als die mechanische Konstante der zueinander be weglichen Elektroden (2, 4) ist.

18. Verfahren nach einem der Ansprüche 15 bis 17, bei dem sich für jeden eingestellten Abstand eine zugeordnete zwi schen den Elektroden (2, 4) anliegende Spannung entwickelt und bei dem durch die vorbestimmte Ladungsmenge ein Abstand (26) zwischen den Elektroden eingestellt wird, der der klei nere von zwei Abständen (24, 26) ist, die der gleichen sich zwischen den Elektroden entwickelnden Spannung zugeordnet sind.

19. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 15 bis 18, das ferner den Schritt des Abgreifens einer zwischen den Elektroden (2, 4) anliegenden Spannung nach dem Schritt des Abschaltens der Stromquelle (12) aufweist.