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Die
vorliegende Erfindung betrifft ein piezoelektrisches resonantes
Bauelement wie zum Beispiel einen piezoelektrischen Resonator oder
ein piezoelektrisches Filter. Insbesondere betrifft die vorliegende
Erfindung ein oberflächenmontierbares
piezoelektrisches resonantes Bauelement mit einem energiespeichernden
piezoelektrischen Resonanzelement.
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Herkömmlicherweise
wurden verschiedene Arten von oberflächenmontierbaren piezoelektrischen
resonanten Bauelementen mit einem energiespeichernden piezoelektrischen
Resonanzelement vorgeschlagen.
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Ein
herkömmliches
Beispiel für
ein piezoelektrisches resonantes Bauelement dieser Art wird anhand
von 12A und 12B beschrieben. Ein piezoelektrisches
resonantes Bauelement 101 ist so aufgebaut, daß äußere Substrate 103 und 104 von oben
und von unten auf ein plattenartiges piezoelektrisches Resonanzelement 102 aufgeschichtet
sind.
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Das
piezoelektrische Resonanzelement 102 ist ein energiespeicherndes
piezoelektrisches Resonanzelement. Resonanzelektroden 102b und 102c sind
auf beiden Hauptflächen
eines rechteckigen plattenartigen piezoelektrischen Substrats 102a vorgesehen.
Die Resonanzelektroden 102b und 102c sind mit
Bleielektroden 102d und 102e verbunden. Die Bleielektroden 102d und 102e sind
so angeordnet, daß sie
bis zu den seitlichen Kanten des piezoelektrischen Substrats 102a reichen.
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Der
Abschnitt des piezoelektrischen Substrats, der den Resonanzelektroden 102b und 102c durch
das piezoelektrische Substrat 102a gegenüberliegt,
bildet einen energiespeichernden piezoelektrischen Schwingungsabschnitt.
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In
den äußeren Substrate 103 und 104 befinden
sich Ausnehmungen 103a und 104a, und ein Raum,
der die freie und ungehinderte Schwingung des piezoelektrischen
Schwingungsabschnitts ermöglicht,
wird durch die Ausnehmungen 103a und 104a gebildet.
Gemäß 12B sind die äußeren Substrate 103 und 104 an
dem piezoelektrischen Resonanzelement 102 über Klebstoffschichten 105 und 106 befestigt.
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Ferner
sind auf der Außenseite
des piezoelektrischen resonanten Bauelements 101 äußere Elektroden 107 bis 109 so
angeordnet, daß sie
um die Oberseite, die Seitenflächen
und die Unterseite des piezoelektrischen resonanten Bauelements 101 gewickelt
sind. Die Seitenflächen
der äußeren Elektroden 107 und 109 sind
mit den Bleielektroden 102d und 102e elektrisch
verbunden. Die äußere Elektrode 108 ist
so angeordnet, daß sie
Kapazität
zwischen den äußeren Elektroden 107 und 109 abzieht.
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Das
heißt,
zwischen den äußeren Elektroden 107 und 108 und
zwischen den äußeren Elektroden 108 und 109 sind
Kondensatoren ausgebildet.
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In
dem piezoelektrischen resonanten Bauelement 101 müssen Räume B und
C ausgebildet werden, um eine freie und ungehinderte Schwingung
des energiespeichernden piezoelektrischen Schwingungsabschnitts
zu ermöglichen.
Die Ausnehmungen 103a und 104 sind also in der
oben beschriebenen Weise in den äußeren Substraten 103 und 104 ausgebildet.
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Im übrigen besteht
bei dem piezoelektrischen resonanten Bauelement wie bei den anderen elektrischen
Bauelementen ein Bedarf zur Verringerung von Größe und Dicke. Bei dem piezoelektrischen
resonanten Bauelement 101 müssen jedoch die Räume B und
C bereitgestellt werden, so daß bei einer
Verringerung der Dicke die mechanische Festigkeit der äußeren Substrate 103 und 104 schlechter wird.
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Insbesondere
werden bei dem piezoelektrischen resonanten Bauelement 101 infolge
der während
der Montage oder Befestigung durch den Benutzer entstehenden Spannungen
Risse D und E in dem Abschnitt erzeugt, wo die Ausnehmungen 103a und 104a der äußeren Substrate 103 und 104 vorgesehen
sind, wo die mechanische Festigkeit minimal ist, so daß befürchtet wird,
daß es
in den äußeren Substraten 103 und 104 zu
einem Bruch kommt. Um also zu verhindern, daß es zu diesem Bruch kommt,
muß die
Dicke der äußeren Substrate 103 und 104 bis
zu einem gewissen Grad erhöht
werden, was die Verringerung der Dicke verhindert.
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Es
ist eine Konstruktion bekannt, bei der zur Ausbildung der Räume B und
C flache äußere Substrate
verwendet werden, und bei der die Dicke der Klebstoffschicht zum
Zusammenkleben des piezoelektrischen Schwingungselements und der äußeren Substrate
erhöht
wird, um die Räume
B und C zu bilden. In dem Fall, wo infolge der Dicke dieses Klebstoffs
ein Raum gebildet wird, verringert sich auch die Dicke der äußeren Substrate,
wenn eine Verringerung der Dicke des piezoelektrischen resonanten Baulements
erreicht wird. Um den Bruch der äußeren Substrate
zu verhindern, kann analog dazu die Dicke der äußeren Substrate nicht signifikant
verringert werden, wodurch es schwierig wird, eine Verringerung
der Dicke zu erzielen.
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Aus
der
DE 199 22 146
A1 ist ein piezoelektrischer Resonator bekannt, der ein
piezoelektrisches Resonanzbauteil enthält. Das piezoelektrische Resonanzbauteil
enthält
ein rechteckiges piezoelektrisches Substrat, das aus piezoelektrischer
Keramik besteht. Das piezoelektrische Resonanzbauteil liegt zwischen
zwei Dichtungssubstraten, die Vertiefungen aufweisen, welche einen
Raum für
die Vibration eines Vibrationsbereichs bilden. Ferner sind an den gegenüberliegenden
Endflächen
des das piezoelektrische Resonanzbauteil und die Dichtungssubstrate enthaltenden
Laminats Außenelektroden
gebildet.
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Die
oben beschriebenen Probleme werden durch ein piezoelektrisches resonantes
Bauelement mit den Merkmalen des Anspruchs 1 überwunden. Hierdurch wird ein
piezoelektrisches resonantes Bauteil bereitgestellt, bei dem eine
Verringerung der Dicke des Materials des äußeren Gehäuses erreicht werden kann,
und bei dem selbst bei Verwendung eines dünnen Materials für das äußere Gehäuse ein Bruch
oder Aussplittern verhindert wird.
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Gemäß der Erfindung
umfaßt
das piezoelektrische resonante Baulement ein energiespeicherndes
piezoelektrisches Resonanzelement, das eine piezoelektrische Platte
und mehrere Resonanzelektroden aufweist, die teilweise auf beiden
Hauptflächen der
piezoelektrischen Platte angeordnet sind, und bei dem ein piezoelektrischer
Schwingungsabschnitt durch einen Abschnitt gebildet wird, in dem
die Resonanzelektroden der Hauptflächen einander gegenüberliegen,
ein äußeres Gehäuseelement,
das an wenigstens einer Oberfläche
des piezoelektrischen Resonanzelements befestigt ist, so daß ein Raum
gebildet wird, der die freie und ungehinderte Schwingung des Schwingungsabschnitts
des piezoelektrischen Resonanzelements ermöglicht, und eine Vielzahl von äußeren Elektroden,
die auf der Oberfläche
des äußeren Gehäuseelements
auf der dem piezoelektrischen Resonanzelement entgegengesetzten
Seite angeordnet sind, wobei eine Ausnehmung in der Oberfläche des äußeren Gehäuselements
auf der dem piezoelektrischen Resonanzelement entgegengesetzten
Seite dem Raum gegenüberliegend
ausgebildet ist.
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Vorteilhafte
Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen beschrieben.
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Bei
einer bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung ist der dem Raum gegenüberliegende Abschnitt des äußeren Gehäuseelements
vorzugsweise zur Seite des piezoelektrischen Resonanzelements hin
gebogen.
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Bei
einer weiteren modifizierten bevorzugten Ausführungsform des piezoelektrischen
resonanten Bauelements der Erfindung ist eine Ausnehmung in der
auf der Seite des piezoelektrischen Resonanzelements liegenden Oberfläche des äußeren Gehäuseelements
ausgebildet, und durch diese Ausnehmung wird der Raum gebildet.
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Bei
noch einer weiteren bevorzugten Ausführungsform des piezoelektrischen
resonanten Bauelements der Erfindung ist die Oberfläche des
an dem piezoelektrischen Resonanzelement befestigten äußeren Gehäuseelements
eine ebene Fläche,
und die das piezoelektrische Resonanzelement mit dem äußeren Gehäuseelement
verbindende Klebstoffschicht ist so aufgebaut, daß der Raum
entsteht.
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Vorzugsweise
sollte das äußere Gehäuseelement
auch ein äußeres Substrat
in der Art einer flachen Platte sein, die auf beiden Seiten des
piezoelektrischen Resonanzelements aufgeschichtet sind.
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Bei
einer weiteren modifizierten bevorzugten Ausführungsform des piezoelektrischen
resonanten Bauelements der vorliegenden Erfindung umfaßt das äußere Gehäuseelement
ein äußeres Substrat
in der Art einer flachen Platte und ein einen Hohlraum bildendes äußeres Gehäuseelement,
das auf der Seite des äußeren Substrats
eine Öffnung
aufweist und von der Öffnungsseite
her mit dem äußeren Substrat verbunden
ist, wobei das piezoelektrische Resonanzelement an dem äußeren Substrat
oder dem einen Hohlraum bildenden äußeren Gehäuseelement befestigt ist und
in einem durch das äußere Substrat und
das einen Hohlraum bildende äußere Gehäuseelement
gebildeten Hohlraum eingeschlossen ist.
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Weitere
Merkmale, Elemente, Eigenschaften und Vorteile der vorliegenden
Erfindung werden aus der nun folgenden ausführlichen Beschreibung bevorzugter
Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung anhand der beigefügten Zeichnungen ersichtlich.
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1A ist eine perspektivische
Ansicht eines piezoelektrischen resonanten Bauelements gemäß einer
ersten bevorzugten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
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1B ist eine Schnittansicht
längs der
Linie A-A von 1A;
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2 ist eine Schnittansicht
des piezoelektrischen resonanten Bauelements der ersten bevorzugten
Ausführungsform
längs der
Linie G-G von 1A;
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3 ist eine perspektivische
Ansicht des bei der ersten bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung verwendeten piezoelektrischen Resonanzelements;
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4A ist eine perspektivische
Ansicht eines piezoelektrischen resonanten Bauelements gemäß einer
zweiten bevorzugten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
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4B ist eine Längsschnittansicht
des piezoelektrischen resonanten Bauelements von 4A;
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5 ist eine Längsschnittansicht
zur Veranschaulichung einer Modifikation des piezoelektrischen resonanten
Bauelements der zweiten bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung;
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6A und 6B sind perspektivische Ansichten zur
Veranschaulichung von Verfahren zur Herstellung des äußeren Substrats
bei der zweiten bevorzugten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
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7A ist eine Längsschnittansicht
eines piezoelektrischen resonanten Bauelements gemäß einer
dritten bevorzugten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
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7B ist eine teilweise aufgebrochene Schnittansicht,
in der ein Hauptabschnitt des piezoelektrischen resonanten Bauelements
von 7A vergrößert dargestellt
ist;
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8 ist eine auseinandergezogene
perspektivische Ansicht eines speziellen Beispiels eines piezoelektrischen
resonanten Bauelements, auf das verschiedene bevorzugte Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung anwendbar sind;
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9A und 9B sind eine perspektivische Ansicht
und eine seitliche Schnittansicht eines chipartigen piezoelektrischen
resonanten Bauelements gemäß einer
vierten bevorzugten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
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10A und 10B sind eine perspektivische Ansicht
und eine seitliche Schnittansicht zur Veranschaulichung eines chipartigen
piezoelektrischen resonanten Bauelements gemäß einer fünften bevorzugten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
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11A und 11B sind eine perspektivische Ansicht
und eine seitliche Schnittansicht des äußeren Erscheinungsbildes eines
chipartigen piezoelektrischen resonanten Bauelements gemäß einer sechsten
bevorzugten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
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12A ist eine perspektivische
Ansicht eines Beispiels eines herkömmlichen piezoelektrischen
resonanten Bauelements; und
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12B ist eine Schnittansicht
längs der
Linie A-A von 12A.
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Die
vorliegende Erfindung wird ersichtlich aus der folgenden Beschreibung
spezieller bevorzugter Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung anhand der Zeichnungen.
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1A ist eine perspektivische
Ansicht eines piezoelektrischen resonanten Bauelements gemäß der ersten
bevorzugten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung, 1B ist
eine Schnittansicht längs
der Linie F-F von 1A,
und 2 ist eine Schnittansicht
längs der
Linie G-G von 1A.
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Bei
einem chipartigen piezoelektrischen resonanten Bauelement 1 sind äußere Substrate 3 und 4,
die vorzugsweise durch im wesentlichen rechteckige Platten mit einer
im wesentlichen rechteckigen ebenen Konfiguration von ungefähr derselben
Größe gebildet
werden, von oben und von unten auf ein piezoelektrisches Resonanzelement 2 aufgeschichtet, das
im wesentlichen die Form einer rechteckigen Platte hat.
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Das
piezoelektrische Resonanzelement 2 ist vorzugsweise ein
energiespeicherndes piezoelektrisches Resonanzelement, das im Dickenlängsschwingungsmodus
arbeitet. Gemäß 3 hat das piezoelektrische
Resonanzelement 2 ein piezoelektrisches Substrat 5 mit
einer im wesentlichen rechteckigen plattenförmigen Konfiguration. Das piezoelektrische
Substrat 5 besteht vorzugsweise aus einer piezoelektrischen
Keramik, die in Dickenrichtung einer Polarisationsbehandlung unterzogen
wurde. Das piezoelektrische Substrat 5 kann jedoch durch
einen piezoelektrischen Einkristall wie zum Beispiel Quarz gebildet
werden. Eine erste Resonanzelektrode 6t ist ungefähr in der
Mitte der Oberseite des piezoelektrischen Substrats 5 vorgesehen.
Eine zweite Resonanzelektrode 7 ist unterhalb des piezoelektrischen Substrats 5 angeordnet,
so daß sich
die Ober- und Unterseite durch die erste Resonanzelektrode 6 und das
piezoelektrische Substrat 5 gegenüberliegen.
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Der
Abschnitt des Bauelements, in dem sich die Resonanzelektroden 6 und 7 durch
das piezoelektrische Substrat 5 gegenüberliegen, bildet den piezoelektrischen
Schwingungsabschnitt.
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Eine
Bleielektrode 8 ist in der Nähe der Resonanzelektrode 6 angeordnet,
und eine Bleielektrode 9 ist in der Nähe der Resonanzelektrode 7 angeordnet.
Die Bleielektroden 8 und 9 sind so angeordnet,
daß sie
bis zu beiden Seitenkanten im Bereich der Stirnflächen des
piezoelektrischen Substrats 5 reichen.
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Gemäß 1B wiederum ist eine Ausnehmung 3a in
der Unterseite des äußeren Substrats 3 ausgebildet.
Analog dazu ist eine Ausnehmung 4a in der Oberseite des äußeren Substrats 4 ausgebildet. Die
Ausnehmungen 3a und 4a sind zwecks Ausbildung
von Räumen 10 vorgesehen,
die die freie und ungehinderte Schwingung des piezoelektrischen Schwingungsabschnitts
ermöglichen.
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Die
Dicke der Abschnitte der äußeren Substrate 3 und 4,
in denen die Ausnehmungen 3a und 4a ausgebildet
sind, ist also relativ gering. Im folgenden werden die Abschnitte
der äußeren Substrate 3 und 4,
in denen die Ausnehmungen 3a und 4a ausgebildet
sind, als Raumbildungsabschnitte bezeichnet.
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Die
Ausnehmungen 3a und 4a sind in der Draufsicht
vorzugsweise im wesentlichen rechteckig. Die Ausnehmungen 3a und 4a können jedoch
auch eine andere Konfiguration haben, wie zum Beispiel eine in der
Draufsicht im wesentlichen kreisrunde Konfiguration.
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Die äußeren Substrate 3 und 4 bestehen
vorzugsweise aus einer isolierenden Keramik wie zum Beispiel Aluminiumoxid.
Die äußeren Substrate 3 und 4 sind über Klebstoffschichten 11a und 11b auf das
piezoelektrische Resonanzelement 2 aufgeschichtet und in
dieses integriert.
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Wie
oben beschrieben umfaßt
die resultierende Schichtstruktur 12 das piezoelektrische
Resonanzelement 2 und die äußeren Substrate 3 und 4. Äußere Elektroden 13 bis 15 und äußere Elektroden 16 bis 18 sind
auf den Seitenflächen
der Schichtstruktur 12 vorgesehen. Die äußeren Elektroden 13 bis 18 sind
so angeordnet, daß sie
nicht nur auf den Seitenflächen
der Schichtstruktur 12 verlaufen, sondern auch bis zur
Ober- und Unterseite derselben reichen.
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Die äußeren Elektroden 13 bis 18 werden vorzugsweise
hergestellt durch Aufbringen und Brennen einer leitenden Paste.
Es ist jedoch auch möglich,
daß die äußeren Elektroden 13 bis 18 durch
ein Verfahren zur Herstellung von Dünnschichten ausgebildet werden,
beispielsweise durch Aufdampfen, Galvanisieren oder Sputtern, oder
durch andere geeignete Verfahren. Ferner ist es auch möglich, daß die äußeren Elektroden 13 bis 18 mehrere
Elektrodenschichten umfassen, die aufeinandergeschichtet und zusammengefügt wurden.
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Bei
der vorliegenden bevorzugten Ausführungsform sind die äußeren Elektroden 13 und 16 mit der
Bleielektrode 8 des piezoelektrischen Resonanzelements 2 elektrisch
verbunden, und die äußeren Elektroden 15 und 18 sind
mit der Bleielektrode 9 elektrisch verbunden. Die äußeren Elektroden 14 und 17 sind
ferner zwecks Ausbildung von Kondensatoren zwischen den äußeren Elektroden 13 und 16 und
zwischen den äußeren Elektroden 15 und 18 vorgesehen.
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Einer
der Vorteile der vorliegenden bevorzugten Ausführungsform besteht darin, daß sich die äußeren Elektroden 13 bis 18 durch
die äußeren Substrate 3 und 4 nicht
mit den Räumen 10 überlappen.
Gemäß 1B sind zum Beispiel die
inneren Abschlußkanten 14a, 14b, 17a und 17b der
bis zur Ober- und Unterseite der Schichtstruktur 12 reichenden
Abschnitte der äußeren Elektroden 14 und 17 auf der
Außenseite
der in Breitenrichtung liegenden Abschlußkanten 10a und 10b der
Räume 10 der Schichtstruktur 12 positioniert.
Die äußeren Elektroden 14 und 17 überlappen
sich also durch die äußeren Substrate 3 und 4 nicht
mit den Räumen 10.
Analog dazu sind die äußeren Elektroden 13, 15, 16 und 18 so
angeordnet, daß sie
sich durch das äußere Substrat 3 oder
das äußere Substrat 4 nicht
mit den in Breitenrichtung der Schichtstruktur 12 liegenden Räumen überlappen.
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Ferner überlappen
sich die äußeren Elektroden 13, 15, 16 und 18 auch
in Längsrichtung
der Schichtstruktur 12 durch die äußeren Substrate 3 und 4 nicht
mit den Räumen 10 (siehe 2).
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Bei
der Fertigung des piezoelektrischen resonanten Bauelements 1 werden
die auf der Oberseite des piezoelektrischen Substrats 3 angeordneten Abschnitte
der äußeren Elektroden 13 bis 18 und
die auf der Unterseite des piezoelektrischen Substrats 4 vorgesehenen
Abschnitte derselben vorzugsweise zuerst ausgebildet. Danach werden
die piezoelektrischen Substrate 3 und 4 auf das
piezoelektrische Resonanzelement 2 aufgeschichtet und durch
die Klebstoffschichten 11a und 11b dar in integriert.
In der auf diese Weise erhaltenen Schichtstruktur 12 werden schließlich die
auf den Seitenflächen
der Schichtstruktur 12 angeordneten Abschnitte der äußeren Elektroden 13 bis 18 ausgebildet.
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Wenn
die äußeren Substrate 3 und 4 auf
das piezoelektrische Resonanzelement 2 aufgeschichtet und
mit diesem verklebt werden, wird die Schichtstruktur 12 also
in Dickenrichtung mit Druck beaufschlagt.
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Bei
dem herkömmlichen
piezoelektrischen resonanten Bauelement 101 wird bei dem
oben erwähnten
Beaufschlagen mit Druck zwischen den auf der Ober- und Unterseite
der Schichtstruktur positionierten Abschnitten der äußeren Elektroden 107 bis 109 und
den anderen Abschnitten der äußeren Substrate
eine Stufe erzeugt, so daß die
Druckkraft in den Abschnitten, wo die äußeren Elektroden 107 bis 109 ausgebildet
werden, groß ist.
Die äußeren Elektroden 107 bis 109 sind
dagegen vorzugsweise so angeordnet, daß sie bis zu den Positionen
reichen, wo sie sich mit den Räumen
B und C überlappen.
Somit können
in den Raumbildungsabschnitten der äußeren Substrate 102 und 103 leicht
Risse D und E erzeugt werden. Wie in 12B gezeigt,
können
also leicht Risse D und E entstehen.
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Bei
dem piezoelektrischen resonanten Bauelement 1 gemäß der ersten
bevorzugten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung sind dagegen die bis zur Oberseite des äußeren Substrats 3 und bis
zur Unterseite des äußeren Substrats 4 reichenden
Abschnitte der äußeren Elektroden 13 bis 18 so angeordnet,
daß sie
sich in Dickenrichtung nicht mit den Räumen 10 überlappen.
Die Druckkraft wird also nicht genügend auf die Abschnitte ausgeübt, in denen
die Räume 10 ausgebildet
sind, so daß selbst dann,
wenn die Dicke der äußeren Substrate 3 und 4 gering
ist und die Wandstärke
der Raumbildungsabschnitte gering ist, ein Bruch der äußeren Substrate 3 und 4 zuverlässig verhindert
werden kann.
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Infolge
der Verringerung der Dicke der äußeren Substrate 3 und 4,
auch im Hinblick auf die Verwerfung der äußeren Substrate 3 und 4 durch
die Kontraktion beim Brennen der leitenden Paste zum Zeitpunkt der
Ausbildung der äußeren Elektroden 13 bis 18,
sind darüberhinaus
die äußeren Elektroden nur
in den Abschnitten ausgebildet, wo die Wandstärke groß ist, so daß eine Verwerfung
der äußeren Substrate 3 und 4 verhindert
werden kann.
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Ferner
konzentriert sich die beim Montieren des schließlich erhaltenen piezoelektrischen
resonanten Bauelements 1 auf einer Leiterplatte oder einem
anderen Substrat ausgeübte
Spannung auf den Kapselungsabschnitt um die Räume 10 herum, so daß es leicht
zu einem Bruch der äußeren Substrate 3 und 4 infolge
der zum Zeitpunkt der Montage herrschenden Spannung kommen kann.
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Es
gibt zwar keine besondere Einschränkung hinsichtlich der Dicke
der äußeren Elektroden 13 bis 18,
doch sollte die Dicke wünschenswerterweise
ungefähr
5 μm bis
etwa 50 μm
betragen, wenn die Elektroden durch Aufbringen und Brennen einer
leitenden Paste ausgebildet werden. Wenn kein Läppen vorgenommen wird, bestehen
auf den Oberflächen
der äußeren Substrate 3 und 4 Oberflächenunebenheiten
von etwa 2 μm
bis etwa 5 μm.
Um solche Oberflächenunebenheiten
zu kompensieren, sollte also die Dicke der äußeren Elektroden 13 bis 18 nicht
weniger als etwa 5 μm
betragen. Wenn die Dicke der äußeren Elektroden 13 bis 18 zu
groß ist, steigen
ferner die Kosten für
die äußeren Elektroden 13 bis 18,
und beim Brennen kommt es leicht zu Verwerfungen in den äußeren Substraten 3 und 4.
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Wenn
die Dicke der äußeren Elektroden 13 bis 18 größer ist
als etwa 50 μm,
kann es ferner leicht zu Problemen wie zum Beispiel einer mangelnden Kompensation
kommen, wenn das piezoelektrische resonante Baulement 1 schließlich auf
der Leiterplatte montiert wird.
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Bei
dem piezoelektrischen Bauelement 1 der ersten bevorzugten
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung sind die äußeren Elektroden 13 bis 18 vorzugsweise
so angeordnet, daß sie
sich nicht mit den Räumen 10 auf
der Oberseite des äußeren Substrats 3 und
auf der Unterseite des äußeren Substrats 4 überlappen.
Wenn die äußeren Elektroden
jedoch so angeordnet sind, daß sie
sich in Dickenrichtung nicht mit den Räumen nur auf der Oberseite
des äußeren Substrats 3 oder
nur auf der Unterseite des äußeren Substrats 4 überlappen,
kann die auf den Raumbildungsabschnitt zum Zeitpunkt der Montage und
zum Zeitpunkt der Befestigung ausgeübte Druckkraft gemäß den verschiedenen
bevorzugten Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung reduziert werden. Es ist zwar wünschenswert,
daß die äußeren Elektroden 13 bis 18 so
angeordnet werden, daß sie
sich mit den Räumen
sowohl auf der Oberseite des äußeren Substrats 3 als
auch auf der Unterseite des äußeren Substrats 4 nicht überlappen,
doch ist es in einigen Fällen
möglich,
daß die äußeren Elektroden 13 bis 18 so
angeordnet werden, daß sie
sich nur mit den Räumen 10 auf
der Oberseite des äußeren Substrats 3 oder
nur mit den Räumen
auf der Unterseite des äußeren Substrats 4 nicht überlappen.
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4A ist eine perspektivische
Ansicht eines piezoelektrischen resonanten Bauelements gemäß einer
zweiten bevorzugten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung, und 4B ist
eine Schnittansicht längs
der Linie H-H von 4B.
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Bei
dem chipartigen piezoelektrischen resonanten Bauelement 21 der
zweiten bevorzugten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung wird ein piezoelektrisches Resonanzelement 2 verwendet,
das vorzugsweise dasselbe ist wie bei dem chipartigen piezoelektrischen
resonanten Bauelement 1. Hier sind ein äußeres Substrat 22 und
ein äußeres Substrat 23 jeweils
mit Hilfe von Klebstoffschichten (nicht dargestellt) auf die Ober-
und Unterseite des piezoelektrischen resonanten Bauelements 2 aufgeschichtet
und darin integriert.
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Eine
Ausnehmung 22a ist in der Oberseite des äußeren Substrats 22 ausgebildet,
und eine Ausnehmung 23a ist in der Unterseite des äußeren Substrats 23 ausgebildet.
Das heißt,
während
die äußeren Substrate 22 und 23 Ausnehmungen 22b und 23b zur
Ausbildung von Räumen 10 in
den Oberflächen
des piezoelektrischen Resonanzelements 2 aufweisen, sind
die Ausnehmungen 22a und 23a vorzugsweise auch
in den Außenseiten
ausgebildet, wenn die Substrate aufeinandergeschichtet sind.
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In
der Draufsicht ist die Größe der Ausnehmungen 22a und 23a dergestalt,
daß sie
die Räume 10 umfassen.
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Bei
dem piezoelektrischen resonanten Bauelement 21 sind äußere Elektroden 24 bis 26 so
angeordnet, daß sie
um die Oberseite, ein Paar Seitenflächen und die Unterseite der
Schichtstruktur mit dem piezoelektrischen Resonanzelement 2 und
um die äußeren Substrate 22 und 23 gewickelt
sind. Während
sich ferner die äußeren Elektroden 24 bis 26 bis zum
Inneren der Ausnehmung 22a auf der Oberfläche der
Schichtstruktur erstrecken, sind sie vorzugsweise auch auf dem rahmenartigen
Abschnitt 22c um die Ausnehmung 22a herum vorgesehen.
Analog dazu sind die äußeren Elektroden 24 bis 26 auch
auf der Unterseite der Schichtstruktur so angeordnet, daß sie nicht
nur bis ins Innere der Ausnehmung 23a reichen, sondern
auch bis zu dem rahmenartigen Abschnitt 23c um die Ausnehmung 23a.
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Zum
Zeitpunkt der Montage wird also eine große Druckkraft auf die rahmenartigen
Abschnitte 22c und 23c ausgeübt, und auf den übrigen Abschnitt wird
keine große
Druckkraft ausgeübt.
Wie bei der ersten bevorzugten Ausführungsform kann also ein Bruch
der äußeren Substrate 22 und 23 in
den Raumbildungsabschnitten verhindert werden. Ferner konzentriert
sich die schließlich
beim Montieren des chipartigen piezoelektrischen resonanten Bauelements 21 auf
der Leiterplatte herrschende Spannung auf den Abschnitt, wo die
rahmenartigen Abschnitte 22c und 23c ausgebildet
sind, so daß ein
Bruch der äußeren Substrate 22 und 23 zum
Zeitpunkt der Montage verhindert wird.
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Ferner
werden bei einem elektronischen Bauelement wie zum Beispiel einem
chipartigen piezoelektrischen resonanten Bauelement äußere Elektroden
oft durch elektrolytische Trommelgalvanisierung fertiggestellt.
Bei der Verringerung der Dicke der elektronischen Bauteile kann
es jedoch häufig
dazu kommen, daß die
Elektroden der elektronischen Bauelemente aneinanderkleben. Wenn
jedoch, wie bei der vorliegenden bevorzugten Ausführungsform,
die Ausnehmungen 22a und 23a und die rahmenartigen Abschnitte 22c und 23c in
den Außenseiten
des piezoelektrischen resonanten Bauelements 21 ausgebildet
sind, kommt es nicht ohne weiteres zu der durch die Oberflächenspannung
der Galvanisierflüssigkeit hervorgerufenen
Adhäsion.
Somit kann das oben erwähnte
Zusammenkleben der piezoelektrischen resonanten Bauelemente verhindert
werden.
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Bei
der zweiten bevorzugten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung ist es möglich, daß nur eine der Ausnehmungen 22a und 23a ausgebildet
wird. Während
der Bruch der äußeren Substrate 22 und 23 zwar
schlechter verhindert werden kann als bei der ersten bevorzugten
Ausführungsform, kann
auch in diesem Fall der Bruch der äußeren Substrate 22 und 23 gemäß der vorliegenden
Erfindung verhindert werden.
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Während bei
der zweiten bevorzugten Ausführungsform
die Ausnehmungen 22b und 23b vorzugsweise auf
der Innenseite der äußeren Substrate 22 und 23 ausgebildet
sind, um die Räume 10 zu
bilden, ist es gemäß 5 des weiteren auch möglich, äußere Substrate
mit flachen Innenseiten als äußere Substrate 22A und 23A zu
verwenden. In diesem Fall sind die das piezoelektrische Resonanzelement 2 mit den äußeren Substraten 22A und 23A verbindenden Klebstoffschichten 11a und 11b dick
ausgelegt, um dadurch die Räume 10 zu
bilden. Auch bei der oben beschriebenen ersten bevorzugten Ausführungsform ist
es möglich, äußere Substrate 3 und 4 in
der Art flacher Platten mit flachen Innenseiten zu verwenden und
die Klebstoffschichten 11a und 11b dick auszulegen,
um dadurch die Räume 10 zu
bilden.
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Bei
der zweiten bevorzugten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung erhält
man bei der Herstellung des äußeren Substrats 22 vorzugsweise einen
im wesentlichen rechteckigen plattenartigen Keramikgrünling zur
Herstellung des äußeren Substrats 22.
Gemäß 6A werden als nächstes leitende Pasten 28 bis 30 zur
Ausbildung der äußeren Elektroden
auf die Oberseite des Keramikgrünlings 27 aufgebracht.
Danach wird gemäß 6B die Ausnehmung 22a durch
Stanzen hergestellt. Obwohl dies in 6B nicht
deutlich wird, wird bei diesem Verfahren auch eine Ausnehmung zur
Bildung des Raumes 10 auf der Unterseite ausgebildet. Nach
Ausbildung der Ausnehmungen wird anschließend der Keramikgrünling ge brannt,
und gleichzeitig werden die leitenden Pasten 28 bis 30 gebrannt.
Auf diese Weise wird nach dem Aufbringen der leitenden Pasten 28 bis 30 die
Ausnehmung 22a geformt, und danach werden der Keramikgrünling 27 und
die äußeren Elektroden gleichzeitig
gebrannt, wodurch es möglich
ist, die Genauigkeit der Herstellung der bis zu der Ausnehmung 22a reichenden äußeren Elektroden 24 bis 26 zu
verbessern.
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Hinsichtlich
der Tiefe der Ausnehmung 22a gibt es keine besondere Einschränkung. Die
Tiefe sollte jedoch nicht mehr als etwa 50 μm betragen. Wenn die Tiefe der
Ausnehmung 22a größer ist
als ungefähr
50 μm, ist
zu befürchten,
daß es
zu Problemen wie zum Beispiel einer mangelnden Kompensation kommt,
wenn das piezoelektrische resonante Bauelement 21 schließlich montiert
wird.
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Um
eine Verringerung der Dicke des piezoelektrischen resonanten Bauelements 21 zu
erreichen, sollte außerdem
die Tiefe der Ausnehmung 22a gering sein.
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7A ist eine Schnittansicht
eines piezoelektrischen resonanten Bauelements gemäß einer dritten
bevorzugten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung, und 7B ist
eine teilweise aufgebrochene Schnittansicht, in der ein Hauptabschnitt des
Bauelements vergrößert dargestellt
ist. Bei dem chipartigen piezoelektrischen resonanten Bauelement 31 der
dritten bevorzugten Ausführungsform wird
das piezoelektrische Resonanzelement 2 ähnlich wie bei der ersten und
zweiten bevorzugten Ausführungsform
verwendet. Die vorliegende bevorzugte Ausführungsform unterscheidet sich
von der ersten bevorzugten Ausführungsform
darin, daß die äußeren Substrate 32 und 33 in
dem Raumbildungsabschnitt zu dem piezoelektrischen Resonanzelement 2 hin
gebogen sind. Das heißt,
in dem Raumbildungsabschnitt sind die äußeren Substrate 32 und 33 so
gebogen, daß sie
in Richtung zu dem piezoelektrischen Resonanzelement 2 vorspringen.
In dem Kapselungsabschnitt um den Raumbildungsabschnitt herum sind
die Ober- und Unterseite der äußeren Substrate 32 und 33 ebene
Flächen.
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In
den gebogenen Abschnitten 32a und 33a sind die
Außenseiten
der äußeren Substrate 32 und 33 also
vorzugsweise konkav. Wenn bei dem piezoelektrischen Resonanzelement 2 die äußeren Substrate 32 und 33 zusammengeklebt
und in Dickenrichtung mit Druck beaufschlagt werden, wird als die Druckkraft
bei der Montage nicht auf die gebogenen Abschnitte 32a und 33a ausgeübt, sondern
auf den sie umgebenden Kapselungsabschnitt konzentriert. Somit kann
ein Bruch der äußeren Substrate 32 und 33 in
den dünnen
gebogenen Abschnitten 32a und 33a dort, wo die
Räume 10 gebildet
werden, zuverlässig
verhindert werden. Ferner konzentriert sich die beim Montieren des
piezoelektrischen resonanten Bauelements 31 auf der Leiterplatte
entstehende Spannung auf den Kapselungsabschnitt, wie oben beschrieben,
so daß ein
Bruch der äußeren Substrate 32 und 33 in
den gebogenen Abschnitten 32a und 33a zuverlässig verhindert
werden kann.
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Wie
bei den piezoelektrischen resonanten Bauelementen 1 und 21 der
ersten und zweiten bevorzugten Ausführungsform ist es also auch
bei dem piezoelektrischen resonanten Bauelement 31 möglich, eine
Verringerung der Dicke der äußeren Substrate 32 und 33 und
damit eine Verringerung der Dicke des piezoelektrischen resonanten
Bauelements 31 zu erreichen.
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Ferner
sind bei den gebogenen Abschnitten 32a und 33a die
Innenseiten der äußeren Substrate 32 und 33 ebenfalls
vorzugsweise gebogen. Wenn die äußeren Substrate 32 und 33 über die
Klebstoffschichten 11a und 11b auf das piezoelektrische
Resonanzelement 2 geklebt werden, sammelt sich somit gemäß 7B überschüssiger Klebstoff im Bereich
der Abschlußkanten 10a und 10b der
Räume 10 an,
weil die Dicke der Räume 10 auf
der dem Kapselungsabschnitt näher
gelegenen Seite groß ist,
und der Klebstoff nicht ohne weiteres zur Seite des piezoelektrischen
Schwingungsabschnitts durchsickert. Es ist also auch möglich, eine
Verschlechterung der Eigenschaften des Bauelements zu verhindern,
wobei diese Verschlechterung darauf zurückzuführen ist, daß der Klebstoff
zur Seite des piezoelektrischen Schwingungsabschnitts durchsickert.
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Wie
bei der ersten bevorzugten Ausführungsform
erstrecken sich bei der dritten bevorzugten Ausführungsform die äußeren Elektroden 13 bis 18 (siehe 1) von der Seitenfläche zur
Ober- und Unterseite der Schichtstruktur. Wie bei der zweiten bevorzugten
Ausführungsform
können
die äußeren Elektroden 13 bis 18 jedoch
auch so angeordnet werden, daß sie
um die zwei Seitenflächen,
die Ober- und die Unterseite der Schichtstruktur mit dem piezoelektrischen
Resonanzelement 2 und um die äußeren Substrate 32 und 33 gewickelt
sind.
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Analog
dazu können
bei der oben beschriebenen zweiten bevorzugten Ausführungsform
auch anstelle der äußeren Elektroden 24 bis 26 äußere Elektroden ähnlich den äußeren Elektroden 13 bis 18 der
ersten bevorzugten Ausführungsform
gebildet werden.
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Während die äußeren Substrate
bei der ersten bis dritten bevorzugten Ausführungsform vorzugsweise auf
die Hauptflächen
des piezoelektrischen Resonanzelements aufgeschichtet sind, ist das
piezoelektrische resonante Bauelement der vorliegenden Erfindung
nicht auf diesen Aufbau beschränkt. 8 ist eine auseinandergezogene
perspektivische Ansicht eines weiteren Beispiels eines piezoelektrischen
resonanten Bauelements, auf das bevorzugte Ausführungsformen der vorliegenden
Erfindung anwendbar sind. Bei der in 8 dargestellten
Konstruktion sind eine im wesentlichen rechteckige rahmenartige
Abstandsschicht 41 und äußere Substratschichten 42 bis 44 über dem
piezoelektrischen Resonanzelement 2 angeordnet, so daß sie den
Raum 10 bilden. Die Abstandsschicht 41 und die äußeren Substratschichten 42 bis 44 können aus demselben
Keramikmaterial oder aus unterschiedlichen Keramikmaterialien hergestellt
sein. Nachdem die Abstandsschicht 41 und die äußeren Substratschichten 42 bis 44 aufeinandergeschichtet
und integriert wurden, wird das Brennen durchgeführt, wodurch ein äußeres Substrat
als das oben beschriebene äußere Gehäuseelement
gebildet wird.
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Auf
der Oberseite der äußeren Substratschicht 44 werden äußere Elektroden 45a bis 45f vorzugsweise
zuvor ausgebildet, wie bei der ersten bevorzugten Ausführungsform.
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Ferner
werden unter dem piezoelektrischen Resonanzelement 2 die
Abstandsschicht 51 und die äußeren Substratschichten 53 und 54 aufgeschichtet.
Die äußeren Substratschichten 53 und 54 bestehen
jedoch vorzugsweise aus einer dielektrischen rohen Keramikschicht,
um den Kondensator zu bilden. Zwischen den äußeren Substratschichten 52 und 53 ist
außerdem
eine gemeinsame Elektrode 55 zur Bildung des Kondensators
vorgesehen. Ferner sind zwischen den äußeren Substratschichten 53 und 54 Kapazitätselektroden 56 und 57 vorgesehen,
um den Kondensator zu bilden. Ferner wird eine leitende Paste auf
die Unterseite der äußeren Substratschicht 54 aufgebracht,
und äußere Elektroden 58a bis 58c werden
vorzugsweise zuvor ausgebildet. In dem Abschnitt unter dem piezoelektrischen
Resonanzelement 2 werden die Abstandsschicht 51 und
die äußeren Substratschichten 52 bis 54 aufeinandergeschichtet
und integriert, um das äußere Substrat
zu bilden.
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Nachdem
der in 8 gezeigte Aufbau
aufgeschichtet und integriert wurde, werden äußere Elektroden auf der Seitenfläche der
Schichtstruktur wie bei der ersten bevorzugten Ausführungsform ausgebildet,
wodurch man ohne weiteres einen eingebauten piezoelektrischen kapazitiven
Resonator erhalten kann.
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Während bei
der oben gezeigten ersten bis dritten bevorzugten Ausführungsform
plattenartige äußere Substrate
oben und unten auf das piezoelektrische Resonanzelement aufgeschichtet
werden, ist die vorliegende Erfindung nicht auf diesen Aufbau beschränkt.
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Bei
dem in 9A und 9B gezeigten chipartigen
piezoelektrischen resonanten Bauelement 61 gemäß der vierten
bevorzugten Ausführungsform
ist zum Beispiel das piezoelektrische Resonanzelement 2 an
der Oberseite eines einen Hohlraum bildenden äußeren Gehäuseelements 63 mit
einer nach oben offenen Öffnung
mit Hilfe eines Klebstoffs 64 befestigt. Infolge der Dicke
des Klebstoffs 64 wird ein Raum 65 zur Ermöglichung
einer freien und ungehinderten Schwingung des piezoelektrischen
Schwingungsabschnitts zwischen dem piezoelektrischen Resonanzelement 2 und
der Oberseite des äußeren Gehäuseelements 63 ausgebildet.
Fer ner ist ein äußeres Substrat 62 so
verbunden, daß es
das äußere Gehäuseelement 63 abschließt. Ein
Kapselungsraum 67 wird durch das äußere Gehäuseelement 63 und
das äußere Substrat 62 gebildet,
wobei das piezoelektrische Resonanzelement 2 in dem Kapselungsraum 67 eingeschlossen
ist. Durch den Kapselungsraum 67 wird ein Raum zur Ermöglichung
einer freien und ungehinderten Schwingung auch über dem piezoelektrischen Resonanzelement 2 gebildet.
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Äußere Elektroden 69a bis 69h sind
so angeordnet, daß sie
sich von der Seitenfläche
der durch das äußere Substrat 62 und
das einen Hohlraum bildende äußere Gehäuse 63 gebildeten
Schichtstruktur 68 zur Ober- und Unterseite derselben erstrecken. Die äußeren Elektroden 69a bis 69f sind
so angeordnet, daß sie
sich durch das äußere Substrat 62 und das
einen Hohlraum bildende äußere Gehäuseelement 63 nicht
mit dem durch den Kapselungsraum 67 in Dickenrichtung gebildeten
Raum überlappen. Wenn
das äußere Substrat 62 und
das einen Hohlraum bildende äußere Gehäuseelement 63 aufeinandergeschichtet
und gecrimpt werden, konzentriert sich also wie bei der ersten bevorzugten
Ausführungsform
die Druckkraft um den Kapselungsraum 67 herum, so daß es in
dem äußeren Substrat 62 und in
den Abschnitten über
und unter dem Kapselungsraum 67 nicht ohne weiteres zum
Bruch kommt. Somit ist es möglich,
eine Verringerung in der Dicke des äußeren Substrats 62 und
in der Dicke des unter dem Kapselungsraum 67 des einen
Hohlraum bildenden äußeren Gehäuseelements 63 befindlichen
Abschnitts zu erreichen, so daß eine
Verringerung der Dicke des chipartigen piezoelektrischen resonanten Bauelements 61 erreicht
werden kann.
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10A und 10B sind eine perspektivische Ansicht
und eine Querschnittsansicht eines chipartigen piezoelektrischen
resonanten Bauelements gemäß der fünften bevorzugten
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung. Bei dem chipartigen piezoelektrischen
resonanten Bauelement 71 der vorliegenden bevorzugten Ausführungsform
ist das äußere Substrat 72 wie
bei der dritten bevorzugten Ausführungsform
in Richtung zu dem piezoelektrischen Resonanzelement 2 in
dem dem Raum dort entsprechenden Kapselungsraum 77 gebogen.
Ferner ist das einen Hohlraum bildende äußere Gehäuseelement 73 ebenfalls
in Richtung zu der Seite des piezoelektrischen Resonanzelements 2 in
dem dem Kapselungsraum 77 gegenüberliegenden Abschnitt gebogen.
Selbst wenn die äußeren Elektroden 79a bis 79c so
angeordnet sind, daß sie
wie bei der zweiten bevorzugten Ausführungsform bis zur Oberseite,
den beiden Seitenflächen
und der Unterseite der Schichtstruktur reichen, wenn das äußere Substrat 72 auf
das einen Hohlraum bildende äußere Gehäuseelement 73 geschichtet
und auf dieses gecrimpt wird, wirkt die Druckkraft nicht auf den
dem Kapselungsraum 77 gegenüberliegenden Abschnitt, sondern
konzentriert sich auf den Kapselungsabschnitt um den Kapselungsraum 77 herum.
Wie bei der dritten bevorzugten Ausführungsform ist es also möglich, eine
Verringerung in der Dicke des äußeren Substrats 72 und
des einen Hohlraum bildenden äußeren Gehäuseelements 73 zu
erreichen.
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Während bei
der vierten und fünften
bevorzugten Ausführungsform
die Konfiguration der einen Hohlraum bildenden äußeren Gehäuseelemente 63 und 73 in
der Draufsicht dieselbe ist wie die Konfiguration der äußeren Substrate 62 und 72 in
der Draufsicht, ist es auch möglich,
daß die
Größe des einen Hohlraum
bildenden äußeren Gehäuselements
kleiner ist als die Größe des äußeren Substrats.
Das heißt,
wie im Falle des in 11 gezeigten
chipartigen piezoelektrischen resonanten Bauelements 81 ist
es möglich,
ein einen Hohlraum bildendes äußeres Gehäuseelement 83 anzufügen, das
kleiner ist als das äußere Substrat 82.
In diesem Fall wird das piezoelektrische Resonanzelement 2 an
dem äußeren Substrat 82 befestigt.
Außerdem
wird das einen Hohlraum bildende äußere Gehäuseelement 83 so an
der Oberseite des äußeren Substrats 82 befestigt, daß es das
piezoelektrische Resonanzelement 2 umgibt. Das heißt, das
einen Hohlraum bildende äußere Gehäuseelement 83 ist
ein der Kappe eines herkömmlichen
wohlbekannten piezoelektrischen Resonanzelements mit Abschlußkappe entsprechendes Element.
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Auch
in diesem Fall, wie bei der in 10 gezeigten
bevorzugten Ausführungsform,
wird durch Biegen der Oberseite des einen Hohlraum bildenden äußeren Gehäuseelements 83 in
Richtung zur Seite des piezoelektrischen Resonanzelements 2 dieses mit
dem äußeren Substrat 82 des
einen Hohlraum bildenden äußeren Gehäuseelements 83 verbunden, und
ein Bruch des dem Kapselungsraum 85 gegenüber liegenden
Abschnitts des einen Hohlraum bildenden äußeren Gehäuseelements 83 während des Crimpens
kann zuverlässig
verhindert werden. Somit ist es möglich, die Dicke des einen
Hohlraum bildenden äußeren Gehäuseelements 83 zu
verringern, wodurch eine Verringerung der Dicke des chipartigen piezoelektrischen
resonanten Bauelements 81 erreicht werden kann.
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Bei
dem piezoelektrischen resonanten Bauelement verschiedener bevorzugter
Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung sind mehrere äußere Elektroden so angeordnet,
daß sie
sich nicht mit dem Raum überlappen,
der durch das äußere Gehäuseelement
eine freie und ungehinderte Schwingung des piezoelektrischen Resonanzelements
ermöglicht,
so daß selbst
dann, wenn das äußere Gehäuseelement
bei der Montage auf das piezoelektrische resonante Bauelement gecrimpt
wird, kein großer
Druck auf das äußere Gehäuseelement
in dem Raumbildungsabschnitt ausgeübt wird, so daß ein Bruch
des äußeren Gehäuseelements
verhindert werden kann. Analog dazu wird auch bei der Montage des
piezoelektrischen resonanten Bauelements auf einer Leiterplatte
oder einem anderen Substrat die bei der Montage entstehende Spannung
nicht auf den dem Raum gegenüberliegenden
Abschnitt des äußeren Gehäuseelements
ausgeübt,
so daß ein Bruch
des äußeren Gehäuseelements
wirksam verhindert werden kann.
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Somit
ist es möglich,
die Dicke des äußeren Gehäuseelements
zu verringern und ein dünnes
piezoelektrisches resonantes Bauelement bereitzustellen, ohne Defekte
zu riskieren.
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Bei
der Konstruktion, wo in der Oberfläche auf der entgegengesetzten
Seite der Oberfläche
des äußeren Gehäuseelements,
das so an dem piezoelektrischen Resonanzelement befestigt ist, daß es dem
Raum gegenüberliegt,
eine Ausnehmung ausgebildet ist, wird beim Montieren durch Crimpen
des äußeren Gehäuseelements
auf das piezoelektrische Resonanzelement und beim Montieren des
piezoelektrischen Resonanzelements auf die Leiterplatte kein Druck
auf die dem Raum gegenüberliegende Ausnehmung
ausgeübt,
so daß ein
Bruch des äußeren Gehäuseelements
wirksam verhindert werden kann. Somit ist es möglich, die Dicke des äußeren Gehäuseelements
stark zu verringern und eine Verringerung der Dicke des piezoelektrischen
resonanten Bauelements zu erreichen.
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Im
Falle einer Konstruktion, wo die dem Raum gegenüberliegend angeordnete Ausnehmung dadurch
gebildet wird, daß das äußere Gehäuseelement
in Richtung zur Seite des piezoelektrischen Resonanzelements gebogen
wird, ist die Größe in Dickenrichtung
an den Abschlußkanten
des Raumes groß,
und wenn zum Beispiel das äußere Gehäuseelement
mit einem Klebstoff an dem piezoelektrischen Resonanzelement festgeklebt
ist, kann das Durchsickern des Klebstoffs zur Seite des piezoelektrischen Schwingungsabschnitts
wirksam verhindert werden, so daß es möglich wird, eine Verschlechterung
der Eigenschaften des piezoelektrischen Resonanzabschnitts zu verhindern
und die Stabilität
eines piezoelektrischen resonanten Bauelements stark zu verbessern.
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Wenn
eine Ausnehmung in der Oberfläche des äußeren Gehäuseelements
auf der Seite des piezoelektrischen Resonanzelements ausgebildet
ist und durch die Ausnehmung ein Raum gebildet wird, kann eine Ausnehmung,
die eine freie und ungehinderte Schwingung des piezoelektrischen
Schwingungsabschnitts ermöglicht,
allein durch Befestigen des äußeren Gehäuseelements
an dem piezoelektrischen Resonanzelement gebildet werden.
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Wenn
die Oberfläche
des an dem piezoelektrischen Resonanzelement befestigten äußeren Gehäuseelements
eine ebene Fläche
ist und der die Schwingung ermöglichende
Raum durch eine Klebstoffschicht gebildet wird, kann ferner ein
kostengünstiges
flaches äußeres Gehäuseelement
verwendet werden, so daß die
Kosten des piezoelektrischen resonanten Bauelements herabgesetzt
werden können.
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Bei
der Konstruktion, wo das äußere Gehäuseelement
ein flaches äußeres Substrat
ist, und wo zwei äußere Substrate
auf beiden Seiten des piezoelektrischen Resonanzelements aufgeschichtet
sind, sind gemäß bevorzugten
Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung auf wenigstens einem der äußeren Substrate
die Vielzahl von äußeren Elektroden
angeordnet, so daß sie
sich durch das äußere Ge häuse nicht
mit dem Raum überlappen,
und in der Oberfläche
des an dem piezoelektrischen Resonanzelement befestigten äußeren Gehäuses ist
eine Ausnehmung dem Raum gegenüberliegend
ausgebildet, wodurch es möglich
ist, ein kostengünstiges geschichtetes
piezoelektrisches resonantes Bauelement bereitzustellen, und es
möglich
ist, die Dicke des piezoelektrischen resonanten Bauelements wirksam
zu verringern.
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Bei
der Konstruktion, wo das äußere Gehäuseelement
ein flaches äußeres Substrat
und ein einen Hohlraum bildendes äußeres Gehäuseelement aufweist, und wo
das piezoelektrische Resonanzelement an dem äußeren Substrat oder an dem
einen Hohlraum bildenden äußeren Gehäuseelement
befestigt ist und in dem durch das äußere Substrat und das einen
Hohlraum bildende äußere Gehäuseelement
eingeschlossen ist, kann gemäß bevorzugten Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung ein Bruch der Abschnitte des äußeren Substrats
und des einen Hohlraum bildenden äußeren Gehäuseelements, das dem Raum in
dem piezoelektrischen resonanten Bauelement mit einem Hohlraum und
mit einer Abdeckkappe gegenüberliegt,
wirksam verhindert werden, und es kann effektiv eine Verringerung der
Dicke erreicht werden.