DE10106699A1 - Berührungssensor und Vorrichtung zum Schutz eines hervorstehenden Bauteils - Google Patents

Berührungssensor und Vorrichtung zum Schutz eines hervorstehenden Bauteils

Info

Publication number
DE10106699A1
DE10106699A1 DE10106699A DE10106699A DE10106699A1 DE 10106699 A1 DE10106699 A1 DE 10106699A1 DE 10106699 A DE10106699 A DE 10106699A DE 10106699 A DE10106699 A DE 10106699A DE 10106699 A1 DE10106699 A1 DE 10106699A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
touch sensor
receiving
emission surface
emission
housing part
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE10106699A
Other languages
English (en)
Other versions
DE10106699C2 (de
Inventor
Ulrich Kaczynski
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Leica Microsystems CMS GmbH
Original Assignee
Leica Microsystems Wetzlar GmbH
Leica Microsystems CMS GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leica Microsystems Wetzlar GmbH, Leica Microsystems CMS GmbH filed Critical Leica Microsystems Wetzlar GmbH
Priority to DE10106699A priority Critical patent/DE10106699C2/de
Priority to EP01128943A priority patent/EP1233515A3/de
Priority to US10/046,273 priority patent/US6960755B2/en
Priority to JP2002036617A priority patent/JP2002257515A/ja
Publication of DE10106699A1 publication Critical patent/DE10106699A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE10106699C2 publication Critical patent/DE10106699C2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03K—PULSE TECHNIQUE
    • H03K17/00—Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking
    • H03K17/94—Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the way in which the control signals are generated
    • H03K17/96—Touch switches
    • H03K17/9627—Optical touch switches
    • H03K17/9638—Optical touch switches using a light guide
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03K—PULSE TECHNIQUE
    • H03K17/00—Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking
    • H03K17/94—Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the way in which the control signals are generated
    • H03K17/96—Touch switches
    • H03K17/9627—Optical touch switches

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Switches Operated By Changes In Physical Conditions (AREA)

Abstract

Die Erfindung offenbart einen Berührungssensor (1) mit einem gegenüber einem ortsfesten Gehäuseteil (79) beabstandeten und beweglich angeordneten Anschlagelement (3), einem Detektionssystem, das eine Lichtquelle (39) mit einer kleinen Emissionsfläche (23) und ein gegenüber der Emissionsfläche (23) der Lichtquelle (39) angeordnetes Empfangselement (25) beinhaltet, das eine Empfangsfläche (27) definiert, dadurch gekennzeichnet, dass die Empfangsfläche (27) und die Emissionsfläche (23) im Wesentlichen gleiche Größe aufweisen.

Description

Die Erfindung betrifft einen Berührungssensor und eine Vorrichtung zum Schutz eines hervorstehenden Bauteils.
Vorrichtungen, die die Annäherung eines bewegten Bauteils an umgebende Bauteile detektieren, um eine bevorstehende Kollision, die die Bauteile beschädigen könnte, zu vermeiden sind weithin bekannt. Als aller einfachste Ausführung können Tastschalter verwendet werden, die in vielen Bauformen erhältlich sind.
Aus DE 42 34 375 ist eine Vorrichtung zur Personen- und Kollisionssicherung von fahrerlosen Gabelhubfahrzeugen bekannt, die zwischen den Zinkenspitzen der Hubgabel eine Lichtschranke aufweist.
Die Offenlegungsschrift DE 37 00 009 A1 offenbart eine optoelektronische Schutzzonenvorrichtung zur Sicherung von bewegten oder festen Objekten vor unsachgemäßer Berührung oder Kollision. Hierbei wird ein optoelektronischer Abstandssensor eingesetzt, der einen Lichtstrahl über einen einstellbaren Winkelbereich schwenkt. Durch Feststellen der Fleckgröße des Lichtstrahles auf umliegenden Objekten, wird auf den Abstand geschlossen und bei Unterschreiten eines Sicherheitsabstandes ein Signal ausgegeben.
Die Bekannten Vorrichtungen haben den Nachteil, dass sie zunächst nur relative Annäherungen aus einer Richtung erfassen können. Erst durch Schwenken der Anordnung oder durch den Einsatz mehrerer für verschiedene Richtungen ausgerichteter Vorrichtungen kann eine Annäherung aus verschiedenen Richtungen erfasst werden.
Insbesondere, wenn ein zusätzliches schwenken oder eine aufwendige Erfassung und Auswertung von Messwerten, wie beispielsweise die Bestimmung einer Lichtfleckgröße, erforderlich ist, kommt es zu Schaltverzögerungen, während denen sich die unerwünschte Annäherung fortsetzt.
Tastschalter können derart ausgestaltet sein, dass sie kurze Schaltwege aufweisen. Sie haben jedoch den bereits erwähnten Nachteil, dass sie nur Annäherungen aus einer Richtung erfassen. Ferner tragen Tastschalter baulich im Vergleich zum Schaltweg genau in dieser Richtung sehr stark auf. Insbesondere wenn für alle Raumrichtungen Tastschalter eingesetzt werden müssen, ist der Bewegungsfreiraum stark eingeschränkt oder muss zusätzlicher Raum vorgesehen sein.
In einer höchstgenauen Koordinaten-Messmaschine wird ein sehr schwerer, auf einem Luftlager gleitender, x/y-Messtisch aus Cerodur, der ein Objekt trägt, dessen Strukturen vermessen werden sollen, mit einer Genauigkeit von wenigen Nanometern verschoben. Mit einer solchen Messmaschine können zum Beispiel Strukturbreiten oder Strukturabstände einer Maske zur Waferbelichtung bestimmt werden. Die relative Position des x/y-Messtisches wird dabei interferometrisch gemessen. Oberhalb des Objektes ist ein Objektiv und unterhalb des Objektes ein Kondensor angeordnet. Das Objekt kann sowohl in Auflicht-, als auch in Durchlichtanordnung mikroskopisch untersucht werden. Zum Schutz von hervorstehenden Bauteilen insbesondere vor der Kollision mit dem schweren x/y-Messtisch, müssen Berührungssensoren implementiert werden.
Die Komponenten einer solchen höchstgenauen Koordinaten-Messmaschine sind aus sehr teurem und schwer zu bearbeitendem Material hergestellt. Die Komponenten, insbesondere der Messtisch, sollen daher nicht größer als nötig ausfallen. Auch mit Hinblick auf den teuren Reinraumplatz, auf dem solche Messmaschinen installiert werden, muss eine platzsparende Ausgestaltung gewählt werden. Der Einsatz von viel Bauraum in Anspruch nehmenden Berührungssensoren oder Tastschaltern ist vor diesem Hintergrund nachteilig.
Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Berührungssensor 4 anzugeben, bei dem die aufgezeigten Probleme zumindest weitgehend vermieden sind.
Obige Aufgabe wird gelöst durch einen Berührungssensor mit einem gegenüber einem ortsfesten Gehäuseteil beabstandeten und beweglich angeordneten Anschlagelement, einem Detektionssystem, das eine Lichtquelle mit einer Emissionsfläche und ein gegenüber der Emissionsfläche der Lichtquelle angeordnetes Empfangselement beinhaltet, das eine Empfangsfläche definiert, wobei die Empfangsfläche und die Emissionsfläche im Wesentlichen gleiche Größe aufweisen.
Es ist außerdem Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung zum Schutz eines hervorstehenden Bauteils zu schaffen, die die beschriebenen Probleme vermeidet bzw. löst und darüber hinaus schnell arbeitet und zuverlässig ist.
Vorstehende Aufgabe wird gelöst durch eine Vorrichtung, die gekennzeichnet ist durch ein ortsfestes Gehäuseteil mit dem das hervorstehende Bauteil verbunden ist, ein gegenüber dem ortsfesten Gehäuseteil beabstandeten und beweglich angeordneten Anschlagelement, ein Detektionssystem, das eine Lichtquelle mit einer Emissionsfläche und ein gegenüber der Emissionsfläche der Lichtquelle angeordnetes Empfangselement beinhaltet, das eine Empfangsfläche definiert, wobei die Empfangsfläche und die Emissionsfläche im Wesentlichen gleiche Größe aufweisen.
Der erfindungsgemäße Berührungssensor hat den Vorteil, dass Berührungen aus verschiedenen Richtungen ohne großen apparativen Aufwand, wie Schwenken oder duplizieren des Sensors, detektiert werden.
Der Berührungssensor ist vorzugsweise derart ausgestaltet, dass schon bei sehr kleinen Verschiebungen des Anschlagelements der Lichtweg zwischen der Emissionsfläche und der Empfangsfläche unterbrochen wird. Hierzu sind die Emissionsfläche und die Empfangsfläche möglichst klein ausgeführt. Die Länge des Schaltweges liegt dann im Bereich des Durchmessers von Emissionsfläche bzw. Empfangsfläche. In einer ganz besonders bevorzugten Ausgestaltungsform ist die Emissionsfläche durch das Ende mindestens einer Lichtleitfaser definiert. Die Lichtleitfaser transportiert gleichzeitig das Licht der Lichtquelle. Auch die Verwendung eines Lichtleitfaserbündels ist möglich, wobei dann die Austrittsflächen der einzelnen Lichtleitfasern des Lichtleitfaserbündels die Emissionsfläche definieren.
In einer einfachen Ausführung des erfindungsgemäßen Berührungssensors ist der Empfangsfläche ein Intensitätssensor zugeordnet. Hierbei kann es sich beispielsweise um einen Halbleiterdetektor, eine Photodiode oder einen Photomultiplier handeln. Zwischen der Empfangsfläche und dem Intensitätssensor kann eine weitere Lichtleitfaser oder ein weiteres Lichtleitfaserbündel angeordnet sein. Die Lichtquelle kann beispielsweise ein Laser, eine Leuchtdiode oder eine Glühlampe sein. Bevorzugter Weise wird ein Halbleiterlaser verwendet.
In einer besonderen Ausgestaltungsform ist die Empfangsfläche eine Reflexionsfläche, die das von der Emissionsfläche ausgesendete Licht auf mindestens eine weitere Emissionsfläche richtet, die durch den Querschnitt einer Lichtleitfaser definiert ist. Diese Lichtleitfaser transportiert das Licht zu dem Intensitätssensor.
Das Anschlagelement kann auf verschiedene Arten beweglich mit dem Gehäuseteil verbunden sein. Vorzugsweise weist die Verbindung einen oder mehrere elastisch biegbare Stäbe auf. Der Stab ist bevorzugter Weise über eine Grundplatte mit dem Gehäuseteil verbunden, was die Montierbarkeit des Berührungssensors erleichtert.
Das Anschlagelement, die Grundplatte und deren Verbindung, beispielsweise der mindestens eine Stab, sowie das Empfangselement können zusammen einstückig gefertigt sein. In einer weiter bevorzugten Ausführungsform ist die Lichtquelle an der Grundplatte befestigt.
Vorzugsweise sind die Empfangsfläche und die Emissionsfläche unmittelbar übereinander angeordnet. Da das aus einem Lichtleitfaserende austretende Lichtbündel sehr divergent ist, ist es zur Vermeidung von Lichtverlusten vorteilhaft, den Berührungssensor so auszugestalten, dass der Lichtweg zwischen Empfangsfläche und Emissionsfläche kleiner als der Querschnitt der Emissionsfläche ist. Stattdessen kann jedoch auch zwischen Empfangsfläche und Emissionsfläche eine Optik angeordnet sein, die beispielsweise das von der Emissionsfläche ausgehende Licht auf die Empfangsfläche fokussiert.
Der Intensitätssensor erzeugt ein zur Leistung des auf die Emissionsfläche treffenden Lichtes proportionales elektrisches Signal. Dieses Signal kann zur Steuerung des Bewegungsablaufs dienen, der das Anschlagen am Anschlagelement und somit das elektrische Signal verursacht hat. Im einfachsten Fall wird die Bewegung gestoppt. Es ist auch eine Reduzierung der Bewegungsgeschwindigkeit steuer-, regel-, oder kontrollierbar.
Wenn die Emissionsfläche und die Empfangsfläche hinreichend groß ausgestaltet sind, kann eine geringe Verschiebung des Anschlagelements nur eine Teilweise Unterbrechung der Lichtweges zwischen der Emissionsfläche und der Empfangsfläche bewirken, was sich in einer Verringerung der Amplitude des elektrischen Signals äußert. Aus der Amplitudenänderung kann auf die Strecke geschlossen werden, die das Anschlagelement verschoben wurde.
In einer besonderen Ausführung der Vorrichtung zum Schutz eines hervorstehenden Bauteils umschließt das Anschlagelement das zu schützende Bauteil zumindest teilweise.
Ganz besonders vorteilhaft lässt sich die erfindungsgemäße Vorrichtung in einer hochpräzisen Messmaschine einsetzen. Da sich das Anschlagelement sehr platzsparend ausgestalten lässt, wird kein zusätzlicher Raum benötigt, was nicht zuletzt den Herstellungsaufwand und die Herstellungskosten der Messmaschine erheblich reduziert.
In einer speziellen Ausführung umschließt das Anschlagelement den Kondensor einer hochpräzisen Messmaschine und schützt durch Ausgabe eines den Bewegungsvorgang stoppenden Signals den Kondensor vor der Kollision mit dem schweren x/y-Messtisch.
In der Zeichnung ist der Erfindungsgegenstand schematisch dargestellt und wird anhand der Figuren nachfolgend beschrieben. Dabei zeigen:
Fig. 1: eine Ausführungsform des Berührungssensors in einer dreidimensionalen, perspektivischen Ansicht,
Fig. 2: den Berührungssensor aus Fig. 1 in der Draufsicht,
Fig. 3: den Berührungssensor aus Fig. 1 in der Seitenansicht,
Fig. 4: den Berührungssensor aus Fig. 1 in der Seitenansicht bei der Kollision mit einem Bauteil,
Fig. 5: das Detektionssystem des Berührungssensors und
Fig. 6: eine hochpräzise Messmaschine mit einer Vorrichtung zum Schutz des Kondensors.
Fig. 1 zeigt einen erfindungsgemäßen Berührungssensor 1. Das Anschlagelement 3 ist über vier biegsame Stahlstäbe 5, 7, 9, 11 beweglich mit einer Grundplatte 13 verbunden. Die Grundplatte 13 weist eine erste Bohrung 15 und eine zweite Bohrung 17 zur Befestigung auf einem in dieser Figur nicht gezeigten Gehäuseteil, so wie eine Aussparung 19 auf, die gemeinsam mit dem Anschlagelement 3 einen Raum umschließt in den ein hervorstehendes Bauteil eingebracht wird. Durch die Grundplatte 13 hindurch ist ein Lichtleitfaserbündel 21 geführt. Eine erste Hälfte der Lichtleitfasern des Lichtleitfaserbündels 21 transportiert das Licht einer hier nicht gezeigten Lichtquelle zu der Emissionsfläche 23, die durch die Endflächen der ersten Hälfte der Lichtleitfasern des Lichtleitfaserbündels gebildet ist. Als Empfangselement 25 dient ein weiterer Stahlstab, dessen reflektierende Endfläche eine erste Empfangsfläche 27 bildet. Die Empfangsfläche 27 ist gegenüber der Emissionsfläche 23 angeordnet. Die Endflächen der zweiten Hälfte der Lichtleitfasern des Lichtleitfaserbündels bildet eine weitere Empfangsfläche 29. Das von der Emissionsfläche 23 ausgehende Licht gelangt demnach zunächst zur ersten Empfangsfläche 27 und wird dort zur weiteren Empfangsfläche 29 reflektiert. Durch die zweite Hälfte der Lichtleitfasern des Lichtleitfaserbündels 21 wird das Licht zu einem hier nicht gezeigten Intensitätssensor geführt. Der Verlauf der ersten und zweiten Hälfte der Lichtleitfasern des Lichtleitfaserbündels 21 ist in Fig. 5 dargestellt. Zur Fixierung des Lichtfaserbündels 21 ist ein Halteblock 31 installiert durch den das Lichtfaserbündel 21 verläuft und in dem es verklebt ist.
Fig. 2 zeigt den Berührungssensor 1 in der Draufsicht. Die Stahlstäbe 5, 7, 9, 11 und das Empfangselement 25 sind in das Anschlagelement 3 eingelötet.
Fig. 3 zeigt den Berührungssensor 1 in einer Seitenansicht. Im Ausgangszustand Steht die Empfangsfläche 27 gegenüber der Emissionsfläche 23.
Fig. 4 zeigt den Berührungssensor 1 in einer Seitenansicht bei der Kollision mit einem Bauteil 33, das sich aus der mit dem Richtungspfeil 35 angedeuteten Richtung auf das Anschlagelement 3 des Berührungssensors 1 zu bewegt. Durch die Verschiebung des Anschlagelements 3 wird auch das Empfangselement 25 mit der Empfangsfläche 27 seitlich aus der Ausgangsposition verschoben, so dass es nicht mehr gegenüber der Emissionsfläche steht und somit kein Licht mehr reflektiert wird. Dementsprechend gelangt kein Licht zu der weiteren Empfangsfläche 29 und somit auch nicht zum Intensitätssensor. Die Veränderung der gemessenen Intensität detektiert und führt über eine hier nicht gezeigte elektronische Schaltung zum Stoppen des Bewegungsvorganges des Bauteils 33.
Fig. 5 zeigt das Detektionssystem des erfindungsgemäßen Berührungssensors. Eine erste Hälfte der Lichtleitfasern 37 des Lichtleitfaserbündels 21 transportiert das Licht einer Lichtquelle 39 zu der Emissionsfläche 23, die durch die Endflächen der ersten Hälfte der Lichtleitfasern 37 des Lichtleitfaserbündels 21 gebildet wird. Als Empfangselement 25 dient der Stahlstab 25, dessen reflektierende Endfläche die erste Empfangsfläche 27 bildet. Die erste Empfangsfläche 27 ist gegenüber der Emissionsfläche 23 angeordnet. Die Endflächen der zweiten Hälfte der Lichtleitfasern 41 des Lichtleitfaserbündels 21 bilden eine weitere Empfangsfläche 29. Das von der Emissionsfläche 23 ausgehende Licht gelangt demnach zunächst zur ersten Empfangsfläche 27 und wird dort zur weiteren Empfangsfläche 29 reflektiert. Durch die zweite Hälfte der Lichtleitfasern 41 des Lichtleitfaserbündels 21 wird das Licht zu einem Intensitätssensor 43 geführt. Das Glasfaserbündel 21 ist im Bereich der Emissions- und Empfangsfläche 23, 29 in einem Bündel geführt und teilt sich in einigem Abstand in die ersten und zweite Hälfte 37, 41 des Lichtleitfaserbündels 21 auf. Der Intensitätssensor ist als Photodiode ausgeführt, die ein elektrisches zur Leistung des auftreffenden Lichtes proportionales Signal erzeugt, das elektronisch weiterverarbeitet wird. Die Lichtquelle besteht in diesem Ausführungsbeispiel aus einem Diodenlaser.
Fig. 6 zeigt eine hochpräzise Messmaschine 45 mit einer Vorrichtung zum Schutz eines Kondensors 47. In der höchstgenauen Koordinaten- Messmaschine 45 wird ein sehr schwerer, auf einem Luftlager gleitender, x/y- Messtisch 49 der aus Cerodur gefertigt ist und der ein Objekt 51 trägt, dessen Strukturen vermessen werden soll, mit einer Genauigkeit von wenigen Nanometern relativ zu einer Mikroskopoptik verschoben. Die relative Position des x/y-Messtisches 49 wird dabei interferometrisch gemessen. Das Objekt 51 kann sowohl in Auflicht-, als auch in Durchlichtanordnung mikroskopisch untersucht werden. Bei der Auflichtuntersuchung wird das Objekt 51 mit dem Licht 53 einer ersten Lichtquelle 55 durch ein Mikroskopobjektiv 57 hindurch beleuchtet. Zwischen der ersten Lichtquelle 55 und dem Mikroskopobjektiv 57 ist ein Strahlteiler 59 angeordnet, der das von der ersten Lichtquelle 55 kommende Licht 53 zum Mikroskopobjektiv reflektiert und das vom Objekt 51 ausgehende Licht 61 passieren lässt, so dass dieses zu einem Detektor 63 gelangt, der als Photomultiplier ausgeführt ist. Durch Verschieben des x/y- Messtisches wird das Objekt 51 abgerastert. In Durchlichtanordnung wird das Objekt 51 von einer zweiten Lichtquelle 65 durch den Kondensor 47 hindurch von unten beleuchtet. Das Durchlicht 67 wird im Detektor 63 detektiert.
Der x/y-Messtisch 49 weist im Innenbereich eine Aussparung 69 auf, innerhalb der der Kondensor 47 nahe an das am Rand aufliegende Objekt 51 geführt werden kann. Der Kondensor ist auf einem Gehäuseteil 79 befestigt. Der x/y-Messtisch wird von einem Elektromotor 71 angetrieben und gleitet auf einem Luftlager 83, das zwischen dem x/y-Messtisch und einem planpolierten Granittisch 81 aufgebaut ist. Da der Verfahrbereich des x/y-Messtisches größer ist, als die Aussparung 69 im Innenbereich, könnte es zu Kollisionen zwischen dem Kondensor 47 und dem x/y-Messtisch kommen. Zur Vermeidung einer Kollision ist eine Vorrichtung zum Schutz 73 des Kondensors 47 vorgesehen, die einen Berührungssensor 1 beinhaltet. Durch die Kompakte Bauweise des Berührungssensors 1, insbesondere des Anschlagelements 3 wird die Bewegungsfreiheit des x/y-Messtisches allenfalls unwesentlich eingeschränkt. Der Berührungssensor entspricht in seinem Aufbau dem in Fig. 1 bis Fig. 5 illustrierten Aufbau. Die Vorrichtung zum Schutz 73 des Kondensors 47, die über eine Grundplatte 13 an dem Gehäuseteil 79 befestigt ist, beinhaltet eine Steuereinheit 75, in der eine Lichtquelle 39 und ein Intensitätssensor implementiert sind. Das Licht der Lichtquelle gelangt wie bereits beschrieben über die erste Hälfte der Lichtleitfasern 37 des Lichtleitfaserbündels 21 zur Emissionsfläche 23. Das von der Empfangsfläche 27, 29 ausgehende Licht gelangt über die zweite Hälfte der Lichtleitfasern 41 der Lichtleitfaserbündels 21 zur Steuereinheit 75 und darin zum Intensitätssensor 43. Bei einer Verringerung des Intensitätssignals wird über die Leitung 77 ein Signal zum Stoppen an den Elektromotor 71 geleitet.
Die Erfindung wurde in Bezug auf eine besondere Ausführungsform beschrieben. Es ist jedoch selbstverständlich, dass Änderungen und Abwandlungen durchgeführt werden können, ohne dabei den Schutzbereich der nachstehenden Ansprüche zu verlassen.
Bezugszeichenliste
1
Berührungssensor
3
Anschlagelement
5
Stahlstab
7
Stahlstab
9
Stahlstab
11
Stahlstab
13
Grundplatte
15
erste Bohrung
17
zweite Bohrung
19
Aussparung
21
Lichtleitfaserbündel
23
Emissionsfläche
24
Abstand
25
Empfangselement
27
Empfangsfläche
29
weitere Empfangsfläche
31
Halteblock
33
Bauteil
35
Richtungspfeil
37
erste Hälfte der Lichtleitfasern
39
Lichtquelle
41
zweite Hälfte der Lichtleitfasern
43
Intensitätssensor
45
Messmaschine
47
Kondensor
49
x/y-Messtisch
51
Objekt
53
Licht der ersten Lichtquelle
55
erste Lichtquelle
57
Mikroskopobjektiv
59
Strahlteiler
61
ausgehendes Licht
63
Detektor
65
zweite Lichtquelle
67
Durchlicht
69
Aussparung
71
Elektromotor
73
Vorrichtung zum Schutz
75
Steuereinheit
77
Leitung
79
Gehäuseteil
81
Granittisch
83
Luftlager

Claims (29)

1. Berührungssensor (1) mit einem gegenüber einem ortsfesten Gehäuseteil (79) beabstandeten und beweglich angeordneten Anschlagelement (3), einem Detektionssystem, das eine Lichtquelle (39) mit einer Emissionsfläche (23) und ein gegenüber der Emissionsfläche (23) der Lichtquelle (39) angeordnetes Empfangselement (25) beinhaltet, das eine Empfangsfläche (27) definiert, wobei die Empfangsfläche (27) und die Emissionsfläche (23) im Wesentlichen gleiche Größe aufweisen.
2. Berührungssensor (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Emissionsfläche (23) durch das Ende mindestens einer Lichtleitfaser definiert ist.
3. Berührungssensor (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Empfangsfläche (27) ein Intensitätssensor (43) zugeordnet ist.
4. Berührungssensor (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Empfangsfläche (27) eine Reflexionsfläche ist, die das von der Emissionsfläche (23) ausgesendete Licht auf mindestens eine weitere, mit einem Intensitätssensor (43) verbundene, Lichtleitfaser richtet, deren Ende eine weitere Empfangsfläche (29) definiert.
5. Berührungssensor (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Anschlagelement (3) über mindestens einen elastisch biegbaren Stab (5, 7, 9, 11) beweglich mit dem Gehäuseteil (79) verbunden ist.
6. Berührungssensor (1) nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der elastisch biegbare Stab (5, 7, 9, 11) über eine Grundplatte (13) mit dem Gehäuseteil (79) verbunden ist.
7. Berührungssensor (1) nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Anschlagelement (3), die Grundplatte (13), der mindestens eine Stab (5, 7, 9, 11) und das Empfangselement (25) zusammen einstückig gefertigt sind.
8. Berührungssensor (1) nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtquelle (39) an der Grundplatte (13) befestigt ist.
9. Berührungssensor (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Empfangsfläche (27) und die Emissionsfläche (23) unmittelbar übereinander angeordnet sind.
10. Berührungssensor (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Lichtweg zwischen Empfangsfläche (27) und Emissionsfläche (23) einen Abstand definiert, der als der Querschnitt der Emissionsfläche (23) ist.
11. Berührungssensor (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen Empfangsfläche (27) und Emissionsfläche (23) eine Optik angeordnet ist.
12. Berührungssensor (1) nach einem der Ansprüche 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Intensitätssensor (43) ein zur Leistung des auf die Emissionsfläche (23) treffenden Lichtes proportionales elektrisches Signal erzeugt.
13. Berührungssensor (1) nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass das elektrische Signal zur Steuerung eines Bewegungsvorganges dient.
14. Vorrichtung zum Schutz eines hervorstehenden Bauteils, gekennzeichnet durch ein ortsfestes Gehäuseteil (79) mit dem das hervorstehende Bauteil verbunden ist, ein gegenüber dem ortsfesten Gehäuseteil (79) beabstandeten und beweglich angeordneten Anschlagelement (3), ein Detektionssystem, das eine Lichtquelle (39) mit einer kleinen Emissionsfläche (23) und ein gegenüber der Emissionsfläche (23) der Lichtquelle (39) angeordnetes Empfangselement (25) beinhaltet, das eine Empfangsfläche (27) definiert, dadurch gekennzeichnet, dass die Empfangsfläche (27) und die Emissionsfläche (23) im Wesentlichen gleiche Größe aufweisen.
15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass das Anschlagelement (3) das zu schützende Bauteil zumindest teilweise umschließt.
16. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Emissionsfläche (23) durch das Ende mindestens einer Lichtleitfaser definiert ist.
17. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass der Empfangsfläche (27) ein Intensitätssensor (43) zugeordnet ist.
18. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Empfangsfläche (27) eine Reflexionsfläche ist, die das von der Emissionsfläche (23) ausgesendete Licht auf mindestens eine weitere, mit einem Intensitätssensor (43) verbundene, Lichtleitfaser richtet, deren Ende eine weitere Empfangsfläche (29) definiert.
19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, dass das Anschlagelement (3) über mindestens einen elastisch biegbaren Stab (5, 7, 9, 11) beweglich mit dem Gehäuseteil (79) verbunden ist.
20. Vorrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, dass der elastisch biegbare Stab (5, 7, 9, 11) über eine Grundplatte (13) mit dem Gehäuseteil (79) verbunden ist.
21. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 14 bis 20, dadurch gekennzeichnet, dass das Anschlagelement (3), die Grundplatte (13), der mindestens eine Stab (5, 7, 9, 11) und das Empfangselement (25) zusammen einstückig gefertigt sind.
22. Vorrichtung nach Anspruch 21 oder 22, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtquelle (39) an der Grundplatte (13) befestigt ist.
23. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Empfangsfläche (27) und die Emissionsfläche (23) unmittelbar übereinander angeordnet sind.
24. Vorrichtung nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der Empfangsfläche (27) und der Emissionsfläche (23) ein Abstand (24) definiert ist, der kleiner ist, als der Querschnitt der Emissionsfläche (23).
25. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 14 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen Empfangsfläche (27) und Emissionsfläche (23) eine Optik angeordnet ist.
26. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 oder 18, dadurch gekennzeichnet, dass der Intensitätssensor (43) ein zur Leistung des auf die Emissionsfläche (23) treffenden Lichtes proportionales elektrisches Signal erzeugt.
27. Vorrichtung nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, dass das elektrische Signal zur Steuerung, Kontrolle oder Regelung eines Bewegungsvorganges dient.
28. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass das hervorstehende Bauteil ein optisches Bauteil, insbesondere ein Kondensor (47) ist.
29. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuseteil (79) Bestandteil einer hochpräzisen Meßmaschine (45) ist.
DE10106699A 2001-02-14 2001-02-14 Berührungssensor und Vorrichtung zum Schutz eines hervorstehenden Bauteils Expired - Fee Related DE10106699C2 (de)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10106699A DE10106699C2 (de) 2001-02-14 2001-02-14 Berührungssensor und Vorrichtung zum Schutz eines hervorstehenden Bauteils
EP01128943A EP1233515A3 (de) 2001-02-14 2001-12-06 Berührungssensor und Vorrichtung zum Schutz eines hervorstehenden Bauteils
US10/046,273 US6960755B2 (en) 2001-02-14 2002-01-16 Contact sensor, and apparatus for protecting a protruding component
JP2002036617A JP2002257515A (ja) 2001-02-14 2002-02-14 接触センサおよび突出する構造部材を保護する装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10106699A DE10106699C2 (de) 2001-02-14 2001-02-14 Berührungssensor und Vorrichtung zum Schutz eines hervorstehenden Bauteils

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE10106699A1 true DE10106699A1 (de) 2002-08-29
DE10106699C2 DE10106699C2 (de) 2003-11-27

Family

ID=7673922

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10106699A Expired - Fee Related DE10106699C2 (de) 2001-02-14 2001-02-14 Berührungssensor und Vorrichtung zum Schutz eines hervorstehenden Bauteils

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6960755B2 (de)
EP (1) EP1233515A3 (de)
JP (1) JP2002257515A (de)
DE (1) DE10106699C2 (de)

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102007049133A1 (de) 2007-02-13 2008-08-21 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Vorrichtung zur Bestimmung der Position mindestens einer Struktur auf einem Objekt, Verwendung einer Beleuchtungseinrichtung für die Vorrichtung und Verwendung von Schutzgas für die Vorrichtung
DE102007051391B3 (de) * 2007-10-25 2008-12-18 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Einrichtung zum Bestimmen von Positionen von Strukturen auf einem Substrat
DE102007035519A1 (de) 2007-07-26 2009-01-29 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Verfahren zur Korrektur der aufgrund der Durchbiegung eines Substrats bedingten Messwerte
DE102007036815A1 (de) 2007-08-03 2009-02-12 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Koordinaten-Messmaschine und Verfahren zur Bestimmung der lateralen Korrektur in Abhängigkeit von der Substrattopologie
DE102007042272A1 (de) 2007-09-06 2009-03-12 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Verfahren zur Korrektur der durch Lensdistortion eines Objektivs verursachten Messfehler
DE102007049098A1 (de) 2007-10-11 2009-04-16 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Verfahren und Einrichtung zum lagerichtigen Ablegen eines Substrat in einer Koordinaten-Messmaschine
DE102007051390A1 (de) 2007-10-25 2009-05-07 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Verfahren zur Bestimmung der durch Relaxationsprozesse bedingten Drift eines Substrats
DE102008002755A1 (de) 2008-01-24 2009-08-06 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Verfahren zur Bestimmung eines Korrekturwerts für die Vermessung von Positionen von Strukturen auf einem Substrat
DE102008002770A1 (de) 2008-02-14 2009-08-20 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Verfahren zur Positionsbestimmung periodischer Strukturen auf einem Substrat
DE102008002779A1 (de) 2008-02-21 2009-09-10 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Verfahren zum Bestimmen des Verfahrbereichs für die Fokussierung auf ein Substrat
DE102008002780A1 (de) 2008-02-22 2009-09-10 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen der zu erwartenden Lage von Strukturen auf Masken während deren Herstellung
DE102008002778A1 (de) 2008-02-21 2009-09-10 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Verfahren zur Positionsbestimmung mindestens einer Struktur auf einem Substrat
DE102008002873A1 (de) 2008-05-30 2009-12-17 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Verfahren zum Auffinden eines Gebiets minimaler Lensdistortion eines Objektivs und Verwendung des Verfahrens bei einer Koordinaten-Messmaschine
DE102009003551A1 (de) 2009-02-28 2010-09-02 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Verfahren Positionsbestimmung von Strukturen auf einer Maske
DE102009044294A1 (de) 2009-10-20 2011-05-05 Kla-Tencor Mie Gmbh Koordinatenmessmaschine zur Bestimmung der Lage von Strukturen auf einer Maske
DE102010000550A1 (de) 2010-02-25 2011-08-25 KLA-Tencor MIE GmbH, 35781 Verfahren zum Fokussieren einer Objektebene und optische Anordnung

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4045900B2 (ja) 2002-09-03 2008-02-13 日産自動車株式会社 車両用エンジンの吸気取入れ構造およびその製造方法
US8582113B2 (en) 2007-02-13 2013-11-12 Kla-Tencor Mie Gmbh Device for determining the position of at least one structure on an object, use of an illumination apparatus with the device and use of protective gas with the device
CN111174718B (zh) * 2020-01-09 2021-10-01 徐工消防安全装备有限公司 一种偏摆量的测量装置、测量方法及剪叉车

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3807339C2 (de) * 1988-02-01 1990-11-08 Doduco Gmbh + Co Dr. Eugen Duerrwaechter, 7530 Pforzheim, De
DE9106217U1 (de) * 1991-05-21 1991-09-26 Nokia Unterhaltungselektronik (Deutschland) GmbH, 7530 Pforzheim Kugelschalter zur signalmäßigen Kennzeichnung von auswählbaren Neigungsrichtungen einer Basisebene
DE4441222A1 (de) * 1994-11-19 1996-05-23 Karlheinz Beckhausen Sicherheitseinrichtung mit Lichtwellenleiter
DE29817668U1 (de) * 1997-10-31 1999-01-07 Leopold Kostal GmbH & Co. KG, 58507 Lüdenscheid Vorrichtung zum Erfassen von Schaltstellungen eines mechanisch betätigbaren Schaltmittels
EP0902538A2 (de) * 1997-09-10 1999-03-17 Lucent Technologies Inc. Gegenstand mit einer durch Licht ausgelösten mikromechanischen photonischen Schaltereinrichtung
DE19808072A1 (de) * 1998-02-26 1999-09-02 Kazakow Optoelektronischer Neigungsschalter
DE19748131C2 (de) * 1997-10-31 1999-10-14 Kostal Leopold Gmbh & Co Kg Vorrichtung zum Erfassen von Schaltstellungen eines mechanisch betätigbaren Schaltmittels sowie Verfahren zum Erfassen von Schaltstellungen eines mechanisch betätigbaren Schaltmittels

Family Cites Families (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3842257A (en) * 1972-05-05 1974-10-15 Lingl H Anlagenau Und Verfahre Alternating light barrier
US3967135A (en) * 1974-04-11 1976-06-29 Eaton Corporation Acceleration change sensor
US4293188A (en) * 1980-03-24 1981-10-06 Sperry Corporation Fiber optic small displacement sensor
US4378144A (en) * 1980-12-22 1983-03-29 Northern Telecom Limited Optical switch
GB2090968B (en) * 1981-01-13 1985-03-13 Smiths Industries Ltd Optical displacement transducers
US4596925A (en) * 1982-10-27 1986-06-24 The Foxboro Company Fiber optic displacement sensor with built-in reference
GB2144547B (en) * 1983-08-04 1986-10-01 Gen Electric Plc A strain sensor
US4896935A (en) * 1985-10-07 1990-01-30 Lee Ho Shang Fiber optic switch
US4690001A (en) * 1985-11-13 1987-09-01 Mts Systems Corporation Optical displacement transducer usable as an extensometer
GB2185359B (en) * 1986-01-10 1990-01-17 Rosemount Ltd Optical displacement transducer
US5038618A (en) * 1986-11-11 1991-08-13 British Aerospace Public Limited Company Measurement of distortion
DE3700009A1 (de) * 1987-01-02 1988-07-14 Mel Mikroelektronik Gmbh Optoelektronische schutzzonenvorrichtung
US4806016A (en) * 1987-05-15 1989-02-21 Rosemount Inc. Optical displacement sensor
US4792206A (en) * 1987-06-01 1988-12-20 The Babcock & Wilcox Company Method and apparatus for aligning fiber optic cables
CA1321089C (en) * 1988-05-06 1993-08-10 Adc Telecommunications, Inc. Optical switch
GB8902034D0 (en) * 1989-01-31 1989-03-22 Kent Scient Ind Projects Optical displacement sensor
EP0473100B1 (de) * 1990-08-27 1995-11-08 Canon Kabushiki Kaisha Optisches Kommunikationsnetz
DE4234375C2 (de) * 1992-10-12 1995-10-12 Noell Gmbh Vorrichtung zur Personen- und Kollisionssicherung von fahrerlosen Gabelhubfahrzeugen
US5414785A (en) * 1993-09-13 1995-05-09 At&T Corp. Optical data bus having collision detection capability
US5502301A (en) * 1994-05-23 1996-03-26 Thomas & Betts Corporation Fiber optic sensors and control systems for automobile occupant protection apparatus
US5604313A (en) * 1994-11-23 1997-02-18 Tokyo Gas Co., Ltd. Varying apparent mass accelerometer
US5664034A (en) * 1996-05-21 1997-09-02 Lucent Technologies Inc. Lightwave communication monitoring switch
US5917180A (en) * 1997-07-16 1999-06-29 Canadian Space Agency Pressure sensor based on illumination of a deformable integrating cavity
EP0984254A1 (de) * 1998-09-04 2000-03-08 Talltec Technologies Holdings S.A. Faseroptischer Temperatursensor
CA2254535C (en) * 1998-11-26 2003-10-28 Canpolar East Inc. Sensor for detection of acceleration and attitude within a vehicle
CA2254538C (en) * 1998-11-26 2006-02-07 Canpolar East Inc. Collision deformation sensor for use in the crush zone of a vehicle
DE19927402B4 (de) * 1999-06-16 2005-06-09 Daimlerchrysler Ag Fahrzeugaufprallerkennungssensorik
AU2001282938A1 (en) * 2000-07-21 2002-02-05 Elan Pharmaceuticals, Inc. Alpha amino acid derivatives--inhibitors of leukocyte adhesion mediated by vla-4
KR100846305B1 (ko) * 2000-08-31 2008-07-16 가부시키가이샤 도쿄다이가쿠 티엘오 광학식 촉각센서
US6473170B2 (en) * 2001-01-19 2002-10-29 White Cap, Inc. Linear optical sensor for a closure
US6693796B2 (en) * 2001-09-08 2004-02-17 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Disk drive support apparatus and methods
US20040129868A1 (en) * 2003-01-08 2004-07-08 Siemens Vdo Automotive Corporation. Deflection sensor
US7183765B2 (en) * 2003-06-26 2007-02-27 The Regents Of The University Of California Micro-position sensor using faraday effect
WO2005047814A1 (en) * 2003-10-17 2005-05-26 Bed-Check Corporation Displacement sensor apparatus

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3807339C2 (de) * 1988-02-01 1990-11-08 Doduco Gmbh + Co Dr. Eugen Duerrwaechter, 7530 Pforzheim, De
DE9106217U1 (de) * 1991-05-21 1991-09-26 Nokia Unterhaltungselektronik (Deutschland) GmbH, 7530 Pforzheim Kugelschalter zur signalmäßigen Kennzeichnung von auswählbaren Neigungsrichtungen einer Basisebene
DE4441222A1 (de) * 1994-11-19 1996-05-23 Karlheinz Beckhausen Sicherheitseinrichtung mit Lichtwellenleiter
EP0902538A2 (de) * 1997-09-10 1999-03-17 Lucent Technologies Inc. Gegenstand mit einer durch Licht ausgelösten mikromechanischen photonischen Schaltereinrichtung
DE29817668U1 (de) * 1997-10-31 1999-01-07 Leopold Kostal GmbH & Co. KG, 58507 Lüdenscheid Vorrichtung zum Erfassen von Schaltstellungen eines mechanisch betätigbaren Schaltmittels
DE19748131C2 (de) * 1997-10-31 1999-10-14 Kostal Leopold Gmbh & Co Kg Vorrichtung zum Erfassen von Schaltstellungen eines mechanisch betätigbaren Schaltmittels sowie Verfahren zum Erfassen von Schaltstellungen eines mechanisch betätigbaren Schaltmittels
DE19808072A1 (de) * 1998-02-26 1999-09-02 Kazakow Optoelektronischer Neigungsschalter

Cited By (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102007049133A1 (de) 2007-02-13 2008-08-21 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Vorrichtung zur Bestimmung der Position mindestens einer Struktur auf einem Objekt, Verwendung einer Beleuchtungseinrichtung für die Vorrichtung und Verwendung von Schutzgas für die Vorrichtung
DE102007035519A1 (de) 2007-07-26 2009-01-29 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Verfahren zur Korrektur der aufgrund der Durchbiegung eines Substrats bedingten Messwerte
US8149383B2 (en) 2007-08-03 2012-04-03 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Method for determining the systematic error in the measurement of positions of edges of structures on a substrate resulting from the substrate topology
DE102007036815A1 (de) 2007-08-03 2009-02-12 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Koordinaten-Messmaschine und Verfahren zur Bestimmung der lateralen Korrektur in Abhängigkeit von der Substrattopologie
DE102007036815B4 (de) * 2007-08-03 2010-03-04 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Verfahren zur Bestimmung des durch die Substrattopologie und eine Koordinaten-Messmaschine bedingten systematischen Fehlers bei der Vermesung von Positionen von Kanten von Strukturen eines Substrats
DE102007042272B4 (de) * 2007-09-06 2009-09-24 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Verfahren zur Korrektur der durch die Verzeichnung eines Objektivs verursachten Messfehler
DE102007042272A1 (de) 2007-09-06 2009-03-12 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Verfahren zur Korrektur der durch Lensdistortion eines Objektivs verursachten Messfehler
US7769556B2 (en) 2007-09-06 2010-08-03 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Method for correcting measuring errors caused by the lens distortion of an objective
DE102007049098A1 (de) 2007-10-11 2009-04-16 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Verfahren und Einrichtung zum lagerichtigen Ablegen eines Substrat in einer Koordinaten-Messmaschine
DE102007051390A1 (de) 2007-10-25 2009-05-07 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Verfahren zur Bestimmung der durch Relaxationsprozesse bedingten Drift eines Substrats
DE102007051390B4 (de) * 2007-10-25 2010-06-10 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Verfahren zur Bestimmung der durch Relaxationsprozesse bedingten Drift eines Substrats
DE102007051391B3 (de) * 2007-10-25 2008-12-18 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Einrichtung zum Bestimmen von Positionen von Strukturen auf einem Substrat
US7948635B2 (en) 2007-10-25 2011-05-24 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Method for determining positions of structures on a substrate
DE102008002755A1 (de) 2008-01-24 2009-08-06 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Verfahren zur Bestimmung eines Korrekturwerts für die Vermessung von Positionen von Strukturen auf einem Substrat
DE102008002770A1 (de) 2008-02-14 2009-08-20 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Verfahren zur Positionsbestimmung periodischer Strukturen auf einem Substrat
DE102008002779B4 (de) * 2008-02-21 2010-10-07 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Verfahren zum Bestimmen des Verfahrbereichs für die Fokussierung auf ein Substrat
DE102008002779A1 (de) 2008-02-21 2009-09-10 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Verfahren zum Bestimmen des Verfahrbereichs für die Fokussierung auf ein Substrat
DE102008002778A1 (de) 2008-02-21 2009-09-10 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Verfahren zur Positionsbestimmung mindestens einer Struktur auf einem Substrat
DE102008002778B4 (de) * 2008-02-21 2012-12-20 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Verfahren zur Positionsbestimmung mindestens einer Struktur auf einem Substrat
DE102008002780A1 (de) 2008-02-22 2009-09-10 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen der zu erwartenden Lage von Strukturen auf Masken während deren Herstellung
DE102008002873A1 (de) 2008-05-30 2009-12-17 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Verfahren zum Auffinden eines Gebiets minimaler Lensdistortion eines Objektivs und Verwendung des Verfahrens bei einer Koordinaten-Messmaschine
DE102009003551A1 (de) 2009-02-28 2010-09-02 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Verfahren Positionsbestimmung von Strukturen auf einer Maske
US8248618B2 (en) 2009-02-28 2012-08-21 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Method for determining positions of structures on a mask
DE102009044294A1 (de) 2009-10-20 2011-05-05 Kla-Tencor Mie Gmbh Koordinatenmessmaschine zur Bestimmung der Lage von Strukturen auf einer Maske
US8305587B2 (en) 2009-10-20 2012-11-06 Kla-Tencor Mie Gmbh Apparatus for the optical inspection of wafers
DE102010000550A1 (de) 2010-02-25 2011-08-25 KLA-Tencor MIE GmbH, 35781 Verfahren zum Fokussieren einer Objektebene und optische Anordnung
US9091525B2 (en) 2010-02-25 2015-07-28 Kla-Tencor Mie Gmbh Method for focusing an object plane and optical assembly

Also Published As

Publication number Publication date
EP1233515A2 (de) 2002-08-21
US6960755B2 (en) 2005-11-01
EP1233515A3 (de) 2006-07-05
JP2002257515A (ja) 2002-09-11
DE10106699C2 (de) 2003-11-27
US20020109077A1 (en) 2002-08-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE10106699C2 (de) Berührungssensor und Vorrichtung zum Schutz eines hervorstehenden Bauteils
DE2852203C3 (de) Lichtleiteinrichtung für eine mit Auflicht betriebene Abbildungsvorrichtung
DE69826406T2 (de) Rastersondenmikroskop mit Feinstellungsvorrichtung
EP1393116B1 (de) Autofokussiereinrichtung für ein optisches gerät
EP0596330B1 (de) Anordnung zum messtechnischen Erfassen von Lastpendelungen bei Kranen
DE102011006553B4 (de) Verfahren zum Ermitteln der Fokuslage eines Laserstrahls in seinem Arbeitsfeld oder Arbeitsraum
EP2847540B1 (de) Verbessertes beleuchtungsmodul für ein koordinatenmessgerät
WO2008138501A1 (de) Positionsmesseinrichtung
DE10004233A1 (de) Mikroskop-Aufbau
DE10247136A1 (de) Schutzvorrichtung zur Überwachung eines mit einem Bauteil zu bewegenden Schutzbereichs
EP0115267B1 (de) Abbildungssystem
DE102021111949A1 (de) Vorrichtung zur scannenden Messung des Abstands zu einem Objekt
DE3833680A1 (de) Schutzeinrichtung fuer langgestreckte maschinenteile
DE2536923A1 (de) Optische steuer- oder ueberwachungsvorrichtung
EP1574880A1 (de) Sendeelement für Lichtschranken, Lichtgitter und dergleichen
DE202019103527U1 (de) Optische Messvorrichtung mit konfokal-chromatischem, optischem Sensor
EP1477274B1 (de) Werkzeugmaschine
DE10320991B4 (de) Optische Positionsmesseinrichtung
EP1407308A2 (de) Mikroskopobjektiv und verwendung eines solchen mikroskopobjektivs bei einem mikroskop
DE3241718C2 (de) Schutzvorrichtung für einen Lichtsignalgenerator
DE102022124438B3 (de) Optoelektronischer sensor
DE102016107337B3 (de) Koordinatenmessgerät
DE60318084T2 (de) Optische vorrichtung die zwei strahlen erzeugt die einen gemeinsamen detektor erreichen können
EP0092504A2 (de) Faseroptische Messanordnung mit einem Geber und einer Messelektronik zur Lagemessung
DE4408294A1 (de) Vorrichtung zur Veränderung des wirksamen Strahlquerschnittprofils von optoelektronischen Sensoren

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: LEICA MICROSYSTEMS SEMICONDUCTOR GMBH, 35578 WETZL

8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: LEICA MICROSYSTEMS WETZLAR GMBH, 35578 WETZLAR, DE

8304 Grant after examination procedure
8364 No opposition during term of opposition
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee

Effective date: 20130903