DE10101169A1 - Transparenter alpha-Aluminiumoxidkörper mit sub-mum Gefüge und Verfahren zur Herstellung desselben - Google Patents
Transparenter alpha-Aluminiumoxidkörper mit sub-mum Gefüge und Verfahren zur Herstellung desselbenInfo
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Abstract
Transparente alpha-Aluminiumoxidkeramik wird bisher über pulvertechnische Preßverfahren oder Naßformgebungsverfahren auf Basis von dotierten Aluminiumoxidpulvern durch thermische Verdichtung bei Temperaturen um etwa 1800 DEG C für mehrere Stunden in Vakuum oder wasserstoffhaltigen Atmosphären oder durch druckunterstützte thermische Verdichtung hergestellt. DOLLAR A Ein Verfahren, welches den Feinstanteil eines in wässriger Suspension dispergierten hochreinen sub-mum alpha-Aluminiumoxidpulvers ausnutzt und gleichzeitig eine solch defektarme und homogene Partikelpackung ermöglicht, daß bereits durch Luftsintern unter 1300 DEG C die Verdichtung so weit geführt ist, daß die Keramik transparent für sichtbares Licht ist und eine Gefügekorngröße von weniger als einem Mikrometer aufweist. DOLLAR A Herstellung von transparenten Mikrobauteilen mit gleichzeitig hoher Härte, Festigkeit, Verschleißwiderstand, Korrosionsbeständigkeit und Gasdichtigkeit, beispielsweise einsetzbar als Schneidkeramik für die Ultrapräzisionszerspanung von Metallen, als transparente Mikroreaktoren oder als Emissionsrohre für Metall-Hochdruckdampflampen. Die freien Oberflächen weisen nach dem Sintern ohne Bearbeitung eine spiegelnde Oberflächenqualität auf.
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft einen transparenten alpha-Aluminiumoxidkörper mit
sub-µm Gefüge und ein Verfahren zur Herstellung desselben aus einem Pulver-
Rohstoff.
Die Herstellung transparenter alpha-Aluminiumoxidkeramik erfolgt üblicherweise
über pulvertechnische Preßverfahren im wesentlichen durch Einsatz von möglichst
feinkörnigen, gleichmäßig polyedrisch geformten Submikrometer-Pulvern unter
Zusatz von Substanzen zur Senkung der Dichtsintertemperatur (Sinterhilfsmittel).
Die Sinterhilfsmittel, wie beispielsweise Magnesium-, Zirkonium- oder
Yttriumverbindungen, werden dabei in einer Menge von 10 bis 500 ppm, berechnet
als Oxide, zugegeben, um das Zurückbleiben großer Poren von einigen µm oder
mehr im Sinterkörper zu vermindern. Für eine ausreichend hohe Transparenz ist
dennoch eine mehrstündige Sinterung in reduzierender, üblicherweise
wasserstoffhaltiger, Atmosphäre oder unter Vakuum bei Temperaturen um 1800°C
notwendig (DE 100 03 505, US 5747402 und US 5627116). Nachteilig an den so
erhaltenen Aluminiumoxidgefügen mit mittleren Korngrößen von 10 bis 50 µm ist
allerdings, daß die mechanische Festigkeit mit vergröbertem Gefüge sinkt. Peelen
berichtet über transparentes Aluminiumoxid mit mittleren Korngrößen von etwa 1 bis
2 µm, das über ein Heißpreßverfahren in Sauerstoffatmosphäre bei 1180 bar und
1400°C hergestellt wurde (J. G. J. Peelen, Ceramurgia Int., Bd. 5 [3] (1979) 115-119).
Die Verbesserung der mechanischen Eigenschaften bei gleichzeitiger Beibehaltung
der optischen Eigenschaften von polykristallinem Aluminiumoxid ist zu erwarten,
wenn das Herstellverfahren einen defektarmen, homogen aufgebauten Grünkörper
ergibt, der unter Beibehaltung eines Submikrometer-Gefüges vollständig und im
wesentlichen frei von Poren größer als ein Mikrometer verdichtet werden kann.
Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zu entwickeln, mit
dem ein für sichtbares Licht transparenter polykristalliner Aluminiumoxidkörper
hergestellt werden kann, der durch sein defektarmes sub-µm Gefüge gleichzeitig
bessere mechanische Eigenschaften, wie Härte, Festigkeit und Verschleißwiderstand
aufweist und im Vergleich zum Stand der Technik bei wesentlich niedrigeren
Sintertemperaturen an Luftatmosphäre und ohne Zugabe von Sinterhilfsmitteln
herzustellen ist.
Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist somit ein Verfahren zur Herstellung
transparenter alpha-Aluminiumoxidkörper mit sub-µm Gefüge, das folgende Schritte
aufweist:
- - Zubereiten eines wässrigen Schlickers aus einem Dispergiermittel und alpha- Aluminiumoxidpulver einer chemischen Reinheit von 99, 99% oder höher und einer mittleren Korngröße von kleiner oder gleich etwa 0,3 µm, dessen Breite der Korngrößenverteilung D90/D10 kleiner oder gleich etwa 3 beträgt, wobei D10 und D90 die volumenbezogenen Korngrößen bei 10% und 90% der Summenverteilung bezeichnen
- - Abtrennen aller Agglomerate und gröberen Partikel im Schlicker durch Sedimentationsverfahren, wodurch sich eine dispergierte Schwebschicht des Feinstanteiles des Pulvers ausbildet und kontrolliertes Verdunsten des Dispersionsmittels
- - thermische Vorbehandlung des Grünkörpers an Luft oder unter vermindertem Luftdruck bei Temperaturen von etwa 650°C und Aufheizraten von etwa 30 K/h oder weniger und Luftsintern des Grünkörpers bei Temperaturen von 1300°C oder weniger zum Endprodukt.
Ein besonderer wirtschaftlicher Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens resultiert
aus der Einfachheit des Verfahrens und den erforderlichen niedrigen
Sintertemperaturen unter 1300°C in Luft-Atmosphäre, ohne daß Sinterhilfsmittel
verwendet werden müssen.
Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ferner ein transparenter
alpha-Aluminiumoxidkörper einer durchschnittlichen Korngröße von 0,4 bis 0,7 µm und
eines linearen Transmissionsgrades für durch eine Platte der Dicke von 0,5 mm
hindurchtretendes Licht einer Wellenlänge von 375 nm von 20%. Die
Oberflächenrauheit der freien, unbearbeiteten Oberflächen liegt typischerweise bei
etwa 10 nm. Der erfindungsgemäße Aluminiumoxidkörper kann in geeigneter Weise
als Schneidkeramik für die Ultrapräzisionsbearbeitung von Metallen, als
transparenter Mikroreaktor oder als Emissionsrohr für Metall-
Hochdruckdampflampen verwendet werden.
Die vorliegende Erfindung wird im folgenden detailliert beschrieben.
Erfindungsgemäß wird ein Schlicker durch Mischen von deionisiertem oder
destilliertem Wasser mit einem Dispergiermittel, vorzugsweise auf Basis von
Polycarbonsäuren und einem Pulver-Rohstoff hergestellt. Die mittlere Partikelgröße
des Pulver-Rohstoffes ist kleiner als 0,3 µm, vorzugsweise etwa 0,2 µm. Der Pulver-
Rohstoff besitzt eine Reinheit von 99,99% alpha-Aluminiumoxid oder mehr ohne
dotierungs- oder glasbildende Zusätze. Der Feststoffgehalt des Schlickers liegt
vorzugsweise bei etwa 20%, die Menge an benötigtem Dispergiermittel beträgt
weniger als 5 mg/m2 Oberfläche des verwendeten Aluminiumoxidpulvers, bestimmt
nach BET. Die erforderliche Homogenisierung der Dispersion wird durch übliche
Maßnahmen unterstützt, wie beispielsweise Rühren oder Ultraschallbehandlung,
wobei darauf zu achten ist, daß keine anderen Verunreinigungen als Aluminium oder
beim Sintern vollständig entfernbare Substanzen eingebracht werden. Nachdem der
Schlicker bei vermindertem Luftdruck entgast wurde, wird er in oben offene,
nichtporöse Behälter vergossen, die nach gewünschter späterer Bauteilform oder
Oberflächenbeschaffenheit entsprechend strukturiert sein können.
Die gröberen Partikel und eventuell noch vorhandenen Partikelagglomerate werden
vollständig durch Sedimentation vor dem Gießen abgetrennt oder nach dem Gießen
auf dem Behälterboden angereichert. Dadurch bildet sich eine dispergierte
Schwebschicht des Feinstanteiles des Pulver-Rohstoffes, aus der der
erfindungsgemäße Aluminiumoxidkörper im wesentlichen gebildet werden wird. Eine
Besonderheit des Verfahrens ist die temperatur- und feuchtigkeitskontrollierte
Verdunstung des Dispersionsmittels, die je nach Bauteilgröße, Feststoffgehalt und
Temperatur unterschiedlich lange Zeiten erfordert, bis als Vorprodukt ein trockener
Grünkörper vorliegt, der durch Rißfreiheit und besonders hohe Defektarmut und
Homogenität gekennzeichnet ist.
Nach der Entformung wird der Grünkörper an sauerstoffhaltiger Atmosphäre,
vorzugsweise Umgebungsluft, mit einer niedrigen Aufheizrate bei Temperaturen
vorbehandelt, bei denen eine für den Grünkörper schädigungsfreie und vollständige
Entgasung und Verbrennung aller organischen und flüchtigen Bestandteile
(hauptsächlich aus dem Dispergiermittel) sichergestellt ist. Die Temperaturen liegen
in Abhängigkeit vom verwendeten Dispergiermittel bei etwa 500 bis 700°C, die
Aufheizraten unter 60 K/min. Dieser Verfahrensschritt ist von großer Bedeutung für
das nachfolgende vollständige Dichtsintern an Luft oder bei vermindertem Druck bei
Temperaturen von etwa 1300°C, so daß ein transparentes
alpha-Aluminiumoxidprodukt mit einer typischen Gefügekorngröße von unter einem
Mikrometer vorliegt.
Die Erfindung wird nun mit einem Ausführungsbeispiel und den damit erzielbaren
optischen und mechanischen Eigenschaften erläutert, ohne sie jedoch zu
beschränken, und mit Vergleichsbeispielen verglichen. Die verschiedenen
Messungen oder Bestimmungen wurden im vorliegenden Falle wie folgt
durchgeführt:
Die relative Dichte der gesinterten Körper wurde nach der Methode von Archimedes
bestimmt mit einer theoretischen Dichte von 3,987 g/cm3 für Aluminiumoxid.
Die Gefügecharakterisierung erfolgte an polierten und thermisch geätzten sowie an
den gesinterten unbearbeiteten Flächen. Dazu wurden die Flächenanteile der Körner
mittels Bildanalyse ausgehend von rasterelektronischen- oder kraftmikroskopischen
Aufnahmen bestimmt.
Die polierten Probenflächen wurden mit einem Diamantprüfkörper nach Vickers und
Prüflasten von 0,98 N für HV0,1, von 4,91 N für HV0,5 und von 9,81 N für HV1
beaufschlagt und die Last für jeweils 15 Sekunden aufrecht erhalten. Die Diagonalen
der Eindrücke wurden optisch ausgemessen.
Die Oberflächenrauheit Ra wurde mittels kraftmikroskopischer Flächenscans auf der
freien Oberfläche bestimmt. Die freie Oberfläche ist die Fläche des
Aluminiumoxidkörpers, die bei der Herstellung nur mit der umgebenden Atmosphäre
in Kontakt kam und unbearbeitet bleibt.
Der lineare Transmissionsgrad wurde an mit einer 1 µm Diamantkornsuspension
beidseitig planparallel polierten Körpern einer Dicke von 0,5 mm bei einer
Wellenlänge von 375 nm bestimmt.
20 g des alpha-Aluminiumoxids TM-DAR (Boehringer Ingelheim) mit engem
Korngrößenspektrum (D10 = 0,12 µm, D50 = 0,19 µm, D90 = 0,28 µm, BET = 14 m2/g)
wurden mittels Rührwerkes in 78 g deionisiertem Wasser, in dem 2 g des 10%igen
Dispergiermittels Dolapix CE64 (Zschimmer und Schwarz) enthalten waren,
insgesamt vier Stunden dispergiert. Nach zwei Stunden wurde die Dispersion für vier
Minuten mit Ultraschall behandelt. Die Dispersion wurde anschließend für eine
Stunde bei einem Druck von 50 mbar entgast und jeweils 5 g der Dispersion in
Kunststoffbehältern mit 20 mm Durchmesser vergossen. Die Verdunstung von etwa
90% des Wassers erfolgte klimatisiert bei 22°C (Raumtemperatur) und einer relativen
Luftfeuchtigkeit von 20% über den Behältern innerhalb von zwei Wochen. Danach
wurde die relative Luftfeuchtigkeit auf über 60% geregelt und der entstehende
Grünkörper in zwei Wochen fertig getrocknet. Nach einem vierstündigen Vorbrennen
an Luft bei 650°C mit einer Aufheizrate von 30 K/h erfolgte die Sinterung an Luft bei
1275°C für eine Stunde mit einer Aufheiz- und Abkühlrate von 5 K/min.
Folgende Eigenschaftswerte wurden ermittelt:
relative Dichte: < 99,8%
flächenbezogene Gefügekorngröße G50 = 0,37 µm, G10 = 0,22 µm, G90 = 0,54 µm
Vickers-Mikrohärte: HV0,1 2388 ± 74, HV0,5 2195 ± 29, HV1 2205 ± 38
Oberflächenrauheit Ra: 10 nm
Transmissionsgrad: 20% bei 375 nm.
relative Dichte: < 99,8%
flächenbezogene Gefügekorngröße G50 = 0,37 µm, G10 = 0,22 µm, G90 = 0,54 µm
Vickers-Mikrohärte: HV0,1 2388 ± 74, HV0,5 2195 ± 29, HV1 2205 ± 38
Oberflächenrauheit Ra: 10 nm
Transmissionsgrad: 20% bei 375 nm.
20 g des im Anwendungsbeispieles verwendeten alpha-Aluminiumoxid-Pulvers
wurden wie dort beschrieben dispergiert und entgast. Die Dispersion wurde bei 12 bar
über eine Polymermembran druckfiltriert. Der feuchte Grünkörper wurde 48 Stunden
bei Raumtemperatur getrocknet und anschließend wie im Anwendungsbeispiel
vorgebrannt und gesintert.
Folgende Eigenschaftswerte wurden ermittelt:
relative Dichte: 99,7%
flächenbezogene Gefügekorngröße G50 = 0,70 µm, G10 = 0,41 µm, G90 = 1,20 µm
Vickers-Mikrohärte: HV0,1 2383 ± 60, HV0,5 2235 ± 65, HV1 2191 ± 44
Oberflächenrauheit Ra: 850 nm
Transmissionsgrad: 1% bei 375 nm.
relative Dichte: 99,7%
flächenbezogene Gefügekorngröße G50 = 0,70 µm, G10 = 0,41 µm, G90 = 1,20 µm
Vickers-Mikrohärte: HV0,1 2383 ± 60, HV0,5 2235 ± 65, HV1 2191 ± 44
Oberflächenrauheit Ra: 850 nm
Transmissionsgrad: 1% bei 375 nm.
Folgende Eigenschaftswerte wurden für das transparente Handelsprodukt RB92 der
Firma Ceramtec AG (99,9% reines, polykristallines Aluminiumoxid) ermittelt:
relative Dichte: < 99,8%
flächenbezogene Gefügekorngröße G50 = 15 µm
Vickers-Mikrohärte: HV0,1 2277 ± 74, HV0,5 1899 ± 134, HV1 1858 ± 98
Transmissionsgrad: 12% bei 375 nm.
relative Dichte: < 99,8%
flächenbezogene Gefügekorngröße G50 = 15 µm
Vickers-Mikrohärte: HV0,1 2277 ± 74, HV0,5 1899 ± 134, HV1 1858 ± 98
Transmissionsgrad: 12% bei 375 nm.
Wie sich aus der Beschreibung des Ausführungsbeispieles ergibt, ist es mit dem
erfindungsgemäßen Verfahren möglich, Aluminiumoxidkörper herzustellen, die
sowohl transparent als auch aufgrund der sub-µm Korngröße und Porenfreiheit
mechanisch hochbelastbar sind, stellvertretend beurteilt durch die Vickershärte.
Nach dem Vergleichsbeispiel 1 hergestellte Aluminiumoxidkörper weisen zwar
entsprechende Härten auf, zeigen aber keine Transparenz, während der
Aluminiumoxidkörper des Vergleichsbeispieles 2 zwar Transparenz, aber nur geringe
Härte aufgrund des groben Gefüges aufweist.
Claims (13)
1. Transparenter alpha-Aluminiumoxidkörper mit sub-µm Gefüge und Verfahren zu
dessen Herstellung aus einem Pulver-Rohstoff, gekennzeichnet durch folgende
Verfahrensschritte:
- - Zubereiten eines wässrigen Schlickers aus einem Dispergiermittel auf Basis von Polycarbonsäure und aus alpha-Aluminiumoxidpulver einer chemischen Reinheit von 99, 99% oder höher und einer mittleren Korngröße von kleiner oder gleich etwa 0,3 µm, dessen Breite der Korngrößenverteilung D90/D10 kleiner oder gleich etwa 3 beträgt, wobei D10 und D90 die volumenbezogenen Korngrößen bei 10% und 90% der Summenverteilung bezeichnen
- - Abtrennen aller Agglomerate und gröberen Partikel im Schlicker durch Sedimentationsverfahren, wodurch sich eine dispergierte Schwebschicht des Feinstanteiles des Pulvers ausbildet und anschließendes oder gleichzeitiges kontrolliertes Verdunsten des Dispersionsmittels
- - thermische Vorbehandlung des Grünkörpers an Luft oder unter vermindertem Luftdruck bei Temperaturen von etwa 650°C und Aufheizraten von etwa 30 K/h oder weniger und Luftsintern des Grünkörpers bei Temperaturen von 1300°C oder weniger zum Endprodukt.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß keine
dotierungsbildenden Zusätze als Sinterhilfen zugesetzt werden.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Zubereitung des
Schlickers aus dem Pulver-Rohstoff als Dispersionsmittel destilliertes oder
deionisiertes Wasser verwendet wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Massenanteil des
Feststoffes in der Dispersion etwa 0,2 oder weniger beträgt.
5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Dispergiermittel
das Handelsprodukt Dolapix CE64 verwendet wird.
6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Dispergierung des
Schlickers durch Behandlung mit Ultraschall unterstützt werden kann.
7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Schlicker durch
verminderten Luftdruck entgast wird.
8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß der Schlicker durch die Gravitationskraft der Erde oder durch erhöhte
Gravitation, beispielsweise in einer Zentrifuge, derart klassiert wird, daß eine
Schwebschicht mit dem Feinstanteil des Pulvers im Schlicker dispergiert bleibt.
9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß dem Schlicker das Dispersionsmittel durch Verdunstung bei relativen
Feuchten der Umgebungsluft von etwa 20% bis 80% und bei Temperaturen von
etwa 20°C bis 60°C entzogen wird.
10. Transparenter alpha-Aluminiumoxidkörper einer durchschnittlichen Korngröße
von 0,4 bis 0,7 µm und eines linearen Transmissionsgrades für durch eine Platte
der Dicke von 0,5 mm hindurchtretendes Licht einer Wellenlänge von 375 nm von
20%.
11. Schneidplättchen, hergestellt aus dem transparenten alpha-Aluminiumoxidkörper
nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß sie für die zerspanende
Präzisionsbearbeitung von Metallen, insbesondere aus Eisenbasislegierungen,
verwendet werden.
12. Mikrobauteile, hergestellt aus dem transparenten alpha-Aluminiumoxidkörper
nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß sie Transparenz verbunden mit
hoher Härte, Festigkeit, Verschleißwiderstand, Korrosionsbeständigkeit oder
Gasdichtigkeit aufweisen.
13. Mikrobauteile, hergestellt aus dem transparenten alpha-Aluminiumoxidkörper
nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß sie nach dem Sintern, ohne
Oberflächenbearbeitung, eine hohe Oberflächengüte auf der freien Oberfläche
mit typischen Rauheiten Ra von etwa 10 nm aufweisen.
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DE2001101169 DE10101169C2 (de) | 2001-01-12 | 2001-01-12 | Verfahren zur Herstellung eines transparenten alpha-Aluminiumoxidkörpers mit sub-mum Gefüge |
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