DE10060032B4

DE10060032B4 - Parallelmechanismus mit sechs Freiheitsgraden für Mikropositionierungsaufgaben

Info

Publication number: DE10060032B4
Application number: DE10060032A
Authority: DE
Inventors: Se-Kyong Song; Dong-Soo Kwon
Original assignee: Korea Advanced Institute of Science and Technology KAIST
Current assignee: Korea Advanced Institute of Science and Technology KAIST
Priority date: 1999-12-06
Filing date: 2000-12-01
Publication date: 2004-07-22
Anticipated expiration: 2020-12-02
Also published as: JP3524056B2; DE10060032A1; KR100334902B1; US20020007690A1; US6477912B2; JP2001208157A; KR20010054444A

Abstract

Parallelmechanismus mit sechs Freiheitsgraden für Mikropositionierungsaufgaben mit:
einer beweglichen Plattform, die in einer oberen Position angeordnet ist, wobei ein mehrachsiges Kugelgelenk an einem Mittelteil der beweglichen Plattform angebracht ist;
einer Bodenplattform, die in einer unteren Position angeordnet ist;
einer Mehrzahl von außen liegenden Verbindungsgliedern, die die bewegliche Plattform mit der Bodenplattform verbinden; und
einer Mehrzahl von innen liegenden Verbindungsgliedern, die das mehrachsige Kugelgelenk der beweglichen Plattform mit der Bodenplattform verbinden.

Description

TECHNISCHER HINTERGRUND DER ERFINDUNG
Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung betrifft Parallelmechanismen mit sechs Freiheitsgraden, und insbesondere einen Parallelmechanismus mit sechs Freiheitsgraden für Mikropositionierungsaufgaben, wobei der Mechanismus aus drei außen liegenden Verbindungsgliedern besteht, die eine bewegliche Plattform mit einer Bodenplattform verbinden, und drei innen liegenden Verbindungsgliedern, die gemeinsam mit einem mehrachsigen Kugelgelenk verbunden sind, wobei die außen und innen liegenden Verbindungsglieder jedes für sich eine Linearaktuatorstruktur aufweisen, die geeignet ist, die Stellung des Verbindungsgliedes präzise zu steuern.
Beschreibung des Standes der Technik Entsprechend dem jüngsten Trend, hin zu einem erhöhten Bedarf und einer erhöhten Bedeutung der Herstellung und Bearbeitung hochpräziser Bauteile, der Herstellung von Halbleitern, der Mikrochirurgie, der Genmanipulation und Zellkonformität auf einer Vielfalt industrieller Gebiete, wie einem Gebiet der Hochpräzisionstechnik, einem Gebiet der Halbleiterherstellung, einem medizinischen Gebiet und einem Gentechnikgebiet, ist die Untersuchung und Entwicklung von Robotern oder Manipulatoren für Mikropositionierungsaufgaben rege betrieben worden.
Im Rahmen des Standes der Technik wurde eine Vielfalt von seriellen Robotern mit offenen Verbindungsgliedern als derartige Manipulatoren für Mikropositionierungsaufgaben in einer Vielfalt von industriellen Gebieten verwendet. Aufgrund ihrer offenen Verbindungsglieder sind derartige serielle Roboter in gewisser Weise vorteilhaft, da sie vorzugsweise einen großen Arbeitsraum bereitstellen und vorzugsweise eine erhöhte Manipulierbarkeit erreichen. Derartige serielle Roboter sind jedoch problematisch, da sie unvermeidlich sich akkumulierende Fehler an ihren Endeffektoren hervorrufen, da sie serielle Aktuatoren besitzen. Die seriellen Roboter sind daher hinsichtlich ihrer Arbeitsgenauigkeiten unerwünschterweise beeinträchtigt. Ein weiteres, bei herkömmlichen seriellen Robotern angetroffenes Problem besteht darin, daß ihre Arbeitsleistung unerwünschtermaßen vermindert ist, insbesondere, wenn sie bei Hochgeschwindigkeitsarbeiten oder anderen Arbeiten mit einer übermäßig veränderlichen Belastung durch eine dynamische Last verwendet werden.
Im Bemühen, derartige Probleme zu überwinden, die bei herkömmlichen Robotern angetroffen werden, wurde in den Jahren seit 1980 eine Vielfalt von Parallelmechanismen rege erforscht. Derartige Parallelmechanismen haben die Struktur einer geschlossenen Kette und sind daher frei von aktuatorbedingten Fehlern, die sich an ihren Endeffektoren akkumulieren, und besitzen außerdem eine von den herkömmlichen seriellen Robotern sich unterscheidende hohe strukturelle Festigkeit, obschon der von den Parallelmechanismen bereitgestellte Arbeitsraum bedauerlicherweise kleiner ist, als derjenige der seriellen Roboter. Die Parallelmechanismen erreichen daher eine erwünschtermaßen hohe Arbeitsleistung, wenn sie bei Hochgeschwindigkeitsarbeiten oder anderen Arbeiten mit einer übermäßig veränderlichen Belastung durch eine dynamische Last eingesetzt werden. Es ist daher eher vorzuziehen, für Mikropositionierungsaufgaben derartige Parallelmechanismen anstelle der herkömmlichen seriellen Mechanismen zu verwenden.
Derartige Parallelmechanismen sind bei einer Vielfalt von Dingen baulich vorteilhaft, wie oben beschrieben wurde, und können daher vorzugsweise bei Mikropositionierungsaufgaben verwendet werden. Um es derartigen Parallelmechanismen zu ermöglichen, eine Vielfalt erwünschter Aufgaben in einem beschränkten Arbeitsraum auszuführen, ist es jedoch notwendig, daß ein derartiger Parallelmechanismus sechs Freiheitsgrade besitzt. Das heißt, daß es bei einem Parallelmechanismus für Mikropositionierungsaufgaben notwendig ist, den Grad der Positioniergenauigkeit von Aktuatoren auf 20 μm oder weniger und die Auflösung von Positionsdetektoren auf 5 μm oder weniger festzusetzen, zusätzlich zur Bereitstellung eines Arbeitsraumes von wenigstens 20 mm.

3 ist eine Perspektivansicht eines herkömmlichen parallel betätigten Mechanismus für Mikroprozessorobewegungen mit drei Freiheitsgraden. Die 2a und 2b sind Perspektivansichten von herkömmlichen Mikrohandmodulen, die Verbindungsglied-Parallelmechanismen mit sechs Freiheitsgraden verwenden. Zur Erleichterung der Beschreibung wird im folgenden auf die zwei Ausdrücke "drei Freiheitsgrade" und "sechs Freiheitsgrade" einfach durch "3dof" und "6dof" Bezug genommen.

Wie in 3 gezeigt, hat Lee die Kinematik und Dynamik eines einen Piezoaktuator verwendenden parallel betätigten Manipulators für 3dof-Mikrobewegungen untersucht und experimentell ermittelt (Lee, K. M., 1991, "A 3dof Micromotion In-Paralle1 Actuated Manipulator", IEEE Transactions on Robotics and Automation, Bd. 7, Nr. 3, Seiten 634 – 641).

Wie in 2a und 2b gezeigt, haben Arai und Stoughton supergenaue, einen Piezoaktuator verwendende 6dof-Mikrohand-Parallelmodule hergestellt und untersucht (Arai, T. und Stoughton, R., 1992, "Micro Hand Module using Parallel Link mechanism", ASME, Proceedings of the Japan U.S.A., Buch Nr. 10338A, Seiten 163 – 169) .

Im dem Bemühen, die Probleme und Grenzen herkömmlicher serieller Roboter aufzuzeigen und zu lösen, hat andererseits Hollis einen 6dof-Mikrobewegungs-Parallelmechanismus vorgeschlagen, der einen magnetisch angehobenen Aktuator verwendet (Hollis, R. L., 1991, "A 6dof Magnetically Levitated Variable Compliance Fine-Motion Wrist: Design, Modeling, and Control", IEEE Transactions on Robotics and Automation, Bd.7, Nr. 3, Seiten 320 – 332).

Die Aufgabe der in den drei oben genannten Literaturhinweisen vorgeschlagenen Mechanismen besteht darin, Mikropositionierungsaufgaben mit hoher Auflösung unter Verwendung eines Piezoaktuators oder eines magnetisch angehobenen Aktuators mit einem hohen Grad an Positionsgenauigkeit in der Größenordnung von Mikrometern durchzuführen. Bei den Mechanismen ist die lineare Verschiebung von Piezoaktuatoren jedoch auf 10 μm oder weniger begrenzt, die lineare Verschiebung von magnetisch gehobenen Aktuatoren ist auf etwa 5 μm begrenzt und der Arbeitsraum ist auf 4 μm beschränkt. Die obigen Mechanismen können daher nicht in effektiver oder geeigneter Weise als allgemeine 6dof-Mechanismen für Mikropositionierungsaufgaben eingesetzt werden, da derartige allgemeine 6dof-Mechanismen wie oben beschrieben einen auf 20 μm oder weniger festgesetzten Grad an Positionsgenauigkeit von Aktuatoren und eine auf 5 μm oder weniger festgesetzte Auflösung von Positionsdetektoren, zusätzlich zur Bereitstellung eines Arbeitsraumes von wenigstens 20 mm erfordern.

Die vorliegende Erfindung wurde dementsprechend unter Berücksichtigung der obigen im Stand der Technik auftretenden Probleme gemacht und eine Aufgabe der Erfindung besteht darin, einen 6dof-Parallelmechanismus für Mikropositionierungsaufgaben zu schaffen, der ungehindert eine erwünschte Translations- oder Drehbewegung einer beweglichen Plattform ausführt, unter Verwendung von innen und außen liegenden Verbindungsgliedern, die von Linearaktuatoren betätigt werden und in der Lage sind, die Stellungen der Verbindungsglieder präzise zu steuern, wodurch er effektiv als 6dof-Parallelmechanismus verwendet wird, der benötigt wird, um eine Vielfalt von Mikropositionierungsaufgaben in einem begrenzten Arbeitsraum auszuführen.

Um diese Aufgabe zu lösen, sieht die vorliegende Erfindung einen 6dof-Parallelmechanismus für Mikropositionierungsaufgaben vor, der folgendes umfaßt: eine bewegliche Plattform, die in einer oberen Position angeordnet ist, wobei ein mehrachsiges Kugelgelenk an einem Mittelteil der beweglichen Plattform angebracht ist; eine Bodenplattform, die in einer unteren Position angeordnet ist; eine Mehrzahl von außen liegenden Verbindungsgliedern, die die bewegliche Plattform mit der Bodenplattform verbinden; und eine Mehrzahl von innen liegenden Verbindungsgliedern, die das mehrachsige Kugelgelenk der beweglichen Plattform mit der Bodenplattform verbinden.

Bei dem 6dof-Parallelmechanismus dieser Erfindung sind die innen liegenden Verbindungsglieder gemeinsam so mit dem mehrachsigen Kugelgelenk verbunden, daß sie eine tetraedrische Struktur bilden.

Außerdem ist jedes der innen und außen liegenden Verbindungsglieder ein Linearaktuator, der dafür ausgelegt ist, hinsichtlich seiner Stellung präzise steuerbar zu sein.

Der 6dof-Parallelmechanismus dieser Erfindung vergrößert auch vorzugsweise den Arbeitsraum auf wenigstens 20 mm und vermindert vorzugsweise die Zahl der Drehgelenke der beweglichen Plattform von sechs auf drei, wodurch die Drehfläche der beweglichen Plattform vergrößert wird. Außerdem wird die erwünschte Drehbewegung der beweglichen Plattform dieses Mechanismus durch Verwendung von drei linear betätigten außen liegenden Verbindungsgliedern durchgeführt.

KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN

Die obigen und weitere Aufgaben, Merkmale und weitere Vorteile der vorliegenden Erfindung werden durch die folgende ausführliche Beschreibung deutlicher verstanden werden, die in Verbindung mit den folgenden beigefügten Zeichnungen erfolgt:

1 ist eine Perspektivansicht eines 6dof-Parallelmechanismus für Mikropositionierungsaufgaben gemäß der bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
2a und 2b sind Perspektivansichten von Mikrohandmodulen, die herkömmliche 6dof-Parallelmechanismen mit Verbindungsgliedern mit Piezoaktuatoren verwenden;
3 ist eine Perspektivansicht eines herkömmlichen parallel betätigten Mechanismus für 3dof-Mikrobewegungen mit Piezoaktuatoren;
4 ist eine Ansicht, die eine gelenkig verbundene Struktur einer Mehrzahl von linear betätigten innen und außen liegenden Verbindungsgliedern des 6dof-Parallelmechanismus von 1 zeigt;
5a und 5b sind eine Draufsicht und eine Schnittansicht einer Bodenplattform des 6dof-Parallelmechanismus von 1;
6a und 6b sind eine Draufsicht und eine Schnittansicht einer beweglichen Plattform des 6dof Parallelmechanismus von 1;
7 ist eine Perspektivansicht eines mehrachsigen Kugelgelenks, das in dem 6dof-Parallelmechanismus der 1 enthalten ist; und
8 ist eine Ansicht, die den Aufbau eines Linearaktuators für innen und außen liegende Verbindungsglieder zeigt, die in dem 6dof-Parallelmechanismus der 1 enthalten sind.
AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
Im folgenden sollte nun Bezug auf die Zeichnungen genommen werden, in denen in verschiedenen Zeichnungen durchweg gleiche Bezugszeichen verwendet werden, um gleiche oder ähnliche Bauteile zu bezeichnen.
1 ist eine Perspektivansicht eines 6dof-Parallelmechanismus für Mikropositionierungsaufgaben gemäß der bevorzugten Ausführungsform dieser Erfindung. 4 ist eine Ansicht, die eine gelenkig verbundene Struktur einer Mehrzahl von linear betätigten innen – und außenliegenden Verbindungsgliedern dieses 6dof-Parallelmechanismus zeigt. Die 5a und 5b sind eine Draufsicht und eine Schnittansicht einer Bodenplattform dieses 6dof-Parallelmechanismus. Die 6a und 6b sind eine Draufsicht und eine Schnittansicht einer beweglichen Plattform des 6dof-Parallelmechanismus. 7 ist eine Perspektivansicht eines mehrachsigen Kugelgelenks, das in dem 6dof-Parallelmechanismus enthalten ist. 8 ist eine Ansicht, die den Aufbau eines Linearaktuators für die innen und außen liegenden Verbindungsglieder zeigt, die' in dem 6dof-Parallelmechanismus enthalten sind.
Zunächst Bezug nehmend auf die 1 und 4, umfaßt der 6dof-Parallelmechanismus gemäß der bevorzugten Ausführungsform dieser Erfindung eine bewegliche Plattform 10, die an einem Oberteil des Mechanismus positioniert ist, eine Bodenplattform 20, die an dem Unterteil des Mechanismus positioniert ist, drei außen liegende Verbindungsglieder 30, die die Plattform 10 mit der Bodenplattform 20 verbinden, und drei innen liegende Verbindungsglieder 50, die gemeinsam mit einem mehrachsigen Kugelgelenk 40 verbunden sind, so daß sie die zwei Plattformen 10 und 20 miteinander verbinden, während sie eine tetraedrische Struktur bilden.
Wie in den 5a und 5b gezeigt ist, sind drei erste Anschlüsse 21 für außen liegende Verbindungsglieder längs des Randes der Bodenplattform 20 an drei regelmäßig in Winkelintervallen von 120° beabstandeten Positionen aufwärtsgerichtet angeordnet. Zusätzlich sind drei Anschlüsse 22 für innen liegende Verbindungsglieder ebenfalls längs des Randes der Bodenplattform 20 an drei Positionen zwischen den drei ersten Anschlüssen 21 für außen liegende Verbindungsglieder aufwärtsgerichtet angeordnet. In einem solchen Fall ist die Höhe der drei Anschlüsse 22 für innen liegende Verbindungsglieder geringfügig kleiner als die der ersten Anschlüsse 21 für außen liegende Verbindungsglieder.
Wie in den 6a und 6b gezeigt ist, sind drei zweite Anschlüsse 11 für außen liegende Verbindungsglieder auf der beweglichen Plattform 10 an drei regelmäßig in Winkelintervallen von 120° beabstandeten Positionen angeordnet. Die Mitte der beweglichen Plattform 10 ist mit einer Öffnung mit Innengewinde versehen, und steht daher an dieser Öffnung mit Innengewinde mit einem Verbindungsstab 60 mit Außengewinde in Eingriff. Ein Kugelgelenk-Verbindungsteil 12 in Stumpfform ist an der unteren Fläche der beweglichen Plattform 10 im Mittelteil vorgesehen und hält an seinem unteren Ende das mehrachsige Kugelgelenk 40.
Wie in 7 gezeigt ist, umfaßt das mehrachsige Kugelgelenk 40 eine mittige Kugel 41, die von einem hohlen kugelförmigen Körper 42 beweglich so bedeckt wird, daß die Kugel 41 nicht unvorhergesehen aus dem Körper 42 entfernt wird. Der kugelförmige Körper 42 besitzt eine Mehrzahl von Verbindungsglied-Einsetzöffnungen, wobei eine Mehrzahl von Verbindungsglied-Auflagescheiben 43 in das Gelenk 40 eingesetzt sind und zum Ankoppeln der innen liegenden Verbindungsglieder 50 an das Gelenk 40 verwendet werden, während sie die Verbindungsglieder 50 daran hindern, unerwünscht aus dem Gelenk 40 entfernt zu werden.
Die zwei Plattformen 10 und 20 werden unter Verwendung des mehrachsigen Kugelgelenks 40 und der zwei Arten von Verbindungsgliedern 30 und 50 wie folgt zu einem erwünschten 6dof-Parallemechanismus zusammengebaut:
Wie in den 1, 2a, 2b sowie 4 bis 8 gezeigt, wird zunächst die mittige Kugel 41 des Kugelgelenks 40 mit dem Kugelgelenk-Verbindungsteil 12 der beweglichen Plattform 10 verbunden. Danach werden die drei innen liegenden Verbindungsglieder 50 an deren Enden mit der Auflagescheibe 43 des Gelenks 40 verbunden, wodurch eine tetraedrische Struktur gebildet wird. Die anderen Enden der drei innen liegenden Verbindungsglieder 50 werden mit den drei Anschlüssen 22 für innen liegende Verbindungsglieder der Bodenplattform 20 unter Verwendung von drei Drehgelenken verbunden.
Außerdem werden die drei außen liegenden Verbindungsglieder 30 mit den drei ersten Anschlüssen 21 für außen liegende Verbindungsglieder der Bodenplattform 20 und an ihren gegenüberliegenden Enden mit den drei zweiten Anschlüssen 11 für außen liegende Verbindungsglieder der beweglichen Plattform 10 unter Verwendung einer Mehrzahl von Drehgelenken in der gleichen Weise wie oben beschrieben verbunden.
Jedes der innen und außen liegenden Verbindungsglieder 30 und 50, die zum Koppeln der zwei Plattformen 10 und 20 zu einem gewünschten Mechanismus verwendet werden, ist ein Linearaktuator, wie er in 8 gezeigt ist. Bei der vorliegenden Erfindung werden die als innen und außen liegende Verbindungsglieder 30 und 50 verwendeten Linearaktuatoren aus Linearaktuatoren ausgewählt, die eine Positionsgenauigkeit von 3 μm oder weniger und einen effektiven Arbeitsraum von wenigstens 20 mm besitzen und in der Lage sind, Mikropositionierungsaufgaben von mehreren Millimetern auszuführen, beispielsweise die Linearaktuatoren, die in der Koreanischen Patentanmeldung Nr. 99-15368 vorgeschlagen werden. Derartige Linearaktuatoren führen ungehindert eine 3dof-Translationsbewegung und eine 3dof-Drehbewegung der beweglichen Plattform 10 aus.
Bei einer Betriebsweise des 6dof-Parallelmechansismus dieser Erfindung führt der Mechanismus zunächst eine Translationsbewegung der beweglichen Plattform 10 aus, um es der Plattform 10 zu ermöglichen, einen erwünschten Arbeitsraum zu erreichen. Wenn der Mechanismus die erwünschte Translationsbewegung der beweglichen Plattform 10 ausführt, sind die drei innen liegenden Verbindungs glieder 50 fixiert. In einem derartigen Fall wird eine erwünschte 3dof-Drehbewegung der beweglichen Plattform 10 nur von den drei außen liegenden Verbindungsgliedern 30 durchgeführt. Es ist somit möglich, die Linearität des 6dof-Parallelmechanismus dieser Erfindung zu verbessern und die Betätigung des Mechanismus einfach zu steuern.
Kurz zusammengefaßt, resultiert der 6dof-Parallelmechanismus für Mikropositionierungsaufgaben dieser Erfindung aus einer Änderung des Aufbaus herkömmlicher 6dof-Parallelmechanismen, indem die Zahl der Drehgelenke der beweglichen Plattform 10 vorzugsweise von sechs auf drei reduziert wird und durch Verwendung eines mehrachsigen Kugelgelenks 40 für die drei innen liegenden Verbindungsglieder 50 außerdem eine hohe strukturelle Stabilität des Mechanismus erreicht wird.
Außerdem ist der 6dof-Parallelmechanismus dieser Erfindung hinsichtlich seiner kinematischen Aufgliederung im Vergleich zu den anderen Arten von Parallelmechanismen einfach und es ist daher möglich, für den Mechanismus dieser Erfindung eine Echtzeitsteuerung auszuführen.
Wie oben beschrieben, sieht die vorliegende Erfindung einen 6dof-Parallelmechanismus für Mikropositionierungsaufgaben vor. Der 6dof-Parallelmechanismus dieser Erfindung führt unter Verwendung von linear betätigten innen und außen liegenden Verbindungsgliedern ungehindert eine erwünschte Translations- und Drehbewegung einer beweglichen Plattform aus und wird daher effektiv als 6dof-Parallelmechanismus verwendet, der benötigt wird, um eine Vielfalt von Mikropositionierungsaufgaben in einem begrenzten Arbeitsraum auszuführen.
Der 6dof-Parallelmechanismus dieser Erfindung verwendet Mikropositionierungs-Linearaktuatoren als Verbindungsglieder und führt daher fließend Mikropositionierungsaufgaben aus, die ein Genauigkeitsniveau von einigen Mikrometern erfordern.
Der 6dof-Parallelmechanismus dieser Erfindung führt ungehindert eine erwünschte Translations- und Drehbewegung einer beweglichen Plattform innerhalb eines begrenzten Arbeitsraums aus und steuert durch die Verwendung der linear betätigten Verbindungsglieder, die einen hohen Grad von Positionsgenauigkeit besitzen, auf präzise Weise die Bewegung der beweglichen Plattform. Der Mechanismus dieser Erfindung kann daher vorzugsweise bei der Herstellung und Bearbeitung von hochpräzisen Bauteilen, der Herstellung von Halbleitern, der Mikrochirurgie, der Genmanipulation und Zellkonformität auf einer Vielfalt von industriellen Gebieten, wie einem Gebiet der Hochpräzisionstechnik, einem Gebiet der Halbleiterherstellung, einem medizinischen Gebiet und einem gentechnischen Gebiet eingesetzt werden.
Bei einer Betriebsweise des 6dof-Parallelmechanismus dieser Erfindung wird eine erwünschte 3dof-Drehbewegung der beweglichen Plattform nur durch die Verwendung der drei außen liegenden Verbindungsglieder ausgeführt, wobei die innen liegenden Verbindungsglieder fixiert sind. Es ist dem Mechanismus dieser Erfindung daher möglich, die 3dof-Translationsbewegung und die 3dof-Drehbewegung der beweglichen Plattform separat auszuführen.
Obwohl zu Erläuterungszwecken eine bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben wurde, versteht es sich für Fachleute, daß verschiedene Modifikationen, Ergänzungen und Ersetzungen möglich sind, ohne den in den beigefügten Ansprüchen beschriebenen Schutzumfang der Erfindung zu verlassen.
Beispielsweise kann der 6dof-Parallelmechanismus der Erfindung vorzugsweise als Handgelenkmechanismus von Robotern verwendet werden und zusätzlich zu dem Mechanismus für Mikropositionierungsaufgaben kann ein sechsachsiger Kraft-/Drehmomentsensor verwendet werden.

Claims

Parallelmechanismus mit sechs Freiheitsgraden für Mikropositionierungsaufgaben mit: einer beweglichen Plattform, die in einer oberen Position angeordnet ist, wobei ein mehrachsiges Kugelgelenk an einem Mittelteil der beweglichen Plattform angebracht ist; einer Bodenplattform, die in einer unteren Position angeordnet ist; einer Mehrzahl von außen liegenden Verbindungsgliedern, die die bewegliche Plattform mit der Bodenplattform verbinden; und einer Mehrzahl von innen liegenden Verbindungsgliedern, die das mehrachsige Kugelgelenk der beweglichen Plattform mit der Bodenplattform verbinden.
Parallelmechanismus mit sechs Freiheitsgraden nach Anspruch 1, wobei die innen liegenden Verbindungsglieder gemeinsam so mit dem mehrachsigen Kugelgelenk verbunden sind, daß sie eine tetraedrische Struktur bilden.
Parallelmechanismus mit sechs Freiheitsgraden nach Anspruch 1 oder 2, wobei jedes der innen oder außen liegenden Verbindungsglieder ein Linearaktuator ist, der dafür ausgelegt ist, hinsichtlich seiner Stellung präzise steuerbar zu sein.