DE10053832C2 - Verfahren zur Herstellung eines SiC-Vorformlings mit hohem SiC-Volumengehalt - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines SiC-Vorformlings mit hohem SiC-Volumengehalt, insbesondere für die Herstellung eines Metallmatrizen­ verbundstoffes.

Die bemerkenswerte technische Entwicklung in den 90er Jahren des 20. Jahrhunderts auf dem Gebiet elektronischer Bauteile hat zur Forderung nach Werkstoffen für elektroni­ sche Packungskomponenten mit den nachfolgend aufgeführten spezifischen Eigenschaf­ ten geführt:

Erstens sollte der Werkstoff einer elektronischen Packungskomponente einen Wärme­ ausdehnungskoeffizienten aufweisen, der dem eines in der Packungskomponente ver­ kapselten Halbleiterchips entspricht. Aufgrund eines solchen Wärmeausdehnungskoeffi­ zienten ist es möglich, die thermische Beanspruchung, die durch die Differenz der Wär­ meausdehnungskoeffizienten von Halbleiterchip und Werkstoff der elektronischen Pa­ ckungskomponente, wenn diese Wärme freisetzt, hervorgerufen wird, auf ein Minimum herabzusetzen. Mit Hilfe einer solchen elektronischen Packungskomponente lässt sich die Lebensdauer von Halbleitervorrichtungen erhöhen.

Zweitens muss für eine elektronische Packungskomponente ein Werkstoff gewählt wer­ den, der in der Lage ist, die von der Halbleitervorrichtung bei Verwendung der elektroni­ schen Packungskomponente erzeugte Wärme wirksam abzuleiten. Da Halbleitervorrich­ tungen wärme- und schlagempfindlich sind, müssen Erzeugnisse unter Verwendung der­ artiger Halbleitervorrichtungen vor Schlageinwirkung geschützt werden. Außerdem sollten derartige Erzeugnisse die Wärme Leicht ableiten können.

In jüngster Zeit wurden elektronische Erzeugnisse im Hinblick auf Kompaktheit entwi­ ckelt, so dass sie gut tragbar sind. Für derartige kompakte elektronische Erzeugnisse werden dementsprechend Werkstoffe von geringer Dichte bevorzugt. Als derartige Werk­ stoffe niedriger Dichte kommen Metallmatrizenverbundstoffe in Frage, die in jüngster Zeit für elektronische Packungswerkstoffe vorgeschlagen wurden.

Metallmatrizenverbundstoffe besitzen hohe Wärmeleitfähigkeit und optimale mechani­ sche Eigenschaften bei gleichzeitiger relativ guter Bearbeitbarkeit aufgrund der Metall­ matrize. Derartige Metallmatrizenverbundstoffe besitzen außerdem einen geringen Wär­ meausdehnungskoeffizienten verglichen mit anderen Metallwerkstoffen, da als Armierung Keramik, die einen geringen Wärmeausdehnungskoeffizienten besitzt, verwendet wird, wodurch die Wärmeausdehnung der Metallmatrize stark vermindert wird. Derartige Me­ tallmatrizenverbundstoffe können außerdem so aufgebaut sein, dass sie Eigenschaften besitzen, welche die Anpassung ihres Wärmeausdehnungskoeffizienten an das ge­ wünschte Niveau ermöglichen. Diese Eigenschaften können durch Einstellung des Volu­ mengehalts der Armierung erreicht werden. Aufgrund dieser Eigenschaften wurden nun Metallmatrizenverbundstoffe als Werkstoffe für elektronische Packungskomponenten so­ wie für Erzeugnisse für die Luft- und Raumfahrt wie Satelliten oder Raumschiffe vorge­ schlagen, die im Hinblick auf Maßgenauigkeitsschwankungen infolge der Wärme­ ausdehnung genau eingestellt werden müssen. Das gesteigerte Interesse an Metallmatri­ zenverbundstoffen führte zu einem zunehmenden Interesse an Armierungsvorformlingen für die Herstellung derartiger Metallmatrizenverbundstoffe.

Ein übliches Verfahren zur Erzeugung von Vorformlingen ist ein vakuumgestützes Extraktionsverfahren, das in der Hauptsache zur Erzeugung von Faservorformlingen verwendet wird. Dieses vakuumgestützte Extraktionsverfahren ist ein Verfahren der mechanischen Mischung einer Armierung mit einem Bindemittel in einem Rührwerk, wodurch eine Aufschlämmung entsteht, die dann im Vakuum extrahiert wird, was zur Erzeugung des Armierungsvorformlings führt. Die mit einem solchen vakuumgestützten Extraktionsverfahren hergestellten Teilchen des Armierungsvorformlings haben einen durchschnittlichen Volumengehalt an Armierung von ca. 50%. Zur Verwendung eines solchen Vorformlings für die Erzeugung eines Metallmatrizenverbundstoffes für elektronische Packungskomponenten sollte der Volumengehalt an Armierung jedoch 70 % oder mehr betragen. Weist der Vorformling einen Volumengehalt an Armierung von 70 % oder mehr auf, kann sie einen Wärmeausdehnungskoeffizienten von 6 bis 7 ppm/K besitzen, was dem Wärmeausdehnungskoeffizienten von Halbleiterchips entspricht.

Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe besteht darin, ein Verfahren zur Erzeugung eines SiC-Vorformlings mit einem SiC-Volumengehalt von 70% oder mehr bereitzustel­ len, die als Armierung für Metallmatrizenverbundstoffe einsetzbar ist.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Verfahren zur Herstellung eines SiC- Vorformlings mit hohem SiC-Volumengehalt gelöst, das die folgenden Stufen umfasst:

• - Mischen von SiC-Teilchen unterschiedlicher durchschnittlicher Teilchengröße, aus­ gewählt aus einem Bereich von 0,2 bis 48 µm, mit einem organischen Bindemittel, einem anorganischen Bindemittel, Polyacrylamid und destilliertem Wasser, wodurch ein Gemisch erzeugt wird, und Rühren des Gemisches durch Vermahlen in einer Kugelmühle, wodurch eine Aufschlämmung erzeugt wird, welche die SiC-Teilchen enthält,
• - Gießen der die SiC-Teilchen enthaltenden Aufschlämmung in eine Pressform mit ei­ ner oberen und unteren Formhälfte, die mit absorbierenden Körpern ausgestattet ist, und Abquetschen der Aufschlämmung in der Pressform, wodurch die Restfeuchte der Aufschlämmung vermindert wird,
• - vollständige Trocknung der Aufschlämmung mit verminderter Restfeuchte, wodurch ein SiC-Vorformling erzeugt wird, und
• - Glühen des SiC-Vorformlings.

Erfindungsgemäß wird so in den Vorformling eine Metallmatrize eingearbeitet, wobei ein hoher Volumengehalt (70 Vol.-% oder mehr) an Armierung beibehalten wird. Der Vor­ formling kann für die Herstellung von Grundwerkstoffen aus Metallmatrizenverbundstof­ fen für die Herstellung von elektronischen Packungskomponenten und von Bauteilen für die Luft- und Raumfahrttechnik, die einen niederen Wärmeausdehnungskoeffizienten und hohe Wärmeleitfähigkeit aufweisen müssen, in großem Umfang verwendet werden.

Anhand von Zeichnungen und Beispielen wird die Erfindung näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 ein Fließschema des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Erzeugung eines SiC- Vorformlings,

Fig. 2a eine Mikrofotografie eines Vorformlings, der unter Verwendung einer Pressform hergestellt wurde, die erfindungsgemäß mit absorbierenden Körpern ausgestattet ist,

Fig. 2b eine Mikrofotografie eines Vorformlings, der unter Verwendung einer Pressform hergestellt wurde, die entsprechend einem üblichen Verfahren nicht mit absorbierenden Körpern ausgestattet ist,

Fig. 3 eine Abänderung des Volumengehalts eines Vorformlings entsprechend einer Ab­ änderung des Mischungsverhältnisses der SiC-Teilchen,

Fig. 4 eine Abänderung des Volumengehalts eines Vorformlings entsprechend einer Ab­ änderung des Abquetschdrucks bei der Herstellung des Vorformlings,

Fig. 5 eine Abänderung der Druckfestigkeit eines Vorformlings entsprechend einer Abän­ derung des Abquetschdrucks bei der Herstellung des Vorformlings,

Fig. 6a eine Abänderung der Druckfestigkeit eines Vorformlings entsprechend einer Ab­ änderung der Glühdauer und

Fig. 6b eine Abänderung der Druckfestigkeit eines Vorformlings entsprechend einer Ab­ änderung der Glühtemperatur.

Gemäß Fig. 1 werden zur Herstellung eines SiC-Vorformlings zuerst SiC-Teilchen mit ei­ ner Teilchengröße von 0,2 bis 48 µm hergestellt. In der Hauptsache werden z. B. SiC- Teilchen mit einer durchschnittlichen Teilchengröße von 3 µm, 6,5 µm, 8 µm, 10 µm, 40 µm oder 48 µm verwendet. Vorzugsweise werden SiC-Teilchen mit wenigstens zwei un­ terschiedlichen durchschnittlichen Teilchengrößen im gemischten Zustand verwendet, um zu einem höheren Volumengehalt am letztendlich herzustellenden SiC-Vorformling zu ge­ langen. Die beiden unterschiedlichen durchschnittlichen Teilchengrößen können dabei 3 µm und 40 µm, 6,5 µm und 40 µm, 10 µm und 40 µm oder 8 µm und 48 µm sein. Die SiC-Teilchen mit den zwei unterschiedlichen durchschnittlichen Teilchengrößen werden in einem Gewichtsverhältnis von 1 : 9 bis 9 : 1 gemischt.

Danach werden die SiC-Teilchen zur Bildung einer Aufschlämmung mit destilliertem Wasser gemischt. Im Hinblick auf Festigkeit und Wärmeleitfähigkeit des herzustellenden Vorformlings wird ein anorganisches Bindemittel, wie kolloidale Kieselsäure, in einer Konzentration von 0,1 bis 10 Gew.-% dem Gemisch zugesetzt. Zur Erzeugung einer Auf­ schlämmung von guter Qualität werden dem Gemisch außerdem 0,1 bis 1,5 Gew.-% ei­ nes organischen Bindemittels wie kationische Stärke und 0,5 bis 1,5 Gew.-% Polyacryla­ mid zugesetzt. Unter Berücksichtigung des hydrostatischen Punktes der zugesetzten Teilchen und der Gelbildung des anorganischen Bindemittels wird dem Gemisch in einer Menge von 0,5 bis 2 Gew.-% auch Essigsäure zugesetzt, um den pH der erhaltenen Auf­ schlämmung auf einen Bereich von 2,7 bis 3,5 einzustellen.

Das erhaltene Gemisch wird dann 4 bis 12 Stunden lang in einer Kugelmühle unter Ver­ wendung von Tonerdekugeln gerührt, um das organische Bindemittel, das anorganische Bindemittel und Polyacrylamid gut über die SiC-Teilchen zu verteilen, wobei ein Zerbre­ chen der SiC-Teilchen auf ein Minimum herabgesetzt ist. Auf diese Weise gelangt man zu einer gut durchmischten Aufschlämmung.

Um aus der die SiC-Teilchen enthaltenden Aufschlämmung einen Vorformling zu ver­ pressen, wird erstere in eine Pressform gegossen, wobei in der oberen und unteren Formhälfte jeweils absorbierende Körper, beispielsweise absorbierende Körper aus Fil­ terpapier, vorgesehen sind. Um die Aufschlämmung abzuquetschen, wird die Pressform in einer axialen Richtung mit einem Druck von 0,5 bis 3 MPa beaufschlagt. Dadurch wird die Feuchtigkeit aus der Aufschlämmung abgequetscht. Sie wird dabei von den absorbie­ renden Körpern in der oberen und unteren Formhälfte aufgenommen. Die Feuchtigkeit kann aber auch aus der Pressform nach außen abgeleitet werden. Die Restfeuchte des erhaltenen Vorformlings ist daher auf ein Minimum herabgesetzt.

Danach wird die Aufschlämmung einer vollständigen Trocknung unterworfen. So wird sie z. B. auf natürliche Weise bei Raumtemperatur während 48 Stunden oder darunter ge­ trocknet und danach bei einer Temperatur von 100°C in einem Trockenofen während 27 Stunden oder darunter einer zusätzlichen Trocknung unterworfen. Aufgrund dieser bei­ den Trocknungsstufen ist der Vorformling dann vollständig getrocknet. Ist sie nur unvoll­ ständig getrocknet, verdampft dann die in dem Vorformling zurückgebliebene Feuchtig­ keit mit einem Mal auf der nachfolgenden Glühstufe, was zu Fehlern wie Rissen führt. Wird ein Metallmatrizenstoff in den Vorformung eingearbeitet, um einen Metallmatrizen­ verbundstoff zu erhalten, können in letzterem in den fehlerhaften Bereichen des Vorform­ lings lokal Metallmatrizenschichten gebildet werden. Der Metallmatrizenverbundstoff weist somit in den Bereichen mit Metallmatrizenschichten gegebenenfalls kein Vorformlingsma­ terial, d. h. keine Armierung auf, was das Leistungsvermögen des Metallmatrizenverbund­ stoffs herabsetzen kann. Ferner kann es auf diese Weise schwierig werden, den er­ wünschten Metallmatrizenverbundstoff herzustellen.

Zur Vermeidung einer unzureichenden Trocknung des Vorformlings, was zu dem oben erwähnten Problem führt, wird die erwähnte vollständige Trocknung, welche zwei Trock­ nungsstufen umfasst, d. h. eine natürliche Trocknung und eine erzwungene Trocknung er­ findungsgemäß durchgeführt, um den Vorformling vollständig zu trocknen.

Das Glühen des Vorformlings nach dem vollständigen Trocknen erfolgt bei einer Tempe­ ratur von 800 bis 1100°C während 2 bis 6 Stunden. Bei einer Temperatur von 800 bis 1100°C beginnt das organische Bindemittel Cristobalit zu bilden.

Fig. 2a zeigt eine Mikrofotografie eines Vorformlings, der unter Verwendung einer mit ab­ sorbierenden Körpern ausgestatteten Pressform hergestellt wurde. Fig. 2b zeigt eine Mik­ rofotografie eines Vorformlings, der mit Hilfe einer Pressform gebildet wurde, die keine absorbierenden Körper aufwies. Bei einem Vergleich von Fig. 2a und 2b kann festgestellt werden, dass der Vorformling nach Fig. 2a ein gleichmäßigeres und regelmäßigeres Mik­ rogefüge aufweist als der Vorformling nach Fig. 2b.

Die vorliegende Erfindung wird nachfolgend anhand von Beispielen und Vergleichsbei­ spielen näher beschrieben, wobei die Erfindung jedoch nicht darauf beschränkt ist.

Beispiel 1 bis 9

Durch Mischen von SiC-Teilchen mit destilliertem Wasser unter Zugabe von 3 Gew.-% kolloidaler Kieselsäure als anorganisches Bindemittel, 1 Gew.-% kationischer Stärke als organisches Bindemittel und 0,5 Gew.-% Polyacrylamid wurde ein Gemisch zur Herstel­ lung einer Aufschlämmung bereitet. Die SiC-Teilchen wurden unter Verwendung von SiC- Teilchen mit einer Teilchengröße von 3 µm (Beispiel 1), SiC-Teilchen mit einer Teilchen­ größe von 6,5 µm (Beispiel 2), SiC-Teilchen mit einer Teilchengröße von 8 µm (Beispiel 3), SiC-Teilchen mit einer Teilchengröße von 19 µm (Beispiel 4), SiC-Teilchen mit einer Teilchengröße von 40 µm (Beispiel 5), SiC-Teilchen mit einer Teilchengröße von 48 µm (Beispiel 6), eines SiC-Teilchengemisches mit SiC-Teilchen mit einer Teilchengröße von 10 µm und SiC-Teilchen mit einer Teilchengröße von 40 µm bei einem Volumenverhältnis von 1 : 2 (Beispiel 7), eines SiC-Teilchengemisches mit SiC-Teilchen mit einer Teilchen­ größe von 8 µm und SiC-Teilchen mit einer Teilchengröße von 48 µm bei einem Volu­ menverhältnis von 1 : 2 (Beispiel 8) bzw. eines SiC-Teilchengemisches mit SiC-Teilchen mit einer Teilchengröße von 0,2 µm, SiC-Teilchen mit einer Teilchengröße von 3 µm und SiC-Teilchen mit einer Teilchengröße von 48 µm bei einem Volumenverhältnis von 1 : 2 : 7 (Beispiel 9) hergestellt. Unter Berücksichtigung des hydrostatischen Punktes der zuge­ setzten Teilchen und der Gelbildung des anorganischen Bindemittels wurde dem Ge­ misch in einer Menge von 0,5 Gew.-% auch Essigsäure zugesetzt, um eine Aufschläm­ mung mit einem pH von 3 zu erhalten.

Das erhaltene Gemisch wurde dann 8 Stunden lang in einer Kugelmühle unter Verwen­ dung von Tonerdekugeln gerührt, um das organische Bindemittel, das anorganische Bin­ demittel und Polyacrylamid gut über die SiC-Teilchen zu verteilen, wobei ein Zerbrechen der SiC-Teilchen auf ein Minimum herabgesetzt wurde. Auf diese Weise gelangte man zu einer gut durchmischten Aufschlämmung.

Um aus der die SiC-Teilchen enthaltenden Aufschlämmung einen Vorformling herzustel­ len, wurde erstere in eine Pressform gegossen, wobei in der oberen und unteren Form­ hälfte jeweils absorbierende Körper Körper aus Filterpa­ pier vorgesehen waren. Um die Aufschlämmung abzuquetschen, wurde die Pressform in einer axialen Richtung mit einem Druck von 1,2 MPa beaufschlagt. Dadurch wurde die Feuchtigkeit aus der Aufschlämmung abgequetscht. Sie wurde dabei von den absorbie­ renden Körpern in der oberen und unteren Formhälfte aufgenommen. Die Restfeuchte des erhaltenen Vorformlings war daher auf ein Minimum herabgesetzt.

Danach wurde die Aufschlämmung einer Trocknung unterworfen, die zwei Trocknungs­ stufen umfasste, d. h. die Aufschlämmung wurde auf natürliche Weise bei Raumtempera­ tur während 48 Stunden getrocknet und danach zwangsweise bei einer Temperatur von 100°C in einem Trockenofen während 24 Stunden getrocknet, wodurch man einen Vor­ formling erhielt. Diese wurde dann geglüht.

Das Glühen erfolgte 5 Stunden lang bei einer Temperatur von 1000°C, bei welcher das anorganische Bindemittel Cristobalit zu bilden begann.

Die einzelnen Volumengehalte (Vol.-%) der entsprechend den Beispielen 1 bis 9 herge­ stellten SiC-Vorformlinge wurden durch Mikrobildanalyse gemessen. Die dabei erhalte­ nen Messergebnisse sind in der nachfolgenden Tabelle 1 zusammengefasst.

Tabelle 1

Volumengehalt eines erfindungsgemäß hergestellten SiC-Vorformlings in Abhängigkeit von der Teilchengröße der SiC-Teilchen

Tabelle 1 zeigt, dass die Vorformlinge aus Beispiel 8 und 9 einen hohen Volumengehalt (70 Vol.% oder mehr) aufweisen. Insbesondere zeigt der Vorformling aus Beispiel un­ ter Verwendung eines SiC-Teilchengemisches, dass SiC-Teilchen mit einer Teilchengrö­ ße von 8 µm sowie solche mit einer Teilchengröße von 48 µm bei einem Volumenverhält­ nis von 1 : 2 einen hohen SiC-Volumengehalt (71,0 Vol.-%) aufweist. Ein höherer SiC- Volumengehalt von 76,0 wird bei dem Vorformling aus Beispiel 9 erzielt, bei dem ein SiC- Teilchengemisch verwendet wurde, das SiC-Teilchen mit einer Teilchengröße von 0,2 µm, SiC-Teilchen mit einer Teilchengröße von 3 µm und solche mit einer Teilchengröße von 48 µm in einem Volumenverhältnis von 1 : 2 : 7 enthält. Die Messergebnisse aus Tabel­ le 1 sind außerdem in Fig. 3 dargestellt.

Beispiel 10

Unter Verwendung des Verfahrens nach Beispiel 9, jedoch unter Abänderung des Ab­ quetschdrucks, wie er zur Erzeugung der SiC-Vorformlinge verwendet wurde, innerhalb eines Bereichs von 0,5 bis 3,0 MPa wurden SiC-Vorformlinge hergestellt und dann zur Ermittlung des Volumengehalts und der Druckfestigkeit gemessen. Die Messergebnisse sind in Fig. 4 bzw. 5 dargestellt.

Fig. 4 zeigt eine geringe Änderung des Volumengehalts entsprechend einer Abänderung des Abquetschdrucks bei der Herstellung des Vorformlings. Fig. 5 zeigt, dass bei einem Abquetschdruck von 1,2 MPa eine Druckfestigkeit von 60 MPa oder mehr erzielt wird.

Beispiel 11

Unter Verwendung des Verfahrens nach Beispiel 9, jedoch unter Abänderung der Glüh­ dauer und -temperatur wurden SiC-Vorformlinge erzeugt, wonach ihre Druckfestigkeit gemessen wurde. Die Messergebnisse sind in Fig. 6a und 6b dargestellt. Fig. 6a illustriert eine Abänderung der Druckfestigkeit in Abhängigkeit von einer Abänderung der Glüh­ dauer, wobei die Glühtemperatur bei 1100°C festgelegt ist. Fig. 6a zeigt, dass bei einer Glühdauer von 4 Stunden eine Druckfestigkeit von annähernd 100 Pa erzielt wird. Außer­ dem kann festgestellt werden, dass selbst dann, wenn die Glühdauer über 4 Stunden hin­ aus ausgedehnt wird, die Druckfestigkeit nur gering zunimmt. Fig. 6b zeigt eine Abände­ rung der Druckfestigkeit entsprechend einer Abänderung der Glühtemperatur, wobei die Glühdauer auf 4 Stunden festgelegt ist. Aus Fig. 6b geht außerdem hervor, dass bei An­ stieg der Glühtemperatur von 800 auf 1200°C die Druckfestigkeit allmählich zunimmt.

Vergleichsbeispiele 1 bis 9

Unter Verwendung der Gemische aus der nachfolgenden Tabelle 2 und unter Einsatz ei­ nes üblichen Vakuumextraktionsverfahrens wurden die nachfolgenden SiC-Vorformlinge hergestellt.

Die einzelnen Volumengehalte (Vol.-%) der SiC-Vorformlinge wurden durch Mikrobildana­ lyse gemessen. Die dabei erhaltenen Messergebnisse sind in Tabelle 2 zusammengefasst.

Tabelle 2

Volumengehalt eines nach üblichen Vakuumextraktionsverfahren hergestellten SiC- Vorformlings in Abhängigkeit von der Teilchengröße der SiC-Teilchen

Tabelle 2 zeigt, dass die nach dem üblichen Vakuumextraktionsverfahren hergestellten SiC-Vorformlinge nur einen SiC-Volumengehalt von 50 bis 55 Vol.-% aufweisen vergli­ chen mit dem erfindungsgemäß erzielten SiC-Volumengehalt von 71 bis 76 Vol.-%. Mit dem üblichen Verfahren ist es daher schwierig, einen SiC-Vorformling mit dem erwünsch­ ten hohen SiC-Volumengehalt zu erzielen.

Wie aus der obigen Beschreibung hervorgeht, stellt die vorliegende Erfindung ein Verfah­ ren zur Herstellung von SiC-Vorformlingen bereit, mit dem ein Vorformling mit hohem SiC-Volumengehalt bei verminderter Produktionsdauer, ohne dass dabei die Anlagenkos­ ten steigen, hergestellt werden kann. Das erfindungsgemäße Verfahren ermöglicht daher eine Massenproduktion. Insbesondere kann der erfindungsgemäß hergestellte Vorform­ ling, in den eine Metallmatrize eingearbeitet ist, wobei ein hoher Volumengehalt an Armie­ rung beibehalten wird, für Grundwerkstoffe aus Metallmatrizenverbundstoffen für die Her­ stellung von elektronischen Packungskomponenten und von Bauteilen für die Luft- und Raumfahrttechnik, die einen niederen Wärmeausdehnungskoeffizienten und hohe Wär­ meleitfähigkeit aufweisen müssen, in großem Umfang verwendet werden.

Claims (5)

1. Verfahren zur Herstellung eines SiC-Vorformlings mit hohem SiC-Volumengehalt, das folgende Stufen umfasst:

• - Mischen von SiC-Teilchen unterschiedlicher durchschnittlicher Teilchengröße, ausgewählt aus einem Bereich von 0,2 bis 48 µm, mit einem organischen Binde­ mittel, einem anorganischen Bindemittel, Polyacrylamid und destilliertem Wasser, wodurch ein Gemisch erzeugt wird, und Rühren des Gemisches durch Vermahlen in einer Kugelmühle, wodurch eine Aufschlämmung erzeugt wird, welche die SiC- Teilchen enthält,
• - Gießen der die SiC-Teilchen enthaltenden Aufschlämmung in eine Pressform mit einer oberen und unteren Formhälfte, die mit absorbierenden Körpern ausgestat­ tet ist, und Abquetschen der Aufschlämmung in der Pressform, wodurch die Rest­ feuchte der Aufschlämmung vermindert wird,
• - vollständige Trocknung der Aufschlämmung mit verminderter Restfeuchte, wo­ durch ein SiC-Vorformling erzeugt wird, und
• - Glühen des SiC-Vorformlings.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine als organisches Bindemittel kationische Stärke in einer Konzentration von 0,1 bis 5 Gew.-% zuge­ setzt wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass als anorgani­ sches Bindemittel eine kolloidale Kieselsäure in einer Konzentration von 0,1 bis 10 Gew.-% zugesetzt wird.

4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Polyacrylamid in einer Konzentration von 0,1 bis 5 Gew.-% zugesetzt wird.

5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Abquetschstufe in einer axialen Richtung unter einem Druck von 0,5 bis 3,00 MPa durchgeführt wird.