DE10049557B4

DE10049557B4 - Vorrichtung zum Umwandeln der Intensitätsverteilung eines Laserstrahls

Info

Publication number: DE10049557B4
Application number: DE10049557A
Authority: DE
Inventors: Hans-Jürgen Dr. Kahlert; Berthold Dr. Burghardt
Original assignee: Microlas Lasersystem GmbH
Current assignee: Microlas Lasersystem GmbH
Priority date: 2000-10-06
Filing date: 2000-10-06
Publication date: 2004-09-02
Anticipated expiration: 2020-10-07
Also published as: US6621639B2; US20020041444A1; JP2002224877A; DE10049557A1

Abstract

Vorrichtung zum Umwandeln der Intensitätsverteilung eines Laserstrahls (12), mit einem Homogenisierer (10), dadurch gekennzeichnet, dass nur in einem Teilquerschnitt des Strahlenganges des Laserstrahls (12) Invertierlinsen (24, 26) angeordnet sind, die einen auf sie auftreffenden, eine inhomogene Intensitätsverteilung aufweisenden Teilstrahl des Laserstrahls in seiner Intensitätsverteilung invertieren.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Umwandeln der Intensitätsverteilung eines Laserstrahls, wobei die Vorrichtung insbesondere geeignet ist zum Erzeugen eines Laserstrahls mit einer Intensität, die längst einer Querachse von einer Seite zur anderen Seite des Strahls beständig abfällt.
Unter beständigem Abfall (bzw. beständigem Steigen) der Intensität ist in der vorliegenden Anmeldung nicht ein mathematisch gesehen streng monotoner Abfall (bzw. monotones Ansteigen) zu sehen, sondern eine Veränderung der Intensität in einem so großen Maßstab, wie er für die Verwendung des Laserstrahls technisch von Bedeutung ist, d. h. es kann Intensitätsschwankungen über kleinere Bereiche hinweg geben, die aber bei der Anwendung des Laserstrahls im technischen Ergebnis keine Rolle spielen und nichts an der Grundtendenz der Veränderung der Intensitätsverteilung ändern.
Bei zahlreichen Anwendungen von Lasern ist es wünschenswert, einen Laserstrahl einzusetzen, der eine inhomogene Strahlverteilung hat. Beispielsweise kann man Laser für die Rekristallisierung von amorphen Si-Schichten einsetzen, indem man Substrate mit diesen Schichten mit einem Laserstrahl abfährt. Dabei hat es sich als vorteilhaft für eine homogene Rekristallisierung erwiesen, wenn die beim Abfahren vorauslaufende Kante des Laserstrahls eine Intensitätsüberhöhung gegenüber dem nachfolgenden Teil des Laserstrahls aufweist.

Im Stand der Technik ist es bekannt, zum Steuern der Intensitätsverteilung eines Laserstrahls Teile desselben auszublenden. Beispielsweise ist aus der DE 199 15 000 eine Vorrichtung bekannt, bei der Teilstrahlen des Laserstrahls so einander überlagert werden, daß an sich eine Homogenisierung der Intensitätsverteilung des Laserstrahls gefördert wird, daß aber eine Blende im Strahlengang des Laserstrahls bei den nicht vollständig einander überlagerten Teilstrahlen unterschiedliche Anteile ausblendet. Beim Ausblenden von Teilen des Laserstrahls geht stets Laserstrahlleistung verloren.

Die DE 199 15 000 A1 zeigt eine Vorrichtung zum Steuern der Intensitätsverteilung eines Laserstrahls mit einem Homogenisieren. Durch Anordnung einer Blende an einer bestimmten Stelle im Strahlengang wird Strahlung aus sich überlagernden Teilstrahlen unterschiedlich ausgeblendet. Mit dieser Anordnung werden Intensitätsverteilungen im Querschnitt des Laserstrahls erzeugt, die in Bezug auf die Laserstrahlachse symmetrisch sind.

Die WO 95/18984 A1 zeigt eine Anordnung, mit der ein Laserstrahl mit einer Gauss-Verteilung so umgewandelt wird, dass über einen rechteckigen Querschnitt eine gleichförmige, d.h. insbesondere symmetrische Intensitätsverteilung erzielt wird. Dort sind die für die Beeinflussung des Strahlenganges vorgesehenen Hilfsmittel symmetrisch verteilt.

Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung eine Vorrichtung bereitzustellen, mit der ein Intensitätsprofil des Laserstrahls erzeugbar ist, das, quer zur Laserstrahlrichtung, auf einer Strahlseite eine höhere Intensität hat als in anderen Bereichen des Strahls. Dabei soll insbesondere die in die Vorrichtung eingestrahlte Laserstrahlleistung möglichst verlustfrei ausgenützt werden.

Diese Aufgabe wird mit einer Vorrichtung gemäß Patentanspruch 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen beschrieben.

Unter Invertieren der Intensität entlang einer Achse bzw. in einer Richtung wird hier verstanden, daß die Reihenfolge der Intensitätswerte des Teilstrahls von einer Seite zur anderen Seite des Teilstrahls genau umgekehrt wird. Hat der Teilstrahl am linken Rand (die Orientierung ist hier willkürlich gewählt) beispielsweise eine Intensität a, in der Mitte eine, Intensität b, und am rechten Rand eine Intensität c, so hat der inver tierte Teilstrahl am linken Rand die Intensität c, in der Mitte die Intensität b, und am rechten Rand die Intensität a.

Eine Homogenisiereinrichtung, wie sie bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung verwendet wird, ist beispielsweise aus der DE 42 20 705 A1 bekannt. Dort wird die Intensitätsverteilung eines Laserstrahls dadurch homogenisiert (räumlich angeglichen), daß eine Mehrzahl von Linsen in einer Reihe senkrecht zur optischen Achse angeordnet wird. Diese Linsen sind jeweils so geformt, daß sie einzelne Teilstrahlen des Laserstrahls so einander überlagern, daß die abgebildete Laserstrahlung insgesamt weitgehend homogenisiert ist.

Eine Weiterbildung einer solchen Homogenisiereinrichtung findet sich in der DE 196 32 460 C1 . Dort werden mehrere Beleuchtungsfelder mit jeweils homogener Intensitätsverteilung erzeugt, wobei eine Linsenreihe mehrere unterschiedliche Gruppen von azentrischen Linsensegmenten von Zylinderlinsen aufweist (vgl. auch US-Patent 5,796,521).

Gemäß einer vorteilhaften Ausbildung der erfindungsgemäßen Vorrichtung besteht die Invertierungseinrichtung aus zwei Sammellinsen mit den Brennweiten f₅ und f₄, die in der Richtung der Strahlausbreitung im Abstand f₅ + f₄ voneinander entfernt angeordnet sind, d. h. in Teleskopanordnung.

Bekanntlich genügt ja eine Sammellinse zum Invertieren einer Intensitätsverteilung. (Eine Sammellinse bildet einen Gegenstand auf einem Schirm, der hinter ihrem Brennpunkt aufgestellt ist, auf dem Kopf stehend ab.) Die zweite Sammellinse sorgt dafür, daß parallel auf die erste Sammellinse auftreffende Strahlen die Invertierungseinrichtung auch wieder parallel in der Richtung der Strahlausbreitung verlassen.

Bevorzugt ist die Invertierungseinrichtung in der Richtung der Strahlausbreitung (auf der Strahlachse) vor der Homogenisiereinrichtung angeordnet.

Die oben beschriebene Erfindung kombiniert eine bekannte Homogenisiereinrichtung mit einer zusätzlichen Invertierungseinrichtung.

Es wird also eine bekannte Homogenisiereinrichtung so ergänzt, daß nach wie vor die Teilstrahlen, die sie durchlaufen, einander überlagert werden, daß aber zumindest einer der Teilstrahlen, einmal (oder dreimal, fünfmal, etc.) mehr invertiert wird als die anderen Teilstrahlen.

Die Vorrichtung zum Umwandeln der Intensitätsverteilung eines Laserstrahls umfasst eine Mehrzahl von optischen Einrichtungen und eine dahinter angeordnete Sammellinse, die derart ausgewählt und angeordnet sind, daß jede optische Einrichtung einen Teilstrahl des Laserstrahls abbildet, und daß die Teilstrahlen nach Durchlaufen der Vorrichtung einander überlagert werden, wobei zumindest eine der optischen Einrichtungen so gestaltet ist, daß sie den zugehörigen Teilstrahl einmal mehr entlang zumindest einer Achse, entlang der die Intensität umgewandelt werden soll, invertiert als die anderen optischen Einrichtungen die ihnen zugehörigen Teilstrahlen.

Beispielsweise umfassen die optischen Einrichtungen im allgemeinen jeweils ein Linsenpaar, und die optischen Einrichtungen, die den zugehörigen Teilstrahl einmal mehr invertieren als die anderen optischen Einrichtungen, umfassen zwei Linsenpaare. Von diesen Linsenpaaren kann ein Paar aus zwei Sammellinsen mit den Brennweiten f₅ und f₄ bestehen, die in Richtung der Strahlausbreitung im Abstand f₅ + f₄ voneinander entfernt angeordnet sind. Das zweite Linsenpaar dieser optischen Einrichtung hat dann z. B. Brennweiten, die kleiner sind als bei den anderen optischen Einrichtungen, so daß für die beiden Linsenpaare genügend Platz zur Verfügung ist.

Die genannten Vorrichtungen gemäß den genannten Ausführungsformen können durch Kombination mit einer Laserstrahlenquelle, die einen Laserstrahl mit einer Intensitätsverteilung erzeugt, die bestimmten Anforderungen genügt, zu einer Vorrichtung zum Erzeugen eines Laserstrahls mit einer Intensität, die längs einer quer zur Strahlrichtung verlaufenden Achse von einer Seite zur anderen Seite beständig abfällt, ausgebaut werden.

Eine solche Vorrichtung umfaßt:

– eine Laserstrahlquelle, die einen Laserstrahl erzeugt, bei dem die Intensität in ausgewählten Teilstrahlen des Laserstrahls entlang der Achse von einer Seite der ausgewählten Teilstrahlen zu deren anderen Seite beständig steigt
– zumindest eine Invertierungseinrichtung, die die Intensitätsverteilung zumindest eines der ausgewählten Teilstrahlen entlang der Achse invertiert, und
– eine Homogenisiereinrichtung, die Teilstrahlen des Laserstrahls so einander überlagert, daß der Laserstrahl, wenn keiner seiner Teilstrahlen die Invertierungseinrichtung durchlaufen würde, homogenisiert würde.

Es ist möglich, daß auch die Homogenisiereinrichtung die Teilstrahlen noch einmal invertiert. In diesem Falle sind die Rollen von der "einen" Seite und der "anderen" Seite des Teilstrahls gegenüber der "einen" Seite und der "anderen" Seite des erzeugten Gesamtstrahls vertauscht.

Vorteilhaft erzeugt die Laserstrahlquelle einen Laserstrahl, dessen Intensitätsverteilung von einer Seite (bzw. der Kante oder dem Rand) des Laserstrahls entlang der Querachse zunächst beständig auf ein Maximum steigt und von dem Maximum zu der anderen Seite hin beständig abfällt. In diesem Falle wird/werden die Invertierungseinrichtung/en vorteilhaft so angeordnet, daß nur Teilstrahlen auf einer Seite des Maximums invertiert werden. Typischerweise ist die Laserstrahlquelle eine Excimer-Laserstrahlquelle, die eine symmetrische, insbesondere längs einer der Achsen glockenförmige Intensitätsverteilung erzeugt. (längs der anderen Achse ist die Intensitätsverteilung bei Excimerlasern zumeist mehr oder weniger homogen).

Die Stärke des Abfalls der Intensitätsverteilung nimmt mit der Anzahl der invertierten Teilstrahlen zu, und sie kann somit durch die Zahl der invertierten Teilstrahlen gesteuert werden.

Nachfolgend werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung näher beschrieben. Es zeigt:
1 schematisch eine Homogenisiereinrichtung, die in einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Steuern der Intensitätsverteilung eines Laserstrahls bevorzugt verwendet wird;
2 die Intensitätsverteilung längs einer Achse eines Excimerlasers;
3 eine typische homogene Intensitätsverteilung eines Excimerlasers, wie sie mit der Einrichtung entsprechend 1 erreichbar ist;
4 eine erfindungsgemäße Vorrichtung zum Umwandeln der Intensitätsverteilung eines Laserstrahls, die eine Homogenisiereinrichtung wie die in 1 gezeigte sowie zwei Invertierungseinrichtungen umfaßt;
5 die Intensitätsverteilung des Laserstrahls aus 2, nachdem der Strahl die beiden in 4 gezeigten Invertierungseinrichtungen passiert hat;
6 die durch die erfindungsgemäße Vorrichtung aus 4 erzielte inhomogene Intensitätsverteilung, bei der die Intensität längs der hier gezeigten Achse von der einen Seite zur anderen Seite beständig abfällt, die man erhält, wenn der Laserstrahl mit der Intensitätsverteilung aus 5 die in 4 (und 1) gezeigte Homogenisiereinrichtung passiert.
1 zeigt eine Homogenisiereinrichtung 10, mit der ein Lasserstrahl 12, z. B. ein Excimerlaserstrahl homogenisierbar ist. Excimerlaser emittieren Strahlung, die in der Regel einen rechteckigen Querschnitt hat. In Richtung der sog. langen Achse (des Rechteckes) weist die Energiedichte der Strahlung eine Verteilung auf, die im wesentlichen trapezförmig mit steilen Flanken ("flat top") ist. In Richtung der sog. kurzen Achse (des Rechteckes) weist die Energiedichte der Strahlung eine Verteilung auf, die weitgehend einer sog. Gauß-Kurve entspricht. In 1 betrachtet man die kurze Achse von der Seite, sie verläuft von oben nach unten. Die Intensitätsverteilung ist schematisch (grau unterlegt) eingezeichnet.
Die Homogenisiereinrichtung 10 besteht aus zwei parallel angeordneten Zylinderlinsenreihen ("arrays") 14 und 16 und einer im Strahlengang dahinter angeordneten Sammellinse 18 (Kondensorlinse). Die Längsachsen der Zylinderlinsen stehen senkrecht zur Zeichnungsebene. Dies ergibt sich auch aus der schematischen Darstellung der Zylinderlinsenformen in den Figuren. Bei Verwendung eines Excimerlaserstrahls stehen also die Zylinderachsen parallel zur "langen Achse" des Laserstrahls. In 1 (wie auch in 4) verläuft der Strahlengang des Laserstrahls 12 von links nach rechts. Der in 1 gezeigte Homogenisierer ist aus dem eingangs genannten Stand der Technik bekannt.
Durch die erste Reihe 14 von Zylinderlinsen wird der einfallende Laserstrahl 12 in eine Vielzahl von Teilstrahlen aufgeteilt. In 1 ist nur der Strahlengang von drei Teilstrahlen schematisch dargestellt, insgesamt wird der Laserstrahl hier in sieben Teilstrahlen aufgeteilt (typisch sind 5 – 20 Teilstrahlen).
Die optischen Elemente 14, 16 und 18 bewirken, daß die in 1 von links einfallende Laserstrahlung 12 auf eine Ebene 20 abgebildet wird. Alle Teilstrahlen überlagern sich in der Ebene 20 voll (sie überlappen). Dies bedeutet, daß im einfallenden Laserstrahl 12 noch vorhandene Inhomogenitäten der Intensitäten voll ausgeglichen werden, d. h. der auf die Ebene 20 abgebildete Laserstrahl ist homogenisiert. Naturgemäß wird eine Homogenisierung nur dann erzielt, wenn bereits der einfallende Laserstrahl ein bestimmtes Aussehen hat, z. B. insbesondere symmetrisch ist wie der hier gezeigte Laserstrahl.
Ist die einfallende Laserstrahlung auch in Richtung senkrecht zur Zeichnungsebene inhomogen, wird ein zweiter, gegenüber der Darstellung gemäß 1 um 90° gedrehter Homogenisierer benötigt (nicht dargestellt).
Die Zylinderlinsen aus der Zylinderlinsenreihe 14 haben die Brennweite f₁; die Zylinderlinsen aus der Zylinderlinsenreihe 16 haben die Brennweite f₂; und die Sammellinse 18 hat die Brennweite f₃. Größe und Form des Beleuchtungsfeldes auf der Abbildungsebene 20 (quadratisch, rechteckig,...) wird durch die Breite und Brennweite f₂ der Linsen sowie die Brennweite f₃ der Sammellinse bestimmt.
2 zeigt die Intensitätsverteilung des eingestrahlten Laserstrahls 12 längs der kurzen Achse. Diese Intensitätsverteilung ist symmetrisch in Bezug auf die Strahlachse, wobei sie von der einen Seite des Laserstrahls zunächst beständig auf ein Maximum 22 steigt und von dem Maximum 22 zu der anderen Seite beständig abfällt. Es kann zwischen den einzelnen Punkten – dies sind hier Meßpunkte – der Kurve zu Fluktuationen in der Intensitätsverteilung kommen, diese erfolgen jedoch auf einem wesentlich kleineren Maßstab als dem hier gezeigten, sind hier also nicht sichtbar.
Also gilt, daß bei der in 2 gezeigten Intensitätsverteilungen aller Teilstrahlen (bis auf einen zentralen Teilstrahl um das Maximum 22 herum) von einer Seite zur anderen Seite beständig steigen (bzw. fallen, je nachdem, was man als die eine Seite, und was man als die andere Seite definiert).
Da die Intensitätsverteilung aus 2 symmetrisch ist, und da die Homogenisiereinrichtung alle Teilstrahlen aus der Intensitätsverteilung einander überlagert, überlagern sich insbesondere die Teilstrahlen auf der linken Seite des Maximums 22 mit den Teilstrahlen auf der rechten Seite des Maximums 22, und dadurch erzielt man ein insgesamt homogenes Strahlprofil. Ein Beispiel für ein derart homogenes Strahlprofil ist in 3 gezeigt. Dies ist das Strahlprofil, das man in der Ebene 20 erhält.
4 zeigt nun eine erfindungsgemäße Vorrichtung zum Umwandeln der Intensitätsverteilung eines Laserstrahls. Diese besteht aus der Homogenisiereinrichtung 10 und zwei, in der Richtung des Einfalls des Laserstrahls 12 vor der Homogenisiereinrichtung angeordnete Invertierungseinrichtungen 24 und 26. Die Invertierungseinrichtungen 24 und 26 bestehen jeweils aus zwei Sammellinsen, wobei die erste Sammellinse die Brennweite f₅ und die zweite Sammellinse die Brennweite f₄ hat, und die beiden Sammellinsen im Abstand f₅ + f₄ voneinander entfernt angeordnet sind. Bevorzugt ist, wie hier gezeigt, f₅ = f₄. Jede Sammellinse hat längs der hier von oben verlaufenden kurzen Achse dieselbe Größe wie eine der Linsen aus der Zylinderlinsenreihe 14, und sie ist jeweils so angeordnet, daß sie genau auf den Teilstrahl einwirkt bzw. diesen Teilstrahl abbildet, der auf eine entsprechende Zylinderlinse aus der Zylinderlinsenreihe 14 trifft. Alternativ können die Sammellinsen jeder Invertierungseinrichtung 24 bzw. 26 auch etwas kleiner sein als die Linsen aus der Zylinderlinsenreihe 14, so daß nicht der ganze Teilstrahl, den die entsprechende Zylinderlinse aus der Zylinderlinsenreihe 14 abbildet, invertiert wird. Die Sammellinsen aus den Invertierungseinrichtungen 24 bzw. 26 können beispielsweise in der in 4 von oben nach unten verlaufenden Richtung um 10 % kleiner sein als die entsprechenden Linsen aus der Zylinderlinsenreihe 14.
In 4 ist schematisch der Strahlengang der beiden Teilstrahlen, die von den Invertierungseinrichtungen 24 und 26 invertiert werden, sowie eines weiteren Teilstrahls, der nicht zusätzlich invertiert wird, gezeigt. Die erste Sammellinse jeder Invertierungseinrichtung 24 bzw. 26 invertiert den entsprechenden Teilstrahl. Die zweite Sammellinse dient dazu, den bereits invertierten Teilstrahl wieder in die Richtung der Strahlausbreitung zu lenken, d. h. daß ein parallel auf die erste Linse treffender Strahl die zweite Linse parallel verläßt.
Der Abstand zwischen der zweiten Sammellinse jeder Invertierungseinrichtung und der Ebene der Zylinderlinsenreihe 14, der in 4 mit a bezeichnet ist, ist in 4 deutlich größer als die Brennweiten f₅ und f₄. Gemäß einer alternativen Ausführungsform kann man jedoch den Abstand a auch so wählen, daß a = f₄.
Die Intensitätsverteilung 28, die der Laserstrahl in der Ebene 30 hinter den beiden Invertierungseinrichtungen 24 und 26 hat, ist in 4 schematisch (grau unterlegt) dargestellt.
In dem Profil 28 sind zwei Teilstrahlen invertiert, d. h., anstatt daß die Intensität von einer Seite (oben) zur anderen Seite (unten) beständig steigt, fällt das Profil ständig. Dies hat zur Folge, daß sich die Teilstrahlen in der Ebene 20 derart überlagern, daß ein Laserstrahl erzeugt wird, bei dem die Intensitätsverteilung so aussieht, daß die Intensität von einer Seite (unten) zur anderen Seite (oben) beständig abfällt.
Eine Intensitätsverteilung, wie man sie bei der vorliegenden Erfindung beispielsweise in der Ebene 30 erhält, ist in 5 gezeigt. (Hier wurde der Laserstrahl allerdings in mehr als nur sieben Teilstrahlen aufgeteilt).
Hier sind zwei Teilstrahlen 32 und 34, die jeweils eine Breite von zehn willkürlichen Einheiten haben, invertiert worden. Das Invertieren bedeutet hier, daß beispielsweise die Intensität, die der Laserstrahl am Breitenpunkt 11 vor dem Invertieren hatte, nunmehr am Breitenpunkt 19 vorliegt, die Intensität, die vor dem Invertieren auf der Breite 12 vorlag, liegt nun auf der Breite 18 vor, etc. Der Teilstrahl 32 geht also aus einer Spiegelung der werte des entsprechenden Teilstrahls aus 2 an einer durch die Breite 5 verlaufenden Achse hervor, der Teilstrahl 34 geht aus den Werten des entsprechenden Teilstrahls aus 2 hervor, wenn sie an einer Achse gespiegelt werden, die durch die Breite 15 verläuft.
Wird ein Strahl mit einer Intensitätsverteilung wie der in 5 gezeigten durch eine Homogenisiereinrichtung wie die in 1 dargestellte gesendet, so erhält man ein inhomogenes Strahlprofil, bei dem die Intensitätsverteilung von einer Seite zur anderen Seite beständig abfällt. Werden die Teilstrahlen anders als in der in 1 und 4 gezeigten Homogenisierungseinrichtung nicht abermals invertiert, so erhält man eine Intensitätsverteilung wie die in 6 gezeigte.
Strahlen mit einer derartigen Intensitätsverteilung werden, wie eingangs bereits erwähnt, z. B. beim Rekristallisieren von amorphen Si-Schichten vorteilhaft für eine homogene Rekristallisierung eingesetzt. Dabei lenkt man den Laserstrahl so auf Substrate mit amorphen Si-Schichten, daß die Schichten zunächst von dem in 6 linken Teil des Laserstrahls, also dem Teil mit der Intensitätsüberhöhung getroffen werden, und beim Abfahren des Laserstrahls über das Substrat nimmt dann die Laserleistung nach und nach ab.
Der in 6 gezeigte Winkel α kann dadurch eingestellt werden, daß man die Anzahl der invertierten Teilstrahlen (oder deren Größe) entsprechend wählt.
Bei der in 4 gezeigten Ausführungsform sind die Invertierungseinrichtungen 24 und 26 vor der Homogenisiereinrichtung 10 angeordnet. Sie können jedoch auch in diese eingebaut werden, z. B. indem die in 4 oberen beiden Linsen aus der Zylinderlinsenreihe 14 durch Linsen mit einer deutlich kleineren Brennweite ersetzt werden, und wobei in den Strahlengang z. B. zwischen der Zylinderlinsenreihe 14 und der Zylinderlinsenreihe 16 für die beiden oberen Teilstrahlen jeweils zwei weitere Linsen mit kurzer Brennweite eingebaut werden.
Bei einer weiteren Alternative dient nur eine einzige Sammellinse, die z. B. kurz vor der Homogenisiereinrichtung angeordnet wird oder in diese eingebaut wird, dazu, einen Teilstrahl zu invertieren.

Claims

Vorrichtung zum Umwandeln der Intensitätsverteilung eines Laserstrahls (12), mit einem Homogenisierer (10), dadurch gekennzeichnet, dass nur in einem Teilquerschnitt des Strahlenganges des Laserstrahls (12) Invertierlinsen (24, 26) angeordnet sind, die einen auf sie auftreffenden, eine inhomogene Intensitätsverteilung aufweisenden Teilstrahl des Laserstrahls in seiner Intensitätsverteilung invertieren.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zum invertieren zwei Sammellinsen mit Brennweiten f₅ und f₄ vorgesehen sind, die in Richtung des Strahlenganges im Abstand f₅ + f₄ voneinander entfernt angeordnet sind.
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Invertierlinsen (24, 26) in Richtung des Strahlenganges vor dem Homogenisieren (10) angeordnet sind.