DE10044516A1 - Prozeßausrüstungsauswahlsystem und Auswahlverfahren für Prozeßausrüstung - Google Patents
Prozeßausrüstungsauswahlsystem und Auswahlverfahren für ProzeßausrüstungInfo
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Abstract
Ein Prozeßausrüstungsauswahlsystem und ein Auswahlverfahren für Prozeßausrüstung werden vorgeschlagen, die automatische Steuerung der Spezifikation der geeignetsten Ausrüstung ermöglichen, wenn die Verarbeitung mit der speziellen Ausrüstung, die für jedes Los am geeignetsten ist, notwendig ist. Verarbeitung, die diese spezielle Ausrüstung benutzt, kann durch weiteres Auswählen der geeignetsten Ausrüstung aus der Ausrüstung durchgeführt werden, die für den Produkttyp benutzt wird. Da eine Mehrzahl von Einheiten der Ausrüstung, die für jedes Los spezifiziert werden können, eingestellt werden können, kann die Ausrüstung von einer Ausrüstungsgruppe mit dieser Mehrzahl von Einheiten von Ausrüstung spezifiziert werden. Die geeignete Zahl von Produkten im Prozeß für jede ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs-Id kann auf der Grundlage des Verteilungsprozentsatzes ri, durch Sammeln der Ausrüstung spezifischen Prozeßausrüstungs-Ids in der ausrüstungsspezifischen Gruppe für das Los in der Produktionslinie und Erhalten der Zahl von Produkten im Prozeß für jedes Prozeßausrüstungs-Id berechnet werden. Die ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstung mit dem maximalen Wert der Differenz zwischen der geeigneten Zahl von Produkten im Prozeß ni und der gesammelten tatsächlichen Zahl von Produkten im Prozeß kann bestimmt werden als die ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstung für das Los.
Description
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Prozeßausrü
stungsauswahlsystem und Auswahlverfahren für Prozeßausrüstung,
und insbesondere auf ein System und ein Verfahren zum Auswah
len von Herstellungsausrüstung oder Prozeßausrüstung, die eine
Ausrüstung auswählen, die am geeignetesten ist für jeden Pro
zeß in der Produktionslinie, die besonders hochgenaue Prozesse
verlangt.
Bei Photogravurprozessen für Halbleitervorrichtungen können
verschiedene Eigenschaften wie Übereinstimmungsgenauigkeit in
Abhängigkeit der Prozeßausrüstung, die für die Verarbeitung
benutzt wurde, resultieren, selbst wenn die Halbleitervorrichtungen
unter den gleichen Prozeßbedingungen verarbeitet wer
den. Wenn bis jetzt Produkte, die eine Übereinstimmungsgenau
igkeit zwischen Photogravurprozessen benötigen, hergestellt
werden, sind die Prozesse, die die Übereinstimmungsgenauigkeit
benötigen, nur mit der gleichen Ausrüstung oder mit Ausrüstung
innerhalb einer Ausrüstungsgruppe mit den gleichen Eigenschaf
ten herzustellen. Die Steuerung dieser festen Prozesse, der
Ausrüstung oder der Ausrüstungsgruppen, die die Übereinstim
mungsgenauigkeit verlangen, ist manuell durchgeführt worden.
Abmessungsgenauigkeit der Photogravur oder Abmessungsgenauig
keit des Ätzens verlangt eine ähnlich hochgenaue Prozeßverar
beitung.
Fig. 9 zeigt die Beziehung zwischen dem Prozeß und der Ausrü
stung, die in Produktionsfabriken benutzt wird. In Fig. 9
enthält die Haupttabelle (Prozeßhaupttabelle) 100 zum Definie
ren der Reihenfolge der Prozesse, die für die Produktion der
Produkte benötigt werden (hier im folgenden als "Los" bezeich
net). Die Prozeß-Id, die die Reihenfolge der Prozesse identi
fiziert, die Prozeßausrüstungs-Id, die die Gruppen identifi
ziert, die eine oder mehrere Einheiten der Ausrüstung enthal
ten, die entsprechend der Prozeß-Id nützlich sind. Zum Bei
spiel ist die Prozeß-Id in der Reihenfolge von "Prozeß 1",
"Prozeß 2" und "Prozeß 3" definiert, und die Prozeßausrü
stungs-Id entspricht jeder Prozeß-Id und ist als Prozeßausrü
stung definiert, bei der dem "Prozeß 1" "EQPG1" entspricht.
Die Prozeßausrüstungstabelle 120 definiert die Prozeßausrü
stungs-Id und die Ausrüstungs-Id, die in der Gruppe der rele
vanten Prozeßausrüstungs-Id enthalten ist. Die Prozeßausrü
stungstabelle 120 definiert eine oder mehrere Ausrüstungs-Id
entsprechend der Prozeßausrüstungs-Id, und die durch diese
Ausrüstungs-Id's identifizierter Ausrüstung ist die Ausrü
stung, die für die tatsächliche Verarbeitung in jedem Prozeß
nützlich ist. Bei den Herstellungsfabriken wird die Ausrü
stungs-Id, die in einer bestimmten Prozeß-Id benutzt wird,
durch Ausführen eines Computerprogrammes 130 bestimmt zum Ge
winnen der Ausrüstung, in dem die oben beschriebene Prozeß
haupttabelle 100 und die Prozeßausrüstungstabelle 100 benutzt
werden.
Fig. 10 ist ein Flußdiagramm, das einen Ausrüstungsgewin
nungsprozeß zum Erhalten einer Ausrüstung zeigt, die zur Ver
arbeitung in dem nächsten Prozeßschritt benutzt werden kann,
wenn ein bestimmter Prozeßschritt eines Loses beendet worden
ist und zu dem nächsten Prozeßschritt geht. Wie Fig. 10
zeigt, wird zuerst die Prozeßhaupttabelle 120 für das Los ge
wonnen zum Erhalten der Prozeßausrüstungs-Id, die für die näch
ste Prozeß-Id benutzbar ist (Schritt S510). Die Prozeßausrü
stungstabelle 120 wird gewonnen zum Erhalten der Ausrüstungs-Id
entsprechend der Prozeßausrüstungs-Id, die in Schritt S510 er
halten worden ist (Schritt S520). Eine Einheit der Ausrüstung
wird von einer oder mehreren Ausrüstungs-Id ausgewählt, die in
Schritt S520 erhalten sind, und das Los wird tatsächlich durch
die ausgewählte Ausrüstung bearbeitet (S530).
Damit die Verbesserung der Qualität oder der Genauigkeit eines
Loses erreicht wird, muß die zur Verarbeitung benutzte Ausrü
stung begrenzt werden, insbesondere wenn Prozeßgenauigkeit
verlangt wird. Bei dem Verfahren zum Auswählen der Prozeßaus
rüstung wurde jedoch nicht, da eine Einheit der Ausrüstung aus
einer Gruppe der Ausrüstungen, die für die Verarbeitung eines
Types des Produktes geeignet ist, wie oben beschrieben wurde,
ausgewählt wird, die für jedes Los geeignetste Ausrüstung
nicht unbedingt ausgewählt. Wenn eine begrenzte Einheit der
Ausrüstung, die für die Verarbeitung nutzbar ist, ausgewählt
wird, kann die Ausrüstung nicht ersetzt werden, wenn sie nicht
mehr benutzt werden kann aufgrund eines Fehlers oder ähnli
ches, dieses wird eine kritische Störung bei der Produktion
des Loses.
Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Lösung
der oben beschriebenen Probleme vorzusehen und ein Prozeßaus
rüstungsauswahlsystem und ein Auswahlverfahren für Prozeßaus
rüstung vorzusehen, die für jede Art des Loses ermöglichen,
daß sie durch eine Einheit einer Mehrzahl von Einheiten von
Ausrüstung bearbeitet werden, wobei automatisch die Auswahl
der geeignetsten Ausrüstung gesteuert wird, wenn die Verarbei
tung mit einer begrenzten Einheit von Ausrüstung benötigt
wird, die am geeignetsten für jedes Los ist.
Diese Aufgabe wird gelöst durch ein Prozeßausrüstungsauswahl
system nach Anspruch 1.
Das System zum Auswählen der Prozeßausrüstung für jedes Los
weist auf: eine Prozeßhauptsteuereinrichtung zum Steuern der
Reihenfolge der Prozeßschritte, die das Los produzieren, zu
sammen mit einer Prozeßausrüstungsgruppe, die mindestens eine
Einheit der Ausrüstung enthält, die für den Prozeß benutzt
wird, ein Steuertyp, der anzeigt, ob oder nicht die Spezifika
tion der für den Prozeß benutzten Prozeßausrüstung gesteuert
ist, und ein Elementprozeß, den der Prozeß enthalten kann, ei
ne Losinformationssteuereinrichtung zum Steuern einer ausrüstungsspezifischen
Prozeßausrüstungsgruppe, die mindestens ei
ne Einheit von der Prozeßausrüstung enthält, die für den Ele
mentprozeß für jedes Los benutzt wird, und den Elementprozeß
des Loses; und eine ausrüstungsspezifizierte Prozeßausrü
stungssteuereinrichtung, die die Prozeßausrüstung steuert, die
in der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe enthal
ten ist für jede der ausrüstungsspezifischen Ausrüstungsgrup
pen, worin, wenn der Steuertyp der Prozeßhauptsteuereinrich
tung das Steuern der Spezifikation der Prozeßausrüstung zum
Erzeugen des Loses anzeigt, eine ausrüstungsspezifische Pro
zeßausrüstungsgruppe, die speziell benutzt wird, von der Lo
sinformationssteuereinrichtung geholt wird, und die in der
ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe enthaltene
Prozeßausrüstung aus der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrü
stungssteuereinrichtung geholt wird.
Bevorzugte Ausgestaltungen des Systems sind in den entspre
chenden Unteransprüchen angegeben.
Die Aufgabe wird auch gelöst durch ein Auswahlverfahren für
Prozeßausrüstung nach Anspruch 11.
Das Auswahlverfahren für Prozeßausrüstung wird in einem Pro
zeßausrüstungsauswahlsystem zum Auswählen von Prozeßausrüstung
für jeweils ein Los eingesetzt, wobei das Prozeßausrüstungs
auswahlsystem aufweist: einen Prozeßhauptsteuerabschnitt zum
Steuern der Reihenfolge der Prozeßschritte, die das Los produ
zieren, zusammen mit einer Prozeßausrüstungsgruppe, die minde
stens eine Einheit der Ausrüstung enthält, die für den Prozeß
benutzt wird, ein Steuertyp, der anzeigt, ob oder nicht die
Spezifikation der für den Prozeß benutzten Prozeßausrüstung
gesteuert wird, und ein Elementprozeß, den der Prozeß enthal
ten kann; einen Losinformationssteuerabschnitt zum Steuern ei
ner ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe, die min
destens eine Einheit der Prozeßausrüstung enthält, die für den
Elementprozeß für jedes Los und den Elementprozeß des Loses
benutzt wird; und eine ausrüstungsspezifische Steuereinrich
tung, die die Prozeßausrüstung steuert, die in der ausrü
stungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe für jede der ausrü
stungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppen enthalten ist, wo
bei das Auswahlverfahren für Prozeßausrüstung aufweist: einen
Holschritt einer ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstung zum
Holen einer ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe,
die speziell benutzt wird, von dem Losinformationssteuerab
schnitt, wenn der Steuertyp des Prozeßhauptsteuerabschnittes
das Steuern der Spezifikation der Prozeßausrüstung zum Produ
zieren des Loses anzeigt; und einen Auswahlschritt zum Auswäh
len der Prozeßausrüstung, die in der ausrüstungsspezifischen
Prozeßausrüstungsgruppe enthalten ist, die durch den Hol
schritt der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstung von dem
ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungssteuerabschnitt ge
holt wurde.
Bevorzugte Ausgestaltungen des Verfahrens sind in den zugehö
rigen Unteransprüchen angegeben.
Weitere Merkmale und Zweckmäßigkeiten der Erfindung ergeben
sich aus der Beschreibung von Ausführungsformen der Erfindung
anhand der Figuren.
Von den Figuren zeigen:
Fig. 1 einen schematischen Aufbau des Computersystems, der
das Prozeßauswahlsystem der vorliegenden Erfindung
ausführt;
Fig. 2 die Beziehung zwischen den Prozessen zum Bearbeiten
des Loses in Ausführungsform 1 der vorliegenden Er
findung und der in diesen Prozessen benutzen Ausrü
stung;
Fig. 3 ein Flußdiagramm, das das Ausrüstungsauswahlverfah
ren in Ausführungsform 1 der vorliegenden Erfindung
zeigt, wenn die Ausrüstung, die für die Verarbeitung
des Loses in dem nächsten Prozeßschritt nutzbar ist,
geholt wird;
Fig. 4 ein Auswahlverfahren für Prozeßausrüstung, wenn aus
rüstungsspezifische Prozeßausrüstung für jedes Los
gemäß Ausführungsform 2 der vorliegenden Erfindung
bestimmt ist;
Fig. 5 ein Flußdiagramm, das das Verfahren zum Bestimmen
einer Kandidatenausrüstung für jedes Los zeigt, wenn
die für die Verarbeitung des Loses in dem nächsten
Prozeßschritt nutzbare Ausrüstung gemäß Ausführungs
form 2 der vorliegenden Erfindung nutzbar ist;
Fig. 6 ein Bestimmungsverfahren einer ausrüstungsspezifi
schen Prozeßausrüstungs-Id gemäß Ausführungsform 3
der vorliegenden Erfindung;
Fig. 7 ein Verfahren zum Anzeigen und Modifizieren der Aus
rüstungsgruppe, die für jedes Produkt oder jedes Los
in Ausführungsform 5 der vorliegenden Erfindung spe
zifiziert wurde;
Fig. 8 ein Anzeigeverfahren für nutzbare Ausrüstungs-Id
oder ähnliches für jede ausrüstungsspezifische Grup
pe in Ausführungsform 5 der vorliegenden Erfindung;
Fig. 9 die Beziehung zwischen dem Prozeß und der Ausrü
stung, die in Produktionsfabriken benutzt werden;
Fig. 10 einen Flußdiagramm, das einen Ausrüstungsgewinnungs
prozeß zum Erhalten von Ausrüstung zeigt, die zum
Bearbeiten in dem nächsten Prozeßschritt benutzt
werden kann, wenn ein bestimmter Prozeßschritt eines
Loses beendet worden ist und zu dem nächsten Prozeß
schritt gegangen wird.
Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden unten un
ter Bezugnahme auf die begleitenden Zeichnungen beschrieben.
Es wird angemerkt, daß die gleichen Bezugszeichen in den
Zeichnungen die gleichen oder entsprechende Komponenten be
zeichnen.
Die Funktionen eines Computersystems, das eine Ausführungsform
des Prozeßauswahlsystems ist, wird zuerst kurz beschrieben,
und dann werden die Ausführungsformen der vorliegenden Erfin
dung im einzelnen unter Bezugnahme auf die Zeichnungen be
schrieben.
Fig. 1 zeigt einen schematischen Aufbau des Computersystems,
der eine Ausführungsform des Prozeßauswahlsystems ist. In
Fig. 1 bezeichnet das Bezugszeichen 10 das Computersystem, das
das Prozeßauswahlsystem ausführt, das Bezugszeichen 11 be
zeichnet den Computer, der das Verfahren zum Auswählen von
Prozessen ausführt, der Speicher (nicht gezeigt) wie einen ROM
(Nurlesespeicher), der Daten speichert, die für die Verarbei
tung notwendig sind, und einen RAM (Direktzugriffsspeicher)
enthält. Bezugszeichen 15 bis 18 bezeichnen Lostransportgeräte
oder ähnliches, das Bezugszeichen 16 bezeichnet einen Transportsteuerhostcomputer,
der die Lostransportgeräte 15 und ähn
liches steuert, Bezugszeichen 12 bis 14 bezeichnen Einheiten
von Ausrüstung, die andere Prozesse oder ähnliches ausführen,
Bezugszeichen 17 bezeichnet eine Anschlußeinrichtung, die Da
ten oder Befehle zu oder von dem Computer 11, dem Transport
steuerhostcomputer 16 oder der Ausrüstung 12 oder ähnliches
sendet oder empfängt, Bezugszeichen 19 bezeichnet einen Bus,
der den Computer 11, den Transportsteuerhostcomputer 16, die
Ausrüstung 12 und ähnliches verbindet.
Das Prozeßausrüstungsauswahlprogramm kann auf einem Aufzeich
nungsmedium (nicht gezeigt) wie eine CD-ROM oder FD gespei
chert sein, die mit der Anschlußeinrichtung 17, dem Computer
11, dem Transportsteuerhostcomputer 16 und ähnliches verbunden
sind. Das auf dem Aufzeichnungsmedium wie CD-ROM oder FD ge
speicherte Prozeßausrüstungsauswahlprogramm wird von dem Com
puter 11 oder ähnliches ausgeführt.
Das Prozeßausrüstungsauswahlsystem und das Verfahren zum Er
werben der Ausrüstung, die der Kandidat zum Bearbeiten des Lo
ses in der Ausführungsform 1 der vorliegenden Erfindung ist,
wird unten beschrieben. Die Prozeßausrüstungsauswahl wird aus
geführt, wenn das Gewinnen der Ausrüstung notwendig ist, wie
wenn der Prozeß des Loses vorangegangen ist und die Erneuerung
der Prozeßausrüstung durch den Bediener angewiesen wird.
Fig. 2 zeigt die Beziehung zwischen den Prozessen zum Verar
beiten des Loses in Ausführungsform 1 der vorliegenden Erfin
dung und der in jenen Prozessen benutzten Ausrüstung. In Fig.
2 bezeichnet das Bezugszeichen 30 eine Prozeßhaupttabelle
(Prozeßhauptsteuereinrichtung), die die Reihenfolge der Pro
zesse definiert, die für die Produktion des Loses benötigt
werden, sie weist auf die Prozeß-Id, die die Reihenfolge der zu
verarbeitenden Prozesse anzeigt, die Prozeßausrüstungs-Id, die
die Gruppe anzeigt, die eine oder mehrere Einheiten der Ausrü
stung enthält, die entsprechend der Prozeß-Id benutzbar sind,
den Steuertyp, der anzeigt, ob die Steuerung zum Spezifizieren
der Ausrüstung in der Prozeß-Id benutzt wird (hier im folgenden
als "ausrüstungsspezifisch" bezeichnet) und die Element-Id, die
die Identifizierung zum Ausführen einer Mehrzahl von ausrü
stungsspezifischen Steuerungen selbst in dem Fall eines Einpro
dukttypes ist, hin. Zum Beispiel ist die Prozeß-Id in der Rei
henfolge "Prozeß 1", "Prozeß 2" und "Prozeß 3" definiert. Die
Prozeßausrüstungs-Id entspricht jeder Prozeß-Id, und die Pro
zeßausrüstungs-Id, die dem "Prozeß 1" entspricht, ist als
"EQPG1" definiert. Der Steuertyp ist als "Steuerung" für die
Prozeß-Id von "Prozeß 5" definiert, und in diesem Fall ist die
Element-Id als "GB" definiert. Die Element-Id kann in die Ein
heit des Elementarprozesses oder ähnliches unterteilt werden.
Das Bezugszeichen 40 bezeichnet eine ausrüstungsspezifische
Losinformationstabelle (Losinformationssteuereinrichtung), die
eine spezifische Ausrüstung für das Los anzeigt, die die Los-
Id enthält, die jedem Los zum Identifizieren des Loses oder
des zu verarbeitenden Produktes zugeordnet ist, die Element-
Id, die die Identifizierung ist, die durch den Prozeß zum Aus
führen einer Mehrzahl von ausrüstungsspezifischen Steuerungen
für ein Los bestimmt ist, und die Prozeßausrüstungs-Id, die
für die Ausrüstung zum Identifizieren der ausrüstungsspezifi
schen Gruppe von einer oder mehreren Einheiten von Ausrüstung
(ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungsgruppe) ähnlich zu
der Los-Id oder der Element-Id spezifisch ist. Zum Beispiel
enthält die Los-Id "AAA001", "AAA002" oder ähnliches, und die
Element-Id, von der die Los-Id gleich "AAA001" ist, enthält
"GA", "GB" oder "GC". Die ausrüstungsspezifische Prozeßausrü
stungs-Id, von der die Los-Id gleich "AAA001" ist und die Ele
mentidee gleich "GA" ist, ist "EQPGA1".
Das Bezugszeichen 20 bezeichnet eine Prozeßausrüstungstabelle
(Prozeßausrüstungssteuereinrichtung), die die Prozeßausrü
stung-Id und die Ausrüstungs-Id, die in der Gruppe der Prozeß
ausrüstung-Id enthalten ist, definiert. Die Prozeßausrüstungs
tabelle 20 definiert eine oder mehrere Ausrüstungs-Ids ent
sprechend der Prozeßausrüstungs-Id, und die durch diese Ausrü
stungs-Ids identifizierte Ausrüstung ist die tatsächlich in
jedem Prozeß benutzte Ausrüstung. Zum Beispiel enthält die
Prozeß-Id "EQPG1" die Einheiten der Ausrüstung, von denen die
Ausrüstungs-Ids "EQP01", "EQP02", "EQP03" und "EQP04" sind.
Das Bezugszeichen 50 bezeichnet die ausrüstungsspezifische
Prozeßausrüstungstabelle (ausrüstungsspezifische Prozeßausrü
stungssteuereinrichtung), die die ausrüstungsspezifische Pro
zeßausrüstungs-Id und die in der Gruppe der ausrüstungsspezi
fischen Prozeßausrüstungs-Id enthaltene Ausrüstungs-Id defi
niert. Die ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungstabelle 50
definiert eine oder mehrere Ausrüstungs-Ids entsprechend der
ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungs-Id, und die durch
diese Ausrüstungs-Ids identifizierte Ausrüstung ist die Ausrü
stung, die tatsächlich in jedem Prozeß benutzbar ist. Zum Bei
spiel enthält die ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs-Id
"EQPGA1" die Einheiten der Ausrüstung, von denen die Ausrüstungs-Ids
"EQP11" und "EQP14" sind. Die ausrüstungsspezifi
sche Prozeßausrüstungstabelle 50 weist den gleichen Aufbau wie
die Prozeßausrüstungstabelle 20 auf. Daher weist in dem Fall
der gleichen Prozeß-Id die Ausrüstungs-Id in der ausrüstungs
spezifischen Prozeßausrüstungstabelle 50 die Beziehung auf,
die in der Ausrüstungs-Id in der Prozeßausrüstungstabelle 20
enthalten ist.
Als nächstes wird das Ausrüstungsauswahlverfahren zum Holen
der Kandidatenprozeßausrüstung beschrieben, wenn es verlangt
wird, daß die für die Verarbeitung des Loses in dem nächsten
Prozeßschritt benutzbare Ausrüstung begrenzt wird, wie in dem
Fall, in dem ein Los in einem Prozeßschritt bearbeitet worden
ist und zu dem nächsten Prozeßschritt vorangeht.
Fig. 3 ist ein Flußdiagramm, das das Ausrüstungsauswahlver
fahren in der Ausführungsform 1 der vorliegenden Erfindung
zeigt, wenn die Ausrüstung, die geeignet zum Verarbeiten des
Loses in dem nächsten Prozeßschritt ist, geholt wird. Wie
Fig. 3 zeigt, werden verschiedene Steuerinformationen der Pro
zeßhaupttabelle 30 des Loses zum Auswählen der Ausrüstung ge
wonnen zum Erhalten des Steuertypes und der Element-Id der
nächsten Prozeß-Id (Schritt S110). Aus dem in Schritt S110 er
haltenen Steuertyp wird bestimmt, ob der relevante Prozeß der
ausrüstungsspezifische Steuerprozeß ist oder nicht ist
(Schritt S120). Wenn der Prozeß als der ausrüstungsspezifische
Steuerprozeß in Schritt S120 bestimmt wird, wird die ausrü
stungsspezifische Losinformationstabelle 40 gewonnen zum Er
halten der relevanten Los-Id und ebenfalls der ausrüstungsspe
zifischen Prozeßausrüstungs-Id, die der Element-Id entspre
chen, die in Schritt S110 erhalten wurden (Schritt S130). Die
ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungstabelle 50 wird unter
Benutzung der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungs-Id,
die in dem Schritt S130 geholt wurde, zum Holen der nutzbaren
Ausrüstungs-Id gewonnen (Schritt S140). Aus einer oder mehre
rer Ausrüstungs-Id, die in Schritt S140 geholt wurden, wird
eine Einheit der Ausrüstung, die tatsächlich für die Verarbei
tung des Loses benutzbar ist, ausgewählt, und das Los wird
tatsächlich durch die ausgewählte Einheit der Ausrüstung bear
beitet (Schritt S150). Wenn dagegen der Prozeß als nicht der
ausrüstungsspezifische Steuerprozeß in Schritt S120 bestimmt
wird, werden verschiedene Steuerinformationen der Prozeß
haupttabelle 30 des Loses zum Auswählen der Ausrüstung gewon
nen zum Holen der Prozeßausrüstungs-Id des Typs des relevanten
Loses (Schritt S160). Die Prozeßausrüstungstabelle 20 wird un
ter Benutzung der Prozeßausrüstungs-Id gewonnen, die in
Schritt S160 geholt wurde, zum Holen der nutzbaren Ausrü
stungs-Id (Schritt S170). Aus einer oder mehreren Ausrüstungs-
Id, die in Schritt S170 geholt wurden, wird eine Einheit der
Ausrüstung, die tatsächlich zum Verarbeiten des Loses nutzbar
ist, ausgewählt, und das Los wird tatsächlich durch die ausge
wählte Einheit der Ausrüstung bearbeitet (Schritt S150).
Da gemäß der Ausführungsform 1, wie oben beschrieben wurde,
die optimale Einheit der Ausrüstung für jedes Los aus den
nutzbaren Einheiten der Ausrüstung ausgewählt werden kann,
kann das Los unter Benutzung der spezifizierten Einheit der
Ausrüstung bearbeitet werden. Da weiterhin eine Mehrzahl von
Einheiten der Ausrüstung für jedes Los spezifiziert werden
kann, kann die Einheit der Ausrüstung durch die Ausrüstungs
gruppe spezifiziert werden, die eine Mehrzahl von Einheiten
der Ausrüstung aufweist.
Fig. 4 zeigt ein Verfahren zum Auswählen von Prozeßausrü
stung, wenn die ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstung für
jedes Los gemäß der Ausführungsform 2 der vorliegenden Erfin
dung bestimmt wird. In Fig. 2 ist, da die Tabellen mit den
gleichen Bezugszeichen, wie sie in Fig. 2 benutzt wurden, die
gleichen Beziehungen wie in Fig. 2 aufweisen, die Beschrei
bung weggelassen.
In Fig. 4 bezeichnet das Bezugszeichen 60 die ausrüstungsspe
zifische Steuertabelle (ausrüstungsspezifische Steuereinrich
tung), die aufweist, die ausrüstungsspezifische Gruppe, die
den Typ und die Element-Id enthält, die eindeutig aus dem Los
bestimmt sind, die ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs-Id
zum Identifizieren einer Mehrzahl von ausrüstungsspezifischen
Gruppen (ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppen),
von denen jede eine oder mehrere Einheiten der Ausrüstung für
jede ausrüstungsspezifische Gruppe aufweist, und den Vertei
lungsprozentsatz zum Zuordnen der Einheit der Ausrüstung, die
in einer Mehrzahl von ausrüstungsspezifischen Prozeßausrü
stungsgruppen enthalten sind, zu den Losen. Der Verteilungs
prozentsatz ist ein Prozentsatz, der zum Zuordnen der geeig
netsten ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungs-Id unter ei
ner Mehrzahl von ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungs-Ids
in der gleichen ausrüstungsspezifischen Gruppe zu den Losen
definiert ist und die Gesamtheit des Verteilungsprozentsatzes
für jede ausrüstungsspezifische Gruppe beträgt 100%. Zum Bei
spiel enthält die ausrüstungsspezifische Gruppe, deren Typ
"AAA" ist und deren Element-Id "GB" ist, enthält zwei ausrüstungsspezifische
Prozeßausrüstungsgruppen mit "EQPGB1" und
"EQPGB2" als ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs-Ids. Das
Bezugszeichen 70 zeigt die Verteilungszustandstabelle (Vertei
lungszustandssteuereinrichtung), die die Verteilungsverhält
nisse sammelt und steuert, die von den Verteilungsprozentsät
zen umgewandelt sind, die in der ausrüstungsspezifischen Steu
ertabelle 60 gezeigt sind, und das Resultat der Verteilung für
jede ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs-Id der ausrü
stungsspezifischen Gruppe. Der anfängliche Wert der Resultate
der Verteilung der Verteilungszustandstabelle 70 ist 0. Die
ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs-Id, die von der Los-
Id und der Element-Id bestimmt ist, wird in der ausrüstungs
spezifischen Prozeßausrüstungs-Id-Spalte der Losinformati
onstabelle 40 akkumuliert. Daher ist der Zustand der ausrü
stungsspezifischen Prozeßausrüstungs-Id, die für die gegenwär
tige Los-Id und Element-Id benutzt wird, bekannt und durch die
Verteilungszustandstabelle 40 gesteuert.
Fig. 5 ist ein Flußdiagramm, das das Verfahren zum Bestimmen
der Kandidatenausrüstung eines jeden Loses zeigt, wenn die
Ausrüstung, die zum Verarbeiten des Loses in dem nächsten Pro
zeßschritt gemäß der Ausführungsform 2 der vorliegenden Erfin
dung gegeben ist. Wie Fig. 5 zeigt, werden verschiedene
Steuerinformationen zum Auswählen der Ausrüstung in der Pro
zeßhaupttabelle 30 des Loses zuerst gewonnen zum Holen des
Steuertypes der nächsten Prozeß-Id und der Element-Id (Schritt
S210). Aus dem in Schritt S210 geholten Steuertyp wird be
stimmt, ob oder nicht der gegenwärtige Prozeß der ausrüstungs
spezifische Bestimmungsprozeß ist (Schritt S220). Wenn der
Prozeß als der ausrüstungsspezifische Bestimmungsprozeß in
Schritt S220 bestimmt wird, wird die ausrüstungsspezifische
Steuertabelle 60 gewonnen zum Holen einer Mehrzahl von ausrü
stungsspezifischen Prozeßausrüstungs-Ids entsprechend dem Typ
der Los-Id und ebenfalls der Element-Id, die in Schritt S210
geholt sind. Aus der geholten Mehrzahl von ausrüstungsspezifi
schen Prozeßausrüstungs-Id wird die ausrüstungsspezifische
Prozeßausrüstungs-Id bestimmt, die für das vorliegende Los die
geeignetste ist (Schritt S230). Die in Schritt S230 bestimmte
ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs-Id wird in der ausrü
stungsspezifischen Losinformationstabelle 40 gespeichert
(Schritt S240). Wenn dagegen der Prozeß nicht als ausrüstungs
spezifischer Bestimmungsprozeß in Schritt S220 bestimmt wird,
werden die Schritte S230 und S240 nicht ausgeführt und der Be
stimmungsprozeß endet. Die Bestimmung der geeignetsten ausrü
stungsspezifischen Prozeßausrüstungs-Id in Schritt S230 wird
in der Beschreibung der Ausführungsform 3 und 4 unten be
schrieben.
Gemäß der Ausführungsform 2 kann, wie oben beschrieben wurde,
die ausrüstungsspezifische Gruppe, die die Ausrüstung spezifi
ziert, automatisch durch dieses System bestimmt werden. Weiter
kann, wie in den Ausführungsformen 1 oder 2 beschrieben wurde,
die ausrüstungsspezifische Steuerung nur durch die Prozeßstufe
ausgeführt werden, die für ein Produkt oder ein Los benötigt
wird, durch spezifizieren der ausrüstungsspezifischen Steue
rung für die Prozeß-Id der Prozeßhaupttabelle 30.
Die Bestimmung, ob oder nicht der vorliegende Prozeß der aus
rüstungsspezifische Bestimmungsprozeß ist in Schritt S120 der
oben beschriebenen Ausführungsform (Fig. 3) und die Bestim
mung, ob oder nicht der vorliegende Prozeß der ausrüstungsspe
zifische Bestimmungsprozeß ist in Schritt S220 der Ausführungsform
2 (Fig. 4), kann gemeinsam durchgeführt werden. In
dem Fall des ausrüstungsspezifischen Steuerprozesses können
die in Fig. 3 gezeigten Schritte S130, S140 und S150 ausge
führt werden; in dem Fall des ausrüstungsspezifischen Bestim
mungsprozesses können die in Fig. 5 gezeigten Schritt S230
und S240 ausgeführt werden; in dem Fall des ausrüstungsspezi
fischen Steuerprozesses und ebenfalls in dem ausrüstungsspezi
fischen Bestimmungsprozesses können die in Fig. 5 gezeigten
Schritte S230 und S240 ausgeführt werden, bevor die in Fig. 3
gezeigten Schritte S130, S140 und S150 ausgeführt werden; und
wenn der Prozeß weder der ausrüstungsspezifische Steuerprozeß
noch der ausrüstungsspezifischen Bestimmungsprozeß ist, können
die in Fig. 3 gezeigten Schritte S160 und S170 ausgeführt
werden.
Fig. 6 zeigt ein Verfahren zum Bestimmen der ausrüstungsspe
zifischen Prozeßausrüstungs-Id gemäß der Ausführungsform 3 der
vorliegenden Erfindung. Ausführungsform 3 ist ein Beispiel der
am besten ausgerichteten Verfahren zum Bestimmen der ausrü
stungsspezifischen Prozeßausrüstungs-Id in Schritt S230 für
die oben beschriebene Ausführungsform 2 (Fig. 5). Wie Fig. 6
zeigt, wird eine Mehrzahl von ausrüstungsspezifischen Prozeß
ausrüstungs-Ids des gleichen Produkttypes und mit der gleichen
Element-Id in einer ausrüstungsspezifischen Gruppe gesammelt.
Als nächstes werden für die Lose in der Produktlinie die aus
rüstungsspezifischen Prozeßausrüstungs-Ids innerhalb dieser
ausrüstungsspezifischen Gruppe von der ausrüstungsspezifischen
Losinformationstabelle 40 gesammelt, und die Zahl der Lose im
Prozeß (Ni, i = 1. . .n, n = Zahl der Ids) wird für jede ausrüstungsspezifische
Prozeßausrüstungs-Id (Berechnungseinrichtung
für die Zahl der Lose im Prozeß) gezählt. Die gesammelte Zahl
der Lose in dem Prozeß für jede ausrüstungsspezifische Prozeß
ausrüstungs-Id wird korrigiert, wie es notwendig ist (Schritt
S310).
Die Verteilungsprozentsätze für jede ausrüstungsspezifische
Prozeßausrüstungs-Id in der oben beschriebenen ausrüstungsspe
zifischen Gruppe (ri, i = 1. . .n) wird aus der ausrüstungsspe
zifischen Steuertabelle 60 geholt (Schritt S320, Verteilungs
prozentsatzholeinrichtung). Die richtige Zahl der Produkte im
Prozeß für jede ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs-Id
(ni, i = 1. . .n) wird auf der Grundlage der Ausrüstungsprozent
sätze ri berechnet (Schritt S330, Berechnungseinrichtung für
die richtige Zahl der Produkte im Prozeß). Diese richtige Zahl
der Produkte im Prozeß kann zum Beispiel durch die folgende
Gleichung (1) als die richtige Zahl der Produkte im Prozeß er
halten werden:
Die Differenz Gi zwischen der richtigen Zahl der Produkte im
Prozeß ni, die aus der Gleichung (1) oder ähnlichem erhalten
wird, und die tatsächliche Zahl der Produkte im Prozeß wird
erhalten, wie in Gleichung (2) gezeigt ist:
Gi = ni - Ni (2)
Dieses Gi ist gleich dem Prioritätsgrad der ausrüstungsspezi
fischen Prozeßausrüstungs-Ids in dem gegenwärtigen Prozeß
(Schritt S340, Prioritätsgradberechnungseinrichtung). Der
höchste Prioritätsgrad G wird aus der Gleichung 3 durch Ver
gleichen der Prioritätsgrade Gi der ausrüstungsspezifischen
Prozeßausrüstungs-Id für jede Einheit der Ausrüstung erhalten,
und dieser höchste Prioritätsgrad G wird als die ausrüstungs
spezifische Prozeßausrüstungs-Id des gegenwärtigen Loses be
stimmt (Schritt S350, Bestimmungseinrichtung):
G = max (Gi) (3)
Der Verteilungsprozentsatz ri kann zum Beispiel durch gemein
sames Berechnen der Zahl der registrierten Einheiten von Aus
rüstung einer ausrüstungsspezifischen Gruppe, der Ausrüstungs
betriebsbedingungen oder des Qualitätszustandes, des Wartungs
planes und der Zahl der für die Produktion geplanten objekti
ven Lose erhalten werden.
Gemäß Ausführungsform 3 kann, wie oben beschrieben wurde, die
Zahl der Produkte im Prozeß (Ni, i = 1. . .n, n = Zahl der
Ids) für jede ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs-Id er
halten werden durch Sammeln der ausrüstungsspezifischen Pro
zeßausrüstungs-Id in der ausrüstungsspezifischen Gruppe für
das Los in der Produktionslinie. Die geeignete Zahl der Pro
dukte im Prozeß für jede ausrüstungsspezifische Prozeßausrü
stungs-Id (ni, i = 1. . .n) kann auf der Grundlage der Vertei
lungsprozentsätze ri berechnet werden. Die Ausrüstung mit der
größen Differenz zwischen dieser geeigneten Zahl von Produkten
im Prozeß ni und der gesammelten tatsächlichen Zahl der Pro
dukte im Prozeß kann als die ausrüstungsspezifische Prozeßaus
rüstung des gegenwärtigen Loses bestimmt werden.
Ausführungsform 4 ist ein anderes Beispiel von Verfahren zum
Bestimmen der am besten geeigneten ausrüstungsspezifischen
Prozeßausrüstungs-Id in Schritt S230 in der oben beschriebenen
Ausführungsform 2 (Fig. 5). Wie die ausrüstungsspezifische
Verteilungszustandstabelle 70 zeigt, werden die Verteilungs
verhältnisse, die auf der Grundlage des Verteilungsprozentsat
zes ri einer jeden ausrüstungsspezifischen Steuertabelle 60
und der Verteilungsresultate berechnet werden, für den Pro
dukttyp, die Element-Id und die ausrüstungsspezifische Prozeß
ausrüstungs-Id bestimmt. Für eine ausrüstungsspezifische Grup
pe des gleichen Produkttypes, die durch die gleiche Element-Id
bezeichnet ist, wird der Verteilungsprozentsatz ri einer jeden
ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs-Id in entsprechende
Ganzzahlverhältnisse umgewandelt und als das Verteilungsver
hältnis der ausrüstungsspezifischen Verteilungszustandstabelle
70 registriert. Der anfängliche Wert der Verteilungsresultate
wird auf Null gesetzt. Die ausrüstungsspezifische Verteilungs
zustandstabelle 70 wird zu der gleichen Zeit der Registrierung
der ausrüstungsspezifischen Steuertabelle 60 vorbereitet. Wenn
es nötig ist, die Ausrüstung zu spezifizieren, die in dem
nächsten Prozeßschritt für jedes Los benutzbar ist, wird die
ausrüstungsspezifische Verteilungszustandstabelle 70 der aus
rüstungsspezifischen Gruppe, die zu dem Produkttyp des Loses
paßt, und die Element-Id des Prozeßschrittes gewonnen, und das
Verteilungsverhältnis und das Verteilungsresultat werden ge
holt. Das entsprechende Verteilungsverhältnis wird mit dem
Verteilungsresultat für jede einer Mehrzahl von ausrüstungs
spezifischen Prozeßausrüstungs-Ids verglichen, und die ausrü
stungsspezifische Prozeßausrüstungs-Id, von der das Vertei
lungsresultat nicht das Verteilungsverhältnis erreicht hat,
wird zu der ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs-Id des
gegenwärtigen Loses gemacht. Zu der gleichen Zeit wird die be
stimmte ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs-Id zu dem
Verteilungsresultat addiert. Wenn das Verteilungsresultat ei
ner jeden ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungs-Id das
gleiche wie das entsprechende Verteilungsverhältnis in der
gleichen ausrüstungsspezifischen Gruppe ist, kehrt das Vertei
lungsresultat zu dem anfänglichen Wert zurück.
Wie oben gemäß Ausführungsform 4 beschrieben wurde, kann durch
Vergleichen des entsprechenden Verteilungsverhältnisses mit
dem Verteilungsresultat für jede der Mehrzahl von ausrüstungs
spezifischen Prozeßausrüstungs-Ids die ausrüstungsspezifische
Prozeßausrüstungs-Id, von der das Verteilungsresultat nicht
das Verteilungsverhältnis erreicht hat, die ausrüstungsspezi
fische Prozeßausrüstungs-Id des gegenwärtigen Loses gemacht
werden. Daher kann die ausrüstungsspezifische Prozeßausrü
stungs-Id des Loses durch das einfachere Verfahren als das
Verfahren von Ausführungsform 3 bestimmt werden.
Fig. 7 zeigt ein Verfahren zum Bezeichnen und Modifizieren
der Ausrüstungsgruppe, die für jedes Produkt oder jedes Los in
der Ausführungsform 5 der vorliegenden Erfindung spezifiziert
wurde. In Fig. 7 bezeichnet das Bezugszeichen 80 das Losin
formationsanzeigebild, das ein Beispiel zeigt, das ausrü
stungsspezifische Losinformation anzeigt, die auf der Grundla
ge der ausrüstungsspezifischen Losinformationstabelle 70 und
der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungstabelle 50 er
zeugt werden kann (Losinformationsanzeigeeinrichtung). Wie Fig.
7 zeigt, kann das Losinformationsanzeigebild 80 die ausrü
stungsspezifische Prozeßausrüstungs-Id entsprechend einer je
den registrierten Element-Id, der benutzbaren Ausrüstungs-Id
oder ähliches für jede Los-Id anzeigen. Zum Beispiel sind die
drei Element-Ids "GA", "GB" und "GC" angezeigt, und wenn die
Element-Id gleich GA ist, wird "EQPGA1" als die ausrüstungs
spezifische Prozeßausrüstungs-Id angezeigt, und "EQP11",
"EQP14" oder ähnliches wird als die benutzbaren Ausrüstungs-
Ids für diese ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs-Id an
gezeigt. Somit kann die für jedes Los spezifizierte Ausrü
stungsgruppe angezeigt werden.
Durch Spezifizieren einer Los-Id und einer Element-Id und Her
stellen einer ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungs-Id
kann die die Benutzung spezifizierende Ausrüstungs-Id modifi
ziert werden. Auf die gleiche Weise kann eine ausrüstungsspe
zifische Prozeßausrüstungs-Id hinzugefügt werden oder entfernt
werden (Prozeßausrüstungsänderungseinrichtung).
Fig. 8 zeigt ein Verfahren zum Anzeigen benutzbarer Ausrü
stungs-Ids oder ähnliches für jede ausrüstungsspezifische
Gruppe in Ausführungsform 5 der vorliegenden Erfindung. In
Fig. 8 bezeichnet das Bezugszeichen 90 die ausrüstungsspezifi
sche Steuertabelle, die ein Bild anzeigt, das ein Beispiel für
die Anzeige benutzbarer Ausrüstungs-Ids oder ähnliches für je
de ausrüstungsspezifische Gruppe zeigt, die auf der Grundlage
der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungstabelle 50, der
ausrüstungsspezifischen Steuertabelle 60, der ausrüstungsspe
zifischen Verteilungszustandstabelle 70 oder ähnliches vorbe
reitet werden kann (Steuerinformationsanzeigeeinrichtung). Wie
Fig. 8 zeigt, kann die ausrüstungsspezifische Steuertabelle
90, die das Bild anzeigt, die benutzbare Ausrüstungs-Id, den
Verteilungsprozentsatz ri, die Zahl der tatsächlichen Lose und
ähnliches für jeden Produkttyp, jede Element-Id und jede aus
rüstungsspezifische Prozeßausrüstungs-Id anzeigen. Bei der in
Fig. 7 gezeigten ausrüstungsspezifischen Losinformationsan
zeige Bild 80 kann auf die Steuertabelle 90, die das Bild an
zeigt, von Fig. 8 Bezug genommen werden, wenn eine ausrü
stungsspezifische Prozeßausrüstungs-Id modifiziert wird.
Gemäß der Ausführungsform 5 können, wie oben beschrieben wur
de, Ausrüstungsgruppen, die für jedes Los spezifiziert sind,
angezeigt werden. Weiter kann eine Ausrüstungs-Id für eine
spezifizierte Benutzung geändert werden, und eine ausrüstungs
spezifische Prozeßausrüstungs-Id kann hinzugefügt werden oder
entfernt werden. Ausrüstungs-Ids, die für jede ausrüstungsspe
zifische Gruppe benutzbar sind, können ebenfalls angezeigt
werden.
Ausführungsform 6 der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren
zum Bestimmen/Steuern einer ausrüstungsspezifischen Steuerung,
die eine Ausrüstung spezifiziert, die für jedes Los in der an
deren Ausrüstungsgruppe für jeden spezifizierten Prozeßschritt
benutzt werden soll.
Das Verfahren zum Durchführen der ausrüstungsspezifischen
Steuerung, das eine Mehrzahl von unterschiedlichen Ausrü
stungsgruppen des gleichen Produkttypes benutzt, kann durch
Benutzen der oben beschriebenen Element-Id ausgeführt werden
(Elementprozeßänderungseinrichtung). Die Element-Id ist die
Identifizierung zum Ermöglichen, daß verschiedene ausrüstungs
spezifische Prozeßausrüstungs-Ids des gleichen Produkttypes
vorhanden sind, wie oben beschrieben wurde. Ausführungsform 6
ist die gleiche wie die oben beschriebenen Ausführungsformen 1
oder 2 mit der Ausnahme, daß der Wert der Element-Id für die
Prozeß-Id in der Prozeßhaupttabelle 30 spezifiziert ist. Indem
eine andere Element-Id der ausrüstungsspezifischen Steuerta
belle 60 benutzt wird, auf die Bezug genommen wird, wenn die
Ausrüstungsgruppe (ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs-
Id) bestimmt wird, oder die ausrüstungsspezifische Losinforma
tionstabelle 50, in die die ausrüstungsspezifische Prozeßaus
rüstungs-Id geschrieben ist, können verschiedene ausrüstungs
spezifische Prozeßausrüstungs-Ids gehalten werden. Weiter wird
durch Benutzen verschiedener Element-Ids der ausrüstungsspezi
fischen Losinformationstabelle 40, auf die Bezug genommen
wird, wenn die Ausrüstungsgruppe gesteuert wird, die Steuerung
durch die Ausrüstung durchgeführt, die in anderen ausrüstungs
spezifischen Prozeßausrüstungs-Ids registriert sind.
Wie in der Prozeßhaupttabelle 30 in Fig. 2 und 4 gezeigt
ist, wird die gleiche Ausrüstung für jedes Produkt oder für
jeden Produkttyp ausgewählt, da die Prozeßschritte 2, 4, 5 und
7 die gleiche Prozeßausrüstungs-Id (EQPG2) aufweisen. Wenn je
doch die ausrüstungsspezifische Steuerung durchgeführt wird,
indem verschiedene Element-Ids benutzt werden, können ver
schiedene Einheiten der Ausrüstung gewählt werden. Wenn keine
ausrüstungsspezifische Steuerung durchgeführt wird, da die
Prozeßausrüstungs-Id gleich EQPG2 für alle Prozeßschritte ist,
wird die Einheit der Ausrüstung zum Bearbeiten aus EQP11,
EQP12, EQP13 oder EQP14 in der Prozeßausrüstungstabelle 20
ausgewählt. Wenn zum Beispiel die Element-Id der Prozeßschritte
2 und 5 des Loses, von dem die Los-Id gleich AAA02 ist,
gleich GB ist, und die Element-Id der Prozeßschritte 4 und 7
gleich GA ist, wird, wenn die Losinformationstabelle 40 und
die ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungstabelle 50 benutzt
wird, die Ausrüstung, von der die Ausrüstungs-Id gleich EQP01
oder EQP02 ist, in den Prozeßschritten 2 und 5 benutzt, und
die Ausrüstung, von der die Ausrüstungs-Id gleich EQP12 ist,
wird in Prozeßschritten 4 und 7 benutzt. Es ist effektiv zum
Beispiel, wenn der Herstellungsprozeß den Prozeßschritt in der
X-Achsenrichtung und den Prozeßschritt in der Y-Achsenrichtung
enthält und eine höhere Genauigkeit zwischen den Prozeßschrit
ten in der gleichen Richtung als die Genauigkeit zwischen der
X-Achsenrichtung und der Y-Achsenrichtung benötigt wird.
Gemäß Ausführungsform 6, kann die ausrüstungsspezifische spe
zifizierende Ausrüstung, die in jedem Los benutzt wird, durch
die andere Ausrüstungsgruppe für jeden Prozeßschritt be
stimmt/gesteuert werden.
Die Ausführungsform 7 der vorliegenden Erfindung ist ein Ver
fahren zum Fördern von Losen durch Auswählen von Ausrüstung
zur Verarbeitung aus der ausrüstungsspezifischen Ausrüstungs
gruppe für jedes Los. Die Lose können automatisch gefördert
werden unter Benutzung eines herkömmlichen Verfahrens für die
automatische Fördersteuerung, in dem die Ausrüstungsgruppe be
nutzt wird.
Wenn ein Los automatisch gefördert wird, wird die Zielausrü
stung in dem Fördersteuerhostcomputer registriert, wodurch das
Los automatisch zu der Objektausrüstung gefördert wird. Bei
einer herkömmlichen automatischen Fördersteuerung ist die Zie
lausrüstung eine Einheit der Ausrüstung, die aus den Einheiten
der Ausrüstung gewählt ist, die in einer oder mehr Ausrü
stungs-Ids registriert sind, die in Schritt S170 von Fig. 3
geholt wurden. Gemäß Ausführung 7 jedoch kann die Zielausrü
stung einer Einheit der Ausrüstung sein, die aus der Ausrü
stungs-Id ausgewählt ist, die durch Gewinnen der ausrüstungs
spezifischen Prozeßausrüstungstabelle 50 geholt wurde, wie in
Schritt S140 erläutert wurde, der in Fig. 3 gezeigt ist (För
derzielauswahleinrichtung).
Da gemäß Ausführungsform 7, wie oben beschrieben wurde, die
Zielausrüstung, zu der ein Los gefördert wird, eine Einheit
der Ausrüstung sein kann, die aus der Ausrüstungs-Id gewählt
ist, die durch Gewinnen der ausrüstungsspezifischen Prozeßaus
rüstungstabelle 50 gewonnen wurde, kann das Los automatisch
unter Benutzung eines herkömmlichen Verfahrens für automati
sche Fördersteuerung gefördert werden.
Gemäß dem Prozeßauswahlsystem und dem Verfahren der vorliegen
den Erfindung, wie es oben beschrieben wurde, kann ein Los ei
nes Produkttypes durch irgendeine Einheit der Ausrüstung aus
der Mehrzahl von Einheiten der Ausrüstung bearbeitet werden,
während die Verarbeitung gewünscht wird, die als die geeignet
ste Einheit der Ausrüstung für jedes Los spezifiziert ist,
kann diese spezifizierte Einheit der Ausrüstung benutzt werden
zum Bearbeiten durch Auswählen der Einheit der Ausrüstung, die
die geeignetste für jedes Los, aus den Einheiten der Ausrü
stung, die für den Produkttyp geeignet sind. Da weiter eine
Mehrzahl von Einheiten der Ausrüstung, die für jedes Los spezifiziert
werden können, aufgestellt werden kann, kann die
Ausrüstung durch die Ausrüstungsgruppe mit einer Mehrzahl von
Einheiten von Ausrüstungen spezifiziert werden. Als Resultat
können ein Prozeßauswahlsystem und ein Verfahren vorgesehen
werden, die automatisch die Spezifikation der geeignetsten
Ausrüstung steuern können.
Hier kann das Prozeßausrüstungsauswahlsystem weiter aufweisen
eine Prozeßausrüstungssteuereinrichtung, die die Prozeßausrü
stung steuert, die in der Prozeßausrüstungsgruppe für jede der
Prozeßausrüstungsgruppen enthalten ist, worin, wenn der Steu
ertyp der Prozeßhauptsteuereinrichtung nicht das Steuern der
Spezifikation der Prozeßausrüstung anzeigt, die zum Produzie
ren des Loses benutzt wird, eine Prozeßausrüstungsgruppe von
der Prozeßhauptsteuereinrichtung geholt wird, und die in der
Prozeßausrüstungsgruppe enthaltene Prozeßausrüstung durch die
Prozeßausrüstungssteuereinrichtung ausgewählt wird.
Bei dem Prozeßausrüstungsauswahlsystem kann der durch die Pro
zeßhauptsteuereinrichtung gesteuerte Kontrolltyp weiter den
Typ aufweisen, der anzeigt ob oder nicht die Spezifikation der
Prozeßausrüstung, die in dem Prozeß benutzt wird, bestimmt
ist; das Prozeßausrüstungsauswahlsystem weist weiter auf: eine
ausrüstungsspezifische Steuereinrichtung, die für jedes Los
und jeden Elementprozeß des Loses eine Mehrzahl von ausrü
stungsspezifischen Prozeßausrüstungssteuergruppen steuert, die
in dem Elementprozeß benutzt werden, und ein Verteilungspro
zentsatz zum Zuordnen von Prozeßausrüstung, die in der Mehr
zahl von ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungssteuergrup
pen enthalten ist; und eine Bestimmungseinrichtung einer aus
rüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe, die eine Mehrzahl
von ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppen von
der ausrüstungsspezifischen Steuereinrichtung holt, wenn der
Steuertyp der Prozeßhauptsteuereinrichtung die Spezifikation
der Prozeßausrüstung anzeigt, die zum Produzieren des Loses
benutzt wird, und eine prozeßspezifische Prozeßausrüstungs
gruppe aus einer Mehrzahl von geholten ausrüstungsspezifischen
Prozeßausrüstungsgruppen bestimmt, worin die bestimmte ausrü
stungsspezifische Prozeßausrüstungsgruppe zu der ausrüstungs
spezifischen Prozeßausrüstungsgruppe innerhalb der Losinforma
tionssteuereinrichtung gemacht wird.
Bei dem Prozeßausrüstungsauswahlsystem kann die Bestimmungs
einrichtung für die ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs
gruppe aufweisen: eine Einrichtung zum Berechnen der Zahl von
Produkten in dem Prozeß zum Sammeln einer ausrüstungsspezifi
schen Prozeßausrüstungsgruppe entsprechend dem Los im Prozeß
und dem Elementprozeß des Loses von der Losinformationssteuer
einrichtung und Erhalten der Zahl von Produkten im Prozeß für
jede der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe; eine
Holeinrichtung für einen Verteilungsprozentsatz zum Holen des
Verteilungsprozentsatzes für jede ausrüstungsspezifische Pro
zeßausrüstungsgruppe von der ausrüstungsspezifischen Steuer
einrichtung; eine Einrichtung zum Berechnen der geeigneten
Zahl von Produkten im Prozeß zum Erhalten der geeigneten Zahl
von Produkten im Prozeß für jede ausrüstungsspezifische Pro
zeßausrüstungsgruppe auf der Grundlage des Verteilungsprozent
satzes, der von der Holeinrichtung für den Verteilungsprozent
satz geholt wurde; eine Einrichtung zum Berechnen des Priori
tätsgrades zum Erhalten des Prioritätsgrades für jede ausrü
stungsspezifische Prozeßausrüstungsgruppe auf der Grundlage
der Differenz zwischen der geeigneten Zahl von Produkten im
Prozeß, die von der Einrichtung zum Berechnen der geeigneten
Zahl von Produkten im Prozeß erhalten ist, und der Zahl von
Produkten im Prozeß, die von der Einrichtung zum Berechnen der
Zahl von Produkten im Prozeß erhalten ist; und eine Bestim
mungseinrichtung zum Vergleichen des Prioritätsgrades einer
jeden ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe, die von
der Einrichtung zum Berechnen des Prioritätsgrades erhalten
ist, und Bestimmen der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrü
stungsgruppe für das Los.
Bei dem Prozeßausrüstungsauswahlsystem kann die Bestimmungs
einrichtung für die ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs
gruppe weiter aufweisen für jedes Los und für jeden Element
prozeß des Loses entsprechend jeder einer Mehrzahl von ausrü
stungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppen, die in dem Ele
mentprozeß benutzt werden, eine ausrüstungsspezifische Vertei
lungszustandsteuereinrichtung zum Steuern des Verteilungsver
hältnisses, das die Prozeßausrüstung in der ausrüstungsspezi
fischen Prozeßausrüstungsgruppe zu dem Los und dem verteilten
tatsächlichen Wert zuteilt, worin, wenn der Steuertyp der Pro
zeßhauptsteuereinrichtung das Steuern der Spezifikation der
Prozeßausrüstung, die zum Produzieren des Loses benutzt wird,
anzeigt, das entsprechende Verteilungsverhältnis und das Ver
teilungsresultat von der ausrüstungsspezifischen Verteilungs
zustandssteuereinrichtung geholt werden, und die ausrüstungs
spezifische Prozeßausrüstungsgruppe, bei der das Verteilungs
resultat nicht das Verteilungsverhältnis erreicht hat, zu der
ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe für das Los
gemacht wird.
Hier kann das Prozeßausrüstungsauswahlsystem auf der Grundlage
der ausrüstungsspezifischen Losinformationssteuereinrichtung
und der ausrüstungsspezifischen Prozeßsteuereinrichtung für
jedes Los aufweisen eine Losinformationsanzeigeeinrichtung zum
Anzeigen der Prozeßausrüstung, die in dem Elementprozeß vor
handen ist, wobei die prozeßspezifische Prozeßausrüstungsgrup
pe dem Elementprozeß entspricht und die ausrüstungsspezifische
Prozeßausrüstungsgruppe für jedes Los auf der Grundlage der
ausrüstungsspezifischen Losinformationssteuereinrichtung und
der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungssteuereinrich
tung.
Hier kann das Prozeßausrüstungsauswahlsystem weiter aufweisen
auf der Grundlage der ausrüstungsspezifischen Steuereinrich
tung, der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungssteuerein
richtung und der ausrüstungsspezifischen Verteilungszustand
steuereinrichtung für jedes Los eine Steuerinformationsanzei
geeinrichtung zum Anzeigen des Verteilungsverhältnisses und
des Verteilungsresultates entsprechend dem Elementprozeß, ei
ner Mehrzahl von ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungs
gruppen entsprechend dem Elementprozeß, einer Prozeßausrü
stung, die in der Mehrzahl von ausrüstungsspezifischen Prozeß
ausrüstungsgruppen enthalten ist, und der Mehrzahl von ausrü
stungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppen.
Hier kann das Prozeßausrüstungsauswahlsystem weiter eine Pro
zeßausrüstungsmodifiziereinrichtung zum Bezeichnen des Ele
mentprozesses und der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrü
stungsgruppe entsprechend dem Elementprozeß für jedes Los und
zum Modifizieren der Prozeßausrüstung, die in der bezeichneten
ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe enthalten ist,
aufweisen.
Hier kann das Prozeßausrüstungsauswahlsystem weiter eine Ele
mentprozeßmodifiziereinrichtung zum Modifizieren des Element
prozesses, den der von der Prozeßhauptsteuereinrichtung ge
steuerte Prozeß enthalten kann, aufweisen.
Hier kann das Prozeßausrüstungsauswahlsystem weiter eine För
derzielauswahleinrichtung zum Auswählen einer Prozeßausrüstung
aufweisen, die in der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrü
stungsgruppe enthalten ist, die von der ausrüstungsspezifi
schen Prozeßausrüstungssteuereinrichtung für jedes Los ausge
wählt ist, oder der Prozeßausrüstung, die in der Prozeßausrü
stungsgruppe enthalten ist, die von der Prozeßausrüstungssteu
ereinrichtung für jedes Los ausgewählt ist, als die Prozeßaus
rüstung zum Fördern des Loses.
Bei dem Auswahlverfahren der Prozeßausrüstung kann das Prozeß
ausrüstungsauswahlsystem weiter einen Prozeßausrüstungssteuer
abschnitt zum Steuern der Prozeßausrüstung aufweisen, die in
der Prozeßausrüstungsgruppe für jede der Prozeßausrüstungs
gruppen enthalten ist, und das Auswahlverfahren für Prozeßaus
rüstung weist auf, wenn der Steuertyp des Prozeßhauptsteuerab
schnitts nicht das Steuern der Spezifikation der Prozeßausrü
stung zum Produzieren des Loses anzeigt: einen Holschritt der
Prozeßausrüstung zum Holen einer Prozeßausrüstungsgruppe von
dem Prozeßhauptsteuerabschnitt und einen Auswahlschutz zum
Auswählen der Prozeßausrüstung, die in der Prozeßausrüstungs
gruppe enthalten ist, die durch den Holschritt für die Prozeßausrüstung
geholt wird, von dem Prozeßausrüstungssteuerab
schnitt.
Die gesamte Offenbarung der japanischen Patentanmeldung 11-
345418, die am 3. Dezember 1999 eingereicht wurde, einschließ
lich der Beschreibung, der Ansprüche, der Zeichnung und der
Zusammenfassung werden hierin durch Bezugnahme in ihrer Ge
samtheit aufgenommen.
Claims (12)
1. Prozeßausrüstungsauswahlsystem zum Auswählen einer Pro
zeßausrüstung für jedes Los, mit:
einer Prozeßhauptsteuereinrichtung (30) zum Steuern der Reihenfolge der Prozeßschritte, die das Los produzieren, zusammen mit einer Prozeßausrüstungsgruppe, die minde stens eine Einheit der für den Prozeß benutzten Ausrü stung enthält, wobei ein Steuertyp anzeigt, ob oder nicht die Spezifikation der für den Prozeß benutzten Prozeßaus rüstung gesteuert ist, und einem Elementprozeß, den der Prozeß enthalten kann;
einer Losinformationssteuereinrichtung (40) zum Steuern einer ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe mit mindestens einer Einheit der Prozeßausrüstung, die für den Elementprozeß für jedes Los und den Elementprozeß des Loses benutzt wird;
und einer ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungssteu ereinrichtung (50), die die Prozeßausrüstung, die in der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe enthalten ist, für jede der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrü stungsgruppen steuert;
worin, wenn der Steuertyp der Prozeßhauptsteuereinrich tung (30) das Steuern der Spezifikation der Prozeßausrü stung zum Produzieren des Loses anzeigt, eine speziell benutzte ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungsgruppe von der Losinformationssteuereinrichtung (40) geholt wird, und die in der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrü stungsgruppe enthaltene Prozeßausrüstung von der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungssteuereinrichtung (50) ausgewählt wird.
einer Prozeßhauptsteuereinrichtung (30) zum Steuern der Reihenfolge der Prozeßschritte, die das Los produzieren, zusammen mit einer Prozeßausrüstungsgruppe, die minde stens eine Einheit der für den Prozeß benutzten Ausrü stung enthält, wobei ein Steuertyp anzeigt, ob oder nicht die Spezifikation der für den Prozeß benutzten Prozeßaus rüstung gesteuert ist, und einem Elementprozeß, den der Prozeß enthalten kann;
einer Losinformationssteuereinrichtung (40) zum Steuern einer ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe mit mindestens einer Einheit der Prozeßausrüstung, die für den Elementprozeß für jedes Los und den Elementprozeß des Loses benutzt wird;
und einer ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungssteu ereinrichtung (50), die die Prozeßausrüstung, die in der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe enthalten ist, für jede der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrü stungsgruppen steuert;
worin, wenn der Steuertyp der Prozeßhauptsteuereinrich tung (30) das Steuern der Spezifikation der Prozeßausrü stung zum Produzieren des Loses anzeigt, eine speziell benutzte ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungsgruppe von der Losinformationssteuereinrichtung (40) geholt wird, und die in der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrü stungsgruppe enthaltene Prozeßausrüstung von der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungssteuereinrichtung (50) ausgewählt wird.
2. Prozeßausrüstungsauswahlsystem nach Anspruch 1,
weiter mit einer Prozeßausrüstungssteuereinrichtung (20),
die die Prozeßausrüstung steuert, die in der Prozeßausrü
stungsgruppe für jede der Prozeßausrüstungsgruppen ent
halten ist,
worin, wenn der Steuertpy der Prozeßhauptsteuereinrich
tung (30) nicht das Steuern der Spezifikation der Prozeß
ausrüstung anzeigt, die zum Produzieren des Loses benutzt
wird, eine Prozeßausrüstungsgruppe von der Prozeßhaupt
steuereinrichtung (30) geholt wird, und die Prozeßausrü
stung, die in der Prozeßausrüstungsgruppe enthalten ist,
von der Prozeßausrüstungssteuereinrichtung (20) ausge
wählt wird.
3. Prozeßausrüstungsauswahlsystem nach Anspruch 1 oder 2,
bei dem:
der von der Prozeßhauptsteuereinrichtung (30) gesteuerte Steuertyp weiter den Typ aufweist, der anzeigt, ob oder nicht die Spezifikation der in dem Prozeß benutzten Pro zeßausrüstung bestimmt ist;
wobei das Prozeßausrüstungsauswahlsystem weiter aufweist:
eine ausrüstungsspezifische Steuereinrichtung (60), die für jedes Los und jeden Elementprozeß des Loses eine Mehrzahl von ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungs steuergruppen, die in dem Elementprozeß benutzt werden, und einen Verteilungsprozentsatz zum Zuordnen von Prozeß ausrüstung, die in der Mehrzahl von ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungssteuergruppen enthalten ist, steu ert; und
eine Bestimmungseinrichtung (S310, S320, S330, S340, S350) einer ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungs gruppe, die eine Mehrzahl von ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppen von der ausrüstungsspezifischen Steuereinrichtung (60) holt, wenn der Steuertyp der Pro zeßhauptsteuereinrichtung (30) die Spezifikation der für das Produzieren des Loses benutzten Prozeßausrüstung an zeigt, und eine ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs gruppe aus einer Mehrzahl von geholten ausrüstungsspezi fischen Prozeßausrüstungsgruppen bestimmt;
worin die bestimmte ausrüstungsspezifischen Prozeßausrü stungsgruppe zu der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrü stungsgruppe innerhalb der Losinformationssteuereinrich tung gemacht wird.
der von der Prozeßhauptsteuereinrichtung (30) gesteuerte Steuertyp weiter den Typ aufweist, der anzeigt, ob oder nicht die Spezifikation der in dem Prozeß benutzten Pro zeßausrüstung bestimmt ist;
wobei das Prozeßausrüstungsauswahlsystem weiter aufweist:
eine ausrüstungsspezifische Steuereinrichtung (60), die für jedes Los und jeden Elementprozeß des Loses eine Mehrzahl von ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungs steuergruppen, die in dem Elementprozeß benutzt werden, und einen Verteilungsprozentsatz zum Zuordnen von Prozeß ausrüstung, die in der Mehrzahl von ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungssteuergruppen enthalten ist, steu ert; und
eine Bestimmungseinrichtung (S310, S320, S330, S340, S350) einer ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungs gruppe, die eine Mehrzahl von ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppen von der ausrüstungsspezifischen Steuereinrichtung (60) holt, wenn der Steuertyp der Pro zeßhauptsteuereinrichtung (30) die Spezifikation der für das Produzieren des Loses benutzten Prozeßausrüstung an zeigt, und eine ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungs gruppe aus einer Mehrzahl von geholten ausrüstungsspezi fischen Prozeßausrüstungsgruppen bestimmt;
worin die bestimmte ausrüstungsspezifischen Prozeßausrü stungsgruppe zu der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrü stungsgruppe innerhalb der Losinformationssteuereinrich tung gemacht wird.
4. Prozeßausrüstungsauswahlsystem nach Anspruch 3, worin die
Bestimmungseinrichtung der ausrüstungsspezifischen Pro
zeßausrüstungsgruppe aufweist:
eine Einrichtung zum Berechnen der Zahl von Produkten im Prozeß (S310) zum Sammeln einer ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe, die dem Los im Prozeß und dem Elementprozeß des Loses entspricht, von der Losinformati onssteuereinrichtung und Erhalten der Zahl von Produkten im Prozeß für jede der ausrüstungsspezifischen Prozeßaus rüstungsgruppe;
eine Holeinrichtung (S320) des Verteilungsprozentsatzes zum Holen des Verteilungsprozentsatzes für jede ausrü stungsspezifische Prozeßausrüstungsgruppe von der ausrü stungsspezifischen Steuereinrichtung;
eine Einrichtung zum Berechnen der geeigneten Zahl von Produkten im Prozeß (S330) zum Erhalten der geeigneten Zahl von Produkten im Prozeß für jede ausrüstungsspezifi sche Prozeßausrüstungsgruppe auf der Grundlage der von der Holeinrichtung des Verteilungsprozentsatzes geholten Verteilungsprozentsatzes;
eine Einrichtung zum Berechnen des Prioritätsgrades (S340) zum Erhalten des Prioritätsgrades für jede ausrü stungsspezifische Prozeßausrüstungsgruppe auf der Grund lage der Differenz zwischen der geeigneten Zahl von Pro dukten im Prozeß, die von der Einrichtung zum Berechnen der geeigneten Zahl von Produkten im Prozeß erhalten wird, und der Zahl von Produkten im Prozeß, die von der Einrichtung zum Berechnen der Zahl von Produkten im Pro zeß erhalten wird; und
eine Bestimmungseinrichtung (S350) zum Vergleichen des Prioritätsgrades einer jeden ausrüstungsspezifischen Pro zeßausrüstungsgruppe, der von der Einrichtung zum Berech nen des Prioritätsgrades erhalten ist, und Bestimmen der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe für das Los.
eine Einrichtung zum Berechnen der Zahl von Produkten im Prozeß (S310) zum Sammeln einer ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe, die dem Los im Prozeß und dem Elementprozeß des Loses entspricht, von der Losinformati onssteuereinrichtung und Erhalten der Zahl von Produkten im Prozeß für jede der ausrüstungsspezifischen Prozeßaus rüstungsgruppe;
eine Holeinrichtung (S320) des Verteilungsprozentsatzes zum Holen des Verteilungsprozentsatzes für jede ausrü stungsspezifische Prozeßausrüstungsgruppe von der ausrü stungsspezifischen Steuereinrichtung;
eine Einrichtung zum Berechnen der geeigneten Zahl von Produkten im Prozeß (S330) zum Erhalten der geeigneten Zahl von Produkten im Prozeß für jede ausrüstungsspezifi sche Prozeßausrüstungsgruppe auf der Grundlage der von der Holeinrichtung des Verteilungsprozentsatzes geholten Verteilungsprozentsatzes;
eine Einrichtung zum Berechnen des Prioritätsgrades (S340) zum Erhalten des Prioritätsgrades für jede ausrü stungsspezifische Prozeßausrüstungsgruppe auf der Grund lage der Differenz zwischen der geeigneten Zahl von Pro dukten im Prozeß, die von der Einrichtung zum Berechnen der geeigneten Zahl von Produkten im Prozeß erhalten wird, und der Zahl von Produkten im Prozeß, die von der Einrichtung zum Berechnen der Zahl von Produkten im Pro zeß erhalten wird; und
eine Bestimmungseinrichtung (S350) zum Vergleichen des Prioritätsgrades einer jeden ausrüstungsspezifischen Pro zeßausrüstungsgruppe, der von der Einrichtung zum Berech nen des Prioritätsgrades erhalten ist, und Bestimmen der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe für das Los.
5. Prozeßausrüstungsauswahlsystem nach Anspruch 3 oder 4,
bei dem die Bestimmungseinrichtung für die ausrüstungs
spezifischen Prozeßausrüstungsgruppe weiter für jedes Los
und für jeden Elementprozeß des Loses entsprechend einer
jeden einer Mehrzahl von ausrüstungsspezifischen Prozeß
ausrüstungsgruppen, die in dem Elementprozeß benutzt wer
den, eine ausrüstungsspezifische Verteilungszustandssteu
ereinrichtung (70) zum Steuern des Verteilungsverhältnis
ses aufweist, das die Prozeßausrüstung in der ausrüstungsspezifischen
Prozeßausrüstungsgruppe zu dem Los und
dem verteilten tatsächlichen Wert zuordnet;
bei dem, wenn der Steuertyp der Prozeßhauptsteuereinrich
tung (30) das Steuern der Spezifikation der Prozeßausrü
stung, die zum Produzieren des Loses benutzt wird, an
zeigt, das entsprechende Verteilungsverhältnis und das
Verteilungsresultat von der ausrüstungsspezifischen Ver
teilungszustandssteuereinrichtung (70) geholt wird, und
die ausrüstungsspezifische Prozeßausrüstungsgruppe, bei
der das Verteilungsresultat nicht das Vorteilungsverhält
nis erreicht hat, zu der ausrüstungsspezifischen Prozeß
ausrüstungsgruppe für das Los gemacht wird.
6. Prozeßausrüstungsauswahlsystem nach einem der Ansprüche 1
bis 5,
das auf der Grundlage der ausrüstungsspezifischen Losin
formationssteuereinrichtung (40) und der ausrüstungsspe
zifischen Prozeßsteuereinrichtung (50) für jedes Los auf
weist eine Losinformationsanzeigeeinrichtung (80) zum An
zeigen der Prozeßausrüstung, die in dem Elementprozeß
enthalten ist, der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrü
stungsgruppe, die dem Elementprozeß entspricht, und der
ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe für jedes
Los auf der Grundlage der ausrüstungsspezifischen Losin
formationssteuereinrichtung und der ausrüstungsspezifi
schen Prozeßausrüstungssteuereinrichtung.
7. Prozeßausrüstungsauswahlsystem nach Anspruch 5,
das auf der Grundlage der ausrüstungsspezifischen Steuer
einrichtung (60), der ausrüstungsspezifischen Prozeßaus
rüstungssteuereinrichtung (60) und der ausrüstungsspezifischen
Verteilungszustandssteuereinrichtung (70) für je
des Los aufweist eine Steuerinformationsanzeigeeinrich
tung (90) zum Anzeigen des Verteilungsverhältnis und des
Verteilungsresultates entsprechend dem Elementprozeß, ei
ner Mehrzahl von ausrüstungsspezifischen Prozeßausrü
stungsgruppen, die dem Elementprozeß entsprechen, der
Prozeßausrüstung, die in der Mehrzahl von ausrüstungsspe
zifischen Prozeßausrüstungsgruppen enthalten ist, und der
Mehrzahl von ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungs
gruppen.
8. Prozeßausrüstungsauswahlsystem nach Anspruch 6 oder 7,
mit einer Prozeßausrüstungsmodifiziereinrichtung zum Be
zeichnen des Elementprozesses und der ausrüstungsspezifi
schen Prozeßausrüstungsgruppe entsprechend dem Element
prozeß für jedes Los und modifizieren der Prozeßausrü
stung, die in der bezeichneten ausrüstungsspezifischen
Prozeßausrüstungsgruppe enthalten ist.
9. Prozeßausrüstungsauswahlsystem nach einem der Ansprüche 1
bis 8, weiter mit einer Elementprozeßmodifiziereinrich
tung zum Modifizieren des Elementprozesses, den der durch
die Prozeßhauptsteuereinrichtung gesteuerte Prozeß ent
halten kann.
10. Prozeßausrüstungsauswahlsystem nach einem der Ansprüche 1
bis 9,
mit einer Förderzielauswahleinrichtung zum Auswählen der
Prozeßeinrichtung, die in der ausrüstungsspezifischen
Prozeßausrüstungsgruppe enthalten ist, die von der ausrü
stungsspezifischen Prozeßausrüstungssteuereinrichtung für
jedes Los ausgewählt ist, oder der Prozeßausrüstung, die
in der Prozeßausrüstungsgruppe enthalten ist, die von der
Prozeßausrüstungssteuereinrichtung für jedes Los ausge
wählt ist, als die Prozeßausrüstung zum Fördern des Lo
ses.
11. Auswahlverfahren für Prozeßausrüstung in einem Prozeßaus
rüstungsauswahlsystem zum Auswählen von Prozeßausrüstung
für jedes Los, wobei das Prozeßausrüstungsauswahlsystem
aufweist:
einen Prozeßhauptsteuerabschnitt zum Steuern der Reihen folge der Prozeßschritte, die das Los produzieren, zusam men mit einer Prozeßausrüstungsgruppe, die mindestens ei ne Einheit der Ausrüstung enthält, die für den Prozeß be nutzt wird, einen Steuertyp, der zeigt, ob oder nicht die Spezifikation der Prozeßausrüstung, die für den Prozeß benutzt wird, gesteuert wird, und ein Elementprozeß, den der Prozeß enthalten kann;
einen Losinformationssteuerabschnitt zum Steuern einer ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe, die min destens eine Einheit der Prozeßausrüstung, die für den Elementprozeß für jedes Los benutzt wird, und die den Elementprozeß des Loses enthält; und
eine ausrüstungsspezifische Steuereinrichtung, die die Prozeßausrüstung steuert, die in der ausrüstungsspezifi schen Prozeßausrüstungsgruppe für jede der ausrüstungs spezifischen Prozeßausrüstungsgruppen enthalten ist, wo bei das Auswahlverfahren der Prozeßausrüstung aufweist:
einen Holschritt einer ausrüstungsspezifischen Prozeßaus rüstung zum Holen einer ausrüstungsspezifischen Prozeß ausrüstungsgruppe, die speziell benutzt wird, von dem Losinformationssteuerabschnitt, wenn der Steuertyp des Pro zeßhauptsteuerabschnittes das Steuern der Spezifikation der Prozeßausrüstung zum Produzieren des Loses anzeigt; und
einen Auswahlschritt zum Auswählen der Prozeßausrüstung, die in der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgrup pe enthalten ist, die durch den Holschritt der ausrü stungsspezifischen Prozeßausrüstung von dem ausrüstungs spezifischen Prozeßausrüstungssteuerabschnitt geholt wird.
einen Prozeßhauptsteuerabschnitt zum Steuern der Reihen folge der Prozeßschritte, die das Los produzieren, zusam men mit einer Prozeßausrüstungsgruppe, die mindestens ei ne Einheit der Ausrüstung enthält, die für den Prozeß be nutzt wird, einen Steuertyp, der zeigt, ob oder nicht die Spezifikation der Prozeßausrüstung, die für den Prozeß benutzt wird, gesteuert wird, und ein Elementprozeß, den der Prozeß enthalten kann;
einen Losinformationssteuerabschnitt zum Steuern einer ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgruppe, die min destens eine Einheit der Prozeßausrüstung, die für den Elementprozeß für jedes Los benutzt wird, und die den Elementprozeß des Loses enthält; und
eine ausrüstungsspezifische Steuereinrichtung, die die Prozeßausrüstung steuert, die in der ausrüstungsspezifi schen Prozeßausrüstungsgruppe für jede der ausrüstungs spezifischen Prozeßausrüstungsgruppen enthalten ist, wo bei das Auswahlverfahren der Prozeßausrüstung aufweist:
einen Holschritt einer ausrüstungsspezifischen Prozeßaus rüstung zum Holen einer ausrüstungsspezifischen Prozeß ausrüstungsgruppe, die speziell benutzt wird, von dem Losinformationssteuerabschnitt, wenn der Steuertyp des Pro zeßhauptsteuerabschnittes das Steuern der Spezifikation der Prozeßausrüstung zum Produzieren des Loses anzeigt; und
einen Auswahlschritt zum Auswählen der Prozeßausrüstung, die in der ausrüstungsspezifischen Prozeßausrüstungsgrup pe enthalten ist, die durch den Holschritt der ausrü stungsspezifischen Prozeßausrüstung von dem ausrüstungs spezifischen Prozeßausrüstungssteuerabschnitt geholt wird.
12. Auswahlverfahren für Prozeßausrüstung nach Anspruch 11,
bei dem das Prozeßausrüstungsauswahlsystem weiter auf
weist einen Prozeßausrüstungssteuerabschnitt zum Steuern
der Prozeßausrüstung, die in der Prozeßausrüstungsgruppe
für jede der Prozeßausrüstungsgruppen enthalten ist, und
wobei das Auswahlverfahren der Prozeßausrüstung aufweist:
wenn der Steuertyp des Prozeßhauptsteuerabschnitts nicht das Steuern der Spezifikation der Prozeßausrüstung zum Produzieren des Loses anzeigt, einen Holschritt der Pro zeßausrüstung zum Holen einer Prozeßausrüstungsgruppe von dem Prozeßhauptsteuerabschnitt; und
einen Auswahlschritt zum Auswählen der Prozeßausrüstung, die in der Prozeßausrüstungsgruppe enthalten ist, die von dem Holschritt der Prozeßausrüstung von dem Prozeßausrü stungssteuerabschnitt geholt wird.
wenn der Steuertyp des Prozeßhauptsteuerabschnitts nicht das Steuern der Spezifikation der Prozeßausrüstung zum Produzieren des Loses anzeigt, einen Holschritt der Pro zeßausrüstung zum Holen einer Prozeßausrüstungsgruppe von dem Prozeßhauptsteuerabschnitt; und
einen Auswahlschritt zum Auswählen der Prozeßausrüstung, die in der Prozeßausrüstungsgruppe enthalten ist, die von dem Holschritt der Prozeßausrüstung von dem Prozeßausrü stungssteuerabschnitt geholt wird.
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