DE10034826A1 - Baugruppe mit einem strukturierten Tärgerelement und einem mit diesem wirkverbundenen Substrat - Google Patents

Abstract

Die Baugruppe (10) weist ein strukturiertes Trägerelement (11) und ein mit diesem wirkverbundenes Substrat (12), insbesondere eine Halbleiterscheibe, auf. Hierbei ist vorgesehen, dass das Trägerelement (11) eine Mehrzahl an voneinander beabstandeten und vorzugsweise in einem äußeren Randbereich des Substrats (12) liegenden Trägerabschnitten (13) aufweist, mittels welchen das Substrat (12) mit dem Trägerelement (11) wirkverbunden ist. Die Trägerabschnitte (13) liegen vorteilhafterweise jeweils in einem Eckbereich des im Wesentlichen rechteckig ausgebildeten Substrats (12) und des entsprechend ausgebildeten Trägerelements (11).

Description

Die Erfindung betrifft eine Baugruppe mit einem strukturierten Trägerelement und einem mit diesem wirkverbundenen Substrat, insbesondere mit einer Halbleiterscheibe, gemäß Oberbegriff des Anspruchs 1.

Stand der Technik

Es ist bekannt, eine Halbleiterscheibe (Substrat) mittels einer Klebverbindung oder einer Lötverbin­ dung an einem metallenen Trägerelement, das auch als "Die Pad" bezeichnet wird, zu befestigen. Das Trägerelement kann dabei Bestandteil eines größeren Leiterkamms sein, der auch unter der Bezeichnung "Lead Frame" bekannt ist.

Bei einer Klebverbindung zur Befestigung einer Halbleiterscheibe auf einem Trägerelement werden zur Aushärtung des Klebermaterials Betriebstempera­ turen von über 150°C eingestellt. Nach Aushärten des Klebermaterials wird die Baugruppe, bestehend aus Halbleiterscheibe, Klebschicht und Trägerele­ ment, auf Raumtemperatur abgekühlt und anschließend weiter verarbeitet. Da die Ausdehnungskoeffizienten insbesondere des Halbleitermaterials (beispiels­ weise Silicium) und des Trägerelements (beispiels­ weise Kupfer) unterschiedlich sind, werden nach Ab­ kühlen der Baugruppe auf Raumtemperatur thermome­ chanische Spannungen in die Halbleiterscheibe indu­ ziert, so dass es zu einer nachteilhaften Beein­ trächtigung der Funktionalität der Halbleiter­ scheibe beziehungsweise der Baugruppe kommen kann. Im Falle einer komplexen Halbleiterstruktur, bei­ spielsweise in Form eines Sandwich-Aufbaus mit Ver­ bindungsschichten aus Klebermaterial, kann ferner die Integrität einer derartigen vielschichtigen Baugruppe insbesondere hinsichtlich ihrer geometri­ schen Erstreckung durch thermomechanische Spannun­ gen negativ beeinträchtigt werden.

Auch bei einer Lötverbindung zwischen Trägerelement und Halbleiterscheibe ergeben sich zeitweise er­ höhte Betriebstemperaturen, so dass auch hier ther­ momechanisch induzierte Spannungen in der Halblei­ terscheibe beziehungsweise entsprechende uner­ wünschte Verformungen derselben auftreten können.

Zur Vermeidung von thermomechanisch in die Halblei­ terscheibe induzierten Spannungen und der darauf beruhenden elastischen und/oder plastischen Verfor­ mungen derselben wird die Halbleiterscheibe gemäß dem Stand der Technik an mehreren, über ihre ge­ samte Fläche verteilten, kleineren Trägerabschnit­ ten an dem Trägerelement mittels einer Klebverbin­ dung beziehungsweise einer Lötverbindung befestigt. Dabei sind die Trägerabschnitte untereinander mit­ tels Verbindungsstegen derart miteinander wirkver­ bunden, dass ein strukturiertes, gitterförmiges Trägerelement erhalten wird. Diese bekannte Ausfüh­ rungsform eines Trägerelements gewährleistet eine sich über die gesamte Substratfläche erstreckende, zuverlässige und stabile Wirkverbindung zwischen Halbleiterscheibe (Substrat) und Trägerelement mit­ tels einer Kleb- oder Lötverbindung, jedoch ist sie nicht geeignet, eine nicht erwünschte elastische und/oder plastische Verformung der Halbleiter­ scheibe aufgrund thermomechanisch induzierter Span­ nungen auf ein Mindestmaß zu reduzieren.

Auch ein Trägerelement mit einem geschlossenen, ringförmigen Trägerabschnitt, an welchem eine Wirk­ verbindung zwischen Halbleiterscheibe und Träger­ element hergestellt wird, führt zu einer nachteil­ haften Verformung der Halbleiterscheibe aufgrund thermomechanisch induzierter Spannungen.

Auch ist der Einsatz von Materialien in Bezug auf die Halbleiterscheibe und das Trägerelement mit ähnlichen Ausdehnungskoeffizienten nicht ohne wei­ teres möglich, da nachteilhafterweise fertigungs­ technische Verarbeitungsprobleme insbesondere des Trägerelements sowie Probleme hinsichtlich der Ver­ bindungstechnik und/oder der Funktionalität der Baugruppe auftreten können.

Vorteile der Erfindung

Die erfindungsgemäße Baugruppe der eingangs genann­ ten Art ist dadurch gekennzeichnet, dass das Trä­ gerelement eine Mehrzahl an voneinander beabstande­ ten Trägerabschnitten aufweist, mittels welchen das Substrat mit dem Trägerelement wirkverbunden ist.

Ein derartig ausgebildetes Trägerelement zeichnet sich dadurch aus, dass aufgrund der Beabstandung der Trägerabschnitte zueinander ein Verbindungsbe­ reich des Substrats zur Herstellung einer Wirkver­ bindung mit dem Trägerelement einschränkungsfrei festlegbar beziehungsweise wählbar ist. Es kann so­ mit eine geometrisch günstige und vorzugsweise ge­ ringe Verformung des Substrats - aufgrund von ther­ momechanischer Spannungen - nach Herstellung der Wirkverbindung mit dem Trägerelement durch geeig­ nete Bestimmung und/oder Anordnung des beziehungs­ weise der Verbindungsbereiche erzielt werden. Dabei können die Trägerabschnitte untereinander mittels geeignet ausgebildeter Verbindungselemente wirkver­ bunden sein.

Vorteilhafterweise liegen die Trägerabschnitte aus­ schließlich in einem äußeren Randbereich des Sub­ strats. Hierdurch wird erreicht, dass eine Wirkver­ bindung zwischen dem Substrat und dem Trägerelement lediglich in einem äußeren Randbereich des Sub­ strats und nicht zusätzlich in einem mittleren Be­ reich desselben vorliegt, so dass thermomechanische Spannungen ausschließlich im äußeren Randbereich in das Substrat induziert werden können. Hierdurch wird eine gleichmäßige und verhältnismäßig geringe elastische und/oder plastische Verformung des Sub­ strats erhalten, im Gegensatz zu einer wellenförmig über das Substrat hin sich erstreckenden Verformung desselben bei Vorliegen einer Mehrzahl von auf der gesamten Substratfläche (mittlerer Bereich und äußerer Randbereich) verteilten Wirkverbindungen zwischen Trägerelement und Substrat. Ferner ist das Trägerelement bei einer Mehrzahl von sowohl in einem mittleren Bereich als auch in einem äußeren Randbereich des Substrats angeordneten Trägerab­ schnitten nachteilhafterweise durch eine verhält­ nismäßig hohe Verformungssteifigkeit gekennzeich­ net, während ein Trägerelement einer erfindungsge­ mäßen Baugruppe eine relativ geringe Verformungs­ steifigkeit beziehungsweise eine verhältnismäßig hohe Verformungsnachgiebigkeit aufweist. Dabei kann gleichzeitig das Gewicht des Trägerelements in effektiver Weise reduziert werden, da im mittleren Bereich desselben keine Trägerabschnitte vorgesehen sind. Aufgrund der verhältnismäßig hohen Verfor­ mungsnachgiebigkeit des erfindungsgemäßen Träger­ elements erfolgt bei Abkühlen der Baugruppe auf Raumtemperatur eine begünstigte elastische Verfor­ mung desselben, so dass lediglich geringe thermo­ mechanische Spannungen in den äußeren Randbereich des Substrats induziert werden und somit entspre­ chend geringere elastische und/oder plastische Ver­ formungen des Substrats auftreten. Hierdurch kommt es auch zu einer geringeren Beanspruchung der Wirk­ verbindung beispielsweise in Form einer Kleb­ schicht, so dass mehr Klebermaterialien-Arten, wie zum Beispiel auch sogenannte "weiche" Kleber, ein­ gesetzt werden können.

Mit Vorteil liegen die Trägerabschnitte jeweils in einem Eckbereich des im Wesentlichen rechteckig ausgebildeten Substrats. Hierdurch ist es möglich, das Trägerelement zur Erzielung einer erwünschten elastischen Verformung desselben besonders nachgie­ big auszugestalten, da die Trägerabschnitte jeweils in einem Eckbereich des Trägerelements liegen und der mittlere Bereich sowie ein Großteil des Randbereichs des Trägerelements konstruktiv frei aus­ gestaltbar ist. Ferner werden eventuelle thermo­ mechanische Spannungen durch die jeweilige Wirkver­ bindung lediglich in den Eckbereich des Substrats induziert, so dass die sich einstellende gleich­ mäßige Krümmung des Substrats in Folge einer ela­ stischen und/oder plastischen Verformung desselben insbesondere im mittleren Bereich, in welchem keine Wirkverbindung zwischen Substrat und Trägerelement vorliegt, verhältnismäßig gering ist.

Vorzugsweise weist das Trägerelement geradlinige, einen geschlossenen Rahmen bildende Verbindungs­ stege auf, mittels welchen die Trägerabschnitte untereinander verbunden sind. Ein derartig ausge­ bildetes Trägerelement erlaubt die Herstellung einer stabilen Wirkverbindung mit einem Substrat und ist ferner bei entsprechend dünner Ausgestal­ tung der Verbindungsstege durch eine erhöhte Nach­ giebigkeit insbesondere hinsichtlich einer er­ wünschten Längsdehnung der Verbindungsstege gekenn­ zeichnet. Dabei kann ferner der Materialeinsatz zur Herstellung eines Trägerelements auf ein Minimum reduziert werden.

Vorteilhafterweise liegen die Trägerabschnitte je­ weils in einem Eckbereich des im Wesentlichen rechteckig ausgebildeten, rahmenförmigen Trägerele­ ments. Dies ermöglicht die Herstellung einer Wirk­ verbindung zwischen Substrat und Trägerelement aus­ schließlich in einem entsprechenden Eckbereich der­ selben, so dass eine verformungsnachgiebige Ausbil­ dung des Trägerelements realisierbar ist zur Erzie­ lung einer günstigen sowie reduzierten Verformung des Substrats. Dabei erfolgt die vorzugsweise reine elastische Verformung des Trägerelements in Form einer Dehnung oder Stauchung der Verbindungsstege.

Gemäß einer alternativen Ausführungsform weist je­ der jeweils zwei Trägerabschnitte verbindende Ver­ bindungssteg eine eine federelastische Biegeverfor­ mung begünstigende geometrische Strukturierung auf. Mittels einer Biegebeanspruchung der Verbindungs­ stege lässt sich in Bezug auf eine Zug- beziehungs­ weise Druckbeanspruchung in Längsrichtung derselben eine größere Verformungsnachgiebigkeit des Träger­ elements erzielen. Dabei wird mittels eines nach­ giebigeren Trägerelements eine unerwünschte ela­ stische und/oder plastische Verformung des Sub­ strats insbesondere im mittleren Bereich desselben auf eine minimale Größe reduziert.

Mit Vorteil weist die geometrische Strukturierung in Längsrichtung jeweils mindestens eine Ecke oder einen Bogen bildende Verbindungsstege auf. Derar­ tige Verbindungsstege eignen sich besonders zur Er­ zeugung einer federelastischen Biegeverformung mit­ tels einer geradlinigen Ausdehnungs- beziehungs­ weise Schrumpfbewegung derselben. In dieser Weise wird eine im Vergleich zu in Längsrichtung geradli­ nigen Verbindungsstegen erhöhte Nachgiebigkeit des Trägerelements erhalten.

Gemäß einer weiteren, alternativen Ausführungsform weist das Trägerelement wenigstens eine Querstrebe auf, die endseitig mit Verbindungsstegen in einem Verbindungsbereich außerhalb der Trägerabschnitte wirkverbunden ist. Durch Vorsehen von Querstreben zwischen den Verbindungsstegen wird eine ferti­ gungsgünstige Herstellung des Trägerelements ge­ währleistet, da die Querstreben dem Trägerelement zur präzisen Fertigung desselben eine notwendige, minimale Stabilität verleihen. Die Querstreben sind mit den Verbindungsstegen endseitig in einem jewei­ ligen Verbindungsbereich wirkverbunden, welcher außerhalb der Trägerabschnitte liegt, so dass bei einer Verformung des Trägerelements in eine Längs­ richtung die Querstreben eine federelastische Biegeverformung der Verbindungsstege in entspre­ chenden Verbindungsbereichen erlauben und somit eine größere Nachgiebigkeit des Trägerelements ge­ währleisten. Zwischen zwei Trägerabschnitten kann vorteilhafterweise keine geradlinige Verbindungsli­ nie gezogen werden, welche vollständig durch eine Querstrebe verläuft, sondern alle Verbindungslinien führen wenigstens einmal in einen Freiraum zwischen den Querstreben und/oder den Verbindungsstegen unter Begünstigung einer entsprechenden Biegever­ formung.

Vorteilhafterweise weisen die Verbindungsbereiche zwischen den Verbindungsstegen und/oder den Quer­ streben abgerundete Verbindungsecken auf. Mittels abgerundeter Verbindungsecken wird sichergestellt, dass die Biegeverformung des Trägerelements im We­ sentlichen in einem elastischen Verformungsbereich erfolgt und die Kerbwirkung im Vergleich zu einer spitzen Ecke wesentlich reduziert ist.

Mit Vorteil weisen die Verbindungsstege und die Querstreben eine im Wesentlichen konstante und gleich große Wandstärke auf. Es stellt sich hierdurch in den Verbindungsstegen und Querstreben eine im Wesentlichen gleichförmige elastische Biegever­ formung beziehungsweise Dehnung oder Stauchung ein, so dass auch das Substrat aufgrund der induzierten, thermomechanischen Spannungen gleichförmig und mög­ lichst wenig verformt wird.

Vorzugsweise sind die Trägerabschnitte im Wesent­ lichen rechteckig ausgebildet. Bei einer rechtecki­ gen Substratkontur können die Eckbereiche des Sub­ strats besonders effektiv mittels rechteckiger Trä­ gerabschnitte vollständig zur Herstellung einer Wirkverbindung mit dem Trägerelement, beispiels­ weise mittels einer Klebverbindung und einer Löt­ verbindung, genutzt werden. Es ist somit eine zu­ verlässige Wirkverbindung zwischen Substrat und Trägerelement realisierbar unter Ausnutzung der oben erwähnten Vorteile.

Vorteilhafterweise ist das Trägerelement aus Metall hergestellt und mittels einer Kleb- oder Lötverbin­ dung an den Trägerabschnitten mit dem Substrat wirkverbunden. Insbesondere kann das Trägerelement aus Kupfer und das Substrat aus Silicium herge­ stellt sein. Eine Kleb- oder Lötverbindung ist be­ sonders geeignet, eine zuverlässige und präzise Wirkverbindung zwischen Trägerelement und Substrat mittels ebener Trägerabschnitte zu gewährleisten.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung.

Zeichnungen

Die Erfindung wird nachfolgend in mehreren Ausfüh­ rungsbeispielen anhand zugehöriger Zeichnungen nä­ her erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Unteransicht eines er­ findungsgemäßen Trägerelements gemäß einer ersten Ausführungsform;

Fig. 2 eine schematische Unteransicht einer er­ findungsgemäßen Baugruppe bestehend aus dem Trägerelement der Fig. 1 und einem mit diesem wirkverbundene Substrat;

Fig. 3 einen schematischen Querschnitt entlang der Linie III-III gemäß Fig. 2;

Fig. 4 eine schematische Unteransicht eines er­ findungsgemäßen Trägerelements gemäß einer zweiten, alternativen Ausführungs­ form;

Fig. 5 eine schematische Unteransicht einer er­ findungsgemäßen Baugruppe bestehend aus dem Trägerelement der Fig. 4 und einem mit diesem wirkverbundenen Substrat;

Fig. 6 einen schematischen Querschnitt entlang der Linie VI-VI gemäß Fig. 5 und

Fig. 7 eine schematische Unteransicht einer er­ findungsgemäßen Baugruppe entsprechend einer weiteren, alternativen Ausführungs­ form.

Beschreibung der Erfindung

Die Fig. 2 und 3 zeigen eine erste Ausführungs­ form einer allgemein mit 10 bezeichneten Baugruppe bestehend aus einem Trägerelement 11 und einem mit diesem insbesondere mittels einer Kleb- oder Löt­ verbindung wirkverbundenen Substrat 12. Fig. 1 zeigt das Trägerelement 11 der Fig. 2 im nicht montierten Zustand. Das Trägerelement 11 weist eine Mehrzahl von voneinander beabstandeten und aus­ schließlich in einem äußeren Randbereich des Sub­ strats 12 liegenden Trägerabschnitten 13 auf, an welchen das Substrat 12 mit dem Trägerelement 11 vorzugsweise mittels einer Kleb- oder Lötverbindung wirkverbunden ist. Die Wirkverbindung zwischen Sub­ strat 12 und Trägerelement 11 ist auf die Eckbe­ reiche des im Wesentlichen rechteckig ausgebildeten Substrats 12 und des ebenfalls im Wesentlichen rechteckig ausgebildeten Trägerelements 11 be­ grenzt. Das Trägerelement 11 weist geradlinige, zu­ sammen mit den Trägerabschnitten 13 einen geschlos­ senen Rahmen bildende Verbindungsstege 14 auf, mit­ tels welchen die Trägerabschnitte 13 untereinander verbunden sind. Die Trägerabschnitte 13 und die Verbindungsstege 14 bilden somit ein rahmenförmiges Trägerelement 11. Ferner weist das Trägerelement 11 zwei zueinander kreuzartig angeordnete Querstreben 15 auf, die endseitig mit gegenüberliegenden Ver­ bindungsstegen 14 in einem Verbindungsbereich 16 außerhalb der Trägerabschnitte 13 beziehungsweise von diesen beabstandet wirkverbunden sind. Die Ver­ bindungsbereiche 16 zwischen den Verbindungsstegen 14 und/oder den Querstreben 15 weisen vorzugsweise abgerundete Verbindungsecken 17 auf. Die Verbindungsstege 14 und die Querstreben 15 sind durch eine im Wesentlichen konstante und gleich große Wandstärke gekennzeichnet. Die Trägerabschnitte 13 sind rechteckig ausgebildet und von einem freien, nicht zur Wirkverbindung genutzten L-förmigen und über das Substrat 12 nach außen hinausragenden Rand 20 umgeben. Der Rand 20 dient insbesondere zur zu­ verlässigen und handhabungsfreundlichen Auftragung eines Kleb- beziehungsweise Lötmittels auf die ent­ sprechenden Trägerabschnitte 13. Entsprechend Fig. 3 ist das Substrat 12 mit dem Trägerelement 11 unter Ausbildung einer zwischenangeordneten Kleb­ schicht 18 auf den Trägerabschnitten 13 wirkverbun­ den. Statt einer Klebschicht 18 kann auch eine ent­ sprechende Lötschicht vorgesehen sein. Die Wirkver­ bindung ist auf die Trägerabschnitte 13 des Träger­ elements 11 beschränkt, so dass zwischen den Trä­ gerabschnitten 13 das Substrat 12 vom Trägerelement 11 bleibend beabstandet angeordnet ist unter Aus­ bildung eines freien Spalts 19. Das Trägerelement 11 ist aus Metall, vorzugsweise aus Kupfer, und das Substrat 12 vorzugsweise aus Silicium hergestellt.

Die Baugruppe 10 gemäß den Fig. 1 bis 3 ist durch eine Verformung in Form einer Dehnung bezie­ hungsweise Stauchung in Längsrichtung der Verbin­ dungsstege 14 und der Querstreben 15 vorzugsweise im elastischen Bereich gekennzeichnet.

Die Fig. 4, 5 und 6 zeigen eine alternative Aus­ führungsform eines erfindungsgemäßen Trägerelements 11 (Fig. 4) beziehungsweise einer entsprechenden Baugruppe 10 (Fig. 5 und 6). In Fig. 4 ist das Trägerelement 11 als solches dargestellt, während die Fig. 5 und 6 die montierte Baugruppe 10 zei­ gen. Im Gegensatz zur ersten Ausführungsform gemäß den Fig. 1 bis 3 sind die Verbindungsstege 14 in Längsrichtung eckenförmig ausgebildet zur Realisie­ rung einer eine federelastische Biegeverformung be­ günstigenden geometrischen Strukturierung des Trä­ gerelements 11. Dies bedeutet, dass beispielsweise bei einer Ausdehnung des Trägerelements 11 in eine Längsrichtung aufgrund einer thermischen Beanspru­ chung die Verbindungsstege 14 im Wesentlichen ela­ stisch biegeverformt und nicht, beziehungsweise we­ nig, elastisch gedehnt werden. Aufgrund der Biege­ verformung der Verbindungsstege 14 ist das Träger­ element 11 mit einer im Vergleich zu einer Dehnung oder Stauchung der Verbindungsstege 14 größeren Nachgiebigkeit gekennzeichnet, so dass sich das Trägerelement 11 verhältnismäßig gut an die jewei­ lige geometrische Verformung (Dehnung oder Stau­ chung in Längsrichtung) des Substrats 12 anpassen kann. Hierdurch wird eine nicht erwünschte ela­ stische und/oder plastische Verformung des Sub­ strats 12 vermieden beziehungsweise maßgeblich re­ duziert, wobei aufgrund der erhöhten Nachgiebigkeit des Trägerelements 11 eine nicht zu vermeidende Verformung der Baugruppe 10 vorteilhafterweise ins­ besondere auf das Trägerelement 11 übertragen wird. Dabei soll die Verformung des Trägerelements 11 möglichst im elastischen Bereich erfolgen, während das Substrat 12 so wenig wie möglich verformt wer­ den soll. Die eine federelastische Biegeverformung begünstigende geometrische Strukturierung des Trä­ gerelements 11 wird dadurch erhalten, dass - wie in Fig. 6 dargestellt - eine gerade Verbindungslinie zwischen zwei Trägerabschnitten 13 wenigstens einmal aus dem Material des Trägerelements 11 in einen freien Raum (Zwischenraum) führt, so dass mittels einer geraden Verbindungslinie zwischen zwei Trä­ gerabschnitten 13 keine kontinuierliche Material­ verbindung durch Verbindungsstege 14 und/oder Quer­ streben 15 erhalten werden kann. Dabei ist die geo­ metrische Strukturierung des Trägerelements 11 nicht auf in Längsrichtung jeweils eine Ecke bil­ dende Verbindungsstege 14 beschränkt, sondern sel­ bige können jeweils beispielsweise auch einen gleichmäßig gekrümmten Bogen bilden. Der weitere konstruktive Aufbau der alternativen Ausführungs­ form gemäß den Fig. 4 bis 6 entspricht demjeni­ gen der ersten Ausführungsform der Fig. 1 bis 3. Deshalb sind gleiche konstruktive Elemente und Ab­ schnitte der Baugruppe 10 der zwei Ausführungsfor­ men mit einander entsprechenden Bezugszeichen ver­ sehen, so dass auf eine weitere Beschreibung in Be­ zug auf den restlichen konstruktiven Aufbau der zweiten Ausführungsform verzichtet wird.

Die Verformungen sowohl der Verbindungsstege 14 als auch der Querstreben 15 beider Ausführungsformen sollen vorzugsweise im reinen elastischen Bereich erfolgen.

Fig. 7 zeigt eine weitere, alternative Ausfüh­ rungsform einer erfindungsgemäßen Baugruppe 10, die im Wesentlichen gleich der Baugruppe 10 gemäß Fig. 5 ausgebildet ist (entsprechende Bezugszeichen), wobei zusätzlich im mittleren Bereich des Träger­ elements 11 ein weiterer Trägerabschnitt 13 vorge­ sehen ist, der mit einer Mehrzahl von Querstreben 15 wirkverbunden ist. Dabei ist der weitere Trägerabschnitt 13 mittig zu einer Symmetrieebene (nicht dargestellt) des Trägerelements 11 beziehungsweise der Baugruppe 10 angeordnet. Auch diese Ausfüh­ rungsform der Fig. 7 zeichnet sich durch eine er­ höhte Nachgiebigkeit des Trägerelements 11 und so­ mit durch eine günstige elastische Verformung der Baugruppe 10 aus.

Gemäß einer weiteren, alternativen, nicht darge­ stellten Ausführungsform kann ein Trägerelement 11 im Wesentlichen gemäß den Fig. 1 oder 4 ausge­ bildet und ohne Querstreben 15 vorgesehen sein. Ein Trägerelement 11 mit Querstreben 15 ist allerdings fertigungstechnisch einfacher herstellbar. Ferner muss das Trägerelement 11 nicht notwendigerweise rechteckig ausgebildet sein. Auch kann die Anzahl und die geometrische Ausgestaltung der Trägerab­ schnitte 13 in Bezug auf die Figuren unterschied­ lich sein.

Claims (12)

1. Baugruppe mit einem strukturierten Trägerelement und einem mit diesem wirkverbundenen Substrat, ins­ besondere mit einer Halbleiterscheibe, dadurch ge­ kennzeichnet, dass das Trägerelement (11) eine Mehrzahl an voneinander beabstandeten Trägerab­ schnitten (13) aufweist, mittels welchen das Sub­ strat (12) mit dem Trägerelement (11) wirkverbunden ist.

2. Baugruppe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, dass die Trägerabschnitte (13) ausschließlich in einem äußeren Randbereich des Substrats (12) liegen.

3. Baugruppe nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, dass die Trägerab­ schnitte (13) jeweils in einem Eckbereich des im Wesentlichen rechteckig ausgebildeten Substrats (12) liegen.

4. Baugruppe nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, dass das Trägerelement (11) geradlinige, einen geschlossenen Rahmen bil­ dende Verbindungsstege (14) aufweist, mittels wel­ chen die Trägerabschnitte (13) untereinander ver­ bunden sind.

5. Baugruppe nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, dass die Trägerabschnitte (13) jeweils in einem Eckbereich des im Wesentlichen rechteckig ausgebildeten, rahmenförmi­ gen Trägerelements (11) liegen.

6. Baugruppe nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, dass jeder jeweils zwei Trägerabschnitte (13) verbindende Verbindungs­ steg (14) eine eine federelastische Biegeverformung begünstigende geometrische Strukturierung aufweist.

7. Baugruppe nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, dass die geometrische Strukturierung in Längsrichtung jeweils mindestens eine Ecke oder einen Bogen bildende Verbindungs­ stege (14) aufweist.

8. Baugruppe nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, dass das Trägerelement (11) wenigstens eine Querstrebe (15) aufweist, die endseitig mit Verbindungsstegen (14) in einem Ver­ bindungsbereich (16) außerhalb der Trägerabschnitte (13) wirkverbunden ist.

9. Baugruppe nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, dass die Verbindungs­ bereiche (16) zwischen den Verbindungsstegen (14) und/oder den Querstreben (15) abgerundete Verbin­ dungsecken (17) aufweisen.

10. Baugruppe nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, dass die Verbindungs­ stege (14) und die Querstreben (15) eine im Wesent­ lichen konstante und gleich große Wandstärke auf­ weisen.

11. Baugruppe nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, dass die Trägerab­ schnitte (13) im Wesentlichen rechteckig ausgebil­ det sind.

12. Baugruppe nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, dass das Trägerelement (11) aus Metall hergestellt und mittels einer Kleb- oder Lötverbindung an den Trägerabschnitten (13) mit dem Substrat (12) wirkverbunden ist.