DE10012244A1

DE10012244A1 - Verfahren zur Herstellung einer Druckplatte und Verfahren zum Bedrucken von keramischen oder glaskeramischen Grünfolien

Info

Publication number: DE10012244A1
Application number: DE2000112244
Authority: DE
Inventors: Klaus Kuettner; Klaus Voigtlaender; Andreas Stratmann; Gilbert Moersch; Heiko Thust; Thorsten Thelemann
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 2000-03-14
Filing date: 2000-03-14
Publication date: 2001-10-04

Abstract

Es wird ein Verfahren zur Herstellung einer Druckplatte (5) vorgeschlagen, das die Verfahrensschritte Bereitstellen einer Platte (10), zumindest bereichsweises Aufbringen einer strukturierbaren Schicht (11) auf die Platte (10), Strukturierung der strukturierbaren Schicht (11) zu einer Strukturschicht (11') mit Ausnehmungen (14), zumindest weitgehende Füllung der Ausnehmungen (14) mit einem Füllmaterial (14') und Entfernen der Strukturschicht (11') aufweist. Weiter wird vorgeschlagen, eine derartige Druckplatte (5) zum unmittelbaren Bedrucken keramischer oder glaskeramischer Grünfolien (22) einzusetzen, wobei zunächst eine Druckpaste (20) auf die Druckplatte (5) aufgetragen danach zumindest bereichsweise die zu bedruckende Grünfolie (22) mit der Druckplatte (5) in Kontakt gebracht und schließlich die Druckplatte (59) von der bedruckten Grünfolie (22) getrennt wird. Dabei wird die Druckpaste (20) im Bereich von Druckstrukturen (20') von der Druckplatte (5) auf der Grünfolie (22) übertragen. Die vorgeschlagene Druckplatte (5) und das vorgeschlagene Druckverfahren eignet sich besonders zum unmittelbaren Bedrucken von keramischen Grünkörpern oder Grünfolien mit Leiterbahnstrukturen.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Druckplatte und ein Verfahren zum insbesondere unmittelbaren Bedrucken von keramischen oder glaskeramischen Grünfolien, nach der Gattung der unabhängigen Ansprüche.

Stand der Technik

In der Dickschichttechnik werden bisher Leiterbahnen auf Ke ramiksubstraten bzw. keramischen Grünfolien mit Hilfe der Siebdrucktechnik aufgedruckt.

Dabei wird zur Erzeugung der Leiterbahnen zunächst ein soge nanntes "Sieb" verwendet, das aus feinem Gewebe besteht, auf das eine dünne Schicht auflaminiert ist, die in den Berei chen, in denen die späteren Leiterbahnen entstehen sollen, schlitzförmig unterbrochen ist, so daß beim eigentlichen Druckprozeß die Siebdruckpaste mit einer Rakel durch die Öffnungen bzw. die Schlitze und durch das Trägersieb ge drückt, und somit auf dem zu bedruckenden Substrat deponiert wird. Bei diesem Verfahren nutzt man weiter aus, daß die aufgebrachte Paste nach dem Druckprozeß etwas verläuft, so daß sich die vom Sieb herrührenden Lücken in Form eines Karomusters auf dem bedruckten Substrat durch die Oberflächen spannung der Druckpaste von selbst wieder schließen.

Es ist offensichtlich, daß die Auflösungen dieser Siebdruck technik durch die Struktur des verwendeten Siebes beschränkt ist, da die erzeugten Leiterbahnen und deren Abstände nicht feiner als die Maschenweite des Siebes sein können. Daneben tritt durch das erwünschte Verlaufen der Paste gleichzeitig ein unerwünschtes Verlaufen der erzeugten Leiterbahnkanten auf, wodurch sich die erreichbare Strukturauflösung verrin gert.

Insgesamt wird in der Serienfertigung mit der Siebdrucktech nik bisher lediglich eine Auflösung von ca. 100 µm für die Breite der erzeugbaren Leiterbahnen erreicht.

Alternativ zu der Siebdrucktechnik ist bereits die Schablo nendrucktechnik bekannt. Dabei werden topologisch beschränk te Strukturen wie Kontaktflächen (Pads) oder Leiterbahnen mit dünnen Blechschablonen gedruckt, deren runde oder leicht länglich Öffnungen durch Laserbearbeitung, Funkenerosion oder Ätzen erzeugt werden. Mit dieser Schablonendrucktechnik sind derzeit Auflösungen unter 50 µm erreichbar.

Aus Gründen der Topologie der eingesetzten Blechschablonen, insbesondere hinsichtlich unerwünschter Verformungen, Durch biegungen oder Verschiebungen der Schablone beim Auftragen der Druckpaste mit einer Rakel, sowie aus Gründen der Mas kenstabilität können mit diesen Verfahren jedoch keine aus gedehnten oder verzweigten Leiterbahnen gedruckt werden.

Um eine über die Schablonendrucktechnik oder den Siebdruck hinausgehende Miniaturisierung der auf keramischen oder glaskeramischen Grünfolien durch Aufbringen einer Druckpaste aufgebrachten Leiterbahnstrukturen zu ermöglichen, wird schließlich zunehmend auch die Gravurdrucktechnik einge setzt. Dazu wird jedoch bisher regelmäßig mit Zwischenträ gern, beispielsweise in Form eines Tampons, gearbeitet, das heißt, die Druckpaste wird nicht direkt von der Druckscha blone bzw. Druckplatte auf das zu bedruckende Substrat auf gebracht.

Vorteile der Erfindung

Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung einer Druck platte und das erfindungsgemäße Verfahren zum Bedrucken ke ramischer oder glaskeramischer Grünfolien mit dieser Druck platte hat gegenüber dem Stand der Technik den Vorteil einer höheren Auflösung und Genauigkeit des erreichbaren Druckbil des.

Dies wird erreicht durch Verzicht auf einen Zwischenträger wie beispielsweise einen Tampon, eine Rolle oder einen Stem pel, indem die Grünfolie unmittelbar mit Hilfe der erfin dungsgemäßen Druckplatte bedruckt wird. Somit wird vermie den, daß sich durch die Einschaltung des Zwischenträgers ei ne Verschlechterung der Kantenschärfe als auch der Positi onsgenauigkeit der hergestellten Leiterbahnen bzw. Druck strukturen ergibt, was beispielsweise bei komplexen Multi layer-Schaltungen oder keramischen Mehrlagenhybriden von großem Vorteil ist.

Vorteilhafte Weiterbildung der Erfindungen ergeben sich aus den in den Unteransprüchen genannten Maßnahmen.

So ist es besonders vorteilhaft, wenn die in der Druckplatte erzeugten Ausnehmungen bzw. die als negativ Struktur dieser Ausnehmungen verbliebenen Füllungen ebene Boden- und Wand flächen sowie einen leicht konischen oder schrägen, sich nach oben aufweitenden Querschnitt aufweisen. Auf diese Weise wird gewährleistet, daß die Druckpaste beim Bedrucken stets zuverlässig transportiert wird.

Diese Übertragung der Druckpaste von der Druckplatte auf das zu bedruckende Substrat kann weiter vorteilhaft durch eine geeignete Wärmezufuhr unterstützt werden, über die bei spielsweise die Viskosität der Druckpaste veränderbar ist.

Das eigentliche Drucken mit der erfindungsgemäßen Druckplat te erfolgt bevorzugt durch Ausüben eines flächigen Druckes, insbesondere eines pneumatischen Überdrucks, oder mittels einer zusätzlichen elastischen Andruckplatte.

Weiter ist es vorteilhaft, wenn zur Erhöhung der Positio niergenauigkeit die Druckplatte vor dem Kontakt mit der ke ramischen, dieser gegenüber mittels einer Justiereinrichtung positioniert wird. Als Justiereinrichtung eignen sich insbe sondere Fanglöcher oder Fangstifte. Daneben kann die Posi tionierung der Druckplatte gegenüber dem Substrat zur Erzie lung besonders hoher Genauigkeit auch mit Hilfe eines Ju stiermikroskops oder eines Vision-Systems erfolgen.

Zeichnungen

Die Erfindung wird anhand der Zeichnung und der nachfolgen den Beschreibung näher erläutert.

Die Fig. 1a bis 1g erläutern das Verfahren zur Herstel lung der Druckplatte und die Fig. 2a bis 2d erläutern das Bedrucken einer keramischen Grünfolie mit dieser Druckplat te.

Ausführungsbeispiele

Die Fig. 1a bis 1g erläutern als Ausführungsbeispiel das Verfahren zur Herstellung einer Druckplatte, die sich beson ders zum Bedrucken keramischen oder glaskeramischer Grünkör per oder Grünfolien mit Mikrostrukturen eignet.

Dazu wird zunächst von einer ebenen polierten Metallplatte 10 ausgegangen, die beispielsweise aus einem galvanisierba ren Metall wie Nickel, Chrom, Kupfer oder Gold besteht, und die eine Oberflächenrauhigkeit R_z von weniger als 0,5 µm aufweist. Diese ebene polierte Metallplatte 10 hat bei spielsweise Abmessungen von ca. 20 × 20 cm bei einer Dicke von ca. 5 mm.

Die Fig. 1b erläutert wie auf der bereitgestellten Platte 10 zunächst ganzflächig eine strukturierbare Schicht 11 auf gebracht wird. Diese strukturierbare Schicht 11 hat bei spielsweise eine Dicke von 2 µm bis 20 µm und besteht bevor zugt aus an sich bekanntem Photolack bzw. Photoresist. Be sonders bevorzugt wird eine negativ arbeitende Photolack schicht als strukturierbare Schicht 11 eingesetzt.

Die Fig. 1c erläutert dann wie in einem nächsten Verfah rensschritt die Strukturierung der strukturierbaren Schicht 11 zu einer Strukturschicht 11' erfolgt, wobei die Struktur schicht 11' Ausnehmungen 14 aufweist, die eine Negativform der im späteren auf einer keramischen Grünfolie 22 aufzu bringenden Druckstrukturen 20', beispielsweise in Form von Leiterbahnen oder Kontaktflächen, bildet. Im einzelnen ist die Dicke der gemäß Fig. 1b aufgebrachten Photolackschicht mindestens so groß wie die Tiefe der benötigten Druckvertie fungen zur Erzeugung dieser Leiterbahnen bzw. Kontaktflä chen. Die Photolackschicht kann im übrigen sowohl in fester Form als auch in flüssiger Form auf die Platte 10 aufge bracht werden.

Die Strukturierung der strukturierbaren Schicht 11 in Fig. 1c erfolgt bevorzugt mit Hilfe einer Maske 12, beispielswei se einer Photomaske oder einer Schattenmaske. Diese Maske 12 ist dabei so gestaltet, daß sie im Bereich der zu erzeugen den Ausnehmungen 14 beispielsweise für UV-Licht nicht trans parent ist, so daß lediglich die nicht von den Ausnehmungen 14 eingenommenen Flächen durch Bestrahlung der Maske 12 mit UV-Licht belichtet werden.

Im einzelnen wird durch die Belichtung der Maske 12 mit UV- Licht der Photolack in den für das Licht zugänglichen Berei chen vernetzt, so daß dieser dort bei einer nachfolgenden Entwicklung stehen bleibt, während die unbelichteten Berei che der Ausnehmungen 14 nachfolgend weggelöst werden können.

An dieser Stelle sei betont, daß die Verwendung von negativ arbeitendem Photolack deshalb besonders vorteilhaft ist, weil damit die Flankenwinkel der Ausnehmungen 14 definiert eingestellt werden können, so daß die in einem späteren Ver fahrensschritt im Bereich der Ausnehmungen 14 erzeugten Fül lungen 14' Flanken 15 aufweisen, die angeschrägt bzw. leicht konisch geformt sind. Dieser Effekt beruht auf einer bei Be lichtung des Photolackes mit zunehmender Tiefe stärkeren Ab sorption und Lichtstreuung in der Lackschicht, die dazu führt, daß der Photolack im oberen, das heißt der Lichtquel le zugewandten Bereich, stärker vernetzt als in der Tiefe. Auf diese Weise bildet sich beim nachfolgenden Entwickeln im Querschnitt dann in bekannter Weise ein schwalbenschwanzför miges Profil der Ausnehmungen 14 aus.

Nach dem Abschluß des Strukturierens der Schicht 11 ist so mit, wie in Fig. 1d dargestellt, auf der Platte 10 eine Strukturschicht 11 mit Ausnehmungen 14 entstanden.

Im nachfolgenden, mit Hilfe der Fig. 1b erläuterten Verfah rensschritt werden nun die Ausnehmungen 14 mit Füllungen 14' versehen.

Im einzelnen werden dazu die Ausnehmungen 14 mittels eines galvanischen Metallisierungsprozesses mit einem Metall auf gefüllt. Typische galvanisierbare Metalle sind beispielswei se Nickel, Nickel-Eisen, Nickel-Cobalt, Kupfer, Gold und Chrom. Die Metallisierungshöhe und damit die Höhe der Fül lung 14' kann dabei in an sich bekannter Weise durch die Stromdichte und die Galvanisierungszeit beim Galvanisieren eingestellt werden. Die Stromdichten liegen bevorzugt bei 10 mA/cm² bis 25 mA/cm², was im Fall von Nickel typische Ab scheideraten um 20 µm/h ergibt. Die Galvanisierungszeiten betragen üblicherweise 5 min bis 60 min.

Alternativ zu einem galvanischen Metallisierungsprozeß kann im übrigen auch eine an sich bekannte elektrophoretische Ab scheidung von keramischem Material zur Füllung der Ausneh mungen 14 eingesetzt werden.

Nachdem, wie in Fig. 1e erläutert, die Ausnehmungen 14 mit den Füllungen 14' versehen worden sind, erfolgt im nächsten Verfahrensschritt dann zweckmäßigerweise eine Glättung und Planarisierung der Oberfläche der Strukturschicht 11' mit den Füllungen 14'. Diese Planarisierung und Glättung ist in der Regel erforderlich, da die Oberfläche einer relativ dic ken galvanischen Schicht, wie sie durch die Füllungen 14' gegeben ist, meist nicht den Ebenheits- und Glattheitsanfor derungen an Druckplatten genügt.

Die Glättung und Planarisierung der Strukturschicht 11' mit den Füllungen 14' erfolgt bevorzugt mittels eines zerspanen den Verfahrens, indem die Strukturschicht 11' mit den Fül lungen 14' beispielsweise zunächst durch Schleifen oder Fräsen planarisiert und anschließend bei Bedarf geringfügig nachpoliert wird. In diesem Arbeitsgang wird gleichzeitig die Dicke der Druckvertiefungen in der Druckplatte 5, d. h. die Höhe der Füllungen 14' eingestellt. Bevorzugt liegt die Höhe der Füllungen 14' im Bereich von 2 µm bis 20 µm.

Nach diesem Verfahrensschritt wird schließlich die Struktur schicht 11' in den durch die vorausgehende UV-Belichtung in den vernetzten Bereichen wieder entfernt, so daß die Platte 10 mit den darauf verbliebenen Füllungen 14' verbleibt, die beispielsweise die Form von Leiterbahnen oder Kontaktflächen aufweisen. Typische Dimensionen der Füllungen 14' liegen bei einer Breite von 5 µm bis 50 µm, einer Höhe von 2 µm bis 20 µm und einer Länge von bis zu einigen mm.

Die Fig. 1g zeigt im übrigen zusätzlich im Detail die Flan ken 15 der Füllungen 14', die in bevorzugter Ausgestaltung der Erfindung einen schrägen oder konischen Querschnitt auf weisen. Diese Ausbildung der Flanken 15 erlaubt einen beson ders zuverlässigen Übertrag der später zwischen den Füllun gen 14' eingebrachten Druckpaste 20 beim Drucken auf die Grünfolien 22.

Im übrigen sei erwähnt, daß es sich bei dem eingesetzten Photolack beispielsweise um das Produkt ma-N 490 der Firma Micro Resist Technology handelt.

Zum Entfernen des vernetzten Photolacks im Bereich der Strukturschicht 11' gemäß Fig. 1e wird schließlich ein so genannter "Remover", wie er beispielsweise von der Firma Clariant AG unter dem Namen AZ Remover 200 vertrieben wird, eingesetzt. Alternativ eignet sich auch ein Lösungsmittel wie beispielsweise Aceton.

Nachdem die Druckplatte 5 gemäß Fig. 1f fertig gestellt worden ist, erläutern die Fig. 2a bis 2d deren Einsatz zum Bedrucken einer keramischen Grünfolie 22.

Dazu wird zunächst eine an sich bekannte keramische Grünfo lie 22 vorbereitet, wie sie beispielsweise bei der Herstel lung von keramischen Mehrlagenhybriden eingesetzt wird. Der artige keramische Grünfolien bestehen im allgemeinen aus pulverförmigen keramischen Bestandteilen, insbesondere Zir kondioxid oder Aluminiumoxid, denen im grünen Zustand ein Binder und gegebenenfalls ein Lösungsmittel sowie Weichma cher zugesetzt sind. Alternativ kann jedoch ebenso auch eine glaskeramische Grünfolie eingesetzt werden, die neben den vorgenannten Bestandteilen zusätzlich Glaspulverteilchen oder allgemein glasartige Bestandteile enthält.

Um auf derartigen keramischen Grünfolien 22 metallische Kon taktflächen beziehungsweise Leiterbahnen zu realisieren, werden bisher in Siebdrucktechnik oder Schablonendrucktech nik durch Aufdrucken einer Druckpaste Leiterbahnen oder Kon taktflächen erzeugt. Dazu geeignete Druckpasten, die auch im Fall der Erfindung bzw. im erläuterten Beispiel gegebenen falls mit angepaßter Viskosität eingesetzt werden, sind dem Fachmann bekannt. Solche Druckpasten werden beispielsweise von den Firmen Sumitomo oder DuPont vertrieben.

Die Fig. 2a erläutert zunächst wie auf die vorbereitete Druck platte 5 gemäß Fig. 1f mit Hilfe einer Rakel 21 eine solche Druckpaste 20 aufgetragen wird. Der Auftrag erfolgt dabei der art, daß die Bereiche zwischen den Füllungen 14' mit der Druck paste 20 befüllt werden, wobei die Dicke der aufgetragenen Druckpaste 20 der Höhe der Füllungen 14' entspricht.

Dabei ist zu beachten, daß die Druckpaste 20 die richtige Konsistenz hat, um möglichst alle zwischen den Füllungen 14' befindlichen Ausnehmungen vollständig zu füllen. Um dies zu gewährleisten, ist es zweckmäßig die Viskosität der Druckpa ste 20 geeignet einzustellen, was beispielsweise durch Zuga be eines Verdünners erfolgt. Bevorzugt weist die Druckpaste 20 eine Viskosität von 30 Pa.s bis 100 Pa.s, insbesondere 60 Pa.s, auf.

Nachdem die Druckplatte 5 mit der Druckpaste 20 in der be schriebenen Weise versehen worden ist, erfolgt anschließend eine Justage der Druckplatte 5 gegenüber der Grünfolie 22, die im erläuterten Beispiel eine Dicke von 100 µm bis 500 µm und laterale Abmessungen von beispielsweise 20 × 20 cm auf weist, mit Hilfe einer Justiervorrichtung.

Zu dieser Justage können in der Druckplatte 5 und/oder auf der Grünfolie 22 in bekannter Weise Fanglöcher und/oder Fangstifte vorgesehen sein. Alternativ erfolgt die Justage der Druckplatte 5 gegenüber dem Substrat 22 durch ein Ju stiermikroskop.

Nach erfolgter Justage wird nun die Grünfolie 22 der mit der Druckpaste 20 gefüllten Druckplatte 5 bedruckt, indem die Druckplatte 5 mit der zu bedruckenden Grünfolie durch flä chigen Druck in Kontakt gebracht wird, was bevorzugt mittels der Erzeugung des ganzflächigen pneumatischen Überdruckes gewährleistet wird.

Alternativ oder zusätzlich kann weiter vorgesehen sein, daß der flächige Druck durch eine auf der der Druckplatte 5 ab gewandten Seite der Grünfolie 22 angeordneten, zusätzlichen elastischen Andruckplatte erzeugt wird.

Anschließend wird dann die Druckplatte 5 oder die Grünfolie 22 angehoben, so daß die Druckplatte 5 und die Grünfolie 22 wieder voneinander getrennt werden, wobei der Übertrag der Druckpaste 20 auf das Substrat 22 erfolgt. Damit entsteht auf der Grünfolie 22 eine Druckstruktur 20', die einem Nega tivabbild der Füllungen 14' entspricht, so daß auf der Ober fläche der Grünfolie 22 Druckstrukturen 20' erzeugt werden, die ähnlich wie die Strukturschicht 11' in Fig. 1d ausge bildet sind.

Insbesondere sei betont, daß mit Hilfe des erläuterten Druckverfahrens ein unmittelbarer Übertrag der Druckpaste 20 von der Druckplatte 5 auf die Grünfolie 22 ohne Einschaltung von Zwischenträgern erfolgt.

Als elastische Andruckplatte wird im übrigen bevorzugt eine Gummiplatte eingesetzt.

Schließlich ist es vielfach zweckmäßig, den Übertrag der Druckpaste 20 von der Druckplatte 5 auf die Grünfolie da durch zu erleichtern, daß die Druckplatte 5 und/oder die Grünfolie 22 vor und/oder während der Übertragung der Druck paste 20 von der Druckplatte 5 auf die Grünfolie 22 erwärmt wird. Geeignete Temperaturen für diese Erwärmung liegen im Bereich von 30°C bis 80°C.

Die Fig. 2d erläutert abschließend die fertig bedruckte Grünfolie 22, die mit den erzeugten Druckstrukturen 20' aus der Druckpaste 20 versehen ist. Diese Grünfolie 22 wird dann in bekannter Weise weiterbehandelt, beispielsweise getrock net, zu Mehrlagenhybriden gestapelt und gesintert, während die Druckplatte 5 gereinigt und für einen nächsten Druckvor gang vorbereitet wird.

Claims

1. Verfahren zur Herstellung einer Druckplatte, insbesondere zum Bedrucken keramischer oder glaskeramischer Grünkörper, mit folgenden Verfahrensschritten: a.) Bereitstellen einer Platte (10), b.) zumindest bereichsweises Aufbringen einer strukturier baren Schicht (11) auf die Platte (10), c.) Strukturierung der strukturierbaren Schicht (11) zu einer Strukturschicht (11') mit Ausnehmungen (14), d.) zumindest weitgehende Füllung der Ausneh mungen (14) mit einem Füllmaterial (14') und e.) Entfernen der Strukturschicht (11').

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Platte (10) eine ebene polierte Platte, insbesondere eine ebene polierte Metallplatte, mit einer Oberflächenrauhigkeit kleiner 0,5 µm eingesetzt wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als strukturierbare Schicht (11) eine Photolackschicht, insbe sondere eine negativ arbeitende Photolackschicht, aufgebracht wird, und daß die Strukturierung der Photolackschicht durch be reichsweises Belichten der Photolackschicht unter Einsatz einer Schattenmaske (12) oder einer Photomaske erfolgt.

4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Photolackschicht nach dem Belichten entwickelt und in nicht belichteten Bereichen wieder entfernt wird, so daß eine Struktu rierung der Photolackschicht zu der Strukturschicht (11') mit Ausnehmungen (14), insbesondere in Form von Gräben, entsteht.

5. Verfahren nach Anspruch 1 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausnehmungen (14) in der Strukturschicht (11') zumindest weitgehend mittels galvanischer Abscheidung mit einem Metall oder mittels elektrophoretischer Abscheidung mit einem kerami schen Material gefüllt werden.

6. Verfahren nach Anspruch 1 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die mit den im Bereich der Ausnehmungen (14) mit Füllungen (14') versehene Strukturschicht (11') und/oder die Füllungen (14') planarisiert und/oder geglättet werden.

7. Verfahren nach mindestens einem der vorangehenden Ansprü che, dadurch gekennzeichnet, daß die Füllungen (14') derart er zeugt werden, daß diese im Bereich ihrer Flanken (15) zumindest bereichsweise einen schrägen oder konischen, insbesondere nach oben aufgeweiteten Querschnitt aufweisen.

8. Verfahren nach mindestens einem der vorangehenden Ansprü che, dadurch gekennzeichnet, daß die Platte (10) nach dem Ver fahrensschritt d.) oder e.) zu einer gekrümmten Druckplatte zum Einsatz im Rotationsdruck geformt wird.

9. Verfahren zum Bedrucken keramischer oder glaskeramischer Grünfolien mit einer mikrostrukturierten Druckplatte nach minde stens einem der vorangehenden Ansprüche, wobei zunächst eine Druckpaste (20) auf die Druckplatte (5) aufgetragen, danach zu mindest bereichsweise eine zu bedruckende keramische oder glas keramische Grünfolie (22) mit der Druckplatte (5) in Kontakt ge bracht und schließlich die Druckplatte (5) von der Grünfolie (22) getrennt wird, wobei die Druckpaste (20) im Bereich von Druckstrukturen (20') von der Druckplatte (5) auf die Grünfolie (22) übertragen wird.

10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß als Druckplatte (5) eine planare Druckplatte (5) eingesetzt wird, die mit der Grünfolie (22) durch flächigen Druck, insbe sondere mittels pneumatischem Überdruck oder mittels einer ela stischen Andruckplatte, in Kontakt gebracht wird.

11. Verfahren nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeich net, daß die Druckplatte (5) und/oder die Grünfolie (22) vor und/oder während der Übertragung der Druckpaste (20) von der Druckplatte (5) auf die Grünfolie (22) erwärmt wird.