DD263422A3 - Vakuumaufdampfvorrichtung fuer duennschichten - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft die Vakuumbeschichtung und kann zum Aufdampfen kostspieliger Materialien fuer die Elektronik angewendet werden. Das Erfindungsziel besteht in der Senkung des Verbrauchs an Aufdampfmaterial. Der Graphiteinsatz 5 ist in dem Tiegel 1 angeordnet und besteht aus den beiden Teilen 6 und 7. Zwischen den Teilen 6 und 7 ist die Blende 8 mit der Oeffnung 9 fuer den Durchtritt des Dampfstroms angebracht. Die Enden des Einsatzes 5 sind profiliert, die Profilform wird bestimmt von der Kreuzungsstelle der Zylinderflaeche der Rohrleitung mit der Flaeche, die durch die Linie 12 gebildet wird, die durch den aeusseren Umfang der Aufdampfzone (des Substrats 10), den Umfang der Oeffnung 9 der Blende 8 und die geometrische Achse 13 der Rohrleitung 5 verlaeuft, wodurch die Zone der Intensitaetsabnahme des Dampfstroms eingeengt wird. Figur

Description

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