CS263499B1 - Device for coat application in vacuum - Google Patents

Description

1 •v OIIHCAHHE H30BPETEHHH K ABTOPCKOMY CBWTEJlBCTBy3aHBKa ŤP 389J 902/24-21 ,

SaaBJíeHoi 06.05.85MKH*s ď23 C 147 26

Abtoph: r.T.JIesyeHKo h Á.H. PaflSHKOBCKuň

3aHBHT&ni>:' Κηθβοκη# noJiHTexHiraecKtdi hhctutyt hm. 50-neTHa ΒεπηκοίίOkthSpbckoíí couHaJiHCTHraecKoň pesojnoipiH

Ha3BaHHe H3o6peTeHiw: yCTPOňCTBO fllIB ΗΑΠΒΙΠΕΗΗΒμΙΙΠΕΗΟΚ B ΒΑΚΥΎΜΕ Η3ο6ρβτβΗΗβ KaaaeTCH HaHeceHHa ποκρώτκή b BaKyyMe η Μοκβτ 6ωτ& ncnoJihso-BaHO flJIH HanbineHHH flOporOCTOHmHX MaTépnaJIOB fíJIH SJíeKTpOHHOň TeXHHKH, paflHO-ΤβΧΗΗΚΗ, ΟΠΤΗΚΗ.

UejiBio Η3θ6ρετβΗΗ» flBJweTCH CHHsceHHe pjicxoflaHanbmaeMÓroiMaTepHana saCMeT CyjKeHHH 3OHM cnafla HHTeHCHBHOCTH napoBoro noToxa,

Ha conpoBOJKflaromeM nepTeate H3o6pa®eHo ycTpoňcTBo flnn HaHeceHHH ihmhok bBaKyyMe, pa3pe3 b βκαοΗΟΜβτρΗΉβοκοκ προεκμπΗ. ycTpoiicTBo coflepjKHT rpa$HToBbiií Turejib 1 c HanbinaeMbrn MaTepnanoM 2,’ Ha-npHMep, cepeSpoM, ycTaHoBJíeHHbtíí b rpaifrHTOBOM flHnHHflpHnecKOM meneBOM Harpe-BaTene 3, oKpyaceHHOM MoJlHCfí-eHoBbíM TennoBbíM SKpaHOM 4., ΓρβφκτοΒβΗ BCTaBKa 5c BbixoflHbíM KaHaaoM, ycTaHoBJíeHHaa B Turné 1, coctoht H3 flByx nacTeĚ 6 h 7,Meatfly kotopmmh b lijiockocth CHMMeTpHH KaHana ycTáHOBJíeHa flHaAparMa 8 c ot-BepcTaeM 9 ajih npoxoacfleHHH ποτοκβ napa. HacTH 6, 7 η «Η&φρβΓΜε 8 coěflHHeHbíMeatfly co6oft nocpeflcŤBOM πιτκφτοΒ (ηθ noKa3aHbi) H3 TyronnaBKoro MeTanna, HaflycTpoňCTBOM b 30He HanbineHHH ycTaHOBneHa noflnoaoca 10, coBnaflaromas c Heň noφορΜβ, Ha KOHuax BCTaBKH 5 βμποπη6ημ npotbunnpoBaHHbie Bbipeabi 11, tbopMa koto-pbix onpeflenaeTCH nepeceneHHeM flHnHHflpHnecKoň noBepxHocTH bct3Bkh 5 c noeepx-hoctbjo, oSpasoBaHHoit JiHHneň 12, npoxoflameň nepe3 τρκ HanpaBnaromHe: Hapyac-Hblň KOHTyp 3OHM ΗβΠΜΠβΗΗΗ (nOflHOJKKH 1 0) , ΠβρΗΜβΤρ OTBepCTHH 9 ΑΗβφρβΓΜΜ 8h reoMeTpHMecKaa ocb 13 bcthbkh 5. ycTpoiícTBo paSoTaeT cneflyromiw o6pa3OM. 263499

Ilocne στκβπκΗ BaKyyMHoň KaMepů (ho noMaHa) h Harpesa noflnoxcKH 1 0 bkjuo-MajoT HarpesaTejib 3 η aoboaht aq TeMnepaTypbi HcnapeHHH Turem 1 c HanbuineMbiM 1MaTepHanoM 2, hhjkhiow nacTb 7 BCTaBKH.5 h flna<}>parMy 8. Ποτοκ napa HanbinneMO-.ro MaTepnana 2 BbtxoflHT H3 οτβθροτηη 9. UeHTpanbHan nacTb noTOKa ocascflaeTCH ,·Ha noflnojKKe 10, pacnonoweHHoň β.3οηθ HanbtneHHH. ΠερκφερΗίίΗΜε ynacTKH ποτο-Ka, flBH»yiuHecH mhmo ποαποκκη 10, 3aflep»HBaioTCH BepxHeň nacTbto 6 BCTaBKH.5,

Ha κοτοροβ ohh KoHABHCHpyioTCH b TBapflyro $a3y, τεκ κβκ TeMňepaTypa BepxHeňnacTH 6, HaxoflHtueňCH BH8 3OHbt HarpeBa, Hrae τεΜπερετγρω nnaBneHHH Hanbinne-μογο MaTepnana 2. BepxHHň cnoň CTaBKH 6 Bnaroflapn HaniWHK) b hbm προφΗΠΗρο-BaHHbix Bbipa3OB 11 φορΜΗρνετ HanpaBneHHbtň ποτοκ HanbWJiBMoro MaTBpHana 2,řÍMaromnH b ποπερεηΗΟΜ ceneHHH φορΜγ, coBnaflaiomyio c TpeSyeMOH κοΗφΗΓγρερΗεή3OHbI HanbtneHHH, Πρπ HanbtneHHH Ha HenoflBHKHyro noflnotKKy 10 -κοηΦηγυρθαηπ soHbt HanbtneHHH cos -naflaeT c Φορμοη ποααο)κκη 10. Ecjih ace očpaSaTbiBatoTCH flBHwymHecH noflnojKKH 10, ·KOH0HTypaflHH 3OHbl HanbtneHHH BblČHpaeTCH C yH8T0M TpaeKŤOPHH HX flBHXeHHH.HanpHMep, πρΗ npHMonHHeňHOM nepeMemeHHH ποαποχθκ 10 κοΗΒεήεροΜ ηπη 6apa6á-HOM 30Ha HanbtneHHH flOJBKHa ΗΜΘΤΒ npHMOyronbHyw ΚΟΗφΗΓγρβΙΤΗΚ), npH BpaméHHHKapycenbto - KoHijjHrypanwo b βηηθ nacTH Konbfla. Πρηηθμ flnn noBbtmeHHH paBHo-M8PHOCTH . TOJimHHbl HanbOTHeMOH ΠΗθΗΚΗ ΚΟΗφΗΓνρείίΗΗ 3OHM HanbtneHHH MO7K8T 6btTbflononHHTenbHo οτκορρθκτηροβηηη} co ctopoh Bxona.H Bbixofla ποηποχεκ 10 εεrpaHHuaM ΑοποηΗΗτεπΒΗο npHflaeTCH BorayTaH φορΜβ, hto KOMneHcnpyeT HecKonbr- \ko noBbímeHHyio HHTeHCHBHocTb noTOKa b ηεΗτρε 3οηη HanbtneHHH. Πο oKOHHaHHH AHKJia. HanbinBHHH μθηηιοτ nofljiojKKy 10, b THrenb 1 florpyxaioT .HanbiJiHeMbiň MaTepnan 2, a BCTaBxy 5-nepeBopaHHBaioT h υοτηηηβπηβηιοτ BepxHeň,HacTbio 6, Ha kotopoh oceň MaTepnan, bhh3.'3tot MaTepnan Hcnonb3yeTcn b cne-JflyromeM iíhkjib HanbtneHHH Tax »e, xax n MaTepHana 2 H3 τηγπη 1.

ΦσΡΜΥΠΑ H3OBPETEHHH

YcTpoňcTBo &amp;ΠΗ HanbuiaHHH ππεΗοκ b BaxyyMa, conapjKamac τηγθπβ απη Hanw-naaMoro waTepnana c HarpeBaTeneM, cpeflCTBo Φορμηροβηηηη HanpaBneHHoro no-TOKa napa b βηαθ rpySonpoBofla c nonepe^Hoň nnocxocTbw ΟΗΜΜετρηκ, κοΗειχ κο-’ τοροΓο ycTaHOBnaH β ΤΗΓηε, ΑΗεφρεη·^ c oTBepcTHeM, pacnonojKCHHyio β nnoc- 'kocth εΗΜΜετρΗΗ τργSonpoBoflá, η rioflnoacKOAepxaTenb, oTmmaKHnaacji τβμ, ; s ητο, c nanbK) chhjkbhhh pacxofla HcnapnaMoro MaTapnana 3a choť ο^κθη'ηη 3ohmcnafla hht8hchbhocth napoBoro noTOKa, χοκίφΐ TpySonpoBona BbmonHaHbí προφη-poBaHHbíMH,. προπεΜ ηρσφΗΠΒ o6pa3osaH . περεοεπεΗΗεΜ nosepxHocTH Tpy6onpoBoflac'nosapxHocTbra, o6pa3OBaHHoň jihhhbh, npoxoflHmeň Hape3 reoMeTpimeČKyio ocbTpy6onpoBOfla, περΗΜετρ οτβθροτηη AHaiJtparMbi h HapyjKHbiň κοΗτγρ noflnojKKOflep-jtcaTanH,

Hctohhhkh ηηΦορμβαηη: SU, A, 397567, SU, A, 1100952.

P Ε Φ Ε P A T YCTPOÉCTBO ÍUIK HAIIÍ.IJ1EHHJI iuiehok b bakyyme Η3θ6ρετεΗΗε KacaeTCH HaHpceHHH ποκρΜΤΗ&amp; β ΒρκγγΜβ η Μθ)κβτ 6biTb HCnonb3O-BaHO.WlH HanbtneHHH flOPOroCTOHIHHX MaTapHanOB flHH 3ΠβΚΤρθΗΗθή ΤΘΧΗΗΚΗ. IfenbΗ3ο6ρετεΗΗΗ - CHHxeHHe pacxofla HanbinneMoro MaTepnana. ΓρηΦητοβθη βοτθβκη 5ycTaHoBJíaHa β τηγπθ 1 n BbinonHeHa H3 flByx nacTeň 6 h 7. Mexny nacTHMH 6 263499’ ” · 3 Η 7 ycTSHOBTieHa nHa4>parMa 8 c oTBepcmeM 9 λπη npoxo»neHHB ποτοκβ napa. Βω-,ΠΟΠΗβΗΗβ ΚΟΗΙΧΟΒ BCTďBKH 5 ΠρσφΚΠΗρσΒ3ΗΗ6ΙΜΗ, cbopMa ΠροφΒΠΒ ΚΟΤΟΡΟΓΟ onpefleJIB-jeTCH nepeceneHHeM uttnmmpHnecKoň noBepxHocTbio Tpy6onpoBofla c noBepxHocTbjo,o6pa3OBaHHoň nHHHeft 12, npoxofljnneň nepea Hapyaatbiň xoHTyp aoHbí HanbineHHH(noanoxKH 10), πβρΗΜβτρ oTBepcTHn 9 ΛΗβφρβΓΜΜ 8 h reoMeTpHqecxyro ocb 13TpyConpoBofla 5, cyxaeT 3OHy cnafla ηητθηοηβηοοτη napoBoro noToxa.

ConpoBOMAalomHA ηβρτβχ. npttsHaHo H3o6peTeHHeM no peaynbTaTaM 3xcnepTH3bi, ocymecTBJíeHHoň rocynapcT-BeHHbíM ΚοΜΗΤβτοΜ. CCCP no flenaM H3o6peTeHHň h οτκρμτηΛ, 1 nepře» 263499.

Claims (1)

1. PŘEDMĚT VYNÁLEZU Zařízení pro nanášení povlaků ve vakuu, obsahující ±·· kelímek na nanášený materiál s ohřívačem, tvarovací prost-ředek směřovaného proudu páry ve tvaru potrubí b příčnourovinou symetrie, jehož koněo je uložen v kelímku, membránus otvorem umístěnou v rovině symetrie potrubí, a držák pod-ložky, vyznačujíoí se tím, že s cílem snížení spotřeby na-nášeného materiálu vlivem zúžení zóny poklesu intenzitypárového proudu, jsou konce potrubí provedeny jako profilo-vané, přičemž profil je tvořen průsečíkem povrchu potrubís povrchem, vytvářeným čarou procházející geometrickou osoupotrubí, obvodem otvoru v membráně, a vnějším obvodem držá-ku podložky· 263499