DD237951A3 - Vorrichtung zum reinigen halogenhaltiger schadstoffe - Google Patents

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Dorethea Berg
Reinhard Fendler
Reinhard Voigt
Ulf Weber
Juergen Helbig
Klaus-Juergen Lehmann
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Mikroelektronik Zt Forsch Tech
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    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
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    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
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    • B01D53/68—Halogens or halogen compounds

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