DD221872A1 - Verfahren zum praezisionsabgleich fuer homogene flaechendaempfungsglieder - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Praezisionsabgleich fuer homogene Flaechendaempfungsglieder, das von Grundstrukturen ausgehend die Trimmung auf Wellenwiderstand und/oder Daempfung mit hoher Genauigkeit ermoeglicht und fuer die Anwendung von AC bis DC 2 GHz geeignet ist, bei dem mittels geeigneter Abtragsmethoden, wie z. B. Laserabdampfung ein Abgleich mit dem Kriterium Z (ist) Z (soll) erfolgt, bei dem der abgleichende z. B. Laserstrahl von der Mittenzone und von den Eckzonen eines homogenen Flaechenwiderstandes wechselseitig bis zum Erreichen der Sollwerte gefuehrt wird. Die Flaechendaempfungsglieder werden vorzugsweise in der HF-Messtechnik verwendet.

Description

Verfahren zum Präzisionsabgleich für homogene Flächendämpfungsglieder . , '

Anwendungsgebiet der Erfindung

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Präzisionsabgleich für homogene Flächendämpfungsglieder, das von Grundstrukturen ausgehend die Trimmung auf Wellenwiderstand und/oder Dämpfung mit hoher Genauigkeit ermöglicht und für"die Anwendung von DC bis 2 GHz geeignet ist.

Die Flächendämpfungsglieder werden vorzugsweise in der HF-Meßtechnik verwendet· ' / ' 's -. '''- '.-

Charakteristik der bekannten technischen Lösungen

Bs sind Abgleichverfahren bekannt, die in der Mehrzahl nur den Widerstandsabgleich durch Kamm- bzw. Linienstrukturen oder Schlitze in der Widerstandsschicht beinhalten· Ein bekanntes Abgleichverfahren läßt die Trimmimg für Widerstand und Dämpfung durch diesen Größen zugeordnete Trimmbereiche nur für größere Dämpfungswerte bei nicht zu starker gegenseitiger Beeinflussung zu. Ein weiteres Verfahren trimmt Widerstand und Dämpfung durch Ausbrennen von Löchern unterschiedlicher Form und Große in Gitterstruktur, wobei kleine Dämpfungswerte nicht realisiert und gesonderte Maßnahmen zur Jäliminierung von Frequenzgängen notwendig sind· Alle bekannten Verfahren besitzen die Nachteile, daß ein Präzisionsabgleich für kleine Dämpfungswerte mit nur geringen Abmessungen der Widerstandsschicht nicht möglich ist, daß unter Wahrung der Symmetrieeigenschaften sehr hohe Genauigkeiten der Dämpfung (Δ a £ 10 mB) und der Ein- und Ausgangawider stände (Δ Z » 1 %) nicht garantiert werden können, daß eine

den jeweiligen Erfordernissen angepaßte Abtragsgeometrie nicht definiert ist und somit eine rationelle Fertigung mit reproduzierbarer Qualität niciit realisierbar igte Zudem werden Fertigungatoleranzen und Kriterien zur Vermeidung von Ausschuß noch ungenügend berücksichtigt·

Ziel der Erfindung

Ziei der Erfindung ist es, die Hachteile des Standes der Technik zu beseitigen und ein Abgleichverfahren zu schaffen, bei dem eine hohe Genauigkeit bei z. B· Dämpfungsgliedern für die HF- Meßtechnik, erreicht wird· ^:

Darlegung des Wesens der Erfindung

Erfindungsgeraäß wird ein Verfahren zum Präzisionsabgleich für homogene Flächendärapfungsglieder, das von Grundstrukturen ausgehend die Trimmung auf Wellenwiderstand und/oder Jöämpfung mit hoher Genauigkeit ermöglicht und für die Anwendung von DC bis 2 GHz geeignet ist, bei dem mittels geeigneter Abtragsmethoden, wie 2» B. Laserabdampfung ein Abgleich mit dem Kriterium Z (ist) % Z (soll) erfolgt,vorgeschlagen, bei dem der abgleichende z» .B· Laserstrahl von der Mittenzone und von den Eckzonen eines homogenen Flächenwiderstandes wechselseitig bis zum Erreichen der Sollwerte geführt wird·

Ausführungabeispiel

Auf dem Flächenwiderstand 1, der sich auf dem Keramiksubstrat befindet und mit den Innenleitern 3 und den Außenleitern 4 ver-v bunden ist, befinden sich die Abtragszonen 5 und 6. Dabei sind Lage, Größe und Form der Abtragsmittenzone 5 und der Abtragseckzonen 6 durch Vergleich der Meßwerte für Widerstand und Dämpfung links- und rechtsseitig mit den Sollwerten sowie nach Bestimmung der Bezugakoordinaten gegeben·

Claims (1)

1. Erfindungsanspruch , '

   Verfahren zum Präzisionsabgleich für homogene Flächendämpfungs· glieder, daa von Grundstrukturen ausgehend die Trimmung auf Wellenwiderstand und/oder Dämpfung mit hoher Genauigkeit ermöglicht und für die Anwendung von DC bis 2 GHz geeignet ist, bei dem mittels geeigneter Abtragsmethoden wie z. B. Laserabdampfung ein Abgleich mit dem Kriterium Zj + » ^«oll ^ΘΓ^°1β*ι gekennzeichnet dadurch, daß der abgleichende z· B· Laserstrahl von der Mittenzone und von den Eckzonen eines homogenen Flächenwiderstandes wechselseitig bis zum Erreichen der Sollwerte geführt wird·

   1 SeHo