DD207323A3

DD207323A3 - Schaltungsanordnung zur elimination von fremdlichteinwirkungen bei halbleiter - abbildungseinrichtungen

Info

Publication number: DD207323A3
Application number: DD82238193A
Authority: DD
Inventors: Guenter Gittler; Eberhard Schmidt; Gunter Lueth; Otto Juenemann
Original assignee: Guenter Gittler; Eberhard Schmidt; Gunter Lueth; Otto Juenemann
Priority date: 1982-03-15
Filing date: 1982-03-15
Publication date: 1984-02-22
Also published as: DE3308990A1

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Schaltungsanordnung zur Elimination von Fremdlichteinwirkungen bei Halbleiter-Abbildungseinrichtungen der 2.Generation. Sie findet Anwendung in der Mess-, Handhabe- und Robotertechnik und hier insbesondere bei elektrooptischen Messsystemen, die einen Ausschluss von Fremdlichteinwirkungen erfordern. Ziel der Erfindung ist die Schaffung einer elektrooptischen Messeinrichtung mit einem Laser als Sender und einer fotoempfindlichen hochaufloesender Halbleiter-Abbildungseinrichtung als Empfaenger, die bei starken Fremdlichteinwirkungen mit geringem Aufwand eine zuverlaessige Signalerkennung ermoeglicht. Es ist die Aufgabe zu loesen, Moeglichkeiten fuer die Verarbeitung des optoelektronischen Empfangssignals zu finden. Das erfolgt, indem eine neue Schaltungsanordnung zur Ansteuerung der Halbleiter-Abbildungseinrichtung der 2.Generation eingesetzt wird. Mit dieser Schaltungsanordnung kann ein bisher nicht vorgesehener und unbekannter Effekt innerhalb der Halbleiter-Abbildungseinrichtung genutzt werden. Die Fremdlichtunterdrueckung erfolgt ohne Mehraufwand, besitzt eine hohe Zuverlaessigkeit und ist gekennzeichnet durch einen geringen Energieverbrauch.

Description

Titel der Erfindung

Schaltungsanordnung zur Elimination von Fremdlichteinwirkungen bei Halbleiter-Abbildungseinrichtungen

Anwendungsgebiet der Erfindung

Die Erfindung betrifft eine Schaltungsanordnung zur Elimination einer starken Fremdlichteinwirkung bei fotoempfindlichen hochauflösenden sequentiell auslesbaren Halbleiter-Abbildungseinrichtungen der 2. Generation.

Sie findet Anwendung in der Meß-, Handhabe- und Robotertechnik und hier insbesondere bei elektrooptischen Meßsystemen, die einen Ausschluß von Fremdlichteinwirkungen erfordern.

Charakteristik der bekannten technischen Lösungen Ein.eiektrooptisches Meß- oder Erkennungssystem kann im weitesten Sinne aus einer Strahlungsquelle als Sender, einem optischen Kanal und einem fotoempfind.lichen Sensor als Empfänger bestehen. Die Trendentwicklung sieht einen Einsatz von hochauflösenden Halbleiter-Abbildungseinrichtungen als Empfänger vor. Solche bekannten Halbleiter-Abbildungseinrichtungen liefern eine Information über die relative Intensität der auf einen gegebenen Fotoplatz auftreffenden Strahlung im Vergleich zu anderen Fotoplatzen. Erfolgt nun die Übertragung eines optischen Informationssignals unter Beeinflussung eines Fremdlichtpegels, so kommt es zu einer überlagerung des Nutzsignals und des störenden Freradlichtpegels. Dies erschwert

3893

-2M19S2*0i3i

oder verhindert die Auswertung der am Ausgang der Halbleiter-Abbildungseinrichtung vorliegenden Information. Durch eine Erhöhung der Sendeleistung und. oder durch die Abschirmung des optischen Kanals vor Fremdlichtque.llen kann unter Einschränkungen und mit hohem .Aufwand eine, Halbleiter-Abbildungseinrichtung zur Anwendung kommen. Eine andere Möglichkeit der Fremdlichtunterdrückung wird in der Erfindungsbeschreibung DE 25 57 863 dargestellt. Dabei wird der Fremdlichtanteil als Gleichanteil bzw. Wechselanteil mit niedrigen Frequenzkomponenten angenommen. Es wird vorgeschlagen, das .-zu übertragende optische Signal mit einer hohen Frequenz zu modulieren. Das Ausgangssignal der Empfangseinheit wird einem Demodulator über Filter zugeführt, wo eine Diskrimination hinsieht—— lieh der Signale des Umgebungsrauschens von sehr viel niedrigeren Frequenzen als die Modulationsfrequenz erfolgt. Diese Lösung basiert auf der Verwendung eines modulierten Senders und setzt voraus, daß der vorhandene Fremdlichtanteil betreffs seiner Frequenzkomponenten bekannt sein muß. Weiterhin ist der Empfang der nötwendigen hohen Madulationsfrequenz beim derzeitigen Stand der Technik an Einzelempfänger gebunden. Der Einsatz von hochauflösenden Halbleiter-Abbildungseinrichtungen macht eine solche Medulationserkennung unmöglich, in der Erfindungsbeschreibung DE 27 02 452 wird vorgeschlagen, ein paralleles Strahlenbündel mit einem bestimmten Querschnitt auf einen Bereich des zu untersuchenden Objektes zu· richten. Das .vom Objekt reflektierte Licht wird durch eine Aufnahmeeinrichtung empfangen und anschließend ausgewertet. Dabei wird die Lichtintensität der vom Objekt reflektierten Fremdbeleuchtung kleiner der vom parallelen Strahlenbündel angenommen. Befindet sich aber eine Fremdlichtquelle im Lichtaufnahmewinkel des Empfängersystems, so wird das Erkennungsprinzip gestört.

Außerdem ist die für viele Meßprinzipen geforderte Verwendung von divergentem Licht bei der vorliegenden Erkennungseinrichtung unmöglich.

3398

Die Erfindungsbeschreibung DE 29 48 510 beinhaltet eine Anordnung zur Qualitätskontrolle. Unter Verwendung einer Halbieiter-Äbbildungseinrichtung wird ein Meßsignal gewonnen, das aus dem Informationssignal und einem Grundsignal besteht. Durch ständige Messung des Grundsignals und deren Speicherung wird durch digitale Subtraktion des Grundsignals vom Meßsignal das Meßergebnis gebildet. Es zeigt sich aber, daß solch eine Digitalisierung und anschließende Subtraktion sehr aufwendig ist.

Ziel der Erfindung . "

Für eine elektrooptisch^ Meßeinrichtung mit einem Laser als Sender und einer fotoempfindlichen hochauflösenden Halbleiter-Abbildungseinrichtung als Empfänger soll bei starken Fremdlichteinwirkungen mit geringem Aufwand eine zuverlässige Signalerkennung ermöglicht werden.

Darstellung des Wesens der Erfindung

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, Möglichkeiten für die Verarbeitung des optoelektronischen Empfangssignals zu finden.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß bei einer Schaltungsanordnung zur Elimination von Fremdlichteinwirkungen mit einer strahlungsempfindlichen sequentiell auslesbaren Halbleiter-Abbildungseinrichtung als Empfänger und einem Laserempfangssignals, bei der die. Halbleiter-Abbildungseinrichtung aus einer strahlungsempfindlichen Fotodiodenstruktur, einem, durch eine Transferelektrode ansteuerbaren Übertragungsbereich und einer nachfolgenden durch eine Transportelektroda ansteuerbaren CCD-Schieberegisterstruktur besteht und bei der zwischen der Fotodiodenstruktur und dem Übertragungsbereich eine durch eine Photogateelektrode beeinflußbare Raumladungszone angeordnet ist, wobei der Transportelektrode ein Transport-Signalgeber zur Ansteuerung zugeordnet ist, dadurch gelöst, daß von der ,Transferelektrode eine elektrische. Verbindung zu einer Transferkanalgleichspannungsquelle vorhanden ist und daß der Photogateelektrode ein Steuersignalgeber zugeordnet ist, wobei einer der Signalgeber eine

5898

Synchronisationsstufe zum Herstellen des Aufnahmezustandes der CCD-Schieberegisterstruktur für Ladungspakete spätestens zum Zeitpunkt der Rückflanke des Steuersignals aufweist und eine elektrische Verbindung von der Synchronisationsstufe zum jeweils anderen Signalgeber besteht.

Die Synchronisationsstufe kann dem Steuersignalgeber zugeordnet sein. Als Ausblendschaltung ausgebildet, ist die Synchronisationsstufe dann zwischen dem Ausgang des Transportsignalgebers und dem Eingang des Steuersignalgebers

IQ zur Ausblendung eines ausgewählten Taktes aus dem Transportsignalgeber und Übergabe an den Steuersignalgeber angeordnet.

Eine weitere Möglichkeit besteht, die Synchronisationsstufe dem Transportsignalgeber zuzuordnen. Die Synchronisationsstufe ist als gesteuerter Umschalter mit zwei Eingängen, einem Steuereingang und einem Ausgang ausgebildet. Der eine Eingang des Umschalters steht mit dem Ausgang des Transportsignalgebers, der andere Eingang steht mit einer Gleichspannungsquelle und der Ausgang des Umschalters steht mit der Transportelektrode in elektrischer Verbindung. Der Steuereingang des Umschalters weist eine elektrische Verbindung zum Steuersignalgeber auf, wobei beim Anliegen eines Signals eine Umschaltung auf die Gleichspannungsquelle erfolgt . Dabei kann der Steuereingang des Umschalters mit dem Ausgang des Steuersignalgebers in elektrischer Verbindung stehen. Besteht der Steuersignalgeber nacheinander angeordnet aus einem Steuerimpulsgenerator, einer Halteschaltung und einem Impulsformer, so ist vom Steuereingang des Umschalters zum Ausgang der Halteschaltung eine elektrische Verbindung vorhanden. Eine weitere Ausgestaltung der Erfindung liegt vor, wenn zwischen der Halteschaltung und dem Impulsformer ein Impulszähler angeordnet ist. Der .Steuereingang des Impulszählers weist eine elektrische Verbindung zum Ausgang der Halteschaltung auf und der Takteingäng steht mit einem Taktge- - ber in Verbindung. Eine elektrische Verbindung des Takteinganges mit dem Transportsignalgeber bringt sine wesentliche Materialeinsparung.

3898

Bei allan Ausführungsmöglichkeiten ist es zweckmäßig, zwischen dem Stauersignalgeber und der Photogateelektrode einen Steuersignalpegelwandler und zwischen dem Transportsignalgeber und der Trsnsportelektrode einen Transport signalpegelwandler anzuordnen. Weiterhin kann die Transferkanalgleichspannungsquells als variable Gleichspannungsquelle ausgebildet werden.

Der Vorteil der Erfindung besteht darin, daß durch die erfindungsgemäßo Schaltungsanordnung für eine Haibleiter-Abbildungseinrichtung auch bei starken Fremdlichteinwirkungen eine zuverlässige Signalerkennung ermöglicht wird. Die Fremdlichtunterdrückung erfolgt ohne Mehraufwand an schaltungstechnischen bzw. optischen Anordnungen. Damit wird ein geringer Material-, Platz- und Kostenaufwand . garantiert. Die Lösung ist charakterisiert durch eine hohe Zuverlässigkeit, einen geringen Energieverbrauch und eine sehr schnelle Bereitstellung des Informationssignals. Weiterhin zeigt sich, daß eine Eischränkung bezüglich des optischen Meßprinzips nicht vorliegt.

Ausführungsbeispiel

Die Erfindung soll nachstehend an drei Ausführungsbeispielen näher erläutert werden

Die zugehörigen Zeichnungen zeigen

Fig. l die Vertikalstruktur einer Halbleiter-Abbildungseinrichtung der 2..Generation Fig. 2 Blockschaltbild der Schaltungsanordnung zum

ersten Ausführungsbeispiel

Fig. 3 Impuls-Zeit-Diagramm zum ersten Ausführungsbeispiel

Fig. 4 Blockschaltbild der Schaltungsanordnung zum

zweiten Ausführungsbeispi.el

Fig. 5 Impuls-Zeit-Diagramm zum zweiten Ausführungsbeispiel

3s Fig. 6 Blockschaltbild der Schaltungsanordnung zum

dritten Ausführungsbeispiel

Fig. 7 Impuls-Zeit-Diagramm zum dritten Ausführungsbeispiel

Die in den drei Ausführungsbeispielen verwendete strahlungsempfindliche sequentiell auslesbaren Halbleiter-Abbildungseinrichtung der 2. Generation 1 wird in der Fig. 1 in Vertikalstruktur dargestellt. Die Halbleiter-Abbildungseinrichtung 1 besteht somit aus einer Fotodiodenstruktur I, einem durch eine Transferelektrode ansteuerbaren Übertragungsbereich II und einer nachfolgenden durch eine Transportelektrode ansteuerbaren CCD-Schieberegisterstruktur III. Zwischen der Fotodiodenstruktur I und dem Übertragungsbereich II ist eine durch eine Photogateelektrode beeinflußbare Raumladungszone IV angeordnet. Zur Elimination von Fremdlichteinflüssen besitzt diese Halbleiter-Abbildungseinrichtung 1 in allen Ausführungsbeispielen folgenden Grundaufbau der Schaltungsanordnung.

Zur Ansteuerung der Transportelektrode dient ein Transportsignalgeber 3 und zur Ansteurung der Transferelektrode ist eine Transferkana.lgleichspannungsquelle 2 vorgesehen. Dabei ist es günstig, die Transferkanalgleichspannungsquelle 2 zur Festlegung der notwendigen Breite des Transferkanals als eine variable Gleichspannungsquelle auszubilden.

Weiterhin ist die Photogateelektrode mit einem Steuersignalgeber 4 verbunden. Unreine Anpassung an die verwendete CCD-Technologie zu garantieren, erweist sich die Anordnung eines Transportsignalpegelwandlers 5 zwischen der Transportelektrode und dem Transportsignälgeber 3 und die Anordnung eines Steuersignalpegeiwandlers 6 zwischen der Photogateelektrode und dem Steuersignalgeber 4 als vorteilhaft. Zur Herstellung des Aufnahmezustandes der CCD-Schieberegisterstruktur III für Ladungspakete spätestens zum Zeitpunkt der Rückflanke des Steuersignals an der Photogateelektrode ist einem der Signalgeber eine Synchronisationsstufe zugeordnet, wobei von der Synchronisationsstufe zum jeweils anderen Signalgeber eine elekirische Verbindung steht.

3898

\! Λ Π U: i

Im ersten Ausführungsbaispiel, dargestellt in Fig. 2, stellt die Synchronisationsstufe eine Ausblendschaltung 7, die dem Steuersignalgeber 4 zugeordnet ist, dar. Die Ausblendschaltung 7 ist zwischen dem Ausgang.des Transport-Signalgebers 3 und dem Eingang des Steuersignalgebers 4 angeordnet. Mit dieser Schaltungsanordnung liegt eine neue Ansteuerungsmöglichkeit der Halbleiter-Abbildungseinrichtung 1 vor. Es kann somit ein nicht vorgesehener und unbekannter Effekt innerhalb der Halbieiter-Abbildungseinrichtung 1 genutzt werden.

Die auf die Fotodiodenstruktur I auftreffenden Laserempfangssignale h ·} wie auch das durch die Umgebung hervorgerufene Fremdlicht erzeugen in der Fotodiodenstruktur I Ladungsträger. Liegt an der Photogateelektrode nun ein High-Signal an, so werden die Ladungsträger durch die sich ausbildene Raumladungszone IV abgeschöpft. Entsprechend den Eigenschaften der verwendeten Strahlungsquelle zeigen die von dem Laserempfangssignal erzeugten Ladungsträger ein wesentlich höheres Energieniveau als die durch das Fremdlicht erzeugten Ladungsträger. Ein Transport der Ladungsträger in die CCD-Schieberegisterstruktur III ist aber nach den bisherigen Betriebsbedingungen nicht möglich, da an der Transferelektrode eine von der Transferkanalgleichspannungsquelle erzeugte Gleichspannung von OV anliegt. Untersuchungen an mehreren Sauelementen haben ergeben, daß der Übertragungsbereich II bei OV Eingangssignal an der Transferelektrode <f>y, technologisch bedingt nicht schließt und somit einen Transferkanal ausbildet. Liegt nun zum Zeitpunkt der Rückflanke des Eingangssignals der Photogateelektrode φ _pG ein High-Pegel als Eingangssignal der Transportelektrode φ-- vor, so entsteht eine entsprechende Saugspannung, die die durch das Laserempfangssignal erzeugten Ladungsträger aus der. Raumladungszone IV über den Transferkanal des übertragungsbereiches II in die CCD-Schieberegisterstruktur III zieht.

3898

Die vom Fremdiicht hervorgerufenen Ladungsträger mit geringerem Energieniveau dagegen werden in die Fotodiodenstruktur I zurückgedrängt. Das in Fig. 3 dargestellte Impuls-Zeit-Biagrämm der Eingangssignale der Transportes elektrode φ- bzw, der Photogateelektrode ^_pG verdeutlicht die notwendigen Bedingungen.

Diese Ansteuerbedingungen müssen durch die Schaltungsanordnung geschaffen werden. Der Transportsignalgeber 3 erzeugt ein Ausgangssignal f _T, dessen Taktperiode mit der Halbleiter-Abbildungseinrichtung 1 abgestimmt ist. Zu einem ausgewählten Zeitpunkt, z. B. die Bereitschaftsmeldung der Halbleiter-Abbildungseinrichtung zur Übernahme eines Ladungspaketes, wird durch die Ausblendschaltung ein Takt des Transportsignalgebers 3 an den Steuersignalgeber 4 übergeben. Dieser stellt ein Steuersignal mit einer beliebigen Impulsbreite bereit, dessen Rückflanke mit einem High-Pegel des Eingangssignals der Transportelektrode j>- übereinstimmen muß. Dabei kann mit der Wahl der Impulsbreite die Anzahl der übertragenen Ladungsträger in die CCD-Schieberegisterstruktur III bestimmt werden.

Im zweiten Ausführungsbeispiel, dargestellt in der Fig. 4, stellt die Synchronisationsstufe einen gesteuerten Umschalter 8, der dem Transportsignalgeber 3 zugeordnet ist, dar.

Der Umschalter 8 besitzt zwei Eingänge, einen Steuereingang und einen Ausgang.,Der eine Eingang des Umschalters ist mit dem Ausgang des Transport Signalgebers 3 elektrisch verbunden und der andere Eingang weist eine elektrische Verbindung zu einer Gleichspannungsquelle U_, die einen High-Pegel erzeugt, auf. Der Ausgang des. Umschalters 8 ist mit dem Eingang des Transportsignalpegelwandlers 5 gekoppelt. Vom Steuereingang des Umschalters 8 besteht eine elektrische Verbindung zum'Ausgang des Steuersignalgebers 4.. Beim Anliegen - eines Signals am Steuereingang erfolgt eine Umschaltung auf die Gleichspannungsquella U_ und beim Fehlen eines Signals wird eine Verbindung zum Transport Signalgeber 3 hergestellt.

3898

Hit der Bereitschaftmeldung der Halbleiter-Abbildungseinrichtung i wird durch den Steuersignalgeber 4 ein Steuerimpuls fp_G bereitgestellt. Damit liegt am Steuereingang des Umschalters S ein Signal an. Es folgt die Umschaltung auf die Gleichspannungsquelle U_. Das Auscangssignal des Umschalters fy und das Eingangssignal der Transportelektrode φ- besitzen somit einen High-Pegel. Erst mit Beendigung der Rückflanke wird dieser Hign-Pegsl beseitigt und der normale Transporttakt liegt wieder vor. In der

IQ r±g. 5 ist das dazugehörige Impuls-Zeit-Diagramm dargestellt. Somit sind durch die Schaltungsanordnung die Anschlußbedingungen für die Übertragung der vom Laserempfangssignal erzeugten Ladungsträger in die CCD-Schieberegisterstruktur III geschaffen worden.

Das dritte Ausführungsbeispiel, dargestellt in der Fig. 6, besitzt wie das zweite Ausführungsbeispiel als Synchronisationsstufe den Umschalter S. Der Steuersignalgeber 4 besteht aber hier nacheinander angeordnet aus einem Steusrimpulsgenerator 9, einer Halteschaltung 10 und einem Impulsformer 11. Zwischen der Halteschaltung 10 und dem Impulsformer 11 ist ein Impulszähler 12 angeordnet. Der Steuereingang des Umschalters 8 ist im Unterschied zum zweiten Ausführungsbeispiel mit dem Ausgang der Halteschaltung 10 verbunden. Weiterhin ist vom Ausgang der Haltsschaltung _ZUm Starteingang des Impulszählers 12 eine elektrische Verbindung vorhanden. Der Takteingang des Impulszählers 12 ist mit einem Taktgeber gekoppelt. Es erweist sich als vorteilhaft, wenn als Taktgeber der Transport Signalgeber 3 genutzt wird.

Mit der Bereitschaftsmeldung der Halbleiter-Abbildungseinrichtung 1 erzeugt der Steuerimpulsgenerator 9 einen einzelnen Takt. Dieser aktiviert die Halteschaltung 10 mit einer Haltezeit t_H und am Ausgang der Halteschaltung 10 liegt z. B. ein High-Pegel vor. Damit wird das Eingangssignal der Transportelektrode <f>_ auf ein High-Potential ' gehoben. Gleichzeitig erfolgt der Start des Impulszählers 12. Dieser zählt bis zu einem vorher festgelegten Zählerstand und gibt bei Erreichen des Zählerstandes

3398

eine Information an den Impulsformer 11 ab. Dieser Zählervorgang wird, so lange die Halteschaltung 10 aktiviert ist, ständig wiederholt. Der Impulsformer Ii erzeugt somit '/Jährend der Haltezeit t,, in einer durch den eingestellten Zählerstand bestimmten Periode das Eingangssignal der Photogateelektrode φρη> Die Fig. 7 gibt das Impuls-Zeit-Diagramm für das dritte Ausführungsbeispiel wieder. Mit dieser Schaltungsanordnung kann eine Akkumulation der von dem Laserempfangssignal erzeugten Ladungs- träger in der CCD-Schieberegisterstruktur III erreicht werden. Diese Möglichkeit findet besonders bei sehr starken Fremdlichteinwirkungen ihre Anwendung.

3S98

Claims

brfindungsanspruch

1. Schaltungsanordnung zur Elimination von Fremdlichteinwirkungen mit einer strahlungsempfindlichen sequentiell auslasbarsn Halbleiter-Abbildungseinrichtung als Empfänger und einem Laserempfangssignal, bei der die Halbleiter-Abbildungseinrichtung aus einer strahlungsempfindlichen Fotodiodenstruktur, einem durch eine Transferelektrode ansteuerbaren Übertragungsbereich und einer nachfolgenden durch eine Transportelektrode ansteuerbapen CCD-Schiebersgisterstruktur besteht und bei der zwischen der Fotodiodenstruktur und dem Übertragungsbereich eine durch eine Photogateelektrode beeinflußbare Raumladungszone angeordnet ist, wobei der Transportelektrode ein Transportsignalgeber zur Ansteuerung zugeordnet ist, gekennzeichnet dadurch, daß von der Transferelektrode eine elektrische Verbindung zu einer Transferkanalgleichspannungsquelle vorhanden ist und daß der Photogateelektrode ein Steuersignalgeber zugeordnet ist, wobei einer der Signalgeber eine Synchronisationsstufe zum Herstellen des Aufnahmezustandes der CCD-Schieberegisterstruktur für Ladungspakete spätestens zum Zeitpunkt der Rückflanke des Steuersignals aufweist und eine elektrische Verbindung von der Synchronisationsstufe zum jeweils anderen Signalgeber besteht.
2. Schaltungsanordnung nach Punkt 1, gekennzeichnet dadurch, daß die Synchronisationsstufe dem Steuersignalgeber zugeordnet ist, wobei die Synchronisationsstufs als Ausblendschaltung.ausgebildet ist und zwischen dem Ausgang des Transportsignalgebers und dem Eingang des Steuersignalgebers zur Ausblendung eines ausgewählten Taktes aus dem Transportsignalgeber und übergabe an den Steuersignalgeber angeordnet ist.
3. Schaltungsanordnung nach Punkt 1, gekennzeichnet dadurch, daß die"Synchronisationsstufe dem Transport Signalgeber zugeordnet ist und daß die Synchronisationsstufe als gesteuerter Umschalter mit zwei Eingängen, einem Steuereingang und einem Ausgang ausgebildet ist, wobei ein Eingang des Umschalters mit dem Ausgang des Transportsignalgebers, der andere Eingang mit einer

Gleichspannungsquells und der Ausgang des Umschalters mit der Transportelektrode in elektrischer Verbindung steht und der Steuereingang des Umschalters eins elektrische Verbindung zum Steuersignalgeber zur Umschaltung beim Anliegen eines Signals auf die Gleichspannungsquelle aufweist .
4. Schaltungsanordnung nach Punkt 3, gekennzeichnet dadurch, daß der Steuereingang des Umschalters mit dem Ausgang des Steuersignalgebers in elektrischer Verbindung steht.
5. Schaltungsanordnung nach Punkt 3, gekennzeichnet dadurch, daß der Steuersignalgeber nacheinander angeordnet aus einem Steuerimpulsgenerator, einer Halteschaltung und einem Impulsformer besteht und daß vom Steuereingang des Umschalters zum Ausgang der Halteschaltung eine elektrische Verbindung vorhanden ist.
6. Schaltungsanordnung nach Punkt 5, gekennzeichnet dadurch, daß zwischen der Halteschaltung und dem Impulsformer ein Impulszähler angeordnet ist, wobei der Steuereingang des Impulszählers eine elektrische Verbindung zum Ausgang der Halteschaltung aufweist und der Takteingang

mit einem Taktgeber in elektrischer Verbindung steht. 25
7. Schaltungsanordnung nach Punkt S, gekennzeichn-et da-, durch, daß der Takteingang mit dem Ausgang des Transportsignalgebers in elektrischer Verbindung steht.
8. Schaltungsanordnung nach Punkt 1 bis 7, gekennzeichnet dadurch, daß zwischen dem Steuersignalgeber und der Photogateelektrode ein Steuersignalpegelvvandler angeordnet ist.
9. Schaltungsanordnung nach Punkt 1 bis 3, gekennzeichnet dadurch, daß zwischen dem Transportsignalgeber und der Transportelektrode ein Transportsignalpegelwandler angeordnet ist. . .
10. Schaltungsanordnung nach Punkt 1 bis 9, gekennzeichnet dadurch, daß die Transferkanaigleichspannungsquelle als variable Gleichspannungsquelle ausgebildet ist. Hierzu 4 Blatt Zeichnungen