CS265069B1 - Způsob povrchové úpravy podložek pro nanášení tlustých vrstev pyrolytického uhlíku - Google Patents

Abstract

Způsob povrchové úpravy podložek je charakterizován tím, že podložka po vysoustružení, broušení a opracování jemnými leštícími papíry ae vyleští textilním kotoučem na maximální mikronerovnost povrchu, který se znovu pokryje „vrstvou pyrolytického uhlíku o tlouštce 1 až 5 -um. Povrch nanesené tlusté vrstvy ae opět leští textilním kotoučem až je dosaženo maximální nerovnosti 0,2 až 0,5 'tun.

Description

Vynález se týká způsobu úpravy povrchu podložek, které je třeba pokrýt uhlíkem o větší tloušťce.

Je známo, že pyrolytický uhlík se nanáší ve formě vrstvy vysokoteplotním rozkladem uhlovodíků na podložce - substrátu, ze které se po vychladnutí snímá samonosná vrstva tvaru podložky, která je nadále používána například jako polotovar pro výrobu mřížek vysílacích elektronek, žíhacích kelímků, žáruvzdorných ochranných prvků a podobně. Kvalita tlus tých vrstev pyrolytického uhlíku je mimo jiné závislá též na jakosti povrchu podložky.

Doposud se používaly podložky z kovů nebo elektrografitu, jejichž povrch byl vhodným způsobem nedefinovatelně upraven například broušením, leštěním, mechanicky nebo elektrolyticky. Z podložek vytvořených popsaným postupem se homogenní vrstva však špatně snímala, neboť se často zachytila na podložce. Docházelo tak k prasknutí nejen homogenní vrstvy, ale také k poškození samotné podložky tak, že ji nebylo možno dále používat. Výše uvedené nedostatky jsou odstraněny způsobem povrchové úpravy podložek podle vynálezu.

Předmětem vynálezu je způsob povrchové úpravy podložek pro nanášení tlustých vrstev pyrolytického uhlíku, vysoustružených, zbroušených a opracovaných jemnými leštícími papíry a leštěných textilním kotoučem na střední aritmetickou úchylku profilu 0,2 <& 0,5 pm, jehož podstatou je, že takto upravená podložka se pokryje vrstvou pyrolytického uhlíku, tlustou 1 5 /um, která se znovu leští na střední aritmetickou úchylku profilu 0,2 až 0,5 pm.

26b 069

Vyšší účinek způsobu povrchové úpravy podložek v porovnání s dosavadními známými postupy je spatřován v tom, že nedochází k zachycení vytvořené vrstvy a k následnému poškození jak vrstvy, tak případně podložky při snímání. Nanesená vrstva vykazuje vždy stejnou jakost a podložku lze použít vícenásobně.

Způsob povrchové úpravy podložek podle vynálezu bude následně blíže popsán v příkladném provedení, kdy podložka z elektrografitu se po vysoustružení, zbroušení a opracování jemnými leštícími papíry leští textilním kotoučem na maximální střední aritmetickou úchylku profilu 0,2 až 0,5/um.

Takto upravená podložka se ve vakuovém reaktoru odplyní v rozsahu teplot 1 900 «£ 2 100°C po dobu 20 až 60 minut ftóle velikosti podložky a posléze v rozsahu teplot 1 100 až 2 100°C pokryje vrstvou pyrolytického uhlíku tloušťky 1 až 5 /um.

Prvním leštěním se povrch podložky upraví tak, že obsahuje minimum otevřených pórů a nerovností. Pokryvem tenkou vrstvou pyrolytického uhlíku se povrch podložky zpevní a zbylé otevřené póry se případně zaplní. Dodatečným leštěním se povrch podložky opět naleští na požadovanou maximální střední aritmetickou úchylku profilu 0,2 až 0,5/u“¹*

Takto upravenou podložku je možno použít nejen k vytváření tlustých vrstev pyrolytického uhlíku, ale i pro výrobu tlustých vrstev jiných materiálů vytvářených metodou povlékání z plynné fáze, jako například nitridu boru a dalších.

Claims (1)

1. Způsob povrchové úpravy podložek pro nanášení tlustých vrstev pyrolytického uhlíku, vysoustružených, zbroušených a opracovaných jemnými leštícími papíry a leštěných textilním kotoučem na střední aritmetickou úchylku profilu 0,2« 0,5 ylim, vyznačený tím, že takto upravená podložka se pokryje vrstvou pyrolytického uhlíku tlustou 1 až 5 /um, která se znovu leští na střední aritmetickou úchylku profilu 0,2 až 0,5 λμ.