CS208619B1 - Způsob nanášení materiálu - Google Patents

Description

(54)

Způsob nanášení materiálu

Vynález se týká způsobu nanášení materiálu vakuovým napařovacím procesem z přímo žhavené lodičky.

Dosavadní způsob nanášení materiálu odpařováním materiálu ze žhavené lodičky, běžný u materiálů jež se snadno ve vakuu napařují, je značně obtížný u materiálů s vyšším bodem tání. V těchto případech je totiž nutno žhavit lodičku na vysokou teplotu, což klade zvláštní nároky na kvalitu lodičky, odvod nadměrného tepla, udržení vysokého vakua, potlačení tvorby oxidů, atd. Řešení těchto problémů je tak náročné, že sé u těchto materiálů (jako např. nikl) volí raději jiné cesty nanášení, např. naprašování ve výboji, něho nanášení použitím elektronového děla apod.. Tyto metody však vyžadují přiměřené úpravy napařovací aparatury a nová nákladná přídavná zařízení. Navíc, tyto metody působí rovněž různá omezení (v tlouštce a nerovnoměrnosti nanesené vrstvy apod.).

Výše uvedené nedostatky jsou podle vynálezu odstraněny v podstatě tím, že se k nanášení materiálu vakuovým napařovacím procesem použije lodičky, na níž je materiál chemicky, galvanicky, nebo sedimentací vyloučen ještě před vlastním napařovacím procesem, začínajícím žhavením lodičky. Materiál se vyloučí na celý povrch lodičky nebo jen na aktivní odpařovači části povrchu, a to tak, že vyloučená homogenní vrstvička materiálu tvoří s lodičkou kompaktní celek.

Tím, že materiál určený k odpařování tvoří s lodičkou kompaktní celek, je docíleno

208 619

208 819 velmi dobrého převodu tepla z lodičky na materiál. Materiál se navíc rychle a rovnoměrné zahřeje, protože je vytvořen v tenké rovnoměrné homogenní vrstvě. Touto cestou je možno napařovat i materiály, které lze jinak napařovat velmi nesnadno, a to při přijatelném žhavení lodičky, bez nebezpečí neúměrně vysokých gradientů tepla na styku lodička-materiál, způsobujících povrchovou oxidaci nebo jinou změnu materiálu. Tím lze podstatně rozšířit použitelnost napařovací technologie i na případy, které se jinak řeší použitím naprašovaoí technologie, použitím elektronového děla apod.. Zvláště výhodný je tento způsob nanášení pro kovové materiály, které tvoří s kovy,z niohž je zhotovena lodička, eutek tické slitiny a mají dostatečnou tensi par teprve při teplotách podstatně vyšších než odpovídá eutektiokému bodu, nebo i bodu tání uvažovaného nanášeného kovového materiálu. Dosavadní způsoby běžného napařování z lodičky vedou k rychlé destrukci lodičky, protože eutektická slitina může vzniknout s neomezeným množstvím kovu lodičky. Způsob podle vynálezu umožňuje nanášet homogenní vrstvy kovového materiálu v omezené tloušlce na povrch lodičky, a tím se může vytvořit pouze vrstva eutektika omezené tlouštky, která neohrožuje životnost lodičky. Proto je možno tímto způsobem dosáhnout vysoké ryohlosti napařování a vytváření kvalitních vrstev i při napařování např. niklových vrstev.

Na obr. 1 je znázorněn jeden příklad provedení lodičky s vyloučenou vrstvou materiálu 2 na aktivní části povrchu lodičky.

Na obr. 2 je lodička 1. (např. z wolframu) ve tvaru pásku, na němž je vrstva materiálu 2 (např. 5 /a. niklu) vyloučena na celém povrchu pásku.

Jako jeden z možných příkladů nanášení materiálu podle vynálezu lze uvést, případ., kde podle obr. 2 je lodička 1. z wolframu, materiálem 2 je nikl. Nikl se na povrch lodičky vyloučí chemicky a při žhavení lodičky se ve vakuu z lodičky odpařuje a nanáší na před met určený k pokovování.

Způsob nanášení materiálu podle vynálezu lze též s výhodou využít např. u některých materiálů, které při jinýoh způsobech nanášení podléhají chemickým zrněném. Výhodný je ten to způsob také tam, kde se kladou přísnější požadavky na rovnoměrnost nanesené vrstvy, ne bo se požaduje větší tlouštka vrstvy, větší rychlost naparování apod., oož lze poměrně obtížně docílit jinými metodami, jako např. katodickým naprašováním.

Claims (5)

1. PŘEDMĚT VYNÁLEZU

   1. Způsob nanášení materiálu vakuovým napařovacím procesem z přímo žhavené lodičky, vyznačený tím, že materiál určený k napařování se v homogenní vrstvě vyloučí na povrch lodičky, alespoň na její aktivní část, ještě před vlastním napařovacím procesem, začínajícím žhavením lodičky.
2. 2. Způsob nanášení materiálu podle bodu 1, vyznačený tím, že materiálem vyloučeným na povrchu lodičky je kov.
3. 3. Způsob nanášení materiálu podle bodu 1, vyznačený tím, že materiál je na lodičku vy3

   208 019 loučen galvanicky,
4. 4, Způsob nanášení materiálu podle bodu 1, vyznačený tím, že materiál je na lodičku vyloučen chemicky,
5. 5, Způsob nanášení materiálu podle bodu 1, vyznačený tím, že materiál je na lodičku vyloučen sedimentací ze suspenze a následně sintrován.