CS208619B1 - Method of coating the material - Google Patents
Method of coating the material Download PDFInfo
- Publication number
- CS208619B1 CS208619B1 CS853179A CS853179A CS208619B1 CS 208619 B1 CS208619 B1 CS 208619B1 CS 853179 A CS853179 A CS 853179A CS 853179 A CS853179 A CS 853179A CS 208619 B1 CS208619 B1 CS 208619B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- boat
- deposited
- layer
- metal
- vapor deposition
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
(54)(54)
Způsob nanášení materiáluMaterial application method
Vynález se týká způsobu nanášení materiálu vakuovým napařovacím procesem z přímo žhavené lodičky.The invention relates to a method of depositing material by a vacuum steaming process from a directly heated boat.
Dosavadní způsob nanášení materiálu odpařováním materiálu ze žhavené lodičky, běžný u materiálů jež se snadno ve vakuu napařují, je značně obtížný u materiálů s vyšším bodem tání. V těchto případech je totiž nutno žhavit lodičku na vysokou teplotu, což klade zvláštní nároky na kvalitu lodičky, odvod nadměrného tepla, udržení vysokého vakua, potlačení tvorby oxidů, atd. Řešení těchto problémů je tak náročné, že sé u těchto materiálů (jako např. nikl) volí raději jiné cesty nanášení, např. naprašování ve výboji, něho nanášení použitím elektronového děla apod.. Tyto metody však vyžadují přiměřené úpravy napařovací aparatury a nová nákladná přídavná zařízení. Navíc, tyto metody působí rovněž různá omezení (v tlouštce a nerovnoměrnosti nanesené vrstvy apod.).The prior art method of vapor deposition of a material from a heated boat, as is common with materials that readily evaporate under vacuum, is extremely difficult for materials with a higher melting point. In such cases, it is necessary to heat the boat to a high temperature, which places particular demands on the quality of the boat, removal of excessive heat, maintaining a high vacuum, suppressing the formation of oxides, etc. The solution to these problems is so difficult. they prefer other deposition routes, such as discharge sputtering, electron gun deposition, etc. However, these methods require adequate steam treatment and expensive new attachments. Moreover, these methods also impose various limitations (in the thickness and unevenness of the deposited layer, etc.).
Výše uvedené nedostatky jsou podle vynálezu odstraněny v podstatě tím, že se k nanášení materiálu vakuovým napařovacím procesem použije lodičky, na níž je materiál chemicky, galvanicky, nebo sedimentací vyloučen ještě před vlastním napařovacím procesem, začínajícím žhavením lodičky. Materiál se vyloučí na celý povrch lodičky nebo jen na aktivní odpařovači části povrchu, a to tak, že vyloučená homogenní vrstvička materiálu tvoří s lodičkou kompaktní celek.In accordance with the invention, the above-mentioned drawbacks are substantially eliminated by the use of a boil for deposition of the material by a vacuum vapor deposition process, in which the material is chemically, galvanically, or sedimented prior to the actual vapor deposition process. The material is deposited on the entire surface of the boat or only on the active evaporating portion of the surface, so that the formed homogeneous layer of material forms a compact unit with the boat.
Tím, že materiál určený k odpařování tvoří s lodičkou kompaktní celek, je docílenoThe fact that the material to be evaporated forms a compact unit with the boat is achieved
208 619208 619
208 819 velmi dobrého převodu tepla z lodičky na materiál. Materiál se navíc rychle a rovnoměrné zahřeje, protože je vytvořen v tenké rovnoměrné homogenní vrstvě. Touto cestou je možno napařovat i materiály, které lze jinak napařovat velmi nesnadno, a to při přijatelném žhavení lodičky, bez nebezpečí neúměrně vysokých gradientů tepla na styku lodička-materiál, způsobujících povrchovou oxidaci nebo jinou změnu materiálu. Tím lze podstatně rozšířit použitelnost napařovací technologie i na případy, které se jinak řeší použitím naprašovaoí technologie, použitím elektronového děla apod.. Zvláště výhodný je tento způsob nanášení pro kovové materiály, které tvoří s kovy,z niohž je zhotovena lodička, eutek tické slitiny a mají dostatečnou tensi par teprve při teplotách podstatně vyšších než odpovídá eutektiokému bodu, nebo i bodu tání uvažovaného nanášeného kovového materiálu. Dosavadní způsoby běžného napařování z lodičky vedou k rychlé destrukci lodičky, protože eutektická slitina může vzniknout s neomezeným množstvím kovu lodičky. Způsob podle vynálezu umožňuje nanášet homogenní vrstvy kovového materiálu v omezené tloušlce na povrch lodičky, a tím se může vytvořit pouze vrstva eutektika omezené tlouštky, která neohrožuje životnost lodičky. Proto je možno tímto způsobem dosáhnout vysoké ryohlosti napařování a vytváření kvalitních vrstev i při napařování např. niklových vrstev.208 819 very good heat transfer from the boat to the material. In addition, the material heats up quickly and evenly because it is formed in a thin uniform homogeneous layer. In this way, it is also possible to steam materials that are otherwise difficult to steam, with acceptable heat of the boat, without the risk of excessive heat gradients at the boat-material contact causing surface oxidation or other material change. This can greatly extend the applicability of the vapor deposition technology to cases that are otherwise solved by the use of sputtering technology, the use of an electron gun, etc. This particular application method is particularly advantageous for metal materials that form with the metal of which the boat is made, they have a sufficient vapor pressure only at temperatures substantially higher than the eutectic point or even the melting point of the metal material to be considered. The prior art methods of conventional vapor deposition lead to rapid destruction of the boat, since the eutectic alloy can be formed with an unlimited amount of boat metal. The method according to the invention makes it possible to apply homogeneous layers of metal material in limited thickness on the surface of the boat, and thus only a layer of eutectic of limited thickness can be formed which does not compromise the life of the boat. Therefore, it is possible in this way to achieve a high boiling rate and the formation of high-quality layers even when steaming e.g. nickel layers.
Na obr. 1 je znázorněn jeden příklad provedení lodičky s vyloučenou vrstvou materiálu 2 na aktivní části povrchu lodičky.FIG. 1 shows one exemplary embodiment of a boat with an excluded layer of material 2 on the active portion of the boat surface.
Na obr. 2 je lodička 1. (např. z wolframu) ve tvaru pásku, na němž je vrstva materiálu 2 (např. 5 /a. niklu) vyloučena na celém povrchu pásku.In Fig. 2, a boat 1 (eg of tungsten) is in the form of a strip on which a layer of material 2 (eg 5 / a. Nickel) is deposited over the entire surface of the strip.
Jako jeden z možných příkladů nanášení materiálu podle vynálezu lze uvést, případ., kde podle obr. 2 je lodička 1. z wolframu, materiálem 2 je nikl. Nikl se na povrch lodičky vyloučí chemicky a při žhavení lodičky se ve vakuu z lodičky odpařuje a nanáší na před met určený k pokovování.As one possible example of the deposition of the material according to the invention, the case where, according to Fig. 2, the tungsten boat 1, the material 2 is nickel. Nickel is deposited chemically on the surface of the boat and, when the boat is heated, it evaporates from the boat under vacuum and is applied to the object to be metallized.
Způsob nanášení materiálu podle vynálezu lze též s výhodou využít např. u některých materiálů, které při jinýoh způsobech nanášení podléhají chemickým zrněném. Výhodný je ten to způsob také tam, kde se kladou přísnější požadavky na rovnoměrnost nanesené vrstvy, ne bo se požaduje větší tlouštka vrstvy, větší rychlost naparování apod., oož lze poměrně obtížně docílit jinými metodami, jako např. katodickým naprašováním.The method of applying the material according to the invention can also be advantageously used, for example, in some materials which are subject to chemical granules in other application methods. The method is also advantageous where stricter requirements are placed on the uniformity of the applied layer, or a higher layer thickness, a higher vaporization rate and the like are required, which is relatively difficult to achieve by other methods, such as cathodic sputtering.
Claims (5)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CS853179A CS208619B1 (en) | 1979-12-07 | 1979-12-07 | Method of coating the material |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CS853179A CS208619B1 (en) | 1979-12-07 | 1979-12-07 | Method of coating the material |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CS208619B1 true CS208619B1 (en) | 1981-09-15 |
Family
ID=5435950
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CS853179A CS208619B1 (en) | 1979-12-07 | 1979-12-07 | Method of coating the material |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CS (1) | CS208619B1 (en) |
-
1979
- 1979-12-07 CS CS853179A patent/CS208619B1/en unknown
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2003160855A (en) | Thin-film forming apparatus | |
US2866724A (en) | Coated evaporating elements and method of utilizing same | |
US3063865A (en) | Process of treating a boron nitride crucible with molten aluminum | |
JP2004315898A (en) | Evaporation source in vapor deposition system | |
US6645572B2 (en) | Process for producing a ceramic evaporation boat having an improved initial wetting performance | |
CS208619B1 (en) | Method of coating the material | |
US5671322A (en) | Lateral flash evaporator | |
US3708325A (en) | Process for metal coating boron nitride objects | |
US3420978A (en) | Pretreatment method for antiwettable materials | |
US3430937A (en) | Evaporant holder | |
JP3355148B2 (en) | Ceramic evaporating boat with improved initial wetting performance and method of making the same | |
US2866725A (en) | Coated evaporating elements and method of utilizing same | |
JPH09143694A (en) | Method for heating crucible of vacuum deposition device | |
JPH0673543A (en) | Continuous vacuum vapor deposition device | |
JPS59203644A (en) | Crucible for evaporation source | |
DE3114467A1 (en) | Evaporator boat, and method for its manufacture | |
US2384576A (en) | Apparatus for forming corrosion resisting films | |
US3647524A (en) | Vapor phase metal plating process | |
US3529130A (en) | Coated configuration and method for prevention of vaporization splattering of thin film surfaces | |
KR20050060345A (en) | Patterned source and method for depositing thin film by using the same | |
JPH06948B2 (en) | Metal evaporation method | |
JPH0230754A (en) | Vacuum deposition method | |
JPS6267164A (en) | Vapor depositing apparatus | |
JPS59104472A (en) | Flash vapor deposition | |
US3761302A (en) | Reducing re evaporation of vacuum vapor deposited coatings |