CN2510229Y - 一种晶圆加工设备的机台基座 - Google Patents
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Abstract
本新型提供了一种晶圆加工设备的机台基座,该基座的外围钢框体内设置有内部骨架,内部骨架是由复数根钢筋相连接成的若干个框体组成,内部骨架又与外围钢框固连为一体,利用模具在外围钢框外周及内部灌注填充物,并使填充物、钢框、内部骨架形成一整体基座。由于在金属框架内部灌注填充物后使基座内部空间充满凝固的填充物,不仅使基座刚性、强度大为提高,而且,重量加大后更具稳定性,能够满足12寸乃至更大规格扫描设备的安装和使用要求。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种晶圆加工设备的机台基座，特别指12寸直径晶圆加工设备的机台之基座。
背景技术
目前所用的8寸直径晶圆加工设备机台的基座，全部由金属组构而成，但在实际使用发现，由于其呈中空非实体结构，其刚性及强度较差，使用时有微震动现象，影响了固定其上的晶圆加工设备工作的稳定性及加工产品的质量。对于较小型的8寸晶圆加工设备来说，其震动还在许可范围之内，但对于12寸晶圆加工设备的机台基座来说，其钢性、强度显然不够。
发明内容
本实用新型的目的就在于克服背景技术中存在的现有晶圆加工设备基座钢性、强度不够，导致上部设备工作不稳定并影响工作精度的缺陷和不足，而提供一种刚性强、稳定性好的晶圆加工设备基座，该基座的外围钢框体内设置有内部骨架，内部骨架是由复数根钢筋相连接成的若干个框体组成，内部骨架又与外围钢框固连为一体，利用模具在外围钢框内部灌注填充物，并使填充物、钢框、内部骨架形成一整体基座。由于在金属框架内部灌注填充物后使基座内部空间充满凝固的填充物，不仅使基座刚性、强度大为提高，而且，重量加大后更具稳定性，能够满足12寸乃至更大规格晶圆加工设备的安装和使用要求。
附图说明
图1为本实用新型的外形立体图
图2为本实用新型内部金属骨架结构分布图
具体实施方式：
本实用新型有金属构成的金属骨架，其特征在于：金属骨架是由外围的金属框体3和固定在金属框体3内部的内部金属骨架2构成一整式结构，内部金属骨架2是由复数根钢筋5相连构成，在金属框体3内部利用模具灌注形成有填充体4，填充体4、金属框体3以及内部金属骨架2构成了一实芯的整体式基座1。参见图1至图2。
所述的填充物是水泥或混凝土，内部金属骨架2是由复数根钢筋焊连或绕接成的、一组以上的矩形或三角形或圆形镂空内部金属骨架。参见图1、图2。
所述的填充物是水泥或是混凝土，内部金属骨架2是由复数根钢筋焊连成或绑接的网格状镂空内部金属骨架。
内部骨架2成型方法一般由若干根一定粗度的竹节钢筋以节点相连方式构成一体连续性，然后再以节点方式与外围钢框连接为一体，再将其整体放置一与其配合使用的外部定形模具中，通过向模具中灌注填充物使内部金属骨架凝固在填充物中，而外围钢框包复结合在其外围。
本实用新型采用水泥或混凝土作为填充物灌注定型后，经电脑模拟试验，其刚性，稳定性大为增强，并完全符合12寸晶圆加工设备的机台基座的稳定性能的要求。
Claims (3)
1、一种晶圆加工设备的机台基座，有金属构成的金属骨架，其特征在于：金属骨架是由外围的金属框体和固定在金属框体内部的内部金属骨架构成一整式结构，内部金属骨架是由复数根钢筋相连构成，在金属框体的内部和外周是利用模具灌注形成的填充体，填充体、金属框体以及内部金属骨架构成了一实芯的整体式基座。
2、按照权利要求1所述的一种晶圆加工设备的机台基座，其特征在于：所述的填充物是水泥或混凝土，内部金属骨架是由复数根钢筋焊连或绕接成的，一组以上的矩形或三角形或圆形镂空骨架。
3、按照权利要求1所述的一种晶圆加工设备的机台基座，其特征在于：所述的填充物是水泥或是混凝土，内部金属骨架是由复数根钢筋焊连成或绑接的网格状镂空骨架体。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN 01270341 CN2510229Y (zh) | 2001-11-08 | 2001-11-08 | 一种晶圆加工设备的机台基座 |
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| CN 01270341 CN2510229Y (zh) | 2001-11-08 | 2001-11-08 | 一种晶圆加工设备的机台基座 |
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| CN2510229Y true CN2510229Y (zh) | 2002-09-11 |
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Family Applications (1)
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| CN 01270341 Expired - Fee Related CN2510229Y (zh) | 2001-11-08 | 2001-11-08 | 一种晶圆加工设备的机台基座 |
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| CN (1) | CN2510229Y (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103056671A (zh) * | 2012-12-21 | 2013-04-24 | 山东大学 | 一种高缓冲性能的机床床身结构及其制备方法 |
| CN104117982A (zh) * | 2014-07-10 | 2014-10-29 | 洛阳利维科技有限公司 | 一种用于大中型装备加工及装配的带t型槽复合平台 |
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2001
- 2001-11-08 CN CN 01270341 patent/CN2510229Y/zh not_active Expired - Fee Related
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| CN104117982B (zh) * | 2014-07-10 | 2017-05-03 | 洛阳利维科技有限公司 | 一种用于大中型装备加工及装配的带t型槽复合平台 |
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