CN2554797Y - 晶圆加工设备的机台基座结构 - Google Patents
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Abstract
一种晶圆加工设备的机台基座结构，主要包括由金属构成的金属骨架，其特征在于：金属骨架是由外围的金属框体和固定在金属框体内部的内部金属骨架构成一整式结构，内部金属骨架是由复数根钢筋相连而成，在金属框体的内部和外周利用模具及填充物灌注形成的填充体与金属框体及内部金属骨架构成一实心的整体式基座，该基座内部空间充满凝固的填充物，不但使基座刚性、强度大为提高，而且重量加大后，使基座更具稳定性。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆加工设备，尤指一种晶圆加工设备的机台基座，其为申请号第01270341.9号，“一种晶圆加工设备的机台基座”的专利案的后续第二申请案，第一申请案已于2001年11月8日提出了申请。
背景技术
目前所用的8英寸直径晶圆加工设备机台的基座，全部由金属组构而成，但在实际使用中发现，由于其中空而非实体的结构，其刚性及强度较差，使用时，稍有轻微振动现象，就会影响固定其上的晶圆加工设备工作的稳定性及加工产品的质量。对于较小型的8英寸晶圆加工设备来说，其振动还在许可范围之内，但加工产品的质量并非最好。
发明内容
本实用新型的目的，在于克服背景技术中存在的习有晶圆加工设备基座的刚性、强度不够，导致上部设备工作不稳定，并影响工作精度的缺陷和不足，而提供一种刚性强、稳定性好的晶圆加工设备基座，使12英寸以内直径的晶圆加工质量得以提高。
本实用新型的技术方案：一种晶圆加工设备的机台基座结构，主要包括由金属构成的金属骨架，其特征在于：金属骨架是由外围的金属框体和固定在金属框体内部的内部金属骨架构成一整式结构，内部金属骨架是由复数根钢筋相连而成，在金属框体的内部和外周利用模具及填充物灌注形成的填充体与金属框体及内部金属骨架构成一实心的整体式基座。
本实用新型还可通过以下方案实现：所述的填充物为水泥或混凝土，内部金属骨架是由复数根钢筋焊接或绕接成一组以上的矩形或三角形或圆形镂空骨架。
所述填充物为水泥或混凝土，内部金属骨架是由复数根钢筋焊接或捆扎成网格状镂空骨架体。
本实用新型由于在金属框架内部灌注填充物后，使基座内部空间充满凝固的填充物，不但使基座刚性、强度大为提高，而且，重量加大后更具稳定性。
附图说明
图1，为本实用新型的外观立体图。
图2，为本实用新型内部金属骨架结构分布图。
具体实施方式
参见图1、2，一种晶圆加工设备的机台基座结构，主要包括有金属构成的金属骨架，其金属骨架是由外围的金属框体3和固定在金属框体3内部的内部金属骨架2构成一整式结构，内部金属骨架2是由复数根钢筋5相固接而成，在金属框体3内部利用模具及填充物灌注形成有填充体4，填充体4、金属框体3以及内部金属骨架2构成一实心的整体式基座1。
所述的填充物为水泥或混凝土，内部金属骨架2是由复数根钢筋焊接或绕接成的、一组以上的矩形或三角形或圆形镂空内部金属骨架(参见图1、2)。
所述的填充物为水泥或混凝土，内部金属骨架2是由复数根钢筋焊接连成或绕接的网格状镂空内部金属骨架。
内部金属骨架2成型方法，一般由若干根一定粗度的竹节钢筋以节点相连方式构成连续性的一整体，然后再以节点方式与外围钢框连接为一体，再将整体放置一与其配合使用的外部定形模具中，通过向模具中灌注填充物，使内部金属骨架凝固在填充物中，使外围钢框包覆结合在其外围，并与其固结成一整体基座。
本实用新型采用水泥或混凝土作为填充物灌注定型后，经电脑模拟试验，其刚性，稳定性大为增强，并完全符合12英寸以内直径的晶圆加工设备的机台基座的稳定性能要求，并可增进加工晶圆的质量。
Claims (3)
1、一种晶圆加工设备的机台基座结构，主要包括由金属构成的金属骨架，其特征在于：金属骨架是由外围的金属框体和固定在金属框体内部的内部金属骨架构成一整式结构，内部金属骨架是由复数根钢筋相连而成，在金属框体的内部和外周利用模具及填充物灌注形成的填充体与金属框体及内部金属骨架构成一实心的整体式基座。
2、根据权利要求1所述晶圆加工设备的机台基座结构，其特征在于：所述填充物为水泥或混凝土，内部金属骨架是由复数根钢筋焊接或绕接成一组以上的矩形或三角形或圆形镂空骨架。
3、根据权利要求1所述晶圆加工设备的机台基座结构，其特征在于：所述填充物为水泥或混凝土，内部金属骨架是由复数根钢筋焊接或捆扎成网格状镂空骨架体。
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2002
- 2002-07-15 CN CN 02241512 patent/CN2554797Y/zh not_active Expired - Fee Related
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